DE112005001211T5

DE112005001211T5 - Messfehlerkorrekturverfahren und Elektronikkomponenten-Charakteristik-Messvorrichtung

Info

Publication number: DE112005001211T5
Application number: DE112005001211T
Authority: DE
Inventors: Taichi Nagaokakyo Mori; Gaku Nagaokakyo Kamitani; Hiroshi Nagaokakyo Tomohiro
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2004-05-25
Filing date: 2005-01-05
Publication date: 2009-05-28
Anticipated expiration: 2025-01-06
Also published as: DE112005001211B4; US20070084035A1; US7885779B2; TWI279557B; CN100549705C; CN101006350A; WO2005116669A1; JPWO2005116669A1; TW200600802A; JP4009876B2

Abstract

Ein Messfehlerkorrekturverfahren, bei dem bezüglich einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore, die mit Signalleitungen verbunden sind, die ein Anlegen oder eine Erfassung eines Hochfrequenzsignals betreffen, und Nichtsignalleitungstore neben den Signalleitungstoren umfasst, aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, ein geschätzter Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, die ein Messen nur der Signalleitungstore ermöglicht, berechnet wird, wobei das Messfehlerkorrekturverfahren folgende Merkmale aufweist:
einen ersten Schritt eines Messens einer elektrischen Charakteristik von zumindest einem der Signalleitungstore jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster, wobei zumindest drei Typen von Korrekturdatenerfassungsmustern an der Testvorrichtung befestigt sind und die Korrekturdatenerfassungsmuster an der Referenzvorrichtung befestigt sind;
einen zweiten Schritt eines Vorbereitens einer Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, bei der zumindest eines der Signalleitungstore und zumindest eines der Nichtsignalleitungstore elektrisch miteinander verbunden sind, eines Messens des Signalleitungstors und des Nichtsignalleitungstors, wobei die...

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Messfehlerkorrekturverfahren und Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtungen und insbesondere auf ein Messfehlerkorrekturverfahren und eine Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung, die aus Ergebnissen, die derart erhalten werden, dass elektrische Charakteristika einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore, die mit Signalleitungen bezüglich eines Anlegens oder einer Erfassung eines Hochfrequenzsignals verbunden sind, und Nichtsignalleitungstore neben den Signalleitungstoren umfasst, an den Signalleitungstoren und den Nichtsignalleitungstoren gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, geschätzte Werte berechnen, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente gemessen wird, wenn dieselbe an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, die ein Messen nur der Signalleitungstore ermöglicht.
Hintergrundtechnik
In der verwandten Technik könnte eine Oberflächenbefestigungselektronikkomponente, die keinen Koaxialverbinder aufweist, wie z. B. die obige Elektronikkomponente, bezüglich ihrer elektrischen Charakteristika gemessen werden, wenn dieselbe an einer Vorrichtung befestigt ist, die einen Koaxialverbinder umfasst, und die Vorrichtung und eine Messvorrichtung über ein Koaxialkabel verbunden sind. Bei dieser Messung bewirken eine Varianz von Eigenschaften jeder Vorrichtung und eine Varianz von Charakteristika jedes Koaxialkabels und jeder Messvorrichtung einen Messfehler.
In Bezug auf das Koaxialkabel und die Messvorrichtung kann durch ein Durchführen einer Messung in einem Zustand, in dem eine Standardeinheit mit Referenzcharakteristika mit der Messvorrichtung über das Koaxialkabel verbunden ist, ein Fehler auf der Seite der Messvorrichtung von einem Ende des Koaxialkabels, mit dem die Standardeinheit verbunden ist, identifiziert werden.
In Bezug auf die Vorrichtung jedoch kann ein Fehler bei einer elektrischen Charakteristik zwischen einem Anschluss, an dem die Elektronikkomponente befestigt ist, und dem Koaxialverbinder, der eine Verbindung zu dem Koaxialkabel herstellt, nicht genau identifiziert werden. Zusätzlich ist es nicht einfach, eine Anpassung so durchzuführen, dass Charakteristika zwischen Vorrichtungen identisch sind. Insbesondere ist es sehr schwierig, Vorrichtungen in einer breiten Bandbreite so anzupassen, dass Charakteristika zwischen den Vorrichtungen identisch sind.
Entsprechend wurde vorgeschlagen, ein Messen von Korrekturdatenerfassungsmustern in einem Zustand, in dem die Muster an einer Mehrzahl von Vorrichtungen befestigt sind, ein Herleiten eines numerischen Ausdrucks zum Korrigieren eines relativen Fehlers zwischen einer bestimmten Vorrichtung (die eine „Referenzvorrichtung" genannt wird) und einer anderen Vorrichtung (die eine „Testvorrichtung" genannt wird), und aus den Ergebnissen, die erhalten werden, wenn eine willkürliche Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, ein Verwenden des numerischen Ausdrucks zum Berechnen geschätzter Werte elektrischer Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, durchzuführen. Zum Beispiel wird die Referenzvorrichtung verwendet, um elektrische Charakteristika für einen Benutzer zu garantieren, und die Testvorrichtung wird zur Messung für eine Fehlerfreies-Objekt-Auswahl in einem Elektronikkomponentenherstellungsverfahren verwendet (siehe z. B. Nichtpatentdokumente 1 und 2).

Nichtpatentdokument 1: GAKU KAMITANI (Murata manufacturing Co., Ltd.) „A METHOD TO CORRECT DIFFERENCE OF IN-FIXTURE MEASUREMENTS AMONG FIXTURES ON RF DEVICES" (Ein Verfahren zum Korrigieren einer Differenz vorrichtungsinterner Messungen unter Vorrichtungen auf HF-Geräten) APMC, Bd. 2, S. 1.094–1.097, 2003
Nichtpatentdokument 2: J. P. DUNSMORE, L. BETTS (Agilent Technologies) „NEW METHODS FOR CORRELATING FIXTURED MEASUREMENTS" (Neue Verfahren zum Korrelieren von Vorrichtungs-Messungen) APMC, Bd. 1, Seiten 568–571, 2003

Offenbarung der Erfindung
Durch die Erfindung zu lösende Probleme
Diese Technik kann einen Fall meistern, in dem eine zu messende Elektronikkomponente nur Nichtsignalleitungstore umfasst (Tore verbunden mit Signalleitungen bezüglich eines Anlegens oder einer Erfassung eines Hochfrequenzsignals zum Messen einer willkürlichen elektrischen Charakteristik der Elektronikkomponente durch Verwendung einer Messvorrichtung).
Wenn jedoch die zu messende Elektronikkomponente Tore (verbunden mit Nichtsignalleitungen, ohne Beziehung zu der Messung einer elektrischen Charakteristik, wie z. B. einer Leistungsversorgungsleitung und einer GND-Leitung, und im Folgenden als „Nichtsignalleitungstore bezeichnet) neben den Nichtsignalleitungstoren umfasst, werden elektrische Charakteristika der Elektronikkomponente selbst durch Eigenschaften einer Vorrichtung, die mit den Nichtsignalleitungstoren verbunden ist, verändert.
Entsprechend kann dies, wie in 1 gezeigt ist, keinen Fall meistern, in dem eine Charakteristikgarantie durchgeführt wird, wenn die Testvorrichtung zur Messung mit den Nichtsignalleitungstoren verwendet wird, die mit der Messvorrichtung verbunden sind, und die Referenzvorrichtung mit den unveränderten Nichtsignalleitungstoren verwendet wird (d. h. ohne Verbinden der Nichtsignalleitungstore mit der Messvorrichtung).
Wie z. B. in 29(a) gezeigt ist, weist in dem Fall einer Elektronikkomponente 2 (dieser Typ von Elektronikkomponente wird im Folgenden als ein „Nebenschlusstyp" bezeichnet), die ein Nichtsignalleitungstor umfasst, das mit der Masse für eine Hochfrequenz über ein bestimmtes Element verbunden ist, eine Referenzvorrichtung 4 Koaxialverbinder 4a und 4b, die mit Signalleitungstoren der Elektronikkomponente 2 verbunden sind, und ein Element 4s, das mit einem Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente 2 verbunden ist, auf. Zusätzlich umfasst, wie in 29(b) gezeigt ist, eine Testvorrichtung 6 Koaxialverbinder 6a und 6b, die mit den Nichtsignalleitungstoren der Elektronikkomponente 2 verbunden sind, und einen Koaxialverbinder 6c, der mit dem Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente 2 verbunden ist.
Außerdem umfasst, wie in 30(a) gezeigt ist, in dem Fall einer Elektronikkomponente 3 (dieser Typ von Elektronikkomponente wird im Folgenden als ein „Schwimmtyp" bezeichnet), bei der ein Element zwischen Nichtsignalleitungstore geschaltet ist, eine Referenzvorrichtung 5 Koaxialverbinder 5a und 5b, die mit Signalleitungstoren der Elektronikkomponente 3 verbunden sind, und ein Element 5s, das zwischen die Nichtsignalleitungstore der Elektronikkomponente 3 geschaltet ist. Für die Nichtsignalleitungstore wird keine HF-Messung durchgeführt. Zusätzlich umfasst, wie in 30(b) gezeigt ist, eine Testvorrichtung 7 Koaxialverbinder 7a und 7b, die mit den Signalleitungstoren der Elektronikkomponente 3 verbunden sind, und Koaxialverbinder 7c und 7d, die mit den Nichtsignalleitungstoren verbunden sind. Nicht nur für die Signalleitungstore, sondern auch für die Nichtsignalleitungstore wird eine HF-Messung durchgeführt.
Angesichts der obigen Umstände soll die vorliegende Erfindung ein Messfehlerkorrekturverfahren und eine Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung, die in der Lage ist, mit hoher Genauigkeit eine Elektronikkomponente zu handhaben, die Nichtsignalleitungstore neben Signalleitungstoren umfasst und deren elektrische Charakteristika durch Charakteristika einer Vorrichtung verändert werden, die mit den Nichtsignalleitungstoren verbunden ist, bereitstellen.
Mittel zum Lösen der Probleme
Zum Lösen des obigen Problems stellt die vorliegende Erfindung das folgende Messfehlerkorrekturverfahren bereit.
Bei diesem Messfehlerkorrekturverfahren wird bezüglich einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore, die mit Signalleitungen verbunden sind, die ein Anlegen oder eine Erfassung eines Hochfrequenzsignals betreffen, und Nichtsignalleitungstore neben den Signalleitungstoren umfasst, aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, ein geschätzter Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, die ein Messen von nur den Signalleitungstoren ermöglicht, berechnet. Das Messfehlerkorrekturverfahren umfasst einen ersten bis fünften Schritt. Bei dem ersten Schritt wird, wobei zumindest drei Typen von Korrekturdatenerfassungsmustern an der Testvorrichtung befestigt sind und die Korrekturdatenerfassungsmuster an der Referenzvorrichtung befestigt sind, eine elektrische Charakteristik zumindest eines von Signalleitungstoren jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen. Bei dem zweiten Schritt wird eine Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, in der zumindest eines der Signalleitungstore und zumindest eines der Nichtsignalleitungstore elektrisch miteinander verbunden sind, vorbereitet, das Signalleitungstor und das Nichtsignalleitungstor werden gemessen, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, und das Signalleitungstor wird gemessen, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist. Der dritte Schritt bestimmt auf der Basis von Messwerten, die bei dem ersten und zweiten Schritt erhalten werden, einen numerischen Ausdruck zum Berechnen, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist. Bei dem vierten Schritt werden die Signalleitungstore und die Nichtsignalleitungstore gemessen, wenn die Elektronikkomponente, die willkürlich ist, an der Testvorrichtung befestigt ist. Bei dem fünften Schritt wird auf der Basis von Messwerten, die bei dem vierten Schritt erhalten werden, unter Verwendung des numerischen Ausdrucks, der bei dem dritten Schritt bestimmt wird, der geschätzte Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente die an der Referenzvorrichtung befestigt ist, berechnet.
Bei der oben beschriebenen Konfiguration kann auf der Basis von Messwerten bei dem ersten Schritt für die Signallei tungstore eine Korrektur eines relativen Messfehlers zwischen der Referenzvorrichtung und der Testvorrichtung durchgeführt werden. Aus dem Ergebnis einer Korrektur des Signalleitungstors und Messungen bei dem zweiten Schritt kann auch für die Nichtsignalleitungstore eine Korrektur des relativen Messfehlers zwischen der Referenzvorrichtung und der Testvorrichtung durchgeführt werden.
Gemäß der oben beschriebenen Konfiguration kann ein Messfehler nicht nur für Signalleitungstore, sondern auch für Nichtsignalleitungstore korrigiert werden. So können für einen willkürliche Elektronikkomponente aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, elektrische Charakteristika der Elektronikkomponente in einem Fall, in dem die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, genau geschätzt werden.
Vorzugsweise ist bei dem dritten Schritt der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore durch den folgenden Ausdruck dargestellt: [Ausdruck 1]
unter Verwendung einer Streumatrix S_I (deren Elemente durch S_11I, S_12I, S_21I und S_22I dargestellt sind), die derart erhalten wird, dass die Ergebnisse eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore bei dem zweiten Schritt, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchsgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", eingesetzt werden, und eines Messwerts S_11D für das Signalleitungstor in einem Zustand, in dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung bei dem zweiten Schritt an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Anders ausgedrückt wird in dem Fall einer Elektronikkomponente des „Nebenschlusstyps", der Nichtsignalleitungstore umfasst, unter der Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, aus Messwerten, die bei dem ersten Schritt erhalten werden, der Relativkorrekturadapter bezüglich der Signalleitungstore gefunden. Durch ein Kombinieren des Relativkorrekturadapters mit einer Streumatrix, die bei dem zweiten Schritt erhalten wird und die durch eine Messung erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, wird aus Messwerten, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, eine Streumatrix S_I, die eine elektrische Charakteristik schätzt, in einem Zustand, bei dem nur die Signalleitungstore an der Referenzvorrichtung befestigt sind, bestimmt. Bei dem zweiten Schritt entsprechen die Messwerte, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, geschätzten Werten, die durch ein Kombinieren des Relativkorrekturadapters bezüglich der Nichtsignalleitungstore mit einem Anschlusspaar der Nichtsignalleitungstore von S_I erhalten werden. Dies kann den obigen Ausdruck herleiten.
Durch ein Verwenden des Relativkorrekturadapters der Nichtsignalleitungstore, der durch den obigen Ausdruck hergelei tet wird, können elektrische Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, bei der die Nichtsignalleitungstore nicht gemessen werden, genau geschätzt werden.
Vorzugsweise umfasst die Elektronikkomponente zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Leistungstor als die Signalleitungstore und zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Nichtsignalleitungstor als die Nichtsignalleitungstore, wobei ein Element zwischen das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor geschaltet ist; zum Berechnen eines geschätzten Elektrische-Charakeristik-Werts zwischen dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor, die durch das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente beeinflusst werden, werden bei dem ersten Schritt elektrische Charakteristika an den Sinaleitungstoren für jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen, entsprechend dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente; bei dem zweiten Schritt wird in der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Signalleistungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, eingerichtet und eine elektrische Verbindung wird zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, eingerichtet; bei dem dritten Schritt wird als der numerische Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts zwischen dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor, die durch das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor der Elektronik komponente beeinflusst werden, eine Übertragungskoeffizientenmatrix, wie dargestellt durch den folgenden Ausdruck: (CA) = (T1durch)–1·(Ddurch)·(T2durch)–1 (a)oder eine Streukoeffizientenmatrix, die durch ein Umwandeln der Übertragungskoeffizientenmatrix erhalten wird, verwendet unter Verwendung: einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, wobei beide Übertragungskoeffizientenmatrizen derart erhalten werden, dass die Ergebnisse eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstor bei dem zweiten Schritt, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", eingesetzt werden; und einer Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch) zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, in einem Zustand, in dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, die bei dem zweiten Schritt erhalten wird, an der Testvorrichtung befestigt ist.
Anders ausgedrückt wird in dem Fall einer Elektronikkomponente des „Schwimmtyps", der Nichtsignalleitungstore umfasst, für die Elektronikkomponente, die willkürlich ist, unter der Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns elektrischer Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu elektrischen Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, aus den Messwerten, die bei dem ersten Schritt erhalten werden, der Relativkorrekturadapter bezüglich der Signalleitungstore gefunden. Der Relativkorrekturadapter wird mit einer Streumatrix kombiniert, die bei dem zweiten Schritt erhalten wird und die durch eine Messung erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist. Dies bedeutet, dass die Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch), die durch ein Durchführen der obigen Kombination an einer Streumatrix zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor entspricht, erhalten wird, und die Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch), die durch ein Durchführen der obigen Kombination an einer Streumatrix zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor entspricht, erhalten wird, bestimmt werden. Bei dem zweiten Schritt wird aus Messwerten, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, die Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch), die erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, bestimmt. Wenn der Relativkorrekturadapter zwischen den Nichtsignalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, durch (CA) dargestellt ist, gilt der folgende Ausdruck (b): (Ddurch) = (T1durch)·(CA)·(T2durch) (b)
Durch ein Multiplizieren beider Seiten dieses Ausdrucks (b) mit umgekehrten Matrizen (T1_durch ^–1) und (T2_durch)^–1 von beiden Seiten kann der obige Ausdruck (a) hergeleitet werden.
Durch ein Verwenden des Relativkorrekturadapters der Nichtsignalleitungstore, die durch den obigen Ausdruck (a) hergeleitet sind, können elektrische Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, bei der die Nichtsignalleitungstore nicht gemessen werden, genau geschätzt werden.
Vorzugsweise wird bei dem fünften Schritt bei der Berechnung unter der Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns der elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, für die Nichtsignalleitungstore der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore bei dem dritten Schritt als der Relativkorrekturadapter zur Schätzung verwendet.
Vorzugsweise ist in der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, die bei dem zweiten Schritt gemessen wird, ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor gleich –10 dB oder mehr.
In diesem Fall ist zwischen einem Signalleitungstor und einem Nichtsignalleitungstor das Ausgangssignal derart, dass dasselbe um eine Größenordnung kleiner ist als das Eingangssignal. So kann die Korrektur eines Messfehlers genau durchgeführt werden.
Vorzugsweise ist in der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, die bei dem zweiten Schritt gemessen wird, ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor gleich –20 dB oder mehr.
In diesem Fall ist z. B., wenn ein Nichtsignalleitungstor an der Referenzvorrichtung ein Signal total reflektiert, ein Signal, das gemessen wird, derart, dass es um eine Größenordnung kleiner ist als ein Signal, das von dem Signalleitungstor eingegeben wird. So kann der Relativkorrekturadapater der Nichtsignalleitungstore genau gefunden werden.
Zusätzlich liefert zur Lösung des oben beschriebenen Problems die vorliegende Erfindung die folgende Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung.
Bei dieser Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung wird bezüglich einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore, die mit Signalleitungen in Bezug auf ein Anlegen oder eine Erfassung eines Hochfrequenzsignals verbunden sind, und Nichtsignalleitungstore neben den Signalleitungstoren umfasst, aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, ein geschätzter Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, die ein Messen von nur den Signalleitungstoren ermöglicht, berechnet. Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung weist eine Messeinrichtung, eine Speichereinrichtung, eine Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung und eine Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung auf. Die Messeinrichtung misst die Signalleitungstore und die Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist. Die Speicherreinrichtung speichert erste Messdaten, die derart erhalten werden, dass, wobei zumindest drei Typen von Korrekturdatenerfassungsmustern an der Testvorrichtung befestigt sind und die Korrekturdatenerfassungsmuster an der Referenzvorrichtung befestigt sind, eine elektrische Charakteristik zumindest eines von Signalleitungstoren jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen wird, zweite Messdaten, die derart erhalten werden, dass, wenn eine Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, wobei die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung eine elektrische Verbindung zwischen zumindest einem Signalleitungstor unter Signalleitungstoren und zumindest einem Nichtsignalleitungstor unter Nichtsignalleitungstoren aufweist, das Signalleitungstor und das Nichtsignalleitungstor gemessen werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, dritte Messdaten, die durch ein Messen des Signalleitungstors erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist. Die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt auf der Basis der ersten Daten bis dritten Daten, die in der Speichereinrichtung gespeichert sind, einen numerischen Ausdruck zum Berechnen, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist. Die Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung bestimmt für die Elektronikkomponente, die willkürlich ist, auf der Basis von Messwerten, die durch eine Messung der Messeinrichtung erhalten werden, unter Verwendung des numerischen Ausdrucks, der durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, den geschätzten Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, die erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Bei der oben beschriebenen Konfiguration kann an den ersten Messdaten auf der Basis der ersten Messdaten ein relativer Messfehler zwischen der Referenzvorrichtung und der Test vorrichtung für die Signalleitungstore korrigiert werden. Aus dem Ergebnis der Korrektur für die Signalleitungstore und den zweiten Messdaten und den dritten Messdaten, also für die Nichtsignalleitungstore, kann ein relativer Messfehler zwischen der Referenzvorrichtung und der Testvorrichtung korrigiert werden.
Gemäß der oben beschriebenen Konfiguration kann nicht nur für Signalleitungstore, sondern auch für Nichtsignalleitungstore ein Messfehler korrigiert werden. So kann aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn eine willkürliche Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, eine elektrische Charakteristik, die erhalten wird, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, genau geschätzt werden.
Die ersten Messdaten bis dritten Messdaten könnten entweder durch eine Messeinrichtung der oben beschriebenen Elektronikkomponentencharakteristik-Messeinrichtung oder durch eine andere Messvorrichtung als die oben beschriebene Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung erhalten werden. In dem letzteren Fall werden Messdaten, die durch die andere Messvorrichtung erhalten werden, in der Speichereinrichtung der oben beschriebenen Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gespeichert.
Vorzugsweise wird der numerische Ausdruck, der für die Nichtsignalleitungstore durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, durch den folgenden Ausdruck dargestellt: [Ausdruck 2]
unter Verwendung einer Streumatrix S₁ (deren Elemente durch S_11I S_12I, S_21I und S_22I dargestellt sind), die derart erhalten wird, dass die zweiten Messdaten für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", eingesetzt werden, wobei der numerische Ausdruck aus den ersten Messdaten erhalten wird, und eines Messwerts S_11D für das Signalleitungstor in einem Zustand, in dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, was die dritten Daten ist, an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Anders ausgedrückt wird in dem Fall einer Elektronikkomponente des „Nebenschlusstyps", der Nichtsignalleitungstore umfasst, unter der Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, aus den ersten Messdaten ein Relativkorrekturadapter bezüglich der Signalleitungstore gefunden. Durch ein Kombinieren des Relativkorrekturadapters mit einer Streumatrix, die aus den zweiten Messdaten erhalten wird und die durch eine Messung erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, wird aus Messwerten, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, eine Streumatrix S_I, die eine elektrische Charakteristik schätzt, in einem Zustand, bei dem nur die Signalleitungstore an der Referenzvorrichtung befestigt sind, bestimmt. Messwerte, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, was die dritten Messdaten ist, an der Referenzvorrichtung befestigt ist, entsprechen geschätzten Werten, die durch ein Kombinieren des Relativkorrekturadapters bezüglich der Nichtsignalleitungstore mit einem Anschlusspaar des Nichtsignalleitungstors von S₁ erhalten werden.
Durch ein Verwenden des Relativkorrekturadapters der Nichtsignalleitungstore, der durch den obigen Ausdruck hergeleitet ist, kann eine elektrische Charakteristik, die erhalten wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, bei der die Nichtsignalleitungstore gemessen werden, genau geschätzt werden.
Vorzugsweise umfasst die Elektronikkomponente zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Leitungstor als die Signalleitungstore und zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Nichtsignalleitungstor als die Nichtsignalleitungstore, wobei ein Element zwischen das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor geschaltet ist; für die ersten Messdaten werden elektrische Charakteristika an den Signalleitungstoren für jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, gemessen; die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zur Verwendung beim Erhalten der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten weist eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, auf; als numerischer Ausdruck, der durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, zum Berech nen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts zwischen dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor, die durch das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente beeinflusst werden, wird eine Übertragungskoeffizientenmatrix, wie durch den folgenden Ausdruck dargestellt ist: (CA) = (T1durch)–1·(Ddurch)·(T2durch)–1 (a)oder eine Streukoeffizientenmatrix, die durch ein Umwandeln der Übertragungskoeffizientenmatrix erhalten wird, verwendet unter Verwendung: einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, wobei beide Übertragungskoeffizientenmatrizen durch ein Einsetzen der zweiten Messdaten für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", erhalten werden, wobei der numerische Ausdruck aus den ersten Messdaten erhalten wird; und einer Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch), die aus den dritten Messdaten erhalten wird, zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, in einem Zustand, in dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist.
Anders ausgedrückt wird in dem Fall einer Elektronikkomponente des „Schwimmtyps", der Nichtsignalleitungstore umfasst, für die Elektronikkomponente, die willkürlich ist, unter Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns elektrischer Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu elektrischen Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, aus ersten Messdaten der Relativkorrekturadapter bezüglich der Signalleitungstore gefunden. Der Relativkorrekturadapter wird mit einer Streumatrix kombiniert, die aus zweiten Messdaten erhalten wird und die durch eine Messung erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist. Dies bedeutet, dass eine Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch), die durch ein Durchführen der obigen Kombination an einer Streumatrix zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor entspricht, erhalten wird, und eine Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch), die durch ein Durchführen der obigen Kombination an einer Streumatrix zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor entspricht, erhalten wird, bestimmt werden. Aus Messwerten, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, was die dritten Messdaten ist, wird eine Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch), die erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, bestimmt. Wenn der Relativkorrekturadapter zwischen den Nichtsignalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, dargestellt ist durch (CA), gilt der folgende Ausdruck (b): (Ddurch) = (T1durch)·(CA)·(T2durch) (b)
Durch ein Multiplizieren beider Seiten dieses Ausdrucks (b) mit umgekehrten Matrizen (T1_durch)^–1 und (T2_durch)^–1 von beiden Seiten kann der obige Ausdruck (a) hergeleitet werden.
Durch ein Verwenden des Relativkorrekturadapters der Nichtsignalleitungstore, der durch den obigen Ausdruck (a) hergeleitet ist, können elektrische Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, bei der die Nichtsignalleitungstore nicht gemessen werden, genau geschätzt werden.
Vorzugsweise wird in der Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung in Bezug auf die Elektronikkomponente, die willkürlich ist, unter der Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns der elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, für die Nichtsignalleitungstore der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore, der für die Nichtsignalleitungstore durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, als der Relativkorrekturadapter zur Schätzung verwendet.
Vorzugsweise ist in der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zum Erfassen der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor gleich –10 dB oder mehr.
In diesem Fall ist das Ausgangssignal zwischen einem Signalleitungstor und einem Nichtsignalleitungstor derart, dass es um eine Größenordnung kleiner ist als das Eingangssignal. So kann die Korrektur eines Messfehlers genau durchgeführt werden.
Vorzugsweise ist in der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zum Erfassen der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor bei beiden Wegen gleich –20 dB oder mehr.
In diesem Fall ist, wenn z. B. ein Nichtsignalleitungstor an der Referenzvorrichtung ein Signal total reflektiert, ein Signal, das gemessen wird, derart, dass es um eine Größenordnung kleiner ist als ein Signal, das von dem Signalleitungstor eingegeben wird. So kann der Relativkorrekturadapter der Nichtsignalleitungstore genau gefunden werden.
Zusätzlich stellt die vorliegende Erfindung zur Lösung des oben beschriebenen Problems die folgende Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung bereit.
Bei dieser Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung wird bezüglich einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore, die mit Signalleitungen bezüglich eines Anlegens oder einer Erfassung eines Funkfrequenzsignals verbunden sind, und Nichtsignalleitungstore neben den Signalleitungstoren umfasst, aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, ein geschätzter Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, die ein Messen von nur den Signalleitungstoren ermöglicht, berechnet. Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung weist eine Messeinrichtung, eine Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung und eine Elektrische-Charakteristik- Schätzeinrichtung auf. Die Messeinrichtung misst die Signalleitungstore und die Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist. Die Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung speichert „einen numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist". Der numerische Ausdruck wird auf der Basis erster Messdaten bestimmt, die derart erhalten werden, dass, wobei zumindest drei Typen von Korrekturdatenerfassungsmustern an der Testvorrichtung befestigt sind und die Korrekturdatenerfassungsmuster an der Referenzvorrichtung befestigt sind, eine elektrische Charakteristik zumindest eines von Signalleitungstoren jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen wird, zweiter Messdaten, die derart erhalten werden, dass, wenn eine Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, wobei die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung eine elektrische Verbindung zwischen zumindest einem Signalleitungstor unter Signalleitungstoren und zumindest einem Nichtsignalleitungstor unter Nichtsignalleitungstoren aufweist, das Signalleitungstor und das Nichtsignalleitungstor gemessen werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, und dritter Messdaten, die durch ein Messen des Signalleitungstors erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, bestimmt. Die Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung bestimmt für die Elektronikkomponente, die willkürlich ist, auf der Basis von Messwerten, die durch eine Messung der Messeinrichtung erhalten werden, unter Verwendung des numerischen Ausdrucks, der durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, den geschätzten Elektrische-Charakteristik-Wert der Elekt ronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Bei der oben beschriebenen Konfiguration kann an den ersten Messdaten auf der Basis der ersten Messdaten ein relativer Messfehler zwischen der Referenzvorrichtung und der Testvorrichtung für die Signalleitungstore korrigiert werden. Aus dem Ergebnis der Korrektur für die Signalleitungstore und den zweiten Messdaten und den dritten Messdaten, also für die Nichtsignalleitungstore, kann ein relativer Messfehler zwischen der Referenzvorrichtung und der Testvorrichtung korrigiert werden. Bei der oben beschriebenen Konfiguration speichert die Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung einen numerischen Ausdruck zum Berechnen eines geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente durch ein Korrigieren eines Messfehlers nicht nur für die Signalleitungstore, sondern auch für die Nichtsignalleitungstore. Durch ein Verwenden des numerischen Ausdrucks kann für eine willkürliche Elektronikkomponente aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, eine elektrische Charakteristik, die erhalten wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, genau geschätzt werden.
Bei der oben beschriebenen Konfiguration wird der numerische Ausdruck zum Berechnen der elektrischen Charakteristik der Elektronikkomponente zuvor derart bestimmt, dass die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung oder eine andere Messvorrichtung die Testvorrichtung und die Referenzvorrichtung zur Durchführung der Messung verwendet.
Gemäß der oben beschriebenen Konfiguration kann, wenn der numerische Ausdruck zuvor für die Testvorrichtung bestimmt wird, indem der numerische Ausdruck in der Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung der Elektronikkomponentencha rakteristik-Messvorrichtung gespeichert wird, die Testvorrichtung für eine willkürliche Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung verwendet werden. Deshalb können Testvorrichtungen und Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtungen zur Verwendung frei kombiniert werden.
Vorzugsweise ist der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore, der in der Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung gespeichert ist, durch den folgenden Ausdruck dargestellt: [Ausdruck 3]
unter Verwendung einer Streumatrix S_I (deren Elemente durch S_11I, S_12I, S_21I und S_22I dargestellt sind), die derart erhalten wird, dass die zweiten Messdaten eingesetzt werden für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", wobei der numerische Ausdruck aus den ersten Messdaten erhalten wird, und eines Messwerts S_11D für das Signalleitungstor in einem Zustand, in dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, was die dritten Daten ist, an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Anders ausgedrückt wird in dem Fall einer Elektronikkomponente des „Nebenschlusstyps", der Nichtsignalleitungstore umfasst, unter der Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, aus den ersten Messdaten ein Relativkorrekturadapter bezüglich der Signalleitungstore gefunden. Durch ein Kombinieren des Relativkorrekturadapters mit einer Streumatrix, die aus den zweiten Messdaten erhalten wird und die durch eine Messung erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, wird aus Messwerten, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, eine Streumatrix S_I, die eine elektrische Charakteristik schätzt, in einem Zustand, in dem nur die Signalleitungstore an der Referenzvorrichtung befestigt sind, bestimmt. Messwerte, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, was die dritten Messdaten ist, an der Referenzvorrichtung befestigt ist, entsprechen geschätzten Werten, die durch ein Kombinieren des Relativkorrekturadapters bezüglich der Nichtsignalleitungstore mit einem Anschlusspaar des Nichtsignalleitungstors von S₁ erhalten werden.
Durch ein Verwenden des Relativkorrekturadapters der Nichtsignalleitungstore, der durch den obigen Ausdruck hergeleitet ist, kann eine elektrische Charakteristik, die erhalten wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, bei der die Nichtsignalleitungstore nicht gemessen werden, genau geschätzt werden.
Vorzugsweise umfasst die Elektronikkomponente zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Leitungstor als die Signalleitungstore und zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Nichtsignalleitungstor als die Nichtsignalleitungstore, wobei ein Element zwischen das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor geschaltet ist; für die ersten Messdaten werden elektrische Charakteristika an den Signalleitungstoren für jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, gemessen; die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zur Verwendung beim Erhalten der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten weist eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, auf; als numerischer Ausdruck, der in der Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung gespeichert ist, zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts zwischen dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor, die durch das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente beeinflusst werden, wird eine Übertragungskoeffizientenmatrix, wie durch den folgenden Ausdruck dargestellt ist: (CA) = (T1durch)–1·(Ddurch)·(T2durch)–1 (a)oder eine Streukoeffizientenmatrix, die durch ein Umwandeln der Übertragungskoeffizientenmatrix erhalten wird, verwendet unter Verwendung: einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, wobei beide Übertragungskoeffi zientenmatrizen durch ein Einsetzen der zweiten Messdaten für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", erhalten werden, wobei der numerische Ausdruck aus den ersten Messdaten erhalten wird; und einer Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch), zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, in einem Zustand, in dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, erhalten aus den dritten Messdaten.
Anders ausgedrückt wird in dem Fall einer Elektronikkomponente des „Schwimmtyps", der Nichtsignalleitungstore umfasst, für die Elektronikkomponente, die willkürlich ist, unter Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns elektrischer Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu elektrischen Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, aus ersten Messdaten der Relativkorrekturadapter bezüglich der Signalleitungstore gefunden. Der Relativkorrekturadapter wird mit einer Streumatrix kombiniert, die aus zweiten Messdaten erhalten wird und die durch eine Messung erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist. Dies bedeutet, dass eine Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch), die durch ein Durchführen der obigen Kombination an einer Streumatrix zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor entspricht, erhalten wird, und eine Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch), die durch ein Durchführen der obigen Kombination an einer Streumatrix zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor entspricht, erhalten wird, bestimmt werden. Aus Messwerten, die erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, was die dritten Messdaten ist, wird eine Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch), die erhalten wird, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, bestimmt. Wenn der Relativkorrekturadapter zwischen den Nichtsignalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, dargestellt ist durch (CA), gilt der folgende Ausdruck (b): (Ddurch) = (T1durch)·(CA)·(T2durch) (b)
Durch ein Multiplizieren beider Seiten dieses Ausdrucks (b) mit umgekehrten Matrizen (T1_durch)^–1 und (T2_durch)^–1 von beiden Seiten kann der obige Ausdruck (a) hergeleitet werden.
Durch ein Verwenden des Relativkorrekturadapters der Nichtsignalleitungstore, der durch den obigen Ausdruck (a) hergeleitet ist, können elektrische Charakteristika, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, bei der die Nichtsignalleitungstore nicht gemessen werden, genau geschätzt werden.
Vorzugsweise wird in der Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung in Bezug auf die Elektronikkomponente, die willkürlich ist, unter der Annahme eines Relativkorrekturadapters, der ein Merkmal eines Veränderns der elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, für die Nichtsignalleitungstore der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore, der für die Nichtsignalleitungstore durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, als der Relativkorrekturadapter zur Schätzung verwendet.
Vorzugsweise ist in der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zum Erfassen der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor gleich –10 dB oder mehr.
In diesem Fall ist das Ausgangssignal zwischen einem Signalleitungstor und einem Nichtsignalleitungstor derart, dass es um eine Größenordnung kleiner ist als das Eingangssignal. So kann die Korrektur eines Messfehlers genau durchgeführt werden.
Vorzugsweise ist in der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zum Erfassen der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor bei beiden Wegen gleich –20 dB oder mehr.
In diesem Fall ist, wenn z. B. ein Nichtsignalleitungstor an der Referenzvorrichtung ein Signal total reflektiert, ein Signal, das gemessen wird, derart, dass es um eine Größenordnung kleiner ist als ein Signal, das von dem Signalleitungstor eingegeben wird. So kann der Relativkorrekturadapter der Nichtsignalleitungstore genau gefunden werden.
Vorteile
Gemäß einem Messfehlerkorrekturverfahren und einer Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung der vorliegen den Erfindung kann eine Elektronikkomponente, die Nichtsignalleitungstore neben Signalleitungstoren aufweist und deren elektrische Charakteristika durch eine Charakteristik einer Vorrichtung verändert werden, die mit den Nichtsignalleitungstoren verbunden ist, genau gemessen werden.
Dies macht es möglich, dass bezüglich einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore und Nichtsignalleitungstore umfasst, aus Messergebnissen unter Verwendung einer Testvorrichtung bei einem Herstellungsverfahren Vorrichtungscharakteristika unter Bedingungen, die gleich einem Benutzergarantiezustand sind, unter Verwendung einer Referenzvorrichtung geschätzt werden können. Entsprechend wird eine genauere Garantie einer elektrischen Charakteristik für einen Benutzer ermöglicht. Zusätzlich verbessert eine erhöhte Genauigkeit einer Qualitätsbestimmung auch eine Ertragsrate. Ferner kann, da es nicht nötig ist, die Referenzvorrichtung und die Testvorrichtung einzustellen, selbst in einem Fall, in dem die Elektronikkomponente eine breite Bandbreite aufweist, die vorliegende Erfindung ohne Schwierigkeiten angewendet werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 besteht aus Darstellungen einer Referenzvorrichtung und einer Testvorrichtung.
2a ist eine Darstellung einer Gesamtkonfiguration in dem Fall einer Verwendung einer Referenzvorrichtung zur Messung.
2b ist eine Darstellung einer Gesamtkonfiguration in dem Fall einer Verwendung einer Testvorrichtung zur Messung.
3a ist eine Darstellung einer Gesamtkonfiguration in dem Fall einer Verwendung einer Referenzvorrichtung zur Messung.
3b ist eine Darstellung einer Gesamtkonfiguration in dem Fall einer Verwendung einer Testvorrichtung zur Messung.
4 ist ein Blockdiagramm einer Messvorrichtung.
5 besteht aus Zwei-Tor-Schaltungsdiagrammen, die das Grundprinzip einer Fehlerkorrektur der vorliegenden Erfindung zeigen.
6 besteht aus Zwei-Tor-Schaltungsdiagrammen, die das Grundprinzip einer Fehlerkorrektur der vorliegenden Erfindung zeigen.
7 ist ein Zwei-Tor-Schaltungsdiagramm, das das Grundprinzip einer Fehlerkorrektur der vorliegenden Erfindung zeigt.
8 ist ein Zwei-Tor-Schaltungsdiagramm, das das Grundprinzip einer Fehlerkorrektur der vorliegenden Erfindung zeigt.
9 ist ein Schaltungsdiagramm einer Elektronikkomponente, die ein Nichtsignalleitungstor aufweist.
10 besteht aus Elektrische-Charakteristik-Graphen der Elektronikkomponente aus 9.
11 besteht aus Elektrische-Charakteristik-Graphen der Elektronikkomponente aus 9.
12 besteht aus Elektrische-Charakteristik-Graphen der Elektronikkomponente aus 9.
13 besteht aus Elektrische-Charakteristik-Graphen der Elektronikkomponente aus 9.
14 ist ein Schaltungsdiagramm einer Elektronikkomponente eines „Schwimmtyps".
15 besteht aus Darstellungen einer Gesamtkonfiguration des Falls einer Verwendung von (a) einer Referenzvorrichtung und (b) einer Testvorrichtung zur Messung.
16 ist ein Einzelflussdiagramm eines Falls, in dem eine Elektronikkomponente gemessen wird, wenn dieselbe an einer Referenzvorrichtung befestigt ist.
17 ist ein Einzelflussdiagramm eines Falls, in dem eine Elektronikkomponente gemessen wird, wenn dieselbe an einer Testvorrichtung befestigt ist.
18 ist ein Einzelflussdiagramm eines Falls, in dem eine Messung durchgeführt wird, wenn eine Durchgangsvorrichtung an einer Referenzvorrichtung befestigt ist.
19 ist ein Einzelflussdiagramm eines Falls, in dem nach einer Signalleitungstor-Relativ-Korrektur eine Messung durchgeführt wird, wenn eine Durchgangsvorrichtung an einer Testvorrichtung befestigt ist.
20 ist ein Einzelflussdiagramm, das erhalten wird, wenn ein Relativkorrekturadapter angenommen wird.
21 ist ein Einzelflussdiagramm, das erhalten wird, wenn ein Relativkorrekturadapter angenommen wird.
22 besteht aus Schaltungsdiagrammen von (a) einer Referenzvorrichtung und (b) einer Testvorrichtung.
23 besteht aus Schaltungsdiagrammen von (a) einer Durchgangsvorrichtung und (b) einem zu testenden Gegenstand.
24 ist ein Schaltungsdiagramm einer Testvorrichtung nach einer Signalleitungstor-Relativ-Korrektur.
25 besteht aus Schaltungsdiagrammen eines Falls, in dem eine Durchgangsvorrichtung nach einer Signalleitungstor-Relativ-Korrektur gemessen wird.
26 besteht aus Schaltungsdiagrammen von Fällen, in denen ein zu testender Gegenstand gemessen wird.
27 besteht aus Elektrische-Charakteristik-Graphen von Elektronikkomponenten.
28 besteht aus Elektrische-Charakteristik-Graphen von Fällen, in denen ein Duplexer an (a) einer Referenzvorrichtung und (b) einer Testvorrichtung befestigt ist.
29 besteht aus Darstellungen einer Referenzvorrichtung und einer Testvorrichtung zur Verwendung in einer Elektronikkomponente eines „Nebenschlusstyps".
30 besteht aus Darstellungen einer Referenzvorrichtung und einer Testvorrichtung zur Verwendung in einer Elektronikkomponente eines „Schwimmtyps".
31 ist ein Diagramm einer elektrischen Schaltung, das ein Unterbrechungserfassungsverfahren zeigt.
32 ist ein Graph, der eine Beziehung zwischen Gleichsignal-Überbrückungskapazitäts- und HF-Charakteristik zeigt.
33 ist ein Schaltungsdiagramm eines Falls, in dem eine Unterbrechung gemessen wird.
34 ist eine Tabelle von Ergebnissen der Unterbrechungsmessung.

10, 11: Elektronikkomponenten
20: Referenzvorrichtung
26: Messvorrichtung
30: Testvorrichtung
36: Messvorrichtung (Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung)
52: Anzeigeeinheit
54: Operationssteuerung
56: Messeinheit (Messeinrichtung)
58: Steuereinheit
60: Speichereinheit (Speichereinrichtung, Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung)
62: Berechnungseinheit (Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung, Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung)
64: Schnittstelleneinheit
76: Messvorrichtung
86: Messvorrichtung (Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung)
100: Induktor (Element)
110: Elektronikkomponente
112: Tor (erstes Signalleitungstor)
114: Tor (zweites Signalleitungstor)
116: Tor (erstes Nichtsignalleitungstor)
118: Tor (zweites Nichtsignalleitungstor)
120: Referenzvorrichtung
126: Messvorrichtung
130: Testvorrichtung
136: Messvorrichtung (Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung)
140: Durchgangsvorrichtung
210: Elektronikkomponente
220: Referenzvorrichtung
230: Testvorrichtung (Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung)

Bester Modus zur Ausführung der Erfindung
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind unten Bezug nehmend auf die 2a bis 28 beschrieben.
(Erstes Ausführungsbeispiel)
Elektronikkomponenten des „Nebenschlusstyps", die Nichtsignalleitungstore umfassen, sind unter Bezugnahe auf die 2a bis 13 und die 30 bis 34 beschrieben.
Zuerst ist ein Messfehlerkorrekturverfahren beschrieben.
Wie in den 2a und 2b gezeigt ist, kann eine Elektronikkomponente 10 durch ein Verwenden unterschiedlicher Vorrichtungen 20 und 30 gemessen werden. Eine Vorrichtung 20 (im Folgenden als die „Referenzvorrichtung 20" bezeichnet) wird z. B. verwendet, um einem Benutzer elektrische Charakteristika zu garantieren. Die andere Vorrichtung 30 (im Folgenden als eine „Testvorrichtung 30" bezeichnet) wird z. B. verwendet, um fehlerfreie Gegenstände in einem Herstellungsverfahren einer Elektronikkomponente auszuwählen.
Ein numerischer Ausdruck zum Korrigieren eines relativen Messfehlers zwischen den Vorrichtungen 20 und 30, dessen Details später beschrieben sind, wird zuvor hergeleitet. Eine beliebige Elektronikkomponente wird gemessen, wenn dieselbe an der Testvorrichtung 30 befestigt ist, wodurch eine elektrische Charakteristik, die erhalten wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung 20 befestigt ist, unter Verwendung des hergeleiteten numerischen Ausdrucks geschätzt werden kann.
Die 2a und 2b zeigen Beispiele eines Falls, in dem die Elektronikkomponente 10 drei Signalleitungstore und ein Nichtsignalleitungstor aufweist.
Wie in 2a gezeigt ist, umfasst die Referenzvorrichtung 20 einen Befestigungsabschnitt und Koaxialverbinder 20a, 20b und 20c. Der Befestigungsteil umfasst einen Verbindungsanschluss (nicht gezeigt), der an einem Anschluss der Elektronikkomponente 10 durch Ausüben von Druck fixiert ist, und der Verbindungsanschluss und die Koaxialverbinder 20a, 20b und 20c sind elektrisch miteinander verbunden. Die drei Signalleitungstore der Elektronikkomponente 10 sind jeweils mit einer Messvorrichtung 26 durch die Koaxialverbinder 20a, 20b und 20c und drei Koaxialkabel 25 verbunden. Anders ausgedrückt werden, wenn die Elektronikkomponente 10 an der Referenzvorrichtung 20 befestigt ist, nur die Signalleitungstore unter Verwendung der Messvorrichtung 26 gemessen.
Wie in 2b gezeigt ist, werden, wenn die Elektronikkomponente 10 an der anderen Vorrichtung 30 befestigt ist, d. h. der Testvorrichtung 30, die Signalleitungstore und die Nichtsignalleitungstore durch ein Verwenden einer Messvorrichtung 36 gemessen. Die Testvorrichtung 30 umfasst einen Befestigungsabschnitt zum Befestigen der Elektronikkomponente 10 und Koaxialverbinder 30a, 30b, 30c und 30d. Der Befestigungsabschnitt umfasst einen Verbindungsanschluss (nicht gezeigt), der an einem Anschluss der Elektronikkomponente 10 durch Ausüben von Druck fixiert ist, und der Verbindungsanschluss und die Koaxialverbinder 30a, 30b, 30c und 30d sind elektrisch miteinander verbunden. Drei Signalleitungstore und ein Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente 10 sind jeweils mit einer Messvorrichtung 36 durch die Koaxialverbinder 30a, 30b, 30c und 30d und vier Koaxialkabel 35 verbunden.
Die Koaxialkabel 25 und die Messvorrichtung 26 sind kalibriert, wenn eine Standardeinheit mit Enden (Abschnitten, die eine Verbindung zu den Koaxialverbindern 20a, 20b und 20c herstellen) der Koaxialkabel 25 verbunden ist, wobei die Standardeinheit bekannte elektrische Charakteristika aufweist.
Netzwerkanalysatoren werden z. B. als die Messvorrichtungen 26 und 36 verwendet. Ein Netzwerkanalysator besitzt nicht nur eine Funktion eines einfachen Messens elektrischer Charakteristika einer Elektronikkomponente, die eine Mehrzahl von Toren umfasst und bei Hochfrequenzen eingesetzt wird, sondern auch eine Funktion eines Ausgebens berechneter Ergebnisse durch ein Verwenden eines willkürlichen Einstellprogramms zur Durchführung einer Berechnung an gemessenen Rohdaten.
Als Nächstes wird das Grundprinzip eines Verfahrens zum Schätzen elektrischer Charakteristika einer Elektronikkomponente aus Messergebnissen, die erhalten werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, beschrieben.
Zur Kürze einer Beschreibung ist unten exemplarisch eine Zwei-Tor-Schaltung für ein Zwei-Tor-Muster (DUT), das ein Signalleitungstor und ein Nichtsignalleitungstor umfasst, dargestellt. Dies könnte jedoch auf eine n-Tor-Schaltung erweitert werden (n stellt eine Ganzzahl größer oder gleich 3 dar), wie z. B. eine Vier-Tor-Schaltung, wie in 2b gezeigt ist.
Wie in 3a gezeigt ist, umfasst eine Referenzvorrichtung 70, an der eine Elektronikkomponente 11, die ein Signalleitungstor und ein Nichtsignalleitungstor umfasst, befestigt ist, nur einen Koaxialverbinder 70a. Nur das Signalleitungstor der Elektronikkomponente 11 ist mit einer Messvorrichtung 76 durch den Koaxialverbinder 70a und ein Koaxialkabel 75 verbunden und nur das Signalleitungstor wird gemessen.
Wie in 3b gezeigt ist, umfasst eine Testvorrichtung 80, an der die Elektronikkomponente 11, die ein Signalleitungstor und ein Nichtsignalleitungstor umfasst, befestigt ist, einen Koaxialverbinder 80a für das Signalleitungstor und einen Koaxialverbinder 80b für das Nichtsignalleitungstor. Das Signalleitungstor und das Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente 11 sind mit einer Messvorrichtung 86 durch die Koaxialverbinder 80a und 80b und ein Koaxialkabel 85 verbunden und das Signalleitungstor und das Nichtsignalleitungstor werden gemessen.
5(a) zeigt eine Zwei-Tor-Schaltung in einem Fall, in dem die Elektronikkomponente 11 (im Folgenden als das „Muster 11" bezeichnet), die ein Signalleitungstor und ein Nichtsignalleitungstor umfasst, an der Referenzvorrichtung 70 befestigt ist. Eine Fehlercharakteristik an einer Torseite 21 (der Seite des Anschlusspaars 00') der Referenzvorrichtung 70, die mit dem Signalleitungstor des Musters 11 verbunden ist, ist durch eine Streumatrix (E_DV) dargestellt und eine Charakteristik des Musters 11 ist durch eine Streumatrix (S_DUT) dargestellt. Ein Anschlusspaar 00' entspricht dem Koaxialverbinder der Referenzvorrichtung 70. Von einem Anschluss 0' auf der Signalleitungstorseite wird eine Messung S_11D in einem Fall, in dem das Muster 11 an der Referenzvorrichtung 70 befestigt ist, erhalten. Wenn das Muster 11 an der Referenzvorrichtung 70 befestigt ist, wird, um nur das Signalleitungstor zu messen, eine Fehlercharakteristik der anderen Torseite 22 der Referenzvorrichtung 70, die mit dem Nichtsignalleitungstor des Musters 11 verbunden ist, nur durch einen Reflexionskoeffizienten T_D2 dargestellt.
5(b) zeigt eine Zwei-Tor-Schaltung in einem Fall, in dem das Muster 11 an einer Testvorrichtung 80 befestigt ist. Eine Fehlercharakteristik auf einer Torseite 31 (der Seite des Anschlusspaars 11') der Testvorrichtung 80, die mit dem Signalleitungstor des Musters 11 verbunden ist, ist durch eine Streumatrix (E_T1) dargestellt und eine Charakteristik des Musters 11 ist durch eine Streumatrix (S_DUT) dargestellt. Von einem Anschluss 1' der Signalleitungstorseite wird eine Messung S_11T in einem Fall, in dem das Muster 11 an der Testvorrichtung 80 befestigt ist, erhalten. Wenn das Muster 11 an der Testvorrichtung 80 befestigt ist, wird, um auch das Nichtsignalleitungstor zu messen, eine Fehlercharakteristik der anderen Torseite der Testvorrichtung 80, d. h. die mit dem Nichtsignalleitungstor des Musters 11 verbunden ist, durch eine Streumatrix (E_T2) dargestellt. Von einem Anschluss 2 auf der Nichtsignalleitungstorseite wird eine Messung S_21T in einem Fall, in dem das Muster 11 an der Testvorrichtung 80 befestigt ist, erhalten. Anschlusspaare 11' und 22' entsprechen Koaxialverbinder-Verbindungsabschnitten, in denen eine Kalibrierung der Messvorrichtung 86 an Enden der Koaxialkabel 85 durchgeführt wird.
6(a) zeigt einen Zustand, bei dem, wie es durch die Bezugszeichen 33 und 34 bezeichnet ist, Adapter (E_T1)^–1 und (E_T2)^–1 zum Neutralisieren von Fehlercharakteristika (E_T1) und (E_T2) der Testvorrichtung 80 über die Schaltung in 5(b) verbunden sind. Diese Adapter (E_T1)^–1 und (E_T2)^–1 werden theoretisch durch ein Umwandeln von Streumatrizen (E_T1) und (E_T2) der Fehlercharakteristika zu Übertragungsmatrizen, ein Finden der inversen Matrizen der Übertragungsmatrizen und ein erneutes Umwandeln der inversen Matrizen zu Streumatrizen erhalten. Grenzabschnitte 38 und 39 zwischen Fehlercharakteristika (E_T1) und (E_T2) und den Adaptern (E_T1)^–1 und (E_T2)^–1 werden im Folgenden als „Kalibrierungsebenen 38 und 39" bezeichnet. Auf den Kalibrierungsebenen 38 und 39 werden Messungen S_11T und S_21T in dem Fall erhalten, bei dem das Muster 11 an der Testvorrichtung 80 befestigt ist. Da bei dieser Schaltung Fehler der Testvorrichtung 80 beseitigt werden, werden Messungen S_11DUT und S_21DUT des Musters selbst von Anschlüssen auf beiden Seiten der Schaltung erhalten.
Die Schaltung in 6(a) ist nur zu dem Muster 11 äquivalent. Somit wird, ähnlich wie bei 5(a), durch ein Verbinden der Streumatrix (E_D1) der Signalleitungstorseite 21 der Referenzvorrichtung 70 und des Reflexionskoeffizienten T_D2 der Fehlercharakteristik der Nichtsignalleitungstorseite der Referenzvorrichtung 70 über die Schaltung die Schaltung in 6(b) gebildet.
In 6(b) kann eine Streumatrix der Gesamtheit der Schaltung gefunden werden, da ein Wert S_11D von Anschluss 0' bekannt ist. Wird die Zweitorschaltung bei dem Abschnitt 41 zwischen dem Anschlusspaar 00' und der Kalibrierungsebene 38 angenommen, kann, da Werte S_11D und S_11T der Anschlüsse auf beiden Seiten bekannt sind, eine Streumatrix gefunden werden, bei der (E_D1) und (E_T1)^–1 kombiniert sind. Wird die Zweitorschaltung bei dem Abschnitt zwischen den Kalibrierungsebenen 38 und 39 angenommen, können Werte S_11T, S_21T, S12T und S22T auf beiden Seiten direkt auf den Kalibrierungsebenen gemessen werden. Somit können ihre Streumatrizen gefunden werden. Durch ein Kombinieren der Streumatrix des Abschnitts 41 zwischen dem Anschlusspaar 00' und der Streumatrix des Abschnitts zwischen den Kalibrierungsebenen 38 und 39 können Streumatrizen von dem Anschlusspaar 00' durch die Kalibrierungsebene 39 gefunden werden. Bezüglich des anderen Abschnitts, d. h. des Abschnitts rechts von der Kalibrierungsebene 39, kann die Streumatrix, bei der (E_T2)^–1 und T_D2 kombiniert sind, aus der Streumatrix der gesamten Schaltung, die in 6(b) gezeigt ist, und der kombinierten Streumatrix zwischen dem Anschlusspaar 00' und der Kalibrierungsebene 39 gefunden werden.
In anderen Worten ist, wenn die Streumatrix, die für den Abschnitt 41 zwischen dem Anschlusspaar 00' und der Kalibrierungsebene 38 kombiniert ist, durch (C1) dargestellt wird, und der Reflexionskoeffizient, bei dem (E_T2)^–1 und T_D2 kombiniert sind, für den Abschnitt 42 rechts von der Kalibrierungsebene 39 durch C2Γ dargestellt wird, die Schaltung wie in 7 gezeigt.
Dieses (C1) ist ein so genannter „Relativkorrekturadapter" und kann unabhängig für jedes Tor gefunden werden. Wird angenommen, dass Elemente von (C1) C1₀₀, C1₀₁, C1₁₀ und C1₁₁ sind, C1₀₁ = C1₁₀ auf der Basis des Reziprozitätssatzes. Deshalb kann der Relativkorrekturadapter (C1) bestimmt werden durch ein Vorbereiten von zumindest drei Mustern zum Erhalten von Korrekturdaten, die unterschiedliche elektrische Charakteristika aufweisen, für ein anvisiertes Tor, und durch ein Messen der Abtastwerte in einem Zustand, wenn dieselben an der Referenzvorrichtung 70 und der Testvorrichtung 80 befestigt sind.
In anderen Worten können bezüglich der drei Muster zum Erhalten von Korrekturdaten, wenn angenommen wird, dass eine Messung von S_11T in einem Zustand, der an der Testvorrichtung 80 befestigt ist, eine Messung von S_11D in einem Zustand, der an der Referenzvorrichtung 70 befestigt ist, S_11Ti bzw. S_11Di (i = 1, 2, 3) sind, Streukoeffizienten (C1₀₀, C1₀₁, C1₁₀, C1₁₁) durch den folgenden Ausdruck (1) gefunden werden.
[Ausdruck 4]
Ein Relativkorrekturadapter C2Γ des Nichtsignalleitungstors wird aus den Streukoeffizienten (C1₀₁, C1₀₁, C1₁₀ und C1₁₁), die wie im Vorhergehenden beschrieben gefunden wurden, und einer Messung einer Durchgangsvorrichtung gefunden, mit der das Signalleitungstor und das Nichtsignalleitungstor verbunden sind.
In anderen Worten wird durch ein Durchführen einer Messung in einem Zustand, in dem die Durchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung 70 befestigt ist, eine Messungen S_11D gefunden. Außerdem werden durch ein Durchführen einer Messung in einem Zustand, in dem die Durchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung 80 befestigt ist, Streukoeffizienten (S_11T, S_12T, S_21T, S_22T) des Zustands, der an der Testvorrichtung 80 befestigt ist, gefunden. Bezüglich des Abschnitts links von der Kalibrierungsebene 39, wie es in 8 gezeigt ist, werden Streukoeffizienten (S_11I, S_12I, S_21I, S_22I), bei denen Streukoeffizienten (C1₀₀, C1₀₁, C1₁₀, C1₁₁) und Streukoeffizienten (S_11T, S_12T, S_21T, S_22T) kombiniert sind, gefunden.
Durch ein Verwenden einer Messung S_11D und von Streukoeffizienten (S_11T, S_12T, S_21T, S_22T) wird C2Γ durch den folgenden Ausdruck (2) gefunden.
[Ausdruck 5]
Der Korrekturadapter (C1₀₀, C1₀₁, C1₁₀ und C1₁₁) für das Signalleitungstor, der wie im Vorhergehenden beschrieben bestimmt wird, und der Relativkorrekturadapter C2Γ für das Signalleitungstor werden in Ausdruck (3) verwendet, der später beschrieben wird, um elektrische Charakteristika einer beliebigen Fehlercharakteristik zu schätzen.
Das Zweitormuster 11, das ein Signalleitungstor und ein Nichtsignalleitungstor umfasst, wird gemessen, wenn dasselbe an der Testvorrichtung 80 befestigt ist, Streukoeffizienten (S_11T, S_12T, S_21T, S_22T) in einem Zustand, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung 70 befestigt ist, werden gefunden, und der folgende Ausdruck (3) wird verwendet, wodurch die Messung S_11D, die erhalten wird, wenn eine Messung in einem Zustand durchgeführt wird, der an der Referenzvorrichtung 70 befestigt ist, berechnet werden kann.
[Ausdruck 6]
Auch wird bezüglich einer N-Tor-Elektronikkomponente, die beliebige M Nichtsignalleitungstore umfasst (M < N), die Elektronikkomponente gemessen, wenn dieselbe an einer Testvorrichtung befestigt ist, um Streukoeffizienten zu finden, und Relativkorrekturadapter, die jedem Signalleitungstor und jedem Nichtsignalleitungstor entsprechen, werden kombiniert, wodurch eine Messung, die erhalten wird, wenn die Elektronikkomponente gemessen wird, wenn dieselbe an einer Referenzvorrichtung befestigt ist.
Die Messvorrichtungen 36 und 86, die die Testvorrichtungen 30 und 80 verwenden, sind gebildet, um die oben genannte Messfehlerkorrektur für das Nichtsignalleitungstor durchzuführen. Die Messvorrichtungen 26 und 67, die die Referenzvorrichtungen 20 und 70 verwenden, müssen nicht speziell konfigurationsmäßig identisch mit den Messvorrichtungen 36 und 86 sein, da dieselben keine Messung für das Nichtsignalleitungstor durchführen. Falls dieselben jedoch konfigurationsmäßig identisch mit den Messvorrichtungen 36 und 86 sind, sind dieselben verwendbar.
Anschließend werden die Konfigurationen der Messvorrichtungen 36 und 86, die in der Lage sind, das Nichtsignalleitungstor zu messen, unter Bezugnahme auf das Blockdiagramm in 4 beschrieben.
Die Messvorrichtungen 36 und 86 umfassen jede eine Anzeigeeinheit 52, eine Operationssteuerung 54, eine Messeinheit 56, eine Steuereinheit 58, eine Speichereinheit 60, eine Recheneinheit 62 und eine Schnittstelleneinheit 64.
Die Anzeigeeinheit 52 umfasst ein Anzeigefeld und zeigt einen Betriebszustand der Messvorrichtung 38 oder 86, Betriebsanweisungen usw. an. Die Operationssteuerung 54 umfasst eine Taste und einen Schalter und empfängt eine Operation an der Messvorrichtung 36 oder 86. Die Messeinheit 56 ist mit Anschlüssen der Elektronikkomponente 10 oder 11 durch die Koaxialkabel 35 oder 85 und die Testvorrichtung 30 oder 80 verbunden. Die Messeinheit 56 wählt einen Anschluss der Elektronikkomponente 10 oder 11 aus, falls dies nötig ist, gibt ein Signal ein und misst ein Ausgangssignal. Die Steuereinheit 58 verwaltet eine Gesamtsteuerung der Messvorrichtung 36 oder 86. Die Speichereinheit 60 speichert Programme, um zu ermöglichen, dass die Steuereinheit 58 und die Recheneinheit 62 wirksam sind, Messdaten von der Messeinheit 56, Berechnungsergebnisdaten der Recheneinheit 62 usw. Die Recheneinheit 62 führt eine Berechnung gemäß einem vorbestimmten Programm unter Verwendung von Daten von der Messeinheit 56 und Daten, die in der Speichereinheit 60 gespeichert sind, durch. Die Schnittstelleneinheit 64 ist eine Schnittstelle zum Austauschen von Daten mit einer externen Vorrichtung und führt eine Eingabe/Ausgabe durch durch ein Empfangen von Daten und einem Programm, die in der Speichereinheit 60 zu speichern sind, der Berechnungsergebnisdaten von der Recheneinheit 62 usw.
Die Messvorrichtungen 36 und 86 sind jede gemäß dem Programm wirksam, das in der Speichereinheit 60 gespeichert ist. Die Elektronikkomponentenmessvorrichtungen 36 und 86 können jeweils in der Lage sein, in einer Mehrzahl von Betriebsmodi wirksam zu sein, die einen Kalibrierungsmodus und einen Messmodus umfassen.
Im Kalibrierungsmodus werden Daten zum Korrigieren von Relativmessfehlern zwischen den Referenzvorrichtungen 20 und 70 und den Testvorrichtungen 30 und 80 erhalten, bevor ein numerischer Ausdruck zum Schätzen elektrischer Charakteristika bestimmt wird. Speziell führt die Messeinheit 56 sequentiell eine Messung in einem Zustand durch, in dem das Muster zum Erhalten von Daten und eine Durchgangsvorrichtung (Standardmuster) an der Referenzvorrichtung 20 oder 70 und an der Testvorrichtung 30 oder 80 befestigt sind. Zu diesem Zeitpunkt wird ein zu messendes Element an der Anzeigeeinheit 52 angezeigt. Auf einen Abschluss einer Vorbereitung des angezeigten zu messenden Elements hin bedient eine Bedienungsperson die Operationssteuerung 54. Wenn die Operationssteuerung 54 diese Operation empfängt, leitet die Messeinheit 56 eine Messung ein, und gemessene Daten werden in der Speichereinheit 60 gespeichert. Die Recheneinheit 62 liest die gemessenen Daten, die in der Speichereinheit 60 gespeichert sind, mit einer geeigneten Zeitgebung, berechnet den im Vorhergehenden beschriebenen Korrekturadapter (C1₀₀, C1₀₁, C1₁₀, C1₁₁), C2Γ usw. und bestimmt einen numerischen Ausdruck zum Schätzen elektrischer Charakteristika. Der im Vorhergehenden bestimmte numerische Ausdruck wird in der Speichereinheit 60 gespeichert.
In dem Messmodus werden elektrische Charakteristika in dem Fall eines Verwendens der Testvorrichtung 30 oder 80, um eine Messung durchzuführen, aus gemessenen Daten geschätzt, die durch die Verwendung der Testvorrichtung 30 oder 80 erhalten werden. In anderen Worten führt die Messeinheit 56 eine Messung in einem Zustand durch, in dem eine beliebige Elektronikkomponente 10 oder 11 an der Testvorrichtung 30 oder 80 befestigt ist. Die Recheneinheit 62 berechnet einen geschätzten Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente 10 oder 11 aus den gemessenen Daten von der Messeinheit 56. Der berechnete geschätzte Wert wird an der Anzeigeeinheit 52 angezeigt und wird von der Schnittstelleneinheit 64 an eine externe Vorrichtung ausgegeben.
Durch ein separates Speichern im Voraus des bestimmten numerischen Ausdrucks zum Schätzen einer elektrischen Charakteristik in der Speichereinheit 60 und ein Ermöglichen, dass die Recheneinheit 62 den numerischen Ausdruck verwendet, kann eine Schätzung der elektrischen Charakteristik der beliebigen Elektronikkomponente 10 oder 11, die an der Testvorrichtung 30 oder 80 befestigt ist, durchgeführt werden, selbst wenn auf den Kalibrierungsmodus verzichtet wird. In diesem Fall kann eine Kombination der Testvorrichtung 30 oder 80 und der Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung frei verändert werden, wodurch eine flexible Messoperation ermöglicht wird.
Anschließend wird ein Unterbrechungserfassungsverfahren unter Verwendung einer HF-Messung beschrieben.
Eine Elektronikkomponente, die ein eingebautes Nichtsignalleitungstor (Gleichsignalleistungsversorgungstor) aufweist, wird normal als eine Prüfvorrichtung einer Unterbrechung bei Symmetrie- bzw. Balanceausgängen (zwei Tore) eines aktiven Elements, wie z. B. eines LC-Chipbandpassfilters, das Keramikschichten verwendet. Bei dem Unterbrechungserfassungsverfahren, wie es in 31 gezeigt ist, wird durch ein Verbinden einer Gleichstrom-(DC-)Leistungsversorgung 304 mit einem Gleichsignal-(DC)Tor eines Testobjekts DUT 300, ein Verbinden einer Vorspannungs-T-Schaltung 310 mit jedem der Symmetrieausgangstore (Tore 2 und 3), ein Verwenden von Induktoren 312 und 316 und Kondensatoren 314 und 318, um Gleichsignal- und HF-Signale zu trennen, und ein Erfassen eines Gleichsignalausgangssignals der Vorspan nungs-T-Schaltung 310 eine Unterbrechungsprüfung der Symmetrieausgangstore durchgeführt. Außerdem wird, um einen Effekt der Gleichsignalleistungsversorgung 304 zu beseitigen, die mit dem Gleichsignaltor verbunden ist, in der Nähe des DUT 300 ein Umgehungskondensator 302, der etwa 100 pF aufweist, mit dem Gleichsignaltor verbunden.
Derzeit wird einem Benutzer mit einer Vorrichtung (Referenzvorrichtung), die kein Gleichsignaltor umfasst, eine Garantie gegeben, und bei einem tatsächlichen Prozess wird eine Testvorrichtung, die ein Gleichsignaltor verwendet, verwendet, um eine Messung durchzuführen. Um eine Referenzvorrichtungsmessung von einer Testvorrichtungsmessung zu schätzen, ist es möglich, dass durch ein Messen des Gleichsignaltors die Relativkorrektur, die in der Nicht-Patentschrift 1 offenbart ist, oder dergleichen angewendet wird. In diesem Fall tritt, wenn der Stand der Technik verwendet wird, wie derselbe vorliegt, durch ein Durchführen einer HF-Messung und ein Korrigieren einer Testvorrichtung vor einem Anschließen einer Leistungsversorgung ein Streufehler bei einer Korrekturcharakteristik auf, und die Kapazität des Gleichsignaltores macht es schwierig, die HF-Messung selbst durchzuführen, so dass die Referenzvorrichtung und die Testvorrichtung nicht korrigiert werden können. Das liegt daran, dass die HF-Messung schwierig ist, da ein HF-Signal von dem Gleichsignaltor durch einen Umgehungskondensator totalreflektiert wird, ohne ein DUT zu erreichen, wobei es sich um einen Effekt der Umgehungskapazität an einer Gleichsignaltorleitung handelt. Die Umgehungskapazität des Gleichsignaltors und eine Charakteristik (S₄₄) eines Last-Widerstandmusters sind so, wie es z. B. in 32 gezeigt ist. Bei einer Umgehungskapazität von 4 pF ist eine HF-Charakteristik des Last-Widerstandmusters bezüglich einer Charakteristik identisch mit einem Kurzschluss-Standardmuster, so dass es schwierig ist, eine Standardmustermessung durchzuführen, die zur Relativkorrektur nötig ist. Außerdem werden zur Unterbrechungsprüfung auch eine Gleichsignalleistungsversorgung und eine Vorspan nungs-T-Schaltung benötigt, und ein Verwaltungsverfahren nicht nur für das System, sondern auch für eine Charakteristikgarantie ist komplex.
Dementsprechend wird unter Verwendung eines Netzwerkanalysators, um eine HF-Messung durchzuführen, eine Unterbrechung überprüft. Bei einer Testvorrichtung, die ein Nichtsignalleitungstor (Gleichsignaltor) umfasst, ist ein HF-Verbinder an dem Gleichsignaltor befestigt, und der Netzwerkanalysator ist eingestellt, um in einem Zustand zu sein, der zur HF-Messung in der Lage ist. Durch ein Ausgeben eines niederfrequenten (Einpunkt-)HF-Signals aus dem Gleichsignaltor, wobei eine Vorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, und ein Messen einer Charakteristik einer Übertragung an Symmetrieausgangstore werden Unterbrechung und keine Unterbrechung abhängig von der Größe eines Übertragungscharakteristikpegels identifiziert. Es wird jedoch bevorzugt, dass die Kapazität eines Umgehungskondensators, der mit dem Gleichsignaltor verbindbar ist, kleiner oder gleich 2 pF ist, um eine Relativkorrektur bei einem Hochfrequenzbereich durchzuführen.
Um eine Korrektur zwischen der Referenzvorrichtung und der Testvorrichtung durchzuführen, wird eine HF-Messung an dem Nichtsignalleitungstor für die Testvorrichtung durchgeführt. Eine DUT-Ausgangsunterbrechungsprüfung kann durchgeführt werden, wobei die Testvorrichtung korrigiert bleibt. In anderen Worten kann mit einer Testvorrichtung (die ein Nichtsignalleitungstor umfasst), die in der Lage ist, eine Messung unter Bedingungen durchzuführen, die gleich einem Benutzergarantiezustand sind, der kein Nichtsignalleitungstor aufweist, in einer Umgebung, die mit einer Testvorrichtungskorrekturumgebung identisch ist, eine Ausgangstorunterbrechungsprüfung durchgeführt werden, ohne die Gleichsignalleistungsversorgung anzuschließen. Es ist nicht notwendig, eine Unterbrechungsprüfleistungsversorgung und das Vorspannungs-T an die Testvorrichtung anzuschließen, wodurch eine Unterbrechungsprüfung ermöglicht wird, wobei die Korrekturumgebung der Testvorrichtung aufrechterhalten wird. Dementsprechend ermöglicht dies eine Benutzergarantie von genaueren elektrischen Charakteristika.
Durch ein Einstellen eines Unterbrechungsprüf-HF-Signals, um eine minimale Frequenz (z. B. 300 kHz) des Netzwerkanalysators aufzuweisen, weist das HF-Signal eine ausreichend niedrige Frequenz für ein garantiertes Band der Vorrichtung auf. Somit ist eine Messung in der Nähe von DC möglich, und nur die Notwendigkeit einer ausschließlichen Ein-Punkt-Messung erfordert eine Kurzschlussunterbrechungsprüfzeit, so dass ein Taktausfallfehler verhindert wird.
Nur der Netzwerkanalysator ermöglicht sowohl eine Signalleitungstormessung als auch eine Ausgangsunterbrechungsprüfung, und da die Notwendigkeit der Gleichsignalleistungsversorgung und der Vorspannungs-T-Schaltung beseitigt ist, wird ein einfaches Messsystem gebildet, wodurch ein wirtschaftlicher Effekt erreicht wird.
Außerdem wird eine Umgehungskondensatorkapazität, die für das Gleichsignaltor wesentlich ist, nicht benötigt, wodurch eine geeignete Korrektur zwischen der Referenzvorrichtung und der Testvorrichtung ermöglicht wird.
Dieses Unterbrechungsprüfverfahren wird verallgemeinert und im Folgenden beschrieben.
Ein Verfahren zum Erfassen einer Unterbrechung innerhalb einer Elektronikkomponente in einem Zustand, der in der Lage ist, aus Messwerten einer Elektronikkomponente für eine Testvorrichtung eine elektrische Charakteristik der Elektronikkomponente zu schätzen, die erhalten wird, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst:
einen ersten Schritt eines Eingebens eines niederfrequenten HF-Signals von einem Gleichsignaltor der Testvorrichtung in die Elektronikkomponente;
einen zweiten Schritt eines Messens einer Übertragungscharakteristik zwischen dem Gleichsignaltor und einem Ausgangstor; und
einen dritten Schritt eines Durchführens einer Unterbrechungserfassung an dem Ausgangstor durch ein Vergleichen der Übertragungscharakteristik und eines Schwellenwerts.
Gemäß dem obigen Verfahren wird nur durch ein Verwenden des Netzwerkanalysators, um eine Ausgangstorunterbrechungserfassung durchzuführen, ohne die Gleichsignalleistungsversorgung und die Vorspannungs-T-Schaltung zu verbinden, ein Zustand aufrechterhalten, der identisch mit der Korrekturumgebung der Testvorrichtung ist, wodurch ein genaues Garantieren elektrischer Charakteristika ermöglicht wird. Außerdem erzeugen die Einfachheit des Messsystems und nur die Notwendigkeit einer kurzen Messzeit einen wirtschaftlichen Effekt.
Es wird bevorzugt, dass die oben genannte Elektronikkomponentenunterbrechungserfassung vor einer Elektrische-Charakteristik-Messung in einem Zustand durchgeführt wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, so dass eine Elektrische-Charakteristik-Messung in einem Zustand, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, nutzlos wird.
Anschließend wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben.
Das Unsymmetrischer-Eingang-zu-Symmetrischer-Ausgang-2,4-GHz-Band-LC-Filter, das in 9 gezeigt ist, wird als die Elektronikkomponente 10 verwendet. Diese Vorrichtung umfasst Tore 1–3 als Signalleitungstore und ein Gleichsig naltor als ein Nichtsignalleitungstor. Tor 1 ist ein unsymmetrisches Eingangstor, und die Tore 2 und 3 sind symmetrische Ausgangstore. Das Gleichsignaltor ist ein Tor zum Anschließen eines Multimeters, um ein Prüfen auf Gleichstrom mit dem Multimeter bei einem Charakteristikauswahlprozess bei der Herstellung durchzuführen. Das Gleichsignaltor befindet sich im Leerlauf, wenn dasselbe durch einen Benutzer verwendet wird, da dasselbe nicht als ein Produkt verwendet wird.
Wie es in 2b gezeigt ist, umfasst die Testvorrichtung 30 einen Koaxialverbinder 30d zum Verbinden eines Multimeters mit dem Gleichsignaltor zusätzlich zu den Koaxialverbindern 30a, 30b, 30c und 30d zum Verbinden der Tore 1–3 mit der Messvorrichtung 36. In anderen Worten werden Signalleitungstore (Tore 1–3) und ein Nichtsignalleitungstor (das Gleichsignaltor) gemessen.
Außerdem befindet sich bei der Referenzvorrichtung 20, die in den Benutzergarantiezustand eintritt, das Gleichsignaltor im Leerlauf.
Dementsprechend werden, wie es in 2a gezeigt ist, an den Signalleitungstoren (Tore 1–3) gemessen, und das Nichtsignalleitungstor (das Gleichsignaltor) wird nicht gemessen. Dieser Unterschied bei dem Nichtsignalleitungstor zwischen den Vorrichtungen 20 und 30 ändert Vorrichtungsmessungen bei der Referenzvorrichtung 30 und bei der Referenzvorrichtung 20.
Spezifische experimentelle Bedingungen sehen folgendermaßen aus:

– DUT Unsymmetrischer-Eingang-zu-Symmetrischer-Ausgang-2,4-GHz-Band-LC-Filter
– Messinstrument ADVANTEST R3767CG (8-GHz-4-Tor-Netzwerkanalysator)
– Frequenzbereich 500 MHz bis 3,5 GHz
– Anzahl von Datenelementen 801
– IF-Bandbreite 1 kHz
– Referenzvorrichtung Drei-Tor-Vorrichtung ohne ein Gleichsignaltor
– Testvorrichtung Vier-Tor-Vorrichtung mit einem SMA-Verbinder, der an einem Gleichsignaltor angebracht ist, einem 3-dB-Dämpfer, der an Tor 1 (unsymmetrischer Eingang) und an Tor 2 (symmetrischer Ausgang) angebracht ist, und einer Verzögerung, die an Tor 3 (symmetrischer Ausgang) angebracht ist
– Standardmuster Ein Standardmuster, das zwischen den Toren 1 und 4 hindurchgeht, wurde als ein Standardmuster für das Nichtsignalleitungstor vorbereitet. Echte Werte waren unbekannt.
– Auswertungsdetails S_DS21, S_SS22, S_DD22, S_CS21, S₂₁/S₃₁ und Phasendifferenz
– Ein vereinfachtes Schaltbild des DUT ist in 9 gezeigt.

Ergebnisse eines Schätzens von Referenzvorrichtungsmessungen aus Testvorrichtungsmessungen unter Verwendung der vorliegenden Erfindung sind in den 10–13 gezeigt. In den 10–13 werden Daten in dem Fall, dass die Technik in der vorliegenden Erfindung verwendet wird, um den Relativkorrekturadapter des Nichtsignalleitungstors abzuleiten, als „Nicht-HF-Tor-Korrektur" etikettiert, und Daten werden in dem Fall, dass die Technik in der verwandten Technik verwendet wird, um keinen Relativkorrekturadapter des Nichtsignalleitungstors abzuleiten, als „Nicht-HF-Tor ignoriert" etikettiert.
Die Verwendung eines Musters, das ein gutes Ausgleichen aufweist, in den 10 und 11 weist keine Effekte des Korrekturadapters des Nichtsignalleitungstors bei S_DS21, S_SS22 und S_DD22 auf.
Aus den 11 und 12 können bei den Parametern S_CS21, S₂₁/S₃₁ und Phasendifferenz 1, die durch eine Differenz beim Ausgleichen in hohem Maße beeinflusst werden, die Effekte bestätigt werden.
Bei S_CS21 und S₂₁/S₃₁ können die Effekte bei einer niederfrequenten Seite, die keine DUT-Symmetrie aufweist, bestätigt werden, und bei Phasendifferenz 1 können die Effekte auch in einem Durchlassband bestätigt werden.
Außerdem wurde für das DUT, das bei der Beschreibung des Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung verwendet wird, eine Erfassung von Unterbrechungen zwischen den Toren 2 und 3 und dem Gleichsignaltor (Tor 4) durchgeführt. Zu diesem Zweck wurde das Nichtsignalleitungstor (das Gleichsignaltor) mit Tor 4 des Netzwerkanalysators in einem Testvorrichtungsbasiszustand verbunden, der in der Lage ist, Referenzvorrichtungsmessungen aus Testvorrichtungsmessungen zu schätzen. Zu diesem Zeitpunkt wird es bevorzugt, dass die Kapazität des Umgehungskondensators, der mit der Gleichsignaltorleitung verbunden ist, kleiner oder gleich 2 pF ist. Eine Messschaltung ist in 33 gezeigt. Eine Frequenz von 300 kHz wurde aus dem Gleichsignaltor (Tor 4) ausgegeben, und Charakteristik-(S₂₄, S₃₄)Pegel einer Übertragung an die symmetrischen Ausgangstore (Tore 2 und 3) wurden gemessen.
Ergebnisse eines Messens von (bertragungscharakteristikpegeln von S₂₄ und S₃₄, wenn das Ausgangstor 2 oder 3 eine Unterbrechung aufweist (fehlerhaftes Element), und wenn das Ausgangstor 2 oder 3 keine Unterbrechung aufweist (fehlerfreies Element), sind in 34 gezeigt. Diese Ergebnisse zeigen an, dass offensichtlich die Pegel für Unterbrechung und keine Unterbrechung Bedeutung haben, und dass durch ein Einstellen eines Schwellenwerts bei Bedarf eine Ausgangstorunterbrechung durch den Netzwerkanalysator erfasst werden kann.
Durch ein Handhaben des Nichtsignalleitungstors (des Gleichsignaltors) als ein Signalleitungstor ohne ein Verbinden eines Umgehungskondensators und einer Leistungsversorgung mit dem Nichtsignalleitungstor kann eine Ausgangstorunterbrechungsprüfung möglich gemacht werden, wobei die Korrekturumgebung der Testvorrichtung aufrechterhalten wird. Das Test-HF-Signal von 300 kHz kann als wesentliches Gleichsignal gehandhabt werden, da dasselbe ausreichend niedriger als das Frequenzband von 2,4 GHz der Vorrichtung ist.
(Zweites Ausführungsbeispiel)
Elektronikkomponenten des „Float- bzw. Schwimmtyps", die Nichtsignalleitungstore umfassen, sind unter Bezugnahme auf die 14–27 beschrieben.
Wie es z. B. in 14 gezeigt ist, umfasst eine Elektronikkomponente 110 nicht nur Signalleitungstore 112 und 114 (Eingang/Ausgang-Tore 1 und 2), sondern auch zwei Nichtsignalleitungstore 116 und 118, mit denen ein Induktor 100 parallel geschaltet ist. Die Elektronikkomponente 110 wird verwendet, wobei der Induktors 100 damit verbunden ist, um eine Charakteristik (Q-Wert) einer Resonanzschaltung zu verbessern, bei der Kondensatoren 111 in einer π-Form gekoppelt sind.
Wie es in 15 gezeigt ist, kann ähnlich wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel die Elektronikkomponente 110 in Zuständen gemessen werden, die an einer Referenzvorrichtung 120 und an einer Testvorrichtung 130 befestigt sind, indem Messvorrichtungen 126 und 136 verwendet werden.
Wie es in 15(a) gezeigt ist, umfasst die Referenzvorrichtung 120 Koaxialverbinder 120s und 120t, die mit den Signalleitungstoren 112 und 114 der Elektronikkomponente 110 verbunden sind, und einen Induktor 121, der zwischen die Nichtsignalleitungstore 112 und 114 der Elektronikkomponente 110 geschaltet ist. Koaxialkabel 125 sind mit den Koaxialverbindern 120s und 120t verbunden, und die Signalleitungstore 112 und 114 der Elektronikkomponente 110 werden durch die Messvorrichtung 126 gemessen.
Wie es in 15(b) gezeigt ist, umfasst die Testvorrichtung 130 Koaxialverbinder 130s und 130t, die mit den Signalleitungstoren 112 und 114 der Elektronikkomponente 110 verbunden sind, und Koaxialverbinder 130m und 130n, die mit den Nichtsignalleitungstoren 116 und 118 der Elektronikkomponente 110 verbunden sind. Koaxialkabel 135 sind mit den Koaxialverbindern 112, 124, 126 und 128 verbunden, und die Signalleitungstore 112 und 114 und die Nichtsignalleitungstore 116 und 118 der Elektronikkomponente 110 werden durch die Messvorrichtung 136 gemessen.
Die Messvorrichtungen 126 und 136 sind so ähnlich wie die Messvorrichtungen 26 und 36 bei dem ersten Ausführungsbeispiel konfiguriert. Enden der Koaxialkabel 125 und 135, die mit den Messvorrichtungen 126 und 136 verbunden sind, werden unter Verwendung des Standardinstruments auf ähnliche Weise wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel kalibriert.
Anschließend, das Grundprinzip des Schätzens, aus Ergebnissen einer Messung, wenn die Elektronikkomponente 110 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist, elektrische Charakteristika, die erhalten werden, falls eine Messung durchgeführt wird, wenn die Elektronikkomponente 110 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist.
16 ist ein Signalflussdiagramm in einem Fall, bei dem die Elektronikkomponente 110 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist, wie es in 15(a) gezeigt ist. Anschlusspaare 11' und 22' entsprechen den Koaxialverbindern 120s und 120t (Koaxialverbinderverbindungsabschnitte, in denen eine Kalibrierung der Messvorrichtung 126 an einem Ende des Koaxialkabels 125 durchgeführt wird) der Referenzvorrichtung 120. Elektrische Charakteristika von Abschnitten 122 und 124 zwischen den Koaxialverbindern 120s und 120t der Referenzvorrichtung 120 und beiden Signalleitungstoren 112 und 114 der Elektronikkomponente 110 sind durch (E_D) bzw. (F_D) dargestellt. Eine elektrische Charakteristik beider Nichtsignalleitungstore 116 und 118, mit denen der Induktor 121 verbunden ist, ist durch (L) dargestellt.
17 ist ein Signalflussdiagramm in einem Fall, bei dem die Elektronikkomponente 110 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist, wie es in 15(b) gezeigt ist. Anschlusspaare 11', 22', 33' und 44' entsprechen Koaxialverbindern 130a, 130b, 130c und 130d (Koaxialverbinderverbindungsabschnitte, bei denen eine Kalibrierung der Messvorrichtung 136 an einem Ende des Koaxialkabels 135 durchgeführt wird) der Testvorrichtung 130. Die Abschnitte 132 und 134 zwischen beiden Nichtsignalleitungstoren 116 und 118 der Elektronikkomponente 110 und den Koaxialverbindern 130m und 130n der Testvorrichtung 130 sind durch (G_T) bzw. (H_T) dargestellt.
18 ist ein Signalflussdiagramm in einem Fall, bei dem die Durchgangsvorrichtung 140 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist. Die Durchgangsvorrichtung 140 umfasst Tore 142, 144, 146 und 148, die den Toren 112, 114, 116 und 118 der Elektronikkomponente 110 entsprechen, und eine elektrische Verbindung wird zwischen den Toren 142 und 144, die Signalleitungstoren entsprechen, und zwischen den Toren 146 und 148, die Nichtsignalleitungstoren entsprechen, hergestellt. Außerdem wird eine elektrische Charakteristik eines Abschnitts 140a zwischen den Toren 142 und 146 mit (T₁) dargestellt, und eine elektrische Charakteristik eines Abschnitts 140b zwischen den anderen Toren 144 und 148 wird durch (T₂) dargestellt.
Der Wert, der gemessen wird, wenn die Durchgangsvorrichtung 140 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist, kann durch den folgenden Ausdruck (4) dargestellt werden, wenn die Bezugszeichen in 18 Übertragungskoeffizientenmatrizen darstellen. (Ddurch) = (ED)·(T1)·(L)·(T2)·(FD) (4)
19 ist ein Signalflussdiagramm in einem Fall, bei dem die Durchgangsvorrichtung 140 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist. Hier werden, um eine kurze Beschreibung zu liefern, unter Verwendung des im Vorhergehenden beschriebenen Relativkorrekturadapters, der die Signalleitungstore betrifft, Fehlerfaktoren der Tore 1 und 2 der Testvorrichtung 130 zu Fehlerfaktoren (E_D) und (F_D) der Referenzvorrichtung 120 korrigiert. In anderen Worten entsprechen die Anschlusspaare 11' und 22' den Koaxialverbindern 120s und 120t der Referenzvorrichtung 120.
Ein Wert, der gemessen wird, wenn die Durchgangsvorrichtung 140 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist, kann durch den folgenden Ausdruck (5) dargestellt werden, betreffend zwischen den Anschlusspaaren 11'–33', falls die Bezugszeichen in 19 Übertragungskoeffizientenmatrizen darstellen. (T1durch) = (ED)·(T1)·(GT) (5)
Außerdem kann ein Wert zwischen den Anschlusspaaren 22'–44' durch den folgenden Ausdruck (6) dargestellt werden. (T2durch) = (HT)·(T2)·(FD) (6)
Ein Fall, bei dem, wie es in 20 gezeigt ist, Adapter (G_T)^–1 und (H_T)^–1 zum Neutralisieren von Fehlercharakteristika (G_T) und (H_T) mit den Anschlusspaaren 33' und 44' verbunden sind, wobei der Induktor 121 damit verbunden ist, wird erörtert. Dieser Fall ist äquivalent zu dem Zustand, der in 18 gezeigt ist, wenn die Durchgangsvorrichtung 140 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist. Falls der Relativkorrekturadapter zwischen den Nichtsignalleitungstoren der Referenzvorrichtung 120 durch (CA) dargestellt wird, gelten die folgenden Ausdrücke. (CA) = (GT)–1·(L)·(HT)–1 (7) (Ddurch) = (T1durch)·(CA)·(T2durch) (8)
Eine Multiplikation beider Seiten des Ausdrucks (8) mit inversen Matrizen (T1_durch)^–1 und (T2_durch)^–1 von beiden Seiten ergibt (CA) = (T1durch)–1·(Ddurch)·(T2durch)–1 (9)
Durch ein Einsetzen der Ausdrücke (4) bis (6) für den Ausdruck (9)
Dies ist gleich Ausdruck (7).
In anderen Worten kann durch ein Finden der Relativkorrekturadapter (C1) und (C2), die in 21 gezeigt sind, für die Signalleitungstore im Voraus und für die Nichtsignalleitungstore unter Verwendung von (D_durch), das durch ein Durchführen einer Messung erhalten wird, wenn die Durchgangsvorrichtung 140 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist, und (T1_durch) und (T2_durch), die durch ein Durchführen einer Messung erhalten werden, wenn die Durchgangsvorrichtung 140 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist, der Relativkorrekturadapter (CA) für die Nichtsignalleitungstore bestimmt werden.
Durch ein Durchführen einer Messung, wenn die beliebige Elektronikkomponente 110 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist, wie es in 21 gezeigt ist, werden Werte in Grenzen zwischen der Testvorrichtung 130 und den Relativkorrekturadaptern (C1), (C2) und (CA) erhalten. Falls die Werte der Relativkorrekturadapter (C1), (C2) und (CA) bestimmt werden, können die Anschlusspaare 11' und 22', die den Koaxialverbindern 120s und 120t der Referenzvorrichtung 120 entsprechen, berechnet werden. In anderen Worten kann aus Ergebnissen einer Messung, die durchgeführt wird, wenn die beliebige Elektronikkomponente 110 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist, ein geschätzter Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente 110, der erhalten wird, wenn die Elektronikkomponente 110 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist, berechnet werden.
Anschließend ist eine numerische Analyse als ein Ausführungsbeispiel des im Vorhergehenden beschriebenen Verfahrens gezeigt.
22(a) ist ein elektrisches Schaltbild, das Fehlerfaktoren annimmt, die die Referenzvorrichtung 120 betreffen. Die Werte der Elemente 120a bis 120c bezüglich eines Mus terbefestigungsabschnitts 120x wurden folgendermaßen konzipiert:

– Kondensator 120a: 0,1 pF;
– Induktor 120b: 0,1 nH; und
– Induktor 120c: 1,0 nH.

22(b) ist ein elektrisches Schaltbild, das Fehlerfaktoren annimmt, die die Testvorrichtung 130 betreffen. Die Werte der Elemente 130a bis 130c bezüglich eines Musterbefestigungsabschnitts 130x wurden folgendermaßen konzipiert:

– Induktor 130a: 0,2 nH;
– Kondensator 130b: 0,2 pF;
– Induktor 130c: 0,1 nH; und
– Induktor 130d: 0,1 nH.

23(a) ist ein elektrisches Schaltbild der Durchgangsvorrichtung 140 zur Verwendung beim Berechnen der Relativkorrekturadapter für die Nichtsignalleitungstore. Die Induktoren 140a und 140b sind zwischen die Tore 1 und 3 bzw. zwischen die Tore 2 und 4 geschaltet. Die Sollwerte sind folgendermaßen:

– Induktor 140a: 0,05 nH; und
– Induktor 140b: 0,075 nH.

23(b) ist ein elektrisches Schaltbild der Elektronikkomponente 110, deren elektrische Charakteristik befestigt ist. Die Kondensatoren 110a bis 110c bilden einen n-Form-Resonator. Die Sollwerte sind folgendermaßen:

– Kondensator 110a: 0,3 pF;
– Kondensator 110b: 0,3 pF; und
– Kondensator 110c: 0,2 pF.

Bezüglich des Falles eines Durchführens einer Messung, wenn die Durchgangsvorrichtung 140 und die Elektronikkomponente 110 an der Referenzvorrichtung 120 und der Testvorrichtung 130 befestigt sind, die die im Vorhergehenden beschriebenen Werte aufweisen, wurden elektrische Charakteristika mit einer Messfrequenz als 10 GHz berechnet.
Erstens werden bezüglich der Relativkorrekturadapter für die Tore 1 und 2 die Messungen mit der Testvorrichtung 130 zu Werten umgewandelt, die in dem Zustand gemessen werden, der in 24 gezeigt ist. In anderen Worten werden Messungen in einem Fall, bei dem die Tore 1 (130s) und 2 (130t) der Testvorrichtung 130 durch die Tore 1 (120s) und 2 (120t) der Referenzvorrichtung 120 ersetzt sind, erhalten.
Anschließend wird die Durchgangsvorrichtung 140 mit sowohl der Referenzvorrichtung 120 als auch der Testvorrichtung 130 gemessen. Bei den Messergebnissen mit der Testvorrichtung 130 werden diejenigen der Tore 1 und 2 relativ korrigiert. Dies erzeugt Messergebnisse in dem Zustand in 25. Obwohl die Übertragungskoeffizientenmatrizen in der Beschreibung des Grundprinzips verwendet werden, werden die Ergebnisse durch Streukoeffizientenmatrizen zur intuitiven Vereinfachung des Verständnisses dargestellt. Wenn eine Streukoeffizientenmatrix zwischen den Toren 1 und 2 der Referenzvorrichtung 120 durch (S_durch) dargestellt wird, eine Streukoeffizientenmatrix zwischen den Toren 1 und 3 der Testvorrichtung 130 durch (S1_durch) dargestellt wird, und eine Streukoeffizientenmatrix durch (S2_durch) dargestellt wird, sind Messungen in den Zuständen folgendermaßen:
[Ausdruck 7]
[Ausdruck 8a]
[Ausdruck 8b]
Aus den oben genannten Ergebnissen wird unter Verwendung von Ausdruck (7) der Relativkorrekturadapter (CA) zwischen Nichtsignalleitungstoren bei dem „Schwimmtyp" in der Form einer Streukoeffizientenmatrix (SA) folgendermaßen dargestellt:
[Ausdruck 9]
Unter Verwendung des Relativkorrekturadapters, der wie im Vorhergehenden beschrieben erhalten wird, werden aus den Messungen in dem Zustand, wenn die Elektronikkomponente 110 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist, Messungen in dem Zustand geschätzt, wenn die Elektronikkomponente 110 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist. 26(b) zeigt einen Zustand einer Messung, wenn die Elektronikkomponente 110 an der Testvorrichtung 130 befestigt ist. Durch ein Durchführen einer Relativkorrektur der Tore 1 und 2 bei Ergebnissen der Messung wird die folgende Streukoeffizientenmatrix erhalten.
[Ausdruck 10]
Ein Ergebnis eines Berechnens eines Zustands mit dem Schwimmrelativkorrekturadapter bei (Ausdruck 9) ist folgendermaßen:
[Ausdruck 11]
Diese Streukoeffizientenmatrix ist eine geschätzte Messung in einem Fall einer Messung, wenn die Elektronikkomponente 110 an der Referenzvorrichtung 120 befestigt ist.
Anschließend ergibt, wie es in 26(a) gezeigt ist, eine Berechnung für einen Fall einer Messung, wenn die gleiche Elektronikkomponente 110 mit der Referenzvorrichtung 120 verbunden ist, die folgende Streukoeffizientenmatrix.
[Ausdruck 12]
Der Vergleich zwischen den oben genannten Ausdrücken (11) und (12) zeigt, dass der geschätzte Wert und die Messung einander völlig gleich sind. Dementsprechend kann bestätigt werden, dass das Relativkorrekturverfahren auch bei einer Elektronikkomponente des Schwimmtyps anwendbar ist.
Anschließend sind bezüglich eines Duplexermusters Graphen von Messungen seiner elektrischen Charakteristik und geschätzter Werte durch das Relativkorrekturverfahren bei dem zweiten Ausführungsbeispiel in 27 gezeigt. Jeder Graph zeigt Werte (erzeugt), die gemessen werden, wenn das Duplexermuster an einer Testvorrichtung befestigt ist, Werte (Standard), die gemessen werden, wenn das Muster an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, und geschätzte Charakteristikwerte (korrigiert), die aus den Werten berechnet werden, die gemessen werden, wenn das Muster an der Testvorrichtung befestigt ist, wobei die Charakteristikwerte erhalten werden, wenn das Muster an der Referenzvorrichtung befestigt ist. 27(a) zeigt einen Parameter S₁₁, der eine Reflexionscharakteristik des Duplexers darstellt. 27(b) zeigt Parameter S₂₁ und S₃₁, die Übertragungscharakteristika darstellen.
In 27 sind bezüglich sowohl der Reflexionscharakteristik als auch der Übertragungscharakteristik die geschätzten Werte (korrigiert) im Wesentlichen gleich den tatsächlichen Messungen (erzeugt). Dementsprechend kann auch bei dem „Schwimmtyp" ein Effekt der Relativkorrektur bestätigt werden.
(Schlussfolgerung)
Wie es im Vorhergehenden beschrieben ist, muss bezüglich einer Vorrichtung, die ein Nichtsignalleitungstor umfasst, bei einem Benutzergarantiezustand das Nichtsignalleitungstor bezüglich einer Charakteristik durch ein Schätzen eines Benutzungszustands durch einen Benutzer garantiert werden. Somit ist eine HF-Messung an dem Nichtsignalleitungstor für eine Referenzvorrichtung unmöglich. Dementsprechend besteht ein Bedarf an einer Technik zum Schätzen von Messungen für eine Referenzvorrichtung, bei der eine Nichtsignalleitungstor-HF-Messung nicht durchgeführt werden kann, von einer Testvorrichtung, bei der eine Nichtsignalleitungstor-HF-Messung möglich ist. Die vorliegende Erfindung erfüllt diesen Bedarf.
Gemäß der vorliegenden Erfindung können Vorrichtungscharakteristika in einem Zustand, der gleich einem Benutzergarantiezustand ist, geschätzt werden, wodurch ein genaueres Garantieren von elektrischen Charakteristika ermöglicht wird, so dass ein Vorteil, wie z. B. eine Fehlerfreielementverbesserung, erhalten wird. Außerdem ist, da ein Relativfehler zwischen Vorrichtungen gemessen und korrigiert wird, eine Vorrichtungseinstellung überhaupt nicht notwendig. Somit ist die vorliegende Erfindung bei einem Fall anwendbar, bei dem die Vorrichtung eine breite Bandbreite aufweist, ohne ein Problem zu verursachen.
Die vorliegende Erfindung ist bei handelsüblichen Modulprodukten (der Gesamtheit von aktiven Elementen, einschließlich Leistungsversorgungsleitungen, Vorrichtungen, bei denen eine Veränderung eines Parameters von extern angeschlossenen Komponenten Betriebsbereiche steuert) des „Nebenschlusstyps", einschließlich Nichtsignalleitungstoren, und außerdem bei Hochfrequenzvorrichtungen (wie z. B. Filter und Duplexer) des „Schwimmtyps", einschließlich Nichtsignalleitungstoren, anwendbar.
Außerdem kann durch ein Kombinieren der im Vorhergehenden beschriebenen Grundprinzipien die vorliegende Erfindung auch bei Elektronikkomponenten angewendet werden, bei denen es sich um Hybride des „Nebenschlusstyps" und des „Schwimmtyps" handelt.
Wie es z. B. in 28 gezeigt ist, umfasst ein Duplexer 210, der eine Mehrzahl von Resonatoren 210s umfasst, Signalleitungstore 210a bis 210c, Nichtsignalleitungstore 210f und 210g des „Nebenschlusstyps" und Nichtsignalleitungstore 210d, 210e, 210h und 210i des „Schwimmtyps". Die vorliegende Erfindung ist auch bei diesem Duplexer 210 anwendbar. In diesem Fall sind, wie es in 28(a) gezeigt ist, in einem Zustand, wenn der Duplexer 210 an der Referenzvorrichtung 220 befestigt ist, Elemente 222, 224, 226 und 228 der Referenzvorrichtung 220 mit den Nichtsignalleitungstoren 210d bis 210i verbunden. Dementsprechend werden die Signalleitungstore 210a bis 210c, d. h. nur die Tore 1 bis 3, gemessen. Wie es in 28(b) gezeigt ist, werden in einem Zustand, wenn der Duplexer 210 an einer Testvorrichtung 230 befestigt ist, die Tore 1 bis 9, d. h. die Signalleitungstore 210a bis 210c und die Nichtsignalleitungstore 210d bis 210i gemessen.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Ausführungsbeispiele und Beispiele beschränkt und kann für die Praxis auf verschiedene Weisen modifiziert werden.
Zusammenfassung
Ein Messfehlerkorrekturverfahren und eine Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung, die in der Lage ist, eine Elektronikkomponente genau zu meistern, die Nichtsignalleitungstore umfasst und deren elektrische Charakteristika durch eine Vorrichtung verändert werden, werden geliefert.
Das Verfahren umfasst einen ersten Schritt eines Messens einer elektrischen Charakteristik, wenn Korrekturdatenerfassungsmuster an einer Testvorrichtung befestigt sind, die ein Messen von Nichtsignalleitungstoren ermöglicht, und die Muster an einer Referenzvorrichtung befestigt sind, bei der Nichtsignalleitungstore nicht gemessen werden können, einen zweiten Schritt eines Messens einer Durchgangsvorrichtung, bei der ein Signalleitungstor und ein Nichtsignalleitungstor elektrisch miteinander verbunden sind, wenn die Durchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist und die Durchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, einen dritten Schritt eines Bestimmens eines numerischen Ausdrucks zum Berechnen eines geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts, der erhalten wird, wenn die Durchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus Ergebnissen einer Messung, wenn die Durchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, einen vierten Schritt eines Messens einer beliebigen Elektronikkomponente, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, und einen fünften Schritt eines Berechnens des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts, der erhalten wird, wenn die Durchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Nicht-Patentliteratur

- GAKU KAMITANI (Murata manufacturing Co., Ltd.) „A METHOD TO CORRECT DIFFERENCE OF IN-FIXTURE MEASUREMENTS AMONG FIXTURES ON RF DEVICES" (Ein Verfahren zum Korrigieren einer Differenz vorrichtungsinterner Messungen unter Vorrichtungen auf HF-Geräten) APMC, Bd. 2, S. 1.094–1.097, 2003 [0005]
- J. P. DUNSMORE, L. BETTS (Agilent Technologies) „NEW METHODS FOR CORRELATING FIXTURED MEASUREMENTS" (Neue Verfahren zum Korrelieren von Vorrichtungs-Messungen) APMC, Bd. 1, Seiten 568–571, 2003 [0005]

Claims

Ein Messfehlerkorrekturverfahren, bei dem bezüglich einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore, die mit Signalleitungen verbunden sind, die ein Anlegen oder eine Erfassung eines Hochfrequenzsignals betreffen, und Nichtsignalleitungstore neben den Signalleitungstoren umfasst, aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, ein geschätzter Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, die ein Messen nur der Signalleitungstore ermöglicht, berechnet wird, wobei das Messfehlerkorrekturverfahren folgende Merkmale aufweist: einen ersten Schritt eines Messens einer elektrischen Charakteristik von zumindest einem der Signalleitungstore jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster, wobei zumindest drei Typen von Korrekturdatenerfassungsmustern an der Testvorrichtung befestigt sind und die Korrekturdatenerfassungsmuster an der Referenzvorrichtung befestigt sind; einen zweiten Schritt eines Vorbereitens einer Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, bei der zumindest eines der Signalleitungstore und zumindest eines der Nichtsignalleitungstore elektrisch miteinander verbunden sind, eines Messens des Signalleitungstors und des Nichtsignalleitungstors, wobei die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, und eines Messens des Signal leitungstors, wobei die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist; einen dritten Schritt eines Bestimmens eines numerischen Ausdrucks auf der Basis von Messwerten, die bei dem ersten und dem zweiten Schritt erhalten werden, zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen des Hessens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist,; einen vierten Schritt eines Hessens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente, die beliebig ist, an der Testvorrichtung befestigt ist; und einen fünften Schritt eines Berechnens des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, auf der Basis von Messwerten, die bei dem vierten Schritt erhalten werden, unter Verwendung des numerischen Ausdrucks, der bei dem dritten Schritt bestimmt wird.
Das Messfehlerkorrekturverfahren gemäß Anspruch 1, bei dem bei dem dritten Schritt der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore durch den folgenden Ausdruck dargestellt wird: [Ausdruck 1]
unter Verwendung einer Streumatrix S_I (deren Elemente durch S_11I, S_12I, S_21I und S_22I dargestellt werden), die derart erhalten wird, dass die Ergebnisse eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore bei dem zweiten Schritt, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", eingesetzt werden, und eines Messwerts S_11D für das Signalleitungstor in einem Zustand, bei dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung bei dem zweiten Schritt an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Das Messfehlerkorrekturverfahren gemäß Anspruch 1, bei dem: die Elektronikkomponente zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Leitungstor als die Signalleitungstore und zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Nichtsignalleitungstor als die Nichtsignalleitungstore umfasst, wobei ein Element zwischen das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor geschaltet ist; zum Berechnen eines geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts zwischen dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor, die durch das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente beeinflusst werden, bei dem ersten Schritt elektrische Charakteristika an den Signalleitungstoren für jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen werden, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen; bei dem zweiten Schritt bei der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, hergestellt wird, und eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, hergestellt wird; bei dem dritten Schritt als der numerische Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts zwischen dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor, die durch das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente beeinflusst werden, eine Übertragungskoeffizientenmatrix, wie dieselbe durch den folgenden Ausdruck dargestellt ist: (CA) = (T1durch)–1·(Ddurch)·(T2durch)–1 oder eine Streukoeffizientenmatrix, die durch ein Umwandeln der Übertragungskoeffizientenmatrix erhalten wird, verwendet wird unter Verwendung: einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, wobei beide Übertragungskoeffizientenmatrizen derart erhalten werden, dass die Ergebnisse eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore bei dem zweiten Schritt, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", eingesetzt werden; und einer Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch) zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, in einem Zustand, bei dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, die bei dem zweiten Schritt erhalten wird, an der Testvorrichtung befestigt ist.
Das Messfehlerkorrekturverfahren gemäß Anspruch 1, 2 oder 3, bei dem bei dem fünften Schritt bei der Berechnung, wobei ein Relativkorrekturadapter angenommen wird, der ein Merkmal eines Änderns der elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektro nikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik aufweist, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, für die Nichtsignalleitungstore der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore bei dem dritten Schritt als der Relativkorrekturadapter zur Schätzung verwendet wird.
Das Messfehlerkorrekturverfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem bei der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, die bei dem zweiten Schritt gemessen wird, ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor größer oder gleich –10 dB ist.
Eine Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung, bei der bezüglich einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore, die mit Signalleitungen verbunden sind, die ein Anlegen oder eine Erfassung eines Hochfrequenzsignals betreffen, und Nichtsignalleitungstore neben den Signalleitungstoren umfasst, aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, ein geschätzter Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, die ein Messen nur der Signalleitungstore ermöglicht, berechnet wird, wobei die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung folgende Merkmale aufweist: eine Messeinrichtung zum Messen der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist; eine Speichereinrichtung zum Speichern von ersten Messdaten, die derart erhalten werden, dass, wobei zu mindest drei Typen von Korrekturdatenerfassungsmustern an der Testvorrichtung befestigt sind und die Korrekturdatenerfassungsmuster an der Referenzvorrichtung befestigt sind, eine elektrische Charakteristik von zumindest einem der Signalleitungstore jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen wird, zweiter Messdaten, die derart erhalten werden, dass, wenn eine Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, wobei die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung eine elektrische Verbindung zwischen zumindest einem Signalleitungstor von den Signalleitungstoren und zumindest einem Nichtsignalleitungstor von den Nichtsignalleitungstoren aufweist, das Signalleitungstor und das Nichtsignalleitungstor gemessen werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, dritter Messdaten, die durch ein Messen des Signalleitungstors erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist; eine Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung, die auf der Basis der ersten Daten bis dritten Daten, die in der Speichervorrichtung gespeichert sind, einen numerischen Ausdruck bestimmt zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist; und eine Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung, die für die Elektronikkomponente, die beliebig ist, auf der Basis von Messwerten, die durch eine Messung der Messeinrichtung erhalten werden, unter Verwendung des numerischen Ausdrucks, der durch die Numerischer- Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, den geschätzten Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente bestimmt, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gemäß Anspruch 6, bei der der numerische Ausdruck, der durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung für die Nichtsignalleitungstore bestimmt wird, durch den folgenden Ausdruck dargestellt wird: [Ausdruck 2]
unter Verwendung einer Streumatrix S_I (deren Elemente durch S_11I, S_12I, S_21I und S_22I dargestellt werden), die derart erhalten wird, dass die zweiten Messdaten für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", eingesetzt werden, wobei der numerische Ausdruck aus den ersten Messdaten erhalten wird, und eines Messwerts S_11D für das Signalleitungstor in einem Zustand, bei dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, wobei es sich um die dritten Daten handelt, an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gemäß Anspruch 6, bei der: die Elektronikkomponente zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Leitungstor als die Signalleitungstore und zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Nichtsignalleitungstor als die Nichtsignalleitungstore umfasst, wobei ein Element zwischen das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor geschaltet ist; für die ersten Messdaten elektrische Charakteristika an den Signalleitungstoren für jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen werden, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen; die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zur Verwendung beim Erhalten der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, aufweist; als der numerische Ausdruck, der durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts zwischen dem ersten und dem zwei ten Signalleitungstor, die durch das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente beeinflusst werden, eine Übertragungskoeffizientenmatrix, wie dieselbe durch den folgenden Ausdruck dargestellt wird: (CA) = (T1durch)–1·(Ddurch)·(T2durch)–1 oder eine Streukoeffizientenmatrix, die durch ein Umwandeln der Übertragungskoeffizientenmatrix erhalten wird, verwendet wird unter Verwendung: einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, wobei beide Übertragungskoeffizientenmatrizen erhalten werden durch ein Einsetzen der zweiten Messdaten für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", wobei der numerische Ausdruck aus den ersten Messdaten erhalten wird; und einer Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch), die aus den dritten Messdaten erhalten wird, zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, in einem Zustand, wenn die Korrek turdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist.
Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gemäß Anspruch 6, 7 oder 8, bei der bei der Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung bezüglich der Elektronikkomponente, die beliebig ist, wobei ein Relativkorrekturadapter angenommen wird, der ein Merkmal eines Änderns der elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik aufweist, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, für die Nichtsignalleitungstore der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore, der für die Nichtsignalleitungstore durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, als der Relativkorrekturadapter zur Schätzung verwendet wird.
Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 9, bei der bei der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zum Erfassen der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor größer oder gleich –10 dB ist.
Eine Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung, bei der bezüglich einer Elektronikkomponente, die Signalleitungstore, die mit Signalleitungen verbunden sind, die ein Anlegen oder eine Erfassung eines Hochfrequenzsignals betreffen, und Nichtsignalleitungstore neben den Signalleitungstoren umfasst, aus Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an einer Testvorrichtung befestigt ist, ein geschätzter Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signallei tungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an einer Referenzvorrichtung befestigt ist, die nur ein Messen der Signalleitungstore ermöglicht, berechnet wird, wobei die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung folgende Merkmale aufweist: eine Messeinrichtung zum Messen der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist; eine Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung zum Speichern „eines numerischen Ausdrucks zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore und der Nichtsignalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", wobei der numerische Ausdruck bestimmt wird auf der Basis von ersten Messdaten, die derart erhalten werden, dass, wobei zumindest drei Typen von Korrekturdatenerfassungsmustern an der Testvorrichtung befestigt sind und die Korrekturdatenerfassungsmuster an der Referenzvorrichtung befestigt sind, eine elektrische Charakteristik von zumindest einem der Signalleitungstore jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen wird, zweiten Messdaten, die derart erhalten werden, dass, wenn eine Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, wobei die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung eine elektrische Verbindung zwischen zumindest einem Signalleitungstor von den Signalleitungstoren und zumindest einem Nichtsignalleitungstor von den Nichtsignalleitungstoren aufweist, das Signalleitungstor und das Nichtsignalleitungstor gemessen werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, und dritten Messda ten, die durch ein Messen des Signalleitungstors erhalten werden, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Referenzvorrichtung befestigt ist; und eine Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung, die für die Elektronikkomponente, die beliebig ist, auf der Basis von Messwerten, die durch eine Messung der Messeinrichtung erhalten werden, unter Verwendung des numerischen Ausdrucks, der durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, den geschätzten Elektrische-Charakteristik-Wert der Elektronikkomponente bestimmt, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gemäß Anspruch 11, bei der der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore, der in der Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung gespeichert ist, durch den folgenden Ausdruck dargestellt wird: [Ausdruck 3]
unter Verwendung einer Streumatrix S_I (deren Elemente durch S_11I, S_12I, S_21I und S_22I dargestellt werden), die derart erhalten wird, dass die zweiten Messdaten für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", eingesetzt werden, wobei der numerische Ausdruck aus den ersten Messdaten erhalten wird, und eines Messwerts S_11D für das Signalleitungstor in einem Zustand, bei dem die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, wobei es sich um die dritten Daten handelt, an der Referenzvorrichtung befestigt ist.
Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gemäß Anspruch 11, bei der: die Elektronikkomponente zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Leitungstor als die Signalleitungstore und zumindest sowohl ein erstes als auch ein zweites Nichtsignalleitungstor als die Nichtsignalleitungstore umfasst, wobei ein Element zwischen das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor geschaltet ist; für die ersten Messdaten elektrische Charakteristika an den Signalleitungstoren für jedes der Korrekturdatenerfassungsmuster gemessen werden, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen; die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zur Verwendung beim Erhalten der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und eine elektrische Verbindung zwischen einem Signalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkompo nente entspricht, und einem Nichtsignalleitungstor der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, aufweist; als der numerische Ausdruck, der in der Numerischer-Ausdruck-Speichereinrichtung gespeichert ist, zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts zwischen dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor, die durch das erste und das zweite Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente beeinflusst werden, eine Übertragungskoeffizientenmatrix, wie dieselbe durch den folgenden Ausdruck dargestellt ist: (CA) = (T1durch)–1·(Ddurch)·(T2durch)–1 oder eine Streukoeffizientenmatrix, die durch ein Umwandeln der Übertragungskoeffizientenmatrix erhalten wird, verwendet wird unter Verwendung: einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T1_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem ersten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem ersten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, einer Übertragungskoeffizientenmatrix (T2_durch) für zwischen dem Signalleitungstor, das dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, und dem Nichtsignalleitungstor, das dem zweiten Nichtsignalleitungstor der Elektronikkomponente entspricht, wobei beide Übertragungskoeffizientenmatrizen erhalten werden durch ein Einsetzen der zweiten Messdaten für „den numerischen Ausdruck zum Berechnen des geschätzten Elektrische-Charakteristik-Werts der Elektronikkomponente, der erhalten wird, wenn die Signalleitungstore gemessen werden, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aus den Ergebnissen eines Messens der Signalleitungstore, wenn die Elektro nikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist", wobei der numerische Ausdruck aus den ersten Messdaten erhalten wird, und einer Übertragungskoeffizientenmatrix (D_durch) zwischen den Signalleitungstoren, die dem ersten und dem zweiten Signalleitungstor der Elektronikkomponente entsprechen, in einem Zustand, wenn die Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung an der Testvorrichtung befestigt ist, die aus den dritten Messdaten erhalten wird.
Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gemäß Anspruch 11, 12 oder 13, bei der bei der Elektrische-Charakteristik-Schätzeinrichtung bezüglich der Elektronikkomponente, die beliebig ist, wobei ein Relativkorrekturadapter angenommen wird, der ein Merkmal eines Änderns der elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Testvorrichtung befestigt ist, zu einer elektrischen Charakteristik, die gemessen wird, wenn die Elektronikkomponente an der Referenzvorrichtung befestigt ist, aufweist, für die Nichtsignalleitungstore der numerische Ausdruck für die Nichtsignalleitungstore, der für die Nichtsignalleitungstore durch die Numerischer-Ausdruck-Bestimmungseinrichtung bestimmt wird, als der Relativkorrekturadapter zur Schätzung verwendet wird.
Die Elektronikkomponentencharakteristik-Messvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 11 bis 14, bei der bei der Korrekturdatenerfassungsdurchgangsvorrichtung zum Erfassen der zweiten Messdaten und der dritten Messdaten ein Übertragungskoeffizient zwischen dem Signalleitungstor und dem Nichtsignalleitungstor größer oder gleich –10 dB ist.