DE112018001510T5

DE112018001510T5 - Vorrichtung zur messung einer physikalischen grösse und verfahren zur herstellung einer vorrichtung zur messung einer physikalischen grösse

Info

Publication number: DE112018001510T5
Application number: DE112018001510.6T
Authority: DE
Inventors: Hidehito TSUJII; Shinichi Kamiya; Keisuke Itakura
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2017-03-21
Filing date: 2018-03-07
Publication date: 2020-03-19
Also published as: JP2018155700A; US11002581B2; WO2018173741A1; US20190390992A1; JP6572929B2

Abstract

Eine Vorrichtung (14, 60, 80) zum Messen einer physikalischen Größe eines Fluids beinhaltet ein Gehäuse (21, 61, 81), das einen von einem Fluid durchströmten Bypass-Strömungskanal (31, 32, 71, 91, 92, 95) und eine Einheit (22, 62, 82, 97, 98) zum Erfassen einer physikalischen Größe des Fluids im Bypass-Strömungskanal beinhaltet. Das Gehäuse beinhaltet einen Gehäusehauptkörper (41, 61a, 81a) aus einem Dielektrikum und eine Deckfolie (42), die mindestens einen Teil einer Oberfläche (41a, 41b) des Gehäusehauptkörpers abdeckt, und die Oberfläche des Gehäuses ist positiv geladen, da positive Ladungen (45) im Gehäusehauptkörper entlang der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers oder in der Deckschicht entlang einer Oberfläche der Deckschicht angeordnet sind.

Description

QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANWENDUNGEN
Diese Anmeldung basiert auf der am 21. März 2017 eingereichten japanischen Patentanmeldung Nr. 2017-54770, deren gesamter Inhalt durch Bezugnahme in diese Anmeldung aufgenommen wird, und beansprucht deren Prioritätsrecht.
TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Offenbarung bezieht sich auf eine physikalische Größenmessvorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung der physikalischen Größenmessvorrichtung.
STAND DER TECHNIK
Als physikalische Größenmessvorrichtung zum Messen einer physikalischen Größe, zum Beispiel eines Fluids, offenbart die Patentliteratur 1 eine physikalische Größenmessvorrichtung zum Messen einer Durchflussrate einer in einen Verbrennungsmotor eingeleiteten Ansaugluft. Die physikalische Größenmessvorrichtung weist einen gekrümmten Kanal auf, durch den das Fluid strömt, und ein Durchflussratemesselement, das in dem gekrümmten Kanal vorgesehen ist. Wenn in der Patentliteratur 1 Fremdkörper wie Staub in den gekrümmten Kanal eindringen und zusammen mit dem Fluid mit dem Durchflussratemesselement kollidieren, kann das Durchflussmesselement in Abhängigkeit von einer Größe und einer Geschwindigkeit des Fremdkörpers beschädigt werden.
Als Gegenmaßnahme zum oben genannten Nachteil weist eine Innenwandfläche des gekrümmten Kanal eine raue Oberfläche auf, wodurch der in den gekrümmten Kanal eingedrungene Fremdkörper mit der rauen Oberfläche kollidiert und eine Bewegungsrichtung ändert, wodurch die Geschwindigkeit verringert wird, was zu einer Verringerung der kinetischen Energie führt. Wie vorstehend beschrieben, wird in der Patentliteratur 1, selbst wenn die Fremdkörper mit dem Durchflussmesselement kollidieren, die Beschädigung des Durchflussratemesselements verhindert.
LITERATUR DES STANDS DER TECHNIK
PATENTLITERATUR
Patentliteratur 1: JP 4553898 B2
Wenn jedoch der Fremdkörper in den gekrümmten Kanal eintritt, wenn eine elektrische Anziehungskraft zwischen dem Fremdkörper und einer physikalischen Größenerfassungseinheit, wie beispielsweise dem Durchflussratemesselement, erzeugt wird, neigt der Fremdkörper dazu, an der physikalischen Größenerfassungseinheit zu haften, wodurch die Möglichkeit besteht, dass eine Erfassungsgenauigkeit der physikalischen Größe verringert werden kann. Aus diesem Grund wird beispielsweise, wie in der Patentliteratur 1 offenbart, bei einer Verringerung der Geschwindigkeit der Fremdkörper im gekrümmten Kanal davon ausgegangen, dass die Fremdkörper eher an der physikalischen Größenerfassungseinheit haften, auch wenn die Beschädigung der physikalischen Größenerfassungseinheit durch die Kollision der Fremdkörper verhindert werden kann.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Offenbarung wurde im Hinblick auf die oben genannten Probleme erstellt, und eine Aufgabe der vorliegenden Offenbarung ist es, eine Vorrichtung zur Messung der physikalischen Größe bereitzustellen, die in der Lage ist, die angemessene Erkennungsgenauigkeit einer Einheit zur Erkennung der physikalischen Größe aufrechtzuerhalten.
Um das obige Ziel zu erreichen, wird gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Offenbarung eine Vorrichtung zur Messung der physikalischen Größe eines Fluids eingesetzt, die ein Gehäuse beinhaltet, das einen von einem Fluid durchströmten Bypass-Strömungskanal und eine Einheit zur Erfassung der physikalischen Größe beinhaltet, die eine physikalische Größe des Fluids im Bypass-Strömungskanal erfasst, wobei das Gehäuse einen Gehäusehauptkörper aus einem Dielektrikum und eine Deckfolie beinhaltet, die mindestens einen Teil einer Oberfläche des Gehäusehauptkörpers abdeckt bzw. bedeckt, und wobei die Oberfläche des Gehäuses positiv geladen ist, da positive Ladungen im Gehäusehauptkörper entlang der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers angeordnet sind, oder wobei die positiven Ladungen in der Deckfolie entlang einer Oberfläche der Deckfolie angeordnet sind.
Wenn ein Fluid, das um das physikalische Größenmessvorrichtung herum strömt, mit einem Fremdkörper wie Sand vermischt wird, der leicht positiv geladen ist, wird davon ausgegangen, dass der Fremdkörper leicht positiv geladen ist und das Gehäuse leicht negativ geladen ist, zusammen mit einem Kontakt zwischen dem Gehäuse der physikalischen Größenmessvorrichtung und dem Fremdkörper. Wenn das Gehäuse negativ geladen ist, wird die physikalische Größenerfassungseinheit durch die Übertragung der elektrischen Ladung in der physikalischen Größenmesseinrichtung leicht negativ geladen. Wenn in diesem Beispiel ein bereits positiv geladener Fremdkörper wie Sand zusammen mit dem Fluid in einen Bypass-Strömungskanal eintritt und sich der Fremdkörper der physikalischen Größenerfassungseinheit nähert, wird eine elektrische Anziehungskraft zwischen dem Fremdkörper und der physikalischen Größenerfassungseinheit erzeugt, und es ist Wahrscheinlich, dass der Fremdkörper an der physikalischen Größenerfassungseinheit haftet.
Andererseits wird nach dem ersten Aspekt, da die Oberfläche des Gehäuses positiv geladen ist, auch wenn sich die positiv geladenen Fremdkörper dem Gehäuse nähern, eine elektrische Abstoßkraft erzeugt, so dass die Fremdkörper kaum am Gehäuse haften bleiben. In diesem Fall ist ein Kontakt zwischen dem Gehäuse und den Fremdkörpern unwahrscheinlicher, und das Gehäuse und die Einheit zur Erfassung der physikalischen Größe werden daran gehindert, negativ geladen zu werden. Aus diesem Grund wird auch dann, wenn die positiv geladenen Fremdkörper in den Bypass-Strömungskanal eintreten und sich der physikalischen Größenerfassungseinheit nähern, keine elektrische Anziehungskraft zwischen dem Fremdkörper und der physikalischen Größenerfassungseinheit erzeugt, und die Wahrscheinlichkeit, dass die Fremdkörper an die physikalische Größenerfassungseinheit gebunden werden, ist geringer. Dadurch kann die Erfassungsgenauigkeit der physikalischen Größenerfassungseinheit entsprechend beibehalten werden.
Um das oben genannte Ziel erreichen zu können, ist gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Offenbarung, ein Verfahren zur Herstellung einer physikalischen Größenmesseinrichtung offenbart, die ein Gehäuse beinhaltet, das einen Bypass-Strömungskanal, durch den ein Fluid strömt, und eine physikalische Größenerfassungseinheit beinhaltet, die eine physikalische Größe des Fluids im Bypass-Strömungskanal erfasst, wobei das Gehäuse einen Gehäusehauptkörper aus einem Dielektrikum und eine auf dem Gehäusehauptkörper geschichtete Deckschicht beinhaltet, und wobei die Oberfläche des Gehäuses positiv geladen ist, weil positive Ladungen im Gehäusehauptkörper entlang der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers angeordnet sind oder die positiven Ladungen in der Deckfolie entlang einer Oberfläche der Deckfolie angeordnet sind, wobei das Verfahren das Aufbringen eines Beschichtungsmittels zum Bilden der Deckfolie auf die Oberfläche des Gehäusehauptkörpers, das Reinigen des Gehäusehauptkörpers, während der Gehäusehauptkörper mit dem Beschichtungsmittel beschichtet ist, und nach dem Reinigen des Gehäusehauptkörpers das Trocknen des Beschichtungsmittels, das auf die Oberfläche des Gehäusehauptkörpers aufgebracht ist, beinhaltet.
Gemäß dem zweiten Aspekt können die gleichen Effekte wie beim ersten Aspekt erzielt werden. Darüber hinaus wird gemäß dem zweiten Aspekt, nachdem das Beschichtungsmittel auf die Oberfläche des Gehäusehauptkörpers aufgebracht wurde, der Gehäusehauptkörper in diesem Zustand gereinigt, so dass das am Gehäusehauptkörper haftende überschüssige Beschichtungsmittel entfernt werden kann. Dadurch kann verhindert werden, dass die Deckfolie zu dick wird und die Deckfolie ungleichmäßig dick wird.
In diesem Beispiel besteht in dem Abschnitt, in dem die Deckfolie zu dick wird, wenn sich ein positiv geladener Fremdkörper dem Gehäuse nähert, die Befürchtung, dass das Gehäuse die Abstoßungskraft gegen den Fremdkörper nicht richtig entfalten kann. So ist beispielsweise bei einer Anordnung, bei der positive Ladungen im Gehäusehauptkörper angeordnet sind, zu befürchten, dass ein Abstand zwischen den positiven Ladungen des Gehäusehauptkörpers und den positiv geladenen Fremdkörpern durch die zu dicke Deckfolie zu groß wird und die Abstoßungskraft nicht richtig ausgeübt wird. Weiterhin entsteht in der Konfiguration, in der die positiven Ladungen in der Deckfolie angeordnet sind, da die mehreren positiven Ladungen so verfestigt werden, dass sie sich in Dickenrichtung der Deckfolie überlappen, ein Bereich, in dem die positiven Ladungen nicht gleichmäßig angeordnet sind und die positiven Ladungen nicht vorhanden sind, und es besteht die Befürchtung, dass die Abstoßungskraft in dem Bereich, in dem die positiven Ladungen nicht vorhanden sind, nicht ordnungsgemäß ausgeübt wird.
Andererseits kann nach dem zweiten Aspekt, wie vorstehend beschrieben, da die Dicke der Deckfolie durch das Entfernen des überschüssigen Beschichtungsmittels durch die Reinigung gleichmäßig gemacht wird, die Abstoßkraft zwischen dem Gehäuse und den positiv geladenen Fremdkörpern entsprechend ausgeübt werden. Dadurch ist es möglich, trotz des Aufbringens der Deckfolie auf den Gehäusehauptkörper eine negative Ladung des Gehäusehauptkörpers zu verhindern.
Figurenliste
Die oben genannten und andere Objekte, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Offenbarung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen ersichtlich. In den Figuren ist das Folgende gezeigt:

1 ist ein schematisches Diagramm, das eine Konfiguration eines Verbrennungssystems gemäß einer ersten Ausführungsform darstellt.
2 ist eine Vorderansicht eines Luftflussmessers in einem Zustand, in dem der Luftflussmesser an einem Ansaugrohr befestigt ist.
3 ist eine Querschnittsansicht entlang einer Linie III-III in 2.
4 ist eine Vorderansicht, die eine Konfiguration eines Sensors S/A zeigt.
5 ist eine schematische Darstellung einer Deckfolie.
6 ist ein Diagramm, das eine Konfiguration eines Luftfilters zeigt.
7(a) bis 7(d) sind Diagramme, die ein Verfahren zum Aufbringen einer Deckfolie auf einen Gehäusehauptkörper zeigen, wobei 7(a) ein Diagramm ist, das eine Verfahren bzw. einen Prozess zum Aufbringen der Deckfolie auf einen Gehäusehauptkörper zeigt, 7(b) ein Diagramm ist, das ein Aufbringungsverfahren bzw. einen Aufbringungsprozess zeigt, 7(c) ein Diagramm ist, das einen Reinigungsprozess bzw. ein Reinigungsverfahren zeigt, und 7(d) ein Diagramm ist, das einen Trocknungsprozess bzw. ein Trocknungsverfahren zeigt.
8(a) bis 8(f) sind Diagramme, die ein Verfahren bzw. einen Prozess zum Aufbringen einer Deckfolie auf einen Gehäusehauptkörper gemäß einer zweiten Ausführungsform zeigen, wobei 8(a) ein Diagramm ist, das einen Primärformprozess zeigt, 8(b) ein Diagramm ist, das einen Anwendungsprozess zeigt, 8(c) ein Diagramm ist, das einen Reinigungsprozess zeigt, 8(d) ein Diagramm ist, das einen Trocknungsprozess zeigt, 8(e) ein Diagramm ist, das einen Montageprozess zeigt, und 8(f) ein Diagramm ist, das einen Sekundärformprozess darstellt.
9 ist ein Diagramm, das einen Applikationsprozess bzw. ein Applikationsverfahren gemäß einer dritten Ausführungsform veranschaulicht.
10 ist ein Diagramm, das einen Applikationsprozess bzw. ein Applikationsverfahren veranschaulicht.
11 ist ein Diagramm, das den Applikationsprozess veranschaulicht.
12 ist eine Vorderansicht eines Luftflussmessers im Zustand der Befestigung an einem Ansaugrohr gemäß einer vierten Ausführungsform.
13 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie XIII-XIII von 12.
14 ist ein Diagramm, das eine innere Struktur eines Luftflussmessers gemäß einer fünften Ausführungsform darstellt.
15 ist eine schematische Darstellung einer Deckfolie gemäß Modifikation 2.
16 ist eine schematische Darstellung einer Deckfolie gemäß Modifikation 3.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
Im Folgenden wird eine Mehrzahl von Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Übrigens werden den entsprechenden Komponenten in jeder Ausführungsform die gleichen Bezugszeichen zugeordnet, so dass auf doppelte Beschreibungen verzichtet werden kann. Wenn in jeder Ausführungsform nur ein Teil der Konfiguration beschrieben ist, kann die Konfiguration der anderen oben beschriebenen Ausführungsformen auf die anderen Teile der Konfiguration angewendet werden. Weiterhin können nicht nur die Kombinationen der in der Beschreibung der jeweiligen Ausführungsformen explizit dargestellten Konfigurationen, sondern auch die Konfigurationen der Mehrzahl von Ausführungsformen teilweise miteinander kombiniert werden, auch wenn die Konfigurationen nicht explizit dargestellt werden, wenn insbesondere in der Kombination kein (technisches) Problem vorliegt. Nicht spezifizierte Kombinationen der in der Mehrzahl der Ausführungsformen beschriebenen Konfigurationen und der Modifikationsbeispiele werden ebenfalls in der folgenden Beschreibung offenbart.
(Erste Ausführungsform)
Ein in 1 dargestelltes Verbrennungssystem 10 beinhaltet einen internen Verbrennungsmotor 11, wie beispielsweise einen Dieselmotor, einen Ansaugkanal 12, einen Auslasskanal 13 und einen Luftflussmesser 14, und ist beispielsweise an einem Fahrzeug montiert. Der Luftflussmesser 14 ist im Ansaugkanal 12 vorgesehen und dient zum Messen einer physikalischen Größe, wie beispielsweise einer Durchflussrate, einer Temperatur und einer Feuchtigkeit einer dem Verbrennungsmotor 11 zugeführten Ansaugluft. Der Luftflussmesser 14 entspricht einer „physikalischen Größenmesseinrichtung“ zur Messung der Ansaugluft als ein Fluid. Die Ansaugluft ist ein Gas, das einer Brennkammer 11a des Verbrennungsmotors 11 zugeführt werden soll.
Das Verbrennungssystem 10 beinhaltet eine ECU (Engine Control Unit = Maschinensteuereinheit) (nicht dargestellt). Die ECU ist eine Rechenverarbeitungsschaltung mit einem Prozessor, einem Speichermedium wie einem RAM, einem ROM und einem Flash-Speicher, einem Mikrocontroller mit einer Ein- und Ausgabeeinheit, einer Stromversorgungsschaltung und dergleichen. Die ECU empfängt ein Sensorsignal, das vom Luftflussmesser 14 ausgegeben wird, Sensorsignale, die von einer großen Anzahl von fahrzeugmontierten Sensoren und dergleichen ausgegeben werden. Die ECU führt eine Motorsteuerung durch, wie beispielsweise den Öffnungsgrad eines Drosselventils 15 und die Kraftstoffeinspritzmenge eines Einspritzventils 16 unter Verwendung eines Messergebnisses durch den Luftflussmesser 14. Die ECU ist eine Steuervorrichtung zum Steuern des Betriebs des Verbrennungsmotors 11, und das Verbrennungssystem 10 kann auch als Motorsteuerungssystem bezeichnet werden.
Der Luftflussmesser 14 ist eine von einer großen Anzahl von Messeinheiten, die im Verbrennungssystem 10 enthalten sind. In einem Ansaugsystem und einem Abgassystem des Verbrennungsmotors 11 sind beispielsweise ein Ansauglufttemperatursensor 17, ein Luft-Kraftstoff-Verhältnis-Sensor 18 und dergleichen zusätzlich zum Luftflussmesser 14 als Messeinheiten vorgesehen. Der Luftflussmesser 14 ist auf der stromabwärts gerichteten Seite eines Luftfilters 19 bzw. Luftreinigers 19 im Ansaugkanal 12 und auf der stromaufwärts gerichteten Seite des Ansauglufttemperatursensors 17 angeordnet. In diesem Fall befindet sich der Luftfilter 19 bzw. Luftreiniger 19 im Ansaugkanal 12 auf der stromaufwärts gerichteten Seite des Luftflussmessers 14 und die Brennkammer 11a auf der stromabwärts gerichteten Seite.
Der in den 2 und 3 dargestellte Luftflussmesser 14 ist lösbar an einem Ansaugrohr 12a befestigt, das den Ansaugkanal 12 definiert. Der Luftflussmesser 14 wird in ein Sensoreinfügeloch 12b eingesetzt, das vorgesehen ist, um durch eine Zylinderwand des Ansaugrohrs 12a einzudringen, wobei sich zumindest ein Teil des Luftflussmessers 14 innerhalb des Ansaugkanals 12 befindet. Das Ansaugrohr 12a weist einen Flanschabschnitt 12c auf, der sich vom Sensoreinfügeloch 12b zu einer äußeren Umfangsseite erstreckt. Der Flanschabschnitt 12c erstreckt sich entlang eines Umfangsabschnitts des Sensoreinfügelochs 12b und ist beispielsweise in torischer Form ausgebildet. Eine Spitzenendfläche des Flanschabschnitts 12c erstreckt sich in einer Richtung orthogonal zu einer Mittellinie des Flanschabschnitts 12c. In diesem Fall erstreckt sich die Spitzenendfläche des Flanschabschnitts 12c in Längsrichtung des Ansaugkanals 12, d.h. in eine Richtung, in der die Ansaugluft im Ansaugkanal 12 strömt.
Der Luftflussmesser 14 beinhaltet ein Gehäuse 21 und eine Durchflussrateerfassungseinheit 22. Das Gehäuse 21 besteht beispielsweise aus einem Harzmaterial oder dergleichen. Da das Gehäuse 21 am Ansaugrohr 12a befestigt ist, wird im Luftflussmesser 14 die Durchflussrateerfassungseinheit 22 mit der durch den Ansaugkanal 12 strömenden Ansaugluft in Kontakt gebracht. Das Gehäuse 21 weist einen Strömungskanalbildungsabschnitt 24, einen Passabschnitt 25, einen O-Ring 26, einen Flanschabschnitt 27 und einen Verbindungsabschnitt 28 auf.
Der Strömungskanalbildungsabschnitt 24 definiert die Strömungskanäle 31 und 32. Die Strömungskanäle 31 und 32 sind durch einen Innenraum des Strömungskanalbildungsabschnitt 24, und leiten einen Teil der durch den Ansaugkanal 12 strömenden Ansaugluft in das Innere des Gehäuses 21 ein. Der Durchgangsströmungskanal 31 durchdringt den Strömungskanalbildungsabschnitt 24, und ein stromaufwärtsseitiger Endabschnitt des Durchgangsströmungskanals 31 wird als Anströmöffnung 33a bezeichnet, und ein stromabwärtsseitiger Endabschnitt des Durchgangsströmungskanals 31 wird als Auslassöffnung 33b bezeichnet. Der Messströmungskanal 32 ist ein Abzweigströmungskanal, der von einem Zwischenabschnitt des Durchgangsströmungskanals 31 abgezweigt und einen gekrümmten Abschnitt aufweist, um an der Innenseite des Strömungskanalbildungsabschnitt 24 zu zirkuliert. Der Messströmungskanal 32 macht jedoch keine Umdrehung, und ein Abschnitt nahe dem stromaufwärts gelegenen Endabschnitt und ein Abschnitt nahe dem stromabwärts gelegenen Endabschnitt des Messströmungskanals 32 überlappen sich nicht in einer Breitenrichtung des Strömungskanalbildungsabschnitts 24. Außerdem überlappen sich der Durchgangsströmungskanal 31 und der Messströmungskanal 32 nicht in Breitenrichtung des Strömungskanalbildungsabschnitts 24. Der Durchgangsströmungskanal 31 und der Messströmungskanal 32 entsprechen einem „Bypass-Strömungskanal“, durch den das Fluid strömt.
Die stromabwärtsseitigen Endabschnitte des Messströmungskanals 32 werden ähnlich wie der stromabwärtsseitige Endabschnitt des Durchgangsströmungskanals 31 geöffnet, und die stromabwärtsseitigen Endabschnitte werden als Messauslässe 33c bezeichnet. Der Messströmungskanal 32 verzweigt sich in Richtung des stromabwärts gelegenen Endabschnitts und weist somit zwei Messauslässe 33c auf, und diese Messausgänge 33c sind seitlich an voneinander beabstandeten Positionen in Breitenrichtung des Strömungskanalbildungsabschnitts 24 ausgerichtet. Wie vorstehend beschrieben, da sich der Durchgangsströmungskanal 31 und der Messströmungskanal 32 in Breitenrichtung des Strömungskanalbildungsabschnitts 24 nicht überlappen, überlappen die Messauslässe 33c und die Auslassöffnung 33b in Breitenrichtung des Strömungskanalbildungsabschnitts 24 nicht miteinander. Der Ansaugkanal 12 kann als Hauptkanal bezeichnet werden, und der Durchgangsströmungskanal 31 und der Messströmungskanal 32 können zusammen als Unterkanal bzw. Subkanal bezeichnet werden.
Der Passabschnitt 25 ist ein Abschnitt, der durch den O-Ring 26 in das Sensoreinfügeloch 12b eingesetzt wird. Der O-Ring 26 ist ein Element zum Abdichten des Ansaugkanals 12 und der Außenseite des Ansaugrohrs 12a. Der O-Ring 26 ist außen am Passabschnitt 25 angebracht und befindet sich zwischen dem Passabschnitt 25 und dem Sensoreinfügeloch 12b in einem Zustand, in dem der O-Ring 26 in eine innere Umfangsseite des Flanschabschnitts 12c eingetreten ist. Der Flanschabschnitt 27 ist auf einer Seite gegenüber dem Strömungskanalbildungsabschnitt 24 über den Passabschnitt 25 angeordnet und bedeckt das Sensoreinfügeloch 12b von einer äußeren Umfangsseite des Ansaugrohrs 12a. Der Flanschabschnitt 27 wird vom Spitzenabschnitt des Flanschabschnitts 12c des Ansaugrohrs 12a erfasst, um das Gehäuse 21 daran zu hindern, übermäßig in den Ansaugkanal 12 einzudringen. Der Flanschabschnitt 27 weist eine Flanschfläche 27a auf, die dem Strömungskanalbildungsabschnitt 24 zugewandt ist. Die Flanschfläche 27a erstreckt sich parallel zur Spitzenendoberfläche des Flanschabschnitts 12c und überlappt mit der Spitzenendfläche des Flanschabschnitts 12c.
Der Verbindungsabschnitt 28 umschließt mehrere Anschlüsse. Ein Steckerabschnitt wird in den Verbindungsabschnitt 28 eingeführt. Der Steckerabschnitt ist an einem Endabschnitt einer Verbindungsleitung vorgesehen, die elektrisch direkt oder indirekt mit einer Motorsteuerungsvorrichtung, wie beispielsweise einer ECU, verbunden ist und mit dem Verbindungsabschnitt 28 zusammenpasst.
Die Durchflussrateerfassungseinheit 22 ist beispielsweise ein thermischer Durchflussratesensor mit einem wärmeerzeugenden Widerstandselement. Die Durchflussrateerfassungseinheit 22 ist an einer Zwischenposition des Messströmungskanals 32 angeordnet. Wenn das Gehäuse 21 am Ansaugrohr 12a befestigt ist, wird der Durchflussrateerfassungseinheit 22 eine durch den Messströmungskanal 32 strömende Ansaugluft zugeführt. Die Durchflussrateerfassungseinheit 22 ist elektrisch mit mehreren Anschlüssen verbunden, die im Verbindungsabschnitt 28 vorgesehen sind. Die Durchflussrateerfassungseinheit 22 gibt ein Sensorsignal entsprechend der Ansaugdurchflussrate und entsprechend einer Strömungsgeschwindigkeit der durch den Messströmungskanal 32 strömenden Luft an die Motorsteuerungsvorrichtung als Durchflussratesignal aus. Die Durchflussrateerfassungseinheit 22 erfasst eine Durchflussrate der im Ansaugkanal 12 strömenden Ansaugluft durch Erfassen der Durchflussrate der im Messströmungskanal 32 strömenden Ansaugluft. Die Durchflussrateerfassungseinheit 22 entspricht einer „physikalischen Größenerfassungseinheit“, die die Durchflussrate der Ansaugluft als physikalische Größe erfasst. Weiterhin ist die Durchflussrateerfassungseinheit 22 nicht auf einen thermischen Durchflussratesensor beschränkt und kann ein beweglicher Klappen-Durchflusssensor, ein Karman Wirbel-Durchflusssensor oder dergleichen sein.
Der Luftflussmesser 14 verfügt neben der Durchflussrateerfassungseinheit 22 über eine Temperaturerfassungseinheit zum Erfassen einer Temperatur und eine Feuchtigkeitserfassungseinheit zum Erfassen einer Feuchtigkeit. Die Temperaturerfassungseinheit und die Feuchtigkeitserfassungseinheit sind auf einer äußeren Umfangsseite des Gehäuses 21 vorgesehen und geben ein Sensorsignal aus, das der Temperatur und der Feuchtigkeit der durch den Ansaugkanal 12 strömenden Ansaugluft als Temperatursignal und Feuchtesignal entspricht. So weist beispielsweise der Luftflussmesser 14 eine Halterung zum Tragen dieser Erfassungseinheiten auf der äußeren Umfangsseite des Gehäuses 21 auf, und die Halterung ist am Gehäuse 21 befestigt.
In dem Luftflussmesser 14 wird eine Richtung, in der die beiden Messauslässe 33c ausgerichtet sind, als Breitenrichtung X, eine Richtung, in der der Strömungskanalbildungsabschnitt 24 und der Flanschabschnitt 27 ausgerichtet sind, als Höhenrichtung Y und eine Richtung, in der die Einlassöffnung 33a und die Auslassöffnung 33b ausgerichtet sind, als Tiefenrichtung Z bezeichnet. Die Breitenrichtung X, die Höhenrichtung Y und die Tiefenrichtung Z sind orthogonal zueinander, und die Flanschfläche 27a des Flanschabschnitts 27 erstreckt sich sowohl zu der Breitenrichtung X als auch zur Tiefenrichtung X parallel. In einem Zustand, in dem der Luftflussmesser 14 an das Ansaugrohr 12a befestigt ist, weist die Einlassöffnung 33a zu der stromaufwärtigen Seite des Ansaugkanals 12, und die Auslassöffnung 33b weist zu den Messauslässe 33c der stromabwärtigen Seite. In diesem Fall wird davon ausgegangen, dass eine Richtung, in der die Ansaugluft im Ansaugkanal 12 strömt, die Tiefenrichtung Z ist und eine Einströmrichtung der Ansaugluft aus der Einströmöffnung 33a wahrscheinlich die gleiche ist wie die Tiefenrichtung Z. Im Luftflussmesser 14 strömt die von der Einströmöffnung 33a einströmende Ansaugluft durch den Durchgangsströmungskanal 31 und den Messströmungskanal 32 und strömt aus der Auslassöffnung 33b und den jeweiligen Messauslässen 33c heraus.
In einem Strömungskanalbegrenzungsabschnitt 34, der eine Grenze zwischen dem Durchgangsströmungskanal 31 und dem Messströmungskanal 32 ist, wird ein Zwischenabschnitt des Strömungskanals 31 in Höhenrichtung Y zum Flanschabschnitt 27 hin geöffnet. Im Strömungskanalbegrenzungsabschnitt 34 sind der Zwischenabschnitt des Strömungskanals 31 und der stromaufwärtsseitige Endabschnitt des Messströmungskanals 32 miteinander verbunden, und der stromaufwärtsseitige Endabschnitt des Messströmungskanals 32 kann auch als Messeingang bzw. Messeinlass bezeichnet werden. Der Messströmungskanal 32 weist einen Abschnitt auf, der sich in Tiefenrichtung Z zwischen dem Strömungskanalbegrenzungsabschnitt 34 und den Messauslässen 33c erstreckt, und der Abschnitt wird als Rückströmungskanalabschnitt 32a bezeichnet, durch den die Ansaugluft in einer dem Ansaugkanal 12 entgegengesetzten Richtung strömt. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Durchflussrateerfassungseinheit 22 im Rückströmungskanalabschnitt 32a vorgesehen.
Der Luftflussmesser 14 weist eine Sensorunterbaugruppe mit der spitzenförmigen Durchflussrateerfassungseinheit 22 auf, und die Sensorunterbaugruppe wird als Sensor S/A 36 bezeichnet. In diesem Fall kann der Sensor S/A 36 als Sensoreinheit und der Luftflussmesser 14 als Durchflussratenmessvorrichtung mit einer Spitze bezeichnet werden.
Wie in 4 dargestellt, beinhaltet der Sensor S/A 36 neben der Durchflussrateerfassungseinheit 22 einen Gehäusekörper 37 und einen Dichtungsabschnitt 39, und diese Komponenten werden zusammengeführt. Der Gehäusekörper 37 ist ein durch Formen eines Kunstharzmaterials gebildetes Formharz und trägt die Durchflussrateerfassungseinheit 22 in einem exponierten Zustand. Im Gehäusekörper 37 wird ein Abschnitt, der die Durchflussrateerfassungseinheit 22 trägt, als Erfassungsstützabschnitt 38 bezeichnet, und der Erfassungsstützabschnitt 38 ist ein vorstehender Abschnitt, der seitlich aus einem Endabschnitt des Gehäusekörpers 37 herausragt. Im Sensor S/A 36 ist die Durchflussrateerfassungseinheit 22 über einen Bonddraht und einen Leiterrahmen elektrisch mit dem Schaltungschip verbunden, und der Dichtungsabschnitt 39 weist ein Vergussmaterial zum Abdichten des Bonddrahtes und des Leiterrahmens auf.
Wie in 3 dargestellt, ist der Sensor S/A 36 in einem Abschnitt eingebettet, der näher am Flanschabschnitt 27 liegt als der Durchgangsströmungskanal 31 und der Messströmungskanal 32 in einem Zustand, in dem der Erfassungsträgerabschnitt 38 dem Messströmungskanal 32 im Gehäuse 21 ausgesetzt ist. Dadurch kommt die Durchflussrateerfassungseinheit 22 mit der durch den Messströmungskanal 32 strömenden Ansaugluft in Kontakt.
Wie in 5 dargestellt, beinhaltet das Gehäuse 21 einen Gehäusehauptkörper 41, eine Deckfolie 42, die den Gehäusehauptkörper 41 deckt, und eine Schutzfolie 43, die die Deckfolie 42 schützt. Der Gehäusehauptkörper 41 ist ein Dielektrikum aus einem Kunstharzmaterial oder dergleichen. Der Gehäusehauptkörper 41 weist eine Außenfläche 41a auf, die eine Außenumfangsoberfläche des Gehäusehauptkörpers 41 ist, und eine Strömungskanaloberfläche 41b, die die Strömungskanäle 31 und 32 bildet. Die Außenfläche 41a ist eine gesamte Außenumfangsoberfläche des Gehäusehauptkörpers 41, während die Strömungskanaloberfläche 41b Teil einer Innenumfangsoberfläche des Gehäusehauptkörpers 41 ist. So weist beispielsweise der Verbindungsabschnitt 28 eine Einführungsöffnung auf, in die ein Steckerabschnitt eingesetzt wird, aber eine innere Seitenfläche der Einführungsöffnung befindet sich in der Innenumfangsoberfläche des Gehäusehauptkörpers 41 und ist nicht in der Strömungskanaloberfläche 41b enthalten. Aus diesem Grund weist nur der Strömungskanalbildungsabschnitt 24 die Strömungskanaloberfläche 41b auf. Die Außenfläche 41a ist in jedem der Strömungskanalbildungsabschnitte 24, dem Passabschnitt 25, dem Flanschabschnitt 27 und dem Verbindungsabschnitt 28 vorgesehen. Die Oberfläche des Gehäusehauptkörpers 41 beinhaltet sowohl eine Außenumfangsoberfläche als auch eine Innenumfangsoberfläche als Außenfläche 41a.
Die Deckfolie 42 ist eine Folie, die einen Teil des Gehäusehauptkörpers 41 in einem Zustand der Überlappung mit der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers 41 bedeckt bzw. abdeckt. Die Deckfolie 42 der vorliegenden Ausführungsform überlappt mit der Außenfläche 41a und der Strömungskanaloberfläche 41b des Gehäusehauptkörpers 41, um dadurch jeweils einen Teil der Außenfläche 41a und der Strömungskanalfläche 41b abzudecken. Die Deckfolie 42 besteht aus einem Kunstharzmaterial wie beispielsweise Silizium und ist im Vergleich zum Gehäusehauptkörper 41 weniger negativ geladen.
Das Gehäuse 21 weist einen Deckbereich S1 auf, in dem der Gehäusehauptkörper 41 mit der Deckfolie 42 abgedeckt ist, und einen freiliegenden Bereich S2, in dem der Gehäusehauptkörper 41 nicht mit der Deckfolie 42 abgedeckt ist, und einen Begrenzungsabschnitt zwischen diesen Bereichen Pa und Pb als Deckbegrenzungsabschnitt B bezeichnet wird. Der Deckbereich S1 und der freiliegende Bereich S2 unterteilen einen Oberflächenbereich des Gehäuses 21 in zwei Bereiche, einschließlich einer Basisendseite, die die Flanschabschnittseite 27 und eine Spitzenseite ist, die die gegenüberliegende Seite des Flanschabschnitts 27 in der Höhenrichtung Y ist. In diesem Fall werden der Deckbereich S1 und der freiliegende Bereich S2 in der Höhenrichtung Y als vorgegebene Richtung ausgerichtet. Der freiliegende Bereich S2 kann auch als nicht abgedeckter Bereich bezeichnet werden. Ein Dickenmaß D1 der Deckfolie 42 beträgt beispielsweise mehrere hundert µm oder weniger.
Die Schutzfolie 43 überlappt mit der Oberfläche der Deckfolie 42 und bedeckt damit die gesamte Deckfolie 42. Während die Schutzfolie 43 der vorliegenden Ausführungsform über den gesamten Deckbereich S1 vorgesehen ist, ist die Schutzfolie 43 im freiliegenden Bereich S2 nicht vorgesehen. Die Schutzfolie 43 besteht aus einem Kunstharzmaterial wie beispielsweise Silizium und dient als Isolator. Im Deckbereich S1 bildet die Schutzfolie 43 die Oberfläche des Gehäuses 21, und im freiliegenden Bereich S2 bildet nicht die Schutzfolie 43, sondern der Gehäusehauptkörper 41 die Oberfläche des Gehäuses 21. Ein Dickenmaß D2 der Schutzfolie 43 ist kleiner als das Dickenmaß D1 der Deckfolie 42. So beträgt beispielsweise das Dickenmaß D2 der Schutzfolie 43 etwa 1/2 des Dickenmaßes D1 der Deckfolie 42.
Im Gehäuse 21 ist der Deckbegrenzungsabschnitt B an gleicher Stelle auf der Außenseite und der Innenseite des Gehäusehauptkörpers 41 angeordnet. Wie in 3 dargestellt, ist der Deckbegrenzungsabschnitt B an einer Zwischenposition des Strömungskanalbildungsabschnitts 24 in Höhenrichtung Y angeordnet und erstreckt sich in einer Richtung orthogonal zur Höhenrichtung Y. Im Gehäusehauptkörper 41 erstreckt sich sowohl in der Außenfläche 41a als auch in der Strömungskanaloberfläche 41b die Deckfolie 42 vom Deckbegrenzungsabschnitt B zu einer dem Flanschabschnitt 27 gegenüberliegenden Seite in Höhenrichtung Y, und der gesamte Spitzenseitenabschnitt des Deckbegrenzungsabschnitts B ist mit der Deckfolie 42 abgedeckt.
Der Deckbegrenzungsabschnitt B ist näher an der Spitzenseite des Gehäuses 21 angeordnet als die Durchflussrateerfassungseinheit 22 und der Erfassungsstützbereich 38. In diesem Fall sind die Durchflussrateerfassungseinheit 22 und der Erfassungsträgerabschnitt 38 nicht im Deckbereich S1, sondern im freiliegenden Bereich S2 enthalten, und die Deckfolie 42 ist der Durchflussrateerfassungseinheit 22 und dem Erfassungsträgerabschnitt 38 nicht vorgesehen. Die Durchflussrateerfassungseinheit 22 ist zwischen einer Deckenoberfläche 32b auf der Flanschabschnittsseite 27 und einer Bodenfläche 32c auf der gegenüberliegenden Seite des Flanschabschnitts 27 im Rückströmungskanalabschnitt 32a des Messströmungskanals 32a angeordnet, und der Deckbegrenzungsabschnitt B ist zwischen der Durchflussrateerfassungseinheit 22 und der Bodenfläche 32c angeordnet. In der Höhenrichtung Y ist der Deckbegrenzungsabschnitt B vertikal von der Durchflussrateerfassungseinheit 22 und dem Erfassungsträgerabschnitt 38 getrennt. Im Gehäuse 21 sind der Strömungskanalbildungsabschnitt 24, der Passabschnitt 25, der Flanschabschnitt 27 und der Verbindungsabschnitt 28 nicht im Deckbereich S1, sondern im freiliegenden Bereich S2 enthalten.
Wie in 5 dargestellt, ist im Deckbereich S1 eine große Anzahl von positiven Ladungen 45 entlang der Oberfläche der Deckfolie 42 angeordnet, so dass die Oberfläche des Gehäuses 21 mit positiven Ladungen 45 aufgeladen wird. Da die Deckfolie 42 in der vorliegenden Ausführungsform in einem positiv geladenen Zustand gehalten wird, ist eine große Anzahl von negativen Ladungen 46 entlang der Oberflächen der Außenfläche 41a und der Strömungskanaloberfläche 41b des Gehäusehauptkörpers 41 angeordnet. In diesem Fall ist das Gehäuse 21 nicht positiv oder negativ geladen und wird als Ganzes polarisiert. Da die Deckfolie 42 jedoch positiv geladen ist, ist der Gehäusehauptkörper 41 negativ geladen. Das Gehäuse 21 als Ganzes kann positiv oder negativ geladen sein.
Nähert sich der positive Fremdkörper Fp, der ein positiv geladener Fremdkörper ist, dem Luftflussmesser 14 im Ansaugkanal 12, wird eine elektrische Abstoßungskraft zwischen dem positiven Fremdkörper Fp und den positiven Ladungen 45 auf der Oberfläche des Gehäuses 21 erzeugt. Aus diesem Grund ist es weniger wahrscheinlich, dass die positiven Fremdkörper Fp am Gehäuse 21 haften bleiben. Wenn beispielsweise im Ansaugkanal 12 der positive Fremdkörper Fp eine Seitenposition des Gehäuses 21 in Breitenrichtung X erreicht, rückt der positive Fremdkörper Fp leicht zur stromabwärts gelegenen Seite des Gehäuses 21 vor, ohne von der Außenfläche 41a des Gehäusehauptkörpers 41 abgesaugt zu werden. Wenn der positive Fremdkörper Fp in den Durchgangsströmungskanal 31 eintritt, wird der positive Fremdkörper Fp wahrscheinlich aus der Auslassöffnung 33b des Durchgangsströmungskanals 31 oder den Messauslässen 33c des Messströmungskanals 32 ausgetragen, ohne von der Strömungskanaloberfläche 41b des Gehäusehauptkörpers 41 abgesaugt zu werden.
Da die Fremdkörper zusammen mit der Ansaugluft in den Ansaugkanal 12 eingebracht werden, wird von Staub wie Sand, Sandstaub und Schadstoffen ausgegangen. Es wird davon ausgegangen, dass die voraussichtlich positiv geladenen Fremdkörper wie Sand bereits zu einem Zeitpunkt vor dem Betreten des Ansaugkanals 12 zum positiven Fremdkörper Fp geworden sind. Auch wenn der positive Fremdkörper Fp nicht zu einem Zeitpunkt vor dem Eintritt in den Ansaugkanal 12 gebildet wird, kann der positive Fremdkörper Fp durch den Kanal durch den Luftfilter 19 nach dem Eintritt in den Ansaugkanal 12 gebildet werden.
Wie in 6 dargestellt, verfügt der Luftfilter 19 über eine Luftfiltereinheit 19a. Der Luftfilter 19a weist ein Sieb oder dergleichen zum Entfernen der mit der Ansaugluft vermischten Fremdkörper auf und besteht aus einem Kunstharzmaterial, wie beispielsweise Polyethylen. In diesem Beispiel erreichen oder durchlaufen die Fremdkörper wie Sand, die wahrscheinlich positiv geladen werden, den Luftfilter 19a, in dem die Luftfiltereinheit 19a aus einem Material wie Polyethylen besteht, das wahrscheinlich negativ geladen wird, was zu einer hohen Wahrscheinlichkeit führt, dass die Fremdkörper positiv geladen werden. Wenn beispielsweise, wie in 6 dargestellt, der noch nicht positiv geladene Fremdkörper F die Luftfiltereinheit 19a erreicht, besteht eine hohe Wahrscheinlichkeit, dass der Fremdkörper F zu einem positiven Fremdkörper Fp wird, der die Luftfiltereinheit 19a passiert hat. Die bereits positiv geladenen positiven Fremdkörper Fp werden weiter bzw. noch stärker positiv geladen.
Wenn beispielsweise in einer Konfiguration, in der das Gehäuse 21 keine Deckfolie 42 aufweist, die sich dem Gehäuse 21 nähert oder es kontaktiert, positiv geladen werden kann, besteht eine hohe Wahrscheinlichkeit, dass die Fremdkörper positiv geladen sind und das Gehäuse 21 negativ geladen ist. Auch wenn die positiv geladenen Fremdkörper bereits zu den positiven Fremdkörpern Fp geworden sind, kann das Gehäuse 21 durch die positiven Fremdkörper Fp, die sich dem Gehäuse 21 nähern, negativer geladen werden. Dann wird davon ausgegangen, dass die im Gehäuse 21 geladenen negativen elektrischen Ladungen durch Wiederholung des Annäherungsverfahrens und der Kontaktierung der Fremdkörper, die wahrscheinlich positiv geladen sind, zunehmen, und wenn die negativen Ladungen bis zu einem gewissen Grad zunehmen, diffundieren die negativen elektrischen Ladungen aus dem Gehäuse 21 zum Sensor S/A 36. In diesem Fall wird im Sensor S/A 36 davon ausgegangen, dass der Gehäusekörper 37, der aus einem Gießharz besteht, durch die negativen Ladungen aufgeladen wird, und die Durchflussrateerfassungseinheit 22 wird ebenfalls negativ aufgeladen.
Wie vorstehend beschrieben, wird beim Erreichen des Luftflussmessers 14 im Ansaugkanal 12 durch den positiven Fremdkörper Fp davon ausgegangen, dass die positive Fremdkomponente Fp wahrscheinlich am negativ geladenen Gehäuse 21 haftet. Wenn die Durchflussrateerfassungseinheit 22 negativ geladen ist und der positive Fremdkörper Fp in den Messströmungskanal 32 gelangt, wird davon ausgegangen, dass der positive Fremdkörper Fp wahrscheinlich an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 (an-)haftet. So wird beispielsweise davon ausgegangen, dass der positive Fremdkörper Fp in eine Richtung vorrückt, die nicht mit der Durchflussrateerfassungseinheit 22 kollidiert, sondern die Vorwärtsrichtung des positiven Fremdkörpers Fp geändert wird, weil zwischen dem positiven Fremdkörper Fp und der Durchflussrateerfassungseinheit 22 eine elektrische Anziehungskraft erzeugt wird und der positive Fremdkörper Fp an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 haftet. Wie vorstehend beschrieben, besteht, wenn die Fremdkörper an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 haften, die Befürchtung, dass die Erfassungsgenauigkeit der Durchflussrateerfassungseinheit 22 durch die Anhaftung der Fremdkörper verringert wird.
Andererseits ist in der vorliegenden Ausführungsform, da das Gehäuse 21 die Deckfolie 42 aufweist, die Wahrscheinlichkeit geringer, dass das Gehäuse 21 durch die voraussichtlich positiv geladenen Fremdkörper negativ geladen wird. Dadurch kann verhindert werden, dass das Gehäuse 21 negativ geladen wird, um die Durchflussrateerfassungseinheit 22 negativ zu laden, und der positive Fremdkörper Fp wahrscheinlich an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 haftet.
Als nächstes wird als Verfahren zur Herstellung des Luftflussmessers 14 ein Verfahren zum Aufbringen der Deckfolie 42 auf den Gehäusehauptkörper 41 unter Bezugnahme auf 7 beschrieben.
Der in 7(a) dargestellte Luftflussmesser 14 befindet sich in einem Zustand, in dem die anderen Schritte abgeschlossen sind, wobei der Schritt des Aufbringens der Deckfolie 42 und der Schutzfolie 43 auf den Gehäusehauptkörper 41 verbleibt. Der Luftflussmesser 14 in diesem Zustand befindet sich in einem Zustand, in dem die Durchflussrateerfassungseinheit 22 am Gehäusehauptkörper 41 befestigt ist.
Anschließend wird, wie in 7(b) dargestellt, ein Verfahren zum Aufbringen der Deckfolie 42 auf den Gehäusehauptkörper 41 durchgeführt. In diesem Schritt wird ein flüssiges Beschichtungsmittel Q1 zum Aufbringen der Deckfolie 42 in einem ersten Behälter V1 gelagert, und das Eintauchen erfolgt durch Eintauchen des Gehäusehauptkörpers 41 in das Beschichtungsmittel Q1. Eine Zeit, in der der Gehäusehauptkörper 41 in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht wird, ist eine vorbestimmte Zeit, zum Beispiel 30 Sekunden. Die vorbestimmte Zeit kann in Übereinstimmung mit einer Temperatur und Komponenten des Beschichtungsmittels Q1, einem Anteil jeder Komponente, einer Form des Gehäusehauptkörpers 41 und dergleichen erhöht oder verringert werden. Weiterhin wird eine geplante Position des Deckbegrenzungsabschnitts B in den Gehäusehauptkörper 41 eingestellt, und der Gehäusehauptkörper 41 wird in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht, so dass eine Flüssigkeitsoberfläche des Beschichtungsmittels Q1 mit dem Deckbegrenzungsabschnitt B übereinstimmt.
Das Beschichtungsmittel Q1 enthält eine Siliziumkomponente, eine Alkoholkomponente, eine Fluorharzkomponente und eine Ladungsbehandlungskomponente. Im Gehalt des Beschichtungsmittels Q1 ist die Ladungsbehandlungskomponente die größte, gefolgt von der Alkoholkomponente, und die Fluorharzkomponente ist die kleinste. Die Siliziumkomponente und die Fluorharzkomponente haben die Funktion, die Oberfläche der Deckfolie 42 zu glätten. Die Alkoholkomponente hat die Funktion, das Beschichtungsmittel Q1 zu verdünnen. Mit der Einstellung des Verdünnungsgrades des Beschichtungsmittels Q1 kann ein Dickenmaß der Deckfolie 42 erhöht oder verringert werden.
Die Ladungsbehandlungskomponente ist eine Komponente zum positiven Laden einer vorbestimmten Flüssigkeit, und die in der Ladungsbehandlungskomponente enthaltende Flüssigkeit wird als Ladungsbehandlungswasser bezeichnet. Da das Beschichtungsmittel Q1 das Ladungsbehandlungswasser enthält, ist das Beschichtungsmittel Q1 positiv geladen, und wenn das Beschichtungsmittel Q1 durch Tauchen auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgebracht wird, ist eine große Anzahl von positiven Ladungen 45 entlang der Oberfläche des Gehäusegrundkörpers 41 angeordnet.
Nach Abschluss des Applikationsprozesses, wie in 7(c) dargestellt, wird ein Reinigungsprozess zur Reinigung des Gehäusehauptkörpers 41 durchgeführt. In diesem Schritt wird ein Reinigungsmittel Q2, wie beispielsweise Wasser, in einem zweiten Behälter V2 gelagert und der Gehäusehauptkörper 41 in das Reinigungsmittel Q2 eingetaucht. Eine Zeit, in der der Gehäusehauptkörper 41 in das Reinigungsmittel Q2 eingetaucht wird, ist eine vorbestimmte Zeit, zum Beispiel 30 Sekunden. Die vorgegebene Zeit kann in Abhängigkeit von der Temperatur und den Komponenten des Reinigungsmittels Q2, dem Anteil jeder Komponente, der Form des Gehäusehauptkörpers 41 und dergleichen, ähnlich der Tauchzeit des Beschichtungsmittels Q1, erhöht oder verringert werden oder kann eine Zeit gleicher Länge wie die Tauchzeit sein.
Der obige Reinigungsprozess wird durchgeführt, wodurch ein überschüssiges Beschichtungsmittel Q1 entfernt werden kann, das am Gehäusehauptkörper 41 haftet und das Dickenmaß des auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgebrachten Beschichtungsmittels Q1 einheitlich gestaltet. Darüber hinaus kann mit der Verwendung eines Behälters, der sich von dem ersten Behälter V1 unterscheidet, der das Beschichtungsmittel Q1 als zweiten Behälter V2 speichert, der das Reinigungsmittel Q2 speichert, der Reinigungsprozess nach dem Auftragen schnell durchgeführt werden, so dass das auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgebrachte Beschichtungsmittel Q1 nicht trocknet.
Zusätzlich wird der Gehäusehauptkörper 41 in das Reinigungsmittel Q2 eingetaucht, so dass der gleiche Bereich des Gehäusehauptkörpers 41 wie ein Auftragsbereich des Beschichtungsmittels Q1 in das Reinigungsmittel Q2 eingetaucht wird. Es ist zu beachten, dass der Gehäusehauptkörper 41 in das Reinigungsmittel Q2 bis zu einer Tiefe eingetaucht werden kann, die tiefer ist als diejenige, in die der Gehäusehauptkörper 41 in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht ist, solange die Durchflussrateerfassungseinheit 22 und der Erfassungsstützabschnitt 38 nicht in das Reinigungsmittel Q2 eingetaucht sind. In diesem Fall kann das Beschichtungsmittel Q1 durch das Reinigungsmittel Q2 auch in einem oberen Endabschnitt des Bereichs, auf den das Beschichtungsmittel Q1 aufgebracht wird, entsprechend entfernt werden.
Nach Abschluss des Reinigungsprozesses, wie in 7(d) dargestellt, wird ein Trocknungsprozess zum Trocknen des Beschichtungsmittels Q1 und des Reinigungsmittels Q2 durchgeführt. Im obigen Schritt wird der Gehäusehauptkörper 41 in eine Raumtemperaturumgebung gebracht und natürlich in einem Zustand getrocknet, in dem der Gehäusehauptkörper 41 für eine vorbestimmte Zeit, wie beispielsweise 24 Stunden, von einem Aufhängewerkzeug aufgehängt wird. Nach Abschluss des Trocknungsprozesses ist der Vorgang des Aufbringens der Deckfolie 42 auf den Gehäusehauptkörper 41 abgeschlossen und der Luftflussmesser 14 abgeschlossen.
Nachdem die Deckfolie 42 auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgebracht wurde, werden als Vorgang des überlappenden Aufbringens der Schutzfolie 43 auf die Deckfolie 42 ein Aufbringvorgang, ein Reinigungsprozess und ein Trocknungsprozess in der gleichen Weise durchgeführt wie der Vorgang des Aufbringens der Deckfolie 42. Beim Auftragen erfolgt das Eintauchen durch Eintauchen des Gehäusehauptkörpers 41 in das Beschichtungsmittel zur Beschichtung der Schutzfolie 43 zusammen mit der Deckfolie 42. In diesem Beispiel wird der Gehäusehauptkörper 41 in das Beschichtungsmittel eingetaucht, so dass eine flüssige Oberfläche des Beschichtungsmittels mit dem Deckbegrenzungsabschnitt B und einem oberen Endabschnitt der Deckfolie 42 als Deckbegrenzungsabschnitt B zusammenfällt. Das Beschichtungsmittel der Schutzfolie 43 enthält eine Siliziumkomponente, eine Alkoholkomponente und eine Fluorharzkomponente. Die Siliziumkomponente und die Fluorharzkomponente haben die Funktion, die Oberfläche der Schutzfolie 43 zu glätten. Aus diesem Grund wird auch bei Kontakt der Fremdkörper mit der Schutzfolie 43 eine Reibung zwischen der Fremdware und der Schutzfolie 43 verhindert und die Fremdkörper daran gehindert, an der Schutzfolie 43 zu haften. Das heißt, eine Kontamination der Schutzfolie 43 durch Fremdkörper wird verhindert.
Gemäß der bisher beschriebenen Ausführungsform ist in der Deckfolie 42 des Gehäuses 21 eine große Anzahl von positiven Ladungen 45 angeordnet. Aus diesem Grund ist selbst wenn sich der positive Fremdkörper Fp dem Gehäuse 21 nähert, die positive Fremdkörper Fp durch die Erzeugung der elektrischen Abstoßkraft weniger wahrscheinlich mit dem Gehäuse 21 in Berührung zu kommen. In diesem Fall ist es unwahrscheinlicher, dass das Gehäuse 21 mit der Reibung zwischen dem positiven Fremdkörper Fp und dem Gehäuse 21 negativ geladen wird, wodurch die Durchflussrateerfassungseinheit 22 weniger wahrscheinlich negativ geladen wird. Dadurch ist es möglich, die Erkennungsgenauigkeit der Durchflussrateerfassungseinheit 22 durch den an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 haftenden positiven Fremdkörper Fp zu verhindern, die Kontamination der Durchflussrateerfassungseinheit 22 durch die Adhäsion des positiven Fremdkörpers Fp und dergleichen zu verhindern.
Da die Deckfolie 42 durch die Schutzfolie 43 geschützt ist, kann nach der vorliegenden Ausführungsform beispielsweise auch dann, wenn ein nicht positiv geladener Fremdkörper mit dem Gehäuse 21 kollidiert, verhindert werden, dass die Deckfolie 42 durch den Fremdkörper beschädigt oder abgeschält wird. Darüber hinaus neigt die Oberfläche der Schutzfolie 43 zum Zeitpunkt der Herstellung des Luftflussmessers 14 dazu, glatt zu sein, da das Beschichtungsmittel zur Erzeugung der Schutzfolie 43 eine Siliziumkomponente und eine Fluorharzkomponente enthält. In diesem Fall ist selbst dann, wenn der Fremdkörper mit der Oberfläche der Schutzfolie 43 kollidiert, eine Reibung zwischen dem Schutzfolie 43 und dem Fremdkörper weniger wahrscheinlich, so dass der Schutzfolie 43 daran gehindert werden kann, sich abzulösen und mit der Kollision des Fremdkörpers an dem Schutzfolie 43 zu haften. Da der Schutzfolie 43 eine Siliziumkomponente oder eine Fluorharzkomponente enthält, kann dem Schutzfolie 43 zusätzlich eine wasserabweisende Wirkung verliehen und eine Salzschadengegenmaßnahme auf den Schutzfolie 43 angewendet werden.
Da die Deckfolie 42 die Strömungskanaloberfläche 41b des Gehäusehauptkörpers 41 deckt, ist es nach der vorliegenden Ausführungsform unwahrscheinlicher, dass der positive Fremdkörper Fp aufgrund der elektrischen Anziehungskraft an der Strömungskanaloberfläche 41b haftet. Dadurch kann verhindert werden, dass eine große Menge positiver Fremdkörper Fp an der Strömungskanaloberfläche 41b haftet und zu einem Klumpen wird, der Klumpen von der Strömungskanaloberfläche 41b abgezogen wird und durch den Messströmungskanal 32 wandert und mit der Durchflussrateerfassungseinheit 22 kollidiert, um dadurch die Durchflussrateerfassungseinheit 22 zu beschädigen oder die Erfassungsgenauigkeit der Durchflussrate zu verringern.
Da die Deckfolie 42 die Außenfläche 41a des Gehäusehauptkörpers 41 sogar teilweise bedeckt, kann nach der vorliegenden Ausführungsform, auch wenn der positive Fremdkörper Fp mit der Oberfläche des Gehäuses 21 in Kontakt kommt, verhindert werden, dass das Gehäuse 21 negativ geladen wird. In diesem Beispiel wird im Ansaugkanal 12 berücksichtigt, dass Fremdkörper wie der positive Fremdkörper Fp dazu neigen, mit dem Gehäuse 21 zu kollidieren, da der Durchfluss der Ansaugluft schnell ist. Andererseits ist selbst bei einer Kollision der positiven Fremdkörper Fp mit dem Gehäuse 21 das Gehäuse 21 und der Gehäusehauptkörper 41 durch die Anwesenheit der Deckfolie 42 weniger negativ geladen. Aus diesem Grund ist es vorzuziehen, die Deckfolie 42 auf die Außenfläche 41a des Gehäusehauptkörpers 41 aufzubringen, um die Verschmutzung der Durchflussrateerfassungseinheit 22 zu verhindern.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird der Oberflächenbereich des Gehäuses 21 in den Deckbereich S1 und den freiliegenden Bereich S2 unterteilt. Aus diesem Grund kann die Deckfolie 42 auch dann auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgebracht werden, wenn zum Zeitpunkt der Herstellung des Luftflussmessers 14 ein Verfahren eingesetzt wird, bei dem eine relativ geringe Arbeitsbelastung beim Eintauchen vorliegt. In diesem Fall kann die Deckfolie 42 so breit wie möglich auf das Gehäuse 21 aufgebracht werden, ohne die Arbeitsbelastung übermäßig zu erhöhen. Da die Durchflussrateerfassungseinheit 22 im freiliegenden Bereich S2 enthalten ist, kann außerdem ein Einfluss auf die Ausgangseigenschaften der Durchflussrateerfassungseinheit 22 und eine Abnahme der Erfassungsgenauigkeit durch die Deckung der Durchflussrateerfassungseinheit 22 mit der Deckfolie 42 verhindert werden.
Da die Deckfolie 42 im Vergleich zum Gehäusehauptkörper 41 negativ geladen sein kann, kann nach der vorliegenden Ausführungsform, auch wenn sich ein positiv geladener Fremdkörper der Deckfolie 42 nähert oder kontaktiert, die Deckfolie 42 gegen eine negative Ladung und der Fremdkörper gegen eine positive Ladung gehindert werden kann. Dadurch ist es möglich, eine Rückhaltekraft auf das Gehäuse 21 auszuüben, die negativ geladen wird, und auch die Durchflussrateerfassungseinheit 22 wird entsprechend negativ geladen.
Da nach dem Auftragen des Beschichtungsmittels Q1 auf den Gehäusehauptkörper 41 der Gehäusehauptkörper 41 in diesem Zustand zum Zeitpunkt der Herstellung des Luftflussmessers 14 gereinigt wird, kann das am Gehäusehauptkörper 41 anhaftende überschüssige Beschichtungsmittel Q1 entfernt werden. Dadurch kann verhindert werden, dass das Dickenmaß D1 der Deckfolie 42 zu groß oder uneben wird.
In diesem Beispiel wird davon ausgegangen, dass ein Abschnitt, in dem das Dickenmaß D1 der Deckfolie 42 zu groß wird, wahrscheinlich so verfestigt wird, dass sich die mehreren positiven Ladungen 45 mit der Deckfolie 42 in Dickenrichtung der Deckfolie 42 überlappen, da das Dickenmaß D1 im Vergleich zum Durchmesser der positiven Ladungen 45 zu groß ist. In diesem Fall sind die positiven Ladungen 45 nicht einheitlich in der gesamten Deckfolie 42 angeordnet, und es besteht eine hohe Wahrscheinlichkeit, dass ein Bereich entsteht, in dem die positiven Ladungen 45 nicht vorhanden sind, und es besteht die Befürchtung, dass in diesem Bereich eine Abstoßungskraft gegen die positiven Fremdkörper Fp nicht angemessen erzeugt wird. Aus diesem Grund wird davon ausgegangen, dass der Gehäusehauptkörper 41 durch die positiven Fremdkörper Fp negativ geladen wird, ohne das Vorhandensein der Deckfolie 42 zu berücksichtigen, oder dass die positiven Fremdkörper Fp an der Deckfolie 42 haften. Andererseits ist nach der vorliegenden Ausführungsform, da der Reinigungsprozess in den Vorgang des Aufbringens der Deckfolie 42 einbezogen wird, die Deckfolie 42 gleichmäßig verdünnt, und die positiven Ladungen 45 sind wahrscheinlich gleichmäßig entlang der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers 41 angeordnet, ohne mit der Deckfolie 42 in Dickenrichtung der Deckfolie 42 zu überlappen. Dadurch kann verhindert werden, dass die positiven Fremdkörper Fp an der Deckfolie 42 und dem Gehäusehauptkörper 41 anhaften, obwohl die Deckfolie 42 auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgebracht wird.
Da das Dickenmaß D2 der Schutzfolie 43 kleiner ist als das Dickenmaß D1 der Deckfolie 42, kann nach der vorliegenden Ausführungsform, wenn sich der positive Fremdkörper Fp der Schutzfolie 43 nähert, ein Trennungsabstand zwischen dem positiven Fremdkörper Fp und der Deckfolie 42 so weit wie möglich reduziert werden. Aus diesem Grund kann zwischen dem positiven Fremdkörper Fp und der Deckfolie 42 eine Abstoßungskraft erzeugt werden, bevor der positive Fremdkörper Fp mit der Schutzfolie 43 in Kontakt kommt. Dadurch kann verhindert werden, dass die positiven Fremdkörper Fp an der Schutzfolie 43 haften, die Schutzfolie 43 durch den Kontakt der positiven Fremdkörper Fp beschädigt wird und dergleichen.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird beim Reinigungsprozess beim Aufbringen der Deckfolie 42 der Gehäusehauptkörper 41, auf den das Beschichtungsmittel Q1 aufgetragen wurde, in das Reinigungsmittel Q2 eingetaucht. Aus diesem Grund kann in der Außenfläche 41a und der Strömungskanaloberfläche 41b des Gehäusehauptkörpers 41 das überschüssige Beschichtungsmittel Q1 auf einer ebenen Fläche entfernt werden, und das überschüssige Beschichtungsmittel Q1 kann an dem Abschnitt, an dem sich Unebenheiten bilden, entsprechend entfernt werden. So besteht beispielsweise bei dem Verfahren zum Abwischen und Entfernen des überschüssigen Beschichtungsmittels Q1 die Befürchtung, dass das Abwischen des Beschichtungsmittels Q1 im Rauheitsbereich des Gehäusehauptkörpers 41 auftreten kann, oder das Beschichtungsmittel Q1 kann zu stark abgewischt werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird der Applikationsprozess auf dem Gehäusehauptkörper 41 durchgeführt, an dem die Durchflussrateerfassungseinheit 22 befestigt ist. In diesem Fall kann in einer Fertigungslinie des Luftflussmessers 14 ein Arbeitsbereich, in dem der Auftragsvorgang durchgeführt wird, am Ende der Fertigungslinie angeordnet werden. Aus diesem Grund kann selbst wenn der Arbeitsbereich, in dem ein Applikationsprozess durchgeführt wird, in einer konventionellen Produktionslinie eingeführt wird, eine relativ kleine Änderung durchgeführt werden. Dadurch kann ein Kostenanstieg zum Zeitpunkt der Herstellung des Luftflussmessers 14 mit der Deckfolie 42 verhindert werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird in dem chipartigen Luftflussmesser 14 mit dem Sensor S/A 36 die Deckfolie 42 auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgebracht. Bei dem obigen chipartigen Verfahren ist die Durchflussrateerfassungseinheit 22 im Sensor S/A 36 enthalten, und der Sensor S/A 36 ist klein im Heizabschnitt und kann Strom sparen, während die Wärmekapazität klein ist, und wenn also irgendwelche Fremdkörper an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 haften, neigen die Erfassungseigenschaften der Durchflussrateerfassungseinheit 22 dazu, sich zu ändern. Aus diesem Grund ist es vorzuziehen, die Deckfolie 42 auf den Gehäusehauptkörper 41 aufzubringen, damit die Durchflussrateerfassungseinheit 22 nicht negativ geladen wird, um eine unbeabsichtigte Änderung der Erfassungseigenschaften der Durchflussrateerfassungseinheit 22 zu verhindern.
(Zweite Ausführungsform)
In der ersten Ausführungsform wird der Gehäusehauptkörper 41, an dem die Durchflussrateerfassungseinheit 22 befestigt ist, beim Auftragen des Beschichtungsmittels Q1 in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht, aber in einer zweiten Ausführungsform wird ein Gehäusehauptkörper 41 in einem Schritt in ein Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht, bevor eine Durchflussrateerfassungseinheit 22 angebracht wird.
In der zweiten Ausführungsform weist der Gehäusehauptkörper 41 ein Paar von Hauptkörperelementen 51 auf. Die Hauptkörperelemente 51 sind Komponenten, die miteinander kombiniert werden, um einen Strömungskanalbildungsabschnitt 24 zu bilden, und ein Begrenzungsabschnitt der Hauptkörperelemente 51 ist orthogonal zu einer Breitenrichtung X. Eines der Hauptkörperelemente 51 ist ein Element, das eine Außenfläche 41a auf einer Seite des Gehäusehauptkörpers 41 in der Breitenrichtung X bildet, und das andere Körperelement 51 ist ein Element, das eine Außenfläche 41a auf der anderen Seite bildet. In diesem Fall wird der Strömungskanalbildungsabschnitt 24, durch das Paar der Hauptkörperelemente 51 in zwei Teile geteilt. Das eine Hauptkörperelement 51 ist integral mit einem Passabschnitt 25, einem Flanschabschnitt 27 und einem Verbindungsabschnitt 28 im Gehäusehauptkörper 41 ausgebildet.
8(a) zeigt einen primären Formkörper 52, der durch Primärformen gebildet ist. Der primäre Formkörper 52 weist eines der Hauptkörperelemente 51, den Passabschnitt 25 und einen Basisabschnitt 53 auf, und der Basisabschnitt 53 ist ein Abschnitt, der ein geschweißter Abschnitt für ein anschließendes Sekundärformen ist. Der Basisabschnitt 53 erstreckt sich vom Passabschnitt 25 zu einer dem Hauptkörperelement 51 gegenüberliegenden Seite und ist ein Abschnitt, der als Basis für den Flanschabschnitt 27 und den Verbindungsabschnitt 28 dient. Wie vorstehend beschrieben, sind im primären Formkörper 52 der Flanschabschnitt 27 und der Verbindungsabschnitt 28 noch nicht ausgebildet, und der Basisabschnitt 53 ist nur ausgebildet. Im primären Formkörper 52 von 8(a) ist die Durchflussrateerfassungseinheit 22 nicht am Gehäusehauptkörper 41 befestigt.
Danach wird, wie in 8(b) dargestellt, das Eintauchen durchgeführt, indem das Hauptkörperelement 51 des primären Formkörpers 52 als Auftragsverfahren in ein Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht wird. In diesem Schritt wird das gesamte Hauptkörperelement 51 in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht. Danach wird, wie in 8(c) dargestellt, das gesamte Hauptkörperelement 51 während des Reinigungsprozesses in ein Reinigungsmittel Q2 eingetaucht, und wie in 8(d) dargestellt, werden das Beschichtungsmittel Q1 und das Reinigungsmittel Q2 in einem Trockenprozess getrocknet. Nachdem das Beschichtungsmittel Q1 und das Reinigungsmittel Q2, wie in 8(e) dargestellt, getrocknet wurden, wird ein Montageschritt zur Montage der Durchflussrateerfassungseinheit 22 am primären Formkörper 52 durchgeführt. In diesem Fall ist die Durchflussrateerfassungseinheit 22 nicht mit einer Deckfolie 42 abgedeckt und befindet sich in einem freiliegenden Bereich S2.
Anschließend wird, wie in 8(f) dargestellt, das Sekundärformen am Primärformkörper 52 durchgeführt, um einen Sekundärformkörper 54 herzustellen. Im Sekundärguss sind der Flanschabschnitt 27 und der Verbindungsabschnitt 28 am Basisabschnitt 53 des Primärformteils 52 befestigt. Aus diesem Grund weist der sekundäre Formkörper 54 neben dem einen Hauptkörperelement 51 und dem Passabschnitt 25 den Flanschabschnitt 27 und den Verbindungsabschnitt 28 auf. Ein Sensor S/A 36 ist durch eine Sekundärvergussmasse bzw. ein Sekundärvergießen am Gehäusehauptkörper 41 befestigt.
Das Hauptkörperelement 51, das nicht im sekundären Formkörper 54 unter dem Paar der Hauptkörperelemente 51 enthalten ist, wird ebenfalls einem Anwendungsprozess, einem Reinigungsprozess und einem Trocknungsprozess in gleicher Weise wie der des sekundären Formkörpers 54 unterzogen. Beim Auftragen und Reinigen wird, ähnlich wie beim Hauptkörperelement 51 des Sekundärformkörpers 54, das gesamte Hauptkörperelement 51, das nicht im Sekundärformkörper 54 enthalten ist, in das Beschichtungsmittel Q1 und das Reinigungsmittel Q2 eingetaucht. Nach dem Trocknen des Hauptkörperelements 51 wird das Hauptkörperelement 51 an dem Hauptkörperelement 51 des sekundären Formkörpers 54 befestigt, und die Hauptkörperelemente 51 werden miteinander verbunden. Damit ist der Luftflussmesser 14 fertig gestellt.
In der vorliegenden Ausführungsform, beim Auftragen, wenn das Hauptkörperelement 51 in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht wird, wird der Spitzenseitenabschnitt des Passabschnitts 25 auch in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht. Aus diesem Grund ist der Deckbegrenzungsabschnitt B nicht im Strömungskanalbildungsabschnitt 24, sondem im Passabschnitt 25 vorgesehen, und ein Teil des Passabschnitts 25 ist im Deckbereich S1 enthalten. In der vorliegenden Ausführungsform ist der Deckbegrenzungsabschnitt B, wie in der ersten Ausführungsform, orthogonal zu einer Höhenrichtung Y und an einer Zwischenposition des Verbindungsabschnitts 25 in der Höhenrichtung Y angeordnet. In diesem Beispiel ist ein im Deckbereich S1 im Passabschnitt 25 enthaltener Abschnitt ein Abschnitt, der dem Ansaugkanal 12 in einem Zustand ausgesetzt ist, in dem der Luftflussmesser 14 am Ansaugrohr 12a befestigt ist. Aus diesem Grund wird im Gehäusehauptkörper 41 des Luftflussmessers 14 die Deckfolie 42 auf den gesamten Abschnitt des Ansaugkanals 12 aufgebracht, der mit der Ansaugluft in Kontakt kommt.
Gemäß der vorstehend beschriebenen vorliegenden Ausführungsform werden der Applikationsprozess, der Reinigungsprozess und der Trocknungsprozess am Gehäusehauptkörper 41 durchgeführt, bevor die Durchflussrateerfassungseinheit 22 angebracht wird. Dadurch ist es möglich, die Deckfolie 42 und die Schutzfolie 43 auf einer Basisendwand der Durchflussrateerfassungseinheit 22 im Gehäusehauptkörper 41 vorzusehen und eine Konfiguration zu realisieren, bei der die Deckfolie 42 und die Schutzfolie 43 nicht an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 befestigt sind. Daher kann in einem Zustand, in dem der fertige Luftflussmesser 14 am Ansaugrohr 12a befestigt ist, eine Konfiguration realisiert werden, in der die mit der Ansaugluft in Berührung kommende Oberfläche des gesamten Abschnitts des Gehäuses 21 mit den positiven Ladungen 45 geladen wird.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform, da der Anwendungsprozess, der Reinigungsprozess und der Trocknungsprozess am Gehäusehauptkörper 41 vor der Montage des Hauptkörperpaares 51 durchgeführt werden, kann die Durchflussrateerfassungseinheit 22 nach Durchführung der oben genannten Prozesse problemlos am Gehäusehauptkörper 41 befestigt werden.
(Dritte Ausführungsform)
In der ersten Ausführungsform wird der Gehäusehauptkörper 41 beim Auftragen des Beschichtungsmittels Q1 in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht, aber in einer dritten Ausführungsform wird ein Beschichtungsmittel Q1 auf einen Gehäusehauptkörper 41 aufgesprüht. In der vorliegenden Ausführungsform werden, wie in der ersten Ausführungsform, die anderen Schritte abgeschlossen, so dass ein Schritt zum Aufbringen einer Deckfolie 42 und einer Schutzfolie 43 auf den Gehäusehauptkörper 41 erfolgt. Beim Auftragen, wie in den 9 bis 11 dargestellt, wird das Beschichtungsmittel Q1 auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgebracht, indem das Beschichtungsmittel Q1 mit einem Sprühwerkzeug W, wie beispielsweise einer Sprühdose, auf den Gehäusehauptkörper 41 aufgesprüht wird. Es ist zu beachten, dass das Verfahren zum Versprühen des Beschichtungsmittels Q1 mit einem Sprühwerkzeug W vorzugsweise auf den Fall angewendet wird, dass kein Bedarf besteht, einen Deckbegrenzungsabschnitt B auf dem Gehäusehauptkörper 41 zu bilden.
Während des Reinigungsprozesses kann ein überschüssiges Beschichtungsmittel Q1 mit einem Tuch oder dergleichen vom Gehäusehauptkörper 41 abgewischt werden, und das überschüssige Beschichtungsmittel Q1 kann vom Gehäusehauptkörper 41 entfernt werden, indem das Reinigungsmittel Q2 auf den Gehäusehauptkörper 41 gesprüht wird, wobei ein anderes Sprühwerkzeug als das Sprühwerkzeug W verwendet wird.
So wird beispielsweise, wie in 9 dargestellt, beim Auftragen das Beschichtungsmittel Q1 mit dem Sprühwerkzeug W auf eine Außenfläche 41a des Gehäusehauptkörpers 41 aufgesprüht, und insbesondere das Beschichtungsmittel Q1 wird auf einen Strömungskanalbildungsabschnitt 24 aufgebracht. In diesem Beispiel kann das Beschichtungsmittel Q1 auf die Strömungskanaloberfläche 41b aufgebracht werden, indem das Beschichtungsmittel Q1 aus einer Einlassöffnung 33a, einer Auslassöffnung 33b und Messauslässen 33c in Richtung der Innenseite eines Durchgangsströmungskanals 31 und eines Messströmungskanals 32 gesprüht wird. Darüber hinaus sind die Einlassöffnung 33a, die Auslassöffnung 33b und die Messauslässe 33c mit einem Deckband oder dergleichen abgedeckt, so dass das Beschichtungsmittel Q1 nicht in den Durchgangsströmungskanal 31 oder den Messströmungskanal 32 gelangen darf. Dadurch kann verhindert werden, dass das Beschichtungsmittel Q1 auf die Strömungskanaloberfläche 41b aufgebracht wird. In diesem Fall existiert ein Deckbegrenzungsabschnitt B in der Einlassöffnung 33a, der Auslassöffnung 33b und den Messauslässen 33c, und die Strömungskanaloberfläche 41b und die Durchflussrateerfassungseinheit 22 sind in einem freiliegenden Bereich S2 enthalten.
Weiterhin kann, wie in 10 dargestellt, das Beschichtungsmittel Q1 beim Auftragen mit dem Sprühwerkzeug W auf die gesamte Außenfläche 41a des Gehäusehauptkörpers 41 aufgesprüht werden. In diesem Fall ist die gesamte Außenfläche 41a im Deckbereich S1 enthalten. In diesem Beispiel wird im Gehäusehauptkörper 41 das Beschichtungsmittel Q1 sowohl auf einen Abschnitt, der in den Ansaugkanal 12 eintritt, als auch auf einen Abschnitt, der nicht in den Ansaugkanal 12 eintritt, in einem Zustand aufgetragen, in dem der Luftflussmesser 14 an dem Ansaugrohr 12a befestigt ist. In diesem Beispiel ist das Verhältnis einer Fläche des mit der Deckfolie 42 abgedeckten Gehäusehauptkörpers 41 zur Gesamtfläche größer, so dass das Gehäuse 21 weniger negativ geladen wird und somit die Durchflussrateerfassungseinheit 22 weniger negativ geladen wird. Aus diesem Grund kann in der Konfiguration, in der die gesamte Außenfläche 41a des Gehäusehauptkörpers 41 mit der Deckfolie 42 bedeckt ist, eine Reduzierung der Erfassungsgenauigkeit der Durchflussrateerfassungseinheit 22 durch die an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 haftenden positiven Fremdkörper Fp sicher verhindert werden.
In der vorliegenden Ausführungsform, wie auch in der zweiten Ausführungsform, kann der Auftragsprozess, der Reinigungsprozess und der Trocknungsprozess durchgeführt werden, bevor das Hauptkörperpaar 51 montiert wird, und das Sprühwerkzeug W kann im Auftragsprozess verwendet werden. So ist beispielsweise, wie in 11 dargestellt, im Gehäusehauptkörper 41 eines der beiden Hauptkörperelemente 51 nicht befestigt, sondern die Durchflussrateerfassungseinheit 22, und in diesem Stadium wird das Beschichtungsmittel Q1 sowohl auf das Hauptkörperelement 51 als auch auf die Durchflussrateerfassungseinheit 22 aufgesprüht. In diesem Fall kann das Auftragen des Beschichtungsmittels Q1 auf den Gehäusehauptkörper 41 und die Durchflussrateerfassungseinheit 22 gemeinsam durchgeführt werden. In der Konfiguration, in der die Durchflussrateerfassungseinheit 22 mit der Deckfolie 42 bedeckt ist, da eine Abstoßungskraft zwischen dem sich der Durchflussrateerfassungseinheit 22 nähernden positiven Fremdkörper Fp und der positiven Ladung 45 der Deckfolie 42 erzeugt wird, kann die Kontamination der Durchflussrateerfassungseinheit 22 durch den positiven Fremdkörper Fp zuverlässiger verhindert werden.
Es ist vorzuziehen, das Beschichtungsmittel Q1 auf die Durchflussrateerfassungseinheit 22 aufzutragen, nachdem vorher durch einen Test oder dergleichen bestätigt wurde, dass sich die Erfassungseigenschaften nicht ändern oder die Erfassungsgenauigkeit nicht verschlechtert, auch wenn das Beschichtungsmittel Q1 an der Durchflussrateerfassungseinheit 22 haftet. Wenn sich die Erfassungscharakteristik ändert oder die Erfassungsgenauigkeit sinkt, wie in der zweiten Ausführungsform, ist es vorzuziehen, das Beschichtungsmittel Q1 auf den Gehäusehauptkörper 41 zu sprühen und aufzutragen, und zwar in einer Stufe, bevor die Durchflussrateerfassungseinheit 22 am Gehäusehauptkörper 41 befestigt wird.
(Vierte Ausführungsform)
In der ersten Ausführungsform ist der Luftflussmesser 14 vom Chip-Typ, aber in einer vierten Ausführungsform ist ein Luftflussmesser vom Spulentyp. In der vorliegenden Ausführungsform wird ein Luftflussmesser 60 mit Bezug auf die 12 und 13 beschrieben.
Der in den 12 und 13 dargestellte Luftflussmesser 60 beinhaltet ein Gehäuse 61 und eine Durchflussrateerfassungseinheit 62, ähnlich dem Luftflussmesser 14 der ersten Ausführungsform. Das Gehäuse 61 beinhaltet einen Strömungskanalbildungsabschnitt 64, einen Passabschnitt 65, einen O-Ring 66, einen Flanschabschnitt 67 und einen Verbindungsabschnitt 68, ähnlich wie das Gehäuse 21 der ersten Ausführungsform. Die Durchflussrateerfassungseinheit 62 entspricht einer „physikalischen Größenerfassungseinheit“ bzw. einer „Einheit zur Erfassung einer physikalischen Größe“.
Der Strömungskanalbildungsabschnitt 64 des Gehäuses 61, bildet einen Bypass-Strömungskanal 71, und der Bypass-Strömungskanal 71 weist einen Bypass-Einlass 72 als stromaufwärts gelegenen Endabschnitt und einen Bypass-Auslass 73 als stromabwärts gelegenen Endabschnitt auf. Der Bypass-Strömungskanal 71 weist einen oberen Strömungskanalabschnitt 71a auf, der sich vom Bypass-Einlass 72 bis zur Basisendseite erstreckt, und einen unteren Strömungskanalabschnitt 71b, der sich vom Bypass-Auslass 73 bis zur Basisendseite erstreckt, und diese Strömungskanalabschnitte 71a und 71b erstrecken sich beide in der Höhenrichtung Y. Die Durchflussrateerfassungseinheit 62 weist ein wärmeerzeugendes Element 62a und ein Temperaturfühlerelement 62b auf und wird von einem Spulenhalterabschnitt 74 getragen, der sich vom Gehäuse 61 erstreckt. Die Durchflussrateerfassungseinheit 62 ist im oberen Strömungskanalabschnitt 71a vorgesehen, und das Temperaturmesselement 62b ist an einer Position angeordnet, die näher am Bypass-Einlass 72 liegt als das wärmeerzeugende Element 62a.
Im Luftflussmesser 60 gemäß der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet das Gehäuse 61, ähnlich dem Luftflussmesser 14 der ersten Ausführungsform, einen Gehäusehauptkörper 61a, eine Deckfolie 42 und eine Schutzfolie 43. Das Gehäuse 61 ist unterteilt in einen Deckbereich S1 und einen freiliegenden Bereich S2 entsprechend dem Vorhandensein oder Fehlen der Deckfolie 42 und der Schutzfolie 43. Ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform ist auch der Deckbegrenzungsabschnitt B auf der Spitzenseite der Durchflussrateerfassungseinheit 62 angeordnet, und die Durchflussrateerfassungseinheit 62 ist im freiliegenden Bereich S2 enthalten. Mit anderen Worten, die Deckfolie 42 und die Schutzfolie 43 sind nicht auf das wärmeerzeugende Element 62a und das Temperaturfühlerelement 62b aufgebracht. Da bei dem spulenkörperartigen Luftflussmesser 60 davon ausgegangen wird, dass die Erfassungsgenauigkeit wahrscheinlich abnimmt, wenn das wärmeerzeugende Element 62a und das Temperaturmesselement 62b mit der Deckfolie 42 bedeckt sind, ist es vorzuziehen, dass die Durchflussrateerfassungseinheit 62 nicht im Deckbereich S1 enthalten ist.
Zum Zeitpunkt der Herstellung des Luftflussmessers 60 wird der Gehäusehauptkörper 61a, ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform, beim Auftragen des Beschichtungsmittels Q1 (nicht dargestellt) in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht, um das Beschichtungsmittel Q1 auf den Gehäusehauptkörper 61a aufzutragen. Wie in der dritten Ausführungsform kann das Beschichtungsmittel Q1 durch Sprühen auf den Gehäusehauptkörper 61a aufgebracht werden.
(Fünfte Ausführungsform)
In der ersten Ausführungsform weist der Luftflussmesser 14 den Durchgangsströmungskanal 31 und den Messströmungskanal 32 auf, aber in einer fünften Ausführungsform beinhaltet ein Luftströmungsmesser neben einem Durchgangsströmungskanal und einem Messströmungskanal auch einen Unterströmungskanal bzw. Subströmungskanal.
Ein in 14 dargestellter Luftflussmesser 80 beinhaltet ein Gehäuse 81 und eine Durchflussrateerfassungseinheit 82, ähnlich dem Luftflussmesser 14 der ersten Ausführungsform. Ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform beinhaltet das Gehäuse 81 einen Strömungskanalbildungsabschnitt 84, einen Passabschnitt 85, einen O-Ring 86, einen Flanschabschnitt 87 und einen Verbindungsabschnitt 88, und der Strömungskanal bildende Abschnitt 84 beinhaltet einen Durchgangsströmungskanal 91 und einen Messströmungskanal 92. Die Durchflussrateerfassungseinheit 82 ist auf einem Durchflusssubstrat 82a montiert, und das Durchflusssubstrat 82a ist auf dem Gehäuse 81 in einem Zustand vorgesehen, in dem ein Abschnitt, in dem die Durchflussrateerfassungseinheit 82 montiert ist, und die Durchflussrateerfassungseinheit 82 dem Messströmungskanal 92 ausgesetzt sind.
Der Strömungskanalbildungsabschnitt 84 gemäß der vorliegenden Ausführungsform bildet, weist neben dem Durchgangsströmungskanal 91 und dem Messströmungskanal 92 einen Subströmungskanal 95 auf. Der Subströmungskanal 95 erstreckt sich ähnlich wie der Durchgangsströmungskanal 91 in Tiefenrichtung Z und ist zwischen dem Messströmungskanal 92 und dem Flanschabschnitt 87 in Höhenrichtung Y angeordnet. Im Subströmungskanal 95 ist ein Subeinlass 95a, der ein stromaufwärtiger Endabschnitt ist, näher am Flanschabschnitt 87 als eine Einlassöffnung 91a des Durchgangsströmungskanals 91 angeordnet, und ein Subauslass 95b, der ein stromabwärtiger Endabschnitt ist, ist näher am Flanschabschnitt 87 angeordnet als eine Auslassöffnung 91b des Durchgangsströmungskanals 91.
Ein Sensorsubstrat 96 ist im Subströmungskanal 95 vorgesehen, und eine Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 und eine Druckerfassungseinheit 98 sind auf dem Sensorsubstrat 96 montiert. Die Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 erfasst eine Feuchtigkeit einer durch den Subströmungskanal 95 strömenden Ansaugluft, und die Druckerfassungseinheit 98 erfasst einen Druck der durch den Subströmungskanal 95 strömenden Ansaugluft. Der Durchgangsströmungskanal 91, der Messströmungskanal 92 und der Subströmungskanal 95 entsprechen einem „Bypass-Strömungskanal“, und die Durchflussrateerfassungseinheit 82, die Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 und die Druckerfassungseinheit 98 entsprechen einer „physikalischen Größenerfassungseinheit“ bzw. einer „Einheit zur Erfassung einer physikalischen Größe“.
Im Luftflussmesser 80 gemäß der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet das Gehäuse 81 ähnlich dem Luftflussmesser 14 der ersten Ausführungsform einen Gehäusehauptkörper 81a, eine Deckfolie 42 und eine Schutzfolie 43. Das Gehäuse 81 ist unterteilt in einen Deckbereich S1 und einen freiliegenden Bereich S2 entsprechend dem Vorhandensein oder Fehlen der Deckfolie 42 und der Schutzfolie 43. Ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform ist auch der Deckbegrenzungsabschnitt B auf der Spitzenseite der Durchflussrateerfassungseinheit 82 angeordnet, und die Durchflussrateerfassungseinheit 82 ist im freiliegenden Bereich S2 enthalten. In der vorliegenden Ausführungsform sind die Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 und die Druckerfassungseinheit 98 auch im freiliegenden Bereich S2 enthalten. Aus diesem Grund kann eine Verringerung der Erfassungsgenauigkeit vermieden werden, indem eine der Durchflussrateerfassungseinheit 82, der Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 und Druckerfassungseinheit 98 mit der Deckfolie 42 abgedeckt werden.
Zum Zeitpunkt der Herstellung des Luftflussmessers 80 wird, ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform, das Beschichtungsmittel Q1 auf den Gehäusehauptkörper 81a aufgebracht, indem der Gehäusehauptkörper 81a beim Auftragen in das Beschichtungsmittel Q1 (nicht dargestellt) eingetaucht wird. Weiterhin kann, wie in der dritten Ausführungsform, das Beschichtungsmittel Q1 durch Sprühen des Beschichtungsmittels Q1 auf den Gehäusehauptkörper 81a aufgebracht werden.
Obwohl eine Mehrzahl von Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Offenbarung vorstehend beschrieben wurden, wird die vorliegende Offenbarung nicht als auf die oben genannten Ausführungsformen beschränkt ausgelegt und kann auf verschiedene Ausführungsformen und Kombinationen in einem Umfang angewendet werden, der nicht vom Geist der vorliegenden Offenbarung abweicht. Die Modifikationen 1 bis 11 der obigen Ausführungsform werden im Folgenden beschrieben.
Als Modifikation 1 ist in jeder der vorstehenden Ausführungsformen das Dickenmaß D2 der Schutzfolie 43 kleiner als das Dickenmaß D1 der Deckfolie 42, aber diese Dickenmaße D1 und D2 können gleich sein, und das Dickenmaß D2 kann größer als das Dickenmaß D1 sein. Wenn das Dickenmaß D2 der Schutzfolie 43 in beiden Konfigurationen nicht zu groß ist, neigt eine Abstoßungskraft zwischen der positiven Ladung 45 der Deckfolie 42 und dem positiven Fremdkörper Fp zum Auftreten.
Als Modifikation 2 weist das Gehäuse 21 in jeder der vorgenannten Ausführungsformen sowohl die Deckfolie 42 als auch die Schutzfolie 43 auf, jedoch darf das Gehäuse 21, wie in 15 dargestellt, nicht die Schutzfolie 43 aufweisen. Ebenso ist in der obigen Konfiguration mit einer Abstoßungskraft zwischen den positiven Ladungen 45 der Deckfolie 42 und den positiven Fremdkörpern Fp zu rechnen. Da das Beschichtungsmittel Q1 zur Bildung der Deckfolie 42 eine Siliziumkomponente und eine Fluorharzkomponente enthält, wird die Oberfläche der Deckfolie 42 zudem glatt. Aus diesem Grund wird auch bei Kontakt der Fremdkörper mit der Deckfolie 42 eine Reibung zwischen der Fremdware und der Deckfolie 42 verhindert und die Fremdkörper daran gehindert, an der Deckfolie 42 zu haften. Das heißt, die Kontamination der Deckfolie 42 durch Fremdkörper wird verhindert. Da die Deckfolie 42 eine Siliziumkomponente oder eine Fluorharzkomponente enthält, kann der Deckfolie 42 zusätzlich eine wasserabweisende Wirkung verliehen und eine Salzschadenskorrekturmaßnahme auf die Deckfolie 42 angewendet werden.
Wie Modifikation 3 weist die Deckfolie 42 in jeder der obigen Ausführungsformen die positiven Ladungen 45 auf, aber wie in 16 dargestellt, kann der Gehäusehauptkörper 41 die positiven Ladungen 45 aufweisen. In der obigen Konfiguration sind die positiven Ladungen 45 entlang der Außenfläche 41a und der Strömungskanaloberfläche 41b angeordnet, die die Oberflächen des Gehäusehauptkörpers 41 sind. In diesem Fall ist die Wahrscheinlichkeit, dass der Gehäusehauptkörper 41 negativ geladen wird, geringer als bei einer Konfiguration, bei der die Deckfolie 42 nicht vorgesehen ist. Ebenso kann in der obigen Konfiguration, wenn das Dickenmaß D1 der Deckfolie 42 und das Dickenmaß D2 der Schutzfolie 43 nicht zu groß sind, eine Abstoßungskraft zwischen den positiven Ladungen 45 und dem positiven Fremdkörper Fp auftreten und verhindert werden, dass der positive Fremdkörper Fp an der Schutzfolie 43 haftet.
Als Modifikation 4 sind in der ersten, vierten und fünften Ausführungsform die Durchflussrateerfassungseinheiten 22, 62 und 82 in dem freiliegenden Bereich S2 enthalten, aber diese Durchflussrateerfassungseinheiten 22, 62 und 82 können in dem Deckbereich S1 enthalten sein. So werden beispielsweise die gesamten Gehäusehauptkörper 41, 61a und 81a in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht, um die gesamten Gehäusehauptkörper 41, 61a und 81a als Deckbereich S1 einzustellen. Weiterhin, beispielsweise in der fünften Ausführungsform, wird der Deckbegrenzungsabschnitt B zwischen dem Messströmungskanal 92 und dem Subströmungskanal 95 angeordnet. In der obigen Konfiguration ist die Durchflussrateerfassungseinheit 82 im Deckbereich S1 enthalten, während die Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 und die Druckerfassungseinheit 98 im freiliegenden Bereich S2 enthalten sind. In diesem Fall, wenn die Deckfolie 42 durch Eintauchen des Gehäusehauptkörpers 81a in das Beschichtungsmittel Q1 gebildet wird, wird die Durchflussrateerfassungseinheit 82 mit der Deckfolie 42 abgedeckt, während die Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 und die Druckerfassungseinheit 98 nicht mit der Deckfolie 42 abgedeckt sind.
In der fünften Ausführungsform wird der Deckbegrenzungsabschnitt B auf der Basisendseite des Subströmungskanals 95 platziert. In der obigen Konfiguration sind neben der Durchflussrateerfassungseinheit 82 auch die Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 und die Druckerfassungseinheit 98 im Deckbereich S1 enthalten, und der Gehäusehauptkörper 81a wird beim Auftragen in das Beschichtungsmittel Q1 eingetaucht, wodurch jede dieser Erfassungseinheiten 82, 97 und 98 mit der Deckfolie 42 abgedeckt werden kann. Im obigen Fall können in einer der Durchflussrateerfassungseinheit 82, der Feuchtigkeitserfassungseinheit 97 und der Druckerfassungseinheit 98 die positiven Ladungen 45 der Deckfolie 42 die Kontamination durch die positiven Fremdkörper Fp zuverlässiger verhindern.
Als Modifikation 5 ist in den oben genannten Ausführungsformen 1, 2, 4 und 5 der Deckbegrenzungsabschnitt B orthogonal zur Höhenrichtung Y, aber der Deckbegrenzungsabschnitt B darf nicht orthogonal zur Höhenrichtung Y sein. So kann sich beispielsweise der Deckbegrenzungsabschnitt B in der Höhenrichtung Y erstrecken und der Deckbegrenzungsabschnitt B kann in der Tiefenrichtung Z geneigt sein. So wird beispielsweise in der Höhenrichtung Y der Deckbegrenzungsabschnitt B sowohl auf der Spitzenseite als auch auf der Basisendseite der Durchflussrateerfassungseinheit platziert. In der obigen Konfiguration ist die Durchflussrateerfassungseinheit im Deckbereich S1 enthalten, und der freiliegende Bereich S2 befindet sich sowohl auf der Spitzenseite als auch auf der Basisendseite des Deckbereichs S1.
Als Modifikation 6 wird in der ersten, zweiten, vierten und fünften Ausführungsform im Gehäusehauptkörper der Deckbegrenzungsabschnitt B an der gleichen Stelle auf der Außenfläche und der Strömungskanaloberfläche angeordnet, wobei der Deckbegrenzungsabschnitt B jedoch an verschiedenen Stellen auf der Außenfläche und der Strömungskanalfläche des Gehäusehauptkörpers angeordnet sein kann. So befindet sich beispielsweise der Deckbegrenzungsabschnitt B auf der Außenfläche des Gehäusehauptkörpers, während der Deckbegrenzungsabschnitt B nicht auf der Strömungskanaloberfläche vorhanden ist. So ist beispielsweise in der ersten Ausführungsform die Außenfläche 41a des Gehäusehauptkörpers 41 teilweise mit der Deckfolie 42 abgedeckt, während die Strömungskanaloberfläche 41b vollständig mit der Deckfolie 42 abgedeckt ist.
Als Modifikation 7 kann in jeder der oben genannten Ausführungsformen die Deckfolie nur auf der stromaufwärts gerichteten Seite der Durchflussrateerfassungseinheit im Messströmungskanal oder die Deckfolie nur auf der stromabwärts gerichteten Seite gebildet werden. So ist beispielsweise in der ersten Ausführungsform, in der Strömungskanaloberfläche 41b, der gesamte Abschnitt, der den Durchgangsströmungskanal 31 bildet, mit der Deckfolie 42 abgedeckt, und in dem Abschnitt, der den Messströmungskanal 32 bildet, ist die stromaufwärtige Seite der Durchflussrateerfassungseinheit 22 mit der Deckfolie 42 abgedeckt. In der obigen Konfiguration ist es im Durchgangsströmungskanal 31 und im Messströmungskanal 32 weniger wahrscheinlich, dass der positive Fremdkörper Fp an der Strömungskanaloberfläche 41b auf der stromaufwärts gelegenen Seite der Durchflussrateerfassungseinheit 22 haftet. Dadurch kann verhindert werden, dass eine durch die Anhäufung der positiven Fremdkörper Fp auf der Strömungskanaloberfläche 41b gebildete Masse abblättert und mit der Durchflussrateerfassungseinheit 22 kollidiert. Darüber hinaus kann in der Strömungskanaloberfläche 41b die stromabwärts gerichtete Seite der Durchflussrateerfassungseinheit 22 in dem den Messströmungskanal 32 bildenden Abschnitt mit der Deckfolie 42 abgedeckt werden.
Als Modifikation 8 beinhaltet der Deckbegrenzungsabschnitt B in jeder der vorgenannten Ausführungsformen jeden Endabschnitt der Deckfolie 42 und der Schutzfolie 43, aber die Schutzfolie 43 darf nicht in den Deckbegrenzungsabschnitt B einbezogen werden. So bedeckt beispielsweise die Schutzfolie 43 den Gehäusehauptkörper 41 sowohl im Deckbereich S1 als auch im freiliegenden Bereich S2 unabhängig von der Position des Deckbegrenzungsabschnitts B. Die Schutzfolie 43 bedeckt einen Teil der Deckfolie 42. In beiden Konfigurationen kann mindestens ein Teil der Deckfolie 42 durch die Schutzfolie 43 geschützt werden.
Als Modifikation 9 ist in jeder der vorstehend beschriebenen Ausführungsformen die Durchflussrateerfassungseinheit im Messströmungskanal als physikalische Größenerfassungseinheit vorgesehen, wobei die im Messströmungskanal vorgesehene physikalische Größenerfassungseinheit jedoch eine Feuchtigkeitserfassungseinheit, eine Temperaturerfassungseinheit oder eine Druckerfassungseinheit sein kann.
Als Modifikation 10 weist der Messströmungskanal in jeder der oben genannten Ausführungsformen eine zirkulierende Form auf, aber der Messströmungskanal kann eine Form aufweisen, die sich in Tiefenrichtung Z erstreckt, ohne zu zirkulieren. Darüber hinaus kann der Luftflussmesser als Modifikation 11 in jeder der vorstehend beschriebenen Ausführungsformen nur den Messströmungskanal aus dem Durchgangsströmungskanal und dem Messströmungskanal aufweisen. In diesem Fall dient der obere Endabschnitt des Messströmungskanals als Einlassöffnung.
Als Modifikation 11 darf die Deckfolie 42 nur auf die Durchflussrateerfassungseinheit 22 im Sensor S/A 36 aufgebracht werden. Die Deckfolie 42 kann auf einen Abschnitt des Sensors S/A 36 mit Ausnahme der Durchflussrateerfassungseinheit 22 aufgebracht werden. Diese Konfiguration beinhaltet eine Konfiguration, bei der die Deckfolie 42 nur an mindestens einem Teil des Erkennungsträgerabschnitts 38 im Sensor S/A 36 vorgesehen ist, und eine Konfiguration, bei der die Deckfolie 42 nur an mindestens einem Teil des Dichtungsabschnitts 39 vorgesehen ist. Darüber hinaus kann auch eine Konfiguration vorgeschlagen werden, bei der die Deckfolie 42 nur dem Erkennungsträgerabschnitt 38 und dem Dichtungsabschnitt 39 zugeführt wird, oder eine Konfiguration, bei der die Deckfolie 42 mindestens einem Abschnitt des Gehäusekörpers 37 ohne den Erfassungsträgerabschnitt 38 zugeführt wird.
Obwohl die vorliegende Offenbarung in Übereinstimmung mit den Beispielen beschrieben wurde, versteht es sich, dass die Offenbarung nicht auf solche Beispiele oder Strukturen beschränkt ist. Die vorliegende Offenbarung umfasst verschiedene Änderungen und Variationen im Rahmen von Äquivalenten. Darüber hinaus ist zu verstehen, dass verschiedene Kombinationen oder Aspekte oder andere Kombinationen oder Aspekte, bei denen nur ein Element, ein oder mehrere Elemente oder ein oder weniger Elemente zu den verschiedenen Kombinationen oder Aspekten hinzugefügt werden, ebenfalls in den Anwendungsbereich oder die technische Idee der vorliegenden Offenbarung fallen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 4553898 B2 [0005]

Claims

Vorrichtung (14, 60, 80) zum Messen einer physikalischen Größe eines Fluids, umfassend: ein Gehäuse (21, 61, 81), das einen Bypass-Strömungskanal (31, 32, 71, 91, 92, 95) beinhaltet, durch den ein Fluid strömt; und eine Größenerfassungseinheit (22, 62, 82, 97, 98) zum Erfassen einer physikalischen Größe, die eine physikalische Größe des Fluids in dem Bypass-Strömungskanal erfasst, wobei das Gehäuse das Folgende beinhaltet: einen Gehäusehauptkörper (41, 61a, 81a) aus einem Dielektrikum, und eine Deckfolie (42), die mindestens einen Teil einer Oberfläche (41a, 41b) des Gehäusehauptkörpers abdeckt, und wobei die Oberfläche des Gehäuses durch positive Ladungen (45), die in dem Gehäusehauptkörper entlang der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers angeordnet sind, positiv geladen ist oder die positiven Ladungen (45) in der Deckfolie entlang einer Oberfläche der Deckfolie angeordnet sind.
Physikalische Größenmessvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse das Folgende beinhaltet: einen Deckbereich (S1), in dem die Oberfläche des Gehäusehauptkörpers mit der Deckfolie abgedeckt ist, und einen freiliegenden Bereich (S2), in dem die Oberfläche des Gehäusehauptkörpers nicht mit der Deckfolie abgedeckt ist, wobei der Deckbereich und der freiliegende Bereich nacheinander entlang einer vorbestimmten Richtung (Y) des Gehäuses angeordnet sind, und wobei die Einheit zur Erfassung der physikalischen Größe in dem freiliegenden Bereich enthalten ist.
Physikalische Größenmessvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Oberfläche des Gehäusehauptkörpers eine Strömungskanaloberfläche (41b) beinhaltet, die den Bypass-Strömungskanal definiert, und die Deckfolie mindestens einen Teil der Strömungskanaloberfläche abdeckt.
Physikalische Größenmessvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Deckfolie mindestens einen Teil einer Außenfläche (41a) des Gehäusehauptkörpers abdeckt.
Physikalische Größenmessvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Gehäuse eine Schutzfolie (43) beinhaltet, die die Deckfolie schützt, indem sie mindestens einen Teil der Oberfläche der Deckfolie abdeckt.
Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung (14, 60, 80) zur Messung der physikalischen Größe, die ein Gehäuse (21, 61, 81) mit einem von einem Fluid durchströmten Bypass-Strömungskanal (31, 32, 71, 91, 92, 95) und eine Größenerfassungseinheit (22, 62, 82, 97, 98) zur Erfassung der physikalischen Größe des Fluids im Bypass-Strömungskanal aufweist, wobei das Gehäuse einen Gehäusehauptkörper (41, 61a, 81a) aus einem Dielektrikum und eine Deckfolie(42) aufweist, der mindestens einen Teil einer Oberfläche (41a, 41b) des Gehäusehauptkörpers abdeckt, und wobei die Oberfläche des Gehäuses positiv geladen ist, weil positive Ladungen (45) im Gehäusehauptkörper entlang der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers oder die positiven Ladungen (45) in der Deckfolie entlang einer Oberfläche der Deckfolie angeordnet sind, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: Auftragen eines Beschichtungsmittels (Q1) zum Bilden der Deckfolie auf der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers; Reinigen des Gehäusehauptkörpers, während der Gehäusehauptkörper mit dem Beschichtungsmittel beschichtet ist; und nach der Reinigung des Gehäusehauptkörpers, Trocknen des Beschichtungsmittels, das auf der Oberfläche des Gehäusehauptkörpers aufgebracht ist.
Verfahren zur Herstellung einer physikalischen Größenmesseinrichtung nach Anspruch 6, wobei der Gehäusehauptkörper in das Beschichtungsmittel eingetaucht ist, um das Beschichtungsmittel auf die Oberfläche des Gehäuses aufzutragen, und der Gehäusehauptkörper in ein Reinigungsmittel (Q2) eingetaucht ist, während er mit dem Beschichtungsmittel beschichtet ist, um den Gehäusehauptkörper zu reinigen.
Verfahren zur Herstellung einer physikalischen Größenmesseinrichtung nach Anspruch 7, wobei das Beschichtungsmittel auf die Oberfläche des Gehäusehauptkörpers aufgebracht wird, nachdem die Einheit zur Erfassung der physikalischen Größe an dem Gehäusehauptkörper befestigt wurde.
Verfahren zur Herstellung einer physikalischen Größenmesseinrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei das Beschichtungsmittel auf den Gehäusehauptkörper gesprüht wird, um das Beschichtungsmittel auf die Oberfläche des Gehäuses aufzutragen.