DE1564019B1 - Schaltungsanordnung zur Erzeugung der einen Elektronenstrahl in Richtung zweier Koordinaten auf einer vorbestimmten Auftreffspur fuehrenden Spannungen - Google Patents

Schaltungsanordnung zur Erzeugung der einen Elektronenstrahl in Richtung zweier Koordinaten auf einer vorbestimmten Auftreffspur fuehrenden Spannungen

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General Electric Co
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    • G06K11/02—Automatic curve followers, i.e. arrangements in which an exploring member or beam is forced to follow the curve
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/302—Controlling tubes by external information, e.g. programme control
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