DE1109274B - Stabile Feldelektronenemissionskathode - Google Patents

Stabile Feldelektronenemissionskathode

Info

Publication number
DE1109274B
DE1109274B DEM35324A DEM0035324A DE1109274B DE 1109274 B DE1109274 B DE 1109274B DE M35324 A DEM35324 A DE M35324A DE M0035324 A DEM0035324 A DE M0035324A DE 1109274 B DE1109274 B DE 1109274B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cathode
field
electron
electron emission
anode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEM35324A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Michael Drechsler
Dr E Krautz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Original Assignee
Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV filed Critical Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority to DEM35324A priority Critical patent/DE1109274B/de
Publication of DE1109274B publication Critical patent/DE1109274B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • H01J1/304Field-emissive cathodes

Landscapes

  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)

Description

  • Stabile Feldelektronenemissionskathode Feldelektronenemissionskathoden, wie sie z. B. in Feldelektronenemissionsmikroskopen verwandt werden, haben keine breite technische Anwendung gefunden, da die Emissionsdaten nicht konstant sind und da die Lebensdauer nicht allzu hoch ist.
  • Die wesentliche Ursache der Instabilität der Feldkathoden liegt darin, daß atomar glatte Oberflächen durch ein elektrisches Feld zu einem Oberflächengebirge aufgerauht werden können. üblicherweise erfolgt dies bei Kathodentemperaturen, bei denen eine nennenswerte Oberflächenwanderung von Gitteratomen stattfindet (bei Wolfram: T> 900° C). In abgewandelter Weise tritt dieser Effekt auch bei Raumtemperatur auf. Die emittierten Elektronen treffen und ionisieren Moleküle des Restgases. Die. Kathode wird von diesen Ionen beschossen und an den Auftreffstellen lokal kurzzeitig erwärmt. Dies reicht aus, um lokal eine Oberflächenwanderung und damit eine Aufrauhung durch das Feld wirksam werden zu lassen. Je nach der Güte des Vakuums wird also nach längerer Zeit eine Aufrauhung der Emissionsfläche stattfinden, die zu lokalen Erhöhungen der Feldstärke und damit zu einer beachtlichen Verstärkung des Emissionsstromes führt. An besonders hohen Gipfeln der Aufrauhung tritt infolge der Jouleschen Wärme eine ständige lokale Temperaturerhöhung ein. Dies kann erstens eine Verdampfung von Atomen an den Gipfeln bewirken und damit in Zangen Zeiträumen zu einem Kristallabbau führen, der mit einer Vergrößerung des Spitzenradius, einer Verringerung der mittleren Oberflächenfeldstärke und einer Verringerung des Emissionsstromes verbunden ist. Zweitens kann das Gipfelwachstum fortgesetzt werden, bis die Temperatur so hoch ansteigt, daß es zur Zündung eines Vakuumbogens kommt, der die Spitze zerstört.
  • Erst in jüngster Zeit ist bekanntgeworden, daß bei Betrieb atomar glatter Kathoden mit Impulsen von etwa 10-s Sekunden Dauer und Impulsfolgefrequenzen der Größenordnung 50 Hz laboratoriumsmäßig stabilere Kathoden erhalten werden. Nachteile sind der relativ hohe Aufwand zur Erzeugung der Impulse sowie die Beschränkung auf Impulsbetrieb.
  • Es ist schon eine Feldelektronenemissionskathode bekannt, bei welcher verhältnismäßig makroskopische Spitzen eines Metallkörpers gegen ein die Feldstärke an den Spitzen erhöhendes Dielektrikum stoßen. Auf der anderen Seite des Dielektrikums befindet sich eine dünne Schicht aus einem Metall geringerer Austrittsarbeit.
  • Ferner ist bei einer Feldemissionskathode für pulsierenden Betrieb bereits eine zusätzliche Heizung vorgeschlagen worden. Während bisher als emittierende Kathodenfläche möglichst glatte Oberflächen verwendet wurden, besteht der Grundgedanke der Erfindung darin, -als Emissionsfläche eine schwach aufgerauhte Oberfläche zu verwenden, wie sie erhalten. wird,. falls die Bedingungen für starke Aufrauhung und für völlige Einebnung schnell hintereinander abwechseln, das bedeutet einen schnellen Wechsel der Oberflächenfeldstärke. Hierzu wird die Kathode - mit- Wechselspannung, pulsierender Gleichspannung oder mit Spannungsimpulsen von 1 bis 10-5 Sekunden Dauer betrieben. Wegen der Trägheit der Formänderung stellt sich gleichgewichtsartig ein Zustand sanfter Aufrauhung ein. Wie erwartet, erwies sich die Emission solcher Kathoden bei hoher Lebensdauer als ausreichend konstant.
  • Der Betrieb einer Feldkathode mit Wechselspannung ist bereits vor einigen Jahren unter anderem vom Verfasser erprobt worden. In all diesen Untersuchungen wurden erstens so stark überhöhte Spannungen angelegt, daß die Emission infolge der einsetzenden Feldverdampfung der Spitze nicht mehr stabil blieb. Zweitens wurde weder diskutiert noch experimentell festgestellt, daß mit Wechselspannungen konstante Emissionsbedingungen und lange Lebensdauer der Kathoden erzielt werden können.
  • Die Frequenz sowie die Form des Spannungsimpulses innerhalb einer Periode ist beliebig. Doch kann es empfehlenswert sein, die Scheitelspannungsdauer kurz zu halten, sowohl im absoluten Sinne (z. B. 10-3 Sekunden) als auch relativ zur Dauer einer Periode (z. B. 1: 20).
  • Aufrauhung und Einebnung der Stufen findet normalerweise nur bei Temperaturen statt, bei denen ein nennenswerter Platzwechsel der Oberflächenbausteine der Kathode stattfindet. Hierzu ist bei den bisher verwendeten Metallen (z. B. Wolfram oder Molybdän) eine Heizung der Kathode erforderlich z. B. mittels Stromwärme. Eine solche Heizvorrichtung ist nach der Erfindung entbehrlich, falls ein Kathodenmaterial verwendet wird, das bereits bei Raumtemperatur (oder Betriebstemperatur der Kathode) einen Oberflächenplatzwechsel aufweist. Hierfür sind Metalle oder Halbleiter mit im Vergleich . zu den bisher verwendeten Metallen (z. B. Wolfram oder Molybdän) relativ geringer Schmelztemperatur geeignet.
  • Wenn die Kathode auch grundsätzlich jede beliebige geometrische Form aufweisen darf, so dürften doch Spitzen am zweckmäßigsten sein. Die parallele Anwendung von mehreren oder zahlreichen Spitzen kann die Kathodeneigenschaften verbessern.
  • Für Röhren mit stabilen Feldkathoden ergeben sich mehrere Anwendungsmöglichkeiten, beispielsweise dort, wo bisher Glühkathoden verwandt wurden, z. B. als Gleichrichter. Durch geeignete Gitterelektroden lassen sich elektronische Steuerungen erzielen. Da die Emissionsfläche einer Spitze im Vergleich mit Glühkathoden sehr klein ist, sollten Feldkathoden als praktisch fast punktförmige Elektronenquellen in der Elektronenoptik Anwendung finden können, beispielsweise für elektronenoptische Materialbearbeitung oder zur Erzeugung des Brennflecks in einem Röntgenschattenmikroskop. Ferner können Röhren mit stabilen Feldkathoden, deren Anode als Leuchtschirm ausgebildet ist, zu einer Verwirklichung des bekannten Vorschlages führen, Röhren mit Feldkathoden als Lichtquellen zu verwenden.
  • Die Herstellung der Spitze einer stabilen Kathode erfolgt beispielsweise durch Ätzen eines Drahtes, z. B. elektrolytisch. Zur Formierung der Spitzen im Hochvakuum dürfte neben dem üblichen Tempern auch die Felddesorption von Adsorptionsschichten und die Feldverdampfung von Gitterbausteinen zweckmäßig sein.
  • Zum Betrieb einer Feldkathode sind üblicherweise Scheitelspannungen in der Größenordnung von einigen kV erforderlich. Ein Übergang zu geringeren Betriebsspannungen ist möglich, falls der Abstand Kathode-Anode so klein gewählt wird, daß er nur Bruchteile eines Millimeters beträgt.

Claims (7)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Feldelektronenemissionskathode, bei welcher die Elektronen direkt von der Kathode ins Vakuum eintreten und die einer pulsierenden elektrischen Spannung ausgesetzt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode aus einem metallischen oder Halbleiterwerkstoff besteht, welcher bereits bei Raumtemperatur oder Umgebungstemperatur einen ausreichenden Platzwechsel von Gitterbausteinen der Oberfläche aufweist, d. h. aus einem Material geringer Schmelztemperatur.
  2. 2. Kathode nach Anspruch 1 für den Fall relativ geringer Betriebsspannungen, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand Anode-Kathode klein gewählt wird, bis herab zu Bruchteilen eines Millimeters.
  3. 3. Kathode nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß dieselbe die Form einer Spitze oder Schneide oder eines dünnen Drahtes hat oder aus mehreren oder zahlreichen solcher Elemente zusammengesetzt ist.
  4. 4. Verfahren zur Herstellung einer Kathode nach Anspruch 1 bis 3,. dadurch gekennzeichnet, daß das Kathodenmaterial (z. B. elektrolytisch) geätzt wird und daß eine Formierung der Kathode durch Tempern oder durch Felddesorption oder durch Feldverdampfung erfolgt.
  5. 5. Kathodenröhre mit einer Kathode nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode als Leuchtschirm ausgebildet ist.
  6. 6. Kathodenröhre nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie als Lichtquelle verwendet wird.
  7. 7. Kathodenröhre mit einer Kathode nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie als Elektronenquelle für ein elektronenoptisches System dient. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 869 099.
DEM35324A 1957-09-13 1957-09-13 Stabile Feldelektronenemissionskathode Pending DE1109274B (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEM35324A DE1109274B (de) 1957-09-13 1957-09-13 Stabile Feldelektronenemissionskathode

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DEM35324A DE1109274B (de) 1957-09-13 1957-09-13 Stabile Feldelektronenemissionskathode

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1109274B true DE1109274B (de) 1961-06-22

Family

ID=7302258

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEM35324A Pending DE1109274B (de) 1957-09-13 1957-09-13 Stabile Feldelektronenemissionskathode

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1109274B (de)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE869099C (de) * 1949-10-28 1953-03-01 Johannes Dr-Ing Perthen Elektronenroehre mit kalter Kathode

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE869099C (de) * 1949-10-28 1953-03-01 Johannes Dr-Ing Perthen Elektronenroehre mit kalter Kathode

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Broers Electron gun using long‐life lanthanum hexaboride cathode
DE102007010463B4 (de) Vorrichtung zur Feldemission von Teilchen
DE4336681C2 (de) Verfahren und Einrichtung zum plasmaaktivierten Elektronenstrahlverdampfen
DE10120336A1 (de) Ionenmobilitätsspektrometer mit nicht-radioaktiver Ionenquelle
DE102008047198B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Hohlkathoden-Bogenentladung
DE2012101B2 (de) Feldemissionskathode und Verfahren zu deren Herstellung
DE1514990A1 (de) Hohllathode
DE1039653B (de) Entladungsroehre mit einer Feldemissionskathode
DE1464126A1 (de) Themionischer Converter
DE2128921B2 (de) Elektrische hochvakuum-entladungsroehre mit mindestens zwei nicht-emittierende elektroden
EP0470209A1 (de) Metallionenquelle und verfahren zum erzeugen von metallionen.
DE3014151C2 (de) Generator für gepulste Elektronenstrahlen
Beckey Experimental techniques in field ionisation and field desorption mass spectrometry
DE1109274B (de) Stabile Feldelektronenemissionskathode
DE102015215690A1 (de) Emitteranordnung
Germain et al. High voltage breakdown in vacuum
DE2855864A1 (de) Ionenquelle, insbesondere fuer ionenimplantationsanlagen
DE311102C (de)
DE1589974C3 (de) Glühkathodenanordnung zur Erzeugung eines Elektronenstrahls hoher Intensität für Elektronenstrahl-Bearbeitungsgeräte
DE693547C (de) Roentgenroehrenanordnung
AT155526B (de) Elektrische Entladungsröhre und Verfahren zu ihrer Herstellung.
DE102014115492A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung einer elektronischen Entladung
DE102016114480B4 (de) Ionenstrahlquelle und Verfahren zur Ionenstrahlbehandlung
Robinson et al. Production of Ions by Repetitive Breakdown of a Vacuum Gap
Sinelnikov et al. Vacuum breakdown from nanostructured fuzzy surfaces