DE112020006612T5 - Vorrichtung zur messung dreidimensionaler form, verfahren zur messung dreidimensionaler form und programm - Google Patents
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Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020-011895 | 2020-01-28 | ||
JP2020011895A JP7459525B2 (ja) | 2020-01-28 | 2020-01-28 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及びプログラム |
PCT/JP2020/046679 WO2021153057A1 (ja) | 2020-01-28 | 2020-12-15 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測方法及びプログラム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE112020006612T5 true DE112020006612T5 (de) | 2022-11-10 |
Family
ID=77079296
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE112020006612.6T Pending DE112020006612T5 (de) | 2020-01-28 | 2020-12-15 | Vorrichtung zur messung dreidimensionaler form, verfahren zur messung dreidimensionaler form und programm |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7459525B2 (ja) |
CN (1) | CN114867985A (ja) |
DE (1) | DE112020006612T5 (ja) |
WO (1) | WO2021153057A1 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016011857A (ja) | 2014-06-27 | 2016-01-21 | オムロン株式会社 | 基板検査装置及びその制御方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003172709A (ja) | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Asia Electronics Inc | 検査装置 |
DE102004020419B3 (de) | 2004-04-23 | 2005-10-20 | 3D Shape Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Form und der lokalen Oberflächennormalen spiegelnder Oberflächen |
JP2008216180A (ja) | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Omron Corp | 表面状態検査方法および表面状態検査装置 |
JP6607161B2 (ja) * | 2016-09-15 | 2019-11-20 | トヨタ自動車株式会社 | 車載電池システムの制御方法 |
JP6848385B2 (ja) | 2016-11-18 | 2021-03-24 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置 |
JP6904263B2 (ja) | 2018-01-10 | 2021-07-14 | オムロン株式会社 | 画像処理システム |
-
2020
- 2020-01-28 JP JP2020011895A patent/JP7459525B2/ja active Active
- 2020-12-15 WO PCT/JP2020/046679 patent/WO2021153057A1/ja active Application Filing
- 2020-12-15 CN CN202080090621.7A patent/CN114867985A/zh active Pending
- 2020-12-15 DE DE112020006612.6T patent/DE112020006612T5/de active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016011857A (ja) | 2014-06-27 | 2016-01-21 | オムロン株式会社 | 基板検査装置及びその制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021117157A (ja) | 2021-08-10 |
CN114867985A (zh) | 2022-08-05 |
JP7459525B2 (ja) | 2024-04-02 |
WO2021153057A1 (ja) | 2021-08-05 |
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