DE60026461T2
(de )
2006-09-28
Lithographischer Projektionsapparat
DE2655525A1
(de )
1978-06-15
Verfahren zur erweiterung des schaerfentiefebereiches ueber die durch die konvnetionelle abbildung gegebene grenze hinaus sowie einrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens
EP1202101A3
(de )
2004-02-25
Beleuchtungssystem mit variabler Einstellung der Ausleuchtung
DE2950249C2
(de )
1982-04-08
Rauhe Transportwalze für den Entwicklerbereich einer Diazokopiermaschine
DE1337766U
(cg-RX-API-DMAC7.html )
DE102017209796A1
(de )
2017-08-10
Lagervorrichtung und messmaschine oder lithographieanlage
DE102015220817A1
(de )
2015-12-24
Messvorrichtung mit Luftlager
DE102018208710A1
(de )
2019-12-05
Blende zur Anordnung in einer Engstelle eines EUV-Beleuchtungsbündels
DE102018206404A1
(de )
2018-06-14
Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie mit Heizvorrichtung und Verfahren
DE102021205985A1
(de )
2022-12-15
Optische Anordnung für die EUV-Lithographie und Verfahren zum Regenerieren eines gasbindenden Bauteils
EP0218865B1
(de )
1989-12-27
Prüfanordnung zur berührungslosen Ermittlung von Defekten in nicht strukturierten Flächen
DE2520194A1
(de )
1975-11-27
Infrarot-objektiv
DE102023207013A1
(de )
2025-01-30
Optische Anordnung für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage, EUV-Projektionsbelichtungsanlage
DE3109597C2
(de )
1983-10-13
Vorlagenbeleuchtungseinrichtung
DE102021203961B3
(de )
2022-08-25
Pupillenblende für eine Beleuchtungsoptik eines Metrologiesystems, Beleuchtungsoptik und Metrologiesystem
DE102014203040A1
(de )
2015-08-20
Beleuchtungssystem einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben eines solchen
DE69025807T2
(de )
1996-10-24
Beleuchtungssystem
DE3228531C2
(cg-RX-API-DMAC7.html )
1990-08-09
EP1124651B1
(de )
2003-01-29
Vorrichtung zur bildaufnahme von paketoberflächen
DE2020794C3
(de )
1973-12-06
Elektrofotografisches Kopiergeraet
DE102021130499A1
(de )
2023-05-25
Prüfvorrichtung, Fertigungsanlage und Fertigungsverfahren
EP3822198A1
(de )
2021-05-19
Stückguterfassungsanordnung
Szedlmayer et al.
1991
Automated enumeration by computer digitization of age-0 weakfish Cynoscion regalis scale circuli
DE102020208451A1
(de )
2021-06-10
Beleuchtungsoptik für die EUV-Projektionslithographie
DE102016201317A1
(de )
2016-11-24
Beleuchtungsoptik für die EUV-Projektionslithographie