DE1499624C3 - Vorrichtung zur Hochgeschwindigkeitsspeicherung mit sehr hoher Speicherdichte und zur Abtastung der Speicherdaten - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Hochgeschwindigkeitsspeicherung mit sehr hoher Speicherdichte und zur Abtastung der Speicherdaten unter Verwendung eines im Wege eines Energiestrahls liegenden Aufzeichnungsträgers, mit Fokussieranordnungen für den Energiestrahl, wobei der Energiestrahl in Abhängigkeit von der aufzuzeichnenden Information eine gegebenenfalls auf dem Schichtträger aufgebrachte Speicherschicht an den vom Stahl getroffenen Stellen auflöst.

Eine solche Vorrichtung ist als älteres Recht bekannt aus der DT-AS 12 77 344. Bei dieser bekannten Vor-. richtung ist ein Schichtträger aus einem sehr hochschmelzenden Material mit hohem Reflexionsvermögen vorgesehen, der bevorzugt eine polierte Oberfläche aufweist und auf welchem sich ein niedrigschmelzendes Material als Speicherschicht befindet. Zum Aufzeichnen einer Information wird auf die auf dem Träger befindliche Speicherschicht ein Energiestrahl, nämlich ein Lichtstrahl gerichtet, der in Abhängigkeit zur aufzuzeichnenden Information abgelenkt und derart in seiner Strahlbreite und gegebenenfalls in seiner Intensität geändert wird, daß der Schichttträger an den vom Energiestrahl getroffenen Stellen völlig freigelegt wird. Das bedeutet mit anderen Worten, daß die Information in der sich ändernden Breite der Informationsritzung der Speicherschicht liegt, indem eben die Strahlbreite in Abhängigkeit zur aufzuzeichnenden Information moduliert wird. Die Aufzeichnung erfolgt in analoger Form, wie auch nicht anders möglich, und die Abtastung erfolgt dadurch, daß ein Lichtstrahl auf die Informationsritzung oder genauer gesagt, auf den hochpolierten, freigelegten Schichtträger geworfen wird, der dann je nach Breite der Ritzspur mehr oder weniger Licht reflektiert. Das reflektierte Licht wird dann integral von einer Photozelle aufgefangen und ein Photozellenstrom entsprechend der Spaltbreitenmodulation der Informationsritzung abgegeben.

Nachteilig ist hierbei, daß die Speicherschicht notwendigerweise aus einem relativ weichen, thermoplastischen Material besteht, beispielsweise Paraffin, was die Langzeitlagerung der Information beeinträchtigen könnte; außerdem ist wegen der Amplitudenmodulation und des sehr breiten, modulierten Energiestrahls nur eine geringe Speicherdichte pro Flächeneinheit des Informationsträgers erzielbar.

Praktisch identisch mit dieser bekannten Vorrichtung ist ein thermoplastisches Speicherelement, das mittels eines Elektronenstrahls zur Aufzeichnung oder Wiedergabe von Signalinformationen abgetastet wird, und welches bekannt ist aus der DT-AS 11 84 802. Unterschiedlich zur soeben genannten Vorrichtung nach der DT-AS 12 77 344 ist lediglich, daß hier die Informationsritzung auch noch als Höhenmodulation durchgeführt wird, d. h. zur ausschließlich analogen Speicherung wird die aus thermoplastischem Material bestehende Speicherschicht mehr oder weniger stark in ih-

rer Tiefe beeinflußt, so daß sich zur Bildung der Aufzeichnung eine Reihe von Hügeln und Tälern ergibt. Als wesentlich wird bei diesem System die Anordnung einer außerordentlich dünnen, vorzugsweise aufgedampften Metallschicht auf der Speicherschicht angesehen, da es auf diese Weise gelingt, eine Ablenkung des aufzeichnenden Elektronenstrahls durch Oberflächenladungen zu verhindern.

Schließlich ist aus der GB-PS 6 85 758 noch eine Vorrichtung zur analogen Speicherung von Daten bekanntgeworden, bei welcher auf den Aufzeichnungsträger eine amplitudenmodulierte Spur gelegt wird. Dies geschieht dadurch, daß auf eine vorgewärmte Wachsoberfläche ein Strahl infraroter Energie geworfen und diese daher geschmolzen wird. Im Grunde handelt es sich hier um einen üblichen Lichtschrieb, wobei lediglich ein Infrarotstrahl und eine hierauf empfindlich reagierende Wachsschicht verwendet wird. Wegen des beträchtlichen Durchmessers des in sämtlichen bekannten Anordnungen verwendeten Energiestrahls, ist die Erzielung einer an den heutigen Ansprüchen orientierten Speicherdichte nicht möglich.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Hochgeschwindigkeitsspeicherung und Auslegung der Speicherdaten zu schaffen, die über eine extrem hohe Speicherkapazität pro Flächeneinheit des verwendeten Speichermaterials verfügt und eine Langzeitlagerung der gespeicherten Informationen erlaubt, ohne daß es zu einer Verschlechterung oder Veränderung kommt; gleichzeitig soll die vorliegende Erfindung die Auslesung der gespeicherten Daten beträchtlich vereinfachen.

Zur Lösung dieser Aufgabe geht die Erfindung aus von der eingangs genannten Vorrichtung und besteht erfindungsgemäß darin, daß zur Aufzeichnung der eine Dicke von 1 bis 5 Micron aufweisende Energiestrahl in seiner Energiedichte so bemessen ist, daß diskrete Löcher in binärer Codierung in die Speicherschicht gebohrt werden und daß zur Abtastung ein die physikalischen Eigenschaften der Speicherschicht nicht verändernder Energiestrahl geringerer Energie vorgesehen ist, wobei dem Strahl geringerer Energie ein Sensor und den Sensor steuernde Regelorgane zur Anzeige von Veränderungen in der Speicherschicht zugeordnet sind.

Die vorliegende Erfindung erleichtert die Hochgeschwindigkeitsspeicherung von Daten mit hoher Speicherdichte und ihre Auslesung beträchtlich, denn durch die binäre Codierung, bei welcher Teilbereiche des Aufzeichnungsträgers körperlich physikalisch entfernt werden, so daß in diesem Löcher entstehen, gelingt die Speicherung von praktisch nicht mehr zerstörbaren Informationen, außerdem erfolgt die Erzeugung der Löcher in der Speicherschicht mit Hilfe eines eine so geringe Dicke aufweisenden Energiestrahls, daß mit hoher Packungsdichte gespeichert werden kann.

Besonders vorteilhaft ist auch, daß zum Auslesen oder Abtasten der gewonnenen Speicherdaten praktisch der gleiche Energiestrahl, lediglich in entsprechend abgeschwächter Form verwendet werden kann, wobei dann der Energiestrahl durch die Löcher in der Speicherschicht unmittelbar auf den sich unterhalb der Speicherschicht befindenden und die ausgelesenen Daten erfassenden und weiterverarbeitenden Sensor fällt.

Die Aufzeichnungs-, Zugriffs- und Lesezeiten sind bei vorliegender Erfindung extrem kurz und durch die nicht mehr veränderbare, physikalische Beeinflussung der Speicherschicht, die im übrigen bevorzugt ein metallischer Film ist, ist, wie schon erwähnt, eine praktisch unendlich lange Aufbewahrung der gespeicherten Daten möglich.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche und in diesen niedergelegt.

Im folgenden werden Aufbau und Wirkungsweise von Ausführungsbeispielen vorliegender Erfindung an Hand der Figuren im einzelnen näher erläutert. Dabei zeigt

F i g. 1 einen Schnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel in schematischer Darstellung mit einer dünnen, filmähnlichen Karte und einem Strahl hoher Energie im Vakuum,

F i g. 2 einen Schnitt durch ein der F i g. 1 ähnliches Ausführungsbeispiel mit einem Bandspeicher,

F i g. 3 einen Schnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem sich der Aufzeichnungsträger außerhalb der Elektronenquelle befindet,

F i g. 4 einen Schnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem ein erster Energiestrahl zur Aufzeichnung und ein Elektronenstrahl niederer Energie zum Lesen verwendet wird,

F i g. 5 einen Schnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel und

F i g. 6 eine perspektivische Ansicht eines Aufzeichnungsträgers, wie er bei der Ausführungsform der F i g. 5 verwendet wird.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß F i g. 1 ist eine Glockenkammer 10 mit einer abnehmbaren, jedoch dicht anliegenden Bodenplatte 12 vorgesehen, so daß die Glockenkammer 10 evakuiert werden kann. An sie ist eine Vakuumquelle 14 bei 13 angeschlossen. Eine Elektronenquelle 16 kann sowohl Elektronen hoher als auch niederer Energie emittieren und weist außerdem geeignete Elemente zur Kontrolle und zur Ausbildung eines Elektronenstrahles auf, beispielsweise Ablenk- und Fokussierplatten, Spulen u.dgl., die nicht dargestellt sind, da sie bei Elektronenmikroskopen sowie bei Vorrichtungen zum elektronischen Bohren u. dgl. üblich und bekannt sind; mit 18 ist eine Elektronenstrahlsteuerung bezeichnet. Als Aufzeichnungsträger 20 ist in Form eines Filmspeicherelements eine Karte mit ungefähr 5 cm Länge dargestellt; ein Empfänger in Form eines Sensors 22 sowie eine die Daten ausgebende und den Sensor steuernde Vorrichtung 24 vervollständigen die Einrichtung.

Die Wirkungsweise des geschilderten Systems ist derart, daß die Strahlungsquelle hoher Energie mit Hilfe der nicht dargestellten Elemente einen fokussierten und beschleunigten Elektronenstrahl geringen Querschnitts und hoher Energie abgibt, der auf den Aufzeichnungsträger 20 gerichtet ist und auf diesen auftrifft. Die Elektronenstrahlsteuerung 18 führt in der geeigneten Reihenfolge den Elektronenstrahl auf die gewünschten Teilstücke des Aufzeichnungsträgers 20, und der Elektronenstrahl hoher Energie bohrt in dieses kartenförmige, dünne Filmspeicherelement ein Loch. Entsprechend der auf dem Aufzeichnungsträger oder der Speicherschicht zu speichernden Information wird eine Folge von Löchern aufgezeichnet.

Zum Lesen der gespeicherten Informationen wird die Beschleunigungsspannung für den Elektronenstrahl herabgesetzt, so daß Elektronen verhältnismäßig niedriger Energie emittiert und zu einem ebensolchen dünnen Strahl fokussiert werden. Dann tastet dieser Strahl über das kartenförmige Filmspeicherelement, und zwar im selben Muster wie bei der Aufzeichnung, und immer dort, wo beim Aufzeichnen ein Loch gebohrt worden

war, treffen die Elektronen niederer Energie auf den Sensor 22 auf, so daß mittels der Ausgabevorrichtung 24 eine Anzeige erfolgt. Diese kar.n dann in bekannter Weise weiter verwendet werden.

Die Elektronenquelle 16 kann von jedem konventionellen Typ sein, beispielsweise kann es eine üblicherweise bei Kathodenstrahlröhren verwendete Elektronenquelle sein. Die der Strahlbildung dienenden Bauelemente sowie deren zugehörige Schaltung können von der Art sein, wie sie bei Elektronenmikroskopen bekannt sind, wobei die üblichen Prinzipien der Elektronenoptik ebenso angewandt werden können. Die nicht dargestellte Dichtung zwischen der Bodenplatte 12 und der Glockenkammer 10 ist so ausgebildet, daß ein Vakuum in der Größenordnung zwischen 10-⁴ und 10~⁷ mm Hg mittels einer üblichen Vakuumpumpe aufrechterhalten werden kann. Die Glockenkammer 10 kann aber auch mit einem inerten Gas gefüllt werden, wenn dies bei einigen Anwendungen wünschenswert ist. Der kartenförmige Aufzeichnungsträger 20 ist ein dünner Metallfilm, beispielsweise aus Stahl, Aluminium oder einer Legierung mit geeignet niederer Wärmeleitfähigkeit und einem niederen Temperatürausdehnungskoeffizienten. Die Dicke des Filmspeicherelementes, das normalerweise selbsttragend ist, kann zwischen 0,025 und 0,125 mm betragen. Die genaue Dicke hängt von den Teilchen oder der Strahlung ab, die zum Bohren der Löcher benutzt werden, da das Filmspeicherelement dick genug sein muß, um den Strahl oder die Strahlung zu bremsen oder zu absorbieren, damit überhaupt eine Bearbeitung des Werkstoffes stattfindet. Der Empfänger oder Sensor 22 kann eine Sekundäremissionsvorrichtung, wie ein Elektronenmultiplier sein, der selbst das Auftreffen einiger weniger Elektronen noch anzeigt. Die Elektronenstrahlsteuerung 18 und die Ausgabevorrichtung 24 enthalten die Schaltungen zum Abtasten, Ablenken und Steuern des Elektronenstrahls.

Bei dem in F i g. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der die Form eines kartenförmigen Filmspeicherelements aufweisende Aufzeichnungsträger 20 durch ein Speicherband ersetzt. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist ein endloses Band 20' über Walzen 26, 28 und 30 geführt, und es wird durch einen nicht dargestellten üblichen Antrieb angetrieben. Das Band kann aus einem geeigneten Kunststoff wie durchsichtiger Polyester sein und trägt einen dünnen metallischen Film, dessen Dicke in der Größenordnung eines Mikrons liegt. Die Elektronen hoher Energie der Elektronenquelle 16 bohren dann Löcher in den metallischen Film, die später durch den Sensor 22 mit Hilfe eines Elektronenstrahles niederer Energie abgetastet werden.

Bei einem Ausführungsbeispiel gemäß F i g. 3 ist eine Lenard-Röhre verwendet worden. Diese Röhre gleicht einer üblichen Kathodenstrahlröhre mit einer Elektronenquelle 16', die zur Aufrechterhaltung eines Vakuums in der Röhre eingeschmolzen ist. An der Stirnplatte der Röhre ist ein Fenster 34 vorgesehen, das jedoch dünn genug sein muß, um einen Durchgang von Elektronenzuzulassen. Andererseits muß es so dick sein, daß das notwendige Vakuum innerhalb der Röhre aufrechterhalten wird. Ein geeignetes Material für ein derartiges Fenster ist beispielsweise Titan. Wenn die Elektronen des Elektronenstrahls eine genügende Geschwindigkeit aufweisen, so ist die Schwächung des Elektronenstrahls durch das Fenster 34 vernachlässigbar und das Band 20' kann ebenso wie der kartenförmige Aufzeichnungsträger 20 durchbohrt werden.

Die Steuerung dieser Einrichtung gleicht derjenigen des in F i g. 1 dargestellten Ausführungsbeispiels und auch die Wirkungsweise ist weitgehend die gleiche. Es kann jedoch bei diesem Ausführungsbeispiel erwünscht sein, zum Abtasten des Speicherelementes eine besondere Elektronenquelle zu benutzen.

Bei dem in F i g. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird eine abgewandelte Glockenkammer 10' verwendet. Eine Strahlungsquelle 36, beispielsweise eine Röntgenstrahlquelle, wird dazu verwendet, Informationen auf einen Bandspeicher 20" an der Stelle 38 aufzuzeichnen. Der Bandspeicher 20" ist über Walzen 26', 28' und 30' geführt, die in üblicher Weise angetrieben sind. Mit Hilfe einer Vakuumquelle 14' wird ein geeignetes Vakuum innerhalb der Glockenkammer aufrechterhalten. In einem anderen Teil dieser Glockenkammer ist eine Elektronenquelle 16" niederer Energie vorgesehen, und mit ihr fluchtet ein Empfänger oder Sensor 22". Die bei 38 aufgebrachte Information kann daher bei 40 durch den Elektronenstrahl niederer Energie und den Empfänger 22" gelesen werden. Geeignete Steuerschaltungen bekannter Art sind bei 18", 24" und 42 vorgesehen.

Die zur zeit bekannten Elektronenstrahl-, Schneid- und Bohrgeräte oder Vorrichtungen auf der Basis des Elektronenmikroskopprinzips, die als Quelle für den dünnen Hochgeschwindigkeitselektronenstrom verwendet werden können, sind in der Lage, in einen Film mit 3 bis 10 Mikron Dicke ein Loch mit einem Durchmesser in der Größenordnung zwischen 1 und 5 Mikron zu bohren, und zwar mit einer Toleranz von ±50%. Diese Löcher können in Zeiten der Größenordnung von Mikronsekunden gebohrt und im Abstand von ungefähr einem Lochdurchmesser gebildet werden.

Auf diese Weise kann eine Speicherdichte von 10 · 10⁷ Bits pro 6,4 cm² erzielt werden; außerdem beträgt bei Verwendung eines Speichermediums in Form einer Karte oder einer Platte die Zugriffszeit 0,01 bis 1,0 Mikronsekunden.

Das in den F i g. 5 und 6 dargestellte Ausführungsbeispiel weist als A einen Scheibenstapel 44 auf, der als Speichermedium dient. Scheiben 46, 48, 50 und 52 sind drehbar auf einer Welle 53 gelagert und mit radialen Schlitzen 54, 56, 58 und 60 versehen. Die Scheiben 46 bis 52 sind so miteinander verbunden, daß wenn die Scheibe 48 mit einer Aufzeichnung versehen oder gelesen werden soll, die Scheibe so angeordnet ist, daß der Strahl durch den Schlitz 54 hindurchtritt. Die anderen Scheiben können in ähnlicher Weise erreicht werden, so daß die Gesamtspeicherkapazität und die Zugriffszeiten erheblich verbessert werden, da gleichzeitig jeweils nur eine einzige Scheibe verwendet wird.

Zusätzlich zu den angeführten Ausführungsbeispielen können auch die Strahlungen von Masern und Lasern zum Aufzeichnen benutzt werden. Bei jeder besonderen Einrichtung kann die Auswahl der Teilchenstrahl- oder Strahlungsquelle danach ausgesucht werden, welches besondere Speichermaterial für welchen Zweck benutzt wird, da die Anforderungen an die Speicherdichte und Zugriffszeit die Art des Speichermediums bestimmen. Wird ein Speicher gefordert, der auch gelöscht werden kann, so ist Speichermaterial erforderlich, dessen Veränderungen wieder rückgängig gemacht werden können.

Zum Lesen können an Stelle von Elektronen niederer Energie auch Röntgenstrahlen zusammen mit Strahlungsanzeigern verwendet werden, obwohl dadurch der Lesevorgang etwas verlangsamt wird. Ein

Lichtstrahl oder ein besonderer Elektronenstrahl niederer EnergieTder die Oberfläche des Speichermediums nicht verändert, kann mit geeigneten fotoleitenden oder Sekundäremissions-Empfängern kombiniert werden, um eine von der Aufzeichnung unabhängige Lesevorrichtung zu schaffen. Auch können Sekundärstrahlung, Reflexion, Streuung und Interferenzerscheinungen zum Lesen einer Aufzeichnung verwendet.werden, die durch einen Teilchenstrahl hoher Energie erzeugt worden ist.

Als Empfänger können an Stelle der gezeigten Ausführungsbeispiele unter anderem auch verhältnismäßig große Oberflächen oder eine Reihe schmaler Detektorelemente wie z. B. schmale Elektronenmultiplier verwendet werden, die in einem geeigneten Muster angeordnet werden können, um den Code der gespeicherten Informationen zu lesen.

Als Empfänger kann aber auch eine Kapazität, eine magnetische Vorrichtung oder ein Mikroanalysator verwendet werden.

Wenn man denselben Elektronenstrahl zunächst mit hoher Elektronenenergie und dann mit niedriger Elektronenenergie zum Lesen benutzt, wobei im letzteren Fall das Speichermedium nicht verändert werden darf, so kann dieselbe Einrichtung sowohl zum Aufzeichnen als auch zum Lesen verwendet werden, wodurch zahlreiche Probleme bezüglich der Strahlablenkungen gelöst werden können. Auf diese Weise wird eine noch größere Speicherdichte und infolgedessen eine größere Speicherkapazität als bei der Verwendung unabhängiger Lesestrahlen erzielt.

Das Speichermedium, das beispielsweise als dünner metallischer Film in Form einer Karte oder eines Bandes beschrieben wurde, kann aber aus jedem Werkstoff bestehen, der örtlich nach Wahl zumindest für längere Zeiten in einer seiner physikalischen Eigenschaften durch einen dünnen Teilchenstrahl oder eine gebündelte Strahlung verändert werden kann.

Zusätzlich zu Stahl, Aluminium und geeigneten Legierungen können Halbleitermaterialien wie Germanium und Silizium als Filme verwendet werden. Die Dikke dieser Filme hängt vom verwendeten Strahl ab, ferner davon, ob sie selbsttragend sein müssen und von anderen Parametern des Systems. Die Dicke kann zwischen wenigen und einigen hundertstel Millimetern lie- · gen.

Die Fortbewegung des Speichermediums kann durch bekannte geeignete Antriebsmechanismen wie Bandantriebe von Tonbandgeräten oder den Vortriebsmechanismen von Lochkartenmaschinen bewirkt werden. In den F i g. 1 bis 4 wurde der Antrieb der Deutlichkeit halber weggelassen.

Aus den vorstehenden Ausführungen ist ersichtlich, daß durch die Verwendung sehr dünner Strahlen von Teilchen oder einer Strahlung sowie eines Speichermediums, das schnell und einfach in einer seiner physikalischen Eigenschaften verändert werden kann, Speicherkapazitäten von ungefähr 10⁹ Bits und mittlere Zugriffszeiten in der Größenordnung von 10 bis 100 Nano-Sekunden erreicht werden können.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 509 581/142

Claims (12)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur Hochgeschwindigkeitsspeicherung mit sehr hoher Speicherdichte und zur Abtastung der Speicherdaten unter Verwendung eines im Wege eines Energiestrahls liegenden Aufzeichnungsträgers, mit Fokussieranordnungen für den Energiestrahl, wobei der Energiestrahl in Abhängigkeit von der aufzuzeichnenden Information eine gegebenenfalls auf einem Schichtträger aufgebrachte Speicherschicht an den vom Strahl getroffenen Stellen auflöst, dadurch gekennzeichnet, daß zur Aufzeichnung der eine Dicke von 1 bis 5 Micron aufweisende Energiestrahl in seiner Energiedichte so bemessen ist, daß diskrete Löcher in binärer Codierung in die Speicherschicht gebohrt werden und daß zur Abtastung ein die physikalischen Eigenschaften der Speicherschicht nicht verändernder Energiestrahl geringerer Energie vorgesehen ist, wobei dem Strahl geringerer Energie ein Sensor (22) und den Sensor steuernde Regelorgane (24,24', 24") zur Anzeige von Veränderungen in der Speicherschicht zugeordnet sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Speicherschicht ein dünner metallischer Film ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufzeichnungsträger (20) aus der dünnen metallischen Schicht und einem damit verbundenen, nichtmetallischen dünnen Schichtträger besteht.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufzeichnungsträger die Form eines Bandes aufweist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der metallische Film eine Dicke zwischen '/2 und 10 Micron aufweist.

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Energiestrahl zur Aufzeichnung und/oder Abtastung ein Röntgen- oder Elektronenstrahl verwendet ist.

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß für den Aufzeichnungs- und Abtaststrahl eine einzige Strahlungsquelle (16, 16') mit einer zugeordneten Steueranordnung zur Einstellung der Strahlungsenergie vorgesehen ist.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Aufnahme der Strahlungsquelle (16, 16') eine an sich bekannte, evakuierte oder mit einem inerten Gas gefüllte Kammer (10,32) vorgesehen ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Aufzeichnungsträger (20, 20', 20") zusammen mit dem zugeordneten Sensor (22, 22', 22") ebenfalls in der Kammer (10) angeordnet ist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (32) ein für den Aufzeichnungs- und Abtaststrahl durchlässiges Fenster (34) aufweist und daß sowohl Aufzeichnungsträger (20') als auch Sensor (22') außerhalb der Kammer (32) angeordnet sind.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Kammer (32) eine Lenard-Kathodenstrahlröhre ist.

12. Vorrichtung nach einem oder mehreren der

Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Aufzeichnungsträger übereinander angeordnete Karten oder Scheiben (46, 48, 50, 52) vorgesehen sind, die jeweils einen Schlitz (54, 56, 58, 60) aufweisen und so gegeneinander bewegbar sind, daß jeweils die Schlitze auswählbarer Aufzeichnungsträger miteinander fluchten.