DE1264618C2 - Spitzendiode mit einem federnden molybdaen- oder wolfram-draht und verfahren zu deren herstellung - Google Patents
Spitzendiode mit einem federnden molybdaen- oder wolfram-draht und verfahren zu deren herstellungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Spitzendiode nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 und ein
Verfahren zu deren Herstellung.
Aus der CH-PS 3 01 205 ist eine Spitzendiode bekannt, bei der ein Kontaktelektrodendraht, der
beispielsweise aus Wolfram bestehen kann, mindestens an der Spitze mit einer Goldlegierung überzogen ist
Weiterhin ist es aus der GB-PS 7 18 323 bekannt, zur Verbesserung der elektrischen Eigenschaften von
Spitzendioden den ebenfalls beispielsweise aus Wolfram bestehenden Kontaktdraht mit Platin oder einer
Platinlegierung zu überziehen.
Bei Spitzendioden verwendete Federn aus Molybdänoder Wolfram-Draht zeigen eine besonders günstige
Federwirkung. Es ist jedoch insbesondere für UHF-Spitzendioden häufig erwünscht, ein solches Material,
z. B. Platin, für die Feder zu benutzen, das beim Eindiffundieren in den Kristall beim Formieren des
Spitzenkontaktes Rekombinationszentren bildet Bei Verwenden einer Feder aus Platin ergibt sich jedoch der
Nachteil, daß infolge der Weichheit des Materials die Spitze beim Aufsetzen und vor allem beim nachfolgenden
Formieren verbogen und großflächig wird. Durch das Großflächigwerden der Spitze ergeben sich
ungünstige Folgen, vor allem für die UHF-Eigenschaften der Diode, da auf diese Weise die Kapazität
vergrößert und damit die obere Frequenzgrenze der Diode vermindert wird. Auch ist die mechanische
Stabilität der durch Anbringen eines Platindrahtes erzeugten Kontaktstelle nicht sehr groß.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Spitzendiode mit einem einkristallinen Halbleiterkörper anzugeben, bei
der das Großflächigwerden der Spitze vermieden und dabei die Stabilität der Kontaktstelle vergrößert ist,
wobei der Draht eine günstige Federwirkung beibehält und dessen Überzug die Fähigkeit aufweist, beim
Eindiffundieren in den Halbleiterkörper Rekombinationszentren zu bilden und somit die Relaxationszeit der
Diode zu verkürzen.
Es sind auch bereits Spitzendioden bekanntgeworden, bei denen ein Wolfram-Draht mit einer Legierung
überzogen ist die aus 69% Gold, 6% Platin und 25% Silber besteht Dieser Oberzug dient bei der bekannten
Spitzendiode dazu, das Aniegieren des Wolfram-Drahtes an die den Draht tragende Halterung zu erleichtern.
Die obengenannte Aufgabe wird durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1 angegebenen
Merkmale gelöst
ίο Die harte Spitze wird auch beim Formiervorgang, bei
dem die Legierungsverbindung zwischen der Spitze und dem Halbleiterkörper hergestellt wird, kaum deformiert
Die gemäß der Erfindung vorgeschlagene Diode weist außerdem wesentliche Vorteile auf gegenüber
einer Diode, bei der die Feder mit einer Legierung überzogen ist, die außer Gold und Platin noch Silber
enthält Durch das Silber wird eine Verschlechterung der Legierbarkeit des Überzuges mit dem Halbleiterkörper
bedingt, da sich das Silber beim Abkühlen entmischt Da die bei der Diode gemäß der Erfindung als
Überzug verwendete Legierung einen wesentlich höheren Goldgehalt als eine mit Silber verdünnte
Goid-Platin-Legierung aufweist kommen die Vorteile,
die durch den Goldgehalt der Legierung bedingt sind, weit besser zum Tragen. Das Gold kommt bei den beim
Formieren angewendeten Temperaturen leicht zum Fließen, legiert sich gut mit dem Material des
Halbleiterkörpers und diffundiert sehr schnell in diesen ein. Infolge seiner guten Legierbarkeit die bei der
Spitzendiode gemäß der Erfindung nicht durch eine Verdünnung mit Silber beeinträchtigt wird, begünstigt
das Gold das Eindringen des Platins und der übrigen beigemischten Metalle in den Halbleiterkörper.
Zur Herstellung der Drähte für die Spitzendioden wird ein dünner Draht aus Wolfram oder Molybdän
durch Eintauchen in die Legierung nur an der Spitze mit diese' überzogen.
Zum Herstellen einer Spitzendiode gemäß der Erfindung wird nach dem Aufsetzen der Federspitze auf
den Halbleiterkörper mittels eines Stromstoßes die Legierung zum Fließen gebracht und mit dem
Halbleiterkörper legiert. Die beim Formieren entstehenden hohen Temperaturen bringen also die Legierung
an der Spitze der Feder zum Fließen, und das Gold legiert sich mit dem Halbleiterkörper, und es diffundiert
so viel Gold in den Kristall, daß ein Kontakt mit großer
mechanischer Festigkeit entsteht Gegenüber dem Einlegieren von Gold-Draht allein wird der Vorteil
erzielt, daß der Kontaktquerschnitt und damit die Kapazität der Anordnung nicht ungünstig zunimmt. Das
gleichzeitig eindiffundierende Platin und Nickel oder Kupfer liefert die erwünschten Rekombinationszentren,
die die Relaxationszeit der Diode verkürzen.
In der Figur ist eine Anordnung gemäß der Erfindung dargestellt. Der Halbleiterkörper 1 besteht aus n-leitendem
Germanium. Die Feder 4, die mit einer Spitze 5 auf dem Halbleiterkörper aufsitzt, besteht aus einem
Molybdän- oder Wolframdraht und iüt nur an der Spitze mit der im Anspruch 1 angegebenen Legierung
überzogen. Beim Formiervorgang bildet sich eine p-leitende Zone 2 aus, die die Bildung eines pn-Übergangs
3 im Halbleiterkörper I bewirkt Gleichzeitig diffundieren die Legierungsbestandtiile in die Kontaktstelle.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Spitzendiode mit einem einkristallinen Halbleiterkörper aus n-lekendem Germanium, auf den
ein mit einer Spitze versehener federnder Molybdän- oder Wolframdraht mit einem Oberzug aus
einer Gold und Platin enthaltenden Legierung aufgesetzt und an diesen anlegiert ist, dadurch
gekennzeichnet, daß die Legierung aus 3 bis 10 Gewichtsprozent Platin und im übrigen aus Gold
mit einer Beimischung von Indium odes Gallium als dotierender Stoff und Nickel oder Kupfer als
Rekombinationszentren bildender Stoff besteht und nur die Drahtspitze überzieht
2. Verfahren zum Herstellen einer Spitzendiode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach
dem Aufsetzen der Spitze auf den Halbleiterkörper die Legierung mittels eines Stromstoßes zum
Fließen gebracht und mit dem Halbleiterkörper legiert wird.
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