DE112022002521T5 - Anzeigevorrichtung und elektronische einrichtung - Google Patents

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cathode electrode
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protective layer
light
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Masashi Uchida
Takashi Yamazaki
Tadayuki Kimura
Toshiaki Shiraiwa
Naoya Kasahara
Daisuke Hamashita
Masaya Ogura
Masanaga Fukasawa
Yoshifumi Zaizen
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Sony Semiconductor Solutions Corp
Original Assignee
Sony Semiconductor Solutions Corp
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Abstract

Bereitgestellt werden eine Anzeigevorrichtung und eine elektronische Einrichtung, die zum Verbessern der Zuverlässigkeit eines Lichtemissionszustands eines Pixels in der Lage sind.
Eine Anzeigevorrichtung beinhaltet Folgendes: mehrere Subpixel; mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Schicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Schicht und die erste Kathodenelektrode in jedes der mehreren Subpixel separiert sind;
eine Elementschutzschicht, die die erste Kathodenelektrode bedeckt; eine zweite Kathodenelektrode, die auf der Elementschutzschicht bereitgestellt ist; und einen Verbindungsteil, der die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbindet, wobei der Verbindungsteil entlang einer Seitenwand der Elementschutzschicht gebildet ist.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Offenbarung betrifft eine Anzeigevorrichtung und eine elektronische Einrichtung, die die Anzeigevorrichtung verwendet.
  • HINTERGRUND
  • Als eine Anzeigevorrichtung, die ein organisches Elektrolumineszenz(EL)-Element verwendet, wurde eine Anzeigevorrichtung mit einer Struktur vorgeschlagen, in der eine organische Schicht einschließlich wenigstens einer organischen Lichtemissionsschicht und eine erste Kathodenelektrode auf einer Anodenelektrode laminiert sind, die für jedes Pixel separat gebildet wird. Zu dieser Zeit kann ein Pixel mehrere Subpixel, wie etwa RGB, beinhalten.
  • Patentdokument 1 schlägt eine organische Lichtemissionsvorrichtung vor, in der eine obere Elektrode eine erste obere Elektrode und eine zweite obere Elektrode beinhaltet, die direkt auf der ersten oberen Elektrode bereitgestellt ist.
  • ZITATLISTE
  • PATENTDOKUMENT
  • PATENTDOKUMENT 1: Japanische Patentanmeldung mit der Veröffentlichungs-Nr. 2016-021380
  • KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
  • Die in Patentdokument 1 offenbarte Technik weist Verbesserungspotential hinsichtlich des Unterdrückens eines Schadens an einer organischen Lichtemissionsschicht aufgrund eines Gases oder dergleichen zur Zeit einer Verarbeitung und des Verbesserns der Zuverlässigkeit eines Lichtemissionszustands eines Pixels auf.
  • Die vorliegende Offenbarung erfolgte in Anbetracht der zuvor beschriebenen Punkte und ein Ziel der vorliegenden Offenbarung ist das Bereitstellen einer Anzeigevorrichtung und einer elektronischen Einrichtung, die zum Verbessern der Zuverlässigkeit eines Lichtemissionszustands eines Pixels in der Lage sind.
  • LÖSUNG DER PROBLEME
  • Die vorliegende Offenbarung ist zum Beispiel (1) eine Anzeigevorrichtung, die Folgendes beinhaltet:
    • mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Lichtemissionsschicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Lichtemissionsschicht und die erste Kathodenelektrode für jedes Subpixel separiert sind;
    • mehrere Schutzschichten, die jeweils die mehreren Lichtemissionselemente bedecken;
    • eine zweite Kathodenelektrode auf den mehreren Schutzschichten bereitgestellt ist; und
    • einen Verbindungsteil, der die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbindet,
    • wobei sich der Verbindungsteil in Kontakt mit einer Seitenwand des Schutzfilms befindet.
  • Des Weiteren kann die vorliegende Offenbarung zum Beispiel (2) eine elektronische Einrichtung sein, die die zuvor beschriebene Anzeigevorrichtung nach (1) beinhaltet.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
    • 1 ist eine Querschnittsansicht zum Erklären eines Beispiels für eine Anzeigevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform.
    • 2A ist eine Draufsicht zum Erklären eines von Beispielen für eine Anzeigevorrichtung. 2B ist eine teilweise vergrößerte Draufsicht, in der ein Teil eines Bereichs XS, der durch eine gestrichelte Linie in 2A umgeben ist, vergrößert ist.
    • 3A bis 3D sind Querschnittsansichten, die ein Beispiel für ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform veranschaulichen.
    • 4A bis 4C sind Querschnittsansichten, die ein Beispiel für ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform veranschaulichen.
    • 5 ist eine Querschnittsansicht, die ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform veranschaulicht.
    • 6A bis 6C sind Draufsichten zum Erklären eines Beispiels für ein Layout von Subpixeln der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform.
    • 7A bis 7D sind Draufsichten zum Erklären eines Beispiels für ein Layout von Subpixeln der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform.
    • 8 ist eine Querschnittsansicht, die ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform veranschaulicht.
    • 9 ist eine Querschnittsansicht, die ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform veranschaulicht.
    • 10 ist eine Querschnittsansicht, die ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform veranschaulicht.
    • 11A und 11B sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform.
    • 12 ist eine Querschnittsansicht zum Erklären eines Beispiels für eine Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform.
    • 13A und 13B sind Draufsichten zum Erklären eines Beispiels für die Anzeigevorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform.
    • 14A und 14B sind Draufsichten zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform.
    • 15 ist eine Draufsicht zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform.
    • 16 ist eine Querschnittsansicht zum Erklären eines Beispiels für eine Anzeigevorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform.
    • 17A bis 17C sind Querschnittsansichten zum Veranschaulichen eines Beispiels für ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform.
    • 18A und 18B sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Beispiels für das Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform.
    • 19 ist eine Querschnittsansicht zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform.
    • 20A bis 20C sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform.
    • 21A bis 21C sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform.
    • 22A und 22B sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Beispiels einer Anzeigevorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform.
    • 23A und 23B sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Verfahrens zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform.
    • 24 ist eine Querschnittsansicht zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform.
    • 25A und 25B sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform.
    • 26A bis 26C sind Draufsichten zum Erklären eines Beispiels für ein Layout von Subpixeln der Anzeigevorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform.
    • 27A und 27B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Beispiels für eine Anzeigevorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform.
    • 28A und 28B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Verfahrens zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 29A und 29B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Verfahrens zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 30A und 30B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Verfahrens zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 31A und 31B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 32A und 32B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 33A und 33B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 34A und 34B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 35A und 35B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 36A bis 36C sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 37A und 37B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 38A und 38B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 39A und 39B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 40A und 40B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht zum Erklären eines Herstellungsverfahrens eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform.
    • 41A bis 41D sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Verfahrens zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform.
    • 42A und 42B sind Draufsichten zum Erklären der Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform.
    • 43A bis 43D sind Querschnittsansichten zum Erklären eines Modifikationsbeispiels der Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform.
    • 44 ist ein Diagramm zum Erklären eines Beispiels für eine elektronische Einrichtung, die die Anzeigevorrichtung verwendet.
    • 45 ist ein Diagramm zum Erklären eines Beispiels für eine elektronische Einrichtung, die die Anzeigevorrichtung verwendet.
    • 46 ist ein Diagramm zum Erklären eines Beispiels für eine elektronische Einrichtung, die die Anzeigevorrichtung verwendet.
  • WEISE ZUM AUSFÜHREN DER ERFINDUNG
  • Nachfolgend werden ein Implementierungsbeispiel und dergleichen gemäß der vorliegenden Offenbarung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Es wird angemerkt, dass die Beschreibung in der folgenden Reihenfolge erfolgt. In der vorliegenden Beschreibung und den Zeichnungen sind Konfigurationen mit im Wesentlichen der gleichen funktionalen Konfiguration durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet und redundante Beschreibungen sind weggelassen.
  • Es wird angemerkt, dass die Beschreibung in der folgenden Reihenfolge gegeben wird.
    1. 1. Erste Ausführungsform
    2. 2. Zweite Ausführungsform
    3. 3. Dritte Ausführungsform
    4. 4. Vierte Ausführungsform
    5. 5. Fünfte Ausführungsform
    6. 6. Sechste Ausführungsform
    7. 7. Siebte Ausführungsform
    8. 8. Elektronische Einrichtung
  • Die folgende Beschreibung ist bevorzugte spezielle Beispiele der vorliegenden Offenbarung und der Inhalt der vorliegenden Offenbarung ist nicht auf diese Ausführungsformen und dergleichen beschränkt. Des Weiteren sind in der folgenden Beschreibung Richtungen von vorne und hinten, links und rechts, oben und unten und dergleichen unter Berücksichtigung einer einfachen Beschreibung angegeben, aber der Inhalt der vorliegenden Offenbarung ist nicht auf diese Richtungen beschränkt. Bei den Beispielen aus 1 und 2 wird eine Z-Achse-Richtung als eine vertikale Richtung definiert (eine obere Seite ist in der +Z-Richtung, eine untere Seite ist in der -Z-Richtung), wird eine X-Achse-Richtung als eine Vorne-Hinten-Richtung definiert (eine vordere Seite ist in der +X-Richtung und eine hintere Seite ist in der -X-Richtung) und wird eine Y-Achse-Richtung als eine Links-Rechts-Richtung definiert (eine rechte Seite ist in der +Y-Richtung und eine linke Seite ist in der -Y-Richtung), und die Beschreibung erfolgt basierend auf diesen. Dies gilt gleichermaßen für 3 bis 13. Ein relatives Betragsverhältnis der Größe und Dicke jeder in jeder Zeichnung aus 1 veranschaulichten Schicht und dergleichen ist der Einfachheit halber beschrieben und beschränkt tatsächliche Betragsverhältnisse nicht. Dies gilt gleichermaßen für jede Zeichnung aus 2 bis 16 bezüglich der Definition und dem Betragsverhältnis bezüglich dieser Richtungen.
  • [1 Erste Ausführungsform]
  • [1-1 Konfiguration der Anzeigevorrichtung]
  • 1 ist eine Querschnittsansicht, die ein Konfigurationsbeispiel einer organischen Elektrolumineszenz(EL)-Anzeigevorrichtung 10A (nachfolgend einfach als eine „Anzeigevorrichtung 10A“ bezeichnet) gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulicht. Die Anzeigevorrichtung 10A beinhaltet mehrere Subpixel 101 und beinhaltet ein Ansteuerungssubstrat 11 und mehrere Lichtemissionselemente 13.
  • Die Anzeigevorrichtung 10A ist eine Oberseitenemissionsanzeigevorrichtung. In der Anzeigevorrichtung 10A befindet sich das Ansteuerungssubstrat 11 auf einer hinteren Oberflächenseite der Anzeigevorrichtung 10A und eine Richtung von dem Ansteuerungssubstrat 11 zu den Lichtemissionselementen 13 hin (+Z-Richtung) ist eine Vorderoberflächenseite(Seite der Anzeigeoberflächenseite 110A, obere Oberflächenseite)-Richtung der Anzeigevorrichtung 10A. In der folgenden Beschreibung wird in jeder Schicht, die die Anzeigevorrichtung 10A darstellt, eine Oberfläche auf der Seite der Anzeigeoberfläche 110A der Anzeigevorrichtung 10A als eine erste Oberfläche (obere Oberfläche) bezeichnet und wird eine Oberfläche auf der hinteren Oberflächenseite der Anzeigevorrichtung 10A als eine zweite Oberfläche (untere Oberfläche) bezeichnet. Es wird angemerkt, dass bei dem Beispiel der Zeichnung ein Peripherieteil 110B auf dem Ansteuerungssubstrat 11 bei dem Peripherierand des Gebiets der Anzeigeoberfläche 110A bereitgestellt ist. 2A ist eine Draufsicht zum Erklären eines Beispiels für die Anzeigeoberfläche 110A der Anzeigevorrichtung 10A. Dies gilt gleichermaßen für die zweite bis sechste Ausführungsform.
  • Die Anzeigevorrichtung 10A ist zum Beispiel eine Mikroanzeige, bei der selbstemittierende Elemente, wie etwa eine organische Leuchtdiode (OLED), eine Mikro-OLED oder eine Mikro-LED, in einem Array gebildet sind. Die Anzeigevorrichtung 10A kann geeignet an einer Anzeigevorrichtung für virtuelle Realität (VR: Virtual Reality), gemischte Realität (MR: Mixed Reality) oder erweiterte Realität (AR: Augmented Reality), einen elektronischen Sucher (EVF: Electronic View Finder), einen kleinen Projektor oder dergleichen montiert werden. Dies gilt gleichermaßen für die zweite bis sechste Ausführungsform.
  • (Konfiguration eines Subpixels)
  • Bei dem Beispiel der Anzeigevorrichtung 10A, die in 1 veranschaulicht ist, ist ein Pixel durch eine Kombination mehrerer Subpixel 101 gebildet, die mehreren Farbtypen entsprechen. Bei diesem Beispiel werden drei Farben von Rot, Grün und Blau als die mehreren Farbtypen bestimmt und sind drei Typen eines Subpixels 101R, eines Subpixels 101G und eines Subpixels 101B als das Subpixel 101 bereitgestellt. Das Subpixel 101R, das Subpixel 101G und das Subpixel 101B sind ein rotes Subpixel, ein grünes Subpixel bzw. ein blaues Subpixel und zeigen Rot, Grün bzw. Blau an. Jedoch ist das Beispiel aus 1 ein Beispiel und ist die Anzeigevorrichtung 10A nicht auf den Fall beschränkt, in dem sie die mehrere Subpixel 101 beinhaltet, die den mehreren Farbtypen entsprechen. Der Farbtyp kann ein Typ sein oder ein Subpixel kann ein Pixel bilden. Des Weiteren können Wellenlängen von Licht, die den jeweiligen Farbtypen von Rot, Grün und Blau entsprechen, als zum Beispiel Wellenlängen in einem Bereich von 610 nm bis 650 nm, einem Bereich von 510 nm bis 590 nm bzw. einem Bereich von 440 nm bis 480 nm definiert werden.
  • Des Weiteren sind die Subpixel 101R, 101G und 101B in dem Gebiet der Anzeigeoberfläche 110A angeordnet. Bei dem Beispiel aus 1 ist das Layout der Subpixel 101R, 101G und 101B ein streifenförmiges Layout mit einer Anordnung nebeneinander in einem Pixel. Die Pixel sind in einer Matrix in einer Ebenenrichtung der Anzeigeoberfläche 110A angeordnet. 2 ist ein Diagramm zum Erklären der Anzeigeoberfläche 110A der Anzeigevorrichtung 10A.
  • In der folgenden Beschreibung werden, falls die Subpixel 101R, 101G und 101B nicht speziell unterschieden werden, die Subpixel 101R, 101G und 101B gemeinsam als das Subpixel 101 bezeichnet.
  • (Ansteuerungssubstrat)
  • Das Ansteuerungssubstrat 11 ist mit verschiedenen Schaltkreisen zum Ansteuern der mehreren Lichtemissionselemente 13 auf einem Substrat 11A versehen. Beispiele für die verschiedenen Schaltkreise beinhalten einen Ansteuerungsschaltkreis, der eine Ansteuerung der Lichtemissionselemente 13 steuert, und einen Leistungsversorgungsschaltkreis (nichts davon ist veranschaulicht), der Leistung an die mehreren Lichtemissionselemente 13 liefert.
  • Das Substrat 11A kann zum Beispiel Glas oder Harz mit einer niedrigen Feuchtigkeits- und Sauerstoffpermeabilität beinhalten oder kann einen Halbleiter beinhalten, in dem ein Transistor oder dergleichen einfach gebildet wird. Insbesondere kann das Substrat 11A ein Glassubstrat, ein Halbleitersubstrat, ein Harzsubstrat oder dergleichen sein. Das Glassubstrat beinhaltet zum Beispiel Glas mit hohem unteren Kühlpunkt, Kalk-Natron-Glas, Borsilicatglas, Forsterit, Bleiglas, Quarzglas oder dergleichen. Das Halbleitersubstrat beinhaltet zum Beispiel amorphes Silicium, polykristallines Silicium, monokristallines Silicium oder dergleichen. Das Harzsubstrat beinhaltet zum Beispiel wenigstens eines, ausgewählt aus der Gruppe, die aus Polymethylmethacrylat, Polyvinylalkohol, Polyvinylphenol, Polyethersulfon, Polyimid, Polycarbonat, Polyethylenterephthalat, Polyethylennaphthalat und dergleichen besteht.
  • Mehrere (nicht veranschaulichte) Kontaktstopfen zum Verbinden der Lichtemissionselemente 13 und der verschiedenen Schaltkreise, die auf dem Substrat 11A bereitgestellt sind, sind auf der ersten Oberfläche des Ansteuerungssubstrats 11 bereitgestellt.
  • (Lichtemissionselemente)
  • In der Anzeigevorrichtung 10A sind die mehreren Lichtemissionselemente 13 auf der ersten Oberfläche des Ansteuerungssubstrats 11 bereitgestellt. Die Lichtemissionselemente 13 sind für jedes Subpixel 101 bereitgestellt. Bei dem Beispiel aus 1 sind als die mehreren Lichtemissionselemente 13 einzelne Lichtemissionselemente 13R, 13G und 13B so bereitgestellt, dass sie den einzelnen Subpixeln 101R, 101G bzw. 101B entsprechen. Das bei diesem Beispiel veranschaulichte Lichtemissionselement 13R ist eine rote OLED, die zum Emittieren von Rotlicht konfiguriert ist. Das Lichtemissionselement 13G ist eine grüne OLED, die zum Emittieren von Grünlicht konfiguriert ist. Das Lichtemissionselement 13B ist eine blaue OLED, die zum Emittieren von Blaulicht konfiguriert ist. Die Lichtemissionselemente 13 können eine Mikro-OLED (MOLED) oder eine Mikro-LED sein.
  • In der vorliegenden Schrift werden, falls die Typen, wie etwa die Lichtemissionselemente 13R, 13G und 13B, nicht speziell unterschieden werden, die Lichtemissionselemente 13R, 13G und 13B gemeinsam als die Lichtemissionselemente 13 bezeichnet. Die mehreren Lichtemissionselemente 13 sind zum Beispiel zweidimensional in einem vorgeschriebenen Anordnungsmuster, wie etwa einer Matrixform oder dergleichen, angeordnet. Bei dem Beispiel aus 2A sind die mehreren Lichtemissionselemente 13 zweidimensional in zwei vorbestimmten Richtungen (einer X-Achse-Richtung und einer Y-Achse-Richtung in 2A) gemäß einer Anordnung der Subpixel 101 angeordnet.
  • Jedes der Lichtemissionselemente 13 beinhaltet eine Anodenelektrode 130, eine organische Schicht 131 und eine erste Kathodenelektrode 132. Die Anodenelektrode 130, die organische Schicht 131 und die erste Kathodenelektrode 132 sind in dieser Reihenfolge in einer Richtung von der Seite des Ansteuerungssubstrat 11 weg (entlang der +Z-Richtung) bereitgestellt. Bei dem Beispiel aus 1 beinhaltet das Lichtemissionselement 13R die Anodenelektrode 130, die auf dem Ansteuerungssubstrat 11 bereitgestellt ist, die organische Schicht 131R, die auf der Anodenelektrode 130 bereitgestellt ist, und die erste Kathodenelektrode 132, die auf der organischen Schicht 131R bereitgestellt ist. Das Lichtemissionselement 13G beinhaltet die Anodenelektrode 130, die auf dem Ansteuerungssubstrat 11 bereitgestellt ist, eine organische Schicht 131G, die auf der Anodenelektrode 130 bereitgestellt ist, und die erste Kathodenelektrode 132, die auf der organischen Schicht 131G bereitgestellt ist.
  • Das Lichtemissionselement 13B beinhaltet die Anodenelektrode 130, die auf dem Ansteuerungssubstrat 11 bereitgestellt ist, eine organische Schicht 131B, die auf der Anodenelektrode 130 bereitgestellt ist, und die erste Kathodenelektrode 132, die auf der organischen Schicht 131B bereitgestellt ist. Es wird angemerkt, dass in der folgenden Beschreibung, falls die organischen Schichten 131R, 131G und 131B nicht speziell unterschieden werden, die organischen Schichten 131R, 131G und 131B gemeinsam als die organische Schicht 131 bezeichnet werden.
  • (Lichtemissionsgebiet des Lichtemissionselements)
  • In der vorliegenden Schrift ist, wie in 1 veranschaulicht, ein Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13 ein Gebiet, in dem die Anodenelektrode 130, die organische Schicht 131 und die erste Kathodenelektrode 132 einander auf einer ersten Oberflächenseite der ersten Kathodenelektrode 132 mit einer Dickenrichtung des Lichtemissionselements 13 als eine Sichtlinienrichtung überlappen.
  • (Anodenelektrode)
  • In der Anzeigevorrichtung 10A sind mehrere Anodenelektroden 130 auf der ersten Oberflächenseite des Ansteuerungssubstrats 11 in einem Zustand bereitgestellt, in dem sie für jedes Subpixel 101 elektrisch separiert sind. Bei dem Beispiel aus 1 ist die Anodenelektrode 130 durch eine Isolationsschicht 14 elektrisch separiert, wie nachfolgend beschrieben ist. Die Anodenelektrode 130 dient bevorzugt auch als eine Reflexionsschicht. Falls dieser Standpunkt betont wird, wird es bevorzugt, dass die Anodenelektrode 130 einen Reflexionsgrad so hoch wie möglich aufweist. Zudem beinhaltet die Anodenelektrode 130 bevorzugt ein Material mit einer großen Austrittsarbeit, um die Lichtemissionseffizienz zu verbessern.
  • Die Anodenelektrode 130 beinhaltet eine Metallschicht und/oder eine Metalloxidschicht. Zum Beispiel kann die Anodenelektrode 130 durch einen Einzelschichtfilm aus einer Metallschicht oder einer Metalloxidschicht oder einen laminierten Film aus einer Metallschicht und einer Metalloxidschicht gegeben sein. Falls die Anodenelektrode 130 durch einen laminierten Film gegeben ist, kann die Metalloxidschicht auf der Seite der organischen Schicht 131 bereitgestellt sein oder kann die Metallschicht auf der Seite der organischen Schicht 131 bereitgestellt sein, aber von dem Standpunkt des Angrenzens einer Schicht mit einer hohen Austrittsarbeit an die organische Schicht 131 wird die Metalloxidschicht bevorzugt auf der Seite der organischen Schicht 131 bereitgestellt.
  • Die Metallschicht beinhaltet zum Beispiel wenigstens ein Metallelement, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Chrom (Cr), Gold (Au), Platin (Pt), Nickel (Ni), Kupfer (Cu), Molybdän (Mo), Titan (Ti), Tantal (Ta), Aluminium (Al), Magnesium (Mg), Eisen (Fe), Wolfram(W) und Silber (Ag) beinhaltet. Die Metallschicht kann das wenigstens eine zuvor beschriebene Metallelement als ein Bestandsteilelement einer Legierung beinhalten. Spezielle Beispiele für die Legierung beinhalten eine Aluminiumlegierung und eine Silberlegierung. Spezielle Beispiele für die Aluminiumlegierung beinhalten zum Beispiel AlNd und AlCu.
  • Die Metalloxidschicht beinhaltet zum Beispiel wenigstens eines von einem Gemisch aus Indiumoxid und Zinnoxid (ITO), einem Gemisch oder Indiumoxid und Zinkoxid (IZO) oder Titanoxid (TiO).
  • (Organische Schicht)
  • Die organische Schicht 131 ist zwischen der Anodenelektrode 130 und der ersten Kathodenelektrode 132 bereitgestellt. Die organische Schicht 131 ist in einem Zustand bereitgestellt, in dem sie elektrisch für jedes Subpixel 101 elektrisch separiert (unterteilt) ist. Bei dem Beispiel aus der Zeichnung sind die organischen Schichten 131R, 131G und 131B bereitgestellt. Die organischen Schichten 131R, 131G und 131B weisen Farbtypen auf, die einer Lichtemissionsfarbe des Subpixels 101 entsprechen, und Rot, Blau bzw. Grün sind als Emissionsfarben festgelegt.
  • Die organische Schicht 131 weist eine Konfiguration auf, bei der eine Lochinjektionsschicht, eine Lochtransportschicht, eine Lichtemissionsschicht und eine Elektronentransportschicht in dieser Reihenfolge von der Anodenelektrode 130 zu der ersten Kathodenelektrode 132 laminiert sind. Es wird angemerkt, dass die Konfiguration der organischen Schicht 131 nicht darauf beschränkt ist und Schichten außer der Lichtemissionsschicht nach Bedarf bereitgestellt werden. Die Lichtemissionsschicht ist eine organische Lichtemissionsschicht, die ein organisches Lichtemissionsmaterial enthält.
  • Die Lochinjektionsschicht ist eine Pufferschicht zum Verbessern der Lochinjektionseffizienz in die Lichtemissionsschicht und zum Reduzieren eines Leckverlusts. Die Lochtransportschicht dient dem Verbessern einer Lochtransporteffizienz zu der Lichtemissionsschicht. Die Lichtemissionsschicht erzeugt Licht durch Rekombination von Elektronen und Löchern, wenn ein elektrisches Feld angelegt wird. Die Elektronentransportschicht dient dem Verbessern einer Elektronentransporteffizienz zu der Lichtemissionsschicht. Eine Elektroneninjektionsschicht kann zwischen der Elektronentransportschicht und der ersten Kathodenelektrode 132 bereitgestellt sein. Die Elektroneninjektionsschicht dient dem Verbessern der Elektroneninjektionseffizienz.
  • Es wird angemerkt, dass eine Dicke der organischen Schicht 131 zwischen verschiedenen Farbtypen des Subpixels 101 gleich sein kann oder verschieden sein kann. Zum Beispiel kann die Dicke der organischen Schichten 131R, 131G und 131B, die den Subpixeln 101R, 101G und 101B entsprechen, voneinander verschieden sein. Bei dem Beispiel aus 1 sind die Dicken der organischen Schichten 131R, 131G und 131B zwischen verschiedenen Farbtypen des Subpixels 101 verschieden.
  • (Erste Kathodenelektrode)
  • Die erste Kathodenelektrode 132 ist so bereitgestellt, dass sie der Anodenelektrode 130 zugewandt ist. Die erste Kathodenelektrode 132 ist der zweiten Kathodenelektrode 134 zugewandt. Die erste Kathodenelektrode 132 ist für jedes der Subpixel 101R, 101G und 101B elektrisch separiert.
  • Die erste Kathodenelektrode 132 ist eine transparente Elektrode mit einer Transparenz in Bezug auf Licht, das in der organischen Schicht 131 erzeugt wird. Hier schließt in der vorliegenden Schrift, sofern nichts anderes angegeben ist, das Konzept der transparenten Elektrode nicht nur eine transparente leitfähige Schicht ein, sondern auch eine semitransmittierende reflektierende Schicht und eine Kombination davon. Die erste Kathodenelektrode 132 beinhaltet eine Metallschicht und/oder eine Metalloxidschicht. Insbesondere ist die erste Kathodenelektrode 132 durch einen Einzelschichtfilm aus einer Metallschicht oder einer Metalloxidschicht oder einen laminierten Film aus einer Metallschicht und einer Metalloxidschicht gegeben. Falls die erste Kathodenelektrode 132 durch einen laminierten Film gegeben ist, kann die Metallschicht auf der Seite der organischen Schicht 131 bereitgestellt sein oder kann die Metalloxidschicht auf der Seite der organischen Schicht 131 bereitgestellt sein, aber von dem Standpunkt des Angrenzens einer Schicht mit einer niedrigen Austrittsarbeit an die organische Schicht 131 wird die Metallschicht bevorzugt auf der Seite der organischen Schicht 131 bereitgestellt.
  • Die Metallschicht beinhaltet zum Beispiel wenigstens ein Metallelement, das aus einer Gruppe ausgewählt ist, die Magnesium (Mg), Aluminium (Al), Silber (Ag), Calcium (Ca) und Natrium (Na) beinhaltet. Die Metallschicht kann das wenigstens eine zuvor beschriebene Metallelement als ein Bestandsteilelement einer Legierung beinhalten. Spezielle Beispiele für die Legierung beinhalten eine MgAg-Legierung, eine MgAl-Legierung, eine AlLi-Legierung und dergleichen. Das Metalloxid beinhaltet zum Beispiel wenigstens eines von einem Gemisch aus Indiumoxid und Zinnoxid (ITO), einem Gemisch aus Indiumoxid und Zinkoxid (IZO) oder Zinkoxid (ZnO).
  • (Zweite Kathodenelektrode)
  • Die zweite Kathodenelektrode 134 ist als eine Elektrode bereitgestellt, die sämtlichen Subpixeln 101R, 101G und 101B in einem Gebiet in der Anzeigeoberfläche 110A gemein ist. Die zweite Kathodenelektrode 134 ist mit der ersten Kathodenelektrode 132, die für jedes Subpixel 101 separiert ist, über einen Verbindungsteil 18, wie nachfolgend beschrieben, verbunden. Die zweite Kathodenelektrode 134 ist auf einer unteren Schutzschicht 17 bereitgestellt, wie nachfolgend beschrieben ist. Bei dem Beispiel aus 1 ist die zweite Kathodenelektrode 134 auf einer Elementschutzschicht 15 auf der unteren Schutzschicht 17 bereitgestellt, so dass die erste Oberflächenseite der Elementschutzschicht 15 bedeckt wird.
  • Ähnlich der ersten Kathodenelektrode 132 ist die zweite Kathodenelektrode 134 eine transparente Elektrode mit einer Transparenz in Bezug auf Licht, das in der organischen Schicht 131 erzeugt wird. Des Weiteren beinhaltet ähnlich der ersten Kathodenelektrode 132 die zweite Kathodenelektrode 134 eine Metallschicht und/oder eine Metalloxidschicht. Die Metallschicht und die Metalloxidschicht, die auf die zweite Kathodenelektrode 134 aufgebracht werden können, sind der Metallschicht und der Metalloxidschicht ähnlich, die auf die erste Kathodenelektrode 132 aufgebracht werden können.
  • (Isolationsschicht)
  • In der Anzeigevorrichtung 10A ist, wie in 1 veranschaulicht, die Isolationsschicht 14 bevorzugt auf der ersten Oberflächenseite des Ansteuerungssubstrats 11 bereitgestellt. Die Isolationsschicht 14 ist zwischen den angrenzenden Anodenelektroden 130 bereitgestellt und separiert jede Anodenelektrode 130 für jedes Lichtemissionselemente 13 (das heißt für jedes Subpixel 101) elektrisch. Des Weiteren weist die Isolationsschicht 14 mehrere Öffnungen 14A auf und ist die erste Oberfläche der Anodenelektrode 130 (die Oberfläche, die der ersten Kathodenelektrode 132 zugewandt ist) von den Öffnungen 14A freigelegt. Es wird angemerkt, dass bei dem Beispiel aus 1 und dergleichen die Isolationsschicht 14 ein Gebiet von einem Peripherierandteil 130A zu einer Seitenoberfläche (manchmal als eine Endoberfläche oder eine Seitenwand bezeichnet) der separierten ersten Oberfläche der Anodenelektrode 130 bedeckt. Dann ist in diesem Fall jede Öffnung 14A auf der ersten Oberfläche jeder Anodenelektrode 130 angeordnet und befindet sich ein Öffnungsendrand 140 der Öffnung 14A innerhalb des Endrandes der Anodenelektrode 130. Des Weiteren ist zu dieser Zeit die Anodenelektrode 130 von der Öffnung 14A freigelegt und dieses freigelegte Gebiet definiert das Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13. In der vorliegenden Schrift verweist der Peripherierandteil 130A der ersten Oberfläche der Anodenelektrode 130 auf ein Gebiet mit einer vorbestimmten Breite von dem Außenperipherierand auf der ersten Oberflächenseite jeder Anodenelektrode 130 zu dem Inneren der ersten Oberfläche hin.
  • Die Isolationsschicht 14 beinhaltet zum Beispiel ein organisches Material oder ein anorganisches Material. Das organische Material beinhaltet zum Beispiel ein Polyimid und/oder Acrylharz. Das anorganische Material beinhaltet zum Beispiel Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Siliciumoxinitrid und/oder Aluminiumoxid.
  • (Untere Schutzschicht)
  • Die untere Schutzschicht 17 ist eine Schutzschicht, die unterhalb der zweiten Kathodenelektrode 134 (auf einer zweiten Oberflächenseite der zweiten Kathodenelektrode 134) gebildet ist, und schützt die erste Kathodenelektrode 132 und die organische Schicht 131. Bei dem Beispiel aus 1 weist die untere Schutzschicht 17 einen Teil, der die erste Kathodenelektrode 132 bedeckt, und einen Teil, der zwischen den angrenzenden Lichtemissionselementen 13 gebildet ist, auf. Wie nachfolgend beschrieben, wird ein Teil, der die erste Kathodenelektrode 132 bedeckt, als die Elementschutzschicht 15 bezeichnet. Ein Teil, der zwischen den angrenzenden Lichtemissionselementen 13 gebildet ist, wird als eine Seitenwandschutzschicht 16 bezeichnet.
  • In der vorliegenden Schrift wird der Begriff untere Schutzschicht 17 nach Bedarf als ein Konzept verwendet, das die Elementschutzschicht 15 als eine Schutzschicht und die Seitenwandschutzschicht 16 als eine Schutzschicht einschließt.
  • (Elementschutzschicht)
  • Die Elementschutzschicht 15 ist als eine Schutzschicht auf der ersten Oberfläche jeder der ersten Kathodenelektroden 132 gebildet und bedeckt die erste Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132. Die Elementschutzschicht 15 kann die erste Kathodenelektrode 132 vollständig bedecken oder kann sich in einem Zustand befinden, in dem ein Teilgebiet der ersten Kathodenelektrode 132 vermieden wird. Die Elementschutzschicht 15 befindet sich oberhalb des Lichtemissionselements 13 und liegt zwischen der ersten Kathodenelektrode 132 und der zweiten Kathodenelektrode 134. Die Elementschutzschicht 15 schirmt das Lichtemissionselement 13 von der Außenluft ab und unterdrückt das Eindringen von Feuchtigkeit von der externen Umgebung in das Lichtemissionselement 13. Die Elementschutzschicht 15 verhindert, dass die organische Schicht 131 beschädigt wird, indem sie einem Prozessgas, einer chemischen Flüssigkeit oder dergleichen in einem Herstellungsprozess ausgesetzt wird. Des Weiteren kann, falls die erste Kathodenelektrode 132 eine Metallschicht beinhaltet, die Elementschutzschicht 15 eine Funktion des Unterdrückens einer Oxidation der Metallschicht aufweisen.
  • Die Elementschutzschicht 15 beinhaltet ein Isolationsmaterial. Als das Isolationsmaterial kann zum Beispiel ein duroplastisches Harz oder dergleichen verwendet werden. Außerdem kann das Isolationsmaterial SiO, SiON, AlO, TiO oder dergleichen sein. In diesem Fall kann als die Elementschutzschicht 15 ein CVD-Film, der SiO, SiON oder dergleichen enthält, ein ALD-Film, der AlO, TiO, SiO oder dergleichen enthält, oder dergleichen exemplarisch genannt werden. Die Elementschutzschicht 15 kann als eine Einzelschicht gebildet werden oder kann in einem Zustand gebildet werden, in dem mehrere Schichten laminiert sind. Falls die Elementschutzschicht 15 eine erste Schutzschicht in der ersten Kathodenelektrode 132 und eine zweite Schutzschicht derart, dass sie die erste Schutzschicht bedeckt, als eine zweischichtige laminierte Struktur beinhaltet, beinhaltet die erste Schutzschicht bevorzugt einen CVD-Film und beinhaltet die zweite Schutzschicht bevorzugt einen ALD-Film. Es wird angemerkt, dass der CVD-Film einen Film angibt, der unter Verwendung von chemischer Gasphasenabscheidung gebildet ist. Der ALD-Film gibt einen Film an, der unter Verwendung von Atomlagenabscheidung gebildet ist.
  • Die Form der Elementschutzschicht 15 in der Oben-Unten-Richtung (Dickenrichtung) ist nicht speziell beschränkt und die Seitenwand der Elementschutzschicht 15 kann sich verjüngend sein oder kann auf eine sich nicht verjüngende Form gebildet sein, wie in 1 veranschaulicht ist.
  • Falls die Normalenrichtung der Anzeigeoberfläche 110A die Sichtlinienrichtung ist, weist die Elementschutzschicht 15 eine Form auf, die der Form des Lichtemissionselements 13 entspricht, und es wird von dem Standpunkt des effizienten Aufzeigens der Funktion zum Schützen des Lichtemissionselements 13 und von dem Standpunkt des Bildens des nachfolgend zu beschreibenden Verbindungsteils 18 an einer geeigneten Position bevorzugt, die Lichtemissionsoberfläche des Lichtemissionselements 13 zu bedecken.
  • Es wird angemerkt, dass die Dicke der Elementschutzschicht 15 zwischen verschiedenen Farbtypen des Subpixels 101 gleich oder verschieden sein kann. Falls sich zum Beispiel die Dicken der organischen Schichten 131R, 131G und 131B, die den Subpixeln 101R, 101G und 101B entsprechen, voneinander unterscheiden, kann die erste Oberfläche zum Bilden der zweiten Kathodenelektrode 134 abgeflacht werden, indem die Dicke der Elementschutzschicht 15 verschieden gemacht wird.
  • (Seitenwandschutzschicht)
  • Bei dem Beispiel aus 1 ist die Seitenwandschutzschicht 16 als eine Schutzschicht zwischen der zweiten Kathodenelektrode 134 und der Isolationsschicht 14 zwischen den angrenzenden Lichtemissionselementen 13 gebildet. Die Seitenwandschutzschicht 16 füllt einen Raum zwischen den angrenzenden Lichtemissionselementen 13 und bedeckt die Seitenoberfläche des Verbindungsteils 18, um zu unterdrücken, dass Feuchtigkeit von der externen Umgebung in den Verbindungsteil 18 eindringt. Die Seitenwandschutzschicht 16 kann das ähnliche Material zu der Elementschutzschicht 15 beinhalten.
  • (Obere Schutzschicht)
  • Die obere Schutzschicht 19 ist eine Schutzschicht, die die zweite Kathodenelektrode 134 bedeckt. Die obere Schutzschicht 19 schützt die zweite Kathodenelektrode 134. Insbesondere unterdrückt die obere Schutzschicht 19, dass Feuchtigkeit von der externen Umgebung die zweite Kathodenelektrode 134 erreicht. Ähnlich der unteren Schutzschicht 17 unterdrückt die obere Schutzschicht 19 zudem auch das Eindringen von Feuchtigkeit von der externen Umgebung in das Lichtemissionselement 13. Das heißt, dass die obere Schutzschicht 19 den Schutz des Lichtemissionselements 13 durch die untere Schutzschicht 17 verstärkt. Falls die zweite Kathodenelektrode 134 eine Metallschicht beinhaltet, kann die obere Schutzschicht 19 eine Funktion des Unterdrückens einer Oxidation der Metallschicht aufweisen.
  • Das Material der oberen Schutzschicht 19 beinhaltet ein Isolationsmaterial ähnlich der unteren Schutzschicht 17, wie etwa der Elementschutzschicht 15. Die Art des Isolationsmaterials kann jener ähnlich sein, die bei der Elementschutzschicht 15 beschrieben ist. Ähnlich der Elementschutzschicht 15 kann die obere Schutzschicht 19 auch als eine Einzelschicht oder in einem Zustand gebildet werden, in dem mehrere Schichten laminiert sind.
  • (Verbindungsteil)
  • Der Verbindungsteil 18 ist ein Teil, der die erste Kathodenelektrode 132 und die zweite Kathodenelektrode 134 elektrisch verbindet. In der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform ist der Verbindungsteil 18 separat von der ersten Kathodenelektrode 132 und der zweiten Kathodenelektrode 134 bereitgestellt. Jedoch ist der Anwendungsbereich des Verbindungsteils 18 nicht auf die Technologie zum Bereitstellen des Verbindungsteils separat von der ersten Kathodenelektrode 132 und der zweiten Kathodenelektrode 134 beschränkt, und der Verbindungsteil 18 kann auf eine Technologie angewandt werden, in der ein Teil der ersten Kathodenelektrode 132 oder ein Teil der zweiten Kathodenelektrode 134 als ein Teil verwendet wird, der die erste Kathodenelektrode 132 und die zweite Kathodenelektrode 134 verbindet.
  • Der Verbindungsteil 18 ist entlang der Seitenwand der Elementschutzschicht 15 gebildet. Der Verbindungsteil 18 kann entlang eines Teils der Oberfläche der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 gebildet werden, aber er wird von dem Standpunkt des Sicherstellens der Verbindung zwischen der ersten Kathodenelektrode 132 und der zweiten Kathodenelektrode 134 bevorzugt auf dem gesamten Umfang der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 gebildet, wie in 1, 2B und der gleichen veranschaulicht ist.
  • Des Weiteren wird, falls die Elementschutzschicht 15 das Lichtemissionsgebiet P bedeckt, der Verbindungsteil 18 außerhalb des Lichtemissionsgebiets P bereitgestellt und wird der Einfluss des Verbindungsteils 18 auf den Lichtemissionszustand unterdrückt. Daher ist es möglich, eine Abnahme der Leuchtdichte der Anzeigevorrichtung 10A zu unterdrücken.
  • Das proximale Ende 18A des Verbindungsteils 18 ist eine Position, an der sich die Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 in Kontakt mit der ersten Kathodenelektrode 132 befindet, und der Verbindungsteil 18 erstreckt sich von dem proximalen Ende 18A entlang der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 zu der zweiten Kathodenelektrode 134. Das distale Ende 18B des Verbindungsteils 18 befindet sich in Kontakt mit der zweiten Oberflächenseite der zweiten Kathodenelektrode 134.
  • Der Verbindungsteil 18 enthält ein leitfähiges Material. Der Verbindungsteil 18 beinhaltet von dem Standpunkt des Vereinfachen des Prozesses bevorzugt ein Produkt der ersten Kathodenelektrode 132 (ein sogenanntes Depot). In diesem Fall enthält der Verbindungsteil 18 ein Element (Metallelement), das die erste Kathodenelektrode 132 bildet, enthält ein leitfähiges Material und weist eine Leitfähigkeit auf. Des Weiteren kann der Verbindungsteil 18 durch einen Seitenwandprozess neu bereitgestellt werden. Der Seitenwandprozess verweist auf eine Technik zum Bilden einer Schicht auf einer Seitenwandoberfläche oder dergleichen durch geeignetes Kombinieren einer Lithografietechnik, einer CVD-Technik, einer Ätztechnik und dergleichen.
  • (Füllharzschicht)
  • Eine Füllharzschicht 20 kann auf der ersten Oberflächenseite der oberen Schutzschicht 19 gebildet werden. Die Füllharzschicht 20 eine Funktion als eine Haftschicht zum Bonden eines Gegensubstrats 21 aufweisen, das nachfolgend beschreiben wird. Beispiele für die Füllharzschicht 20 beinhalten ein ultraviolettaushärtbares Harz, ein duroplastisches Harz und dergleichen.
  • (Gegensubstrat)
  • Das Gegensubstrat 21 ist auf der Füllharzschicht 20 in einem Zustand bereitgestellt, in dem es dem Ansteuerungssubstrat 11 zugewandt ist. Das Gegensubstrat 21 versiegelt die Lichtemissionselemente 13 zusammen mit der Füllharzschicht 20. Das Gegensubstrat 21 kann ein ähnliches Material zu dem Substrat 11A beinhalten, das in dem Ansteuerungssubstrat 11 enthalten ist, und beinhaltet bevorzugt ein Material, wie etwa Glas oder dergleichen.
  • Es wird angemerkt, dass zur einfachen Beschreibung eine Beschreibung der Füllharzschicht 20 und des Gegensubstrats 21 in 2 bis 11 für die erste Ausführungsform und 12 bis 43 für die zweite bis sechste Ausführungsform weggelassen ist. Des Weiteren kann zur einfachen Beschreibung eine Beschreibung der oberen Schutzschicht 19 in den Zeichnungen ferner weggelassen werden.
  • [1-2 Herstellungsverfahren]
  • Ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform wird unter Bezugnahme auf 3 und 4 beschrieben. 3 und 4 sind Diagramme, die ein Beispiel für ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform veranschaulichen. Zuerst werden die Anodenelektrode 130 und die Isolationsschicht 14 auf dem Ansteuerungssubstrat 11 gebildet und werden die organische Schicht 131, die erste Kathodenelektrode 132 und die untere Schutzschicht 17 (Elementschutzschicht 15) gebildet (3A). Als Nächstes werden die Elementschutzschicht 15 und die erste Kathodenelektrode 132 für jedes Subpixel 101 strukturiert (3B). Zu dieser Zeit wird der Seitenendteil der ersten Kathodenelektrode 132 freigelegt. Zudem wird ein leitfähiger Film 22, der das Material der ersten Kathodenelektrode 132 beinhaltet, auf der ersten Oberfläche gebildet (3C). Als ein Verfahren zum Bilden des leitfähigen Films 22 wird es bevorzugt, ein Verfahren, das eine exzellente Filmformbarkeit aufweist, wie zum Beispiel etwa ALD, zu verwenden. Der leitfähige Film 22 befindet sich in Kontakt mit der ersten Kathodenelektrode 132. Dann wird ein Trockenätzungsverfahren oder dergleichen auf die gesamte Oberfläche des leitfähigen Films 22 aufgebracht ( 3D). Zu dieser Zeit beinhaltet der Verbindungsteil 18 den leitfähigen Film 22, der auf der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 belassen ist. Des Weiteren wird die organische Schicht 131 unterteilt und für jedes Subpixel 101 verarbeitet. Danach wird die Seitenwandschutzschicht 16 gebildet (4A) und wird ein Planarisierungsprozess unter Verwendung eines Trockenätzverfahrens oder dergleichen durchgeführt ( 4B). Zu dieser Zeit werden die Elementschutzschicht 15 und der obere Endteil des Verbindungsteils 18 freigelegt. Dann wird die zweite Kathodenelektrode 134 vollständig auf der ersten Oberfläche (4C) gebildet. Die zweite Kathodenelektrode 134 wird über den Verbindungsteil 18 elektrisch mit der ersten Kathodenelektrode 132 verbunden. Dann wird die obere Schutzschicht 19 auf der zweiten Kathodenelektrode 134 gebildet und werden die obere Schutzschicht 19 und das Gegensubstrat 21 über die Füllharzschicht 20 befestigt. Dementsprechend wird die Anzeigevorrichtung 10A erhalten.
  • [1-3 Funktion und Effekt]
  • Gemäß der ersten Ausführungsform kann der Via-Öffnungsprozess weggelassen werden, da der Verbindungsteil 18 eine Selbstausrichtungsstruktur an einer Position entlang der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 aufweisen kann. Da die Verbindung zwischen der zweiten Kathodenelektrode 134 und der ersten Kathodenelektrode 132 ohne Sicherstellen eines Gebiets mit einer gewissen Größe innerhalb des Subpixels 101 zum Zweck des Sicherstellens des Verbindungsteils realisiert werden kann, ist es für ein hohes Auflösungsvermögen des Subpixels 101 vorteilhaft.
  • Des Weiteren ist in der Anzeigevorrichtung 10A die Elementschutzschicht 15 zwischen der ersten Kathodenelektrode 132 und der zweiten Kathodenelektrode 134 bereitgestellt. Infolgedessen kann die Elementschutzschicht 15 verhindern, dass die organische Schicht 131 einem Prozessgas, einer chemischen Flüssigkeit oder dergleichen in einem Ätzprozess oder dergleichen der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 ausgesetzt wird. Das heißt, dass verhindert werden kann, dass die organische Schicht 131 beschädigt wird. Daher ist es möglich, eine Abnahme der Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands der Anzeigevorrichtung 10A zu unterdrücken.
  • Des Weiteren sind die Anodenelektrode 130, die organische Schicht 131 und die erste Kathodenelektrode 132 für jedes Subpixel 101 separiert und ist die Isolationsseitenwandschutzschicht 16 zwischen den Subpixeln 101 bereitgestellt. Infolgedessen kann ein Leckstrom zwischen den angrenzenden Subpixeln 101 unterdrückt werden. Daher kann eine Farbmischung unterdrückt werden und können eine Farbreproduzierbarkeit und Lichtemissionseffizienz verbessert werden, so dass die Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands der Anzeigevorrichtung 10A verbessert werden kann.
  • [1-4 Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung]
  • Als Nächstes wird ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform beschrieben.
  • (Erstes Modifikationsbeispiel)
  • In der Beschreibung der ersten Ausführungsform ist die Lichtemissionsfarbe der organischen Schicht 131 der Farbtyp, der der Lichtemissionsfarbe des Subpixels 101 entspricht, aber in der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform kann die Lichtemissionsfarbe des Lichtemissionselements 13 ein Farbtyp außer dem Farbtyp sein, der der Lichtemissionsfarbe des Subpixels 101 entspricht. Zum Beispiel kann insbesondere das Lichtemissionselement 13W, in dem die Lichtemissionsfarbe unabhängig von dem Farbtyp des Subpixels 101 Weiß ist, breitgestellt werden (5). 5 ist eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel für eine Anzeigevorrichtung 10A gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der ersten Ausführungsform veranschaulicht. Des Weiteren ist in der Anzeigevorrichtung 10A gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel das Lichtemissionselement 13W bereitgestellt und ist ein Farbfilter 23 gemäß dem Farbtyp des Subpixels 101 bereitgestellt. Infolgedessen wird Licht, das dem Farbtyp des Subpixels 101 entspricht, auf der Anzeigeoberfläche 110A angezeigt. Jedoch beschränkt dies die Bereitstellung des Farbfilters 23 nicht, falls das Lichtemissionselement 13, das der Lichtemissionsfarbe des Subpixels 101 entspricht, bereitgestellt wird.
  • (Organische Schicht)
  • Das Lichtemissionselement 13W beinhaltet eine organische Schicht 131W, die Weißlicht emittiert. Die Struktur der organischen Schicht 131W ist nicht speziell auf das Obige beschränkt und Beispiele dafür beinhalten eine Lichtemissionsschicht mit einer sogenannten 1-Stapel-Struktur, die eine Kombination aus einer Rotlichtemissionsschicht, einer Grünlichtemissionsschicht und einer Blaulichtemissionsschicht aufweist. Es wird angemerkt, dass die Dicke der organischen Schicht 131W für jedes Subpixel 101 gleich oder verschieden sein kann. Bei dem Beispiel aus 5 wird die Dicke der organischen Schicht 131W zwischen den Subpixeln 101G, 101B und 101R einheitlich gemacht.
  • (Farbfilter)
  • Das Farbfilter 23 ist auf der ersten Oberflächenseite (obere Seite, +Z-Richtung-Seite) der oberen Schutzschicht 19 bereitgestellt. Des Weiteren ist das in 5 veranschaulichte Farbfilter 23 ein On-Chip-Farbfilter (OCCF: On-Chip Color Filter). Beispiele für das Farbfilter 23 beinhalten ein rotes Farbfilter (Rotfilter 23R), ein grünes Farbfilter (Grünfilter 23G) und ein blaues Farbfilter (Blaufilter 23B), wie bei dem Beispiel aus 5 veranschaulicht. Jedes des Rotfilters 23R, des Grünfilters 23G und des Blaufilters 23B ist so bereitgestellt, dass sie dem Lichtemissionselement 13W zugewandt sind. Infolgedessen durchläuft das Weißlicht, das von jedem der Lichtemissionselemente 13W in dem roten Subpixel 101R, dem grünen Subpixel 101G und dem blauen Subpixel 101B emittiert wird, das Rotfilter 23R, das Grünfilter 23G bzw. das Blaufilter 23B, so dass das Rotlicht, das Grünlicht bzw. das Blaulicht von der Anzeigeoberfläche 110A emittiert werden.
  • (Zweites Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10A der ersten Ausführungsform kann das Layout der Subpixel 101R, 101G und 101B ein Muster außer dem streifenförmigen Muster, wie bei dem Beispiel aus 2B veranschaulicht, sein. Zum Beispiel kann ein deltaförmiges Layoutmuster, wie in 6B und 6C veranschaulicht, verwendet werden oder kann ein quadratisches Anordnungsmuster, wie in 6A veranschaulicht, verwendet werden. Es wird angemerkt, dass die Deltaform eine Anordnung angibt, in der die Zentren der drei Subpixel 101R, 101G und 101B verbunden sind, um ein Dreieck zu bilden. Die quadratische Anordnung gibt eine Anordnung an, in der die Zentren von vier Subpixeln (bei dem Beispiel aus 3B der Subpixel 101R, 101G, 101B und 101B) verbunden sind, um ein Quadrat zu bilden. Des Weiteren ist die Anzahl an Farbtypen des Subpixels 101 nicht auf drei beschränkt. zum Beispiel kann, wie in 7A bis 7D veranschaulicht, das Subpixel 101 vier Typen von Farbtypen aufweisen. 7A bis 7D sind Diagramme, die beispielhafte Layouts in einem Fall veranschaulichen, in dem die Anzeigevorrichtung 10A die Subpixel 101R, 101G, 101B und 101W beinhaltet, die vier Typen von Farbtypen (Rot, Grün, Blau und Weiß) entsprechen. Auch in diesem Fall ist das Layout des Subpixels 101 nicht speziell beschränkt und kann zum Beispiel eine Deltaform (7C und 7D), ein Quadratarray (7A), ein Streifenarray (7B) oder dergleichen sein.
  • (Drittes Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10A der ersten Ausführungsform, wie in 8 veranschaulicht, kann das Subpixel 101 eine Resonatorstruktur 24 bilden (drittes Modifikationsbeispiel). 8 ist eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel für eine Anzeigevorrichtung 10A gemäß einem dritten Modifikationsbeispiel veranschaulicht.
  • Bei dem dritten Modifikationsbeispiel beinhaltet die Resonatorstruktur 24 die zweite Kathodenelektrode 134 und das Lichtemissionselement 13. Die Resonatorstruktur 24 zeigt eine Struktur, die Licht einer vorbestimmten Wellenlänge resonieren lässt. Bei dem dritten Modifikationsbeispiel wird es zum Beispiel bevorzugt, dass die erste Kathodenelektrode 132 des Lichtemissionselements 13 eine transparente Elektrode beinhaltet und die zweite Kathodenelektrode 134 eine Semi-Transmission-Reflexion-Schicht beinhaltet. Es wird angemerkt, dass der Fall, dass die Semi-Transmission-Reflexion-Schicht enthalten ist, den Fall einschließt, dass nur die Semi-Transmission-Reflexion-Schicht gebildet ist. Die Anodenelektrode 130 weist bevorzugt eine Lichtreflektivität auf. Die optische Entfernung zwischen der zweiten Elektrode 134 und der Anodenelektrode 130 wird so angepasst, dass die Resonatorstruktur 24 Licht resonieren lässt, das dem Farbtyp des Subpixels 101 für jedes Subpixel 101 entspricht. Dies wird insbesondere zum Beispiel durch Anpassen der Dicke der Elementschutzschicht 15 realisiert, wie in 8 veranschaulicht ist. Bei dem Beispiel aus 8 weisen die Elementschutzschichten 15 unterschiedliche Dicken zwischen den Subpixeln 101 auf, die unterschiedlichen Farbtypen entsprechen. Des Weiteren sind bei dem Beispiel aus 8 organische Schichten 131R, 131G und 131B bereitgestellt, die den Subpixeln 101R, 101G und 101B entsprechen. In diesem Fall wird Licht, in dem Rot, Grün und Blau stärker hervorgehoben sind, von der Seite der Anzeigeoberfläche 110A für jede der organischen Schichten 131R, 131G und 131B durch die Resonatorstruktur 24 emittiert, und die Farbreinheit kann verbessert werden. Es wird angemerkt, dass die optische Entfernung eine Summe von Produkten von Dicken und Brechungsindices der jeweiligen Schichten ist, die die Resonatorstruktur 24 bilden.
  • Gemäß der Anzeigevorrichtung 10A wird, selbst wenn die Elementschutzschicht 15 unterschiedliche Dicken aufweist, wie zuvor beschrieben, der Verbindungsteil 18 auf der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 gebildet, so dass die erste Kathodenelektrode 132 und die zweite Kathodenelektrode 134 effektiv durch den Verbindungsteil 18 verbunden werden können.
  • (Viertes Modifikationsbeispiel)
  • Wie in 9 veranschaulicht, kann die Anzeigevorrichtung 10A gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel der ersten Ausführungsform eine organische Schicht 131W mit Weiß als eine Lichtemissionsfarbe unabhängig von dem Farbtyp des Subpixels 101 beinhalten (viertes Modifikationsbeispiel). Im Fall des vierten Modifikationsbeispiels wird das Blaulicht unter dem von der organischen Schicht 131W emittierten Licht in dem Subpixel 101B durch die Resonatorstruktur 24 hervorgehoben. Gleichermaßen wird in dem Subpixel 101G Grünlicht aus dem von der organischen Schicht 131W emittierten Licht hervorgehoben. Des Weiteren wird gleichermaßen in dem Subpixel 101R Rotlicht unter dem von der organischen Schicht 131W emittierten Licht hervorgehoben. Von dem Standpunkt des weiteren Erhöhens der Farbreinheit des hervorgehobenen Lichts wird das Farbfilter 23 bevorzugt wie in 9 veranschaulicht gebildet. Die organische Schicht 131W und das Farbfilter 23 sind jenen bei dem ersten Modifikationsbeispiel ähnlich.
  • (Fünftes Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10A der ersten Ausführungsform, wie in 10 veranschaulicht, kann der Lückenteil 25 in der Seitenwandschutzschicht 16 gebildet werden, die zwischen den angrenzenden Subpixeln 101 (zwischen den angrenzenden Lichtemissionselementen 13) gebildet ist (fünftes Modifikationsbeispiel). In einer Anzeigevorrichtung 10A des fünften Modifikationsbeispiels, die in 10 veranschaulicht ist, ist der Lückenteil 25 in einer sich verjüngenden Form gebildet, aber die Form des Lückenteils 25 ist nicht darauf beschränkt. Der Lückenteil 25 kann durch Anpassen einer Bildungsbedingung, wenn die Seitenwandschutzschicht 16 gebildet wird, gebildet werden.
  • (Sechstes Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10A der ersten Ausführungsform, wie in 11 veranschaulicht, kann eine Seitenoberfläche 18C (eine Oberfläche, die nicht der Elementschutzschicht 15 zugewandt ist) des Verbindungsteils 18 mit der zweiten Kathodenelektrode 134 verbunden sein (sechstes Modifikationsbeispiel). Die Anzeigevorrichtung 10A gemäß dem sechsten Modifikationsbeispiel kann wie folgt hergestellt werden. Die Seitenwandschutzschicht 16 wird auf eine ähnliche Weise wie bei dem Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10A der ersten Ausführungsform gebildet und die Seitenwandschutzschicht 16 wird selektiv geätzt. Zu dieser Zeit wird die Seitenoberfläche 18C des Verbindungsteils 18 freigelegt (11A). Danach wird die zweite Kathodenelektrode 134 gebildet (11B). Infolgedessen wird die zweite Kathodenelektrode 134 mit der Außenseitenoberfläche 18C des Verbindungsteils 18 verbunden. Nach der Bildung der zweiten Kathodenelektrode 134 wird ein Verfahren ähnlich dem Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10A der ersten Ausführungsform angewandt. Gemäß der Anzeigevorrichtung 10A gemäß dem sechsten Modifikationsbeispiel können, selbst wenn eine partielle Trennung in dem Verbindungsteil 18 auftritt, die erste Kathodenelektrode 132 und die zweite Kathodenelektrode 134 verbunden werden.
  • [2 Zweite Ausführungsform]
  • Eine Anzeigevorrichtung 10B gemäß einer zweiten Ausführungsform wird beschrieben. Wie in 12 veranschaulicht, beinhaltet die Anzeigevorrichtung 10B mehrere Lichtemissionselemente 13 einschließlich einer Anodenelektrode 130, einer organischen Schicht 131 und einer ersten Kathodenelektrode 132, wobei die Anodenelektrode 130, die organische Schicht 131 und die erste Kathodenelektrode 132 für jedes Subpixel 101 separiert sind, und einer zweiten Kathodenelektrode 134. Diese Konfigurationen sind jenen der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform ähnlich und dementsprechend werden die gleichen Bezugszeichen verwendet und wird eine Beschreibung davon weggelassen. Die Anzeigevorrichtung 10B ist auch der ersten Ausführungsform darin ähnlich, dass die Anzeigevorrichtung 10B die mehreren Subpixel beinhaltet. Es wird angemerkt, dass diese Konfigurationen bei der dritten bis sechsten Ausführungsform ähnlich sind. Daher werden, ähnlich der zweiten Ausführungsform, die bei der ersten Ausführungsform verwendeten Bezugsziffern für diese Konfigurationen bei der dritten bis sechsten Ausführungsform verwendet, die nachfolgend beschrieben werden, und die Beschreibung davon wird weggelassen.
  • Des Weiteren wird die Anzeigevorrichtung 10B nach Bedarf mit einer oberen Schutzschicht 19, einer Füllharzschicht 20, einem Gegensubstrat 21 und einem Farbfilter 23 versehen. Da diese Konfigurationen jenen der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform ähnlich sind, werden eine Beschreibung und Veranschaulichung davon weggelassen. Dies gilt gleichermaßen für die dritte bis sechste Ausführungsform, solange diese Auslassungen in den Modifikationsbeispielen und dergleichen nicht speziell beschrieben sind.
  • In der Beschreibung der ersten Ausführungsform werden das Subpixel 101, die organische Schicht 131 und dergleichen gemeinsam beschrieben, falls Farbtypen nicht speziell unterschieden werden, aber dies gilt gleichermaßen für die zweite bis sechste Ausführungsform.
  • Bei der zweiten und dritten bis sechsten Ausführungsform, wie nachfolgend beschrieben, werden Konfigurationen beschrieben, die sich von jenen der ersten Ausführungsform unterscheiden.
  • [2-1 Konfiguration der Anzeigevorrichtung]
  • Die Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform beinhaltet eine untere Schutzschicht 17 als eine Schutzschicht, ähnlich der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform. Bei dem Beispiel aus 12 werden mehrere Elementschutzschichten 15, die jeweils mehrere Lichtemissionselemente 13 bedecken, bereitgestellt und wird eine Seitenwandschutzschicht 16 zwischen angrenzenden Lichtemissionselementen bereitgestellt. Bei der zweiten Ausführungsform ist, falls die Z-Achse-Richtung die Sichtlinienrichtung ist, die Elementschutzschicht 15 in dem Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13 für jedes Subpixel 101 gebildet. In 12 ist eines der Subpixel 101 zum Beschreiben des Hauptteils extrahiert. Dies gilt gleichermaßen für 13 bis 15.
  • (Verbindungsteil)
  • Wie in 12 veranschaulicht, ist die Anzeigevorrichtung 10B mit einem Verbindungsteil 30 versehen, der die zweite Kathodenelektrode 134 und die erste Kathodenelektrode 132 elektrisch verbindet. Der in 12 veranschaulichte Verbindungsteil 30 ist ein Erweiterungsteil 26 der zweiten Kathodenelektrode 134, der sich von der zweiten Kathodenelektrode 134 zu der ersten Kathodenelektrode 132 hin erstreckt. Ein Endteil des Verbindungsteils 30 (ein Erweiterungsende des Erweiterungsteils 26), der bei diesem Beispiel veranschaulicht ist, ist mit einem Außenperipherieendteil 132A der oberen Oberfläche (ersten Oberfläche) der ersten Kathodenelektrode 132 verbunden.
  • Wie in 13A veranschaulicht, ist der Verbindungsteil 30 an einer Position um das Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13 herum bereitgestellt, so dass er das Lichtemissionsgebiet P in einer Draufsicht der Anzeigeoberfläche 110A umgibt (falls die z-Achse-Richtung eine Sichtlinienrichtung ist). 13A ist eine Draufsicht, die ein Beispiel für die zweite Ausführungsform veranschaulicht.
  • In dem Verbindungsteil 30, der bei dem Beispiel aus 12 veranschaulicht ist, beinhaltet der Außenperipherieteil 30A ein leitfähiges Material, wie etwa ITO oder IZO, das als ein Material zum Bilden der zweiten Kathodenelektrode 134 verwendet werden kann, und der Innenteil 30B des Verbindungsteils 30 ist ein Teil mit einem Brechungsindex, der sich von dem Brechungsindex der Elementschutzschicht 15 unterscheidet, die eine Schutzschicht ist. Bei dem Beispiel aus 12 ist der Innenteil 30B ein Raumteil. In diesem Fall ist der Innenteil 30B des Verbindungsteils 30 ein Teil mit einem Brechungsindex niedriger als der Brechungsindex der Elementschutzschicht 15. Des Weiteren weist zu dieser Zeit der Verbindungsteil 30 eine hohle Form auf. Der Raumteil, der den Innenteil 30B des Verbindungsteils 30 bildet, ist durch einen kontinuierlichen Raum gebildet, der das Lichtemissionsgebiet P umgibt, wie in 13A veranschaulicht ist.
  • Die Position, an der der Verbindungsteil 30 gebildet ist, ist nicht speziell beschränkt, sondern wird bevorzugt auf der Position der Außenperipherie 141 der Öffnung 14A gebildet, falls die Z-Achse-Richtung (Dickenrichtung des Lichtemissionselements 13) als die Sichtlinienrichtung definiert ist. In diesem Fall ist es möglich, zu unterdrücken, dass der Verbindungsteil 30 an einer Position angeordnet wird, die in das Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13 eindringt. Die Außenperipherie 141 der Öffnung 14A gibt ein Gebiet in einem vorbestimmten Außenbereich von dem Öffnungsendrand 140 an.
  • [2-2 Operation und Effekt]
  • In dieser Hinsicht kann gemäß der Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform, da der Innenteil 30B des Verbindungsteils 30 ein Teil mit einem Brechungsindex niedriger als der Brechungsindex der unteren Schutzschicht 17 (Elementschutzschicht 15) ist, der Verbindungsteil 30 eine Totalreflexion von Licht bewirken, das von der organischen Schicht 131 in einer schrägen Richtung emittiert wird, kann einen Leckverlust von Licht in die angrenzenden Subpixel 101 reduziert werden und kann eine Nutzungseffizienz von Licht verbessert werden.
  • Des Weiteren wird der Verbindungsteil 30 so bereitgestellt, dass er die Peripherie des Lichtemissionsgebiets P umgibt. Infolgedessen wird als eine Verbindungsstruktur zwischen der ersten Kathodenelektrode 132 und der zweiten Kathodenelektrode 134 eine äquivalente Struktur an einer beliebigen Position gebildet, die die Lichtemissionsoberfläche umgibt (eine äquivalente Struktur ist in allen Richtungen gebildet), können Variationen von Betrachtungswinkelcharakteristiken unterdrückt werden und kann die Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands der Anzeigevorrichtung 10B verbessert werden.
  • Gemäß der Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform werden die erste Kathodenelektrode 132 und die organische Schicht 131 mit der unteren Schutzschicht 17, wie etwa der Elementschutzschicht 15, bedeckt und ist es möglich, eine Verschlechterung der organischen Schicht 131 zur Zeit des Bildens der zweiten Kathodenelektrode 134 zu unterdrücken.
  • [2-3 Modifikationsbeispiel]
  • Als Nächstes wird ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform beschrieben.
  • (Erstes Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform, wie in 14A veranschaulicht, können mehrere der Verbindungsteile 30 so angeordnet sein, dass sie voneinander in einer Richtung von dem Zentrum jedes Subpixels 101 zu der Außenseite hin (Richtung von dem Zentrum der Elementschutzschicht 15 zu der Außenseite hin) mit der Z-Achse-Richtung als die Sichtlinienrichtung separiert sind (modifiziertes Beispiel 1). In diesem Fall wird das Intervall Wp1 zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 30 bevorzugt auf einen Wert eingestellt, der gleich oder kleiner als die Spitzenwellenlänge des Lichts ist, das von dem Lichtemissionselement 13 für jedes Subpixel 101 emittiert wird, und wird besonders bevorzugt auf einen Wert eingestellt, der gleich oder kleiner als 1/2 der Spitzenwellenlänge ist. Des Weiteren ist die Breite Ws1 des Innenteils 30B bevorzugt gleich oder kleiner als die Spitzenwellenlänge und besonders bevorzugt gleich oder kleiner als 1/2 der Spitzenwellenlänge.
  • In einer solchen Anzeigevorrichtung 10B gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform sind in den mehreren angeordneten Verbindungsteilen 30 das Element, das die Seitenwandschutzschicht 16 bildet und der Innenteil 30B des Verbindungsteils 30 periodisch und wiederholt in der Richtung von dem Zentrum der Elementschutzschicht 15 zu der Außenseite hin in einem Zyklus angeordnet, der kürzer als die Spitzenwellenlänge des Emissionslichts ist. Daher leckt in der Anzeigevorrichtung 10B, da ein Teil, in dem sich der Brechungsindex periodisch mit dem Wellenlängenniveau des Emissionslichts ändert, um die Lichtemissionsoberfläche des Lichtemissionselements 13 herum für jedes Subpixel 101 gebildet ist, das Emissionslicht in der schrägen Richtung kaum von der Position des Verbindungsteils 30.
  • (Zweites Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform ist der Innenteil 30B des Verbindungsteils 30 so gebildet, dass er das Lichtemissionsgebiet P in einem kontinuierlichen Raumteil umgibt, aber der Verbindungsteil 30 ist nicht darauf beschränkt. Zum Beispiel kann der Verbindungsteil 30 Vias 31 beinhalten, die in der unteren Schutzschicht 17 gebildet sind, wie in 13B veranschaulicht ist, und eine Via-Spalte 32, in der mehrere Vias 31 angeordnet sind, kann gebildet werden.
  • (Untere Schutzschicht)
  • Bei dem zweiten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform sind die Elementschutzschicht 15 und die Seitenwandschutzschicht 16 zwischen den angrenzenden Vias 31 (kontinuierlich) verbunden und bei dem Beispiel aus 13B ist die untere Schutzschicht 17 kontinuierlich integriert. Bei dem zweiten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform ist die Peripherieoberfläche jedes Via 31 durch die untere Schutzschicht 17 umgeben.
  • (Via)
  • In der vorliegenden Schrift wird angenommen, dass der Via 31 eine poröse Struktur ist, die eine Leitfähigkeit aufweist. Der bei dem zweiten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform gezeigte Via 31 weist eine lochartige Struktur auf, die sich von der Seite der zweiten Kathodenelektrode 134 zu der ersten Kathodenelektrode 132 erstreckt. Der Via 31 weist eine Struktur auf, bei der sich die zweite Kathodenelektrode 134 entlang der Innenperipherieoberfläche und der unteren Oberfläche (ersten Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132) des Lochs erstreckt, das in der unteren Schutzschicht 17 gebildet ist. Daher wird, falls der Verbindungsteil 30 durch den Via 31 gebildet ist, der Außenperipherieteil 30A durch die zweite Kathodenelektrode 134 gebildet. Das Innere des Via 31, der den Innenteil 30B des Verbindungsteils 30 bildet, ein Teil mit einem Brechungsindex niedriger als der Brechungsindex der unteren Schutzschicht 17. Insbesondere weist bei dem Beispiel aus 13B der Via 31 eine hohle Form auf. Daher ist, falls der Verbindungsteil 30 den Via 31 enthält, der Innenteil 30B ein Raumteil. Es wird angemerkt, dass die dreidimensionale Form des Via 31 nicht speziell beschränkt ist und zum Beispiel eine zylindrische Form oder eine prismatische Form sein kann. Jedoch ist ein Fall, in dem das Innere des Via 31 hohl ist, ein Beispiel und das Innere des Via 31 kann mit einem Material mit einem Brechungsindex niedriger als jener der unteren Schutzschicht 17 gefüllt werden. In diesem Fall beinhaltet der Innenteil 30B ein Material mit einem niedrigen Brechungsindex.
  • (Via-Spalte)
  • Die mehreren Vias 31 sind so angeordnet, dass sie das Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13 umgeben und eine Via-Spalte 32 bilden. Der Verbindungsteil 30 beinhaltet Via-Spalten 32.
  • Gemäß der Anzeigevorrichtung 10B gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform wird der Via 31, der der Verbindungsteil 30 sein soll, so bereitgestellt, dass er die Peripherie der Lichtemissionsoberfläche des Lichtemissionselements 13 umgibt, wodurch die Via-Spalte 32 gebildet wird. Infolgedessen wird eine äquivalente Struktur an einer beliebigen Position gebildet, die die Lichtemissionsoberfläche umgibt (eine äquivalente Struktur wird in allen Richtungen gebildet), und Variationen von Betrachtungswinkelcharakteristiken können unterdrückt werden.
  • Des Weiteren kann in der Anzeigevorrichtung 10B, da die Via-Spalte 32 gebildet ist, selbst wenn eine Trennung in dem vorbestimmten Via 31 auftritt oder ein Kontaktfehler zwischen einem Teil des Via 31 und der ersten Kathodenelektrode 132 auftritt, die Verbindung zwischen der ersten Kathodenelektrode 132 und der zweiten Kathodenelektrode 134 in dem anderen Via 31 sichergestellt werden und kann die Zuverlässigkeit der Anzeigevorrichtung 10B verbessert werden.
  • (Drittes Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10B gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform können mehrere Via-Spalten 32, die den Verbindungsteil 30 bilden, in Intervallen in einer Richtung von dem Zentrum jedes Subpixels 101 zu der Außenseite hin (Richtung von dem Lichtemissionselement 13 weg) mit der Z-Achse-Richtung als die Sichtlinienrichtung angeordnet sein (drittes Modifikationsbeispiel).
  • Bei dem dritten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform wird das Intervall Wp1 zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 30 (das Intervall zwischen den angrenzenden Via-Spalten 32) bevorzugt auf einen Wert eingestellt, der gleich oder kleiner als die Spitzenwellenlänge des Emissionslichts des Lichtemissionselements 13 für jedes Subpixel 101 ist, und wird besonders bevorzugt auf einen Wert eingestellt, der 1/2 oder weniger der Spitzenwellenlänge beträgt.
  • Für jedes der Lichtemissionselemente 13, die die mehreren Lichtemissionselemente 13 darstellen, ist das Rastermaß der mehreren Vias, die das Lichtemissionsgebiet P von jedem der Lichtemissionselemente 13 umgeben, bevorzugt kleiner als die Spitzenwellenlänge, die dem Licht entspricht, das von jedem der Lichtemissionselemente 13 emittiert wird. Das heißt, dass als ein spezielles Beispiel in dem Lichtemissionselement 13R unter den Lichtemissionselementen 13R, 13G und 13B zum Beispiel das Rastermaß der Vias 31, die um das Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13R herum angeordnet sind, bevorzugt kleiner als die Spitzenwellenlänge des Rotlichts ist, das das Emissionslicht von dem Lichtemissionselement 13R ist. In der Via-Spalte 32 wird das Intervall Wp2 (Rastermaß) zwischen den angrenzenden Vias 31 bevorzugt auf einen Wert eingestellt, der gleich oder kleiner als die Spitzenwellenlänge des Emissionslichts des Lichtemissionselements 13 für jedes Subpixel 101 ist, und wird besonders bevorzugt auf einen Wert eingestellt, der gleich oder kleiner als 1/2 der Spitzenwellenlänge ist.
  • Des Weiteren ist die Breite des Raumteils, der innerhalb jedes Via 31 gebildet ist, bevorzugt gleich oder kleiner als die Spitzenwellenlänge und insbesondere gleich oder kleiner als 1/2 der Spitzenwellenlänge.
  • Die Spitzenwellenlänge des Emissionslichts des Lichtemissionselements 13 variiert in Abhängigkeit von dem Farbtyp des Subpixels 101. In Anbetracht dieses Punkts wird es, falls die Anzeigevorrichtung 10B die mehreren Subpixel 101 beinhaltet, die den mehreren Farbtypen entsprechen, und der Verbindungsteil 30 für jedes Subpixel 101 bereitgestellt ist, bevorzugt, dass das Rastermaß der angrenzenden Vias 31, die die Via-Spalte 32 bilden, gemäß dem Farbtyp des Subpixels 101 verschieden ist.
  • In einer solchen Anzeigevorrichtung 10B gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform ist der Verbindungsteil 30 derart konfiguriert, dass die Vias 31 und das Material, das die untere Schutzschicht 17 bildet, periodisch und wiederholt mit einer Periode kleiner als die Spitzenwellenlänge des Emissionslichts in sowohl der Ausrichtungsrichtung der Vias 31 in der Via-Spalte 32 als auch der Anordnungsrichtung der mehreren Via-Spalten 32 angeordnet sind. In diesem Fall leckt in der Anzeigevorrichtung 10B, da ein Teil, in dem sich der Brechungsindex periodisch mit dem Wellenlängenniveau des Emissionslichts ändert, um das Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13 herum für jedes Subpixel 101 gebildet ist, das Emissionslicht in der schrägen Richtung kaum von der Position des Verbindungsteils 30. Daher kann gemäß der Anzeigevorrichtung 10B gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel der zweiten Ausführungsform ein Lichtleckverlust effektiver unterdrückt werden und kann eine Lichtnutzungseffizienz verbessert werden.
  • (Viertes Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform ist der Verbindungsteil 30 nicht auf den Fall beschränkt, in dem er mit dem Außenperipherieendteil 132A der oberen Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 verbunden ist, und kann an der Position der Seitenwand 132B der ersten Kathodenelektrode 132 verbunden sein.
  • [3 Dritte Ausführungsform]
  • [3-1 Konfiguration der Anzeigevorrichtung]
  • Eine Anzeigevorrichtung 10C gemäß einer dritten Ausführungsform wird beschrieben. In der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform, wie in 16 veranschaulicht, ist ähnlich der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform eine Seitenwandschutzschicht 16 (die auch als eine untere Schutzschicht 17 dient) als eine Schutzschicht zwischen den angrenzenden Subpixeln 101 gebildet. 16 ist eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel für eine Anzeigevorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform veranschaulicht; es wird angemerkt, dass in der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform, die in 16 exemplarisch gezeigt ist, im Gegensatz zu der ersten Ausführungsform die Isolationsschicht 14 zwischen den angrenzenden Anodenelektroden 130 weggelassen ist, aber die Isolationsschicht 14 bereitgestellt sein kann.
  • Des Weiteren sind in der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform, wie in 16 veranschaulicht, in der Seitenwandschutzschicht 16 ein erster Brechungsindexteil 33 und ein zweiter Brechungsindexteil 34 in Seitengebieten der jeweiligen Lichtemissionselemente 13 gebildet. Der erste Brechungsindexteil 33 und der zweite Brechungsindexteil 34 sind in dieser Reihenfolge in einer Richtung von der Seite näher an dem Lichtemissionselement 13 zu der Außenseite des Lichtemissionselements 13 hin (Richtung von dem Lichtemissionselement 13 weg) für jedes Subpixel 101 angeordnet. Das Seitengebiet M des Lichtemissionselements 13 gibt einen Bereich von der Position der Seitenwand 113 des Lichtemissionselements 13 zu einer vorbestimmten Position auswärts an.
  • (Erster Brechungsindexteil)
  • Bei dem Beispiel aus 16 ist der erste Brechungsindexteil 33 als eine Schicht gebildet, die eine Seitenoberfläche 35A eines Verbindungsteils 35 und eine Seitenwand der organischen Schicht 131 bedeckt, wie nachfolgend beschrieben ist. Da der erste Brechungsindexteil 33 die Seitenoberfläche 35A des Verbindungsteils 35 und die Seitenwand der organischen Schicht 131 auf diese Weise bedeckt, wird das Eindringen von Feuchtigkeit und dergleichen von der externen Umgebung zu der Seite der organischen Schicht 131 unterdrückt und wird eine Verschlechterung der organischen Schicht 131 unterdrückt. Der erste Brechungsindexteil 33 beinhaltet ein Material, das die Seitenwandschutzschicht 16 darstellt, die bei der ersten Ausführungsform beschrieben ist.
  • (Zweiter Brechungsindexteil)
  • Der zweite Brechungsindexteil 34 weist einen Brechungsindex niedriger als jener des ersten Brechungsindexteils 33 auf. Der zweite Brechungsindexteil 34 ist bevorzugt ein Raumteil. Der Raumteil kann ein Teil sein, der mit Luft, Edelgas oder dergleichen gefüllt ist, ist aber von dem Standpunkt des Verringerns des Brechungsindex des zweiten Brechungsindexteils 34 bevorzugt ein Vakuumteil. Der zweite Brechungsindexteil 34 ist in einem Raum gebildet, der sich entlang der Dickenrichtung des Lichtemissionselements 13 in einer Richtung von der Seite des Ansteuerungssubstrats 11 zu dem Lichtemissionselement 13 hin erstreckt.
  • (Verbindungsteil)
  • Wie in 16 veranschaulicht, ist die Anzeigevorrichtung 10C mit dem Verbindungsteil 35 versehen, der die zweite Kathodenelektrode 134 und die erste Kathodenelektrode 132 elektrisch verbindet. Der in 16 veranschaulichte Verbindungsteil 35 ist ein stehender Wandteil, der zu der zweiten Kathodenelektrode 134 hin mit dem Außenrand der ersten Kathodenelektrode 132 als ein Basisende errichtet ist, und bildet einen Teil der ersten Kathodenelektrode 132. Außerdem ist die Spitze (oberes Ende) des Verbindungsteils 35, der bei diesem Beispiel veranschaulicht ist, elektrisch mit der unteren Oberfläche (zweiten Oberfläche) der zweiten Kathodenelektrode 134 verbunden.
  • [3-2 Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung]
  • Ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform wird beschrieben. Hier wird ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10C beschrieben, das in der Zeichnung veranschaulicht ist. Jedoch wird ein Fall, in dem der zweite Brechungsindexteil 34 ein Raumteil ist, als ein Beispiel genommen.
  • Nachdem die Anodenelektrode 130, die für jedes Subpixel 101 separiert ist, auf der ersten Oberfläche des Ansteuerungssubstrats 11 gebildet wurde, wird die Seitenwandschutzschicht 16 auf der gesamten Oberfläche der ersten Oberfläche durch ein PCVD-Verfahren (Plasma-CVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition - plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung)-Verfahren) gebildet (zum Beispiel wird eine Schicht mit einer Dicke von 2000 nm gebildet), und die Öffnung 160 wird für jedes Subpixel 101 durch Verwenden eines Lithografieverfahrens oder dergleichen (17A) gebildet. Zu dieser Zeit wird die erste Oberfläche der Anodenelektrode 130 von der Öffnung 160 freigelegt. Die zuvor beschriebene Bildung der Seitenwandschutzschicht 16 kann zum Beispiel durch Bilden eines PSiO-Films (Plasmasiliciumoxidfilms) durch ein PCVD-Verfahren realisiert werden.
  • Als nächstes wird die organische Schicht 131 (zum Beispiel eine Schicht mit einer Dicke von etwa 1000 nm) entlang der Oberfläche auf der ersten Oberflächenseite durch Verwenden eines Gasphasenabscheidungsverfahrens oder dergleichen gebildet und wird die erste Kathodenelektrode 132 ferner gebildet. Die Bildung der ersten Kathodenelektrode 132 kann durch Bilden eines IZO-Films (zum Beispiel eines Films mit einer Dicke von etwa 50 nm) auf der ersten Oberflächenseite unter Verwendung von zum Beispiel einem reaktiven Sputterverfahren oder dergleichen realisiert werden. Zu dieser Zeit werden die organische Schicht 131 und die erste Kathodenelektrode 132 auch auf dem Seitenoberflächenteil 160A gebildet, der in der Öffnung 160 der Seitenwandschutzschicht 16 gebildet ist.
  • Danach wird die Elementschutzschicht 15 auf der ersten Oberflächenseite gebildet (17B). Die Bildung der Elementschutzschicht 15 wird durch Bilden eines PSiN-Films (zum Beispiel eines Films mit einer Dicke von etwa 2000 nm) oder dergleichen unter Verwendung von zum Beispiel einem Niedertemperatur-PCVD-Verfahren oder dergleichen realisiert werden.
  • Wie in 17C veranschaulicht, wird Trockenätzen durchgeführt, um die Elementschutzschicht 15 oberhalb der oberen Oberflächenposition der Seitenwandschutzschicht 16 zu entfernen. Die Position der oberen Oberfläche der Seitenwandschutzschicht 16 und die Position der oberen Oberfläche der Elementschutzschicht 15 sind bevorzugt näherungsweise gleich, aber sind möglicherweise nicht vollständig gleich.
  • Ferner werden, wie in 18A veranschaulicht, sowohl die organische Schicht 131 als auch die erste Kathodenelektrode 132 durch Verwenden eines Trockenätzverfahrens in einem Teil der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 entfernt, der oberhalb der oberen Oberflächenposition der Seitenwandschutzschicht 16 freigelegt ist. Dies kann durch Wählen von Bedingungen, wie etwa eines Ätzgases, erzielt werden. Dann wird die organische Schicht 131, die entlang des Seitenoberflächenteils 160A gebildet ist, der in der Öffnung 160 der Seitenwandschutzschicht 16 gebildet ist, durch Verwenden eines Trockenätzverfahrens entfernt. Dies kann auch durch Auswählen von Bedingungen, wie etwa eines Ätzgases, realisiert werden.
  • Als Nächstes wird die Seitenwandschutzschicht 16 ferner auf der ersten Oberflächenseite unter Verwendung eines Niedertemperatur-PCVD-Verfahrens oder dergleichen gebildet. Die Dicke eines Teils der Seitenwandschutzschicht 16, die ferner in diesem Schritt zusätzlich gebildet wird, beträgt zum Beispiel etwa 50 nm. Dann werden die Endoberfläche des Verbindungsteils 35, der zu der ersten Oberflächenseite freigelegt ist, und die Seitenwandschutzschicht 16, die auf der Elementschutzschicht 15 gebildet ist, durch ein Trockenätzverfahren oder dergleichen entfernt. Zu dieser Zeit wird die Seitenwandschutzschicht 16 so gebildet, dass sie den Teil der ersten Kathodenelektrode 132 bedeckt, der der Verbindungsteil 35 werden soll ( 18B). Mit der Dickenrichtung des Lichtemissionselements 13 als die Sichtlinienrichtung bildet ein Teil der Seitenwandschutzschicht 16, der an der Position des Seitengebiets M des Lichtemissionselements 13 gebildet ist, den ersten Brechungsindexteil 33. Des Weiteren ist zu dieser Zeit die Seitenendoberfläche der organischen Schicht 131 auch mit der Seitenwandschutzschicht 16 bedeckt und ist ein Raumteil, der zu der ersten Oberflächenseite gerichtet ist, an der Position des Seitengebiets M des Lichtemissionselements 13 gebildet, wenn die Dickenrichtung die Sichtlinienrichtung des Lichtemissionselements 13 ist. Dieser Raumteil wird zu dem zweiten Brechungsindexteil 34.
  • Dann wird, wie in 16 veranschaulicht, eine Oberfläche der zweiten Kathodenelektrode 134 auf der ersten Oberflächenseite durch Verwenden eines Sputterverfahrens oder dergleichen gebildet. Dies kann zum Beispiel durch Sputtern unter Verwendung eines Materials der zweiten Kathodenelektrode 134, wie etwa von IZO, realisiert werden. Die zweite Kathodenelektrode 134 kann eine Dicke von etwa 100 nm aufweisen. Es wird angemerkt, dass es möglich ist, eine Bildung der zweiten Kathodenelektrode 134 in dem Raumteil, der der zweite Brechungsindexteil 34 werden soll, in Abhängigkeit von den Bedingungen des Sputterverfahrens unter Verwendung des Materials der zweiten Kathodenelektrode 134 zu vermeiden.
  • Nach der Bildung der zweiten Kathodenelektrode 134 kann die Anzeigevorrichtung 10C auf eine ähnliche Weise zu dem Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung, das bei der ersten Ausführungsform beschrieben ist, erhalten werden.
  • Bei der obigen Beschreibung des Herstellungsverfahrens ist der zweite Brechungsindexteil 34 ein Raumteil, kann aber mit einem anderen Material anstelle des Raumteils gefüllt sein. Zum Beispiel kann die Seitenwandschutzschicht 16 (und der erste Brechungsindexteil 33) Siliciumnitrid sein und kann der zweiten Brechungsindexteil 34 ein Siliciumoxidfilm sein.
  • [3-3 Operation und Effekt]
  • In dieser Hinsicht werden in der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform der erste Brechungsindexteil 33 und der zweite Brechungsindexteil 34 mit unterschiedlichen Brechungsindices in der Seitenwandschutzschicht 16 an der Position des Seitenteils des Lichtemissionselements 13 für jedes Subpixel 101 gebildet. Da der erste Brechungsindexteil 33 und der zweite Brechungsindexteil 34 so auf dem Seitenteil des Lichtemissionselements 13 gebildet werden können, dass sie das Lichtemissionselement 13 umgeben, kann eine Totalreflexion erzeugt werden. Des Weiteren sind in der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform, da die Struktur des Verbindungsteils 35, der die zweite Kathodenelektrode 134 und die erste Kathodenelektrode 132 verbindet, auch so gebildet werden kann, dass sie das Lichtemissionselement 13 umgibt, treten strukturelle Variationen mit geringerer Wahrscheinlichkeit in allen Richtungen auf.
  • Als eine Anzeigevorrichtung, die ein organisches EL-Element verwendet, wird in einer Anzeigevorrichtung mit einer Struktur, in der eine organische Schicht einschließlich wenigstens einer organischen Lichtemissionsschicht und eine erste Kathodenelektrode auf einer Anodenelektrode laminiert sind, die für jedes Pixel separat gebildet wird, die erste Kathodenelektrode für jedes Subpixel separiert. Aus diesem Grund wurde eine Anzeigevorrichtung, in der eine zweite Kathodenelektrode auf einer ersten Kathodenelektrode verbunden ist, vorgeschlagen. In einer solchen Anzeigevorrichtung kann eine strukturelle Variation (Asymmetrie) bei einem strukturell verbundenen Teil und anderen Teilen auftreten. In der Anzeigevorrichtung 10C, wie zuvor beschrieben, kann die Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands verbessert werden, indem die strukturelle Variation beseitigt wird und die Lichtverwendungseffizienz verbessert wird.
  • [3-4 Modifikationsbeispiel]
  • (Erstes Modifikationsbeispiel)
  • (Konfiguration der Anzeigevorrichtung des ersten Modifikationsbeispiels)
  • Als Nächstes wird ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform beschrieben. In der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform ist die zweite Kathodenelektrode 134 auf der Elementschutzschicht 15 in der unteren Schutzschicht 17 bereitgestellt, aber die Elementschutzschicht 15 kann, wie in 19 veranschaulicht, weggelassen werden (das erste Modifikationsbeispiel). Zudem wird in der Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform, die zuvor beschrieben wurde, der Verbindungsteil 35 in einem Teil der ersten Kathodenelektrode 132 gebildet, aber in der Anzeigevorrichtung 10C gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel, die in 19 veranschaulicht ist, ist der Verbindungsteil 35 in der zweiten Kathodenelektrode 134 gebildet. Insbesondere ist die zweite Kathodenelektrode 134 entlang der Seitenwandschutzschicht 16 als eine Schutzschicht gebildet und bildet einen Abfallteil 42 an einer Position, die jedem Subpixel 101 entspricht, entlang einer Wandoberfläche der Seitenwandschutzschicht 16 und ein unterer Endteil des Abfallteils 42 ist mit der ersten Kathodenelektrode verbunden. Daher ist der Verbindungsteil 35 bei einem Teil gebildet, der dem Abfallteil 42 entspricht. Des Weiteren ist bei dem Beispiel der Anzeigevorrichtung 10C gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der dritten Ausführungsform, die in 19 veranschaulicht ist, der dritte Brechungsindexteil 36 in dem Seitengebiet MA der Anodenelektrode 130 für jedes Subpixel 101 gebildet. Das Seitengebiet MA der Anodenelektrode 130 gibt einen Bereich von einer Position der Seitenwand 130B der Anodenelektrode 130 zu einer vorbestimmten Position auswärts an.
  • (Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung des ersten Modifikationsbeispiels)
  • Ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10C wird insbesondere mit einem Beispiel beschrieben, bei dem der zweite Brechungsindexteil 34 ein Raumteil ist. Nachdem die Anodenelektrode 130, die für jedes Subpixel 101 separiert ist, auf der ersten Oberfläche des Ansteuerungssubstrats 11 gebildet wurde, wird die organische Schicht 131 mit einer vorbestimmten Dicke (insbesondere beträgt die Dicke zum Beispiel etwa 1000 nm) unter Verwendung eines Vakuumabscheidungsverfahrens oder dergleichen gebildet. Zudem wird die erste Kathodenelektrode 132 mit einer vorbestimmten Dicke (insbesondere weist der IZO-Film zum Beispiel eine Dicke von etwa 50 nm auf) gebildet, so dass die organische Schicht 131 bedeckt wird.
  • Als Nächstes wird die Schicht 37 auf der ersten Oberfläche mit einem Material zum Bilden des dritten Brechungsindexteils 36 gebildet. Das Material, das den dritten Brechungsindexteil 36 bildet, kann zum Beispiel ein PSiO-Film (Plasmasiliciumoxidfilm) sein. Als die Dicke dieser Schicht 37 kann zum Beispiel eine Dicke von etwa 2000 nm exemplarisch genannt werden. Dann wird ein Fotolack 40 mit einem Muster, das der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 entspricht, auf der ersten Oberfläche der Schicht 37 gebildet (20A) und wird eine Trockenätzung durchgeführt (20B). Zu dieser Zeit wird eine laminierte Struktur aus der Anodenelektrode 130, der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 für jedes Subpixel 101 gebildet. Die Schicht 37 verbleibt auf der ersten Kathodenelektrode 132.
  • Als Nächstes wird der Fotolack 40 entfernt und werden die Schicht 38 aus dem Material zum Bilden der Seitenwandschutzschicht 16 und die Schicht 39 aus dem Material zum Bilden des dritten Brechungsindexteils 36 sequentiell laminiert (20C). Diese Laminierung kann durch Verwenden eines Niedertemperatur-PCVD-Verfahrens oder dergleichen realisiert werden. Falls zum Beispiel das Material zum Bilden der Seitenwandschutzschicht 16 PSiN ist, werden PSiN mit einer vorbestimmten Dicke (zum Beispiel beträgt die Dicke 50 nm) und PSiO mit einer vorbestimmten Dicke (zum Beispiel beträgt die Dicke 100 nm) sequentiell durch Verwenden eines Niedertemperatur-PCVD-Verfahrens oder dergleichen gebildet. Zu dieser Zeit werden diese Schichten 38 und 39 entlang der ersten Oberfläche gebildet und werden auch auf einer Seitenwandoberfläche der laminierten Struktur aus der Anodenelektrode 130, der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 gebildet.
  • Zudem werden die Schicht 38 aus dem Material, das die Seitenwandschutzschicht 16 bildet, und die Schicht 39, die den dritten Brechungsindexteil 36 bildet, teilweise unter Verwendung eines Trockenätzverfahrens oder dergleichen entfernt (21A). Zu dieser Zeit werden Teile der Schicht 38 und der Schicht 39, die auf der Seitenwandoberfläche der laminierten Struktur aus der Anodenelektrode 130, der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 gebildet sind, zurückgelassen.
  • Als Nächstes wird, wie in 21B veranschaulicht, eine Schicht 41 aus einem Material zum Bilden der Seitenwandschutzschicht 16 auf der gesamten Oberfläche auf der ersten Oberflächenseite zu einer vorbestimmten Dicke (zum Beispiel beträgt die Dick 3000 nm) durch Verwenden eines Niedertemperatur-PCVD-Verfahrens oder dergleichen gebildet. Dann wird, durch Entfernen eines Teils der Schicht 41 durch Trockenätzen oder dergleichen, die obere Endoberfläche (Endoberfläche der ersten Oberflächenseite) der Schicht 37 und der Schicht 39 (zum Beispiel eines PSiO-Films) aus dem Material, das den dritten Brechungsindexteil 36 bildet, freigelegt.
  • Zudem wird ein Teil der Schicht, der zu der ersten Oberflächenseite freigelegt ist, unter der Schicht 37 und der Schicht 39 aus dem Material, das den dritten Brechungsindexteil 36 bildet, selektiv durch Trockenätzen entfernt. Zu dieser Zeit ist ein Teil der Schicht 37, die auf der Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 gebildet ist, und der Schicht 37 angrenzend an die Schicht 38 mit der Schicht 39 dazwischenliegend ein Raumteil. Es wird angemerkt, dass die Schicht 37, die um die Anodenelektrode 130 herum gebildet ist, in der Schicht 41 eingebettet verbleibt. Des Weiteren wird ein Raumteil, der durch den Teil der Schicht 39 gebildet wird, zu dem zweiten Brechungsindexteil 34. Des Weiteren wird ein Teil der Schicht 37, der sandwichartig zwischen dem Raumteil, der durch den Teil der Schicht 38 gebildet wird, und dem zweiten Brechungsindexteil 34 eingeschlossen ist, zu dem ersten Brechungsindexteil 33 (21C).
  • Dann wird die zweite Kathodenelektrode 134 mit einer vorbestimmten Dicke (zum Beispiel beträgt die Dicke 100 nm) auf der gesamten Oberfläche der ersten Oberflächenseite durch ein Sputterverfahren oder dergleichen gebildet (19). Falls das Material zum Bilden der zweiten Kathodenelektrode 134 IZO ist, wird ein IZO-Film durch Sputtern oder dergleichen gebildet. Die zweite Kathodenelektrode 134 wird entlang der Seitenwand der Schicht 39 bis zu der Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 in dem Raumteil auf der ersten Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 gebildet und ist elektrisch mit der ersten Kathodenelektrode 132 verbunden. Zu dieser Zeit entsprechen der Teil, der mit der ersten Kathodenelektrode 132 verbunden ist, und der Teil, der entlang der Seitenwand der Schicht 39 bis zu der Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 gebildet ist, dem Abfallteil 42 der zweiten Kathodenelektrode 134.
  • Es wird angemerkt, dass es möglich ist, eine Bildung der zweiten Kathodenelektrode 134 in dem Raumteil, der der zweite Brechungsindexteil 34 werden soll, in Abhängigkeit von den Bedingungen des Sputterverfahrens unter Verwendung des Materials der zweiten Kathodenelektrode 134 zu vermeiden.
  • Nach der Bildung der zweiten Kathodenelektrode 134 kann die Anzeigevorrichtung 10C gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der dritten Ausführungsform auf eine ähnliche Weise zu dem Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10A, das bei der ersten Ausführungsform beschrieben ist, erhalten werden.
  • Es wird angemerkt, dass bei dem ersten Modifikationsbeispiel der dritte Brechungsindexteil 36 um die Anodenelektrode 130 herum gebildet ist, aber der dritte Brechungsindexteil 36 kann weggelassen werden.
  • (Operation und Effekt)
  • Auch bei dem ersten Modifikationsbeispiel kann der ähnliche Effekte zu dem bei der dritten Ausführungsform beschriebenen Effekt erhalten werden.
  • [4 Vierte Ausführungsform]
  • [4-1 Konfiguration der Anzeigevorrichtung]
  • Eine Anzeigevorrichtung 10D gemäß einer vierten Ausführungsform wird beschrieben. In der Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform, wie in 22A veranschaulicht, ist ähnlich der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform eine Elementschutzschicht 15 (untere Schutzschicht 17) als eine Schutzschicht auf der ersten Kathodenelektrode 132 für jedes Subpixel 101 gebildet. Bei dem Beispiel der Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform, die in 22A veranschaulicht ist, wird im Gegensatz zu der ersten Ausführungsform die Seitenwandschutzschicht 16 zwischen den angrenzenden Subpixeln 101 weggelassen. Jedoch verbietet dies nicht die Anordnung der Seitenwandschutzschicht 16 und die Seitenwandschutzschicht 16 kann ähnlich der ersten Ausführungsform gebildet werden. 22A ist eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel für eine Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform veranschaulicht. Des Weiteren sind bei dem Beispiel aus 22A drei Typen von Subpixeln 101R, 101G und 101B als die Subpixel 101 bereitgestellt, die ein Pixel bilden.
  • In der Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform wird die Metallschicht 46 zwischen den jeweils angrenzenden Verbindungsteilen 45 eingefüllt, die mit den ersten Kathodenelektroden 132 der angrenzenden Lichtemissionselemente 13 verbunden sind. Das heißt, dass Metall zwischen den jeweils angrenzenden Verbindungsteilen 45 eingefüllt wird, die mit der ersten Kathodenelektrode 132 jedes Subpixels 101 verbunden sind, und die Metallschicht 46 beinhaltet das eingefüllte Metall.
  • (Zweite Kathodenelektrode und Verbindungsteil)
  • In der Anzeigevorrichtung 10D der vierten Ausführungsform, die bei dem Beispiel aus 22A veranschaulicht ist, beinhaltet der Verbindungsteil 45 einen Teil der zweiten Kathodenelektrode 134. Die zweite Kathodenelektrode 134 ist entlang der Außenperipherieoberfläche der Elementschutzschicht 15 gebildet. Dann bildet in der zweiten Kathodenelektrode 134 ein Teil, der sich zu der Seitenwand 132B der ersten Kathodenelektrode 132 hin entlang der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 erstreckt, einen Verbindungsteil 45. Die zweite Kathodenelektrode 134 ist mit der Seitenwand 132B der ersten Kathodenelektrode 132 auf der unteren Endseite des Verbindungsteils 45 verbunden. Des Weiteren beinhaltet die zweite Kathodenelektrode 134 einen Kopplungsteil 47, der die unteren Endteile der angrenzenden Verbindungsteile 45 miteinander koppelt, und fungiert als eine gemeinsame Elektrode, die dem Subpixel 101 als Ganzes gemein ist.
  • (Metallschicht)
  • In der Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform, wie zuvor beschrieben, wird die Metallschicht 46 zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 45 eingefüllt, die mit den angrenzenden ersten Kathodenelektroden 132 verbunden sind. Bei dem Beispiel aus 22A ist die Metallschicht 46 so gebildet, dass sie sich in Kontakt mit dem Kopplungsteil 47 und dem angrenzenden Verbindungsteil 45 befindet. Als das Material der Metallschicht 46 wird ein Material mit einem Lichtreflexionsgrad und einer Leitfähigkeit verwendet und zum Beispiel können Metalle der Gruppen 1, 2 und 13 bis 16 und Übergangsmetalle exemplarisch genannt werden. Des Weiteren kann von dem Standpunkt des Lichtreflexionsgrades und der Leitfähigkeit Aluminium, Silber, eine Legierung, die diese enthält, oder dergleichen geeignet als das Material der Metallschicht 46 verwendet werden. Zu dieser Zeit können AlCu, AlSi und dergleichen exemplarisch als eine Legierung genannt werden, die ein Material der Metallschicht 46 sein soll. Jedoch ist von dem Standpunkt der einfachen Verarbeitung das Material der Metallschicht 46 bevorzugt ein solches Material, dass der Siedepunkt eines Halogenids (Fluorids oder dergleichen) 100 °C oder weniger im Vakuum beträgt. Von diesem Standpunkt aus ist das Material der Metallschicht 46 bevorzugt ein oder mehr Metallmaterialien, das/die aus Aluminium und einer Aluminiumlegierung ausgewählt ist/sind.
  • Mit Bezug auf die Abmessung der Metallschicht 46 in der vertikalen Richtung wird es bevorzugt, dass das obere Ende (Endteil auf der ersten Oberflächenseite) der Metallschicht 46 bei oder nahe dem oberen Ende der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 positioniert ist und das untere Ende (Endteil auf der zweiten Oberflächenseite) der Metallschicht 46 bei oder nahe der Bildungsposition des Kopplungsteils 47 der zweiten Kathodenelektrode 134 positioniert ist.
  • Wie in 22B veranschaulicht, kann sich das obere Ende der Metallschicht 46 weiter aufwärts erstrecken als das obere Ende der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 oder der Umgebung davon, oder kann sich von der oberen Oberfläche der oberen Schutzschicht 19 erstrecken. Es wird angemerkt, dass, obwohl die Metallschicht 46 bei dem Beispiel aus 22A innerhalb der oberen Schutzschicht 19 eingebettet ist, wie nachfolgend beschrieben wird, die Metallschicht 46 auf der Seite der unteren Schutzschicht 17 gemäß der Form der zweiten Kathodenelektrode 134 bereitgestellt sein kann.
  • (Elementschutzschicht)
  • Das Material der Elementschutzschicht 15 ist nicht speziell beschränkt und das Material, das bei der ersten Ausführungsform beschrieben ist, kann verwendet werden. Zum Beispiel kann das Material der Elementschutzschicht 15 SiN oder dergleichen sein. Des Weiteren kann die Elementschutzschicht 15 eine Einzelschicht sein oder kann eine Mehrschichtstruktur aufweisen. Zum Beispiel kann die Elementschutzschicht 15 eine laminierte Struktur aus einer Schicht einschließlich SiN und eines AlOx-Films durch Atomlagenabscheidung (ALD: Atomic Layer Deposition) aufweisen.
  • (Obere Schutzschicht)
  • Bei der vierten Ausführungsform ist, ähnlich der ersten Ausführungsform, die obere Schutzschicht 19 so gebildet, dass sie die zweite Kathodenelektrode 134 bedeckt. Bei dem Beispiel aus 22A ist eine Metallschicht 46 in der oberen Schutzschicht 19 eingebettet. Als das Material der oberen Schutzschicht 19 kann das Material, das bei der ersten Ausführungsform beschrieben ist, ähnlich dem Material der Elementschutzschicht 15 verwendet werden. Des Weiteren kann, ähnlich der Elementschutzschicht 15, die obere Schutzschicht 19 eine Einzelschicht oder eine Mehrschichtstruktur aufweisen.
  • [4-2 Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung]
  • Ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform wird beschrieben. Hier wird ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10D beschrieben, die in 22A veranschaulicht ist.
  • Zuerst werden die Anodenelektrode 130 und die Isolationsschicht 14 auf dem Ansteuerungssubstrat 11 gebildet und werden die organische Schicht 131, die erste Kathodenelektrode 132 und die Elementschutzschicht 15 gebildet. Als Nächstes wird die zweite Kathodenelektrode 134 auf der ersten Oberfläche gebildet. Als ein Verfahren zum Bilden der zweiten Kathodenelektrode 134 wird es bevorzugt, ein Verfahren, das eine exzellente Filmbildungsbeschichtbarkeit aufweist, wie etwa zum Beispiel ALD, zu verwenden. Die zweite Kathodenelektrode 134 bedeckt die erste Kathodenelektrode 132 auf der oberen Oberflächenseite der Elementschutzschicht 15. Des Weiteren bildet die zweite Kathodenelektrode 134 einen Verbindungsteil 45 bei einem Teil, der sich zu der Seite des Ansteuerungssubstrats 11 hin entlang der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 erstreckt. Der Verbindungsteil 45, der auf der zweiten Kathodenelektrode 134 gebildet ist, ist mit der Seitenwand 132B der ersten Kathodenelektrode 132 an einer vorbestimmten Position auf der unteren Endseite davon verbunden. Dann werden die angrenzenden Verbindungsteile 45, die mit den angrenzenden ersten Kathodenelektroden 132 verbunden sind, verbunden, und ein Teil, der die Verbindungsteile 45 verbindet, bildet den Kopplungsteil 47.
  • Als Nächstes wird die Metallschicht 46 auf der gesamten Oberfläche gebildet, so dass die zweite Kathodenelektrode 134 bedeckt wird (23A). Zu dieser Zeit wird der Spalt zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 45 auch mit dem Metall gefüllt, das die Metallschicht 46 bildet. Dann wird die Metallschicht 46 geätzt, um einen Teil der zweiten Kathodenelektrode 134 freizulegen, die auf der oberen Oberfläche der Elementschutzschicht 15 gebildet ist (23B). Zu dieser Zeit wird die Metallschicht 46, die in dem Spalt zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 45 eingefüllt ist, zurückgelassen.
  • Zudem wird die obere Schutzschicht 19 auf der ersten Oberflächenseite gebildet und werden die obere Schutzschicht 19 und das Gegensubstrat 21 über die Füllharzschicht 20 befestigt. Dementsprechend wird die Anzeigevorrichtung 10D erhalten.
  • [4-3 Operation und Effekt]
  • Als eine Anzeigevorrichtung, die ein organisches EL-Element verwendet, wird in einer Anzeigevorrichtung mit einer Struktur, in der eine organische Schicht einschließlich wenigstens einer organischen Lichtemissionsschicht und eine erste Kathodenelektrode auf einer Anodenelektrode laminiert sind, die für jedes Pixel separat gebildet wird, die erste Kathodenelektrode für jedes Subpixel separiert. Aus diesem Grund wurde eine Anzeigevorrichtung, in der eine zweite Kathodenelektrode auf einer ersten Kathodenelektrode verbunden ist, vorgeschlagen. In einer solchen Anzeigevorrichtung kann der Verbindungsteil zwischen der zweiten Kathodenelektrode und der ersten Kathodenelektrode unter Verwendung einer Filmbildungstechnik oder dergleichen gebildet werden. Falls ein Material, wie etwa ITO, mit dem ein Film schwierig zu bilden ist, als das Material des Verbindungsteils verwendet wird, wird kaum ein Film mit einer ausreichenden Dicke gebildet. Aus diesem Grund ist es, selbst wenn ein Material, mit dem ein Film schwierig zu bilden ist, als das Material des Verbindungsteils verwendet wird, erforderlich, einen Trennungsfehler des Verbindungsteils zu unterdrücken und die Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands der Anzeigevorrichtung zu verbessern.
  • In der Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform kann, da der Spalt zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 45 mit der Metallschicht 46 gefüllt ist, eine Leitfähigkeit beibehalten werden, selbst wenn ein Trennungsfehler in dem Verbindungsteil 45 auftritt, und kann die Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands der Anzeigevorrichtung 10D verbessert werden. Des Weiteren wird, wie auch in 22A veranschaulicht, Licht, das von der organischen Schicht 131 in einer schrägen Richtung emittiert wird, zu reflektiertem Licht LW durch die Metallschicht 46, wodurch das Lecken von Licht in das angrenzende Subpixel 101 unterdrückt werden kann.
  • [4-4 Modifikationsbeispiel]
  • (Erstes Modifikationsbeispiel)
  • Als Nächstes wird ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform beschrieben.
  • (Konfiguration des ersten Modifikationsbeispiels)
  • In der Beschreibung der vierten Ausführungsform ist die Lichtemissionsfarbe der organischen Schicht 131 der Farbtyp, der der Lichtemissionsfarbe des Subpixels 101 entspricht. Jedoch kann in der Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform, ähnlich dem ersten Modifikationsbeispiel der Lichtanzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform, die Lichtemissionsfarbe des Lichtemissionselements 13 ein Farbtyp außer dem Farbtyp sein, der der Lichtemissionsfarbe des Subpixels 101 entspricht (erstes Modifikationsbeispiel). Zum Beispiel kann in der Anzeigevorrichtung 10D gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der vierten Ausführungsform, wie bei dem Beispiel aus 24 veranschaulicht, ein Lichtemissionselement 13W mit einer organischen Schicht 131W mit Weiß als eine Lichtemissionsfarbe unabhängig von dem Farbtyp des Subpixels 101 als die organische Schicht 131 bereitgestellt werden. Es wird angemerkt, dass bei dem Beispiel der Anzeigevorrichtung 10D gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der vierten Ausführungsform, die in 24 veranschaulicht ist, ähnlich der Anzeigevorrichtung 10A gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der ersten Ausführungsform ein Farbfilter 23, das dem Farbtyp des Lichtemissionselements 13W und des Subpixels 101 entspricht, bereitgestellt ist. Infolgedessen wird in der Anzeigevorrichtung 10D Licht gemäß dem Farbtyp des Subpixels 101 auf der Anzeigeoberfläche 110A angezeigt. Es wird angemerkt, dass das Lichtemissionselement 13W und das Farbfilter 23 ähnlich jenen sind, die bei dem ersten Modifikationsbeispiel der ersten Ausführungsform beschrieben sind.
  • (Zweites Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10D der vierten Ausführungsform ist das Layout der Subpixel 101R, 101G und 101B nicht beschränkt. Zum Beispiel kann das Layout der Subpixel 101 ein streifenförmiges Muster, wie bei dem Beispiel aus 26B veranschaulicht, sein, aber kann andere Muster ähnlich dem zweiten Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung 10A der ersten Ausführungsform sein. Das heißt, dass in der Anzeigevorrichtung 10D der vierten Ausführungsform das Layoutmuster der Subpixel 101 zum Beispiel ein Deltamuster, wie in 26C veranschaulicht, oder ein Quadratmuster, wie in 26A veranschaulicht, sein kann. Es wird angemerkt, dass die Deltaform eine Anordnung angibt, in der die Zentren der drei Subpixel 101R, 101G und 101B verbunden sind, um ein Dreieck zu bilden. Die quadratische Anordnung gibt eine Anordnung an, in der die Zentren von vier Subpixeln (bei dem Beispiel aus 26A der Subpixel 101R, 101G, 101B und 101B) verbunden sind, um ein Quadrat zu bilden. Auch in diesen Fällen ist der Verbindungsteil 45 der zweiten Kathodenelektrode 134 auf dem Außenperipherierand jedes Subpixels 101 gebildet und wird die Metallschicht 46 zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 45 eingefüllt.
  • (Drittes Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10D der vierten Ausführungsform, ähnlich dem dritten Modifikationsbeispiel der ersten Ausführungsform, wie in 25A veranschaulicht, kann das Subpixel 101 eine Resonatorstruktur 24 aufweisen (drittes Modifikationsbeispiel). 25A ist eine Querschnittsansicht, die ein Beispiel für die Anzeigevorrichtung 10D gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel der vierten Ausführungsform veranschaulicht.
  • In der Anzeigevorrichtung 10D gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel der vierten Ausführungsform beinhaltet die Resonatorstruktur 24 die zweite Kathodenelektrode 134 und das Lichtemissionselement 13. Die Resonatorstruktur 24 ist jener ähnlich, die bei dem dritten Modifikationsbeispiel der ersten Ausführungsform beschrieben ist. Bei dem Beispiel aus 25A weisen, ähnlich dem dritten Modifikationsbeispiel der ersten Ausführungsform, die Elementschutzschichten 15 unterschiedliche Dicken zwischen den Subpixeln 101 auf, die unterschiedlichen Farbtypen entsprechen. Die Anzeigevorrichtung 10D gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel der vierten Ausführungsform beinhaltet die Lichtemissionselemente 13R, 13G und 13B mit einer Farbe, die dem Farbtyp des Subpixels 101 entspricht, als eine Lichtemissionsfarbe, und die Resonatorstruktur 24 hebt Licht einer vorbestimmten Farbe (Rotlicht (KR), Grünlicht (KG) bzw. Blaulicht (KB)) hervor und eine Farbreinheit von Licht, das dem Farbtyp des Subpixels 101 entspricht, kann verbessert werden.
  • Gemäß der Anzeigevorrichtung 10D wird, selbst wenn die Elementschutzschicht 15 unterschiedliche Dicken aufweist, wie zuvor beschrieben, die Metallschicht 46 zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 45 eingefüllt, so dass es möglich ist, einen Defekt in dem leitfähigen Zustand aufgrund eines Trennungsdefekts des Verbindungsteils 45 der zweiten Kathodenelektrode 134 zu unterdrücken.
  • (Viertes Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10D des dritten Modifikationsbeispiels der vierten Ausführungsform, wie in 25B veranschaulicht, kann die organische Schicht 131W unabhängig von dem Farbtyp des Subpixels 101 bereitgestellt werden. Die organische Schicht 131W ist dem ersten Modifikationsbeispiel der vierten Ausführungsform ähnlich. Auch in diesem Fall wird Licht gemäß dem Farbtyp des Subpixels 101 durch die Resonatorstruktur 24 extrahiert.
  • In der Anzeigevorrichtung 10D gemäß dem vierten Modifikationsbeispiel der vierten Ausführungsform, wie in 25B veranschaulicht, wird bevorzugt ein Farbfilter 23 bereitgestellt. Die Farbreinheit kann durch Bereitstellen des Farbfilters 23 verbessert werden. Das Farbfilter 23 ist dem ersten Modifikationsbeispiel der vierten Ausführungsform ähnlich.
  • [5 Fünfte Ausführungsform]
  • [5-1 Konfiguration der Anzeigevorrichtung]
  • Eine Anzeigevorrichtung 10E gemäß einer fünften Ausführungsform wird beschrieben. Bei dem Beispiel der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform, die in 27A und 27B veranschaulicht ist, ist eine Isolationsschicht 14, die zwischen den angrenzenden Anodenelektroden 130 bereitgestellt ist und den Peripherierandteil 130A der Anodenelektrode 130 bedeckt, bereitgestellt. 27A und 27B sind Querschnittsansichten, die ein Beispiel für die Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform veranschaulichen. Des Weiteren sind bei den Beispielen aus 27A und 27B drei Typen von Subpixeln 101R, 101G und 101B als die Subpixel 101 bereitgestellt, die ein Pixel bilden.
  • Bei dem Beispiel der Anzeigevorrichtung 10E, die in 27A veranschaulicht ist, befindet sich der Öffnungsendrand 140 der Isolationsschicht 14 auf der Anodenelektrode 130 und ist eine Stufe aufgrund der Dicke des Öffnungsendrands 140 der Öffnung 14A an der Position des Peripherierandteils 130A der Anodenelektrode 130 gebildet. Des Weiteren ist die organische Schicht 131 so gebildet, dass sie den Teil bedeckt, wo die Stufe gebildet ist, und den Teil der Anodenelektrode 130 bedeckt, der von der Öffnung 14A und der Isolationsschicht 14 freigelegt ist. Zudem ist die erste Kathodenelektrode 132 so gebildet, dass sie die organische Schicht 131 bedeckt. Des Weiteren sind, ähnlich der ersten Ausführungsform und dergleichen, die organische Schicht 131 und die erste Kathodenelektrode 132 separat für jedes Subpixel 101 gebildet. Bei dem Beispiel der fünften Ausführungsform, das in 27A und 27B veranschaulicht ist, bildet eine laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 einen erhöhten Teil 53 an der Position des Öffnungsendrands 140 der Öffnung 14A. Die laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 ist in eine vorbestimmte Form an einer vorbestimmten Position innerhalb des Peripherierandteils 130A jeder Anodenelektrode 130 (einer vorbestimmten Position innerhalb des Öffnungsendrands 140 der Öffnung 14A) unterteilt. Bei dem Beispiel aus 27B ist die laminierte Struktur 52 in einen rechteckigen Teil innerhalb des Peripherierandteils 130A (einen Peripherierandinnenteil 50) und einen Außenperipherierandteil davon (einen Außenrandteil 51) separiert. Das Innere des Peripherierandteils 130A der Anodenelektrode 130 gibt an, dass sich die Anodenelektrode in einem Innengebiet befindet, falls die Z-Achse-Richtung die Sichtlinienrichtung ist (falls die Dickenrichtung des Lichtemissionselements 13 die Sichtlinienrichtung ist).
  • (Peripherierandinnenteil)
  • Der Peripherierandinnenteil 50 ist ein Teil, der innerhalb des Peripherierandteils 130A der Anodenelektrode 130 in der laminierten Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 gebildet ist, und ist in einem Teil innerhalb (Zentrumsseite) des Öffnungsendrand 140 der Öffnung 14A gebildet. Bei dem in 27A veranschaulichten Beispiel ist der Peripherierandinnenteil 50 ein Teil, der den erhöhten Teil 53 in der laminierten Struktur 52 der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 vermeidet. Bei dem Beispiel aus 27 ist die Anodenelektrode 130 in einer planaren Form gebildet und wird der Peripherierandinnenteil 50 einfach in einer planaren Form gebildet. Mit Bezug auf den Peripherierandinnenteil 50 ist eine zweite Kathodenelektrode 134 mit der ersten Kathodenelektrode in dem Peripherierandinnenteil 50 verbunden.
  • (Außenrandteil)
  • Der Außenrandteil 51 ist ein Teil der laminierten Struktur 52 außerhalb des Peripherierandinnenteils 50. In der laminierten Struktur 52 ist ein vorbestimmter Teil einschließlich des erhöhten Teils 53 der Außenrandteil 51. Da vermieden wird, dass der Außenrandteil 51 mit der zweiten Kathodenelektrode 134 verbunden wird, ist es möglich, zu vermeiden, dass die organische Schicht 131, die auf dem erhöhten Teil 53 gebildet wird, zu einer Lichtemission in dem Subpixel 101 beiträgt.
  • (Untere Schutzschicht)
  • In der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform ist die untere Schutzschicht 17 so gebildet, so dass sie die erste Kathodenelektrode 132 bedeckt. In der unteren Schutzschicht 17, die bei dem Beispiel aus 27B veranschaulicht ist, sind sowohl der Teil auf der ersten Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 und der Teil, der von der ersten Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 abweicht, integral gebildet, und die Elementschutzschicht 15 und die Seitenwandschutzschicht 16 gemäß der ersten Ausführungsform sind integriert. Jedoch verhindert dies nicht, dass die untere Schutzschicht 17 separat in der Elementschutzschicht 15 und der Seitenwandschutzschicht 16 gebildet wird, wie bei der ersten Ausführungsform gezeigt ist. Die untere Schutzschicht 17 kann das ähnliche Material zu der Elementschutzschicht 15 in der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform beinhalten.
  • (Zweite Kathodenelektrode)
  • In der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform, die bei dem Beispiel aus 27A veranschaulicht ist, ist eine zweite Kathodenelektrode 134, die eine gemeinsame Elektrode sein soll, die dem Subpixel 101 gemein ist, auf der unteren Schutzschicht 17 gebildet. Ein Kontaktloch (Kontaktloch 55), das mit der ersten Kathodenelektrode 132 des Peripherierandinnenteils 50 verbunden ist, ist an einer vorbestimmten Position der unteren Schutzschicht 17 gebildet und die zweite Kathodenelektrode 134 weist einen Erweiterungsteil 56, auf der sich von der oberen Oberfläche (ersten Oberfläche) der unteren Schutzschicht 17 zu der ersten Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 entlang der Innenperipherieoberfläche des Kontaktlochs 55 erstreckt. Der Erweiterungsteil 56 der zweiten Kathodenelektrode 134 dient als ein Verbindungsteil 57. Die Verbindung zwischen der zweiten Kathodenelektrode 134 und der ersten Kathodenelektrode 132 wird durch Verbinden des Erweiterungsendes des Erweiterungsteils 56 mit der ersten Kathodenelektrode 132 realisiert.
  • [5-2 Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung]
  • Ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der dritten Ausführungsform wird beschrieben. Hier wird ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10E beschrieben, die in 27A und 27B veranschaulicht ist.
  • Die Anodenelektrode 130 und die Isolationsschicht 14 werden auf dem Ansteuerungssubstrat 11 gebildet und die organische Schicht 131B, die erste Kathodenelektrode 132 und die untere Schutzschicht 17 werden gebildet (28A, 28B). Als Nächstes werden die untere Schutzschicht 17, die erste Kathodenelektrode 132 und die organische Schicht 131 gemäß dem Muster des Subpixels 101B strukturiert. Zu dieser Zeit werden der Peripherierandinnenteil 50 und der Außenrandteil 51, die voneinander separiert sind, ebenfalls in dem Subpixel 101B gebildet. Dies kann durch Verwenden von Lithografie und Ätzen erzielt werden. Das heißt, dass Strukturieren und Trockenätzen an vorbestimmten Positionen in der Anodenelektrode 130 durchgeführt werden, um die Kerbe 58 zu bilden, die den Peripherierandinnenteil 50 und den Außenrandteil 51 in der ersten Kathodenelektrode 132 und der organischen Schicht 131 separiert (29A, 29B). Infolgedessen wird die laminierte Struktur 52 aus der ersten Kathodenelektrode 132 und der organischen Schicht 131 in den Peripherierandinnenteil 50 und den Außenrandteil 51 separiert. Eine Separationsentfernung zwischen dem Peripherierandinnenteil 50 und dem Außenrandteil 51 kann geeignet gemäß einer Breite der Kerbe 58 bestimmt werden. Dies wird auch für die Subpixel 101G und 101R durchgeführt und der Peripherierandinnenteil 50 und der Außenrandteil 51 werden für jedes Subpixel 101 gebildet. Nachfolgend wird der Schritt des Separierens der laminierten Struktur 52 in den Peripherierandinnenteil 50 und den Außenrandteil 51 als ein Peripherierandinnenteilbildungsschritt bezeichnet.
  • Nach dem Peripherierandinnenteilbildungsschritt wird ferner eine untere Schutzschicht 17 auf der ersten Oberflächenseite (30A, 30B) gebildet und wird ein Kontaktloch 55 an einer vorbestimmten Position gebildet, die für jedes Subpixel 101 mit Bezug auf die untere Schutzschicht 17 gebildet ist. Das Kontaktloch 55 kann unter Verwendung von Lithografie und Trockenätzen gebildet werden.
  • Die zweite Kathodenelektrode 134 ist auf einer Oberfläche (über der gesamten Oberfläche) auf der ersten Oberfläche der unteren Schutzschicht 17 gebildet. Als ein Verfahren zum Bilden der zweiten Kathodenelektrode 134 wird zum Beispiel bevorzugt Sputtern oder dergleichen verwendet. Das Kontaktloch 55 weist eine Form und einen Durchmesser auf, so dass ein Film aus einem Material (zum Beispiel IZO oder dergleichen) zum Bilden der zweiten Kathodenelektrode 134 gebildet werden kann, und die zweite Kathodenelektrode 134 erstreckt sich von der ersten Oberflächenseite der unteren Schutzschicht 17 zu der ersten Oberfläche der ersten Kathodenelektrode 132 entlang der Innenperipherieoberfläche des Kontaktlochs 55. Zu dieser Zeit wird der Erweiterungsteil 56 als der Verbindungsteil 57 gebildet. Des Weiteren sind die erste Kathodenelektrode 132 und die zweite Kathodenelektrode 134 durch den Verbindungsteil 57 verbunden (27A, 27B).
  • Dann wird, ähnlich der ersten Ausführungsform und dergleichen, die obere Schutzschicht 19 auf der zweiten Kathodenelektrode 134 gebildet und wird das Gegensubstrat 21 mit der Füllharzschicht 20 dazwischenliegend angeordnet, wodurch die Anzeigevorrichtung 10E erhalten wird (nicht veranschaulicht).
  • [5-3 Operation und Effekt]
  • In einer Anzeigevorrichtung unter Verwendung eines organischen EL-Elements kann eine Isolationsschicht einen Endteil einer Anodenelektrode bedecken und kann die Anodenelektrode von einer Öffnung freigelegt sein, die in der Isolationsschicht gebildet ist. In diesem Fall steigt die laminierte Struktur aus der ersten Kathodenelektrode und der organischen Schicht an der Position des Öffnungsendrands der Öffnung an. Wenn eine solche Ausbuchtung in dem Subpixel auftritt, kann eine Lichtemission verschieden von dem zentralen Teil des Subpixels an dem Peripherierand des Subpixel auftreten (Randemission) oder kann eine Lichtemission angrenzender Subpixel auftreten (Angrenzende-Pixel-Lichtemission). Daher ist es erforderlich, die Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands der Anzeigevorrichtung zu verbessern.
  • In der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform ist die laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 in den Peripherierandinnenteil 50 und den Außenrandteil 51 separiert und die zweite Kathodenelektrode 134 ist mit der ersten Kathodenelektrode 132 in dem Peripherierandinnenteil 50 verbunden. Der erhöhte Teil 53 der laminierten Struktur 52 aus der ersten Kathodenelektrode 132 und der organischen Schicht 131 ist kaum in dem Peripherierandinnenteil 50 enthalten und Randlichtemission und Angrenzendes-Pixel-Lichtemission können unterdrückt werden. Daher kann gemäß der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform die Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands verbessert werden. Da Randlichtemission und Angrenzendes-Pixel-Lichtemission unterdrückt werden können, ist es außerdem einfach, die Leuchtdichte und das Auflösungsvermögen der Anzeigevorrichtung 10E zu erhöhen.
  • [5-4 Modifikationsbeispiel]
  • (Erstes Modifikationsbeispiel)
  • Als Nächstes wird ein Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform beschrieben.
  • (Konfiguration des ersten Modifikationsbeispiels)
  • In der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform, wie in 31A veranschaulicht, kann die Abdeckungsstruktur des Peripherierandteils 130A der Anodenelektrode 130 durch die Isolationsschicht 14 weggelassen werden. Bei den Beispielen aus 31A und 31B ist die Isolationsschicht 14 weggelassen und ist die Anordnung des Außenrandteils 51 weggelassen. 31A und 31B sind eine Querschnittsansicht und eine Draufsicht, die ein Beispiel für eine Anzeigevorrichtung gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform veranschaulichen.
  • Bei dem in 31A veranschaulichten Beispiel ist die Anodenelektrode 130 in einer flachen Oberflächenform gebildet und ist die laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 auf der derartigen Anodenelektrode 130 gebildet.
  • Des Weiteren ist in der Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform ein Seitenwandteil 60, der in einer Richtung von dem Ansteuerungssubstrat 11 weg (+Z-Richtung) ansteigt, auf der ersten Oberflächenseite gebildet. Der Seitenwandteil 60 kann eine Einzelschicht sein oder mehrere Schichten können laminiert sein. Bei dem Beispiel aus 31A und 31B ist in dem Subpixel 101R der Seitenwandteil 60 in einer Einzelschicht gebildet und ist in den Subpixeln 101G und 101B der Seitenwandteil 60 in mehreren Schichten gebildet, mit der Richtung von dem Zentrum des Lichtemissionselements 13 zu der Außenseite als die Schichtungsrichtung mit der Dickenrichtung des Lichtemissionselements 13 als die Sichtlinienrichtung.
  • (Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung des ersten Modifikationsbeispiels)
  • Als Nächstes wird ein Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform beschrieben.
  • Zuerst wird die Anodenelektrode 130 auf dem Ansteuerungssubstrat 11 gebildet, werden die organische Schicht 131B und die erste Kathodenelektrode 132 gebildet und wird ferner eine Schicht 62 aus einem Material zum Bilden der unteren Schutzschicht 17 gebildet (32A, 32B). Als Nächstes werden die Schicht 62, die erste Kathodenelektrode 132 und die organische Schicht 131 gemäß dem Muster des Subpixels 101B strukturiert. Dies kann durch Verwenden von Lithografie und Ätzen erzielt werden. Zudem wird die Schicht 61 aus dem Material, das die untere Schutzschicht 17 bildet, vollständig auf der ersten Oberflächenseite gebildet. Zu dieser Zeit ist die Schicht 61 auch auf der Seitenwand 52A der laminierten Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 und der Seitenwand 62A der Schicht 62 gebildet. Ein Teil außer der Seitenwand 52A der laminierten Struktur 52 und der Schicht 61, der die Seitenwand 62A bedeckt, wird durch ein Trockenätzverfahren oder dergleichen entfernt. Zu dieser Zeit wird in dem Subpixel 101B der Seitenwandteil 60, der die Seitenwand 52A der laminierten Struktur 52 bedeckt, gebildet (33A, 33B).
  • Ähnlich dem Fall des Subpixels 101B wird der Seitenwandteil 60 für das Subpixel 101G gebildet. Zu dieser Zeit wird der Seitenwandteil 60 auf das Subpixel 101B laminiert. Zudem wird der Seitenwandteil 60 auch in dem Subpixel 101R gebildet. Zu dieser Zeit werden die Seitenwandteile 60 auf die Subpixel 101G und 101B laminiert (34A, 34B).
  • Zudem wird eine Schicht 63 aus einem Material zum Bilden der unteren Schutzschicht 17 auf der gesamten Oberfläche der ersten Oberflächenseite gebildet ( 35A, 35B). Zu dieser Zeit kann eine Chemischmechanisches-Polieren(CMP)-Behandlung nach Bedarf durchgeführt werden. Zu dieser Zeit bilden der Seitenwandteil 60, die Schicht 62 und die Schicht 63 die untere Schutzschicht 17.
  • Wie bei dem obigen Herstellungsverfahren der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform beschrieben, wird das Kontaktloch 55 an der vorbestimmten Position gebildet, die für jedes Subpixel 101 mit Bezug auf die untere Schutzschicht 17 gebildet ist, und wird die zweite Kathodenelektrode 134 gebildet, wodurch die erste Kathodenelektrode 132 und die zweite Kathodenelektrode 134 an dem Erweiterungsteil 56 verbunden werden, der den Verbindungsteil 57 bildet. Dann werden, wie bei dem zuvor beschriebenen Herstellungsverfahren der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform beschrieben, die obere Schutzschicht 19, die Füllharzschicht 20 und das Gegensubstrat 21 bereitgestellt, und die Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform kann erhalten werden.
  • (Operation und Effekt der Anzeigevorrichtung des ersten Modifikationsbeispiels)
  • Auch in der Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem ersten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform ist es möglich die Effekte ähnlich jenen zu erhalten, die in den Operationseffekten der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform beschrieben sind.
  • (Zweites Modifikationsbeispiel)
  • In der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform ist die Anodenelektrode 130 in einer planaren Form gebildet, aber die Form der Anodenelektrode 130 ist nicht darauf beschränkt und kann in einer gekrümmten Form gebildet werden, wie in 36A veranschaulicht ist (zweites Modifikationsbeispiel). 36A ist eine Querschnittsansicht, die einen Hauptteil eines Beispiels für eine Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform veranschaulicht. In 36A ist zur einfachen Erklärung eine Beschreibung der unteren Schutzschicht 17, der zweiten Kathodenelektrode 134, der oberen Schutzschicht 19, der Füllharzschicht 20, des Gegensubstrats 21 und dergleichen weggelassen. Dies gilt gleichermaßen für 36B und 36C.
  • Ein gekrümmter Teil 65, der in einer konkaven Form gebildet ist, ist in einem vorbestimmten Gebiet innerhalb der Anodenelektrode 130 gebildet. Die laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 ist auf der ersten Oberfläche der Anodenelektrode 130 und in dem Bildungsgebiet des gekrümmten Teils 65 gebildet und bei dem Beispiel aus 36A bedeckt die Isolationsschicht 14 den Peripherierandteil 130A der Anodenelektrode 130. Eine Stufe, die durch den Öffnungsendrand 140 der Öffnung 14A gebildet wird, ist an der Position des Peripherierandteils 130A gebildet. Die laminierte Struktur 52 wird an einer Position gebildet, die den Stufenbildungsteil vermeidet. Die zweite Kathodenelektrode 134 ist mit der ersten Kathodenelektrode 132 in der laminierten Struktur 52 verbunden.
  • (Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung des zweiten Modifikationsbeispiels)
  • Eine Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform kann zum Beispiel wie folgt hergestellt werden.
  • Ein vertiefter Teil 111 wird an einer vorbestimmten Position auf dem Ansteuerungssubstrat 11 gebildet, die Anodenelektrode 130 und die Isolationsschicht 14 werden gebildet und die organische Schicht 131, die erste Kathodenelektrode 132 und die untere Schutzschicht 17 werden gebildet (37A, 37B). Ein Teil der Anodenelektrode 130, der auf dem vertieften Teil 111 gebildet ist, ist ein gekrümmter Teil 65. Der gekrümmte Teil 65 ist an einer Position gebildet, die den Peripherierandteil 130A der Anodenelektrode 130 vermeidet (eine vorbestimmte Position innerhalb des Peripherierandteils 130A der Anodenelektrode 130).
  • Als Nächstes werden die untere Schutzschicht 17, die erste Kathodenelektrode 132 und die organische Schicht 131 gemäß dem Muster des Subpixels 101 strukturiert (38A, 38B). Zu dieser Zeit wird in dem Subpixel 101 die laminierte Struktur 52 aus der ersten Kathodenelektrode 132 und der organischen Schicht 131 für den Teil belassen, der innerhalb des gekrümmten Teils 65 gebildet wird. Dies kann durch Verwenden von Lithografie und Ätzen erzielt werden.
  • Als Nächstes wird die untere Schutzschicht 17 zusätzlich auf der gesamten Oberfläche auf der ersten Oberflächenseite gebildet (39A, 39B).
  • Zudem wird, wie bei dem zuvor beschriebenen Herstellungsverfahren der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform beschrieben, das Kontaktloch 55 an einer vorbestimmten Position gebildet, die für jedes Subpixel 101 mit Bezug auf die untere Schutzschicht 17 gebildet ist, und wird die zweite Kathodenelektrode 134 gebildet, wodurch die erste Kathodenelektrode 132 und die zweite Kathodenelektrode 134 an dem Erweiterungsteil 56 verbunden werden, der den Verbindungsteil 57 bildet (40A, 40B). Dann werden, wie bei dem zuvor beschriebenen Herstellungsverfahren der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform beschrieben, die obere Schutzschicht 19, die Füllharzschicht 20 und das Gegensubstrat 21 bereitgestellt, und die Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform kann erhalten werden.
  • (Operation und Effekt der Anzeigevorrichtung des zweiten Modifikationsbeispiels)
  • Falls die Anzeigevorrichtung eine gekrümmte Anodenelektrode aufweist, ist, da die gekrümmte geneigte Oberfläche von der Krümmungsstartposition zu dem gekrümmten unteren Teil in dem gekrümmten Teil hin gebildet ist, die Dicke der organischen Schicht tendenziell dünner als jene in der Nähe des gekrümmten unteren Teils, und eine Gleichmäßigkeit des Lichtemissionszustands ist bei dem gekrümmten unteren Teil und der Krümmungsstartposition besonders erforderlich. Des Weiteren ist es erforderlich, den Einfluss der Stufe auf den Lichtemissionszustand bei dem Öffnungsrandteil zu unterdrücken, der bei dem Peripherierandteil der Anodenelektrode gebildet ist.
  • Gemäß der Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform ist es, da die laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 in dem Gebiet des gekrümmten Teils 65 gebildet ist, möglich, die Anforderung selbst der Erforderlichkeit des Erzielens einer Gleichmäßigkeit des Lichtemissionszustands zwischen dem unteren Teil des gekrümmten Teils 65 und der Endrandposition des gekrümmten Teils 65 zu beseitigen. Des Weiteren kann die laminierte Struktur 52 an einer Position gebildet werden, die die Stufe bei dem Öffnungsendrand 140 vermeidet. Daher kann in der Anzeigevorrichtung 10E gemäß den zweiten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform die Zuverlässigkeit des Lichtemissionszustands der Anzeigevorrichtung 10E verbessert werden.
  • (Drittes Modifikationsbeispiel)
  • Bei dem zweiten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform wird die laminierte Struktur 52 aus der ersten Kathodenelektrode 132 und der organischen Schicht 131 in dem Teil außerhalb des gekrümmten Teils 65 entfernt, aber, wie in 36B veranschaulicht, können die organische Schicht 131 und die erste Kathodenelektrode 132, die außerhalb des Gebiets des gekrümmten Teils 65 gebildet sind, zurückbleiben, ohne entfernt zu werden (drittes Modifikationsbeispiel). In der Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform werden der Teil 66 der laminierten Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132, der außerhalb des Gebiets des gekrümmten Teils 65 gebildet ist, und der Teil 67 der laminierten Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132, der innerhalb des Gebiets des gekrümmten Teils 65 gebildet ist, durch den Unterteilungsteil 68 unterteilt. Die zweite Kathodenelektrode 134 wird mit der ersten Kathodenelektrode 132 des Teils 67 verbunden.
  • In der Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem dritten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform ist es, da der Teil 66 der laminierten Struktur 52 daran gehindert werden kann, zur Lichtemission beizutragen, möglich, einen Effekt ähnlich jenem der Anzeigevorrichtung 10E gemäß dem zweiten Modifikationsbeispiel der fünften Ausführungsform zu erhalten.
  • (Viertes Modifikationsbeispiel)
  • Bei der fünften Ausführungsform und dem zweiten bis dritten Modifikationsbeispiel davon ist die Form des gekrümmten Teils 65 eine halbkugelförmige gekrümmte Form, aber die Form des gekrümmten Teils 65 ist nicht darauf beschränkt. Wie in 36C veranschaulicht, kann der gekrümmte Teil 65 eine gekrümmte Oberfläche mit mehreren Unregelmäßigkeiten aufweisen.
  • [6 Sechste Ausführungsform]
  • [6-1 Konfiguration der Anzeigevorrichtung]
  • Wie in 41D veranschaulicht, definiert die Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform die Position und das Gebiet des Peripherierandinnenteils 50 als spezielle Positionen und Gebiete in der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform.
  • In der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform, wie in dem Herstellungsverfahren beschrieben, wird die Kerbe 58 zum Separieren und Bilden des Peripherierandinnenteils 50 und des Außenrandteils 51 unter Verwendung von Lithografie, Ätzen oder dergleichen gebildet. Daher ist es erforderlich, die Verschiebung der Bildungsposition der Kerbe 58 zur Zeit des Durchführens des Lithografieverfahrens zu unterdrücken. Des Weiteren muss, falls die zu ätzende Position unter Berücksichtigung der Abweichung der Bildungsposition der Kerbe 58 im Voraus bestimmt wird, die laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 so gestaltet werden, dass die Kerbe 58 nicht an einer Innenposition gebildet wird, die sich mehr als notwendig auf der ersten Oberfläche der Anodenelektrode 130 befindet. In einem Zustand, in dem das Gebiet des Peripherierandinnenteils 50 kleiner als an einer Position erforderlich wird, die zum Beispiel von dem Öffnungsendrand 140 der Öffnung 14A verschoben ist, tritt ein wie in 42A veranschaulichter Zustand auf. In der Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform, wie in 42B veranschaulicht, weicht die Position des Peripherierandinnenteils 50 mit geringerer Wahrscheinlichkeit von der Zentrumsposition der Öffnung 14A ab, und das Gebiet des Peripherierandinnenteils 50 wird mit geringerer Wahrscheinlichkeit kleiner als erforderlich.
  • [6-2 Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung]
  • Ein Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform wird beschrieben. Der Peripherierandinnenteilbildungsschritt wird wie folgt durchgeführt. Ähnlich der ersten Ausführungsform werden die Anodenelektrode 130 und die Isolationsschicht 14 auf dem Ansteuerungssubstrat 11 gebildet und werden die organische Schicht 131, die erste Kathodenelektrode 132 und die untere Schutzschicht 17 gebildet. Zu dieser Zeit wird, wie bei der fünften Ausführungsform beschrieben, die laminierte Struktur 52 aus der ersten Kathodenelektrode 132 und der organischen Schicht 131 erhöht, um den erhöhten Teil 53 zu bilden, so dass die Stufe T durch den Öffnungsendrand 140 an der Position des Peripherierandteils 130A der Anodenelektrode 130 bedeckt wird. Zu dieser Zeit wird ein erhöhter Teil 54 auch auf der oberen Oberfläche der unteren Schutzschicht 17, die auf der laminierten Struktur 52 gebildet ist, an einer Position gebildet, die dem erhöhten Teil 53 entspricht. Dann wird ein Fotolack 70 vollständig auf die erste Oberflächenseite der unteren Schutzschicht 17 aufgebracht (41A).
  • Die Dicke der unteren Schutzschicht 17, die auf die erste Kathodenelektrode 132 laminiert ist, ist derart, dass der erhöhte Teil 54 auch auf der unteren Schutzschicht 17 an der Position des Öffnungsendrands 140 der Öffnung 14A gebildet werden kann. Des Weiteren ist trotz der Abhängigkeit von den Materialien der unteren Schutzschicht 17 und des Fotolacks 70 unter Berücksichtigung eines Verarbeitungsauswahlverhältnisses zu der Zeit des Ätzens der unteren Schutzschicht 17, was nachfolgend zu beschreiben ist, die Dicke der unteren Schutzschicht 17 bevorzugt etwa 3-mal die Höhe einer Stufe (einer Stufe, die durch die Isolationsschicht 14 gebildet wird, die auf der Anodenelektrode 130 liegt) an der Position des Öffnungsendrands 140 der Öffnung 14A. Falls zum Beispiel die Höhe der Stufe an der Position des Öffnungsendrandes 140 der Öffnung 14A 100 nm beträgt, beträgt die Dicke der unteren Schutzschicht 17 bevorzugt etwa 300 nm.
  • Als Nächstes wird eine Trockenätzung durchgeführt, um den Fotolack 70 graduell zu beseitigen. Eine Trockenätzung wird durchgeführt, bis das erhöhte Ende des erhöhten Teils 54 in der unteren Schutzschicht 17 beginnt, freigelegt zu werden (41B). Das Verfahren zum Identifizieren der Anwesenheit oder Abwesenheit einer Freilegung des erhöhten Teils 54 kann zum Beispiel durch Überwachen des Endpunkts realisiert werden. Außerdem kann es zum Beispiel durch Durchführen einer Zeitverwaltung des Trockenätzens realisiert werden.
  • Unter Verwendung des verbleibenden Teils des Fotolacks 70, der belassen wird, ohne geätzt zu werden, als eine Maske werden die untere Schutzschicht 17, die erste Kathodenelektrode 132 und die organische Schicht 131 durch Trockenätzen entfernt (41C).
  • Dann wird der Fotolack 70, der auf der unteren Schutzschicht 17 belassen und als eine Maske verwendet wird, durch Veraschung oder dergleichen entfernt ( 41D). Infolgedessen wird die laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 in den Peripherierandinnenteil 50 und den Außenrandteil 51 separiert. Nach dem Peripherierandinnenteilbildungsschritt wird ein Verfahren ähnlich dem Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform durchgeführt. Infolgedessen wird die Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform erhalten.
  • [6-3 Operation und Effekt]
  • In der Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform wird unterdrückt, dass der Peripherierandinnenteil 50 kleiner als erforderlich wird, während er in einem Bereich innerhalb des Öffnungsendrands 140 beibehalten wird. Daher ist in der Anzeigevorrichtung das Lichtemissionsgebiets des Pixels nicht zwingend klein und kann der Bereich des Lichtemissionsgebiets sichergestellt werden, so dass eine hohe Leuchtdichte leicht realisiert werden kann.
  • Des Weiteren wird gemäß dem Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der zuvor beschriebenen sechsten Ausführungsform, weil die Ätzposition der unteren Schutzschicht 17 zum Bestimmen der Außenrandposition des Peripherierandinnenteils 50 geringfügig innerhalb des erhöhten Endes oder des erhöhten Endes des erhöhten Teils 54 durch Ätzen des Fotolacks 70 bestimmt wird, der Peripherierandinnenteil 50 in dem ungefähren Zentrum der Anodenelektrode 130 auf eine selbstausgerichtete Weise gebildet, wie in 42B veranschaulicht ist.
  • Zudem kann gemäß dem Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung gemäß der zuvor beschriebenen sechsten Ausführungsform die Gesamtdicke der organischen Schicht 131, der ersten Kathodenelektrode 132 und der unteren Schutzschicht 17 an der Position des Außenperipherierands des Peripherierandinnenteils 50 gleichmäßig gemacht werden.
  • [6-4 Modifikationsbeispiel]
  • In der Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform, wie in 43D veranschaulicht, kann ein gestufter Teil 71 auf der ersten Oberfläche des Ansteuerungssubstrats 11 an der Position der Seitenwand 130B der Anodenelektrode 130 gebildet werden (Modifikationsbeispiel). Der gestufte Teil 71 kann durch Ätzen nicht nur der Anodenelektrode 130, sondern auch der Seite des Ansteuerungssubstrats 11, wenn die Anodenelektrode 130 für jedes Subpixel 101 strukturiert wird, gebildet werden.
  • Gemäß der Anzeigevorrichtung gemäß dem Modifikationsbeispiel der sechsten Ausführungsform, wie in 43A, 43B und 43C veranschaulicht, kann, wenn die Isolationsschicht 14 zwischen den angrenzenden Anodenelektroden 130 bei der Implementierung des Verfahrens zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform gebildet wird, die Differenz H (vertikale Differenz) zwischen der Position der ersten Oberfläche der gebildeten Isolationsschicht 14 und der Position der ersten Oberfläche der Isolationsschicht 14, die auf dem Peripherierandteil 130A der Anodenelektrode 130 liegt, erhöht werden. Des Weiteren kann in diesem Fall, wie in 43D veranschaulicht, der Teil, der den Öffnungsendrand 140 in einem Zustand bedeckt, in dem die laminierte Struktur 52 aus der organischen Schicht 131 und der ersten Kathodenelektrode 132 in dem Peripherierandinnenteilbildungsschritt gebildet wird, auffälliger gemacht werden. Daher kann der erhöhte Teil 54 selbst in einem Zustand ausgeprägter gemacht werden, in dem die untere Schutzschicht 17 ferner gebildet ist.
  • Da der erhöhte Teil 54 besonders errichtet ist, ist es dann einfach, das erhöhte Ende des erhöhten Teils 54 in der unteren Schutzschicht 17 zu der Zeit des Trockenätzens des Fotolacks zu erkennen.
  • [8 Siebte Ausführungsform]
  • Die Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform und den Modifikationsbeispielen davon kann die zweite Ausführungsform bis die sechste Ausführungsform kombinieren (Siebte Ausführungsform). Die siebte Ausführungsform ist eine Kombination aus der ersten Ausführungsform und der zweiten bis sechsten Ausführungsform, aber dies beschränkt die Kombination der Ausführungsformen in der vorliegenden Schrift nicht.
  • (Kombination der ersten Ausführungsform und zweiten Ausführungsform)
  • Falls die Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform mit der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform kombiniert wird, ist in der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform der Verbindungsteil 18 so bereitgestellt, dass er das Lichtemissionsgebiet P des Lichtemissionselements 13 umgibt, ist die Seitenwandschutzschicht 16 zwischen den angrenzenden Lichtemissionselementen 13 bereitgestellt und ist der Innenteil des Verbindungsteils 18 so konfiguriert, dass er einen Brechungsindex aufweist, der von dem Brechungsindex der Seitenwandschutzschicht 16 verschieden ist. Des Weiteren können das erste bis dritte Modifikationsbeispiel der Anzeigevorrichtung 10B gemäß der zweiten Ausführungsform mit der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform kombiniert werden. Das heißt, dass zum Beispiel der Verbindungsteil 18 durch den Via 31, ähnlich dem Verbindungsteil 30, konfiguriert werden kann.
  • (Kombination der ersten Ausführungsform und dritten Ausführungsform)
  • Die Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform und dem ersten Modifikationsbeispiel davon kann mit der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform kombiniert werden. Das heißt, dass in der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform in der Seitenwandschutzschicht 16 der erste Brechungsindexteil 33 von der Seite näher an dem Lichtemissionselement 13 an der Position des Seitengebiets M des Lichtemissionselements 13 gebildet sein kann und der zweite Brechungsindexteil 34 mit einem niedrigeren Brechungsindexteil außerhalb des ersten Brechungsindexteil 33 gebildet sein kann. Auch in der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform, bei der die Anzeigevorrichtung 10C gemäß der dritten Ausführungsform kombiniert ist, sind, ähnlich der dritten Ausführungsform, der erste Brechungsindexteil 33 und der zweite Brechungsindexteil 34 auf dem Seitenteil des Lichtemissionselements 13 gebildet, so dass eine Lichtnutzungseffizienz verbessert werden kann.
  • (Kombination der ersten Ausführungsform und vierten Ausführungsform)
  • Des Weiteren kann die Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform mit der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform kombiniert werden. Auch in diesem Fall kann, solange die Metallschicht 46 zwischen den angrenzenden Verbindungsteilen 18 gebildet ist, die Metallschicht 46 in der Seitenwandschutzschicht 16 vergraben werden.
  • Auch in der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform, in der die Anzeigevorrichtung 10D gemäß der vierten Ausführungsform kombiniert ist, ist es, ähnlich der vierten Ausführungsform, möglich, den Defekt des leitfähigen Zustands aufgrund des Trennungsdefekts des Verbindungsteils zu unterdrücken.
  • (Kombination der ersten Ausführungsform und fünften Ausführungsform)
  • Die Anzeigevorrichtung 10E gemäß der fünften Ausführungsform kann mit der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform kombiniert werden. Als ein Beispiel für diesen Fall ist es nur erforderlich, dass die Elementschutzschicht 15 auf der ersten Oberfläche des Peripherierandinnenteils 50 gebildet wird, der innerhalb der Anodenelektrode gebildet ist, und der Verbindungsteil 18 kann entlang der Seitenwand 15A der Elementschutzschicht 15 gebildet werden.
  • Die Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform, in der die fünfte Ausführungsform kombiniert ist, kann auch die ähnlichen Effekte zu jenen der fünften Ausführungsform erhalten.
  • (Kombination der ersten Ausführungsform und sechsten Ausführungsform)
  • Wenn das Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung 10A gemäß der ersten Ausführungsform in Kombination mit der fünften Ausführungsform durchgeführt wird, kann das Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform durchgeführt werden.
  • [7 Anwendungsbeispiel]
  • (Elektronische Einrichtung)
  • Eine Anzeigevorrichtung 10 gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungsformen kann in verschiedenen elektronische Einrichtungen bereitgestellt werden. Insbesondere wird diese bevorzugt in einem elektronischen Sucher einer Videokamera oder einer Spiegelreflexkamera, einer am Kopf befestigten Anzeige oder dergleichen, bei der eine hohe Auflösung erforderlich ist und die zur Vergrößerung nahe den Augen verwendet wird, bereitgestellt. Es wird angemerkt, dass in der Beschreibung des vorliegenden Anwendungsbeispiels die Anzeigevorrichtungen (die Anzeigevorrichtung 10A und dergleichen) gemäß der ersten bis siebten Ausführungsform gemeinsam als eine Anzeigevorrichtung 10 bezeichnet werden.
  • (Erstes spezielles Beispiel)
  • 44A ist eine Vorderansicht, die ein Beispiel für ein externes Aussehen einer digitalen Fotokamera 310 veranschaulicht. 44B ist eine Hinteransicht, die ein Beispiel für ein externes Aussehen der digitalen Fotokamera 310 veranschaulicht. Die digitale Fotokamera 310 ist von einem Spiegelreflextyp mit Wechselobjektiv und beinhaltet eine Wechselbildgebungsobjektiveinheit (Wechselobjektiv) 312 im Wesentlichen in dem Zentrum vor einem Kamerahauptkörper (Kamerakörper) 311 und einen Griff 313, der durch eine das Bild aufnehmende Person zu halten ist, auf einer vorderen linken Seite.
  • Ein Monitor 314 ist an einer Position bereitgestellt, die von dem Zentrum einer hinteren Oberfläche des Kamerahauptkörpers 311 nach links verschoben ist. Ein elektronischer Sucher (Okularfenster) 315 ist oberhalb des Monitors 314 bereitgestellt. Durch Blicken durch den elektronischen Sucher 315 kann der Fotograf ein Lichtbild eines Motivs, das von der Bildgebungsobjektiveinheit 312 geleitet wird, visuell bestätigen und eine Komposition bestimmen. Als der elektronische Sucher 315 kann eine beliebige Anzeigevorrichtung 10 gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungsform und Modifikationsbeispiele davon verwendet werden.
  • (Zweites spezielles Beispiel)
  • 45 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel für ein externes Aussehen einer am Kopf befestigten Anzeige 320 veranschaulicht. Die am Kopf befestigte Anzeige 320 beinhaltet zum Beispiel Ohrenbügelteile 322, die an dem Kopf des Benutzers zu tragen sind, auf beiden Seiten einer brillenförmigen Anzeigeeinheit 321. Als die Anzeigeeinheit 321 kann eine beliebige Anzeigevorrichtung 10 gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungsform und Modifikationsbeispielen davon verwendet werden.
  • (Drittes spezielles Beispiel)
  • 46 ist eine perspektivische Ansicht, die ein Beispiel für ein externes Aussehen der Fernsehvorrichtung 330 veranschaulicht. Die Fernsehvorrichtung 330 beinhaltet zum Beispiel eine Videoanzeigebildschirmeinheit 331 einschließlich eines vorderen Panels 332 und eines Filterglases 333 und die Videoanzeigebildschirmeinheit 331 beinhaltet eine beliebige Anzeigevorrichtung 10 gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungsformen und Modifikationen davon.
  • Obwohl die Anzeigevorrichtung, das Herstellungsverfahren und das Anwendungsbeispiel gemäß der ersten bis siebten Ausführungsform und den Modifikationsbeispielen der vorliegenden Offenbarung zuvor speziell beschrieben wurden, ist die vorliegende Offenbarung nicht auf die Anzeigevorrichtung und das Anwendungsbeispiel gemäß der ersten bis siebten Ausführungsform und den Modifikationsbeispielen, die zuvor beschrieben wurden, beschränkt, und verschiedene Modifikationen basierend auf der technischen Idee der vorliegenden Offenbarung sind möglich.
  • Zum Beispiel sind die Konfigurationen, Verfahren, Schritte, Formen, Materialien, numerischen Werte und dergleichen, die bei der Anzeigevorrichtung, dem Herstellungsverfahren und dem Anwendungsbeispiel gemäß der ersten bis siebten Ausführungsform und den Modifikationsbeispielen beschrieben sind, die zuvor beschrieben wurden, lediglich Beispiele und Konfigurationen, Verfahren, Schritte, Formen, Materialien, numerische Werte und dergleichen, die sich von jenen zuvor beschriebenen unterscheiden, können nach Bedarf verwendet werden.
  • Die Konfigurationen, Verfahren, Schritte, Formen, Materialien, numerischen Werte und dergleichen der Anzeigevorrichtung, des Herstellungsverfahrens und des Anwendungsbeispiels gemäß der ersten Ausführungsform bis zur siebten Ausführungsform und den Modifikationsbeispielen, die zuvor beschrieben wurden, können miteinander kombiniert werden, ohne von dem Wesen der vorliegenden Offenbarung abzuweichen.
  • Die Materialien, die in der Anzeigevorrichtung, dem Herstellungsverfahren und dem Anwendungsbeispiel gemäß der ersten bis siebten Ausführungsform und den Modifikationsbeispielen, die zuvor beschrieben wurden, exemplarisch genannt sind, können allein oder in Kombination von zwei oder mehr verwendet werden, sofern nichts anderes angegeben ist.
  • Ferner kann die vorliegende Offenbarung auch die folgenden Konfigurationen annehmen.
    1. (1) Eine Anzeigevorrichtung, die Folgendes beinhaltet:
      • mehrere Subpixel;
      • mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Schicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Schicht und die erste Kathodenelektrode in jedes der mehreren Subpixel separiert sind;
      • eine Elementschutzschicht, die die erste Kathodenelektrode bedeckt;
      • eine zweite Kathodenelektrode, die auf der Elementschutzschicht bereitgestellt ist; und
      • einen Verbindungsteil, der die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbindet,
      • wobei der Verbindungsteil entlang einer Seitenwand der Elementschutzschicht gebildet ist.
    2. (2) Die Anzeigevorrichtung nach (1), die zuvor beschrieben wurde, wobei der Verbindungsteil ein Element beinhaltet, das die erste Kathodenelektrode bildet.
    3. (3) Die Anzeigevorrichtung nach (1) oder (2), die zuvor beschrieben wurde, wobei die Seitenwand der Elementschutzschicht nicht sich verjüngend ist.
    4. (4) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (3), die zuvor beschrieben wurde, wobei eine Seitenoberfläche des Verbindungsteils mit der zweiten Kathodenelektrode verbunden ist.
    5. (5) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (4), die zuvor beschrieben wurde, wobei eine Lichtemissionsfarbe jedes von mehreren der Lichtemissionselemente einem Farbtyp entspricht, der jeder von Lichtemissionsfarben der mehreren Subpixel entspricht, und in jedem der Subpixel eine Lichtemissionsfarbe des Lichtemissionselements ein Farbtyp ist, der einer Lichtemissionsfarbe des Subpixels entspricht.
    6. (6) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (4), die zuvor beschrieben wurde, wobei eine Lichtemissionsfarbe der mehreren Lichtemissionselemente weiß ist.
    7. (7) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (6), die zuvor beschrieben wurde, die ferner Folgendes beinhaltet:
      • eine Farbfilterschicht.
    8. (8) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (7), die zuvor beschrieben wurde, wobei jedes der mehreren Lichtemissionselemente und die zweite Kathodenelektrode eine Resonatorstruktur bilden.
    9. (9) Die Anzeigevorrichtung nach (8), die zuvor beschrieben wurde, wobei die zweite Kathodenelektrode eine Semi-Transmission-Reflexion-Schicht beinhaltet.
    10. (10) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (9), die zuvor beschrieben wurde, wobei der Verbindungsteil so bereitgestellt ist, dass er eine Peripherie von jedem von Lichtemissionsgebieten der mehreren Lichtemissionselemente umgibt, und ein Innenteil des Verbindungsteils einen Brechungsindex verschieden von einem Brechungsindex der Elementschutzschicht aufweist.
    11. (11) Die Anzeigevorrichtung nach (10), die zuvor beschrieben wurde, wobei der Innenteil des Verbindungsteils ein Raumteil ist.
    12. (12) Die Anzeigevorrichtung nach (10) oder (11), die zuvor beschrieben wurde, wobei der Verbindungsteil einen Via beinhaltet, und eine Via-Spalte, in der mehrere der Vias angeordnet sind, gebildet ist.
    13. (13) Die Anzeigevorrichtung nach (12), die zuvor beschrieben wurde, wobei für jedes Lichtemissionselement, das die mehreren Lichtemissionselemente darstellt, ein Rastermaß der mehreren Vias, die ein Lichtemissionsgebiet des jeweiligen Lichtelements umgeben, kleiner als eine Spitzenwellenlänge ist, die Emissionslicht von dem jeweiligen Lichtemissionselement entspricht.
    14. (14) Die Anzeigevorrichtung nach (13), die zuvor beschrieben wurde, die ferner Folgendes beinhaltet:
      • eine Seitenwandschutzschicht, die kontinuierlich mit der Elementschutzschicht ist,
      • wobei die Via-Spalten in mehreren Spalten angeordnet sind, und
      • ein Teil, der die Seitenwandschutzschicht bildet, und die Vias periodisch und wiederholt mit einer Periode kleiner als die Spitzenwellenlänge des Emissionslichts von dem Lichtemissionselement angeordnet sind.
    15. (15) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (14), die zuvor beschrieben wurde, die ferner Folgendes beinhaltet:
      • eine Seitenwandschutzschicht, die zwischen den aneinander angrenzenden Lichtemissionselementen bereitgestellt ist,
      • wobei in der Seitenwandschutzschicht ein erster Brechungsindexteil von einer Seite näher zu den Lichtemissionselementen und ein zweiter Brechungsindexteil mit einem niedrigeren Brechungsindex außerhalb des ersten Brechungsindexteils in einem Seitengebiet der Lichtemissionselemente gebildet sind.
    16. (16) Die Anzeigevorrichtung nach (15), die zuvor beschrieben wurde, wobei der zweite Brechungsindexteil ein Raumteil ist.
    17. (17) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (16), die zuvor beschrieben wurde, wobei eine Metallschicht zwischen den aneinander angrenzenden Verbindungsteilen eingefüllt wird, die mit der ersten Kathodenelektrode der aneinander angrenzenden Lichtemissionselemente verbunden sind.
    18. (18) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (17), die zuvor beschrieben wurde, die ferner Folgendes beinhaltet:
      • eine Isolationsschicht, die eine Öffnung beinhaltet, auf den aneinander angrenzenden Anodenelektroden angeordnet ist und einen Peripherierandteil jeder der Anodenelektroden bedeckt,
      • wobei ein Öffnungsendrand der Öffnung auf der Anodenelektrode angeordnet ist,
      • eine laminierte Struktur aus der organischen Schicht und der ersten Kathodenelektrode in einen Peripherierandinnenteil und einen Außenrandteil an einer vorbestimmten Position innerhalb des Öffnungsendrandes separiert ist, und
      • der Verbindungsteil mit der ersten Kathodenelektrode des Peripherierandinnenteils verbunden ist.
    19. (19) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (17), die zuvor beschrieben wurde, wobei eine laminierte Struktur aus der organischen Schicht und der ersten Kathodenelektrode in einem vorbestimmten Gebiet innerhalb eines Endteils der Anodenelektrode gebildet ist, und ein Seitenwandteil auf einer Seite einer Seitenwandoberfläche der laminierten Struktur gebildet ist.
    20. (20) Eine elektronische Einrichtung, die Folgendes beinhaltet:
      • eine Anzeigevorrichtung nach einem von (1) bis (19), die zuvor beschrieben wurde.
  • Des Weiteren kann gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung auch die folgende Konfiguration angenommen werden.
  • (21) Eine Anzeigevorrichtung, die Folgendes beinhaltet:
    • mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Schicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Schicht und die erste Kathodenelektrode für jedes Subpixel separiert sind;
    • eine Schutzschicht, die die Lichtemissionselemente bedeckt; und
    • eine zweite Kathodenelektrode, die auf der Schutzschicht bereitgestellt ist,
    • wobei ein Verbindungsteil, der die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbindet, so bereitgestellt ist, dass er eine Peripherie eines Lichtemissionsgebiets der Lichtemissionselemente umgibt.
  • (22) Die Anzeigevorrichtung nach (21), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    ein Innenteil des Verbindungsteils einen Brechungsindex verschieden von einem Brechungsindex der Schutzschicht aufweist.
  • (23) Die Anzeigevorrichtung nach (21), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    ein Innenteil des Verbindungsteils ein Raumteil ist.
  • (24) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (21) bis (23), die zuvor beschrieben wurde, wobei der Verbindungsteil einen Via beinhaltet, und eine Via-Spalte, in der mehrere der Vias angeordnet sind, gebildet ist.
  • (25) Die Anzeigevorrichtung nach (24), die zuvor beschrieben wurde, die ferner Folgendes beinhaltet:
    • mehrere Subpixel, die jeweils mehreren Farbtypen entsprechen,
    • wobei der Verbindungsteil für jedes der Subpixel bereitgestellt ist, und
    • ein Rastermaß der aneinander angrenzenden Vias, die die Via-Spalte bilden, gemäß den Farbtypen der Subpixel variiert.
  • (26) Die Anzeigevorrichtung nach (25), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    für jedes Lichtemissionselement, das die mehreren Lichtemissionselemente darstellt, ein Rastermaß der mehreren Vias, die ein Lichtemissionsgebiet des jeweiligen Lichtelements umgeben, kleiner als eine Spitzenwellenlänge ist, die Emissionslicht von dem jeweiligen Lichtemissionselement entspricht.
  • (27) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (24) bis (26), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    die Via-Spalten in mehreren Spalten angeordnet sind.
  • (28) Die Anzeigevorrichtung nach (27), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    ein Teil, der die Schutzschicht bildet, und die Vias periodisch und wiederholt mit einer Periode kleiner als die Spitzenwellenlänge des Emissionslichts von dem Lichtemissionselement angeordnet sind.
  • (29) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (21) bis (28), die zuvor beschrieben wurde, die ferner Folgendes beinhaltet:
    • eine Isolationsschicht, die eine Öffnung beinhaltet und auf aneinander angrenzenden Elektroden der Anode angeordnet ist,
    • wobei die Öffnung auf einer Oberfläche jeder der Anodenelektroden gebildet ist, und
    • der Verbindungsteil auf einer Position eines Öffnungsendteils der Öffnung gebildet ist.
  • Des Weiteren kann gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung auch die folgende Konfiguration angenommen werden.
  • (30) Eine Anzeigevorrichtung, die Folgendes beinhaltet:
    • mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Schicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Schicht und die erste Kathodenelektrode für jedes Subpixel separiert sind;
    • eine Schutzschicht, die einen Raum zwischen den angrenzenden Lichtemissionselementen füllt; und
    • eine zweite Kathodenelektrode, die auf der Schutzschicht bereitgestellt ist,
    • wobei die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbunden sind, und
    • ein erster Brechungsindexteil von einer Seite näher zu den Lichtemissionselementen und ein zweiter Brechungsindexteil mit einem niedrigeren Brechungsindex außerhalb des ersten Brechungsindexteils in der Schutzschicht an Positionen von Seitenteilen der Lichtemissionselemente gebildet sind.
  • (31) Die Anzeigevorrichtung nach (30), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    der zweite Brechungsindexteil ein Raumteil ist.
  • (32) Die Anzeigevorrichtung nach (30) oder (31), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    eine Richtung einer Lichtemissionsoberfläche jedes der Lichtemissionselemente eine Richtung von der Anodenelektrode zu der ersten Kathodenelektrode hin ist.
  • (33) Die Anzeigevorrichtung nach einem von (30) bis (32), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    ein dritter Brechungsindexteil um die Anodenelektrode herum in der Schutzschicht gebildet ist.
  • Gemäß der vierten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung können auch die folgende Konfiguration angenommen werden.
  • (34) Eine Anzeigevorrichtung, die Folgendes beinhaltet:
    • mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Schicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Schicht und die erste Kathodenelektrode für jedes Subpixel separiert sind;
    • eine Schutzschicht, die die Lichtemissionselemente bedeckt;
    • eine zweite Kathodenelektrode, die auf der Schutzschicht bereitgestellt ist; und
    • einen Verbindungsteil, der die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbindet,
    • wobei eine Metallschicht zwischen den aneinander angrenzenden Verbindungsteilen eingefüllt wird, die mit der ersten Kathodenelektrode der aneinander angrenzenden Lichtemissionselemente verbunden sind.
  • (35) Die Anzeigevorrichtung nach (34), die zuvor beschrieben wurde, wobei eine Metall-Halogen-Verbindung, die die Metallschicht bildet, einen Siedepunkt von 100 °C oder niedriger unter Vakuumbedingungen aufweist.
  • Gemäß der fünften Ausführungsform und der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung können auch die folgende Konfiguration angenommen werden.
  • (36) Eine Anzeigevorrichtung, die Folgendes beinhaltet:
    • mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Schicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Schicht und die erste Kathodenelektrode für jedes Subpixel separiert sind;
    • eine Isolationsschicht, die eine Öffnung beinhaltet, auf den aneinander angrenzenden Anodenelektroden angeordnet ist und einen Peripherierandteil jeder der Anodenelektroden bedeckt;
    • eine Schutzschicht, die die Lichtemissionselemente bedeckt;
    • eine zweite Kathodenelektrode, die auf der Schutzschicht bereitgestellt ist; und
    • einen Verbindungsteil, der die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbindet,
    • wobei ein Öffnungsendrand der Öffnung auf der Anodenelektrode angeordnet ist,
    • eine laminierte Struktur aus der organischen Schicht und der ersten Kathodenelektrode in einen Peripherierandinnenteil und einen Außenrandteil an einer vorbestimmten Position innerhalb des Öffnungsendrandes separiert ist, und
    • der Verbindungsteil mit der ersten Kathodenelektrode des Peripherierandinnenteils verbunden ist.
  • (37) Mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Schicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Schicht und die erste Kathodenelektrode für jedes Subpixel separiert sind;
    eine Schutzschicht, die das Lichtemissionselement bedeckt;
    eine zweite Kathodenelektrode, die auf der Schutzschicht bereitgestellt ist; und
    einen Verbindungsteil, der die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbindet, werden bereitgestellt,
    eine laminierte Struktur aus der organischen Schicht und der ersten Kathodenelektrode in einem vorbestimmten Gebiet innerhalb eines Endteils der Anodenelektrode gebildet ist, und
    ein Seitenwandteil auf einer Seite einer Seitenwandoberfläche der laminierten Struktur gebildet ist.
  • (38) Die Anzeigevorrichtung nach (36), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    eine Gesamtdicke der Anodenelektrode, der organischen Schicht und der Schutzschicht an einer Position eines Außenperipherieendteils des Peripherieinnenteils konstant ist.
  • (39) Die Anzeigevorrichtung nach (36) bis (38), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    in der Anodenelektrode eine Kontaktoberfläche zwischen der Anodenelektrode und der organischen Schicht planar ist.
  • (40) Die Anzeigevorrichtung nach (36) oder (37), die zuvor beschrieben wurde, wobei
    in der Anodenelektrode eine Kontaktoberfläche zwischen der Anodenelektrode und der organischen Schicht eine gekrümmte Oberfläche ist.
  • (41) Ein Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung, wobei das Verfahren die folgenden Schritte beinhaltet:
    • sequentielles Bilden einer Anodenelektrode, einer organischen Schicht, einer ersten Kathodenelektrode und einer Schutzschicht;
    • Aufbringen eines Fotolacks auf der Schutzschicht; Ätzen des Fotolacks;
    • Stoppen des Ätzens des Fotolacks, wenn die Schutzschicht freigelegt wird; und
    • Ätzen der organischen Schicht, der ersten Kathodenelektrode und der Schutzschicht unter Verwendung des Fotolacks als eine Maske.
  • Gemäß der zweiten bis sechsten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung kann auch die folgende Konfiguration angenommen werden.
  • (42) Eine elektronische Einrichtung, die die Anzeigevorrichtung nach einem von (21) bis (41) beinhaltet, die zuvor beschrieben wurde.
  • BEZUGSZEICHENLISTE
    • 10A
    Anzeigevorrichtung
    10B
    Anzeigevorrichtung
    10e
    Anzeigevorrichtung
    10D
    Anzeigevorrichtung
    10E
    Anzeigevorrichtung
    11
    Ansteuerungssubstrat
    13
    Lichtemissionselement
    14
    Isolationsschicht
    14A
    Öffnung
    15
    Elementschutzschicht
    15A
    Seitenwand
    16
    Seitenwandschutzschicht
    17
    Untere Schutzschicht
    18
    Verbindungsteil
    19
    Obere Schutzschicht
    20
    Füllharzschicht
    21
    Gegensubstrat
    31
    Via
    32
    Via-Spalte
    33
    Erster Brechungsindexteil
    34
    Zweiter Brechungsindexteil
    46
    Metallschicht
    50
    Peripherierandinnenteil
    51
    Außenrandteil
    52
    Laminierte Struktur
    52A
    Seitenwand
    53
    Erhöhter Teil
    54
    Erhöhter Teil
    60
    Seitenwandteil
    101
    Subpixel
    131
    Organische Schicht
    132
    Erste Kathodenelektrode
    132A
    Außenperipherieendteil
    132B
    Seitenwand
    134
    Zweite Kathodenelektrode
    140
    Öffnungsendrand
    141
    Außenperipherie
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2016021380 [0004]

Claims (20)

  1. Anzeigevorrichtung, die Folgendes umfasst: mehrere Subpixel; mehrere Lichtemissionselemente, die eine Anodenelektrode, eine organische Schicht und eine erste Kathodenelektrode beinhalten, wobei die Anodenelektrode, die organische Schicht und die erste Kathodenelektrode in jedes der mehreren Subpixel separiert sind; eine Elementschutzschicht, die die erste Kathodenelektrode bedeckt; eine zweite Kathodenelektrode, die auf der Elementschutzschicht bereitgestellt ist; und einen Verbindungsteil, der die zweite Kathodenelektrode und die erste Kathodenelektrode elektrisch verbindet, wobei der Verbindungsteil entlang einer Seitenwand der Elementschutzschicht gebildet ist.
  2. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Verbindungsteil ein Element beinhaltet, das die erste Kathodenelektrode bildet.
  3. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Seitenwand der Elementschutzschicht nicht sich verjüngend ist.
  4. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei eine Seitenoberfläche des Verbindungsteils mit der zweiten Kathodenelektrode verbunden ist.
  5. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei eine Lichtemissionsfarbe jedes von mehreren der Lichtemissionselemente einem Farbtyp entspricht, der jeder von Lichtemissionsfarben der mehreren Subpixel entspricht.
  6. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei eine Lichtemissionsfarbe der mehreren Lichtemissionselemente weiß ist.
  7. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, die ferner Folgendes umfasst: eine Farbfilterschicht.
  8. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei jedes der mehreren Lichtemissionselemente und die zweite Kathodenelektrode eine Resonatorstruktur bilden.
  9. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, wobei die zweite Kathodenelektrode eine Semi-Transmission-Reflexion-Schicht beinhaltet.
  10. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Verbindungsteil so bereitgestellt ist, dass er eine Peripherie von jedem von Lichtemissionsgebieten der mehreren Lichtemissionselemente einzeln umgibt, und ein Innenteil des Verbindungsteils einen Brechungsindex verschieden von einem Brechungsindex der Elementschutzschicht aufweist.
  11. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei der Innenteil des Verbindungsteils ein Raumteil ist.
  12. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei der Verbindungsteil einen Via beinhaltet, und eine Via-Spalte, in der mehrere der Vias angeordnet sind, gebildet ist.
  13. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 12, wobei für jedes Lichtemissionselement, das die mehreren Lichtemissionselemente darstellt, ein Rastermaß der mehreren Vias, die ein Lichtemissionsgebiet des jeweiligen Lichtelements umgeben, kleiner als eine Spitzenwellenlänge ist, die Emissionslicht von dem jeweiligen Lichtemissionselement entspricht.
  14. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 13, die ferner Folgendes umfasst: eine Seitenwandschutzschicht, die kontinuierlich mit der Elementschutzschicht ist, wobei die Via-Spalten in mehreren Spalten angeordnet sind, und ein Teil, der die Seitenwandschutzschicht bildet, und die Vias periodisch und wiederholt mit einer Periode kleiner als die Spitzenwellenlänge des Emissionslichts von dem Lichtemissionselement angeordnet sind.
  15. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, die ferner Folgendes umfasst: eine Seitenwandschutzschicht, die zwischen den aneinander angrenzenden Lichtemissionselementen bereitgestellt ist, wobei in der Seitenwandschutzschicht ein erster Brechungsindexteil von einer Seite näher zu den Lichtemissionselementen und ein zweiter Brechungsindexteil mit einem niedrigeren Brechungsindex außerhalb des ersten Brechungsindexteils in einem Seitengebiet der Lichtemissionselemente gebildet sind.
  16. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 15, wobei der zweite Brechungsindexteil ein Raumteil ist.
  17. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei eine Metallschicht zwischen den aneinander angrenzenden Verbindungsteilen eingefüllt wird, die mit der ersten Kathodenelektrode der aneinander angrenzenden Lichtemissionselemente verbunden sind.
  18. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, die ferner Folgendes umfasst: eine Isolationsschicht, die eine Öffnung beinhaltet, auf den aneinander angrenzenden Anodenelektroden angeordnet ist und einen Peripherierandteil jeder der Anodenelektroden bedeckt, wobei ein Öffnungsendrand der Öffnung auf der Anodenelektrode angeordnet ist, eine laminierte Struktur aus der organischen Schicht und der ersten Kathodenelektrode in einen Peripherierandinnenteil und einen Außenrandteil an einer vorbestimmten Position innerhalb des Öffnungsendrandes separiert ist, und der Verbindungsteil mit der ersten Kathodenelektrode des Peripherierandinnenteils verbunden ist.
  19. Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei eine laminierte Struktur aus der organischen Schicht und der ersten Kathodenelektrode in einem vorbestimmten Gebiet innerhalb eines Endteils der Anodenelektrode gebildet ist, und ein Seitenwandteil auf einer Seite einer Seitenwandoberfläche der laminierten Struktur gebildet ist.
  20. Elektronische Einrichtung, die Folgendes umfasst: eine Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1.
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