DE1284535B - Optischer Sender fuer phasenkohaerente Strahlung - Google Patents

Optischer Sender fuer phasenkohaerente Strahlung

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DE1284535B
DE1284535B DE1965J0027319 DEJ0027319A DE1284535B DE 1284535 B DE1284535 B DE 1284535B DE 1965J0027319 DE1965J0027319 DE 1965J0027319 DE J0027319 A DEJ0027319 A DE J0027319A DE 1284535 B DE1284535 B DE 1284535B
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optical transmitter
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semiconductor
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Dr Heinrich
Hora
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Institut fuer Plasmaphysik GmbH
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/102Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen optischen Sender für phasenkohärente Strahlung mit einem p -.leitenden. Halbleiterkörper als stimulierbarem Medium,, das in einem optischen Resonatör angeordnet ist und als Elektrode innerhalb eines Entladungsrohres mit freien Elektronen aus einer Entladung überbesetzt. angeregt wird.
  • Bekanntlich kann in bestimmte n -p-leitenden Halbleitermaterialien dadurch eine Besetzungsinversion erzeugt werden, daß man Elektronen in das Leitungsband. einführt, die- unter Emission von Strahlung mit-Deffektelektronen im Valenzband rekombinieren» können. Beim Vorliegen bestimmter, bekannter Bedingungen'kann der Z7bergang der Elektronen vom Leitungsband in das Valenzband erzwungen (stimuliert) werden, wobei dann phasenkohärente Strählüng emittiert wird.. - .
  • Es sind verschiedene Möglichkeiten bekannt, :Elektronen in das Leitungsband eines Halbleitermaterials einzuführen; um eine stimulierte Emission zu erreichen. Bei lichtemittierenden pn-Flächendioden werden die Elektronen-durch einen in Flußrichtung, vorgespannten pn-übergang in das p-leitende Halbleitermaterial injiziert.
  • Es ist ferner bekannt, optische Sender für phasenkohärente Strahlung, die als: stimulierbares Medium 1 einen Halbleiterkörper enthalten, optisch anzuregen. Die zur optischen Anregung dienende Strahlung kann dabei durch Beschießen eines Lumineszenz= materials mit einem Elektronenstrahl erzeugt werden (belgische Patentschrift 645 288).
  • Weiterhin ist es bekannt,: einen auf die Temperatur des flüssigen Heliums abgekühlten.. CdS-Einkristall mit 200-keV-Elektronen zu beschießen, wobei dann der -Einkristall eine intensive Strahlung von 4966 A emittiert. Die Linienbreite der Emission kann durch Verdreifachender Stromdichte von 35 auf 7 A verringert werden (Dokl. Akad. Nauk. SSSR, Vol. 155,-Nr.4, 1964, 783).
  • Bei einem anderen durch Elektronenbeschuß angeregten optischen Sender mit selektiver Fluoreszenz in einem festen Medium hat das stimuiierbäre@Medium die Form von Fasern, die koplanar und parallel angeordnet sind und in Richtung des auftreffenden Elektfonenstrahls eine geringe Abmessung haben. Die Abmessungen können in der Größenordnung von 10 N.m liegen. Die nebeneinanderliegenden Fasern können durch einen bandförmigen Elektronenstrahl, dessen Ebene parallel zur Richtung der fasern, verläuft und der durch Ablenkplatten senkrecht zu den Fasern ablenkbar ist, nacheinander angeregt werden- (deutsche Auslegeschuft -1 183-597): - ' Es ist schließlich-..eiä-frequenzmadulierbarer. opti-, scher Sender mit ei nern-Halblekeceinkristall als stimulierbarem Medium `-vorgeschlagen° worden-,- bei dem sich die für die.rFrequenz@dervorh Halbleitereinkristall emittierten. :kohärenten ,:Strahlung-- maßgebliche Energiebandlücke -längs.. einer. .Kgnte. des Halbleitereinkristalls ändert und der Halbleitereinkristall zu seiner Stimulierung miteinem vergleichsweise eng gebündelten Elektronenstrahl entlang dieser Kante abtastbar ist. Der Halbleitereinkristall kann aus Galliumarsenid bestehen (deutsche Patentschrift .1236 099). -Die bekannten optischen Sender für phasen@ kohärente Strahlung, die einen Halbleiterkörper als stimulierbares Medium enthalten, lassen. in vieler Hinsicht zu wünschen übrig: -Bei phasenkohärente Strahlung emittierenden pn-Flächendioden lassen sich die Elektronen- zwar finit gutem Wirkungsgrad in das Leitungsband der p-Zone einführen, aus weiter unten noch näher zu erläuternden Gründen treten jedoch erhebliche Strahlungsverluste durch Beugung auf, so daß zum Erzielen einer stimulierten Emission sehr hohe Stromdichten - erforderlich werden, war vor allem hinsichtlich der auftretenden Verlustwärme erhebliche Schwierigkeiten mit sich bringt.
  • Bei der Anregung eines Halbleiterkörpers durch optische Strahlung oder durch Beschuß mit schnellen Elektronen` treten hohe Verluste durch Paarbildung (Erzeugung von Elektronen-Loch-Paaren) auf: Beim Beschuß mit schnellen Elektronen besteht außerdem die Gefahr, daß die Oberflächenbeschaffenheit und/ oder die Kristallstruktur des normalerweise einkristallinen Halbleiterkörpers leiden.
  • I)ie: oben geschilderten Nachteile werden bei einem optischen Sender der eingangs genannten Art gemäß der Erfindung dadurch vermieden, daß die Dicke des Halbleiterkö ers in Elektronenstrahlrichtung mindestens A : n2 - 1,_ und, höchstens 20 tim beträgt, wobei A die Wellenlänge der phasenkohärenten Strahlung und n das Verhältnis der Brechungsindizes des Halbleitermaterials des Halbleiterkörpers und des angrenzenden Mediums bedeutet, daß weiter. die Mindeststromdichte 6,2 A/cm--2 beträgt und daß die in die Oberfläche des Halbleiterkörpers eintretenden Elektronen eine maximale kinetische Energie von 50 eV haben.
  • Vorzugsweise haben die: Elektronen eine maximale Energie von 10 eV- - - Y .Unter diesen Verhältnissen treten praktisch keine Verluste durch Paarbildung auf, die Elektronen treten vielmehr in ein höheres Niveau im Halbleiter ein, von dem aus sie strahlungslos auf ein zweites, niedrigeres Niveau im Leitungsband übergehen, nämlich das Niveau, von dem aus eine direkte, mit -der Emission eines Photons verbundene Rekombinatiön -üit_einem Defektelektron im Valenzband mög lieh ist.
  • Der Halbleiterkörper kann als Anode in einem Entladungsrohr arbeiten das auf Hochvakuum evakuiert sein oder ein Gas enthalten kann. Im letzteren Falle werden dann die Elektronen durch eine im Betrieb aufrechterhaltene Gasentladung geliefert: In beiden Fällen kann das Entladungsrohr eine Diode sein oder ein oder mehrere Gitter oder andere Elektroden enthalten,-die die--Stärke des in dien Halbleiterkörper eintretenden Elektronenstromes zu steuern gestattete _ 1 "Die` -wirksame Stromdichte imällleiterkörper -kann ,außerdem oder. zusätzlich auch noch' durch andere Mittel gesteuert:werden,-z. B. durch elektrische oder magnetische Ablenkung eins Elektronenstrahles in einem Hochväkuumentlädungsrohr oder durch an sich-bekannte elektrische tind/dder magnetische Be-`enflpssung der Gasentladung:-.in einem gasgefüllten Entladungsröhr,@ -i ..
  • Als stimulierbares Medium können alle sogenannten »direkten Halbleiter« {also Halbleitermaterialien, bei denen die Rekombination ohne Mitwirkung des Gitters und seiner Störstellen unter Strahlungsemission erfolgt) verwendet werden, z. -B. Galliumarsenid. Vorzugsweise werden jedoch solche Halb= leitermaterialien verwendet, bei denen die untere Grenze des Leitungsbandes möglichst nahe beim Vakuum-Niveau, d. h, demjenigen Potential, das die Elektroneneintrittsfläche des Halbleiterkörpers gegenüber dem angrenzenden. Vakuum bildet, liegt, also beispielsweise I-V-Halbleiterverbindungen, z. B. Alkaliantimonide. Bei solchen Materialien ist die in Wärme umgesetzte Verlustenergie, die bei dem obererwähnten Übergang eines freien Elektrons in das erwähnte zweite Niveau des Leitungsbandes frei wird, besonders gering. Außer den obererwähnten halbleitenden I-V-Verbindungen und-den gut bekannten halbleitenden III-V-Verbindungen können auch halbleitende I-VI-Verbindungen, II-V-Verbindungen und II-VI-Verbindungen verwendet werden, so daß eine interessante Vielzahl stimulierter Frequenzen zur Verfügung steht.
  • Es war bereits erwähnt worden, daß der Halbleiterkörper des vorliegenden optischen Senders vorzugsweise als- Anode einer Elektronenentladungseinrichtung ausgebildet ist.- Wenn der Halbleiterkörper, der meist die Form eines relativ dünnen Plättchens mit zwei planparellelenr weitgehend reflektierenden Flächen hat °ünd' einen optischen Resonator bildet; von einer als Zuleitung und mechanische Stütze - dienenden Metallplatte getragen wird, ist vorzugsweise zwischen dieser Metallplatte und dem Halbleiterplättchen eine elektrisch leitende Schicht vorgesehen, deren Brechungsindex möglichst klein gegenüber dem Brechungsindex des Halbleitermaterials ist, um Beugungsverluste klein zu halten, wie noch erläutert wird. Da :diese Schicht in Richtung ihrer geringsten Abmessung vom elektrischen Strom durchflossen wird und- außerdem in: gut wärmeleitendem Kontakt mit einer als Wärmesenke wirkenden Metallplatte. steht, stehen für diese Zwischenschicht eine Vielzahl von Materialien zur Verfügung, als Beispiel sei Zinnchlorid erwähnt.
  • Das Halbleiterplättchen. kann jedoch auch frei tragend verwendetwerden. Es wird in diesem Falle als Trennwand zwischen zwei Entladungsräumen angeordnet, und die dem einen Entladungsraum zugewandte Seite arbeitet dann als Anode; während die dem anderen Entladungsraum zugewandte Seite als Kathode wirkt. Die beiden Entladungsräume crithalten dabei vorzugsweise ein Gas unter vermndertem Druck; so daß sich im Betrieb, in den beiden Entladungsräumen je eine Gasentladung ausbildet. Die beiden -Entladungsräume , können durch, das Plättchen hennetisch gegeneinander abgedichtet sein; vorzugsweise wird jedoch einfach ein längiiches'Entladungsgefäß verwendet; in dem das- Hälbleiter`plättchen wenigstens annähernd senkrecht` zu seiner Achse angeordnet- ist. Der -Innendurchmesser des Entladungsgefäßes ist dabei nur wenig größer als der Außenumfang des Hä'Ibleiterplättchdns, so daß die Entladung nicht um das Plättchen': herum brennen kante. Dies kann auch noch durch zusätzliche E1ektroden verhindert 'werden, so' kann ;ßäs Halbreiterplättchen z: B. in einer `als 'Iiölil Ano2'd"-bzw. Höhl-Kathode wirkenden 3löhlzyliriderförniigeri leitenden Elektrode- angeordnet sein °- -Die Energie der in das" - Hälbleiterplättcheri' eintretenden. Elektronen entspricht bei- gasgefijllten Entladungsröhren im wesentliehen dem 'Anodenfall, falls nicht direkt vor der Anöde besondere Elektroden zur Potentialsteuerung vorgesehen sind.. Die Einstellung eines gewünschten Anodenfalles kann .nach. den bekannten Gesetzen. der Gasentladungsphysik erfolgen;, so' däß elf eine nähere Erläuterung verzichtet werderikann: Auch die Anordnung find Vorspannüng von Potentialsteuerelektroden-istaus' der Elektrot@enröhrentechnik bekannt.
  • Zur näheren Erläuterung der Erfindung wird'ayüf_ die Zeichnungen verwiesen, es zeigt - ` F i g. 1 eine schematische Schnittdarstellung .einer ersten Ausführungsform der Erfindung; F i g. 2 eine vergrößerte Teilansicht der Anöden= anordnüng des, in F i g. 1 'dargestellten Ausführungsbeispiels der Erfindung, -F i g. 3 ein Diagramm," das die Abhängigkeit. der in Zentimeter gemessenen optimalen Länge laIe des von einem Halbleiterkörper gebildeten optischen Resonators von der Löcherdichte des Galliumärsenids zeigt, F i g. 4 ein Diagramm, das die Abhängigkeit der für eine. Stimulation mindestens erforderlichen Stromdichte j, gerechnet in Ampere pro Quadratzentimeter, von der Länge l des optischen Resonators zeigt; Parameter ist die Löcherdichte im Halbleitermaterial; das Diagramm ist für den speziellen Fall -errechnet, daß .die. Dicke- des Halbleiterkörpers. 2@#im und das Reflexionsvermögen R seiner Stirnflächen -99% - betragen, - _ F i g.- 5' eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform der Eifindung, die ebenfalls mit einer Gasentladung arbeitet, F i g. 6 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der Erfindung, bei der die Elektronenentladung ini Hochvakuum stattfindet, F i g. 'i eine weitere Ausführungsform der Erfindung und F i g. 8 eine Schnittansicht entsprechend der Ebene 7-7 in F i g. 7, die eine etwas abgewandelte Anodenanordnung -einer irn wesentlichen =F i g. 7 entsprechenden All sführungsfärm der. Erfindungzeigt.
  • Soweit sich die verschiedenen Bauteile der dargestellten - Ausführungsform entsprechen, sind gleiche Bezugszahlen, , gegebenenfalls - mit angehängten Strichen,- verwendet worden.
  • Die - in F i g: 1 -dargestellte Ausfiihriingsform der Erfindung besteht :aus einem Vakuumgefäß 10, das ein ionisierbares- Medium, z. B. ein Edelgas, unter vermindertem Druck, z. B: etwa zwischen 10-2- @tnd 100 Torr, enthalt.
  • Im Vakuumgefäß 10 sind eine kalte -Kathole112 und eine Anode 14 angeordnet, die über vakuumdichte Durehf"ührungen an einen noch zu beschreibenden äußeren,' Stromkreis angeschlossen werden können. -Soweit beschrieben, entspricht die Anordnung einer üblichen Gasentladungsröhre, in- der bei Anlegen -einer ..geeigneten Spanxiung, -die etwa in -der Größenordnung- von 100 bis ' zu mehreren. hundert Volt Ue nach dein Gasdruck) beträgt, Glimmentladung unterhalten werden kann. ;per Strom für die Entladung wird von einer an KleNm@en,l6:angeschlossenen, nicht dargestellten Stromq'ue11e geliefert. Da eine Glimmentladung eine fallende Charakteristik hat, ist in- die Zuleitung ein vorzügs@ei e einstellbarer Widerstand 18 _ geschaltet.
  • hie als ganzes mit 14' Gezeichnete Äraöde besteht; aus einer leitenden. Unterlage 20,. z. B. einer, Metallplätte, und einem von dieser .Unterlagg.'getragenen dünnen Halbleiterplättchen 22x .das das sticpullerbäre, Medium- .des optischen Senders darsfellt..
  • 'Die Anode .14 ist in , Fi g2". genauer dargestellt. Das Halbleiterplättchen 22,- degeri ,.Länge mit I uitct dessen Dicke mit d bezeichnet sind, weist in üblicher Weise zwei planparallele Flächen 24, 26 auf, die mit einem nicht dargestellten vollständig bzw. fast vollständig reflektierenden Belag versehen sind, so daß ein optischer Resonator gebildet wird.
  • Die Dicke des zweckmäßigerweise monokristallinen Halbleiterplättchens 22 wird vorzugsweise so klein gewählt, daß das Halbleiterplättchen für die stimulierte Strahlung als optischer Resonator wirkt und das Halbleitermaterial praktisch in seiner .ganzen Dicke von- den in Richtung der Pfeile 28 (F i g. 2) einfallenden `Elektronen zur stimulierten Emission angeregt wild.
  • Eine untere Grenze für die Dicke d wird durch die Beugungsverluste gesetzt: Das in Längsrichtung des Plättchens (Doppelpfeil 30) auf die Stirnflächen 24,26 auffallende Licht wird nämlich_bei der Reflexion gebeugt. Das erste Intensitätsminimum des gebeugten Lichtes tritt, in einem. Winkel a auf, der von der Dicke d und der Wellenlänge A, der stimulierten Strahlung abhängt, wie in F i g. 2 eingezeichnet ist.
  • - Wenn: man fördert, daß das gesamte Licht, das in den Winkelbereich @.a gebeugt wird, beim Auffallen auf die Hauptflächen 32, 34 des Halbleiterplättchens vollständig reflektiert wird, so ergibt sich die Mindestdicke do unter Anwendung der bekannten optischen Gesetze gemäß folgender Formel: dabei bedeutet n das Verhältnis zwischen dem Brechungsindex des Halbleiterplättchens und dem Brechungsindex - des angrenzenden Mediums: Im Falle von Galli_umarsenid ergibt sich dabei mit 7. = 8400A und ir = 3;3 eine Mindestdicke do von 0,267 im; wenn .der Brechungsindex des angrenzenden Mediums gleich 1 (Vakuum) ist.
  • Um die Reflexionsverluste bei der in.F i g. 2 dargestelltQn Anodenanordnung auch an der Grenzflache 34 klein zu halten, die von der Metallplatte 20 unterstützt ist, wird vorzugsweise zwischen der Fläche 34 des Halbleiterplättchens 22 und der Metallplatte 20 eine dünne elektrisch leitende Schicht 36 mit möglichst kleinem Brechungsindex vorgesehen. Die Schicht 36 kann beispielsweise aus Zinnoxyd oder irgendeinem anderen leitenden oder halbleitenden Material bestehen. Wenn der Brechungsindex der Schicht 36 den Wert 3 hat, beträgt die Mindestdicke bei Verwendung von Galliumarsenid 1,795 jm.
  • Umeine stimulierte Emission zu ermöglichen, -muß die Löcherdichte im Halbleitermaterial 22 mindestens so hoch- sein, _daß- die fermi-Statistik gilt. Für Galliümarsenid -eigibt sich dabei für 20°C eine Löcherdichte von mindestens 6 - 1018 cm-3, so daß man also- in der Praxis ein entartet dotiertes Material verwenden wird. Die obere Grenze der Löcherdichte dürfte bei etwa 1020 liegen, da mit wachsender Löcherdichte auch die Verluste durch Intabändabsorption und Strahlungsabsorption durch Freie Träger zu-nehmen.
  • Für die _ Länge 1 des Halbleiterplättchens gelten ähnliche Uberlegungen.-Die optimale Länge lopt ist in F i g. 3 in Abhängigkeit von der Löcherdichte np angegeben. - -Das in F i g. 4 dargestellte Diagramm zeigt -die Abhängigkeit der für- eine stimulierte Emission .erforderlichen- Mindeststromdichte j in Ampere -pro Quadratzentimeter in Abhängigkeit von der Länge , des Halbleiterplättchens (vgl. F i. g: 2), - Parameter ist die Löcherdichte np; ,d = 2: txrn"R = 990%. Für Galliumarsenid und Caesiumantimonid ergeben sich beispielsweise die in der folgenden Tabelle angegebenen Werte
    GaAs . Cs3Sb
    Länge 1 (mm) .................. 0;3 10
    Dicke d (#tm) ................ 2 10
    Reflexionsfaktor (%) .......... 99 99
    Löcherdichte np. (cm-3) ....... 1019 101s
    Mindeststromdichte j (A/cm-2) 12 . -6,22
    Die Zeile »Reflexionsfaktor« bezieht sich auf das Reflexionsvermögen der Stirnflächen 24, 26 des optischen Resonators. -Man sieht aus der obigen Tabelle; daß die für eine stimulierte Emission erforderlichen Mindeststromdichten im Vergleich zu den üblichen stimuliert emittierenden Dioden überraschend niedrig liegen, Der Grund hierfür liegt darin, daß beim vorliegenden optischen Sender wesentlich kleinere Beugungsverluste auftreten, da die wirksame Halbleiterzone beidseits von Medien mit wesentlich kleinerem Brechungsindex begrenzt wird, während bei einer stimuliert emittierenden pn-Diode kein Brechungsindexsprung vorhanden ist und das ganze äbgebeugte Licht -verlorengeht.
  • .Der erfindungsgemäße optische Sender läßt sich sehr bequem modulieren, wie in F i g: 1 schematisch dargestellt ist. Eine erste Modulationsmöglichkeit besteht darin, den Entladungsstrom durch einen in die Zuleitung_.geschalteten Modulator 40 zu modulieren. Eine andere Möglichkeit besteht darin, den Entladungsstrom mittels eines Gitters 42 zusteuern. Die Modulationsspannung wird dann über Klemmen 44 zwischen Kathode 12 und Gitter 42 zugeführt. Wieder eine: andere Modulationsmöglichkeit besteht darin, die Gasentladung durch ein äußeres Magnetfeld zu beeinflussen, das beispielsweise mittels einer Spule 45 erzeugt wird. Die erwähnten Modulationsmöglichkeiten können auch in Kombination angewendet werden.
  • Der aus der einen nur teilweise reflektierenden Stimfläche, z. B. der Fläche 24 (F-i g. 2), austretende Lichtstrahl, der in F i g. 1 durch einen Pfeil 46 angedeutet.ist, kann durch ein Fenster, 48 im Vakuumgefäß 10 nach außen geführt und zu irgendwelchen Zwecken beispielsweise zur Nachrichtenübertragung, nutzbar gemacht werden.
  • F i g. 5 zeigt eine andere Ausführungsform der Erfindung, bei der entsprechende Teile wie in F i g. 1 mit den- gleichen Bezugszeichen; denen jedoch ein Strich angehängt ist, bezeichnet sind. Das Vakuumgefäß 10' enthält.- wieder eine Gasfüllung sowie zwei Elektroden 12'; "20', die jedoch hier .symmetrisch _ aüsgebddet sein und nach Wunsch wahlweise ä@s@node oder Kathode betrieben werden können- Das als- " stiinulierbares Medium - arbeitende _ Halbleiterplättchen 22.' ist bei dieser Ausfuhrungs-`förrn jedoch -nicht- auf einer Metallplatte' lefestigt, söifdern. l°rei tragend -etwa in der Mitte des @äkuum--gefaßes 10"§o angeordnet, daß es sich etwa senkrecht zur ' Achse. -des' beispielsweise rohrforrriigeü . E.ntladüngsgefßes erstreckt und den Querschnitt so `weit `äusfüllt,'daßdie Entlaüung.nicht um.däs T älbletcrplättchen herum- brennen kann. Für -die eine Hälfte des Entladungsraumes wirkt das Hälbkiterplättchen 22' dann als Kathode und für die andere Hälfte als Anode. Ein einwandfreies Ansetzen und Konzentrieren der Entladung auf den Seiten 32', 34' kann durch hohlzylinderförmige Elektroden 50, 52 unterstützt werden, die erforderlichenfalls an eine geeignete Vorspannung gelegt werden. Wenn die Hauptentladung zwischen den Elektroden 12', 20' mit Wechselspannung bzw. intermittierend (z. B. bei Impulsmodulation) betrieben wird, sind vorzugsweise Hilfselektroden 54, 56 vorgesehen, die eine Hilfsentladung zu erzeugen gestatten.
  • Die in F i g. 6 dargestellte Ausführungsform der Erfindung unterscheidet sich von den oben beschriebenen Ausführungsformen insbesondere dadurch, daß das Vakuumgefäß 10" keine Gasfüllung enthält, sondern weitestgehend evakuiert ist. Die Elektrodenanordnung dieses Ausführungsbeispiels entspricht etwa einer Hochvakuumpentode, die Kathode 12" ist als indirekt geheizte Glühkathode ausgebildet, der von ihr anisgehende Elektronenstrom wird durch ein Steuergitter 42" moduliert. Um eine ausreichende Stromdichte auch bei kleiner Spannung an der Anode 14" zu gewährleisten, ist außerdem ein Raumladungsgitter 58 vorgesehen. Vor der Anode kann ferner ein relativ weitmaschiges Bremsgitter 60 angeordnet sein. Die Anode 14" entspricht der oben an Hand von F i g. 2 beschriebenen Anordnung. Die Vorspannungen der einzelnen Elektroden werden entsprechend der Röhrengeometrie so gewählt, daß die für eine Stimulierung erforderliche Stromdichte an der Oberfläche 32" der Anode gewährleistet ist, bei einer Energie der durch die Fläche 32" in den Halbleiterkristall 22" eintretenden Elektronen, die vorzugsweise etwa 10 eV, gegebenenfalls sogar 5 eV nicht übersteigt. Zur Modulation können die Spannungen an einer oder mehreren Elektroden variiert werden.
  • Die in F i g. 7 dargestellte Ausführungsform der Erfindung ähnelt im Aufbau einer Kathodenstrahl-Oszillographenröhre. Ein evakuierter Kolben 62 enthält ein Elektronenstrahlerzeugungssystem 64 üblicher Bauart, das ein etwa in Richtung der Röhrenachse verlaufendes Elektronenstrahlbündel 66 liefert, das durch eine Ablenkanordnüng, z. B. elektrostatische Ablenkplatten 68, abgelenkt werden kann. Statt des üblichen Fluoreszenzschirmes enthält die in F i g. 7 dargestellte Röhre eine Anodenanordnung 70. die aus einer Metallplatte 72 bestehen kann, auf der mindestens ein stimulierbarer Halbleiterkristall befestigt ist. vorzugsweise unter Zwischenschaltung einer Schicht mit niedrigem Brechungsindex entsprechend der Schicht 36 in F i g. 2. Das dargestellte Ausführungsbeispiel enthält zwei stimulierbare Kristalle 74, 76. für die das in Verbindung mit F i g. 2 Gesagte gilt. Die Kristalle 74, 76 unterscheiden sich im Material und/oder in der Dotierung, so daß sie Licht verschiedener Wellenlängen liefern. Wenn das Elektronenstrahlbündel 66 im Takte einer der Ablenkeinrichtung 68 zugeführten Modulationsspannung abwechselnd auf den einen oder anderen Kristall 74 bzw. 76 gelenkt wird. emittieren diese Kristalle entsprechend abwechselnd stimuliert, und man erreicht infolge der unterschiedlichen Emissionsfrequenzen ein frequenzumgetastetes Lichtausgangssignal.
  • Selbstverständlich kann man auch nur einen einzelnen stimulierbaren Kristall verwenden und seine Lichtemission durch entsprechende Ablenkung des Elektronenstrahlenbündels 66 stetig oder impulsmäßig modulieren. Wenn es aus irgendwelchen Gründen erwünscht ist, den Elektronenstrahl anfänglieh auf höhere Energien zu beschleunigen, beispielsweise um Störungen durch Magnetfelder od. dgl. klein zu halten, wird vor dem oder den stimulierbaren Kristallen 74 bzw. 76 eine beispielsweise gitter- oder netzartige Elektrode 78 angeordnet, die den Elektronenstrahl möglichst kurz vor der freien Kristalloberfläche, durch die die Elektronen eintreten, auf die erwünschte, niedrige Energie abbremsen.
  • F i g. 8 zeigt eine etwas abgewandelte Anodenanordnung, die in einer F i g. 7 entsprechenden Röhre verwendet werden kann. Die Anode kann entsprechend F i g. 2 aufgebaut sein und enthält einen in Draufsicht dargestellten Halbleitereinkristall 80, z. B. aus Galliumarsenid oder Caesiumantimonid, dessen Stirnfläche 81 teildurchlässig (Reflexionsfaktor beispielsweise 99%) und dessen Stirnfläche 83 vollständig reflektierend, verspiegelt sind, so daß der übliche optische Resonatornach Art eines Perot-Fabry-Interferometers gebildet wird. Der Einkristall 80 ist jedoch nicht homogen, sondern weist eine sich in Richtung des Pfeiles 84 ändernde Zusammensetzung und/oder Dotierung auf, so daß die einzelnen Streifen des Kristalls senkrecht zum Pfeil 84 entsprechend verschiedene Emissionsfrequenzen aufweisen. Wenn der Kristall 80 durch einen schmalen bandförmigen Elektronenstrahl abgetastet wird, dessen Auftreffbereich beispielsweise durch das gestrichelt gezeichnete und schraffierte Rechteck 82 angedeutet ist, so entspricht die Emissionsfrequenz des in Richtung des Pfeiles 85 emittierten phasenkohärenten Lichtes der jeweiligen Zusammensetzung des angeregten Halbleiterbereiches. Bei einer Ablenkung des Strahles in Richtung des Pfeiles 84 kann dadurch eine Frequenzmodulation des emittierten Lichtstrahles 85 erreicht werden. Ändert sich die Emissionsfrequenz in Richtung des Pfeiles 84 linear, so ist die Emissionsfrequenz direkt proportional dem Ablenkwinkel.
  • Die Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen speziellen Ausführungsbeispiele beschränkt, sondern Iäßt sich in der verschiedensten Weise abwandeln.

Claims (3)

  1. Patentansprüche: 1. Optischer Sender für phasenkohärente Strahlung mit einem p-leitenden Halbleiterkörper als stimulierbarem Medium, das in einem optischen Resonator angeordnet ist und als Elektrode innerhalb eines Entladungsrohres mit freien Elektronen aus einer Entladung überbesetzt angeregt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des Halbleiterkörpers in Elektronenstrahlrichtung mindestens i. : n2 - 1 und höchstens 20 um beträgt, wobei i. die Wellenlänge der phasenkohärenten Strahlung und n das Verhältnis der Brechungsindizes des Halbleitermaterials des Halbleiterkörpers und des angrenzenden Mediums bedeutet, daß weiter die Mindeststromdichte 6,2 A/cm 2 beträgt und daß die in die Oberfläche des Halbleiterkörpers eintretenden Elektronen eine maximale kinetische Energie von 50eV haben.
  2. 2. Optischer Sender nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronen eine maximale Energie von 10 eV haben.
  3. 3. Optischer Sender nach Anspruch 1 oder 2, =dadurch= :gekennzechnei,,. daß' der. Halbleiterkörper aus _p-leitendem dalliurriärsenid besteht; in dem .eine. Löcherdichte zwischen etwa 6'. 1018 :bis 1020,crn,--3. herrscht. - . 4: Optischer -Sender .nach .Anspruch 1 `oder: 2, dadurch ,gekennzeichnet,. daß der Halbleiterkörper aus.,einem Alkäliantimonid, insbesondere Cs35b, besteht,. in dem die Löcherdichte mindestens so groß ist,- daß bei der Betriebstemperatur die Fermi-Statistik gilt. . 5. Optischer Sender nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch mindestens eine Steuerelektrode (42, 42", 58, 60) zur Beeinflussung des in. den .Halbleiterkörper (22, 22', 22") eintretenden Elektronenstromes. 6. Optischer Sender nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Anordnung zum Erzeugen eines die in den Halbleiterkörper eintretende Elektronenströmungbeeinflussenden elektrischen oder magnetischen Feldes (45, 68). 7. Optischer Sender nach einem der vorhergehenden Ansprüche; dadurch gekennzeichnet, daß in den .den Halbleiterkörper (22) enthaltenden Stromkreis ein die Stärke des in: diesem Kreis fließenden Stromes steuernder Modulator (40) geschaltet ist: 8: Optischer . Sender nach. einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet,` daß der. Halbleiterkörper (22) auf einer metallischen Anode. (20) unter Zwischenschaltung einer nichtinetallischen,-leitenden Zwischenschicht (36) angeordnet ist, deren Brechungsindex kleiner als derjenige des Halbleiters ist. 9. Optischer Sender nach Anspruch. 8, -dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (36) aus: Sn02 besteht.. 10, Optischer Sender nach einem der vorhergehenden Ansprüche; dadurch gekennzeichnet, daß das Entladungsrohr eine Glühkathode (12") enthält. 11. Optischer Sender nach einem der Ansprüche 1- bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Entladungsrohr mindestens eine kalte Kathode (12, 12') enthält. 12. Optischer -Sender nach -.einem _#e# Vorhergehenden, Ansprüche, dadurch, gekennzeichnet, daß das: Entladungsrohr ein iönisierbares: Gas "unter vermindertem Druck enthält (F' i.g.' 5)_ 13. Optischer Sender nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Halbleiterkörper (22') zwischen zwei Elektroden (12 ; 20'); frei tragend -angeordnet ist und däß das-Entladungsgefäß_ (10') .im Bereich des Halbleiterkörpers so eng bemessen ist, daß-die Entladung nicht um den Halbleiterkörper herum brennen kann, sondern sich zwischen, den beiden Elektroden einerseits und dem Hlbleiterkörper andererseits jeweils eine Gasentladung ausbildet (F i g. 5). 14. Optischer Sender nach Anspruch 13, .dadurch gekennzeichnet, daß_ an mindestens einer Seite des Halbleiterkörpers eine höhle Elektrode (50, 52) angeordnet ist, die nach Art *einer Hohlkathode bemessen ist. -15. Optischer Sender nach einem .der Ansprüche ' 1 bis -10; dadurch gekennzeichnet, daß das. Entladungsrohr eine Hochvakuumröhre ist. 16. Optischer Sender nach Anspruch. 15, bei dem das Entladungsrohr ein Elektronenstrählerzeugungssystem enthält, das einen über den Halbleiterkörper ablenkbaren Elektronenstrahl liefert, dadurch gekennzeichnet, daß sieh die Zusammensetzung des Materials des Halbleiterkörpers in Ablenkrichtung-des Elektronenstrahls stufenweise ändert. 17. Optischer Sender nach Anspruch 15, bei dem das- Entladungsrohr mindestens zwei nebeneinander. angeordnete Halbleiterkörper und -ein Elektronenstrahlerzeugungssystem -enthält, das einen über die Hglbleiterkörper ablenkbaren Elektronenstrahl liefert, dadurch gekennzeichnet, daß- die Halbleiterkörper (74, 76) Licht unterschiedlicher Wellenlänge emittieren. 18.- Optischer Sender nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in nahem Abstand vor dem Halbleiterkörper (74,'76) eine elektronendurchlässige Elektrode (78) zum Abbremsen: der durchtretenden Elektronen angeordnet ist. .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE645288A (de) * 1963-03-15 1964-07-16
DE1183597B (de) * 1962-07-06 1964-12-17 Csf Durch Elektronenbeschuss angeregter optischer Sender oder Verstaerker mit selektiver Fluoreszenz in einem festen Medium

Patent Citations (2)

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