DE112008000415T5 - Kontaktloses Drehmomenterfassen für einen Ventilbetätiger - Google Patents

Kontaktloses Drehmomenterfassen für einen Ventilbetätiger Download PDF

Info

Publication number
DE112008000415T5
DE112008000415T5 DE112008000415T DE112008000415T DE112008000415T5 DE 112008000415 T5 DE112008000415 T5 DE 112008000415T5 DE 112008000415 T DE112008000415 T DE 112008000415T DE 112008000415 T DE112008000415 T DE 112008000415T DE 112008000415 T5 DE112008000415 T5 DE 112008000415T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
valve
acoustic wave
component
surface acoustic
wave device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE112008000415T
Other languages
English (en)
Other versions
DE112008000415B4 (de
Inventor
William T. Dolenti
Byron A. Fleury
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Flowserve Management Co
Original Assignee
Flowserve Management Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Flowserve Management Co filed Critical Flowserve Management Co
Publication of DE112008000415T5 publication Critical patent/DE112008000415T5/de
Application granted granted Critical
Publication of DE112008000415B4 publication Critical patent/DE112008000415B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/25Measuring force or stress, in general using wave or particle radiation, e.g. X-rays, microwaves, neutrons
    • G01L1/255Measuring force or stress, in general using wave or particle radiation, e.g. X-rays, microwaves, neutrons using acoustic waves, or acoustic emission
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0075For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment
    • F16K37/0083For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment by measuring valve parameters
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025Electrical or magnetic means
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0025Electrical or magnetic means
    • F16K37/0041Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0075For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/16Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
    • G01L1/162Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators
    • G01L1/165Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices using piezoelectric resonators with acoustic surface waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/0061Force sensors associated with industrial machines or actuators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/12Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring axial thrust in a rotary shaft, e.g. of propulsion plants

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Abstract

Elektrisch angetriebener Ventilbetätiger, umfassend:
ein rotierendes Bauteil; und
einen Drehmoment- oder Schubsensor, umfassend zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung an dem rotierenden Bauteil befestigt ist.

Description

  • Prioritätsanspruch
  • Dies beansprucht den Vorteil des Anmeldetags der US Provisional Patentanmeldung Nr. 60/902 029, angemeldet am 16. Februar 2007 für „Kontaktloses Drehmomenterfassen für Ventilbetätiger”.
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen Verfahren, Systeme und Vorrichtungen zur Drehmomentmessung und insbesondere für kontaktloses Drehmomenterfassen eines Ventilbetätigers.
  • Hintergrund
  • Ventile schließen Vorrichtungen für sowohl Flüssigkeiten als auch Gase ein. Ventilbetätiger für Ventile sind bekannt und können mechanisch betätigt werden. Beispielsweise kann der Ventilbetätiger manuell betrieben werden, durch Flüssigkeitsdruck betätigt werden, in welchem die Welle direkt oder indirekt mit einem Flüssigkeits-betriebenen Kolben verbunden ist, oder durch eine Elektrohydraulik angetrieben sein oder durch Elektroflüssigkeitsmittel. Konventionelle Ventilbetätiger umfassen eine elektrisch angetriebene Eingangswelle, welche drehbar bei relativ hohen Geschwindigkeiten mit einem relativ geringen Drehmoment sein kann. Die Eingangswelle kann durch reduzierende Getriebe wie ein Schneckengetriebe oder ein helisches Schraubengewinde mit Mutter eine Ausgangswelle mit einem relativ hohen Drehmoment und geringer Geschwindigkeit drehen.
  • Betätiger werden oft so dimensioniert, dass sie mehr Drehmoment als nötig für einen vollständigen Sitz eines gegebenen Ventils bereitstellen. Es mag wünschenswert sein, das erzeugte Drehmoment durch die Ausgangswelle oder Antriebshülse eines Ventilbetätigers zu bestimmen. Beispielsweise, wenn ein Ventil vollständig geschlossen und gesetzt ist, kann das Drehmoment beträchtlich größer sein, welches zum Öffnen des Ventils benötigt wird. Beständiges Überwachen des Drehmoments kann anzeigen, wenn ein Ventil abgenutzt ist oder haftet. Tendenzmuster in den Drehmomentmessungen können eine vorausschauende Wartung ermöglichen.
  • Betätiger müssen die Drehmomentmenge steuern oder begrenzen, die auf die Last in einer Weise aufgebracht wird, die für verschiedene Betriebsmodi in einer gegebenen Anwendung angemessen ist. Ältere mechanische Technologien arbeiten typischerweise in einem von zwei Modi: aktiv oder über einen Bypass. Wenn ein Drehmomentschwellenwert überschritten wird, dann schaltet der mechanische Drehmomentsensor den Betätiger in einen Bypassmodus. Der Drehmomentschwellenwert zum Schalten zwischen den Modi wird durch den Benutzer beim Starten festgelegt und verbleibt festgelegt, bis er physikalisch durch den Benutzer geändert wird.
  • Nicht-mechanische Drehmomentsensoren können mit Drehkomponenten verwendet werden, jedoch müssten die Drehmomentsensoren auf einem Torsionselement in dem Antriebsstrang des Ventilbetätigers angebracht sein. Der Antriebsstrang würde sich während des Betriebs drehen. Daher wäre eine Abfrage der Drehmomentinformation von dem Drehsensor schwierig.
  • Es wäre vorteilhaft, eine Technologie zum Messen des Drehmoments zu entwickeln, welches durch einen Ventilbetätiger ohne die Notwendigkeit, ein rotierendes Bauteil des Ventilbetätigers zu berühren. erzeugt wird.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 zeigt eine Ausführungsform einer Oberflächen-akustischen Welle, die mit Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann.
  • 2 ist eine Schnittansicht eines Beispiels eines Ventilbetätigers, der die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung verwenden kann.
  • Modi zum Ausführen der Erfindung
  • Obwohl die vorangegangene Beschreibung einige Besonderheiten enthält, sollten diese nicht als den Bereich der vorliegenden Erfindung beschränkend angesehen werden, sondern rein als Veranschaulichungen der vorliegenden Ausführungsformen bereitstellend. Gleichermaßen können andere Ausführungsformen der Erfindung ausgedacht werden, die nicht den Geist oder Bereich der vorliegenden Erfindung verlassen. Merkmale verschiedener Ausführungsformen können in Kombination verwendet werden.
  • Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung betrifft die Befestigung eines kontaktlosen Sensors zum Messen von Drehmoment oder Schub auf einer Drehkomponente eines elektrischen Ventilbetätigers.
  • In einer besonderen Ausführungsform schließt ein kontaktloser Sensor eine Oberflächen-akustische Wellen-(SAW)-Vorrichtung ein. Eine SAW-Vorrichtung kann aus einer auf einem piezoelektrischen Substrat abgeschiedenen Mikrostruktur hergestellt sein. Die Mikrostruktur kann durch zumindest ein Paar überlappender kammförmiger Elektroden gebildet sein, die auf einer dünnen metallischen leitfähigen Schicht auf dein Substrat abgeschieden sind. 1 zeigt ein exemplarisches Grundmodell einer SAW-Vorrichtung 100 mit einer Eingangselektrode 110 überlappend mit einer Ausgangselektrode 120. Die Elektroden 110 und 120 (welche sich beide auf die Eingangselektrode 110 und die Ausganselektrode 120 beziehen) können eine Ablagerung aus Aluminium oder anderen Leitern auf der oberen Oberfläche 140 eines piezoelektrischen Substrats 130 einschließen. In einer besonderen Ausführungsform kann die Dicke der Elektroden 110 und 120 in der Größe von 1000 Angstrom liegen. Viele piezoelektrische Materialien sind für die Verwendung als ein Substrat geeignet, einschließlich flexibler Kunststoffpolymere und harter Materialien, wie Keramik und Quarz. Verschiedene piezoelektrische Kristallformen können verwendet werden. Nicht beschränkende Beispiele von geeigneten Materialien schließen Lithiumniobate, Lithiumtantalate, Bismut-Germanluroxide und Galliumoxide ein.
  • In der SAW-Vorrichtung 100 führt die Anwendung eines elektrischen Signals zu der Eingangselektrode 110 dazu, dass die Elektrode als ein Wandler wirkt, der das elektrische Eingangssignal in eine ausgehende akustische Welle auf das piezoelektrische Substrat 130 umwandelt. Die Ausgangselektrode 120 kehrt den Prozess um und stellt ein elektrisches Ausgabesignal mit der Ankunft einer akustischen Welle auf dem piezoelektrischen Substrat 130 bereit.
  • Die Betriebsfrequenzen der SAW-Vorrichtung 100 können irgendwo aus einem weiten Frequenzbereich ausgewählt werden, der sich von einigen Megahertz bis zu einigen Gigahertz erstreckt. Je höher die verwendete Frequenz ist, desto kleiner ist die Hülle, die für den Wandler (Elektroden 110 und 120) benötigt wird, welche vorteilhaft sein kann, wenn der verfügbare Raum beschränkt ist. Die verwendete Resonanzfrequenz hängt von einer Anzahl von Faktoren ab, einschließlich der Geometrie der Elektroden 110 und 120 und den Eigenschaften des piezoelektrischen Substrats 130. Die Elektroden 110, 120 können jede Geometrie und jeden Abstand aufweisen, der zwischen ihnen nötig ist. Die Geschwindigkeit der Oberflächenwelle variiert mit der Temperatur des piezoelektrischen Substrats 130. Bei sehr geringen Größen, in welchen die SAW-Vorrichtung 100 hergestellt werden kann, erleichtert ihre Vorrichtung als eine Dehnungsmessvorrichtung für einen Ventilbetätiger.
  • Die Kopplung zwischen den Elektroden 110 und 120 kann durch Oberflächen-akustische Wellen (auch als Rayleigh-Wellen bekannt) erreicht werden. Weitere akustische Ausbreitungsmodi, welche zum Koppeln der Elektroden 110 und 120 verwendet werden können, schließen Oberflächen-Abschöpfkörperwellen ein. Diese erstrecken sich tiefer in das piezoelektrische Substrat 130 als die Oberflächen-akustischen Wellen, und folglich weisen die Oberflächen-Abschöpfkörperwellen höhere Verluste auf, als mit dem Oberflächen-akustischen Modus entstehen. Jedoch sind die Körperwellen weniger anfällig für Defekte in der oberen Oberfläche 140. Die Auswahl der Kopplungswelle kann variiert werden und kann von der vorzunehmenden Dehnungsmessung abhängen.
  • Die SAW-Vorrichtung 100 kann in einem System verwendet werden, in dem Signaleingänge zu einem Wandlereingang (Elektrode 110) und Signalausgänge von einem Wandler (Elektrode 120) durch kontaktlose Kopplung (wie durch induktive, kapazitive oder Radiowellenmittel) an ein externes Steuersystem übertragen. Die Bereitstellung einer kontaktlosen Kupplung, in welcher die Elektroden 110 und 120 keine elektrische Verbindung aufweisen, bietet eine Reihe von Vorteilen, insbesondere wenn die Notwendigkeit für intrinsische Sicherheit besteht, oder wenn eine physikalische Verbindung die zu messende Resonanz beeinflussen würde. Solche kontaktlose Systeme sind besonders geeignet für rotierende Komponenten eines Ventilbetätigers. Eine SAW-Vorrichtung 100 kann anstelle eines Dehnmessstreifens verwendet werden. Die SAW-Vorrichtung 100 kann in der Lage sein, einen Präzisionsgrad zu erreichen, der wesentlich größer ist als der eines konventionellen Dehnmessstreifens. Die Elektroden 110 und 120 können eine Reihe von Formen einnehmen, wobei die Größe und Geometrie der Elektroden 110 und 120 möglicherweise modifiziert werden können, um die Betriebsfrequenz zu beeinflussen.
  • Die SAW-Vorrichtung 100 kann einen einzelnen Anschluss, zwei Anschlüsse oder mehrere Anschlüsse aufweisen. Eine Zwei-Anschluss-Art führt zu geringeren Verlusten als eine entsprechende Einfach-Anschluss-Art und kann zum Be trieb in einer Multi-Modi-Weise gebracht werden. Zusätzlich weist eine Zwei-Anschluss-Art Vorteile in Bezug auf einen Phasenübergang auf und bietet dadurch eine höhere Betriebspräzision. Zusätzlich können Verstärker verwendet werden, um das durch die Ausgabeelektrode 120 erzeugte Signal zu verstärken.
  • Drehmoment (radiale Dehnung) kann durch einen Wechsel in der Ausgabefrequenz der Elektrode 120 gemessen werden, der aus einer Formveränderung des piezoelektrischen Substrats 130 und dadurch in den relativen Positionen der Elektroden 110 und 120 entsteht. Die radiale Dehnung kann durch eine Belastung auf dem zu messenden Bauteil induziert werden. Der Wechsel in der Ausgabefrequenz der Elektrode 120 ist proportional zu dem aufgebrachten Drehmoment.
  • Die SAW-Vorrichtung 100 kann demnach verwendet werden, um entweder das Drehmoment oder den axialen Schub auf die drehbaren Komponenten eines Ventilbetätigers zu messen. Die SAW-Vorrichtung 100 kann auf einer drehenden Komponente mit einem Winkel relativ zu der Drehachse angeordnet sein, so dass das Drehmoment in einer Richtung in einer Kompression und das Drehmoment in der anderen Richtung in einer Spannung resultiert. Zwei SAW-Vorrichtungen 100 können in gegenüberliegenden Winkeln zueinander (entweder überlappend oder anders) angeordnet werden, so dass, wenn eine SAW-Vorrichtung 100 einen Druck erfährt, die andere einen Zug erfährt, und andersherum. Alternativ kann eine SAW-Vorrichtung 100 bereitgestellt werden, um axialen Schub zu messen, und eine zweite SAW-Vorrichtung 100 kann angebracht werden, um ein Drehmoment zu messen. Jede Anzahl von SAW-Vorrichtungen 100 kann an einer gegebenen Stelle einer drehenden Komponente verwendet werden. Zusätzlich kann ein axialer Schub einer drehenden Komponente zum Berechnen des Drehmoments verwendet werden.
  • Die SAW-Vorrichtung 100 kann ebenso auf einer rotierenden Komponente angeordnet sein, so dass die Vorrichtung nur eine Deformation erfährt, wenn sich die rotierende Komponente relativ zu der Drehachse biegt. Die Kenntnis einer solchen Biegung kann eine akkuratere Drehmomentberechnung aus der Dehnung auf andere SAW-Vorrichtungen auf der Komponente ermöglichen. Die SAW-Vorrichtung kann auch zum Messen von Schub auf stationären Komponenten eines Ventilbetätigers verwendet werden.
  • 2 zeigt einige Ausführungsformen von möglichen Orten in einem elektrisch angetriebenen Ventilbetätiger, an welchen SAW-Vorrichtungen 100 befestigt werden können. Die SAW-Vorrichtungen 100 können an einer Schneckenwelle 3, einer Motor-getriebenen Welle 9, einer Antriebshülse 2 und einem Handrad-Adapter 11 befestigt sein. Die SAW-Vorrichtungen 100 können auch auf den Zähnen eines Schneckengetriebes 10 und einer Schneckenwelle 9 befestigt sein. Die SAW-Vorrichtungen 100 können auf einem Entkopplungsmechanismus 13 oder einem Entkopplungsgriff 5 befestigt sein. Wenn ein Encoder 6 vorhanden ist, können die SAW-Vorrichtungen 100 auf einer Eingabewelle für den Encoder 6 befestigt sein. Die SAW-Vorrichtungen 100 können auf stationären Komponenten des Ventilbetätigers 20 befestigt sein, einschließlich des Gehäuses 4.
  • „Befestigt auf”, wie der Begriff hierin verwendet wird, umfasst jede Art von Befestigung, Anordnung, Dazugehörigkeit, Einbetten, Beherbergen oder Einfügen einer SAW-Vorrichtung. In einer solchen exemplarischen Ausführungsform kann eine SAW-Vorrichtung 100 auf einer Oberfläche einer Komponente angeordnet sein. Dies wird z. B. durch Schweißen oder Klebstoffe vollbracht. In einer anderen Ausführungsform kann eine SAW-Vorrichtung 100 in oder mit einer Hülle oder Hülse angeordnet oder integriert und auf der Oberfläche positioniert sein. In einer weiteren Ausführungsform kann eine SAW-Vorrichtung in eine andere Vorrichtung integriert werden und die Vorrichtung kann auf der Oberfläche befestigt werden. In einer besonderen Ausführungsform können SAW-Vorrichtungen 100 in eine Komponente eingebettet werden. In noch einer weiteren Ausführungsform können SAW-Vorrichtungen 100 in einer Komponente hergestellt sein. Beispielsweise kann ein piezoelektrisches Material in eine Komponente integriert sein, wenn die Komponente hergestellt wird und die Leiter für die Elektroden später auf dem piezoelektrischen Material abgeschieden werden.
  • SAW-Vorrichtungen 100 können sich überall auf dem Ventilbetätiger 20 befinden. In einer Ausführungsform können Unterschiede zwischen den Drehmomenten verschiedener Komponenten bezeichnend für die Komponentenabnutzung sein und eine Frühwarnung vor Wartungsproblemen bereitstellen.
  • Der Ventilbetätiger 20 ist ein nicht beschränkendes Beispiel eines Ventilbetätigers, der SAW-Vorrichtungen 100 verwenden kann. Der Ventilbetätiger 20 kann jede Art von elektrisch angetriebenem Ventilbetätiger sein. Beispielsweise kann der Ventilbetätiger 20 eine Ausgangswelle haben, anstatt eine Antriebshülse 2 zu verwenden.
  • Der Ventilbetätiger 20 muss nicht elektrisch angetrieben sein. Das Handrad 1 zeigt eine exemplarische Ausführungsform wie der Ventilbetätiger 20 manuell betrieben werden kann. Zusätzlich kann der Ventilbetätiger 20 auch teilweise pneumatisch und/oder hydraulisch betätigt werden.
  • Die SAW-Vorrichtungen 100 können ebenso auf den drehbaren oder stationären Komponenten eines Ventils befestigt sein. In einer besonderen Ausführungsform sind die SAW-Vorrichtungen 100 auf einem Ventilschaft befestigt. Die SAW-Vorrichtungen 100 können verwendet werden, um ein Drehmoment aufzuzeichnen, welches durch einen rotierenden Ventilschaft aufgebracht wird, oder um axialen Schub aufzuzeichnen, der durch eine lineare Bewegung eines Ventilschafts aufgebracht wird. Jede Komponente eines Ventils, wie der Flügel eines Drosselventils, kann darauf befestigte SAW-Vorrichtungen 100 aufweisen.
  • Jede notwendige Elektronik kann an einer SAW-Vorrichtung 100 befestigt sein oder sich nahe dazu befinden. Wenn Induktion oder Kapazität zum Antreiben der SAW-Vorrichtungen 100 verwendet werden, müssen die Anregungsquellen rela tiv nahe an den SAW-Vorrichtungen 100 sein. Drahtlose Anreger können Radiofrequenzen verwenden, um die Eingangselektroden 110 anzuregen. Drahtlose Empfänger können zum Empfang von Radiofrequenzausgaben von den Ausgabeelektroden 120 gestaltet sein. Drahtlose Anreger/Empfänger können zum kontinuierlichen oder unterbrochenen Betrieb gestaltet sein. „Drahtlose Anreger/Empfänger”, wie der Begriff hier verwendet wird, umfasst sowohl eine Ausführungsform, wenn der Anreger separat von dem Empfänger ist, als auch eine Ausführungsform, wenn beide Funktionen durch eine einzelne Vorrichtung vollbracht werden. Drahtlose Anreger/Empfänger können in oder außerhalb des Ventilbetätigers 20 angeordnet sein. In einer besonderen Ausführungsform sind die drahtlosen Anreger/Empfänger in das Steuermodul 8 oder die Schalterplatte 15 eingebaut. Wenn die drahtlosen Anreger/Empfänger in den Ventilbetätiger eingebaut sind, können die SAW-Vorrichtungen 100 unter Verwendung einer Steuertafel 7 oder von einer entfernten Steuerungsstation aus aktiviert werden. Drehmoment, Schub oder Dehnungswerte können auf einem Display 12 angezeigt werden und/oder an eine entfernte Stelle übertragen werden.
  • In anderen Ausführungsformen kann ein drahtloser Anreger/Empfänger in einen PDA, einen Laptop oder eine andere tragbare Vorrichtung eingebaut sein. Die geeignete Software kann eingeschlossen sein, um einen Drehmoment, Schub oder eine Dehnung auf Grundlage des Signals auszurechnen, welches durch die SAW-Vorrichtungen 100 ausgegeben wird. In einer anderen Ausführungsform können Anreger/Empfänger Knoten in der Nähe einer Vielzahl von Ventilbetätigern und Ventilen angeordnet sein. Die drahtlosen Anreger/Empfänger-Knoten können Drehmoment und andere Daten für vielfache Ventilbetätiger und Ventile auf eine zentrale Steuerungsstation übertragen. Die drahtlosen Anreger/Empfänger-Knoten können zum Übertragen von Daten gestaltet sein, die auch nicht von den SAW-Vorrichtungen 100 erhalten werden.
  • Während SAW-Vorrichtungen 100 in verschiedenen Stellen in einem Ventilbetätiger 20 angeordnet sind, können die Drehmomentdaten eindeutig durch die Stelle identifiziert werden. Ähnlich können Drehmoment-Daten nur in Verbindung mit einem bestimmten Ventilbetätiger 20 und/oder Stellen innerhalb des Betätigers verbunden werden, wohingegen mehrfache Ventilbetätiger 20 oder Ventile extern drahtlos angeregt werden. Die eindeutige Identifikation kann auf mehrere Arten erfolgen.
  • In einer bestimmten Ausführungsform kann das Signal, welches durch eine SAW-Vorrichtung 100 übertragen wird, eindeutig sein. Daher würden zwei SAW-Vorrichtungen 100 verschiedene Ausgaben übertragen, wenn sie derselben Dehnung unterworfen werden. In einer Ausführungsform könnten verschiedene SAW-Vorrichtungen 100 verschiedene Eingangsfrequenzen verwenden. Die Eingangsfrequenzen sollten ausreichend unterschiedlich sein, so dass der Ausgabefrequenzbereich jeder SAW-Vorrichtung 100 unabhängig von jeder erfahrenen Dehnung nicht überlappen würde. In einer zweiten Ausführungsform können Reflektoren in dem piezoelektrischen Substrat 130 angeordnet sein, um die Ausgabefrequenz zu modifizieren. Jede SAW-Vorrichtung 100 kann einen eindeutigen Satz von Reflektoren aufweisen. Die Reflektoren können so angeordnet sein, dass die Drehmomentdaten erhalten werden können, und dann bestimmen, welche bestimmte SAW-Vorrichtung 100 überträgt.
  • In einer weiteren besonderen Ausführungsform kann jede Elektronik mit einer SAW-Vorrichtung 100 verbunden sein und eine eindeutige Identifizierung einer SAW-Vorrichtung 100 oder einer Gruppe von SAW-Vorrichtungen 100 an einer Stelle ermöglichen. In einer Ausführungsform kann ein Verstärker für jede SAW 100 Vorrichtung ein eindeutiges Verstärkungslevel bereitstellen und dabei die SAW-Vorrichtung 100 unterscheiden. In einer zweiten Ausführungsform kann ein eindeutiger Wandler mit jeder SAW-Vorrichtung 100 verbunden sein. Der eindeutige Wandler könnte die Signalart ändern, die durch eine Ausgabeelektrode 120 erzeugt wird. Daher könnte die neue eindeutige Signalart die SAW-Quelllvorrichtung 100 identifizieren. In einer dritten Ausführungsform kann ein eindeutiger drahtloser Anhang an die Ausgabe angefügt werden, die durch die Ausgabeelektrode 120 erzeugt wird, um die Quelle eindeutig zu identifizieren.
  • In noch einer weiteren Ausführungsform kann ein drahtloser Anreger/Empfänger zum eindeutigen Identifizieren einer SAW-Vorrichtung 100 verwendet werden. In einer Variation der Erfindung kann nur ein Ventilbetätiger 20 zu einem Zeitpunkt einer Übertragung von dem drahtlosen Anreger/Empfänger unterworfen sein. Beispielsweise könnte ein PDA mit nur einem Niedrigleistungs-Anreger auf einen besonderen Ventilbetätiger 20 gerichtet werden. In einer zweiten Ausführungsform kann die Intensität der Übertragung von einer SAW-Vorrichtung 100 zum Identifizieren ihrer Stelle verwendet werden. Beispielsweise wird, unter der Annahme, dass die Verstärker gleich sind, der Abstand von einer SAW-Vorrichtung 100 zu einem drahtlosen Anreger/Empfänger die Stärke oder Intensität des durch den drahtlosen Anreger/Empfänger empfangenen Signals bestimmt. Die Intensität jedes Signals kann gemessen werden. Wenn jede der SAW-Vorrichtungen ausreichend unterschiedliche Abstände von dem drahtlosen Anreger/Empfänger aufweist, können die verschiedenen Intensitäten der Signale zum Identifizieren der Quellen verwendet werden. Alle anderen Mittel des Standes der Technik können zum Identifizieren der Quelle von Radiofrequenzen verwendet werden.
  • SAW-Vorrichtungen 100 können zur Erzeugung von Drehmoment, Schub, Dehnung, Temperatur, Druck, Geschwindigkeit, Position und anderen Daten verwendet werden.
  • Die Ausführungsformen wurden unter Verwendung einer SAW-Vorrichtung beschrieben. Es sollte verstanden werden, dass jede kontaktlose Erfassung anstelle der SAW-Vorrichtung verwendet werden kann. Beispielsweise können weitere Ausführungsformen eines kontaktlosen Sensors Magnetoelastik, Magnetostriktion, Spannungsdrähte, „Gitarrensaiten”-Elemente, Dehnungsmessstreifen, Akustik, Licht, Optik, Kapazität, Induktivität, Widerstand, Reluktanz, Radio-Telemetrie, Dehnungsbauteile, Belastungs-gekoppelte Vorrichtungen oder Mikromaschinen zur Herstellung einer kontaktlosen Bestimmung des Drehmoments einer rotierenden Komponente verwendet werden.
  • In einer Ausführungsform eines kontaktlosen Drehmoment-Sensors können Dehnungsmessstreifen an einer Drehkomponente befestigt sein und durch eine Batterie versorgt werden, die an der Drehkomponente befestigt ist, und die Ausgabe der Dehnungsmessstreifen (oder ein Äquivalent) kann drahtlos übertragen werden.
  • Eine Ausführungsform eines kontaktlosen optischen Sensors verwendet zwei optische Sensoren in einer Reihe angeordnet auf einer Drehkomponente relativ zu der Drehachse der Komponente. Wenn sich die Drehkomponente unter dem Drehmoment verdreht, werden die zwei optischen Sensoren nicht länger in einer Reihe angeordnet sein. Die Versetzung zwischen den zwei Sensoren kann verwendet werden, um den erfahrenen Drehmoment zu bestimmen.
  • Ein kontaktloser Sensor kann passiv sein und braucht keine Batterie oder eine andere externe Energiequelle zu benötigen. In anderen Ausführungsformen kann ein kontaktloser Sensor aktiv sein und eine externe Energiequelle benötigen.
  • Obwohl die vorangegangene Beschreibung viele Besonderheiten beinhaltet, sind diese nicht als den Bereich der vorliegenden Erfindung beschränkend gedacht, sondern rein um gewisse repräsentative Ausführungsformen bereitzustellen. Ähnlich können andere Ausführungsformen der Erfindung ausgedacht werden, welche nicht den Geist oder Bereich der vorliegenden Erfindung verlassen.
  • Zusammenfassung
  • Offenbart ist kontaktloses Drehmoment, Schub, Dehnung und weitere Datenerfassung eines Ventilbetätigers. Ein Sensor kann eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung einschließen.

Claims (20)

  1. Elektrisch angetriebener Ventilbetätiger, umfassend: ein rotierendes Bauteil; und einen Drehmoment- oder Schubsensor, umfassend zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung an dem rotierenden Bauteil befestigt ist.
  2. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung in einem Frequenzbereich von ungefähr 3 Megahertz bis ungefähr 3 Gigahertz arbeitet.
  3. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung zwei Oberflächen-akustische Wellenvorrichtungen umfasst, die an gegenüber gesetzten Winkeln zueinander auf dem rotierenden Bauteil angeordnet sind.
  4. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung axialen Schub misst.
  5. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung Drehmoment misst.
  6. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei das rotierende Bauteil aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus einer Schneckenwelle, einer Motorgetriebenen Welle, einer Antriebshülse, einem Handrad-Adapter, Zähnen eines Schneckengetriebes, einem Auskoppelmechanismus, einem Auskoppelgriff und einer Eingangswelle für einen Encoder besteht.
  7. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei das rotierende Bauteil ein Ventilschaft ist.
  8. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei das rotierende Bauteil ein rotierender Ventilschaft ist.
  9. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei das rotierende Bauteil ein sich linear bewegender Ventilschaft ist.
  10. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung zumindest ein Paar überlappender Elektroden umfasst.
  11. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, weiterhin Elektronik umfassend, die mit einer besonderen Oberflächen-akustischen Wellenvorrichtung verbunden ist.
  12. Ventilbetätiger nach Anspruch 11, wobei die Elektronik einen Verstärker für jede Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung umfasst, einen Konverter, der mit jeder Oberflächen-akustischen Wellenvorrichtung verbunden ist, oder einen drahtlosen Anhang, der mit einer Ausgabe verbunden ist, die durch eine Ausgabe-Elektrode erzeugt wird.
  13. Verfahren zum Erfassen von Drehmoment in einem Motor, der durch den Ventilbetätiger betrieben wird, wobei das Verfahren umfasst: Drücken oder unter Zug Anordnen von zumindest einem Abschnitt von einer oder mehreren akustischen Wellenvorrichtungen, die auf einer Oberfläche einer Komponente eines Ventilbetätigers befestigt sind; drahtloses Anregen der einen oder mehreren akustischen Wellenvorrichtungen; Empfangen einer drahtlosen Ausgabe aus der einen oder mehreren akustischen Vorrichtungen; und Verwenden der drahtlosen Ausgabe zur Bestimmung des Drehmoments auf der Komponente.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei die Komponente des Ventilbetätigers eine Drehkomponente ist.
  15. Verfahren nach Anspruch 13, wobei die Komponente des Ventilbetätigers eine stationäre Komponente ist.
  16. Elektrisches Ventilsystem, umfassend: einen elektrischen Ventilbetätiger; ein Ventil; eine drehbare Komponente des elektrischen Ventilbetätigers oder Ventils; und zumindest einen kontaktlosen Sensor, der wirksam auf der drehbaren Komponente befestigt ist, wobei der zumindest eine kontaktlose Sensor zur Erzeugung von Drehmoment- oder Schubdaten gespeichert ist.
  17. Elektrisches Ventilsystem nach Anspruch 16, wobei der zumindest eine kontaktlose Sensor Dehnungsmessstreifen umfasst, die auf der drehbaren Komponente befestigt sind.
  18. Elektrisches Ventilsystem nach Anspruch 16, wobei der zumindest eine kontaktlose Sensor zwei optische Sensoren umfasst, die in einer Reihe auf einer Drehkomponente relativ zu einer Rotationsachse der Drehkomponente angeordnet sind.
  19. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung axialen Schub misst.
  20. Ventilbetätiger nach Anspruch 1, wobei die zumindest eine Oberflächen-akustische Wellenvorrichtung Drehmoment misst.
DE112008000415.3T 2007-02-16 2008-02-15 Kontaktloses Drehmomenterfassen für einen Ventilbetätiger Active DE112008000415B4 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US90202907P 2007-02-16 2007-02-16
US60/902,029 2007-02-16
PCT/US2008/002038 WO2008103288A2 (en) 2007-02-16 2008-02-15 Non-contact torque sensing for valve actuators

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE112008000415T5 true DE112008000415T5 (de) 2010-03-25
DE112008000415B4 DE112008000415B4 (de) 2018-10-18

Family

ID=39710644

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112008000415.3T Active DE112008000415B4 (de) 2007-02-16 2008-02-15 Kontaktloses Drehmomenterfassen für einen Ventilbetätiger

Country Status (7)

Country Link
US (3) US8096523B2 (de)
CN (1) CN101617204B (de)
BR (1) BRPI0807651B1 (de)
CA (3) CA2677764C (de)
DE (1) DE112008000415B4 (de)
GB (2) GB2482633B (de)
WO (1) WO2008103288A2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011112365B3 (de) * 2011-09-02 2012-12-27 Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh Stufenschalter mit Schneckengetriebe

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2480628A (en) * 2010-05-25 2011-11-30 Horstman Defence Systems Ltd A suspension unit for use on a tracked vehicle including a load sensor
US10232395B2 (en) 2010-07-19 2019-03-19 Irrigreen, Inc. Multi-nozzle rotary sprinkler
CN102916400B (zh) * 2012-11-06 2015-01-21 天津津伯仪表技术有限公司 三相电动执行器过力矩保护控制装置及方法
GB2522393B (en) * 2012-11-19 2020-08-19 Flowserve Man Co Control systems for valve actuators, valve actuators and related methods
TW201428249A (zh) * 2013-01-08 2014-07-16 wen-hui Liao 轉軸扭力暨系統資訊的檢知、收集方法及其裝置
FR3013099B1 (fr) * 2013-11-08 2015-12-18 Electricite De France Vanne a ecrou de manoeuvre instrumente
WO2016007754A1 (en) * 2014-07-10 2016-01-14 Qtrco, Inc. Method and system for controlling actuators
WO2016043708A1 (en) * 2014-09-15 2016-03-24 Flowserve Management Company Sensors for valve systems and related assemblies, systems and methods
WO2016043710A1 (en) * 2014-09-15 2016-03-24 Flowserve Management Company Sensors for valve systems, valve systems including sensors and related methods
US10082432B2 (en) 2015-02-12 2018-09-25 Tri-Tee Manufacturing, LLC Torque measurement system for valve actuators
EP3333082B1 (de) * 2016-12-12 2020-06-17 Ge Avio S.r.l. Schubmessvorrichtung für ein antriebssystem
CN106555903B (zh) * 2017-01-20 2020-02-04 李仁波 一种阀门的执行机构
IT202000014632A1 (it) * 2020-06-18 2021-12-18 Cavagna Group Spa Gruppo valvola per recipienti in pressione
CN112097963B (zh) * 2020-08-27 2021-10-08 西安电子科技大学 一种基于无芯片射频识别标签的应力传感器

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57134091A (en) * 1981-02-12 1982-08-19 Kubota Ltd Detector for valve actuating load
JPH01174908A (ja) * 1987-12-29 1989-07-11 Nkk Corp 回転軸のねじれ角測定方法
EP0436312A3 (en) * 1989-12-14 1993-06-09 Westinghouse Electric Corporation Diagnostic expert system monitor
GB9004822D0 (en) * 1990-03-03 1990-04-25 Lonsdale Anthony Method and apparatus for measuring torque
US6738697B2 (en) * 1995-06-07 2004-05-18 Automotive Technologies International Inc. Telematics system for vehicle diagnostics
US5220843A (en) * 1991-07-26 1993-06-22 Portland General Electric Corporation In situ method of determining the thrust on valve components
US5257535A (en) * 1992-09-16 1993-11-02 Westinghouse Electric Corp. Stem stress measuring instrument for valve operating system
US5533410A (en) * 1993-12-03 1996-07-09 Westinghouse Electric Corporation Motor power measuring cell for motor operated valves
US5453626A (en) * 1994-06-28 1995-09-26 Dispigna; Angelo V. Valve stem thrust measurement system
US5931044A (en) * 1995-01-19 1999-08-03 T&R Solutions, Inc. Torque/position transducer
US5684596A (en) * 1995-03-06 1997-11-04 Westinghouse Electric Corporation Method and apparatus for measuring axial and torsional loads on a valve stem
US5821425A (en) * 1996-09-30 1998-10-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Remote sensing of structural integrity using a surface acoustic wave sensor
GB2327763B (en) * 1997-08-01 1999-06-23 Rotork Controls Improved thrust sensors
MY123949A (en) * 1997-11-12 2006-06-30 Fisher Controls Int Fugitive emission sensing system
US6240789B1 (en) * 1998-05-15 2001-06-05 Crane Nuclear, Inc. Permanently instrumented actuated valve assembly, with internally-gauged, permanently instrumented shaft
US6532833B1 (en) * 1998-12-07 2003-03-18 Ryszard Marian Lec Torque measuring piezoelectric device and method
US20020117012A1 (en) * 1999-03-29 2002-08-29 Lec Ryszard Marian Torque measuring piezoelectric device and method
US6611511B1 (en) * 1999-03-04 2003-08-26 Cellco Partnership Cellular telephone communication system using sector splitting for improved performance
GB2350487B (en) * 1999-05-25 2002-12-24 Transense Technologies Plc Electrical signal coupling device
GB2371414B (en) * 2000-09-01 2004-06-09 Bryan Lonsdale Rotary signal coupler
US20030000309A1 (en) * 2001-06-29 2003-01-02 Anthony Lonsdale Torque measurement
JP2004538564A (ja) * 2001-08-11 2004-12-24 エフ・アー・ゲー・クーゲルフィッシャー・ゲオルク・シェーファー・カー・ゲー・アー・アー 回転部分の応力の非接触測定
GB0124831D0 (en) 2001-10-16 2001-12-05 Transense Technologies Plc Saw sensor with improved temperature stability
US6817253B2 (en) * 2002-03-14 2004-11-16 Sauer-Danfoss Inc. Method and means for measuring torque in hydraulic power units
CN1162964C (zh) 2002-03-19 2004-08-18 重庆大学 谐振编码型声表面波无源无线阵列传感系统
US6810750B1 (en) * 2002-03-20 2004-11-02 Invocon, Inc. Encoded surface acoustic wave based strain sensor
GB0221695D0 (en) * 2002-09-18 2002-10-30 Transense Technologies Plc Measuring torsional distortion
US6827281B2 (en) * 2002-12-20 2004-12-07 P. J. Edmonson Ltd. Encoded SAW RFID tags and sensors for multi-user detection using IDT finger phase modulation
US7096736B2 (en) * 2003-08-04 2006-08-29 The Goodyear Tire & Rubber Company Passive tire pressure sensor and method
WO2006004985A1 (en) * 2004-06-30 2006-01-12 Great Stuff, Inc. Low power system for wireless monitoring of an environment and irrigation control
JP3975299B2 (ja) * 2004-07-08 2007-09-12 前田金属工業株式会社 締付トルク測定ユニット及びトルク表示締付機
ITPR20040016U1 (it) * 2004-10-14 2005-01-14 Biffi Italia Attuatore di valvole con comunicazione a distanza omnidirezionale, mobile e temporanea.
US7165455B2 (en) 2004-12-18 2007-01-23 Honeywell International Inc. Surface acoustic wave sensor methods and systems
GB2426336A (en) 2005-05-20 2006-11-22 Transense Technologies Plc SAW based torque and temperature sensor
US20060284583A1 (en) * 2005-06-16 2006-12-21 Honeywell International Inc. Error compensation for a wireless sensor using a rotating microstrip coupler to stimulate and interrogate a saw device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011112365B3 (de) * 2011-09-02 2012-12-27 Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh Stufenschalter mit Schneckengetriebe

Also Published As

Publication number Publication date
CN101617204A (zh) 2009-12-30
US20080277609A1 (en) 2008-11-13
CA2854956A1 (en) 2008-08-28
GB2459411B (en) 2012-01-11
CA2854954A1 (en) 2008-08-28
US20140102216A1 (en) 2014-04-17
US8096523B2 (en) 2012-01-17
CN101617204B (zh) 2014-11-26
WO2008103288A3 (en) 2008-11-06
BRPI0807651B1 (pt) 2018-12-04
CA2677764A1 (en) 2008-08-28
CA2854954C (en) 2014-12-09
US8608128B2 (en) 2013-12-17
GB0914771D0 (en) 2009-09-30
US20120080622A1 (en) 2012-04-05
GB2482633B (en) 2012-04-04
GB201120042D0 (en) 2012-01-04
GB2482633A (en) 2012-02-08
US9500542B2 (en) 2016-11-22
DE112008000415B4 (de) 2018-10-18
CA2854956C (en) 2016-12-06
CA2677764C (en) 2014-09-09
BRPI0807651A2 (pt) 2014-06-10
WO2008103288A2 (en) 2008-08-28
GB2459411A (en) 2009-10-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112008000415B4 (de) Kontaktloses Drehmomenterfassen für einen Ventilbetätiger
DE10045375C2 (de) Medizinisches Instrument
DE102007012494B4 (de) Maschinendrehmomenterfassung-Sensorsystem
EP1532429B1 (de) Spannungs-/dehnungsmesssensor sowie verfahren zur spannungs-/dehnungsmessung
DE10217416C1 (de) Drehmomentmessvorrichtung
EP1148261A2 (de) Wälzlager mit fernabfragbaren Erfassungseinheiten
DE102017104547A1 (de) Drucksensor sowie Druckmessverfahren
DE10306594A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Drehmomentes in hydraulischen Antriebseinheiten
DE112007002935T5 (de) Befestigungsmittelanzugssystem unter Verwendung von Ultraschalltechnologie
DE102005055285A1 (de) Druckmessumformer mit Diagnosefunktion
DE102013010015A1 (de) Drucksensor und Drucksensorsystem
EP3590811A2 (de) Leistungsmessanordnung
DE102016012564A1 (de) Verbindungselement mit integriertem Sensor
EP1026492A2 (de) Drahtlose Drehmoment-Messeinrichtung und Sensor für dieselbe
DE102012018417A1 (de) Tasteinrichtung und Messeinrichtung mit einer derartigen Tasteinrichtung
EP3837512B1 (de) Ultraschallschwingeinrichtung mit piezosensor
DE102008000439A1 (de) Druckwandler mit einer Membran
DE102020101350A1 (de) Kupplungsanordnung für ein Schaltgetriebe eines Kraftfahrzeugs
DE10138513B4 (de) Drehmomentsensor
DE10108051A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Verbrennungsdruckes
DE102012201072A1 (de) Drehmomentsensoranordnung
DE102014011079A1 (de) Sensorik zur Bestimmung der Position von Kolben in Pneumatik- und Hydraulikzylindern
DE102022203501A1 (de) Verfahren zum Betreiben eines Schlagschraubers, Steuereinrichtung zum Durchführen des Verfahrens und Schlagschrauber
DE102010056053B4 (de) Drehmomentsensor und Anordnung mit einem Gegenstand und einem Drehmomentsensor
DE102018217973A1 (de) Sensorsystem und Verfahren zum Erfassen von Verformungen eines Materials

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R130 Divisional application to

Ref document number: 112008004294

Country of ref document: DE

R020 Patent grant now final