DE1248962B

DE1248962B - Kapazitiver Meßumformer

Info

Publication number: DE1248962B
Application number: DENDAT1248962D
Authority: DE
Inventors: Frederick Wolfendale London Caleb
Original assignee: Sogemque (Electronics) Limited Newport Pagnell Buckinghamshire (Großbritannien)
Publication date: 1967-08-31

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND DEUTSCHES ^StSSSS PATENTAMT

AUSLEGESGHRIFT

Int. CL:

Deutsche Kl.: 42 d -1/12

Nummer: 1248 962

Aktenzeichen: S 82198IX b/42 d

Anmeldetag: 26. Oktober 1962

Auslegetag: 31. August 1967

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Meßumformer, der aus mindestens drei in einer Reihe angeordneten Elektroden besteht, an die verschiedene Wechselspannungen so angelegt sind, daß entlang der Elektrodenreihe ein Potentialgefälle entsteht, 5, mit dem die durch die zu übertragende Stellungsänderung bewegte Abtastelektrode kapazitiv gekoppelt ist.

Ein solcher Meßumformer hat außergewöhnliche Eigenschaften. Seine Höchstempfindlichkeit ist nämlieh bedeutend größer, als es für alle normalen Meßzwecke erforderlich ist, und sie ist dabei gleich oder größer, als die der bedeutend teureren optischen , Systeme. In der Praxis kann mit einem kapazitiven Meßumformer verhältnismäßig einfacher Konstruktion eine Empfindlichkeit von wenigen tausendstel . Zentimetern erreicht werden.

Überstreichen jedoch die z. B. in. Senkreehtbewegungsrichtüng der Abtastelektrode liegenden Kanten der Abtastelektrode entsprechend angeordnete Kanten der Einzelelektroden der Elektrodenreihe, so treten Unregelmäßigkeiten und Nichtlinearitäten im Verhältnis zwischen der an der Elektrode induzierten Spannung und deren relativen Stellung auf. Dies ist besonders dann der Fall, wenn die Abtastelektrode die gleiche Länge wie eine der Einzelelektroden besitzt, so daß beide Kanten der Äbtastelektrode die Übergangsstellen zwischen den benachbarten Einzelelektröden gleichzeitig passieren.

Die vorliegende Erfindung dient der Beseitigung der zu Unregelmäßigkeiten und Nichtlinearitäten führenden Obergangseffekte. Dies gelingt gemäß der Erfindung dadurch, daß jeweils der Kantenverlauf der Abtastelektrode und der Einzelelektroden der Elektrodenreihe, der sich jeweils senkrecht zur Bewegungs- richtung der Abtastelektrode erstreckt, so voneinander abweicht, daß ein gleichzeitiges Überstreichen ' der Kanten der Abtastelektrode über ähnlich geformte Kanten der Elektrodenreihe auf der ganzen Kantenlähge vermieden wird.

Die Beseitigung der genannten Mängel kann auch erfindungsgemäß dadurch erfolgen, daß die Abtastelektrode aus mehreren starr miteinander verbundenen Teilelektroden besteht, deren Anordnung zueinander so getroffen ist, daß die senkrecht zur Bewegungsrichtung der Abtastelektrode verlaufenden Kanten der Teilelektroden in keiner Stellung der Ab-. tastelektrode bei allen Teilelektroden gleichzeitig über den entsprechenden Kanten der Einzelelektrode stehen.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Aus-Kapazitiver Meßumformer

Anmelder:

Sogenique (Electronics) Limited,
Newport Pagneil,
Buckingshamshire (Großbritannien)

Vertreter:

Dr. -Ing. K. Boehmert

und Dipl.-Ing. A. Boehmert, Patentanwälte,

Bremen, Feldstr. 24

Als Erfinder benannt:
. Caleb Frederick Wolfendale, London

Beanspruchte Priorität:

Großbritannien vom 27. Oktober 1961 (38 527)

führungsbeispielen in Verbindung mit den Zeichnungen. Es ist

Fig. 1 ein vereinfachtes Schaltschema, das die allgemeine Anordnung eines kapazitiven Meßumformers zeigt,

Fig. 2 bis 11 Darstellungen, die die Anordnung von Einzelelektroden und Abtastelektrode gemäß der Erfindung zeigen,

Fig. 12 bis 17 Darstellungen, die mögliche Anordnungen der Einzelelektroden zeigen,

F i g. 18 eine schematische Seitenansicht einer anderen Einzelelektrodenanordnung,

Fig. 19 ein Schema, das ein anderes Prinzip der Anordnung der Abtastelektrode gegenüber den Einzelelektroden zeigt, und

Fi g. 20 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht eines Drehpotentiometers, bei dem das in der Fig. 19 dargestellte Prinzip angewendet wird.

Fig. 1 ist ein Beispiel einer einfachen stellungsabhängigen Meßvorrichtung, die auch zur Regelung verwendet werden kann. Dies ist jedoch nur ein Beispiel einer geeigneten Anordnung, andere können leicht gefunden werden. Die in F i g. 1 gezeugte Vorrichtung besteht aus einem kapazitiven Meßumfor-

709 639/237

schematisch in Fig. 1 bei 49 gezeigt ist, während die Abtastelektrode 42 am Werkzeugschlitten 50 befestigt , oder so angebracht ist, daß sie sich mit diesem bewegt.

Die Stellung von zwei Teilen 49 und 50 relativ zueinander kann von einem Anzeigeinstrument 51 angezeigt werden, das mit dem Ausgang des Vergleichers 48 verbunden ist. Dies ist ein unkompliziertes und häufig zweckmäßiges Verfahren zur Anzeige der

mer,' der allgemein durch das mit durchbrochenen Linien umrissene Rechteck 40 bezeichnet ist und der eine Reihe von benachbarten Einzelelektroden 41 aufweist, die durch nicht gezeigte isolierende Zwischenstücke voneinander getrennt sind. Wie aus F i g. 1 zu sehen, sind die Einzelelektroden in einer geraden Elektrodenreihe angeordnet. Dies ist aber nicht notwendigerweise der Fall, wie sich nachstehend noch näher ergeben wird..

Zu der Elektrodenreihe gehört ein Abtastelektro- io Stellung. Es ist jedoch nicht sehr genau, da es von densystem, das schematisch als eine Abtastelektrode der Konstanz der Ausgangsspannung der Spannungs-42 gezeigt ist. Diese Elektrode ist im Abstand von quelle 44 abhängt; eine weit größere Genauigkeit den Einzelelektroden 41 angeordnet und gegen diese läßt sich erreichen, wenn man von der Tatsache isoliert. Das Abtastelektrodensystem 42 kann entlang Gebrauch macht, daß die Schaltung eine Brückender Elektrodenreihe und relativ zu den Einzelelek- 15 schaltung darstellt, und daß bei jeder Verstellung der troden41 bewegt werden. Geschieht dies, so entsteht Elektrode 42 so lange eine Nachstellung der Bezugszwischen dem Abtastelektrödensystem und den in spannung erfolgt, bis die Brücke ausgeglichen wird, einer Reihe angeordneten Einzelelektroden eine kapa- was von dem Null-Anzeigegerät 51 angezeigt wird, zitive Kopplung. ' Wenn der kapazitive Meßumformer Teil einer An-

An die Einzelelektrode der Elektrodenreihe sind 20 Ordnung zur Regelung der Stellung eines beweglichen verschiedene Wechselspannungen in der Art an- Teils bildet, so ist die Anordnung im wesentlichen gelegt, daß entlang der Elektrodenreihe ein Potential- die gleiche bis auf den Unterschied, daß das Fehlergefälle entsteht. Die Spannungsversorgung derEirizel- signal am Vergleicherausgang zur direkten oder inelektroden erfolgt über eine Einrichtung, die zweck- direkten Steuerung der Tätigkeit eines Umkehrmotors mäßigerweise aus einer angezapften Induktivität 43 25 52 verwendet wird, der dazu dient, das bewegliche besteht, welche mit einer Wechselspannungsquelle 44 ^<: Element 50 und somit auch die Abtastelektrode 42 , verbunden ist. Hierdurch können an den Einzelelek- anzutreiben, um die Abweichungen von einem SoIltroden der Elektrodenreihe zunehmend größer wer- wert auszugleichen. Eine Null-Kompensationsanorddende Potentiale errichtet werden, so daß dann, wenn nung wird hierzu verwendet, die den Motor anhält, die Abtastelektrode der Reihe der Einzelelektroden 30 sobald das Fehlersignal auf Null sinkt. Das bewegentlang bewegt wird, in die Äbtastelektrode' eine ' liehe Element ist dann in der gewünschten Stellung. Spannung eingekoppelt wird, die eine Anzeige ihrer Bei einer praktischen Ausführungsform können die

relativen Stellung gegenüber den Einzelelektroden Einzelelektroden 41 in Form einer Reihe gleich langer liefert. · .Kreiszylinder aus Metall angeordnet sein, die Ende

;., Diese eingekoppelte.Spannung kann mit der Be- 35 an Ende aneinandergesetzt sind, wobei zwischen den zugsspannung eines Bezugspunktes verglichen werden. benachbarten Enden eine dünne Isolierschicht vor-Beispielsweise kann ein Bezugspotential von einer gesehen ist. Die Abtastelektrode kann dann aus einem Bezugsspannungseinheit 45 abgenommen werden, die Zylinder bestehen, der die in einer Linie angeordneten von der Spännungsquelle 44 gespeist wird. Bei einer Einzelelektroden umgibt. Selbstverständlich ist dieses sehr einfachen Anordnung kann der Bezugspunkt 4° ημΓ ein Beispiel einer geeigneten Ausführungsform, auch durch eine Anzapfung der Induktivität 43 ge- Wenn bei einer solchen Anordnung die Abtastbildet werden; normalerweise wird jedoch angestrebt, elektrode die gleiche Länge wie eine der Einzelelekdie Spannung des Bezugspunktes fein und genau troden besitzt, so erkennt man leicht, daß die beiden regeln zu können. Daher werden vorzugsweise andere Kanten der Elektrode die Übergangsstellen zwischen Vorrichtungen verwendet, die eine genaue Einstellung 45 benachbarten Einzelelektroden gleichzeitig passieren, der Spannung ermöglichen. Eine mit Anzapfungen Diese Übergänge bringen jedoch geringe Nichtlineariversehene Spule kann hierfür verwendet werden, vor- täten in dem Verhältnis zwischen der an der Elektrode zugsweise wird aber eine Folge von solchen Spulen /induzierten Spannung und deren relativen Stellung verwendet, um den Bezugspunkt mit entsprechender mit sich. Es ist aber sehr vorteilhaft, wenn dieses Genauigkeit auf Teile oder Bruchteile genau wählen 50 Verhältnis linear ist, und so ist es wünschenswert, zu können. Die Vorrichtung zur Veränderung des - daß die Unregelmäßigkeiten verringert' oder ausBezugspunktes ist in F i g. 1 schematisch mit 46 be- geschaltet werden. Dies gelingt durch die vorliegende zeichnet. , . ^: Erfindung.

Die an der Abtastelektrode 42 induzierte Wechsel- Ein durch die Erfindung vorgeschlagener Weg zur

spannung wird durch den Verstärker 47 zu einem 55 Verhinderung der Übergangseffekte an den Elektro-Eingang eines Spannungsvergleichers 48 geleitet, des- denkanten benachbarter Einzelelektroden liegt darin, sen anderer Eingang mit einer Spannung vom Be- daß jeweils der Kantenverlauf der Abtastelektrode zugspunkt 46 versorgt wird. und der Einzelelektroden der Elektrodenreihe so von-

Wenn der Meßumformer Teile einer Anordnung einander abweicht, daß ein gleichzeitiges Überstreizur Anzeige der Stellung eines bewegbaren Teiles 60 chen der Kanten der Abtastelektrode über ähnlich verwendet wird, wird das bewegliche Teil.mit der geformte Kanten der Elektrodenreihe auf der ganzen Abtastelektrode 42 so gekoppelt, daß sich die Elek- Kantenlänge vermieden wird. Im einzelnen wird also trode entlang der filektrodenreihe der Einzelelektro- das Problem so gelöst, daß die Kanten der Abtastden 41 bewegt. . elektrode von den Kanten der Elektrodenreihe entWenn nun beispielsweise die Vorrichtung zur Stel- 65 weder durch ihre Neigung gegenüber der Bewegüngslungsanzeige an einejr Werkzeugmaschine verwendet richtung oder durch ihre Form unterschieden sind, werden soll, so kann die Reihe von Einzelelementen Beispiele von Ausführungen dieser Art sind, in

am Bett der Maschine angebracht sein, wie dies Fig. 2 bis 9 gezeigt. In diesen Figuren sind die

Einzelelektroden 60 so dargestellt, daß sie von gleicher Breite sind, und daß ihre Kanten rechtwinklig zueinander stehen. Dies ist zweckmäßig aber nicht notwendig. In der Praxis sind die Einzelelektroden normalerweise stationär, da für die Einzelelektroden mehr Verbindungen erforderlich sind, während die Abtastelektrode bewegt wird. Eine solche Anordnung wird hier vorausgesetzt, obwohl auch andere Anordnungen möglieh sind.

F i g. 12 zeigt Einzelelektroden 60, deren Kanten parallel, aber gegenüber der Längsrichtung der Reihe von Einzelelektroden geneigt sind, wobei die Einzelelektroden durch die Isolierung 61 voneinander ge-5 trennt sind. In Fig. 13 sind die Kanten der Einzelelektroden von zwei geraden Abschnitten begrenzt, die unter einem Winkel angeordnet sind, und ein Chevron- oder Fischgratmuster bilden. Bei F i g. 14 ist eine Anordnung ähnlich der in Fig. 13 gezeigten

Ausführung gemäß Fig. 17 können die einander abwechselnden Dreiecke mit zunehmend größer werdenden Potentialen beaufschlagt sein.

Eine für einen kreisförmigen Aufbau geeignete Elektrodenreihe ist in Fig. 18 gezeigt. Hierbei nimmt die Elektrodenreihe die Form einer spiralförmigen Wicklung an. Eine Einzelelektrode der Elektrodenreihe ist zur Verdeutlichung schattiert gezeigt. Die

Gemäß den F i g. 2 bis 11 liegt zwischen den Einzel- io vorgesehen, wobei in der Ausführung gemäß F i g. 14 elektroden 60 jeweils eine Isolationsschicht 61. Die eine Zickzackformung der zwischen den Einzel-Einzelelektroden können flach ausgebildet sein, wo- elementen 60 befindlichen Kanten gebildet ist. Eine bei ihre Oberflächen in einer gemeinsamen Ebene weitere, gegenüber den Ausführungen gemäß F i g. 13 liegen, sie können aber auch von zylindrischer Aus- . und 14 modifizierte Ausbildung der Einzelelektroden bildung sein, wobei ihre Außenflächen wiederum auf 15 ist in Fig. 15 gezeigt. Bei Fig. 16 sind die Kanten einer gemeinsamen Zylinderfläche liegen. Die. be- der Einzelelektroden gekrümmt. In Fig. 17 besitzen wegliche Abtastelektrode 62 wird entsprechend eben die Einzelelektroden Dreiecksform, wobei die Dreibzw, zylindrisch ausgebildet sein. ecke durch Isolierungen 61 voneinander getrennt und

Die Abtastelektrode ist in einer Vielzahl von unter- in wechselnder Richtung angeordnet sind, so daß

schiedlichen Formen gezeigt. Fig. 2 zeigt eine Ab- ao ihre Scheitel abwechselnd an der einen und an der

tastelektrode 62, die rhombus- oder rautenförmig aus- anderen Seite der Elektrodenreihen liegen. Bei der gebildet ist, wobei ihre Kanten mit den Kanten der
Einzelelektroden 60 einen Winkel bilden, während
. letztere zueinander parallel und rechtwinklig zur Bewegungsrichtung der Abtastelektrode angeordnet sind. 25
In Fig. 3 ist eine dreieckige Abtastelektrode dar-'
gestellt, während die Abtastelektrode in F i g. 4 ein
reguläres Sechseck ist. Aus beiden Figuren ergibt sieh,
daß sich die bewegliche Abtastelektrode nicht über

die gesamte Breite der Oberfläche des Einzelelemen- 30 Isolation 61 zwischen den Einzelelektroden umfaßt tes erstreckt. Dies ist jedoch bei den in Fig. 5 und 9 auch einen Längsabschnitt 65. Bei dieser Anordnung gezeigten Elektroden der Fall, bei denen die Abtast- wird vorzugsweise eine Elektrode verwendet, die aus elektrode die Form eines langgestreckten Sechseckes einem unvollständigen Kreisring oder aus zwei bzw. einer Ellipse besitzt. In F i g. 6 ist eine achteckige ., Segmenten eines unvollständigen Kreisringes besteht, Abtastelektrode dargestellt, während Fig. 8 eine 3ä wobei der Spalt zwischen den Teilen der Elektrode kreisförmige Elektrode zeigt. Bei Fi g. 7 hat die Ab- über der Linie der Isolierung 65 liegt,
tastelektrode die Form eines schräggestellten Par- Bei den Fig. 10 und 11 nehmen die Abtastelek- ■ allelogramms. In den Fig. 10 und 11 sind andere troden eine Länge von mehr als einer Einzelelektrode Abwandlungen der Abtastelektrode dargestellt. Es ein. In F i g. 19 und 20 ist eine andere Ausführungssollte darauf hingewiesen werden, daß einer der den 40 form dieser Anordnung dargestellt. Diese Anordnung Interpolationswert der Abtastelektrode zwischen den kann sowohl bei geradlinig wie bei kreisförmig anan den aufeinanderfolgenden Einzelelektroden liegen- geordneten Einzelelektroden verwendet werden und den Spannungen bestimmenden Faktoren durch das umfaßt die Verwendung von Mehrfachelektroden, die Ausmaß des Uberlappens zwischen der Abtastelek-.; so angeordnet sind, daß bei einer Abtastbewegung trode und einer der Einzelelektroden in Richtung der 45 der Abtastelektroden das Überstreichen der Kanten Elektrodenbewegung bestimmt wird. Es kann in man- verschiedener Teilelektroden über die Einzelelektrochen Fällen vorteilhaft sein, daß sich die Abtastelek- den nicht bei allen Teilelektroden gleichzeitig erfolgt, trode in Richtung der Relativbewegung über mehr als In Fig. 19 ist eine Reihe von Einzelelektroden 60 eine Einzelelektrode erstreckt, und eine für diesen.... gezeigt, die mit drei starr miteinander verbundenen Zweck geeignete Abtastelektrode ist in den Fig. 10 50 Teilelektroden70 zusammenwirken. Die Teilelektro- und 11 gezeigt. In Fig. 10 ist die Larigskante der den70 sind nicht ganzzahlige Vielfache der Länge Elektrode 62, 63 zickzackförmig ausgebildet, während der Einzelelektroden voneinander entfernt, so daß die in Fig. 11 beide Längskanten zickzackförmig aus- Teil elektroden gegenüber der jeweils benachbarten gebildet sind. Einzelelektrode nicht die gleiche Stellung einnehmen. Die Verwendung von geraden und nicht geraden S5 Auf diese Weise, werden Nichtlinearitäten, die auf Kanten für die Einzelelektroden und die Abtastelek- Unregelmäßigkeiten an den Übergängen zurückzufühtrode kann auch umgekehrt vorgenommen werden. ren sind, ausgeglichen. F i g. 20 zeigt eine solche An-Die Fig. 12 bis 16 der Zeichnung zeigen Anordnun- Ordnung für eine ringförmige Anordnung der Einzelgen von Abtastelektroden des kapazitiven Meßumf or- elektroden, wobei eine Reihe von Einzelelektroden mers, die in Verbindung mit einer mit rechteckigen 60 mit Vielfachelektroden 70 zusammenwirkt.
Kanten versehenen Abtastelektrode einen sehr gut Die verschiedenen Ausführungsformen der den abgestuften Übergang bei der Bewegung der Abtast- kapazitiven Meßumformer bildenden Bauteile, die elektrode zwischen den Einzelelektroden liefern. Die hier beschrieben wurden, bieten die Möglichkeit, die Einzelelektroden sind dabei in einer Reihe angeord- Eigenschaften der Veränderung abzuwandeln, die net. Sie können jedoch auch in einer Anordnung vor- 65 auftritt, wenn die Abtastelektrode gegenüber den Eingesehen werden, die zum Messen von Drehbewegun- zelelektroden bewegt wird. Auf diese Weise ist es gen dient, wobei die Einzelelektroden als Segmente möglich, die Art und Weise, in der das gewünschte eines Kreisringes ausgebildet sind. Potential von dem Meßumformer abgeleitet wird,

beträchtlich abzuändern, wenn sich die Teile relativ zueinander bewegen. ·

Claims

Patentansprüche:

1. Kapazitiver Meßumformer, der aus mindestens drei in einer Reihe angeordneten Elektroden besteht, an die verschiedene Wechselspannungen so angelegt sind, daß entlang der Elektrodenreihe ein Potentiälgef alle entsteht, mit dem die durch die zu übertragende Stellungsänderung bewegte Abtastelektrode kapazitiv gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils der Kantenverlauf der Abtastelektrode (42,62) und der Einzelelektroden (41, 60) der Elektrodenreihe, der sich jeweils senkrecht zur Bewegungs- richtung der Abtastelektrode erstreckt, so voneinander abweicht, daß ein gleichzeitiges Überstreichen der Kanten der Abtastelektrode über ähnlich geformte Kanten der Elektrodenreihe auf der ganzen Kantenlänge vermieden wird.

2. Kapazitiver Meßumformer, der aus mindestens drei in einer Reihe angeordneten Elektroden besteht, an die verschiedene Wechselspannungen so angelegt sind, daß entlang der Elektrodenreihe ein Potentialgefälle entsteht, mit dem die bei der zu übertragenden Stellungsänderung bewegte Abtastelektrode kapazitiv gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastelektrode (42) aus mehreren starr miteinander verbundenen Teilelektroden (70) besteht, deren Anordnung zueinander so getroffen ist, daß die senkrecht zur Bewegungsrichtung der Abtastelektrode verlaufenden Kanten der Teilelektroden in keiner Stellung der Abtastelektrode bei allen Teilelektroden gleichzeitig über den entsprechenden Kanten der Einzelelektrode (60) stehen.

'3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanten der Abtastelektrode (62) und der Einzelelektroden (60) gerade sind und daß die Kanten der Abtastelektrode gegenüber den entsprechenden Kanten der Einzelelektrode geneigt sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß'die Kanten der Einzelelektroden (60) parallel zueinander stehen. .

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanten der Einzelelektrode (62) parallel sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastelektrode (62) oder die Einzelelemente (60) ungerade Kanten aufweisen. -

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanten der Einzelelektroden (60) einen geraden, parallelen Verlauf und die Kanten der Abtastelektrode (62) einen ungeraden Verlauf aufweisen. , .

8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Kanten der Abtastelektrode (62) einen geraden, parallelen Verlauf und die Kanten der Einzelelektroden (60) einen ungeraden Verlauf aufweisen.

9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastelektrode (62) eine dreieckige, kreisförmige, polygonale oder elliptische Form hat.

10. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die ungeraden Kanten die Form einer Kurve, eines Chevron- oder Zickzackmusters oder eines in anderer Weise aus einer Anzahl von geraden, nicht linearen Abschnitten zusammengesetzten Musters besitzen.

11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die einander gegenüberliegenden Oberflächen der Einzelelektroden (60) und der Abtastelektrode (62) zylinderförmig ausgebildet sind und daß Einzelelektroden oder die Abtastelektrode die Form einer Spiralwindung aufweisen.

12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Einzelelektroden (60) und die Abtastelektrode (62, 70) gerade und zueinander parallele Kanten aufweisen und daß sie in Bewegungsrichtung der Abtastelektrode unterschiedliche Abmessungen haben.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Abmessung der Abtastelektrode (62, 70) in Bewegungsrichtung mindestens doppelt so groß wie die Abmessung jeder Einzelelektrode (60) ist.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschriften Nr. 366 223, 536 706,
245,872 643.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen