DE1279381B - Magnetfeldroehre zur Messung niedriger Druecke - Google Patents
Magnetfeldroehre zur Messung niedriger DrueckeInfo
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- DE1279381B DE1279381B DE1962N0025509 DEN0025509A DE1279381B DE 1279381 B DE1279381 B DE 1279381B DE 1962N0025509 DE1962N0025509 DE 1962N0025509 DE N0025509 A DEN0025509 A DE N0025509A DE 1279381 B DE1279381 B DE 1279381B
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/06—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of cold cathodes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L21/00—Vacuum gauges
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Description
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. α.:
GOIl
Deutsche Kl.: 42 k-12/04
Nummer: 1 279 381
Aktenzeichen: P 12 79 381.6-52 (N 25509)
Anmeldetag: 11. Januar 1962
Auslegetag: 3. Oktober 1968
Die Erfindung betrifft eine Magnetfeldröhre zur Messung niedriger Drücke, vorzugsweise im Gebiet
hohen Vakuums, bei der eine mantelförmige Elektrode einen Ionisierungsraum einschließt, durch den
sich ein axial verlaufendes Magnetfeld erstreckt, zwischen der mantelförmigen Elektrode und einer
konzentrisch dazu liegenden Elektrode ein Potential angelegt ist, wobei die auf negativem Potential befindliche
Elektrode als Ionenauffangelektrode und die auf positivem Potential befindliche Elektrode als
Anode dient, und bei der die Ionenauffangelektrode an ihren beiden Enden elektrisch leitende Endscheiben
trägt, die den Ionisierungsraum wenigstens teilweise abschließen.
Es ist bereits eine Magnetfeldröhre der vorgenannten
Art bekannt, bei der das untere Ende der Anode nicht über die untere Öffnung der Endscheibe
der Ionenauffangelektrode hinausteht, so daß zwischen den scharfen Rändern der Öffnung der unteren
Endscheibe und der gegenüberliegenden scharfen Kante zwischen unterer Stirnfläche und Umfangsfläche
der Anode eine erhöhte Feldliniendichte vorliegt, durch die der· symmetrische Verlauf der Feldlinien
innerhalb-des Ionisierungsraumes gestört und dadurch die Nachweisempfindlichkeit verringert wird.
Die gegenüber der Anode liegenden Randbereiche der Endscheiben weisen scharfe Kanten auf, wodurch
die Feldemission begünstigt wird.
Es ist auch bereits eine Anordnung bekannt, bei der die Anode sich innerhalb der beiden Endscheiben
der Ionenauffangelektrode erstreckt und zur Vermeidung von Feldemission zwischen Ionenauffangelektrode
und Anode jeweils eine Kaltkathodenelektrode vorgesehen ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Nachweisempfindlichkeit einer Magnetfeldröhre der
eingangs genannten Art zu verbessern.
Diese Aufgabe wird nun erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Anode über beide Endscheiben der
Ionenauffangelektrode hinausragt und die gegenüber der Anode liegenden Randbereiche der Endscheiben
bogenförmig abgerundet und hochglanzpoliert sind. Insbesondere wird entweder die Ionenauffangelektrode
mantelförmig ausgebildet, während die von der Ionenauffangelektrode umschlossene Anode stabförmig
ausgebildet wird, oder aber die Anode wird mantelförmig ausgebildet, die dann die stabförmig
ausgebildete Ionenauffangelektrode umschließt. Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Magnetfeldröhre
wird ein symmetrischer Verlauf der elektrischen Feldlinien gewährleistet, da die Anode nicht im Ionisierungsraum
endet, sondern über beide Endscheiben
Magnetfeldröhre zur Messung niedriger Drücke
Anmelder:
National Research Council Ottawa,
Ontario (Kanada)
Vertreter:
Dipl.-Ing. M.' Licht und Dr. R. Schmidt,
Patentanwälte, 5000 München 2, Theresienstr. 33
Als Erfinder benannt: . .: " ■ ".
Paul Aveling Redhaed, Ottawa, Ontario (Kanada)
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der Ionenauffangelektrode. hinausragt. Da darüber '' hinaus die gegenüber der Anode liegenden, Rand-
ao bereiche der Endscheiben bogenförmig abgerundet und hochglanzpoliert sindr ergibt sich insgesamt- im
Ionisierungsraum eine so gleichmäßige Verteilung der elektrischen Feldlinien,- daß keine Feldemission
auftritt. Die erfindungsgemäß ausgestaltete Magnetfeldröhre
eignet sich daher zur Messung von Drücken bis herunter zur ΙΟ"11 Torr.
• Die Erfindung wird nun näher an Hand von,Zeiche nungen erläutert, in denen zeigt
F i g. 1 einen Längsschnitt durch eine Ausführungsform der Erfindung und
• Die Erfindung wird nun näher an Hand von,Zeiche nungen erläutert, in denen zeigt
F i g. 1 einen Längsschnitt durch eine Ausführungsform der Erfindung und
F i g. 2 einen Längsschnitt durch eine andere Au&-
führungsform der Erfindung. . -,
Die in F i g. 1 dargestellte Magnetfeldröhre besitzt
einen Kolben 27, in dem eine Anode 10 und eine
Kathode 11 angeordnet ist. Die Anode 10 ist stabförmig
ausgebildet und liegt konzentrisch innerhalb der mantelförmig ausgebildeten Kathode 11, die als
Ionenauffangelektrode dient. Die Kathode 11 ist an ihren Enden mit leitfähigen Endscheiben 12 und 13
versehen, die sich radial nach innen in Richtung auf die Anode 10 erstrecken. Die inneren Enden 54 und
55 der Endscheiben 12 und 13 sind abgerundet. Die der Anode 10 gegenüberliegende Oberfläche der Endscheiben
12 und 13 ist hochglanzpoliert. Die Anode 10 ist in einem am einen Ende des Kolbens. 27 vorgesehenen
Quetschfuß 57 abgestützt. Das andere Ende 56 des Kolbens 27 verjüngt sich zu einem
Rohrstutzen 24, mit dessen Hilfe die Magnetfeldröhre an irgendeinen Meßraum angeschlossen werden kann.
In dem von der Kathode 11 umschlossenen Ionisierungsraum 22 wird mit Hilfe eines konzentrisch
zur Kathode 11 angeordneten mantelförmigen Ma-
809 619/26'
gneten50 ein axiales Magnetfeld erzeugt. Die stabförmige
Anode 10 ist durch den Quetschfuß 57 hindurchgeführt und mit der positiven Klemme einer
Hochspannungsquelle B verbunden. Die negative Klemme der Hochspannungsquelle B ist über ein
Strommeßgerät 23 mit der Kathode 11 verbunden.
Der Krümmungsradius der gegenüber der.Anode 10 liegenden Enden 54 und 55 derEndschfeibenl2
und 13 ist so bemessen, daß bei vorgegebenem Ab-• Die durch die Kappe 61 hindurchgeführte Anode
Il ist über ein Strommeßgerät 23 mit der negativen Klemme einer Hochspannungsquelle B verbunden,
deren positive Klemme mit der Anode 10 in Verbindung steht. Zur Erzielung eines axialen Magnetfeldes
in dem von der mantelförmigen Anode 10 umschlossenen Ionisierungsraum 22 ist irgendeine geeignete
Einrichtung vorgesehen, beispielsweise ein konzentrisch zur Anode 10 angeordneter rohrförmiger Ma
stand der Enden 54 und 55 von der Anode 10.: und io gnet"50. Es "kann jedoch auch genausogut ein Hufbei
vorgegebener Betriebsspannung zwischen Anode eisenmagnet Verwendung finden.
10 und Kathodell durch Feldemission im wesent- Die Anode 10 ist mit Löchern versehen, so daß
liehen keine Elektronen aus der Kathode 11 gezogen die Gasmoleküle in den Ionisierungsraum 22 eintreten
werden. Die abgerundete Oberfläche der Enden 54 können, wenn die in F i g. 2 dargestellte Anordnung
und 55 ist sorgfältig poliert, beispielsweise mit Hilfe 15 in irgendeinem Meßraum angeordnet ist. Die in
eines elektrischen Polierverfahrens. Die Spannung Fig. 2 dargestellte Anordnung kann natürlich auch
zwischen Anode 10 und Kathode Il sollte mindestens 2 kV betragen und kann einen Wert bis über
6 kV haben. Der radiale Abstand zwischen den
Enden 54 und 55 und der Anode 10 beträgt beispiels- 20
weise 3 mm bei einem Durchmesser der Kathode
von 30 mm. .
6 kV haben. Der radiale Abstand zwischen den
Enden 54 und 55 und der Anode 10 beträgt beispiels- 20
weise 3 mm bei einem Durchmesser der Kathode
von 30 mm. .
Um die Inbetriebnahme der Magnetfeldröhre bei
angelegtem Magnetfeld und angelegter rSp.annung zu
erleichtern, kann in- den, Ionisierungsraum 22 eine as erreicht wird.
angelegtem Magnetfeld und angelegter rSp.annung zu
erleichtern, kann in- den, Ionisierungsraum 22 eine as erreicht wird.
in einem Kolben aus Glas oder einem anderen Material
angeordnet und'mit Hilfe eines Rbhflansches an einen Meßraum angeschlossen werden.
Auch bei der in F i g. 2 dargestellten Anordnung verhindern die auf Kathodenpotential befindlichen
Endscheiben 12 und 13 ein Entweichen von" Elektronen aus dem Ionisierungsraum 22, wodurch eine
wesentliche Erhöhung der .Nachweisempfindlichkeit
ionisierende Strahlung aussendende Substanz, beispielsweise
ein Betastrahlei, angeordnet sein. Die im Ionisierungsraum 22 auftretenden freien Elektroden
werden durch das elektrische und magnetische Feld auf Kreisbahnen beschleunigt und stoßen mit gegebenenfalls
vorhandenen Gasmolekülen zusammen, die dadurch ionisiert werden. Die auf Kathodenpotential
liegenden Endscheiben 12 und 13 verhindern ein Herauswandern von Elektronen aus dem
Ionisierungsraum 22. Da der Ionisierungsraum 22 im wesentlichen vollständig von der. Kathodell umschlossen
ist, erzielt -man eine große Nachweisempfindlicükeit,
da im wesentlichen alle gebildeten positiven Ionen zur Kathode gelangen und mit Hilfe des
Meßinstrumentes 23 nachgewiesen werden können.
.Bei der in Fig.2 dargestellten Ausführungsform
der Erfindung umschließt die mantelförmig ausgebildete Anode 10 die aus einem Hohlstab bestehende
Kathodell. Die Anode 10 sitzt zwischen zwei
Kolbenkappenteilen 60 und 61, in deren axial abstehenden
Flansche 62 und 63 die Enden der Anode 10 eingeschmolzen sind. Die Kathode 11 ist in von
der Mitte der Kappenteile 60 und 61 abstehende Fortsätze eingeschmolzen. In der Nähe der beiden
äußeren Enden der mantelförmigen Anode 10 trägt die Kathode 11 radial nach außen abstehende Endscheiben
12 und 13, deren der Innenfläche der Anode 10 gegenüberliegende Enden 54 und 55 bogenförmig
ausgebildet sind. Der Krümmungsradius der Enden 54 und 55 ist wie bei der Ausführungsform nach
Fig. 1 so gewählt, daß keine Feldemission auftreten kann. Die der Anode 10 gegenüberliegende Oberfläche
der Enden 54 und 55 ist fein poliert und besitzt eine Rauhigkeit von 10~5mm, d.h. weist lediglich
Claims (3)
1. Magnetfeldröhre zur "Messung niedriger Drücke, vorzugsweise im Gebiet hohen Vakuums,
bei der eine mantelförmige Elektrode einen Ionisierungsraum einschließt, durch den sich ein
axial verlaufendes Magnetfeld erstreckt, zwischen
....der. ^mandelförmigen. Elektrode und .einer konzentrisch
dazu liegenden Elektrode ein Potential angelegt ist, wobei die auf negativem Potential befindliche
Elektrode als Ionenauffangelektrode und die auf positivem Potential befindliche Elektrode
als Anode dient, und bei der die Ionenauffangelektrode an ihren beiden Enden elektrisch
ladende Endscheiben trägt, die den Ionisierungsraum wenigstens teilweise abschließen, dadurch
gekennzeichnet, daß die Anode(10) über beide Endscheiben (12, 13) der Ionenauffangelektrode
(11) hinausragt und die gegenüber der Anode (10) liegenden Randbereiche (54, 55) der
Endscheiben (12, 13) bogenförmig abgerundet und hochglanzpoliert sind.
2. Magnetfeldröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenauffangelektrode
(11) mantelförmig ausgebildet ist und die stabförmig ausgebildete Anode (10) umschließt.
3. Magnetfeldröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode (10) mantelförmig
ausgebildet ist und die stabförmig ausgebildete Ionenauffangelektrode (11) umschließt.
In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Auslegeschrift Nr. 1 002 968;
deutsche Patentanmeldung S 24506IX / 42 k (beUnregelmäßigkeiten
mit dieser Höhe auf. Beim Zu- 60 kanntgemacht am 30.10.1952);
sammenbau und Bearbeiten der einzelnen Teile der französische Patentschrift Nr. 1227 040;
Magnetfeldröhre muß natürlich auf peinliche Sauber- Archiv für Technisches Messen, 1961, März,
keit geachtet werden. V1341-8, S. 51.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
809 619/262 9.68 © Bundesdruckerei Berlin
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1962N0025509 DE1279381B (de) | 1960-08-29 | 1962-01-11 | Magnetfeldroehre zur Messung niedriger Druecke |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US52426A US3051868A (en) | 1960-08-29 | 1960-08-29 | Ionization vacuum gauges |
DE1962N0025509 DE1279381B (de) | 1960-08-29 | 1962-01-11 | Magnetfeldroehre zur Messung niedriger Druecke |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1279381B true DE1279381B (de) | 1968-10-03 |
Family
ID=25988936
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1962N0025509 Pending DE1279381B (de) | 1960-08-29 | 1962-01-11 | Magnetfeldroehre zur Messung niedriger Druecke |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1279381B (de) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1002968B (de) * | 1954-07-07 | 1957-02-21 | Philips Nv | Glimmentladungsgeraet zum Messen niedriger Gasdruecke |
FR1227040A (fr) * | 1958-06-11 | 1960-08-18 | Ca Nat Research Council | Dispositif pour la mesure des vides très poussés |
-
1962
- 1962-01-11 DE DE1962N0025509 patent/DE1279381B/de active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1002968B (de) * | 1954-07-07 | 1957-02-21 | Philips Nv | Glimmentladungsgeraet zum Messen niedriger Gasdruecke |
FR1227040A (fr) * | 1958-06-11 | 1960-08-18 | Ca Nat Research Council | Dispositif pour la mesure des vides très poussés |
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