DE1464629A1

DE1464629A1 - Elektrische Bauelemente auf dielektrischem Koerper,der Teile mit verschiedenen elektrischen Eigenschaften hat,und keramische Massen dafuer

Info

Publication number: DE1464629A1
Application number: DE19621464629
Authority: DE
Inventors: Khouri Alfred Safay; Taylor Howard Urban
Original assignee: Globe Union Inc
Current assignee: Globe Union Inc
Priority date: 1961-10-05
Filing date: 1962-10-04
Publication date: 1969-03-06
Also published as: DE1255560B; FR1335430A; GB1025731A; GB1025732A; NL283951A; FR1335431A; NL132705C; NL283956A; NL134997C

Description

GLOBE-UNION, INC., Milwaukee 1, Wisconsin, Eaet Keefe Avenue 900, V. 3t. Λ.

Elektrische Bauelemente auf dielektrischem Körper,

der feile mit verschiedenen elektrischen Eigenschaften hat, und keramische Massen dafür

Diese Erfindung betrifft elektrische Bauelemente unter Verwendung eines festen, dielektrischen Körpers, der Teile mit verschiedenen elektrischen Eigenschaften hat.

Die vorliegende Erfindung besteht in einem elektrischen Bauelement, das einen zusammengesetzten, einheitlich gebrannten keremisehen Körper von vereinigten, in ihren elektrischen Eigenschaften verschiedenen Xeramikmasaen enthält; von diesen besteht mindestens die eine Masse aus Titanaten mit den Eigenschaften eines Halbleiters und die andere blasse aus nichtohmsoher Keramik mit niedriger Dielektrizitätskonstante; ouf der Masse aus reduzierten Titanaten ist mindestens ein Paar von Elektroden gebildet; ein Grenseohiohtdielektrikum ist unterhalb der Elektroden hergestellt» um hierdurch einen Kondensator zu bilden; elektrisch leitende filme sind auf der Masse au· nichtohmsoher Keramik gebildet und elektrisch mit den genannten Elektroden verbunden» um sie elektrisoh von eußen sugänglioh su me οhen.

Die Erfindung besteht auch in einem elektrischen

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Bauelement mit einem Körper» der einen Teil mit Halbleiter eigenschaft en und einem an diesem Teil angebrachten Paar von Elektroden hat; die Eigenschaften des Halbleiters und der Elektroden sind der&rt, daß unter dem Elektroden« pear, ein Grenzöchichtdielektrikum hergestellt wird» um hierdurch einen Kondensator zu bilden; ein Teil dieser Grenzsohioht wird in solcher .eise behandelt» daß er einen endlichen '.iderstand zwischen den Elektroden parallel zum

^ Kondensator bildet.

Die Erfindung besteht auch in einer zusammengesetzten keramischen Ilasse» die sich für den Gebrauch in einem elektrischen !Bauelement eignet; sie enthält eine Mi'.see aus reduzierten Titanaten» die vorbestinmte Mengen von Bariumtitanat (LaTiO₃) und üxyden seltener Erden enthalten» und aus einer Messe aus nichtohmscher Keramik» die vorbestimmte Mengen von Celolumtitanat (OaTiO*), Äiagnesiumzirkonat (MgZrO₅) und .bariumsirkonat (BaZrO.) enthält. Die Elektroden auf der Halbleiterker&mik entwiokeln also

' mit ihr eine niohtonmsohe Grenzschicht oder Haut, die in körperlicher Juiniaturgröß« einen hohen Kondensatorwert ftuläßt. Der Widerstand überbrückt wirksam einen Teil der Grenzsohioht, und dieser Widerstand wird zum Beetandteil de· verlangten Stromkreises· Ohne die Notwendigkeit eine« Zuaetzes eines gedruckten Widerstands oder anderer >/id#retandielemente kann also ein vorberechneter Widerstand parallel mit der Kapazität geschaffen und abgeglichen werden» der das Bauelement wirtschaftlicher in der Herst«llung» Prüfung und Abgleichung macht. Der Wert dieses Widerstandes

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1st proportional zur angelegten Spannung und zur entwickelten Kapazität» kann Jedoch leicht an der Fläche abgeglichen werden» über der er sich ausbildet» indem benachbarte Teile der den Kondensator bildenden Elektroden mit Lötzinn versehen oder abgeschliffen werden» um einen Teil der Grenzsohioht im gewünschten Umfang auszuschließen.

Erfindungsmäßige Bauelemente finden Anwendung als Widerstands-Kapazitätenetzwerke» die für viele spezielle Anwendungen zugeaohnitteri werden können» zu denen Tranalstorkreise gehören» die sich In herkömmlich verdrahteten Aufbauten oder mit gedruokten Schaltungen benutzen lessen· Das Bauelement kann Minie, turgröße und trotzdem die üblichen und verlangten V. Iderstände- und Kapazltätewerte haben» läßt sloh schnell in verschiedene elektronische Kreise einsetzen» sum Beispiel in Nebenschluß- und Filterkreise und kann unter einer angelegten 3pannung mit Wechsel- und Gleiohstromkomponenten benutet werden·

Zum vollen Verständnis der Erfindung wird nunmehr ein Muster unter Hinweis auf die Begleitseiohnungen beschrieben·

Figur 1 ist eine Draufsioht auf ein erfindungsmäßiges» elektrisches Bauelement mit einem darauf angebrachten überzug cue Schutzmaterial»

Figur 2 1st eine Draufsicht auf das in Figur 1 gezeigte Lauelement vor Anbringen des Sohutzm&terials.

Figur 3 lot eine Stlrncnsloht »uf das in Figur 2 gezeigte Bauelement von rechts«

Fi_t.ur 4 ist eine Unterunsioht t,uf das in Figur 1 gezeigte Bauelement.

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Figur 5 ist ein ochcltscheme des in den Figuren 1 bis 4 einschließlich gezeigten Bauelemente.

An Hand der Zeichnungen wird nunmehr das darin dargestellte ^v/iäeratands-IiQpor;itäts-;.nkopplung3netzwerk erläutert; es enthält eine kerami3Che Grundplftte oder Unterlage 10, die aus einem einsigen, zusammengesetzten 3täck mit Endteilen 12, 14 und einem ,.iittelteil 16 (eile durch Linien abschattiert) und in gleicher iiTbene dazwischentretenden Teilen 18 und 20 "bootent* 12, 14 und 16 sind ous einem kcramiochen Halbleitermaterial cua reduzierten Titann ten mit iioher .Dielektrizitätskonstante gebildet? 13 und 20 bestehen aus zwei nichtohmsclien Xeramikteilen niedriger Dieleictrizitätskonstonte. Keramische Körper mit benachbarten feilen in einer Ebene, die trotzdem verschiedene elektrische Eigenschaften h&ben, cind im U.S,-Pt tent 2 794 940 beschrieben und becnsprucht. iewiese lieramikmiechungen mit niedrigem JI, die in jenem Patent beschrieben sind, lassen sich bei der Herstellung öer aus« mmengesetaten Grundpl.tte 10 ebenso gut wie ruch andere keramische Mischungen verwenden, wie weiter unten genauer beschrieben wird. Jedoch ist die keramische l'us rumens et zung» die in den Teilen 12, 14 und 16 mit reduzierten Titsnsten benutzt und mit den Hellen 10 und 20 mit niedrigem K verträglich ist, verschieaen von den ker; miochen /-ischungen mit hohem IC, die in dem genennten latent offenbart v/orden sind, speziell wegen des Zusatzes einer vorbestimmten klenge von Oxyden seltener Erden. Die keramiaohe Zusammensetsung der abeohLttierten Teile 12, 14 und 16 ist ein reduziertes Titanr.t

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im wesentlichen von der Art, wie sie im U.3.-Patent 2 841 508 beschrieben und beansprucht ist. Ein Eeispiel von Zusammensetzungen für die Halbleiterteile mit hohem K, die zufriedenstellende Ergebnisse gebrecht haben, l3t das folgendet

	1	15	-	Tabelle I	2	1,0	-	0,5	3	4	Prozent	6
Stoff	84,5"	-		89	10		68	60	5	70,5-71,0
	-	-	-	—	7	15	66	7,3
BaTiO₃	-	-		15	25	10	9
CaTiO₃		-	-	12	0,7
SrTiO₃	0,5	10	-	-	11,5-12
MgZrO₃	-	-	-	mm
BaZrO₃	-		-	-
CaZrO₃
PbTiO₃	0,5	0,5		0,5
Oxyde selte			0,5
ner Erden

Die Teile 12, 14 und 16, die aua diesen Zusammensetzungen gefertigt sind, besitzen die notwendigen elektrischen Eigenschaften, um die Aufgabe der iialblelterstüoke mit hohem K zu erfüllen, und sind trotzdem mit den Teilen mit niedrigem K verträglich, '.vie man sehen kann, darf die spezielle Zusammensetzung erheblich verändert werden, obwohl annehmbare elektrische Eigenschaften erhalten bleiben; es muß jedoch bemerkt werden, daß jede der Proben Beriumtitanat (BaTiO₃) und einen Gehalt an Oxyden seltener Erden enthält. Die anderen Materialien Caloiumtitanat (CaTiO₃), Strontiumtitanat (SrTiO₃), Magnesiumzirkonat (IAgZrO₃), Eariumzirkonat

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(BaZrO₃), Cclciumairkonat (CaZrO₃) una Pleititanet (PbTiO₅) werden nach Wannen zugefügt. In der Praxis hct sich herausgestellt, daß zufriedenstellende Ergebnisse von keramischen

iochunnen erhalten v/erden können, die die folgenden Materialien innerhalb der angedeuteten Lereiche enthalten»

Tabelle II

Stoff Prozent

LaTiO₃ 60-90

CaTiO₅ 0-25

3rTiO₃ 0-25

MgZrO₅ 0-1

BaZrO₃ ,. 0-18

CaZrO₃ 0-13

PbTiO₃ . 0-5

Oxyde seltener Erden 0,2-1,2 %

Was die Oxyde seltener Erden betrifft, so wird vorzugsweise 0,5 # benutzt j jedoch lassen eich auch zufriedenstellende Ergebnisse erreichen, wenn Mengen innerhalb des angedeuteten Bereichs benutzt werden. Eb muß beachtet werden, daß die speziellen Zutaten der »liaohung und ihre ilengen so ausgewählt werden, daß gewisse, verlangte elektrische rerkiHFle, Kapazität, Leistungsfaktor und ./iderstand und deren verlongte Werte gewährleistet werden.

Beispiele für keramische Liochungen mit niedrigem K für die Teile 10 und 20, die sich mit den obigen Zusammen-Setzungen vertragen, sind folgende?

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Tabelle III Stoff Irozents&ta

1 2 5 4 5

BaTiO₃ 5 44 56 65 71

CaTiO₅ 77 36 21,5 18 7,3

SrTiO₅ - - 16,5 9

UgZrO₅ 2 2 0,5 1 0,7

BaZrO₅ 18 18 5,5 14 12

CaZrO₅ - 2

Teile 13 und 20, die aus den obigen Zusammensetzungen gefertigt oind, vertragen sich mit den 22a t er ia lien der Tabelle I mit hohem K and weisen, nachdem sie gemäß unten folgender Beschreibung gebrannt sind, die notwendigen elektrischen Eigenschaften auf, um ihre Aufgabe als Stücke mit niedrigem K KU erfüllen. Wie man in Tabelle III sehen kann, läßt sioh die spezielle Zusammensetzung der Keromikmisohungen mit niedrigem K beträchtlich verändern, obwohl annehmbare elektrische Eigenschaften erhalten bleibenι zufriedenstellende Ergebnisse wurden beim Benutzen von Kisrchungen erreicht, in denen die Materialien Innerhalb der folgenden Bereiche liegen.

Tabelle IY Stoff Prozent

BaIiO₅ 0-71

CaTiO₅ 7-77

HgZrO₅ 0,5-2

BaZrO₅ 5-40

SrTiO₅ 0-17

— .

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Ss ißt zu bemerken, ö, ß lu'£±O^_t obwohl β$$αyS bevorzugt wird, auch ε-uf '.Tunsch fort£jelcaaen werden und doch ein zufriedenoteilendes "r^conis erreicht weräcn k;^:nn. '''ieCex ist au bee.Ciiten_f du Z die apealellen -uteten und ihre Äleii^en ao ; uo^ewühlt werden» d&ß bestimmte verltn^to elektrische -igenochaften, .u pa^itüt» .c-iutungsfektor und iderotand und deren verlangte Werte gewährleistet werden,

leafciiiiate Zusammensetzungen von ireramiken mit hohem

P unc niedrigen IC können n-ch »unsch kombiniert werden, vas eine ebena i'li tte mit der bevorzugten Kombinetion wie im Leiepiel 6 der 0)cbelle I und im Beispiel 3 der Tabelle III zu formen. Die ebene i/lstte k£:nn in der im Patent 2 794 beschriebenen L-eiee geformt werden; sie wird In Luft bei einer Temperatur von etwa 1350° C reif gebrannt. Hach dienern brennen heben die abschattierten Teile 12 bie 16 der Plcttc noch nicht die Ijgensohaften eines Halbleiters. Die PIc tte wird dann bei einer feLiperatur von 1175° 0 in

k einer Atmosphäre, die 'Veeeerstoff oder Kohlemaonoxyd enthält» oder in anderen reduzierenden Atmosphären wieder gebrennt, um die Teile 12, 14 und 16 zu reduzieren und so die durchgehenden !felbleitereigenachuften su entfeiten. Die zvischenliegenden Teile 18 und 20 mit niedrigem K haben eine Dielektriaitätskonstsnte von etwa 1300.

Bei einigen .Anwendungen wünscht man, da· £ der Seile mit niedrigem K &u£ einen möglichst kleinen Wert eu bringen; su cieoeia Zweck hat sieh erwiesen, daß ein K bie herunter au 100 bis 120 duroh einen Körper erreicht werden kenn,

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der mit den !Teilen aus reduzierten Titanaten verträglich ist. Jia Beispiel einer ^eramikmiuchung ilLr einen solchen körper ist: * ,

Stoff	Prozent
BaOJiO₃	10,0
CaIiO₃	48,0
MgZrO₃	2,0
BeZrO₃	40,0
Oxydmisohungen τοη a extenen Erden	-.
Xeramikmischun« mit :	niedrigem :

Tabelle ZIX insofern, als sie cuoh Bariumtitanot» Caloiumtitanat, Mögneaiumairkontt und Büriumsirkonat enthält.

Joch dem Reduktionabrennen wird denn die Vorderfläohe üer Platte 1C mit ailberbedruckten Elektroden in an aioh bei der ICondenaatortechnik bekannter Art reraehen. Elektroden 22, 24 und 26 werden an den reduzierten Xitanatteilen 12, 14 und 16 engebrücht und duroh Leiter 28 und 30 elektrisch verbunden, die an den Teilen 18 und 20 mit niedrigem K engebracht werden· Ideee Elektroden und Leiter können eis ein außcmmenhängencea Uilberdruokmuater wie in der Darstellung auf die Fläche gebracht werden. Elektroden 32, und 36 werden ebenfalls wie in der Darstellung cn dtn reduzierten Titanatteilen 12, 14 und 16 angebracht. Sie liegen in einer Ebene mit den Elektroden 22, 24 und 26 und bilden Bit ihnen (doron Kanteneffekt) Iapaeitaten, die mit C₂ und C, in Figur 5 beseiohnet sind·

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Lie !.lcktrodcn 32, 34· und 3S sind elektrisch mit jnschlußfahnen 3ö, 40 und 42 verbunden, die wie in der .Darstellung c.uf den !'eilen 13 und 20 mit niedrigem IZ siltergedruckt uind. Jie !'ahnen können mit cen Elektroden 32f 34 und 36 als !eile des selben Jilberdruckmuaters ; ufgefciucht weruen· xJine weitere» geaonderte Anachlui3fahne 44 ist tuf dem Xeil 20 mit niedrigem X sngebreeht, und ein spezieller .iderstandsstreifen Hg (punktiert dargestellt) tue Kohlenwideratandsaohioht ist im Jiebäruck in an sich bekannter .eise auf dem 'feil 2ΰ mit niedrigem K eufgebrecht und verbindet den Leiter 3ü mit der ■> naehluüfahne 44. Die Teile mit niedrigem K werden also benutzt» um die Grundl£ge für die Leiter Vila Anschlußfahnen und die Unterlage für den ..iderst&ndastreifen zu bilden und so gut gelötete ■Anschlüsse su ermöglichen.

Da die .Opazitäten C^, C₂ und CU ^.uf den u^lbleiterteilen entstanden und ihre I Leloktriken durch äui3erst uünne Grenzschichten gebildet sind, het jeder im verhält-

k nis zu seiner körperlichen Uröfie eine hohe -Ccpaaitat· ^.ie eingekapselte einheit, wie si© in Figur 1 zu uehen ist, h&t kleine abmessungen von 20 Millimeter mul 10 Millimeter Bßl 3f6 Millimeter. Unter Zugrundelegung einer typischen Betriebsspannung von 0,5 Volt heben dies« kondensatoren . erte von C,01/vup bis 2,0 ^vi¹, und der ,vlderetind Sg liegt in der Gegend von etwa 10 000 0hm.

Ein mit Ef in Figur 5 bezeichneter ..'iderstand wird aswiechen den Elektroden 26 und 36 geschaffen und durch teilwelses Abschleifen benachbarter Teile dieser Elektroden

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ode? durch Punkt leitung oder Lotverzinnung der benachbarten überflächen dieser .elektroden on aen !fellen cbgeglichen, die durch die kreuamarkierten Flächen 46 und 48 angedeutet sind. Der wert dieses ./ideratandea in diesem Beispiel beträgt 300 Ohm· Jedooh können so auch Widerstände von 20 Ulm bis 20 Megohm erreicht werden. Der verlangte

Widerstand wird ohne Zusatz von Ilörpergefüge oder ohne gesondertes Beiwerk hergestellt} daher wird der iiiniaturcharakter gewahrt und der rreis gesenkt. Man nimmt on« daß der widerstand geschaffen wird, wenn ein Teil der nicht«- ohmsohen Grenzschicht unter dem !eil der Elektrode, der abgeschliffen oder lötverzinnt wird, ausgeschlossen wird. An einer solchen Stelle verhalten sich die Elektroden wie ohmsche Metallwiderstande auf Halbleitermaterial. Der Jert des Widerstands &j kann durch Benutzen der formel:

bestimmt werden» worin Γdor spezifische Widerstand des HaIbleitermateriale bei einer Cleiohapannung ist, unter der das elektrische ..ideratanda-Koadensatorkreiseleuient "benutzt werden sollι X* ist der Abstand oder der geometrische l&ttelabstand und A die Durcheohnitieflache der beiden oben beschriebenen, die ohaschen Kontakte darstellenden Flächen der Kondenaatorelektroden.

Der spezifische ohmsche Wideretand kann auf einen v/ert zwischen 5ü und 1 000 0hm mal Zentimeter gebracht und beherrscht werden. Durch Berechnung der Hondensatorelektroden und ihrerau behandelnden /bschnitte und der .Abmessungen des U&lbleiterm^terials, da» die entsprechenden

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Elektroüenfceile trennt» können die icrte für den . stond und den ICondensator vorauabestimint werden·

Aus dem vorstehenden wird ersichtlich, de 3 bei der ilandhcbung ο er Einheit und beim .-abringen des L'rahtsaischlus3GS 1 ώη der /nüchluCfchne 38, di.a J^rahtünacitlusafcS 2 i,m Leiter 2ö» dos ^rent^ncclilussca 3 an der Anaciilußfahne 42, des Irahtänochlu33eB 4 cn der Ansclilußixiine 44 und äea Drehtanschlusses 5 ε-η der /mschluSfcliiic 40 derauf Beöecht genommen weiden laut, nicht die Grenzschicht unter den Elektroden zu zerstijren. Sin Weg, um dies zu erreichen» ist, zunächst eine inaktive Xruckachicht über diese Llektroaen zu ziehen. Wähj'cud cies ^nbringens der Lrahtanachlüsse im Tt-uCixbad bleibt di-s Lot an einem aolchen, vorsorglich cufgebrachten cierzuß nicht hängen, nituat ulso keinen Linfl-fi iuf die Grenzschicht. Ein solcher überzug schützt euch die Elektroden vor Abochliff wahi*end äer Lehandlung in den folgenden -Arbeitsgangen. ^nn die Einheit fertig ist, wird sie in üblicher Vieise durch einen isolierenden überzug eingekapselt.

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Claims

PATENTANWALT ΙΛ 8 Mönchen 2, 4 · Oktober 1962

DIPL-ING. MARTIN LICHT * * Sendlinger Straffe 55

— Fernspreeher 224265 | 4 O 4 O 2 "

Postscheck-Kontos MOndien 163397

6LOBb-TJHIOI_{9 9} Milwaukee 1» Wisconsin,

t Kerfe Avenue 900, V« St. A,

Patentanmeldungt "Elektrische Bauelemente euf dielektrischem Körper, der Seile mit verschiedenen elektrischen Eigenschaften hat, und keramische Maesen dafür"

Patentansprüche t

Eine zuaammengesetste elektrische Einheit, bestehend cus einem einheitlich gebrannten keramischen Körper von vereinigten, in Ihren elektrischen Eigenschaften verschiedenen Kercmikincssen, von denen mindestens die eine maeee rua reduzierten Titannten mit den Eigenschaften elneo ölbleitere und die andere Masse aus nichtohmscher Keramik mit niedriger Dielektrizitätskonstante besteht, aus mindestens einem jfter von Elektroden, die auf der tf&sse aus reduzierten Titeneten gebildet sind, aus einer Grenssohicht, die unterhalb dieser Elektroden hergestellt ist, um hierdurch einen ^ondeneator zu bilden, und aus elektrischen, mit den Elektroden verbundenen Kontakten, deduroh gekennzeichnet, daß dies« elektrischen Kontakte (1-3) an elektrisch leitenden Filmen (28, 38-44) angebraoht sind, deQ diese Filme auf der Masse der nichtohmsohen (18, 20) Keramik gebildet und daß sie elektrisch mit den gen; nuten Elektroden (22-26, 32-36) verbunden (4 über 44, H₂ und 30) sind.

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2« Eine zusammengesetzte elektrische Einheit nach /nspruoh 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kasse aus reduzierten Titanaten folgende Gewichtsprozente enthält!

BaTiO₅ 70,5 - - 71 f> 10,0 ? > CaTiO₅ 7,3 46,0 SrTiO₅ 9,0 - MgZrO₅ 0,7 EaZrO₅ 12,0 - • 11,5 OxydDiiöchungen
von seltenen Erden 0,5 und daß die Masse aus nichtohmscher Keramik folgende Ge wichtsprozente enthält» BaTiO₅ CaTiO₅ 3rTiO₅

2,0 BeZrO₅ 40,0

Oxydmischungen
Ton seltenen Erden

3. Eine zusammengesetzte elektrische Einheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Masse aus reduzierten Titankten die gleiohen Gewichtsprozente wie im Anspruch 2 und daß die !lasse aus niohtohmecher Keramik folgende Gewichtsprozente enthält!

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CaTiO₃ 21,5

16,5 0,5 BaZrO₃ 5,5

4· Eine zusammengesetzte elektrische Einheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daS die Masse aus reduzierten Tltanaten vorbestixoatt Mengen von Bariuetltanat (BaTiO₃) und Oxyden seltener Krden und daß die Masse cue nichtohmseher Keramik vorbeotlmmte Mengen von Celciumtitenat (CaTiO₃), Magneslunzirkoiiet (SIgZrO₃) und Bariumzirkonet (BaZrO₃) enthält.

5· Bine zusammengesetzte elektrische Einheit noch Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Messe aus niohtohmscher Keramik auoh Bariumtitanat (BaTiO₃) enthält«

6· Eine zusammengesetzte elektrische Einheit nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Mengen der genannten Stoffe la wesentlichen innerhalb der folgenden angenäherten Bereiche liegen, bei der Masse aus reduzierten Tltanaten

BaTiO₃ 60 - 90 &

Oxyd« seltener Erden 0,2 - 1,2 und bei der Masse bus niohtohmaoher Keramik

BaTiO₃ 0 - 71 $

CaTiO₃ 7-77

MgZrO₃ 0,5-2

^BaZr05 ⁵ - ⁴⁰ BAD ORIGINAL

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7. Eine austmmengesetate elektrische Einheit nc oh -'.nepruch C₉ dadurch gekennzeichnet, dcß die Licase aus reduzierten litarxten cucli 0-25 % CaTiO₅, Ü~25 f* SrTiO₅, 0-1 j* IvUgZrO₅₁ 0-18 A BaZrO₅, 0-13 $ CaZrO₅ und 0-5,0 % enthält und daß die ·lasse sus nichtohmsoher Keramik

auoh 0-17 ;5 SrTiO₅ und 0-10 & CaZrO₅ enthält.

8. Eine zusammengesetzte elektrische Einheit nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß die Grenzschicht, die unter einer begrenzten Fläche von mindestens einer eier Elektroden (26, 36) liegt, in solcher Weise behandelt ist, daß sie einen endlichen widerstand bildet.

9. üine zusammengesetzte elektrische Einheit nach /naprüch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der widerstand duroh mechanisches Abschleifen einer umgrenzten (46, 48) Fläche von mindestens einer der !elektroden gebildet wird.

10. Eine zusammengesetzte elektrische Einheit n&ch Anspruch 8, deduroh gekennzeichnet, daß der Wideretand duroh Anbringen von Lötzinn an einer umgrenzten (46, 48) Fläche von mindestens einer der Elektroden gebildet wird.

11. Eine zusammengesetzte elektrische Einheit nach einem der Ansprüche 8-10» daduroh gekennzeichnet, daß der Sondensator einen Wert im Bereich von 0,01 /vif - 2,0/viF und daß der Widerstand einen Wert im Bereich von 20 Ohm bis 20 Megohm hat.

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12. Eine zusammengesetzte elektrische Einheit naoh einem der Ansprüche 8-11, döduroh gekennzeichnet« daß der ert des i^erstende bei der eingelegten Gleichspannung c.bhängig von der Flüche der Elektrode, von der Fläche der darunter liegenden, behandelten Cronz3chicht und von dem spezifischen ohmachen //iderstand \:s üelbleiterteils zwischen den über der behandelten Crenzaohicht liegenden Elektrodenteilen ist·

13. Eine zuspmmengesetzte ker: mische Ilrsae, die sich | für den Cebrruch in einem elektriochen ; ruelement eignet, gekennzeichnet durch die Kennzeichen des . noprucha 4.

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