DE1446262C - Hochvakuum-Bedampfungsanlage - Google Patents
Hochvakuum-BedampfungsanlageInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Hochvakuum- Gegenstände aus Holz, Glas, Metall oder Kunststoff,
Bedampfungsanlage zum Aufdampfen von metalli- bestehend aus zwei durch Leitungen miteinander verschen
Überzügen auf Gegenstände aus Holz, Glas, bundenen und getrennt evakuierbaren Kesseln, und
Metall oder Kunststoff. Metallisierungsanlagen der zeichnet sich dadurch aus, daß zwei gleich große
genannten Art sind an sich bekannt. So wird z. B. 5 Kessel vorgesehen sind, von denen einer volumenein
Kessel mit den erforderlichen Bedampfungsein- mäßig durch eine Reihe von kleinen Kesseln ersetzt
richtungen versehen, die aus Heizelementen bestehen, sein kann und die Kessel wahlweise einzeln oder
welche durch sogenannte Schiffchen od. dgl.· das gemeinsam über mit Ventilen versehenen Verbin-Metall,
beispielsweise Rein-Aluminium verdampfen, dungsleitungen durch je eine Vor- und Hochvakuumweiches
sich dann auf den zu verdampfenden Gegen- io pumpe evakuierbar angeordnet sind. Es stehen also
ständen beliebiger Art, Folie od. dgl., in Form eines erfindungsgemäß zwei Hochvakuumkessel miteindünnen
Metallbelages niederschlägt. ander in. Verbindung, die sowohl· wahlweise wfe
Eine derartige Anlage bestand bisher aus einem gemeinsam mit einer Vorpumpe, wie mit einer
Pumpenaggregat für einen Kessel mit den vor- Diffusionspumpe, über Ventile verbunden werden
erwähnten Bedampfungseinrichtungen. Der weitaus 15 können. Eine Leitung führt vom Oberteil der Diffugrößte
Teil der Herstellungskosten dieser Anlage sionspumpe zu dem ersten Kessel, und auf die gegenwird
von dem Pumpenaggregat bestritten. Für Stück- überliegende Seite führt eine Verbindungsleitung zu
oder Bandbedampfung ist jedesmal eine besondere dem zweiten Kessel. Zweckmäßigerweise sind diese
Pumpenanlage notwendig. Diese verteuert die Ein- beiden Kessel gleich groß, damit ein Arbeiten unter
richtung wesentlich.!'; ΐ·1 ^ 0' i;.r.-;>:- i ' ao gleichartigen Bedingungen gewährleistet ist.
Für den erwähnten Zweck sind bereits Anlagen Der zweite Kessel kann aber auch in verschiedene
zum kontinuierlichen Behandeln, z.B. Imprägnieren kleinere Kessel unterteilt werden, was dann vorteil-
oder Bedampfen von bandförmigem Material im haft ist, wenn viele und zum Teil kleinere Teile
Vakuum bekanntgeworden, welche durch baustein- metallisiert werden sollen, bei denen das Einbringen
artig zusammensetzbare, jeweils einer bestimmten 35 in die Halterung etwas zeitraubend ist.
.Einzelbehandlung oder Behandlungsstufe zugeord- Die Arbeitsweise der Anlage kann nun darin nete, unter Abdichtung miteinander kuppelbare bestehen, daß zur Erzielung eines Druckausgleiches Anlagenteile oder Kessel arbeiten. Dabei sind die zwischen den beiden Kesseln der eine, der beispielseinzelnen Anlagenteile, z. B. mittels der entsprechend weise unter Hochvakuum steht, den zweiten Kessel, ausgebildeten Kupplungen, gegeneinander justierbar. 30 der noch unter Atmosphärendruck steht, durch Das besondere bei solchen Anlagen der bekannten Ventilschaltung ohne Betätigung der Pumpenanlage Art wird darin gesehen, daß die Dichtungen zwischen auf ein Vorvakuum bringt. Dieser Druckausgleich den Anlagenteilen, z. B. zwischen den Schüssen eines erfolgt in kürzester Zeit, worauf dann das Ventil die-Kessels und gegen den äußeren Raum, z. B. die freie ser Verbindungsleitungen geschlossen wird. Gleich-Atmosphäre, jeweils an den Mantelflächen der 35 zeitig beginnt die Pumpenanlage zu arbeiten und Kesselschüsse vorgesehen sind. saugt die Luft aus dem zweiten Kesselsystem und
.Einzelbehandlung oder Behandlungsstufe zugeord- Die Arbeitsweise der Anlage kann nun darin nete, unter Abdichtung miteinander kuppelbare bestehen, daß zur Erzielung eines Druckausgleiches Anlagenteile oder Kessel arbeiten. Dabei sind die zwischen den beiden Kesseln der eine, der beispielseinzelnen Anlagenteile, z. B. mittels der entsprechend weise unter Hochvakuum steht, den zweiten Kessel, ausgebildeten Kupplungen, gegeneinander justierbar. 30 der noch unter Atmosphärendruck steht, durch Das besondere bei solchen Anlagen der bekannten Ventilschaltung ohne Betätigung der Pumpenanlage Art wird darin gesehen, daß die Dichtungen zwischen auf ein Vorvakuum bringt. Dieser Druckausgleich den Anlagenteilen, z. B. zwischen den Schüssen eines erfolgt in kürzester Zeit, worauf dann das Ventil die-Kessels und gegen den äußeren Raum, z. B. die freie ser Verbindungsleitungen geschlossen wird. Gleich-Atmosphäre, jeweils an den Mantelflächen der 35 zeitig beginnt die Pumpenanlage zu arbeiten und Kesselschüsse vorgesehen sind. saugt die Luft aus dem zweiten Kesselsystem und
Trotz der für alle Anlagenteile gegebenen Möglich- beginnt also dort ein Hochvakuum zu erzeugen,
keit einer Parallelschaltung von Vakuumvor- und In der Zwischenzeit kann die erste Kesselanlage
Hauptpumpe handelt es sich hierbei lediglich um ein geöffnet, entleert und neu mit zu metallisierenden
Gesamtgefäß, welches bei einem durchaus gegebenen 40 Gegenständen bestückt werden. Nach erfolgter
Ausfall des einen Anlageteiles in der Gesamtheit nicht Füllung des ersten Kessels wird dieser geschlossen,
mehr funktionsfähig ist. und nach Abschluß des Metallisierungsvorgangs im
Bei einer weiteren bekannten Einrichtung zum zweiten Kessel wird in umgekehrter Reihenfolge ver-
Evakuieren einer größeren Anzahl von Gefäßen mit- fahren.
tels derselben Vakuumpumpe, wobei in etwa gleichem 45 Neben dem wirtschaftlichen Vorteil, daß nur die
Zeitmaß fertiggepumpte und abgeschlossene Gefäße Anschaffungskosten für eine Pumpenanlage erforder-
nacheinander entnommen und ebenso viele neue lieh sind, ergibt sich ein wesentlicher Zeitgewinn für
Gefäße angeschlossen werden, arbeitet man in der die Erzeugung des Vakuums. Dadurch ist es in vielen
Weise, daß eine Vakuumpumpe so hoher Saug- Fällen möglich, eine Verdoppelung der Produktion
geschwindigkeit verwendet wird, die in der Zeit vom 50 zu erzielen.
Anschließen eines neuen Gefäßes bis zur Abnahme Ein weiterer Vorteil ist dadurch gegeben, daß die
des nächsten fertigen Gefäßes wieder das gewünschte beiden getrennten Kesselsysteme für zwei verschie-Endvakuum
erreicht. Dabei ist je ein Vakuum- denartige Metallisierungsvorgänge ausgenutzt wersammelraum
für Vor-und Hochvakuum vorgesehen den. Es kann beispielsweise der erste Kessel für
und die zu evakuierenden Gefäße sind mittels jedem 55 Stückbedampfung und der zweite Kessel für Bandvon
ihnen zugeordneten Ventilen wahlweise an den bedampfung eingesetzt werden, was bisher mit einer
einen oder anderen Sammelraum anschließbar. Aller- Pumpenanlage nicht möglich war.
dings ist ein solches Gerät lediglich dazu bestimmt, Einzelheiten der ,Erfindung sind an Hand eines eine größere Anzahl von kleineren Gefäßen, wie bevorzugten Ausführungsbeispieles in der Zeichnung Glühlampen, Radioröhren od. dgl., mittels derselben 60 und in der nachfolgenden Beschreibung näher erVakuumpumpe zu evakuieren. Solche Lampen bzw. läutert, wobei der Gegenstand der Erfindung nicht Röhren werden bekanntlich nach dem Evakuieren ver- auf das dargestellte Beispiel beschränkt ist.. Es zeigt schlossen, so daß eine Mehrzweckanwendung eines F i g. 1 eine Anlage mit zwei gleich großen Kesseln erreichten Vakuums, etwa des Vorvakuums, mittels und
Druckausgleichs von vornherein ausscheidet. 65 F i g. 2 eine Anlage, bei welcher der eine der
dings ist ein solches Gerät lediglich dazu bestimmt, Einzelheiten der ,Erfindung sind an Hand eines eine größere Anzahl von kleineren Gefäßen, wie bevorzugten Ausführungsbeispieles in der Zeichnung Glühlampen, Radioröhren od. dgl., mittels derselben 60 und in der nachfolgenden Beschreibung näher erVakuumpumpe zu evakuieren. Solche Lampen bzw. läutert, wobei der Gegenstand der Erfindung nicht Röhren werden bekanntlich nach dem Evakuieren ver- auf das dargestellte Beispiel beschränkt ist.. Es zeigt schlossen, so daß eine Mehrzweckanwendung eines F i g. 1 eine Anlage mit zwei gleich großen Kesseln erreichten Vakuums, etwa des Vorvakuums, mittels und
Druckausgleichs von vornherein ausscheidet. 65 F i g. 2 eine Anlage, bei welcher der eine der
Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung be- Kessel durch eine Reihe kleinerer Kessel ersetzt ist.
trifft daher eine HochvakuunvBedampfungsanlage Mit 1 und 2 sind die beiden korrespondierenden
zum Aufdampfen von metallischen Überzügen auf Kessel der Pumpenanlage bezeichnet, die an einer
Vorpumpe (Rotationspumpe) liegen, die von einem Motor 8 angetrieben und in einer ersten Stufe durch
eine Haltepumpe 9 ergänzt wird. Weiter hängen die Kessel 1 und 2 an einer gemeinsamen Hauptpumpe
(Diffusionspumpe) 5, die durch einen Leitungsstrang mit der Vorpumpe 6 über ein Ventil 19 verbunden
sind.
In gleicher Weise liegen Ventile 19 in den Leitungen, welche die Vorpumpe und die Hauptpumpe mit
den Kesseln verbinden. Mit 3 und 4 sind Transformatorenwagen, mit 11,12 und 13 Beschickungswagen
bezeichnet. Für die Gesamtanlage ist ein kombinierter Schaltschrank 7 vorgesehen. Die Anlage arbeitet,
wie durch die strichpunktierten Linien (Vorpumpen) und die gestrichelte Linie (Feinpumpen) dargestellt
ist. Das Vorpumpen wird durch Schließung des Ventils 19 in dem Leitungsstrang nach der Diffusionspumpe
bewerkstelligt. Ist der Vorgang des Vorpumpes beendet, werden sämtliche Ventile um die
Leitungskreuzung geschlossen und die großen Ventile 19 in der Leitungsführung der Diffusionspumpe
geöffnet. Das Feinpumpen kann damit beginnen.
Soll nur ein Kessel, beispielsweise der Kessel 1, auf Hochvakuum gebracht werden, schließt man
nacheinander unter öffnung der rechten Ventile 19 erst die Vorpumpe und dann die Feinpumpe an diesen
Kessel an. Steht der Kessel 2 unter Atmosphärendruck und soll in diesem Kessel ein Vorvakuum erzeugt
werden, so läßt sich das dadurch erreichen, daß man die durchgehende Leitung mit ihren beiden
Ventilen 19 öffnet und einen Druckausgleich zwischen dem Atmosphärendruck des Kessels 2 und dem
Hochvakuum des Kessels 1 herbeiführt.
In F i g. 2 ist der Kessel 2 der F i g. 1 durch eine Reihe kleinerer Kessel 14,15,16 und 17 ersetzt.
Diese kleineren Kessel stehen durch eine Verteilerleitung 18 mit der Vorpumpe 6 und der Feinpumpe 5
in Verbindung. Die Funktion, welche mit dieser Anordnung durchgeführt wird, entspricht genau dem
an Hand der Fig. 1 der Zeichnung geschilderten Vorgang.
Claims (1)
- Patentanspruch:Hochvakuum-Bedampfungsanlage zum Aufdampfen von metallischen Überzügen auf Gegenstände aus Holz, Glas, Metall oder Kunststoff, bestehend aus zwei durch Leitungen miteinander verbundenen und getrennt evakuierbaren Kesseln, dadurch gekennzeichnet, daß zwei gleich große Kessel (1,2) vorgesehen sind, von denen einer volumenmäßig durch eine Reihe von kleinen Kesseln (14,15,16 und 17) ersetzt sein kann und die Kessel wahlweise einzeln oder gemeinsam über mit Ventilen (19) versehenen Verbindungsleitungen durch je eine Vor- und Hochvakuumpumpe (5, 6) evakuierbar angeordnet sind.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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