DE1540268C

DE1540268C - Verfahren zur Herstellung einer Thermodruckverbindung zwischen Metallen und nichtmetallischen Stoffen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Info

Publication number: DE1540268C
Authority: DE
Inventors: Dennis London; Bryan lan Ewart North Wembley Middlesex; Baker (Großbritannien)
Original assignee: The Post Office, London
Publication date: 1972-08-17

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Thermodruckverbindung zwischen der Oberfläche eines metallischen Leiters und der Oberfläche eines anderen Stoffes mit den folgenden Verfahrensschritten: Erwärmung beider Oberflächen auf eine oberhalb 100⁰C, jedoch unterhalb der niedrigsten, für die Stoffkombination möglichen eutektischen

j Temperatur und — falls der andere Stoff ein Halbleiter ist — unterhalb derjenigen Temperatur, bei welcher Dislokationen in dem Halbleitermaterial auftreten oder verschoben werden, liegende Temperatur und Anlegen eines maximalen Verbindungsdruckes auf einen Bereich der zu verbindenden Oberflächen, der ausreicht, den metallischen Leiter nur in diesem Bereich um mindestens 20, höchstens 80°/o ^zu verformen, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Bei einem bekannten Verfahren dieser Art (USA.-Patentschrift 3 091 849) finden spitzen- und meißelartige Werkzeuge Verwendung, wobei durch die spezielle Werkzeugform eine Schwächung der physikalischen Festigkeit des Leiters verursacht wird. Es ist zwar bereits vorgeschlagen worden (USA.-Patentschrift 2 522 408), ein Werkzeug mit einer ringförmigen Druckfläche zu verwenden, jedoch ist dieses Werkzeug lediglich bei kugeliger Ausgestaltung des Leiterendes verwendbar. Nicht allen zu verbindenden Stoffen kann jedoch eine solche Form gegeben werden. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verbindungsverfahren der eingangs genannten Gattung so zu gestalten, daß

a) auch Verbindungen zwischen Materialkombinationen ermöglicht werden, die bisher nach dem Thermodruckverfahren nicht geschaffen werden konnten,

b) die Zugfestigkeit der geschaffenen Verbindungen verbessert wird, sofern solche Verbindungen bisher überhaupt schon nach dem Thermodruckverfahren herstellbar waren und,

c) den Streubereich der Festigkeitswerte in der Massenherstellung der Verbindungen einzuengen,

sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens zu schaffen.

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Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem werden, wodurch die sich ergebende Verbindung ge-Verfahren der eingangs gerannten Art dadurch gelöst, schwächt würde.

daß ein plastisches Fließen des Leitermaterials aus Die Bearbeitungsfläche des Vorsprunges kann bei-

dem Bereich in Radialauswärtsrichtung im wesent- spielsweise elliptisch oder rechteckig ausgebildet sein, liehen parallel zu den zu verbindenden Oberflächen 5 wobei die Schulter eine ähnliche Form haben kann, erzwungen wird, wobei rings um den Bereich eine Liegt der metallische Leiter in Form eines schmalen

Materialformation ausgebildet wird, deren maximale Streifens vor, so wird der Durchmesser des Vorsprun-Höhe in einer senkrecht zur Oberfläche des anderen ges bzw. die kleine Achse der Ellipse, wenn wegen der Stoffes gelegenen Ebene nur geringfügig unter der geringen Breite des Streifens eine elliptische Vor-Dicke des Leiters liegt. io sprungsform erforderlich ist, im wesentlichen gleich

Beim erfindungsgemäßen Verfahren erfolgt also der Streifenbreite gewählt. Bei einem breiteren Metalldas plastische Fließen des Materials zwangsweise streifen wird der Durchmesser des Vorsprunges so in eine Richtung parallel zu der anderen Oberfläche. gewählt, daß die Verbindung über die geeignete -Leit-Dies hat gegenüber den bekannten Verbindungsver- fähigkeit verfügt. Die Höhe des Vorsprunges wird fahren den besonderen Vorteil, daß eine Reinigung 15 so bemessen, daß sich das für die Verbindung erforder in Kontakt zu bringenden Bereiche nicht erforder- derliche Deformationsverhältnis— welches in weitem lieh ist, da die zu verbindenden Oberflächen durch · Maße unabhängig von der Dicke des Streifens ist — die seitliche Verschiebung oder Scherung offenbar sowie eine angemessene Höhe der Materialformation von anhaftenden Oxydschichten befreit werden. . rings um den Verbindungsbereich einstellen. Die

Die prozentuale Deformation, die oben angegeben ao Höhe der Materialformation soll dabei eher auf die ist, ist als prozentuale Dimensionsänderung des Be- Dicke eines dünnen als auf die eines dicken Streifens reiches des metallischen Leiters definiert, der mit dem eingestellt sein, damit die hergestellte Verbjndung maximalen Verbindungsdruck beaufschlagt wird, und in jedem Fall über die erforderliche Festigkeit verfügt, zwar im zur Wirkrichtung des Maximaldruckes Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich

paralleler Richtung. Der maximale Verbindungsdruck as aus der folgenden Beschreibung im Zusammenhang sowie die erhöhte Temperatur werden üblicherweise mit der Zeichnung. Es zeigen

einige Sekunden lang, beispielsweise 1 bis 5 Sekunden, F i g. 1 und 2 ein Ausführungsbeispiel eines Werkfür Halbleiter, aufrechterhalten, jedoch können auch zeugs zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verlängere Zeiten von einer Stunde oder mehreren Stun- fahrens in Seiten- und Stirnansicht sowie in Teilden für Keramikstoffe erforderlich sein. 30 darstellung,

Eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungs- F i g. 3 bis 5 abgeänderte Ausführungsformen von

gemäßen Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, daß Werkzeugen ähnlich F i g. 1 und 2 in Seitenansicht, auf das plastisch aus dem Bereich wegfließende Ma- Fig. 6 zwei miteinander zu verbindende Ober-

terial ein Druck ausgeübt wird, welcher niedriger als .flächen während der Durchführung des erfindungsder maximale Verbindungsdruck ist. 35 gemäßen Verfahrens in gegenüber F i g. .1 bis 5 ver·*

Es empfiehlt sich, daß die Verbindung mittels eines kleinerter Schnittdarstellung,

Werkzeuges hergestellt wird, dessen Bearbeitungs- F i g. 7 eine Ausführungsform einer fertiggestellfläche in einem im wesentlichen dem mit dem maxi- ten Verbindung in Draufsicht,
malen Verbindungsdruck beaufschlagten Bereich ent- F i g. 8 einen Schnitt längs der Linie VIII-VIII von

sprechenden Flächenbereich einen zentralen Vor- 40 F i g. 7. .

sprung aufweist, der von einer Schulter umgeben ist, Das im Zusammenhang mit den Zeichnungen zu

die infolge ihrer Dimensionierung den erforderlichen erläuternde erfindungsgemäße Verfahren ist zur VerZwang auf das plastisch fließende Material ausübt. bindung eines leitenden Drahtes vom Durchmesser D

Eine weitere Ausführungsform des erfindungs- mit der Oberfläche eines anderen Materials geeignet, gemäßen Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, daß 45 Gemäß Fig. 1 und 2 weist ein zur Durchführung Draht mit kreisförmigem Querschnitt gegen die des erfindungsgemäßen Verfahrens zu verwendendes Fläche eines anderen Elementes angedrückt ist, indem Werkzeug eine Spitze von zylindrischer Form mit ein Drahtstück auf die Oberfläche des anderen EIe- einer Stirnfläche! auf, welche mit einem zentralen mentes aufgelegt und an einer Stelle durch die Be- Vorsprung 3 versehen ist. Der Durchmesser des Vorarbeitungsfläche des Werkzeuges zur Herstellung der 50 Sprungs 3 ist gleich einem Werte D, während derjenige Verbindung beaufschlagt wird. der Stirnfläche einem Werte 3D entspricht. Die Höhe

Eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Ver- des Vorsprungs, von der Stirnfläche 2 aus gemessen, fahrens kann sich dadurch auszeichnen, daß der Vor- beträgt D/3. Es ist nicht wesentlich, daß der Durchsprung der Bearbeitungsfläche des Werkzeuges einen messer des Vorsprungs genau gleich demjenigen des Flächenbereich umfaßt, welcher im wesentlichen gleich 55 Drahtes ist, und ferner auch nicht, daß die Höhe der Querschnittsfläche des Drahtes ist, und eine Höhe des Vorsprunges genau einem Drittel des Drahtvon etwa einem Drittel des Drahtdurchmessers auf- durchmesser entspricht, jedoch sollten die Maße weist und daß die den Vorsprung uirgebende Schulter annähernd eingehalten werden. Ein derartiges Werkeinen Flächenbereich von etwa dem Neunfachen der zeug ist geeignet zur Verwendung in Fällen, wo die Drahtquerschnittsfläche hat. 60 erforderliche Deformation im Bereich von 20 bis

.■ Ein derartiges Werkzeug ist dann geeignet, wenn etwa 60% liegt. Wenn eine stärkere Deformation die erforderliche Deformation zwischen 20 bis etwa erforderlich ist, muß die Höhe des Vorsprungs ge-60°/₀ liegt. Wenn höhere Deformationen erforderlich steigert werden, um eine Reduzierung der Höhe der sind, muß die Höhe des Vorsprunges über D/3 ge- rund um den Verbindungsbereich ausgebildeten Masteigert werden, damit die Höhe der um den Ver- 65 terialansammlung zu vermindern. Eine solche Rebindungsbereich ausgebildeten Materialformation dtktion würde andererseits zu stark werden, wenn nicht vermindert wird. Andernfalls würde die Ma- eine hohe Deformation erforderlich ist, und die sich terialformation bei hoher Deformation zu niedrig ergebende Verbindung schwächen.

Die Formgebung gemäß F i g. 1 und 2 ist lediglich neben dessen Ende in der gezeigten Weise zur Anlagt als theoretisch anzusehen, da es praktisch notwendig gebracht worden. Das Werkzeug weist die Form naclist, die Kanten abzurunden und den Spitzenabschnitt F i g. 4 und die Abmessungen gemäß F i g. 1 und 1 konisch auszuführen, um dessen ■ Entfernung, nach auf. Der auf das Werkzeug ausgeübte Druck reich⁷ Herstellung einer Verbindung zu erleichtern. Eine 5 aus, um eine Deformation des Drahtes unterhalb günstigere Ausführungsform eines Werkzeugs ist in des Vorsprungs 3 von zumindest 20% zu bewerk-F i g. 3 gezeigt, nach der sowohl der Vorsprung 3 stelligen. Diese Deformation bewirkt, daß der Draht als auch der Spitzenabschnitt 1 konisch ausgeführt plastisch radial nach außen von dem Bereich untersind. Die Stirnfläche 2 kann selbst als flacher Konus 4 halb des Vorsprungs 3 abfließt, und der Fluß nach oder auch eben ausgebildet sein und in einer Ebene io außen wird durch die Stirnfläche des Werkzeugs in senkrecht zu der Werkzeugachse liegen. Bei der Aus- einer Richtung parallel zu der Fläche 8 gefördert, führungsform nach F i g. 4 ist eine ebene Stirnfläche 5 Der Druck wird über einen kurzen Zeitraum aufrechtvorgesehen. Wahlweise kann eine leicht konkav und erhalten, welcher unter anderem von der Art der konisch ausgestaltete Stirnfläche 6 gemäß F i g. 5 Stoffe abhängt. Hierauf wird im folgenden noch einverwendet werden. Die Stirnfläche des Vorsprungs 3 15 gegangen. Der auf das Werkzeug ausgeübte Druck kann, wie dargestellt, flach sein oder aber auch konvex, ist dergestalt, daß eine begrenzte Deformation des konisch, konkav oder konkav-sphärisch. Drahtes über dem in Berührung mit der Stirnfläche 2

Eine Änderung des Winkels A von F i g. 3 und 5 befindlichen Bereich hergestellt wird,
bedingt eine Änderung der Art des plastischen Flusses, Die dem Draht eingeprägte Formgebung während

so daß eine Vielzahl von Verbindungssigenschaften ao der Herstellung der Verbindung ergibt sich deutlicher erzielbar ist. Wird beispielsweise die Formgebung aus F i g. 7 und 8. Der Bereich 9 entsprechend der des Werkzeuges nach F i g. 4 im Sinne von F i g. 3 Fläche des Vorsprungs 3 stellt den Bereich dar, auf bei gleicher angelegter Belastung verändert, so ergibt welchen ein maximaler Verbindungsdruck ausgeübt "sich eine stärkere Reduzierung der Dicke in dem Ver- wird. Dieser Bereich ist durch einen ringförmigen bindungsbereich und, da das Metall außerhalb des as Wulst 10 umgeben, um eine Ausbildung zu erzeugen, Verbindungsbereiches nicht unter Druck gesetzt ist, deren maximale Höhe (B in F i g. 8) nicht wesentlich um parallel zu den Verbindungsflächen zu fließen, unterhalb des Wertes des Durchmessers D liegt,
wird die mittlere Festigkeit einer Anzahl solcher Ver- Das soeben beschriebene Verfahren ist geeignet

bindungen geringer, und der Streubereich der Festig- zur Verbindung verschiedenartigster Stoffe, beispielskeitswerte wird größer, während die Verwendung 30 weiss Draht aus Aluminium, Aluminiumlegierungen, des konkaven Werkzeuges nach F i g. 5 eine geringere Gold, Goldlegierungen, Kupfer, Platin und Silber; Reduzierung der Dicke in dem Verbindungsbereich diese Drähte können in zufriedenstellender Weise mit bewirkt, weil der Fluß des Materials nach außen be- Metallfilmen, Metallblöcken, Halbleiterstoffen und grenzt und der Draht über einen weiteren Bereich spröden Stoffen, beispielsweise Glas oder Keramikrund um den verbundenen Bereich ausgebreitet wird. 35 material,, verbunden werden.

Auch hier ist die mittlere Festigkeit der Verbindung Das Verfahren ist besonders geeignet zur Verbin-

niedriger und der Streubereich größer. ■ dung von Zuleitungsdrähten mit der Oberfläche von

Es können auch andere Formen von Spitzen- Halbleiterelementen sowie mit Verbindungsvorsprünabschnitten verwendet werden. Beispielsweise kann gen derartiger Elemente. Das Maß des Breitdrückens die Spitze einen erhöhten zentralen Kern und eine 40 des Zuleitungsdrahtes während des Verbindungsringförmige Lippe aufweisen. Die allgemein ring- Vorgangs wird gesteuert, was besonders wichtig ist, förmige Ausgestaltung der beschriebenen Ausfüh-. wenn sehr geringe Abmessungen vorhanden sind, rungsformen ist jedoch nicht wesentlich. Der zentrale beispielsweise bei Halbleiterelementen.
Vorsprung 3 könnte beispielsweise in Draufsicht Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht, Leiterelliptisch oder rechteckig ausgebildet sein, wobei 45 drähte aus verschiedenem Material bei gesteigerter dann eine entsprechende Form für die Endfläche 2 Beständigkeit der Hafteigenschäften mit den Berühzu wählen wäre. Jedoch ist jede Formgebung mit rungsbereichen von mit höchster Zuverlässigkeit Ecken weniger günstig, da die Ecken Schwächungs- arbeitenden Halbleiterelementen oder Festkörperpunkte in der Verbindung erzeugen. In allen Fällen schaltungen zu verbinden, indem eine Verbindung ergibt die Formgebung der Spitze einen zentralen 5° unmittelbar mit dem Halbleiter oder mit Metallfilmen Bereich, über dem ein maximaler Verbindungsdruck hergestellt wird, welche normalerweise durch Aufausgeübt wird, und einen Umgebungsbereich, auf dampfen auf die entsprechenden Bereiche der Elemente welchen ein geringerer Druck ausgeübt wird, wobei und Schaltungen hergestellt wurden. Die Zuleitungsdieser letztere Bereich den plastischen Fluß des Me- drähte können auch unter Verwendung des obentalls von dem Verbindungsbereich bewerkstelligt. 55 erwähnten Verfahrens unmittelbar mit der Oberfläche

Eine durch Thermodruck hergestellte Verbindung der Anschlußstifte der Umkapselung von Halbleiterumfaßt die Anbringung des leitenden Drahtes genau elementen verbunden werden, die aus dem handelsauf demjenigen Teil der Oberfläche, mit welchem der üblichen Material »Kovar« (einer Kobalt-Eisen-Draht zu verbinden ist, eine Aufheizung der Ober- Nickel-Legierung) besteht, ohne daß eine dazwischen fläche sowie des Drahtes, wenn notwendig, in einer 60 angeordnete goldplattierte Schicht erforderlich ist, Schutzatmosphäre, beispielsweise Stickstoff, und nach- Wenn Aluminiumdrähte verwendet werden, wird auf folgendes Ansetzen des Verbindungswerkzeuges unter diese Weise die Bildung unerwünschter Gold-Alueinem geeigneten Druck. F i g. 6 zeigt die Lage der minium-Phasen, beispielsweise AuAl₂, vermieden.
Bestandteile vor der Entfernung des Werkzeuges nach Die genaue Zeit, während der der Verbindungs-

Herstellung der Verbindung. 65 druck aufrechterhalten wird, hängt von den zu ver-

Der leitende Draht 7 war vorangehend genau auf bindenden Stoffen, dem Zustand der Reinheit der eine Fläche 8 angesetzt und das Werkzeug unter Oberflächen, der Temperatur sowie der Art der geeignetem Druck an einem Bereich des Drahtes Schutzatmosphäre ab. In.der folgenden Tabelle I sind

Einzelheiten von Temperatur und Zeit für unterschiedliche Kombinationen von Stoffen bei einer Deformation bis zu 60% in einer Schutzatmosphäre aus Stickstoff zusammengestellt.

Tabelle I

Drahtmaterial	Unterlage- material	Temperatur "C	Zeit (Sek.)
Aluminium	Aluminium	300	1
Aluminium	Silicium	320	3
Aluminium	Germanium	320	3
Aluminium	Konvar®	340	5
Gold	Aluminium	300	1
Gold	Silicium	320	5
Gold	Germanium	300	5
Platin	Aluminium	340	1

Unten näher beschriebene Zugprüfungen zeigen, daß gemäß der Erfindung hergestellte Verbindungen allgemein fester als gemäß dem Stande der Technik hergestellte sind und einen engeren Streubereich für die Werte der Bruchbelastung aufweisen. Die Zugprüfungen wurden unter Verwendung einer im Handel befindlichen Mikro-Zugprüfmaschine durchgeführt, indem der verbundene Draht bei einer Neigung von etwa 30° gegenüber der Unterlagefläche unter Zugeinwirkung gesetzt wurde, während die Verbindung rechtwinklig zu dem Draht durch ein Mikroskop beobachtet wurde. Die Last wurde mit Hilfe eines kalibrierten Torsionsdrahtes angelegt, bis die Verbindung zerriß. In jedem Fall wurde die Verbindung mit einer Metallunterlage unter den Bedingungen gemäß Tabelle I hergestellt. Die Ergebnisse sind aus der folgenden Tabelle II ersichtlich.

Tabelle II

	Stoff	Reißbelastung in Gramm bei Herstellung der Verbindung mit Meißelwerkzeug	Reißbelastung in Gramm bei Herstellung der Verbindung mit ringförmigem Werkzeug	Reißbelastung in Gramm bei Herstellung der Verbindung nach der Erfindung
Draht Unterlage	Aluminium Aluminium	0,8 0 bis 1,5	Verbindung nicht herstellbar	2,5 Mittelwert 2,25 bis 2,85 Bereich
Draht Unterlage	Aluminium Silicium	0,5 0 bis 1,0	Verbindung nicht herstellbar	2,2 Mittelwert 1,9 bis 2,7 Bereich
Draht Unterlage	Aluminium Kovar®	Verbindung nicht herstellbar	Verbindung nicht herstellbar	2,5 Mittelwert 2,2 bis 2,7 Bereich
Draht Unterlage	Gold Aluminium	2,0 0,5 bis 4,0	6,0 1,0 bis 8,0	5,5 Mittelwert 5,0 bis 6,0 Bereich
Draht Unterlage	Gold Silicium	1,0 0 bis 2,0	Verbindung nicht herstellbar	3,0 Mittelwert 2,5 bis 4,0 Bereich

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

109 583/2Π

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung einer Thermodruckverbindung zwischen der Oberfläche eines metallischen Leiters und der Oberfläche eines anderen Stoffes mit den folgenden Verfahrensschritten:

Erwärmung beider Oberflächen auf eine oberhalb 1CO° C, jedoch unterhalb der niedrigsten, für die Stoflkombination möglichen eutektischen Temperatur und — falls der andere Stoff ein Halbleiter ist — unterhalb derjenigen Temperatur, bei welcher Dislokationen in dem Halbleitermaterial auftreten oder verschoben werden, liegende Temperatur und .

Anlegen eines maximalen Verbindungsdruckes auf einen Bereich der zu verbindenden Oberflächen, der ausreicht, den metallischen Leiter nur in diesem Bereich um mindestens 20, höchstens 8O°/o zu verformen, dadurch gekennzeichnet, daß ein plastisches Fließen des Leitermaterials aus dem Bereich in Radialauswärtsrichtung im wesentlichen parallel zu den zu verbindenden Oberflächen erzwungen . wird, wobei rings um den Bereich eine Materialformation ausgebildet wird, deren maximale Höhe in einer senkrecht zur Oberfläche des anderen Stoffes gelegenen Ebene nur geringfügig unter der Dicke des Leiters liegt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf das plastisch aus dem Bereich wegfließende Material ein Druck ausgeübt wird, welcher niedriger als der maximale Verbindungsdruck ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung mittels eines Werkzeuges hergestellt wird, dessen Bearbeitungsfläche in einem im wesentlichen dem mit dem maximalen Verbindungsdruck beaufschlagten Bereich entsprechenden Flächenbereich einen zentralen Vorsprung aufweist, der von einer Schulter umgeben ist, die infolge ihrer Dimensionierung, den erforderlichen Zwang auf das plastisch fließende Material ausübt.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß Draht mit kreisförmigem Querschnitt gegen die Fläche eines anderen Elementes angedrückt wird, indem ein Drahtstück auf die Oberfläche des anderen Elementes aufgelegt und an einer Stelle durch die Bearbeitungsfläche des Werkzeuges zur Herstellung der Verbindung beaufschlagt wird.

5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 3 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung (3) der Bearbeitungsfläche des Werkzeuges einen Flächenbereich umfaßt, welcher im wesentlichen gleich der Querschnittsfläche des Drahtes ist, und eine Höhe von etwa einem Drittel des Drahtdurchmessers aufweist und daß die den Vorsprung (3) umgebende Schulter (2) einen Flächenbereich von etwa dem Neunfachen der Drahtquerschnittsfläche hat.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung (3) zylindrisch ist und die Schulter (2) eine kreisringförmige Bearbeitungsfläche bildet.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl der Vorsprung (3) als auch die Schulter (2) kegelstumpfförmig ausgebildet sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung (3) kegelstumpfförmig ausgebildet und — bei Betrachtung in Draufsicht — durch eine konkave, kreisförmige Schulter (2) umgeben ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung (3) in von der Schulter abgewendeter Richtung konisch verjüngt ist und daß die Schulter (2) eben ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Leiter aus einem der Metalle Aluminium, Gold oder Fiatin besteht und daß das Material der anderen Fläche aus Aluminium, Silizium, Germanium oder Kovar — einer Kobalt-Eisen-Nickel-Legierung — besteht.