DE1522135A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung gerasterter fotoelektrischer Reproduktion eines Originals - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung gerasterter fotoelektrischer Reproduktion eines Originals

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DE1522135A1 DE19661522135 DE1522135A DE1522135A1 DE 1522135 A1 DE1522135 A1 DE 1522135A1 DE 19661522135 DE19661522135 DE 19661522135 DE 1522135 A DE1522135 A DE 1522135A DE 1522135 A1 DE1522135 A1 DE 1522135A1
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KYTE DEREK JOHN
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KYTE DEREK JOHN
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    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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