DE1521247C3

DE1521247C3 - Vakuumbedampfungseinrichking mit einem lonenstrommeßfiihler zur Regelung der Verdampfungsgeschwindigkeit

Info

Publication number: DE1521247C3
Application number: DE19661521247
Authority: DE
Inventors: Atsushi Dipl.-Ing. Kawasaki Aritomo (Japan)
Original assignee: FUJITSU Ltd COMMUNICATIONS AND ELECTRONICS TOKIO
Current assignee: FUJITSU Ltd COMMUNICATIONS AND ELECTRONICS TOKIO
Priority date: 1965-03-10
Filing date: 1966-01-24
Publication date: 1975-04-30
Also published as: DE1521247A1; DE1521247B2

Description

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

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dampfungsquelle liegt, ist eine Ablenkeinrichtung anPatentanspruch: geordnet, die aus zwei Dauermagneten besteht, die

mit entgegengesetzten Polen einander gegenüberste-

Vakuumbedampfungseinrichtung mit einer hen. Das dadurch erzeugte magnetische Feld lenkt durch einen Elektronenstrahl beheizten Ver- 5 die störenden Sekundärelektronen ab, so daß diese dampfungsquelle und einem Ionenstrommeßfüh- nicht zur Eingangsöffnung des Ionenstrommeßfühler zur Regelung der Verdampfungsgeschwindig- Iers gelangen können.

keit, dadurch gekennzeichnet, daß vor Im folgenden wird die Erfindung an Hand einer

einer Eintrittsöffnung des Ionenstrommeßfühlers Zeichnung mit zwei Figuren näher erläutert.
(4) eine Ablenkmagnetanordnung (3) für Sekun- io F i g. 1 zeigt in schematischer Darstellung die Eindärelektronen (11) und Restgasionen (12) ange- zelheiten einer Vakuumbedampfungseinrichtung bracht ist. nach der Erfindung, in

F i g. 2 ist der Ablenkmagnet dargestellt.
In F i g. 1 ist eine Verdampfungsquelle 1, ein Zeri5 hacker 2, eine Ablenkmagnetanordnung 3 und ein

Ionenstrommeßfühler 4 längs eines Weges angeordnet. Die Verdampfungsquelle 1 wird von einem Elektronenstrahl 5 erhitzt. Ein Teil des dabei entstehenden Dampfes 6 wird über eine Durchgangsöffnung 7

Die Erfindung bezieht sich auf- eine Vakuumbe- 20 der Ablenkmagnetanordnung 3 zum Ionenstrommeßdampfungseinrichtung mit einem Meßfühler zur fühler 4 geführt. Der gemessene Ionenstrom entÜberwachung des Ionenstroms. Der Meßfühler ist spricht einem bestimmten Dampfdruck und bildet ein Teil eines Regelkreises zur Regelung der Verdamp- Maß für die Verdampfungsgeschwindigkeit. Durch fungsgeschwindigkeit. die Ablenkmagnetanordnung 3 werden die durch die

Bei einer Vakuumbedampfungseinrichtung mit Re- 25 Elektroneneinstrahlung in die Verdampfungsqüelle 1 gelung der Verdampfungsgeschwindigkeit ist ein ausgelösten Sekundärelektrdnen 11 und die aus dem Ionenstrommeßfühler bekannt, bei dem der gerich- Restgas innerhalb des Vakuumbehälters entstandetete Dampfstrahl des Bedampfungsmaterials als nen Ionen 12 abgelenkt, so daß zum Ionenstrom-Ionenstrom gemessen wird und die Stärke des Ionen- meßfühler 4 nur der Dampf 13 gelangt. Der Abstand Stroms als Maß für den Dampfdruck dient. 30 zwischen dem Ionenstrommeßfühler 4 und der Ab-

Bei einem derartigen Ionenstrommeßfühler wer- Ienkmagnetanordnung 3 muß so gewählt werden, daß den, um die Ionen des Dampf Strahls von den im Va-' durch das magnetische Feld die Sekundärelektronen kuum vorhandenen Restgasionen zu trennen, die ge- und Restgasionen vollständig abgelenkt werden und richteten Ionen des Dampfstrahls mit Hilfe eines nicht in die Dampfeintrittsöffnung des Ionenstrom-Zerhackers in einen Ionenwechselstrom umgewan- 35 meßfühlers gelangen können. Berechnungen und delt. Nur der Wechsel anteil des Ionenstroms wird ge- Versuche haben ergeben, daß der Abstand zwischen messen. Ladungsträger, die die gleiche Richtung wie Ionenstrommeßfühler und Ablenkmagnetpol mindedie Ionen des Dampfstrahls haben, ergeben als Stör- stens 10 mm betragen soll, wenn die Beschleunigungspegel einen beachtlichen Fehler für das Meßergebnis, spannung des Elektronenstrahls zwischen 5 und Das störende Rauschen, das den größten Einfluß hat, 40 10 kV liegt und der Abstand zwischen den Magnetwird vor allem durch Sekundärelektronen hervorge- polen 10 mm sowie die magnetische Induktion im rufen, die bei der Erhitzung der Verdampfungsquelle Luftspalt oberhalb von 2000 Gauss liegt. Der Störpedurch Elektronenstrahlen aus der Quelle ausgelöst gel kann dadurch gegenüber dem Nutzsignal um werden. mehr als 40 db abgesenkt werden.

Um ein Eindringen des auf der ausgelösten Stör- 45 In F i g. 2 ist die Ablenkmagnetanordnung 3 dargestrahlung beruhenden Rauschens in das Nutzsignal stellt, wobei die F i g. 2 a ein Schnittbild und die zu vermeiden, wird bei einer Vakuumbedampfungs- Fig. 2b die Draufsicht darstellt. Zwei Dauermaeinrichtung mit einer durch einen Elektronenstrahl gnete 8 und 9 sind mit ihren entgegengesetzten Polen beheizten Verdampfungsquelle und einem Ionen- einander gegenüberliegend angeordnet. Ihre Umgestrommeßfühler zur Regelung der Verdampfungsge- 5° bung ist zur Vermeidung jeglichen Einflusses des schwindigkeit gemäß der Erfindung vor einer Ein- magnetischen Streufeldes auf den Ionenstrommeßtrittsöffnung des Ionenstrommeßfühlers eine Ablenk- fühler durch eine Ummantelung 10 aus einem mamagnetanordnung für Sekundärelektronen und Rest- gnetischen Material abgedeckt. Eine Durchbrechung gasionen angebracht. dieser Ummantelung ist nur auf einem Teil der ein-

An einer Stelle, die zwischen der Dampfeintritts- 55 ander gegenüberstehenden Pole und an der Durchöffnung des Ionenstrommeßfühlers und der Ver- gangsöffnung 7 für den Dampf vorgesehen.