DE1473686A1 - Drucktransducer - Google Patents

Drucktransducer

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DE1473686A1
DE1473686A1 DE19651473686 DE1473686A DE1473686A1 DE 1473686 A1 DE1473686 A1 DE 1473686A1 DE 19651473686 DE19651473686 DE 19651473686 DE 1473686 A DE1473686 A DE 1473686A DE 1473686 A1 DE1473686 A1 DE 1473686A1
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pressure
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DE19651473686
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Crites Nelson Allen
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Battelle Development Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance

Description

  • Druak-transducer Die Erfindung bezieht sich auf einen überkleinen Drucktranedueer mit einer Membran als Druckfühler, und insbesondere auf einen solchen, der auf Drücke @enkrecht su seiner durci die Membran gebildeten wirksamen Oberflash polit.
  • Raum- und Gewichtsbeschränkungen an neuzeitlichen Erzeugnissen der Ingenieurtechnik haben eine extrem@ Verkleinerung nicht nur der Einzelteile verschiedener Erzeugnisse, sondern auch der für ihre Verwertung notwendigen Instrumentlorung erforderlich geaacht. Die derseltige Entwicklungsrichtung zur Miniaturisierung van Gesamt-Instrumentierungssystemen hat sich son der elektrischen Schaltung auf die mechanische Auebildung von Transducern erweitert.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe su Grunde, einen Drucktransducer zu schaffen, der so Uberkleine Abmessungen hat, daß, wenn der Transducer auf einem Objekt und dieses in einem Luftstrom angeordnet ist, angenommen werden kann, daß der ton don Tranaducer angezeigte D derselbe ist wie der dann herrschende, wenn der Transducer nicht vorhanden wäre, d. h., daß der Trainsdueer dam bild nicht etört. Eine weitere Aufgable der Erfindung besteht darin, einen Transducer zu achaffen, welcher dabes tuber seinem gesamten Meßbereich eine lineare Charakteristik (Millivolt über Druck) @eigt. Schließlich soll der su schaffende Tranadueer eimen hohen Genauigkeitsgrad besitzen, welcher einem geringeren F@hler als -+ 3 % über dem gesamten Druckmeßbereich entspricht.
  • Diese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, daß die Membran @ben, einstückig ein Teil einer dun@-wamdigem enter Unterdruck atehandon Xap@@l und unter don Einfluß von aut ihre Oberfläche einwirkenden DrUcken derart biegsam ist, daß in ihr Zug-und Druekdehnungen hervorgerufen werden, und daß auf ihr ein Dehnungsmesser, vorzugsweise eine vier Zweige aufweisonde Dehnungsmeßbrücke aue gegtztem Blattmaterial angeordnet ist. Der erfindungzgemäBe Tranzdueer birgt außerdem don Orteil in sich, daß die Dehnungsmeßbrücke an der membron angeordnet ist, an don green Nutsen ans don Materialdehnungen in der bru su sleh Der Transdueer nßh der Erfindung biset auoh noeh den Vorteil einer einheitlichen Xonatruktien, die in welterer Ausgestaltung die Zueames einea Dehnungafühlers und einer Meßbrücke in Kombination mit vergrößerten Bereichen für einen einfachen Anschluß der Zuleitungsdrähte an die Meßbrücke gestattet.
  • Weitere Aufgaben und Yorteile olnd au dem in folgenden an der der Zeichnung beschriebenen Ausführungsbeispielen der Erfindung ersichtlich. Es zeigen: Fig. 1 vergrößert eine Drauf@@echt auf den Druck-' transducer, dessen Deckplatte entfernt ist; Fla,, 2 vergrOBert eine Seitenansicht des Drucktranzdueerzt Fig. 3 eine grafische Darstellung der Abhängigkeit von Druck und Millivolt, wenn der Traxuducer einer ErregerepanowLg ton 2, 7o Millivolt ausgesetst isti Fig. 4 vergrößert eine sehaubildliche Ansicht einer anderen Ausführungsform des Drucktransducers Fig. 5 vergrößert eine Schaubildliche Ansicht einer welteren Ausfahrungeform des Drucktranadueers.
  • Gemäß Fig. 1 und 2 weist ein Druektraneducer 11 nach der Brtladung ein Gehäusezeitenteil bzw. einen Ring 13 und eine Membran 15 auf, die su einer Einheit miteinander verbunden sind. Eine DehnungemeBbrücke 17 iet an der Moubran 15 befeetigt und weist vier Elemente oder Zweigo 19, 21, 23, 25 und vier Lappen 27, 29, 31, 33 auf (Fig. 1). An jedem dieser Lappen 27, 29, 31, 33 Lot einer von vier Zuleitungsdrähten 35, 37, 39, 41 angelotet. Jeter dieser Zuleitungsdrähte 35, 37, 39, 41 verläuft durch einen Kanal 43 im Gehäusezeitenteil 13 (dies kann j@ nach dem beabsichtigten Verwendungszweck abgeändert werden, wie beispielsweise in Fig. 4 und 5 gezeigt ist). Jeder der Zuleitungsdrähte 35, 37, 39, 41 ist längs des Bereiches, an des or durch den Kanal 43 in Gehäusezeitenteil 13 verläuft, mit einer Glasdichtung 45 versehen. Ale weitere Voraichts-bzw. Vorbeugungsmaßnahme ist vorzugsweise eine geringe Menge Epoxy-@ement (nicht geselgt) auf die Glaedichtungen 4S aufgebraaht, an veine Diohtheit der ventile 43-43 zu gewährleieten. Die Zuleitungsdrähte 35, 37, 39, 41 werden vorzugsweise mit einem gebogenen Abschnitt 47 versehen, bevor rie an die Lappen 27, 29, 31, 33 angelötet werd, so daß die Drähte sich biegen können, wenn die Membran 15 sich bewegt. Werden die Zuleitungedrähte 35, 37, 39s 41 unmittelbar mit don Lappen 27,29, 31, 33 verbunden, so neigen sie dazu, die membron su verateiisn.
  • Nachdem die DehnungsmeBbrucke 17 an der Membran 15 befeatigt und die Zuleitungsdrähte 35, 37, 39, 41 angeechloseen worden sind, wird eine Dtckplatte 49 auf don Ring 13 auf dessen der Membran gegenüberliegender Seite aufgelegt und in ihrer Stellung druckdicht gehalten.
  • In der Platte 49 wird ein Loch (nicht gezeigt) gelassen, so daß die an deutlichsten aus Fig. 2 ersichtliche, tursh dem Ring 13, die Deckplatte 49 und die Membran 15 begren@te Kammer 51 teilweise evakuiert werden kan.
  • Vor der Bvmkuierung wird das Gebilde unter Teilvakuum auf 121,1° C (250° F) erhitzt, um Feuchtigkeit und andere flüchtige Itadlen su entfernen. Darauf wird die Kammer 51 bd su einem Vakuum von einem mikron oder darunter evakuiert und die Öffnung in der Deckplatte 59 abgedichtet.
  • Die Ausbildung der aus vier Elementen bestehenden Dehnungsmeßvorrichtung beruht auf der Analyse einer kleinen dünnen Membron. Die Analyae Wrwht auf der Annahme, daB die Dehnungsmeßvorrichtung auf der Seite der Membran angeordnet ist, welche derjenigen, auf welche der Druck wirkt, gegenüberliegt. Jet** Lehrbuch {ber h stigkeitslehre zeigt, daß die Radial- und Tangentialepannnmgen in einer dünnen ebenen runden Platte unter relatif kleinen Ausbiegungen, (bei Vemachlässigung der Membranspannungen und unter der Annahme, daß die Ränder xtarr gegen Drehung feetgelegt sind), sich ergeben zu: #r=3/8p (a/t)²[(3+8) (r/a)²-(1+0)], und #t=3/8p (a/t)²[(1+30) (r/a)²-(1+v)], wobei p = Druck, t = Dicke, r = Radius, a = Außenradius und 8 = @oisson'@@he Zahl ist. Bei Verwendung von biaxialen Spannungs- Dehnungs- Beziehungen für homogenes imotropca Bter$al ergeben sish Radial-und Tangentiald@hnung zu: #r = (#r - ##t)/E = -C /3(r/a)²-1/ #t = (#t - ##r)/E = -C /(r/a)²-1/, wobei die Konstante C definiert ist als: C = 3/8(1-#²)p/E(a/t)².
  • Aus diesen Beziehungen geht hervor, daß 1. die Radialdehnung bis zu einem Radius von 57,7 % des außenradius eine Zugdehnung ist, bei welchem Wert sie von Zugdehnung in Druckdehnung überwech-*alto 2. im zentralen Bereich (r/a<0,577) sowohl die Radial- als auch die Tangentialdehnung Zugdehnungen sind, die Tangentialdehnung jedoch stets grö-X t"o a Sd ge wurde, daß in diesem Bereich die Zweckmäßigste Richtung der Dehnungmaßelemente tangential zu sein hat.
  • 3. in dem äußeren Bereich (r/a>0,577) die Tangentielmeldung sich einem @ull-vert anmähert und die Radialdehnung a@steigt, so daß in diesem Bereich erfindungsgemäß angenommen wurde, daß eine radiale Richtung der Dehnungsmaßelemente am vorteilhaftesten ist. ai 4 obigen Überlegungen ist die Membran in vier **L*M eingeteilt, Z de e4er tos e meBelement19,21,23,25nehennbedecktwird,deren jeden einen Arm einer Wheatstone'schen Brücke umfaßt. diese vier Breiche sind zwei Halbkreise auf dem inneren Teil der Membran 15 und zwei Halbkreise auf den äußeren Bereich der Membran 15 und zwei Halbkreise auf äußeren Zip der liembran 15. Die Widerstände der beiden inneren Blenente 2 und 23 werden dedoreh gleich gemacht, daß sie symmetrisch ausgestaltet werden; das gleiche ist der Fall fUr die tnBeren Elmente 19 und 25. Un jedoch ein maximales Ausganssignal zu erhalten, ist es erforderlich, jeweils die Ausgangsgrößen des äußeren Elementen 19 und des inneren Elementen 21 sowie des inneren Elemente 23 und des äußeren Element@ 25 zu addieren. Die Dehnung ist Zugdehnung in dem Elementen 21 und 23 und Druckdehnung in den Elementen 19 und 25. D@her werden die Elemente 19 und 21 im nebeneinanderliegende Zweige der @rücke geschaltet, so daß der Spannungsabfall am ihnen gleich der angeführten Spannung ist, @ben@e wie das für die Elemente 23 und 25 der Fall ist. Dies macht es erforderlich, daß die Ausgangswiderstände (Nullpunktswiderstände) der Elemente 19 und 21 (und der Elemente 23 MA 29) mit @@ger tolerans einander angegliche@ werden.
  • Bis bevorzugtes Verfahren zur Herstellung der metallischen Dehnungsmeßbrücke 17 ist in der zur Herstellung Ton konventionellen Dehnungsmessern oft benutzten Technik des Ätzens von Blattmaterial oder des Druckens von Schaltungen gegeben. Die geste Bruire 17 nit ihren vizir Armez kann durch Fot@ätzung hergestellt werden, um ein genaues einheitliches Stück zu erhalten. Bereiche, die hinsichtlich Ermüdung beeondera kritiaeh aind, k dabei vergrößert werden, und zum Anlöten von Zuführungsdrähten 33, 37, 39, 41 zur Meßbrücke 17 sind breite Anschlußlappen 27, 29, 31, 33 vorgesehen.
  • Die erfolgreiche miniaturiaierung eines Drucktransducers nach der Erfindung ergibt sich bei einem Ausführungsbeipil einea wie folgt ausgebildeten Drucktranaducera.
  • Das für die Membran 15 gewählte Material war eine Barillium-@upfer-Lösung (B@rylco 25 alloy), die aus dem abgekühlten (ann@aled) Zustand durch eine Wärmsbehandlung auf velle Härte gebracht wurde. Der Durchm@sser des Tranaduoera betrug 6, 35 mm (0,250 Zoll), der Membrandurchm@sser 4,826 mm (0,190 Zoll). Die Dicke der Membran 15 war gewählt mit 0,0635 mm (0,0025 Zoll), und swar auf Grund folgender Überlegungen: 1. die Dicke sollt ausreichend sein, un don Spannungspogel bei Überlast-Druck (de@ ei@einhalbfachen Maximm des Betriebx des Gerätes) g weit unterhalb der Froportionalitätsgrenze des gewählten Materials u halteni 2. die Dicke sollte ausreichend sein, um eine Auslenkung der Membran us mehr als etwa die Hälfte ihrer Dicke über dem gesamten Meßbereich su verhindern (für diesen besonderen Transducer betrug der Meßbereich -+ 0,77 atü (-+ 11 p@ig)); und 3. die Dicke sollte gering genug sein, um eine Vibratoelgedrequns zu gewährleisten, die höher ist ale die, welcher der Transducer ausgesetzt werden soll.
  • Die Dicke des Transducers betrug 0,508 mm (0,02 Zoll), und zwar dadurch, daß dem Ring 13 eine Höhe von 0,432 mm (0,017 Zoll) gegeben wurde.Die Löcher 43 wurden mit vison jeweiligen Abstand untereinander von 90° angeordnet und hatten einen Durchmesser von 0,239 mm (0,009 Zoll).
  • Die Dehnungsmeßbrücke 17 wurde an den für sie vorgesehea Stellen fest auf die Membran 15 aufgebracht. Dafür kurde ein Kleber verwandt, welcher eine Verdünnung enthielt, die e ermöglicht, eine extrem dünne Kleberschicht su erhalten, welche die Flexibilität der Membran 15 nicht behindert. Die Zuleitungen 35, 37, 39, 41, welche ans Draht von 0,127 mm Durchmesser (0,005 Zoll) bestanden, worden durch die Locher 43 hindnrohgefUhrt, rtt 90 abgebogen, um eine Federwirkung zu erhalten, und dann an die Lapez 27, 29, 31, 33 angelötet. Die Zuleitungen 35, 37, 39, 41 wurden dann an den Löchern 43, in denen sie durch den Ring 13 hindurehtreten, abgedichtet. Die Deekplatte 49 von einer Dicke von 0,0762 mn (0,003 Zoll) wurde darauf angelötet, danach wurde der Transducer durch *in Loch in der Deckplatte 49 auf ein Vaku@m von t aileron oder weniger anegepunpt und anschließend das Loch abgedichtet. Die Evakuierung war erforderlich, um thermische Effekte möglichet gering zu halten.
  • Der oben beeehriebene Transducer wurde mit einem Potentiometer bei einer Erregerspannnmg von 3 Volt gemessen.
  • Fis. 3 zeigt die mit dem Transducer bei Raumtemperaturbedingungen erhaltene @ichk@rve. Das durchschnittliche Ausgangssignal über dem gesamtem Druckbereich betrug 860 Mikrovolt pro Volt und pro kp/@m² druckänderung (60 microvolt per volt per p@i pressure @hange). Es ergab sich ein geringer Unterschied zwischen den Eichkurv@n von @@- und Entlastungsmessung im Druck und Vek@@@-bereioh, wobei jedooh jeter fell fUr eich gut linear verinnft. Digon lot wahrscheinlich auf die Ausbildung von Membranspannungen in der Membran 15 infolge aus der "evakuierten Stellung" gemessener großer Durchbiegungen Im Verein mit extremen Druckwerten zurückzufuhren. Trotz dieMe Effektes betrug die Lime@rität, wie in Fig. 3 geneige, Uber don ge@amten Bereich -+ 2,2 %. Der Trnnndueer MUt nufriedenntellend Überlstdrücke von 150 % aus und nrbeitet bei Temperaturen zwischen -30° C und +71,1° C (zwischen -20° F und +150° F).
  • Fig. 4 zeigt einen Transducer 11', bei welchem die Zuleitungsdrähte 35, 37, 39, 41 durch den Ring 13 über eine Öffnung 43' an Stelle vo@ vier einzelnen Öffnungen hindurchgeführt sind.
  • Fig. 5 zeigt einen Transducer 11'', bei dem die Zuleitungsdrähte 35, 37, 39, 41 durch eine einzige Öffnung 43'' in der Deckplatte 49 hi@durchgeführt sind. Die Ausführungsformem nach Fig. 4 und 5 eign@n sich besonder@ dort, wo der Einzatz des Transducers nicht gestattet, daß die Drähte in vier verschiedenen gegeneinander um 90° versetzten Richtungen aus dem Gehäuse ragen.
  • Ansprüche:

Claims (12)

  1. AaaprA chv s 1. Überkleiner Drucktransducer mit einer Membran als Druckfühler, welcher insbesondere auf Drücke senkrecht su seiner durci dia Membran gebildeten wirksamen Oberfläche anspricht, d a d u r e h g e k e n ns e i c h n e t, daß die Membran @ben, einstückig is Teil einer dünnwandigen, unter Unterdruck stehenden Kap@el und unter dem Einfluß von auf ihre Oberfläche einwirkenden Drücken derart biegsam ist, daß in lkw Zug- und Druckdchnungen hervorgerufen werden, und tsB auf ihr eims vier Zweige aufweisende Dehnungsm@ßB-brücke aus geät@ten Blattmaterial angeordnet ist.
  2. 2. Drucktransducer nach Anspruch 1, d a d u r c h g e -k e n m s e i c h n e t, daß die unter Unterdruck stehende Kapsel dadurch gebildet ist, daß an einem @ord, walcher mit der Membran einstückig verbunden ist eine Deckplatte so angebracht ist, daß sie und die Membran vo@ dem @ord uùg@ben und zwischen ihnem ein @ohlraum gebildet ist.
  3. 3. Drucktransducer nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Dehnungsm@ßbrücke auf der dem Inneren der Kap@el zugewandten Seite angeordnet ist.
  4. 4. Drucktransducer nach einem der vorhorgehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daa jder Zweig der DehnuagameSbrtieke einen Dehnungamaser aufweiet, wobei jeweila zwei Dehnungameaaer paarweise im Zugdehnungs-Bereich der Membran @o angeordnet sind, daß ihre Dehnungsmeßelemnete tangential in bezug auf die Membran ausgerichtet sind, und jetells zwei Dehnungsmesser paarweise im Druckdehnungs-Bereieh der Membran ao angeordnet aind, daB ihre Dehnungsmeßelemente radial in bezug auf die Membran ausgerichtet sind.
  5. 5w Sueur mach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Dehnungsm@ßbrücke, eine Wheatstone'sche Brücke lot.
  6. 6. Drucktransducer nach Anspruch 4 und 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Dehnungsmesser so amagebildetzind,dmaededieMembrandnrehbiegende Druckverhänderung eine entsprechende m@ßbare Widerstandsänderung in ihnen hervorruft.
  7. 7. Drucktranaducer nach Anspruch 4 und 5 oder 6, d ad u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das eine Paar Dehaungenesser eo angeordnet ist, da8 as don inneren Bereich der Membran bis etwa 58 % de Gesamtradius der Membran und jeder Dehnungsmesser die H&lfte dieses Bereichea bedeekt, daB eder dieaer Dohnungsmesser eine Vielzahl zum Mittelpunkt der Membran komzentriacher halbkreiaformiger Dehnungsmeßelemente aufweist, daß das andere Paar Dehnungameaaer in don restlichen Bereih der membron angeordnet iet und jeder seiner Dehnungsmesser eine Vielzahl von bezüglich des Mittelpunktes der Membran radial angeordneten Dehnumgsmesselementen aufweist, daß beide Paar@ von jeweile einen Zweig einer Wheatstone'schen Brücke bildenden Dehnungsmessern etwa gleichen Widerstands haben, und daß mit jedem Dehnungsmesser ein elektrischer Leiter verbunden ist.
  8. B. Dmoktranadueer nach Anspruch 7, d a d u r c h gek e n n z e i c h n e t, daß jeder der elektrischen Leiter an Punkten durch den Bord der Membram nach außen geführt ist, welche untereinander jeweils einem Abstand von 90 aufweise@.
  9. 9. Druoktraneducer nach Anspruch 79 d a d a r e h g !.-k e n n z e i c h n e t t , daß die elektrischen Leiter durch eine einzige Öffnung in dem Bord der Membran nach außen geführt sind.
  10. 10. Drucktransducer nach Anspruch 7, d a r d u r c h g ek e n n z e i c h n e t t , daß die elektrischen Leiter durch eine Öffnung in der Deckplatte der Kapsel nach außen geführt sind.
  11. 11. Drucktransducer nach einem der vorhergehenden AnsprüehCtdadurchgekennzeichnet, daß die Kapsel die Form einer Scheibe von etwa 6,35 mm Durchmesser und etwa 0,508 mm Dicke hat und eiaf Kammer aufweist, die von zwei runden Teilen, welche jeweils an einer Seite eines Ringes befestigt sind und von denen eines eine bewegliche Membran ist, umohlossta ist.
  12. 12. Drucktransducer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die in der Dehnungsm@ßbrücke durch die von de@ außerhalb der Kapsel wirkenden Druckänderungen verursachten Durchbiegungen der Membran hervorgerufenen Meßbahnen widerstansänderungen eine lineare Abhängtigkeit von den Druckänderungen aufweisen.
DE19651473686 1964-03-16 1965-03-13 Drucktransducer Pending DE1473686A1 (de)

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