DE1521993B1 - Process for regenerating a chromic acid solution for etching copper - Google Patents

Process for regenerating a chromic acid solution for etching copper

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DE1521993B1
DE1521993B1 DE19661521993 DE1521993A DE1521993B1 DE 1521993 B1 DE1521993 B1 DE 1521993B1 DE 19661521993 DE19661521993 DE 19661521993 DE 1521993 A DE1521993 A DE 1521993A DE 1521993 B1 DE1521993 B1 DE 1521993B1
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etching solution
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Description

1 21 2

In jüngster Zeit werden Chromschwefelsäurelösun- Ordnung des Wasserhaushalts unter 1 mg pro Liter gen häufig beim Herstellen gedruckter Schaltungen liegen. Es muß also dafür gesorgt werden, daß die verwendet. Gedruckte Schaltungen sind bekanntlich noch vorhandenen Chromationen der verbrauchten mit elektrischen Leitungszügen versehene Isolierstoff- Chromschwefelsäure-Ätzlösungen mittels eines Replatten mit Löchern, in die elektrische Bauelemente 5 duktionsmittels, z. B. Natriumhydrogensulfit, zu eingesteckt werden, die z. B. durch Tauchlöten mit 3wertigem Chrom reduziert und dieses durch Neuden Leitungszügen elektrisch verbunden werden. Die tralisation als Chromhydroxid ausgefällt wird. Hier-Herstellung derartiger gedruckter Schaltungen wird für müßten also noch eine ganze Reihe von Chemibeispielsweise so durchgeführt, daß von einer mit kalien aufgewendet werden. Durch diese Art der Metall, im allgemeinen mit Kupfer, beschichteten io Aufbereitung der verbrauchten Chromschwefelsäure-IsolierstofFplatte ausgegangen, die Kupferschicht mit Ätzlösungen ginge aber nicht nur wertvolles Chrom einer ätzfesten Schicht, die beispielsweise aus Foto- verloren, sondern gleichzeitig auch das abgeätzte lack besteht, derartig abgedeckt wird, daß das Muster Kupfer, ganz abgesehen von den zusätzlichen Kosten, der gewünschten Leitungszüge von dem Lack bedeckt die sich durch die Aufbereitung ergeben, ist (Positiwerfahren), und anschließend die_ Platte in 15 Es ist zwar bekannt, Metallbeizen in der Weise zu ein Ätzbad, z. B. in eine Kupferchlorid-Ätzlösung, regenerieren, daß die gelösten Metallsalze durch getaucht wird. Ein anderes bekanntes Verfahren, das Einengen, Auskristallisierenlassen entfernt werden, besonders vorteilhaft ist, da es zu verstärkten Lei- Hierdurch allein ist eine Regenerierung einer Chromtungszügen führt, besteht beispielsweise darin, daß schwefelsäure-Ätzlösung jedoch nicht möglich, die mit der Kupferschicht bedeckte Isolierstoffplatte 20 Beim Ätzen von Kupfer mit Chromschwefelsäureso mit einer Abdeckschicht, z. B. Lack, bedeckt wird, lösung läuft hauptsächlich die folgende Reaktion ab: daß die Stellen von dem Lack abgedeckt sind, dieRecently, chromosulfuric acid solutions in the water balance have fallen below 1 mg per liter gen often lie in the manufacture of printed circuits. So it must be ensured that the used. As is well known, printed circuits are chromate ions that are still present in the used ones Insulating material- chromosulfuric acid etching solutions provided with electrical lines by means of a replay plate with holes in the electrical components 5 reducing means, z. B. sodium hydrogen sulfite, too be inserted, the z. B. reduced by dip soldering with trivalent chrome and this by Neuden Cable runs are electrically connected. The tralization as chromium hydroxide is precipitated. Here manufacture Such printed circuits would have to be used for a whole range of chemicals, for example carried out in such a way that one with kalien be expended. Through this kind of Metal, generally with copper, coated. Preparation of the used chromium-sulfuric acid insulating plate assumed that the copper layer with etching solutions would not only be valuable chrome an etch-resistant layer that was lost from photos, for example, but also the etched-off layer at the same time varnish is covered in such a way that the pattern is copper, not to mention the additional costs, the desired cable runs covered by the paint that result from the preparation, is (Positiwerfahren), and then die_ Platte in 15 It is known to pickling metals in this way an etching bath, e.g. B. in a copper chloride caustic solution, regenerate that the dissolved metal salts through is dived. Another known method, the concentration, allowing crystallization to be removed, It is particularly advantageous because it leads to increased lines leads, for example, is that sulfuric acid etching solution is not possible, the covered with the copper layer insulating plate 20 When etching copper with chromic acid so with a cover layer, e.g. B. varnish, is covered, solution mainly takes place the following reaction: that the places are covered by the paint that

abgeätzt werden sollen (Negatiwerfahren). Die Stel- ^n ,„ ,.,„„«should be etched away (negative experience). The digits ^ n , ",.,"""

ten, die dem Muster der gewünschten Leitungszüge ^2^4 + Jt-U + öMabU4 entsprechen, sind also in diesem Fall von der Abdeck- 25 -»· Cr2(SO4^ + 3CuSO4 + 8H2Oten that correspond to the pattern of the desired cable runs ^ 2 ^ 4 + Jt - U + ÖM a bU 4 , are in this case of the cover 25 - »· Cr 2 (SO 4 ^ + 3CuSO 4 + 8H 2 O

schicht frei. Diese Stellen werden galvanisch verstärkt, indem die ganze Platte in ein Galvanisierbadshift free. These spots are galvanically reinforced by placing the entire plate in an electroplating bath

getaucht wird. Zum galvanischen Verstärkern hat Es wird also öwertiges Chrom zu 3wertigem Chromis dived. As a galvanic amplifier, it turns oval chromium into trivalent chromium

sich aus verschiedenerlei Gründen vor allem Zinn reduziert. Gleichzeitig werden Wasserstoffionen sehr bewährt. Anschließend wird dann die Abdeck- 30 (Schwefelsäure) verbraucht.tin in particular is reduced for various reasons. At the same time are hydrogen ions very proven. The cover 30 (sulfuric acid) is then used up.

schicht entfernt und die freigelegten Stellen der Man kann die Reaktion auch folgendermaßenlayer removed and the exposed areas of the one can follow the reaction

Kupferschicht durch einfaches Eintauchen in eine formulieren: Ätzlösung abgeätzt. Besteht die galvanisch auf dieFormulate the copper layer by simply dipping it into a: etching solution. If the galvanic insists on the

Leitungszüge aufgebrachte Metallschicht aus einem Cr2O7— + 14H++ 3Cu0 A metal layer made of a Cr 2 O 7 - + 14H + + 3Cu 0 applied to the lines

Edelmetall, z.B. aus Gold, so kann zum Abätzen 35 9Γ m , ,r ++ ι 7Ή0Precious metal, for example made of gold, can be used for etching 35 9Γ m,, r ++ ι 7Ή0

der nicht gewünschten Teile der Grundmetallschicht ->^r ·+· j^u -+- /η2υof the unwanted parts of the base metal layer -> ^ r · + · j ^ u - + - / η 2 υ

die bekannte Kupfer(II)-chlorid-Ätzlösung Verwendung finden. Gold ist aber sehr teuer. So ist man Während des Ätzens von Kupfer verarmt also die dazu übergegangen, die Leitungszüge mit anderen Ätzlösung an ätzfähigen Cr2O7—- oder HCrO4--Metallen, z. B. mit Zinn, zu verstärken. In diesem 40 Ionen und Wasserstoffionen. Eine Folge hiervon ist Fall kann aber zum Abätzen der Kupfergrundschicht natürlich die Schwächung der Ätzkraft der Lösung, nicht die an sich sonst recht vorteilhafte Kupfer- Gleichzeitig wird die Ätzlösung an Cu(II)-ionen chlorid-Ätzlösung verwendet werden, da Zinn von angereichert. Ohne gleichzeitig während des Ätzens der Kupferchlorid- und auch von der bekannten vorgenommene Regenerierung der Ätzlösung, d. h. Eisenchlorid-Ätzlösung angegriffen wird._Für solche 45 Zurückbildung der ätzfähigen Ionen, fällt daher die Fälle haben sich Chromschwefelsäure-Ätzlösungen Ätzgeschwindigkeit der Lösung dauernd ab, bis als besonders geeignet erwiesen. Gegen diese Ätz- schließlich ein Punkt erreicht wird, an dem die Ätzlösungen zeigen sich nicht nur Zinn und natürlich geschwindigkeit untragbar lang wird. An diesem auch Gold, sondern noch eine ganze Reihe von Punkt sind die ätzfähigen Ionen der Ätzlösung jedoch anderen, als galvanische Verstärkung der Leitungs- 50 erst zu etwa 30 °/0 verbraucht, züge von gedruckten Schaltungen geeignete und im Eingehende, der Erfindung zugrunde liegende Verhältnis zu Gold recht billige Metalle, wie z. B. Untersuchungen haben gezeigt, daß die einfache Blei, Silber und gegebenenfalls Nickel, chemisch Umkehrung der Ätzreaktion in einer Elektrolysierresistent. Ebenso wird Rhodium von Chromschwefel- zelle, also die Reaktion: säure nicht angegriffen. 55
Der großtechnischen Verwendung von Chrom- Cr2(SOi)3 + 3CuSO4 + 8H2O
the well-known copper (II) chloride etching solution is used. But gold is very expensive. During the etching of copper, one has become impoverished, so the line runs with other etching solutions of etchable Cr 2 O 7 - or HCrO 4 - metals, z. B. with tin to reinforce. In this 40 ions and hydrogen ions. One consequence of this is the case, but the etching of the copper base layer can of course weaken the etching power of the solution, not the otherwise very advantageous copper. Without being attacked at the same time during the etching of the copper chloride and also by the known regeneration of the etching solution, i.e. iron chloride etching solution proved particularly suitable. Against this etching a point is finally reached, at which the etching solutions show up not only tin and of course speed becomes intolerably long. At this also gold, but a whole series of point etchable ions of the etching solution, however, other than galvanic reinforcement of the management 50 only consumes about 30 ° / 0, trains of printed circuits appropriate and in-depth, underlying the invention Relatively cheap metals in relation to gold, such as B. Studies have shown that the simple lead, silver and optionally nickel, chemically reversing the etching reaction in an electrolyzer resistant. Likewise, rhodium is not attacked by chromium sulfur cells, ie the reaction: acid. 55
The large-scale use of chromium-Cr 2 (SOi) 3 + 3CuSO 4 + 8H 2 O

schwefelsäure-Ätzlösungen standen bisher aber mehrere _^ 1tT n~n _ι_ τη^ο j_ <ti cn Sulfuric acid etching solutions have so far been available several _ ^ 1t T n ~ n _ι_ τη ^ ο j_ <ti cn

„,..,., . ,-,, , . , .. . . -*· ZiI2V^rU4 + jcu + 0JtI2OU4 ", ..,.,. , - ,,,. , ... . - * ZiI 2 V ^ rU 4 + jcu + 0JtI 2 OU 4

Schwierigkeiten entgegen. Chromschwefelsaure istDifficulties. Chromosulfuric acid is

sehr teuer, und es ist bis jetzt kein Verfahren bekannt- odervery expensive, and no method is known or known up to now

geworden, nach dem verbrauchte, mit Kupfer ange- 60become, after the consumed, with copper

reicherte Chromschwefelsäure-Ätzlösungen regene- 2Cr++++ 3Cu+++ 7H2Oenriched chromosulfuric acid etching solutions regene- 2Cr +++ + 3Cu ++ + 7H 2 O

riert, d. h. wieder verwendungsfähig gemacht werden -> Cr O + 14H+ + 3Cu0 red, ie made usable again -> Cr O + 14H + + 3Cu 0

könnten. Es können aber auch die verbrauchten 2 7 could. However, the 2 7

Chromschwefelsäure-Ätzlösungen nicht ohne weiteresChromosulfuric acid etching solutions are not readily available

in den Abwasserkanal gegeben werden, denn Chrom- 65 unter elektrolytischer Abscheidung des Kupfers an säure ist eine der gefährlichsten Verunreinigungen in der Kathode und Oxydation der Chrom(III)-ionen den Abwässern. Die Chromkonzentration muß nach an der Anode der Elektrolysierzelle nicht möglich dem am 1. 3.1959 in Kraft getretenen Gesetz zur ist. Wie sich aus dem Vergleich der Normalpotentialebe given into the sewer, because chromium-65 with electrolytic deposition of copper acid is one of the most dangerous impurities in the cathode and oxidation of chromium (III) ions the sewage. The chromium concentration does not have to be possible at the anode of the electrolysis cell the law that came into force on 3.1959. As can be seen from the comparison of the normal potentials

3 43 4

der Redoxsysteme E0 für die an der Kathode mög- Die Regenerierung der Ätzlösung kann in gewissenof the redox systems E 0 for the possible at the cathode The regeneration of the etching solution can in certain

liehen Reaktionen: Zeitabständen vorgenommen werden;Bevorzugt erfolgtborrowed responses: intervals are made ; Preference is given

sie jedoch gleichzeitig während des Ätzens.however, they do so at the same time during the etching.

Cr2O7- + 14H+ + 6e ->■ 2Cr+++ + 7H2O; Im Kathodenraum befindet sich während derCr 2 O 7 - + 14H + + 6e -> ■ 2Cr +++ + 7H 2 O; In the cathode compartment is during the

£o=-i36o mV 5 Elektrolyse die wäßrige Kupfersulfatlösung, aus der Cu++ + 2e -» Cu0; £o = - 344mν das Kupfer an der Kathode abgeschieden wird, oder£ o = -i36o mV 5 electrolysis the aqueous copper sulfate solution from which Cu + + + 2e - »Cu 0 ; £ o = - 344mν the copper is deposited on the cathode, or

Schwefelsäure.Sulfuric acid.

ersehen läßt, kann die Kupferabscheidung erst nach An der Anode der Elektrolysierzelle läuft diecan be seen, the copper deposition can only run after the anode of the electrolysis cell

der Reduktion des in der Ätzlösung vorhandenen Reaktion ab:
öwertigen Chroms an der Kathode einsetzen. Sogar 10
praktisch erschöpfte, d.h., nicht mehr ätzfähige Cr2(SO4)3 + 8H2O
the reduction of the reaction present in the etching solution:
Use δvalent chromium on the cathode. Even 10
practically exhausted, ie no longer etchable Cr 2 (SO 4 ) 3 + 8H 2 O

Chromschwefelsäure-Lösungen enthalten aber selbst- -> 2H2CrO4 + 3H2SO4 + 6H+ + 6e Chromosulfuric acid solutions, however, contain- -> 2H 2 CrO 4 + 3H 2 SO 4 + 6H + + 6e

verständlich noch einen gewissen Anteil Chrom(VI)- ocier understandably a certain amount of chromium (VI) - oc i er

ionen. Außerdem werden an der Anode der Elek- ,. ,ürt _ _ ,.ions. In addition, at the anode of the elec-. , ürt _ _,.

trolysierzelle laufend Chrom(VI)-ionen gebildet. »5 ^Cr++++ /H2O -> Cr2O7 + 14H + be Trolyzing cell chromium (VI) ions are continuously formed. »5 ^ Cr ++++ / H 2 O -> Cr 2 O 7 + 14H + be

Bei der elektrolytischen Behandlung einer an ... ... , T,' , , ,,,,„,.In the electrolytic treatment of an an ... ..., T , ',, ,,,, ",.

Kupfer angereicherten Chromschwefelsäure-Ätzlösung, w?hfnd f die a?. der K&ihods ablaufende Reaktion z. B. mit Kupferkathode und Bleianode, wird daher wie M& formuhert werden kann:Copper-enriched chromic acid etching solution, w ? h f nd f the a ?. the K & ihods running reaction z. B. with copper cathode and anode lead, is therefore such as M & formuher t expectant can en:

zwar an der Anode das 3wertige Chrom zu öwertigem 1AlCr. , «- l5r0 , lcr> the trivalent chromium at the anode becomes ovalent 1AlCr . , «- l5r " 0 , lcr >

Chrom oxydiert, aber an der Kathode wird das 20 *Chromium oxidizes, but at the cathode the 20 *

zurückgebildete 6wertige Chrom wieder zu 3wertigem „ ., . , , ., ,^t- 16-valent chromium that has been formed back to 3-valent ".,." ,,.,, ^ t- 1

Chrom reduziert, so daß im Endeffekt keine Änderung „gs er£lbt, s!ch als Summe der Reaktionen also die der Badzusammensetzung eintritt. Auf Grund der vollige Umkehrung der Atzreaktion:
Normalpotentiale ist eine elektrolytische Regene- ,ΡιΠ , Γ*«ιη\ α. sw n
rierung einer verbrauchten Chromschwefelsäure-Atz- »5 ^1-11^ -r ^r2(SU4J3 -+· 8W2u
lösung unter gleichzeitiger Abscheidung des abge- -»-2H2CrO4 + 6H2SO4 + 3Cu0
Chrome reduced so that in the end no change "gs he £ lbt, s! ch as the sum of the reactions, i.e. that of the bath composition, occurs. Due to the complete reversal of the etching reaction:
Normal potential is an electrolytic regeneration, Ρι , ς Π , Γ * «ιη \ α. sw n
ration of a used chromosulfuric acid etch- »5 ^ 1 - 11 ^ -r ^ r 2 (SU 4 J 3 - + · 8W 2 u
solution with simultaneous deposition of the - »- 2H 2 CrO 4 + 6H 2 SO 4 + 3Cu 0

ätzten Kupfers an der Kathode daher aussichtslos. oder
Selbst wenn die kathodische Stromdichte stark erhöht
etched copper on the cathode is therefore futile. or
Even if the cathodic current density is greatly increased

wird, wird keine Kupferabscheidung an der Kathode 2Cr+++ + 3Cu+ + 7H2Othere is no copper deposition on the cathode 2Cr +++ + 3Cu + + 7H 2 O

ermöglicht. Ebenso führt ein zwischen Kathoden- 30 -^Cr2O7— + 14H+ + 3Cu0 enables. Likewise leads between cathode 30 - ^ Cr 2 O 7 - + 14H + + 3Cu 0

und Anodenraum angeordnetes Diaphragma, das dieand anode compartment arranged diaphragm that the

Abscheidung des Kupfers nach der vollständigen Die Hälfte der beim Ätzen verbrauchten Schwefel-Deposition of the copper after the complete half of the sulfur consumed during the etching

Reduktion des 6wertigen Chroms zu 3wertigem säure wird hierbei an der Anode zurückgebildet. Chrom ermöglichen soll, nicht zum Ziel. Gleichzeitig werden im Anodenraum Wasserstoff-Reduction of the 6-valent chromium to 3-valent acid is formed at the anode. Chromium is supposed to make possible, not the goal. At the same time, hydrogen

An dieser Stelle sei auch auf die Literaturstelle aus 35 ionen gebildet. Diese wandern durch das Diaphragma »Galvanotechnik«, 55, 1964, Nr. 1, S. 42 bis 44, zum Kathodenraum und kompensieren die dort frei »Rückgewinnung von Metall aus Beizen«, hingewiesen. gewordenen Sulfationen. Die beim Ätzen verbrauchte Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, Schwefelsäure wird also zur Hälfte an der Anode, zur ein Verfahren zur Regenerierung der Chromschwefel- anderen Hälfte im Kathodenraum durch die im säure-Ätzlösungen anzugeben, bei dem die beim 40 Anodenraum gebildeten freien Wasserstoffionen und Ätzen verbrauchten Ionen wieder zurückgebildet die im Kathodenraum durch die Kupferabscheidung werden. Hierbei soll auch das von den Isolierstoff- frei werdenden Sulfationen gebildet,
platten abgeätzte Kupfer zurückgewonnen werden. Werden beispielsweise 3 Grammatom Kupfer durch
At this point, the reference is also formed from 35 ions. These migrate through the diaphragm »Galvanotechnik«, 55, 1964, No. 1, pp. 42 to 44, to the cathode compartment and compensate for the free »recovery of metal from pickling«, pointed out there. sulphate ions. The invention is therefore based on the object of providing half of the sulfuric acid at the anode and the other half of the chromium-sulfur in the cathode compartment by means of the acid-etching solutions in which the free hydrogen ions formed in the anode compartment are used and etching, used ions are formed back in the cathode space by the copper deposition. The sulfate ions released by the insulating material should also be formed here,
Copper that has been etched away from the plates can be recovered. For example, 3 gram atoms of copper are made through

Dieses Verfahren soll wirtschaftlich und darüber Ätzen in der Chromschwefelsäure gelöst, dann hinaus auch in großtechnischem Ausmaß leicht 45 werden 6 VaI Wasserstoffionen in der Ätzlösung durchführbar sein. durch Kupfer(II)-ionen ersetzt, d. h., die ÄtzlösungThis process is said to be economical and, above it, to dissolve in the chromosulfuric acid, then etching In addition, even on an industrial scale, 6 VaI hydrogen ions are easily found in the etching solution be feasible. replaced by copper (II) ions, d. i.e., the etching solution

Zur Lösung dieser Aufgabe wird ein Verfahren verarmt durch Ätzen von 3 Grammatom Kupfer an zum Regenerieren einer Chromschwefelsäure-Ätz- 3 Mol Schwefelsäure. Beim Regsnerieren werden im lösung zum Ätzen von Kupfer angegeben, bei dem Anodenraum 1,5 Mol Schwefelsäure zurückgsbildet. erfindungsgemäß im Anodenraum einer mit einem 5° Außerdem entstehen hierbei 3 VaI WasserstDffionen. Diaphragma versehenen Elektrolysierzelle die beim Diese 3 VaI Wasserstoffionen wandern durch das Ätzen anfallenden Chrom(III)-ionen in der Ätzlösung Diaphragma und bilden dort mit der entsprechenden in an sich bekannter Weise anodisch^oxydiert werden Menge Sulfationen die restlichen 1,5 Mol Schwefel- und gleichzeitig die Hälfte der beim Ätzen verbrauch- säure.To solve this problem, a process is depleted by etching 3 gram atoms of copper for the regeneration of a chromosulfuric acid etching 3 mol sulfuric acid. When it rains, the Solution for the etching of copper specified, in the anode compartment 1.5 moles of sulfuric acid regressed. According to the invention, one with a 5 ° in the anode compartment. In addition, 3 VaI water stdffions are produced here. Electrolysis cell equipped with a diaphragm, the 3 VaI hydrogen ions migrate through the Etching chromium (III) ions in the etching solution diaphragm and form there with the corresponding the amount of sulfate ions is anodically oxidized in a manner known per se, the remaining 1.5 moles of sulfur and at the same time half of the acid consumed during etching.

ten Schwefelsäure zurückgebildet wird, das beim 55 Zu Anfang des Ätzverfahrens wird also eine frische Ätzen zweiwertig angefallene Kupfer aus der Ätz- Ätzlösung angesetzt, die Chrom(VI)-oxid und Schwelösung in an sich bekannter Weise durch Einengen feisäure enthält. Diese Ätzlösung wird vorzugsweise und/oder Abkühlen der Ätzlösung als Kupfersulfat im Kreislauf zwischen Ätzgsfäß und Anodenraum entfernt wird, sobald die Konzentration der Kup- der Elektrolysierzelle, gsgsbenenfalls übsr ein Vorfer(II)-ionen in der Ätzlösung etwa 50 bis 60 g/l 60 ratsgefäß, geführt. In den Kathodenraum der gleichen beträgt, daß das auskristallisierte Kupfersulfat in Elektrolysierzelle wird eins wäßrigi Kupforsulfat-Wasser gelöst wird, die Lösung sodann dem Katho- lösung eingefüllt. Außer diesem Ansatz von Lösungsn denraum der mit dem Diaphragma versehenen Elek- sind bei dem erfindungsgemäßen Ätz- und Regsnsrisrtrolysierzelle zugeführt wird und daß aus dieser verfahren keinerlei Chemikalien erforderlich. Im Lösung das Kupfer in metallischer Form an der 65 Anodenraum werden ständig Chrom(VI)-ion2n nachKathode der Elektrolysierzelle abgeschieden und gebildet sowie die Hälfte der beim Ätzen verbrauchten gleichzeitig die zweite Hälfte der beim Ätzen ver- Schwefelsäure. Dar andere Teil der Schwefelsäure brauchten Schwefelsäure zurückgebildet wird. wird im Kathodenraum gebildet. Das abgsätzteWhen the etching process begins, the sulfuric acid becomes fresh Etching bivalent copper from the etching and etching solution, the chromium (VI) oxide and carbonization solution contains in a known manner by concentration fusic acid. This etching solution is preferred and / or cooling the etching solution as copper sulfate in the circuit between the etching vessel and the anode space is removed as soon as the concentration of the copper electrolysis cell, possibly also via a Vorfer (II) ions in the etching solution about 50 to 60 g / l 60 advice vessel out. In the cathode compartment of the same is that the crystallized copper sulfate in the electrolyzer becomes one wäßrigi copper sulfate-water is dissolved, the solution is then poured into the cathodic solution. Besides this approach of solutions The space of the electrodes provided with the diaphragm are in the etching and regeneration cell according to the invention is supplied and that no chemicals are required from this process. in the Solution the copper in metallic form at the 65 anode compartment are constantly chromium (VI) -ion2n after the cathode the electrolysis cell deposited and formed as well as half of that consumed during etching at the same time the second half of the sulfuric acid used during etching. The other part of the sulfuric acid required sulfuric acid is regressed. is formed in the cathode compartment. That seared

5 65 6

Kupfer geht ebenfalls nicht verloren, sondern wird Kupfers aus der Ätzlösung und Bildung frischer nach Auskristallisation aus der kupferreichen Ätz- Ätzlösung wurde Strich Strich verwendet. Für den lösung als Kupfersulfat in metallischer Form an der Teilkreisprozeß der Kupferabscheidung aus dem ausKathode zurückgewonnen. Abwasserprobleme gibt kristallisierten Kupfersulfat ist Strich Punkt Punkt es nicht, denn das anfallende Spülwasser kann bei- 5 Strich verwendet worden.Copper is not lost either, but instead becomes fresher from the etching solution and formation after crystallization from the copper-rich etching-etching solution, line line was used. For the solution as copper sulfate in metallic form in the partial cycle of copper deposition from the cathode recovered. Sewage problems are crystallized copper sulfate is dash point point it is not, because the resulting rinse water can be used on the whole.

spielsweise der Mutterlauge der Kupfersulfatkristal- In die Ätzmaschine 2 wird die Chromschwefel-For example, the mother liquor of the copper sulfate crystal In the etching machine 2, the chromium sulfur

lisation zugesetzt bzw. im Fall der durch Abkühlen säure-Ätzlösung aus etwa 1,5 bis 2,0 Mol Chrom(VI)-erfolgenden Kupfersulfatkristallisation eingeengt wer- oxid und 1,5 bis 2,5 Mol Schwefelsäure pro Liter den. Wird die Regenerierung gleichzeitig während eingebracht, schematisch durch den Pfeil 19 dardes Ätzens vorgenommen, so wie es gemäß der Erfin- i° gestellt, sowie die mit Kupfer belegten Isolierstoffdung insbesondere vorgenommen ist, so bleiben die platten 1. Zur besseren Übersicht ist das auf den Ätzgeschwindigkeiten praktisch konstant. Unter Ätz- Schaltplatten verbleibende Kupfer mit Cw2,, das abgeschwindigkeit wird hierbei das Verhältnis der zuätzende Kupfer mit Cue bezeichnet. Die Ätzlösung Gewichtsabnahme des geätzten Körpers, z. B. der wird während des Ätzens im Kreislauf gehalten. Sie Schaltplatte, zur Ätzdauer verstanden. Die Ätzzeiten 15 wird über die Leitung 20 dem Anodenraum 54 einer beispielsweise beim Ätzen von gedruckten Schal- mit einem Diaphragma 53 versehenen Elektrolysiertungen, die eine Kupferauflage von etwa 35 μπα zelle 5 zugeführt, zwischen dessen Anode 51 und besitzen, liegen um 21J2 Minuten, wenn die Tempera- Kathode 52 eine elektrische Gleichspannung von tür der Ätzlösung zwischen 40unS 50°C gehallen wird. etwa 4 bis 6 Volt liegt, und verläßt den Anodenraum Zweckmäßigerweise wird man bei der Durch- ao 54 über die Leitung 21. Sie tritt dann in eine Kammer führung des erfindungsgemäßen Ätz- und Regenerier- 73 eines Vorratsgefäßes 7 ein und gelangt über die Verfahrens so vorgehen, daß das Ätzen und gegebenen- Leitung 19 wieder zum Ätzgefäß 2. Bei diesem Kreisfalls Regenerieren weitergeführt werden kann, wenn lauf wird in dem Ätzgefäß Kupfer geätzt, wobei die an Kupfer stark angereicherte Ätzlösung der Chrom(VI)-ionen zu Chrom(III)-ionen reduziert wer-Behandlung zur Kupfersulfatkristallisation unter- 25 den und Schwefelsäure verbraucht wird nach der worfen wird. Man wird deshalb zu Beginn des Ver- Gleichung: fahrens den Anteil der herzustellenden Ätzlösunglization is added or, in the case of the acid-etching solution from about 1.5 to 2.0 mol of chromium (VI) -sulting copper sulfate crystallization by cooling, concentrated oxide and 1.5 to 2.5 mol of sulfuric acid per liter. If the regeneration is introduced at the same time, carried out schematically by the arrow 19 dardes etching, as it is set according to the invention, and the copper-coated insulating material is carried out in particular, the plates 1 remain. For a better overview, this is on the Etching speeds practically constant. Copper remaining under etching circuit boards with Cw 2 ,, the downward speed is referred to here as the ratio of the copper to be etched with Cu e . The etching solution decreases the weight of the etched body, e.g. B. is kept in circulation during the etching. You circuit board, understood about the etching duration. The etching times 15 are transmitted via the line 20 to the anode compartment 54 of an electrolyzation, which is provided with a diaphragm 53 for example when etching printed circuit boards and which have a copper layer of about 35 μπα cell 5, between its anode 51 and, are around 2 1 J 2 Minutes when the temperature cathode 52 receives an electrical direct voltage from the etching solution between 40 and 50 ° C. is about 4 to 6 volts, and leaves the anode compartment. Expediently, at the passage 54 via the line 21. It then enters a chamber guide of the etching and regeneration 73 of a storage vessel 7 according to the invention and arrives in this way via the method proceed that the etching and given line 19 back to the etching vessel 2. In this case, regeneration can be continued when copper is etched in the etching vessel, whereby the highly enriched copper etching solution of the chromium (VI) ions to chromium (III ) ions are reduced by treatment for copper sulphate crystallization and sulfuric acid is consumed after throwing. Therefore, at the beginning of the equation: drive the proportion of the etching solution to be produced

zweckmäßigerweise so wählen, daß er der 3fachen 2H2CrO4 + 3Cu0 + 6H2SO4 expediently choose so that it is 3 times the 2H 2 CrO 4 + 3Cu 0 + 6H 2 SO 4

Menge der jeweils in dem Ätzgefäß einzusetzenden . n/cn \ 1 1 η,,υη _i_ 0 τι Amount of each to be used in the etching vessel. n " / cn \ 1 1 η ,, υη _i_ 0 τι

Atzlosung entspricht. Ebenso wird man auch fur die 30Etching solution corresponds. Likewise, for the 30th

in den Kathcdenraum einzuführende Kupfersulfat- Im Anodenraum 54 werden Chrom(III)-ionen wiederCopper sulfate ions to be introduced into the cathode space In the anode space 54, chromium (III) ions are restored

lösung zweckmaßigerweise den 3fachen Ansatz wählen. zu Chrom(VI)-ionen auf oxydiert und die Hälfte der Ein Drittel der hergestellten Atzlosung wird hierbei beim Ätzen verbrauchten Schwefelsäure zurückim ersten Ted des Arbeitszyklus zum Atzen ver- gebildet nach der Gleichung: wendet und zur gleichzeitigen Regenerierung im 35solution expediently choose the 3-fold approach. is oxidized to chromium (VI) ions and half of the one third of the etching solution produced is formed back in the first part of the etching work cycle according to the equation: turn and for simultaneous regeneration in the 35th

Kreislauf zwischen Ätzgefäß und Anodenraum der Cr2(SO4)3 + 8 H2OCircuit between the etching vessel and the anode compartment of the Cr 2 (SO 4 ) 3 + 8 H 2 O

mit einem Diaphragma versehenen Elektrolysierzelle rrer» /cungeführt. Im Kathodenraum befindet sich ebenfalls -^2H2CrO4 + 3H2JsO4 + 6Jd + 6eElectrolysis cell provided with a diaphragm. In the cathode compartment there is also - ^ 2H 2 CrO 4 + 3H 2 JsO 4 + 6Jd + 6e

nur ein Drittel der hergestellten Kupfersulfatlösung.only a third of the copper sulfate solution produced.

Wenn ci;se Ätzlösung zum Auskristallisieren des 40 Die gleichzeitig im Anodenraum 54 entstandenen Kupfersulfats eingeengt wird (zweiter Teil des Arbeits- Wasserstoffionen wandern durch das Diaphragma 53 zyklus), wird mit dem zweiten Drittel der hergestellten zur Kathode 52.If this etching solution is used to crystallize out the 40 die that has arisen at the same time in the anode space 54 Copper sulfate is concentrated (second part of the working hydrogen ions migrate through the diaphragm 53 cycle), with the second third of the produced cathode 52.

Ätzlösung geätzt. Im dritten Teil des Arbeitszyklus Im Kathodenraum 55 lauft die Reaktion ab:Etching solution etched. In the third part of the working cycle, the reaction takes place in the cathode compartment 55:

(Reinigung des Kupfersulfats und Herstellung der(Purification of the copper sulphate and manufacture of the

Kupfersulfatlösung) dient dann das dritte Drittel der 45 3CuSO4 + 6e -> 3Cu0 + 3SO4 Copper sulfate solution) then serves the third third of the 45 3CuSO 4 + 6e -> 3Cu 0 + 3SO 4

hergestellten Ätzlösung zum Ätzen des Kupfers. Ausprepared etching solution for etching the copper. the end

dem ersten Drittel hat sich währenddessen das Kupfer- Aus den frei gewordenen Sulfationen und den durch sulfat abgesetzt. Dieses, wird beispielsweise im dritten das Diaphragma 53 gewanderten Wasserstoffionen Teil des Arbeitszyklus von der Mutterlauge befreit, wird die andere Hälfte der beim Ätzen verbrauchten gewaschen, im Wasser gelöst und kann als Kupfer- 50 Schwefelsäure gebildet.the first third has meanwhile the copper from the sulfate ions released and the through sulfate settled. This is, for example, in the third the diaphragm 53 migrated hydrogen ions Part of the working cycle is freed from the mother liquor, the other half is that used in the etching washed, dissolved in water and can be formed as copper 50 sulfuric acid.

sulfatlösung zu Beginn des nächsten Arbeitszyklus Wenn der erste Arbeitstag vorbei und die Kupfer-sulfate solution at the beginning of the next working cycle When the first working day is over and the copper

dem Kathodenraum der Elektrolysierzelle zur Ab- konzentration in der Ätzlösung auf etwa 50 bis 60 g/l Scheidung des Kupfers zugeführt werden. Aus der angestiegen ist, wird diese Ätzlösung über die Leitung Mutterlauge der Kupfersulfatkristallisation und der 25 dem Verdampfergefäß 8 zugeführt. In diesem an Kupfer verarmten Kathodenraumflüssigkeit wird 55 Gefäß 8 wird am zweiten Tag die Lösung beispielsjeweils, gegebenenfalls unter Zugäbe oder Wegnahme weise auf ein Viertel des Ausgangsvolumens eingevon Wasser, frische Ätzlösung bereitet. dampft und über Nacht stehengelassen. Während desbe fed to the cathode compartment of the electrolysis cell to reduce the concentration in the etching solution to about 50 to 60 g / l separation of the copper. From which has risen, this etching solution is fed via the mother liquor line to the copper sulfate crystallization and the 25 to the evaporator vessel 8. In this copper-depleted cathode space liquid, the solution is prepared on the second day, for example , fresh etching solution, optionally with additions or removal, to a quarter of the initial volume with water. steamed and left to stand overnight. During the

Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird ein zweiten Tages wird mit der Ätzlösung aus der Kambevorzugtes Ausführungsbeispiel an Hand der Figur mer 72 des Vorratsgefäßes 7 geätzt (die gleichzeitig beschrieben, die für Fabrikbetrieb schematisch das 60 während des Ätzens im Anodenraum 54 regeneriert bevorzugte Verfahren des nebeneinander ablaufenden wird). Am dritten Tag, an dem mit der Ätzlösung aus Ätzens, Regenerierens und Kupferabscheidens dar- der Kammer 71 geätzt wird, wird das auskristallisierte stellt, am Beispiel des Ätzens von gedruckten Schal- Kupfersulfat CuSO4 -5H2O, schematisch mit 10 tungen. Hierbei sind die einzelnen Kreisläufe durch bezeichnet, durch Umkristallisation gereinigt (Kamunterschiedliche schematische Leitungsschraffur dar- 65 mer 11) und das gereinigte Kupfersulfat in Wasser gestellt. Der Kreislauf Ätzgefäß—Anodenraum der gelöst (Kammer 12). Diese Lösung wird, schematisch Regenerieranlage ist durch Strich Punkt Strich ange- durch die Leitung 34 angedeutet, dem Kathodengeben. Für den Kreislauf zur Abreicherung des raum 55 der Elektrolysierzelle 5 zugeführt. Hier wirdTo further explain the invention, a second day is etched with the etching solution from the chamber preferred embodiment using the figure 72 of the storage vessel 7 (which is described at the same time, the 60 during the etching in the anode compartment 54 is regenerated schematically for factory operation preferred method of the side by side will). On the third day, on which the chamber 71 is etched with the etching solution from etching, regeneration and copper deposition, the crystallized image is, using the example of the etching of printed copper sulfate CuSO 4 -5H 2 O, schematically with 10 lines. Here, the individual circuits are denoted by, purified by recrystallization (different schematic line hatching in Fig. 11) and the purified copper sulfate is placed in water. The etching vessel-anode chamber cycle is released (chamber 12). This solution is given to the cathode, schematically indicated by a dashed line, a dashed line, a regeneration system. For the circuit for the depletion of the space 55 of the electrolysis cell 5 is supplied. Here will

aus dieser Lösung am vierten Tag das Kupfer an der Kathode 52 abgeschieden, das als Cue6 an der Kathode 52 gewonnen wird. Nach dem Abscheiden des Kupfers wird die Kathodenraumfiüssigkeit, die gegebenenfalls mit Wasser verdünnt oder durch Verdampfen eingeengt wird, zusammen mit der Mutterlauge der Kupfersulfatkristallisation über die Leitung 26 wieder der Kammer 73 des Vorratsgefäßes 7 zugeführt.from this solution on the fourth day the copper is deposited on the cathode 52, which is obtained as Cu e 6 on the cathode 52. After the copper has been deposited, the cathode space liquid, which is optionally diluted with water or concentrated by evaporation, is returned to the chamber 73 of the storage vessel 7 via the line 26 together with the mother liquor from the copper sulfate crystallization.

Die gedruckten Schaltungen werden nach dem Verlassen des Ätzgefäßes 2 gespült. Als Cup 4 treten sie aus dem Arbeitskreis aus. Das Spülwasser aus der Kammer 3 wird gegebenenfalls über die Leitung 37 der an Kupfer verarmten Kathodenraumfiüssigkeit 13 (und damit der zu bereitenden neuen Ätzlösung) zugeführt. Wenn erforderlich, kann diese Flüssigkeit 13 jedoch eingeengt werden. Das hierbei abdampfende Wasser wird in einem Behälter 9 gesammelt (angedeutet durch den Pfeil 38). Ebenso wird in diesem Behälter 9 das beim Einengen _ im Kristallisator 8 der an Kupfer angereicherten Ätzlösung austretende Wasser aufgenommen (Pfeil 27). Es steht dann beispielsweise zum Spülen der geätzten Platten, schematisch durch den Pfeil 36 angedeutet, bzw. zum Herstellen der Kupfersulfatlösung 12, schematisch durch den Pfeil 33 angedeutet, zur Verfügung sowie zur Reinigung des auskristallisierten Kupfersulfats 11, schematisiert durch den Pfeil 30.The printed circuits are rinsed after leaving the etching vessel 2. As Cu p 4 they leave the working group. The rinsing water from the chamber 3 is optionally fed via the line 37 to the copper-depleted cathode space liquid 13 (and thus to the new etching solution to be prepared). If necessary, however, this liquid 13 can be concentrated. The water evaporating in the process is collected in a container 9 (indicated by the arrow 38). Likewise, the water which escapes when the copper-enriched etching solution is concentrated in the crystallizer 8 is taken up in this container 9 (arrow 27). It is then available, for example, for rinsing the etched plates, indicated schematically by the arrow 36, or for producing the copper sulphate solution 12, indicated schematically by the arrow 33, and for cleaning the crystallized copper sulphate 11, shown schematically by the arrow 30.

Claims (3)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Verfahren zum Regenerieren einer Chromschwefelsäure-Ätzlösung zum Ätzen von Kupfer, dadurch gekennzeichnet, daß im Anodenraum einer mit einem Diaphragma versehenen Elektrolysierzelle die beim Ätzen anfallenden Chrom(III)-ionen in der Ätzlösung in an sich bekannter Weise anodisch oxydiert werden und gleichzeitig die Hälfte der beim Ätzen verbrauchten Schwefelsäure zurückgebildet wird, das beim Ätzen zweiwertig angefallene Kupfer aus der Ätzlösung in an sich bekannter Weise durch Einengen und/oder Abkühlen der Ätzlösung als Kupfersulfat entfernt wird, sobald die Konzentration der Kupfer(II)-ionen in der Ätzlösung etwa 50 bis 60 g/l beträgt, daß das auskristallisierte Kupfersulfat in Wasser gelöst wird, die Lösung sodann dem Kathodenraum der mit dem Diaphragma versehenen Elektrolysierzelle zugeführt wird und daß aus dieser Lösung das Kupfer in metallischer Form an der Kathode der Elektrolysierzelle abgeschieden und gleichzeitig die zweite Hälfte der beim Ätzen verbrauchten Schwefelsäure zurückgebildet wird.1. Process for regenerating a chromic acid etching solution for etching copper, characterized in that one provided with a diaphragm in the anode compartment Electrolysis cell the chromium (III) ions in the etching solution that occur during etching are known to be anodically oxidized and at the same time half of that consumed during etching Sulfuric acid is re-formed, the divalent copper that is obtained during etching is removed the etching solution in a manner known per se by concentrating and / or cooling the etching solution as Copper sulfate is removed as soon as the concentration of copper (II) ions in the etching solution about 50 to 60 g / l is that the crystallized copper sulfate is dissolved in water, the solution then fed to the cathode compartment of the electrolysis cell provided with the diaphragm and that from this solution the copper in metallic form at the cathode of the electrolysis cell deposited and at the same time the second half of the sulfuric acid consumed during the etching is regressed. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß aus der Mutterlauge der Kupfersulfatkristallisation und der nach dem Abscheiden des Kupfers übrigbleibenden Kathodenraumfiüssigkeit, gegebenenfalls unter Zugabe oder Wegnahme von Wasser, wieder Ätzlösung gebildet wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the copper sulfate crystallization from the mother liquor and the cathode space liquid remaining after the copper has been deposited, optionally with the addition or removal of water, etching solution is formed again. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Ätzen und Regenerieren sowie die Kupferabscheidung gleichzeitig durchgeführt werden.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that etching and regeneration and the copper deposition can be carried out at the same time. Hierzu 1 Blatt Zeichnungen COPY1 sheet of COPY drawings 009508/174009508/174
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