DE1093779B

DE1093779B - Heat-resistant container for the treatment of semiconductor melts and process for its manufacture

Info

Publication number: DE1093779B
Application number: DEN14308A
Authority: DE
Inventors: Albert Trainor
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1956-11-15
Filing date: 1957-11-12
Publication date: 1960-12-01

Description

Hitzebeständiger Behälter zur Behandlung von Halbleiter-Schmelzen und Verfahren zu seiner Herstellung Die Erfindung bezieht sich auf einen hitzebeständigen Behälter, z. B. Tiegel oder Schiffchen, zur Behandlung von Halbleiterschmelzen aus Silicium, Indiumantimonid u. dgl. und auf ein Verfahren zur Herstellung solcher Behälter.Heat-resistant container for the treatment of semiconductor melts and method for its manufacture. The invention relates to a heat-resistant one Container, e.g. B. crucibles or boats, for the treatment of semiconductor melts Silicon, indium antimonide and the like, and a method for producing the same Container.

Bei der Behandlung von Silicium z. B. mit einer Heizsonne, die längs einer Siliciummasse in einem festen, massiven Siliciumdioxydschiffchen geführt wird, hat das geschmolzene Silicium die Neigung, an dem festen, massiven Schiffchen zu haften, so daß bei der Kühlung des Siliciums und des Siliciumdioxyds die ungleiche Schrumpfung einen Bruch dieses Schiffchens hervorrufen kann. Es ist daher im allgemeinen nicht möglich, mehrere Heizzonen nacheinander oder gleichzeitig längs des Siliciums zu führen.In the treatment of silicon e.g. B. with a heating sun, the lengthways a silicon mass is carried in a solid, massive silicon dioxide boat, the molten silicon has a tendency to close to the solid, massive boat adhere, so that in the cooling of the silicon and the silicon dioxide the dissimilar Shrinkage can cause this boat to break. It is therefore in general not possible, several heating zones one after the other or simultaneously along the silicon respectively.

Die Anwendung der tiegelfreien Zonenschmelztechnik erübrigt zwar den Gebrauch eines Schiffchens, aber dieses Verfahren ist verhältnismäßig verwickelt und hat weiter den Nachteil, daß nur eine einzige Heizzone in einem Vorgang an dem Silicium entlanggeführt werden kann, so daß eine Mehrzonenbehandlung des Siliciumstabes viel Zeit beansprucht.The use of the crucible-free zone melting technique makes the Use of a shuttle, but the procedure is relatively complex and has the further disadvantage that only a single heating zone in one process at the Silicon can be guided along, so that a multi-zone treatment of the silicon rod takes a lot of time.

Eine ähnliche Schwierigkeit tritt bei dem Verfahren auf, bei dem Kristalle aus der Schmelze aufgezogen werden, wenn z. B. Silicium in einem festen, massiven Siliciumdioxydtiegel geschmolzen wird, da dieser Tiegel gewöhnlich nur für eine einzige Siliciumschmelze gebraucht werden kann und oft zerbricht, wenn der feste, massive Tiegel und das Siliciumresiduum abkühlen, nachdem ein einziger Kristall aus der Schmelze aufgezogen worden ist.A similar problem arises with the method in which crystals are drawn up from the melt if, for. B. silicon in a solid, massive Silica crucible is melted, as this crucible is usually only for one only silicon melt can be used and often breaks when the solid, massive crucibles and the silicon residue cool down after a single crystal has been drawn up from the melt.

Die Erfindung bezweckt unter anderem, einen hitzebeständigen Behälter zu schaffen, der dauerhafter ist als die üblichen festen, massiven Siliciumdioxydbehälter.The invention aims, inter alia, to provide a heat-resistant container to create that is more durable than the usual solid, massive silica containers.

Gemäß der Erfindung ist der hitzebeständige Behälter zur Behandlung von Schmelzen, insbesondere von Halbleiterschmelzen aus Silicium, Indiumantimonid od. dgl. aus Filz und/oder Gewebe aus reinen Siliciumdioxydfasern gebildet.According to the invention, the heat-resistant container is for treatment of melts, in particular of semiconductor melts made of silicon, indium antimonide Od. The like. Made of felt and / or fabric made of pure silicon dioxide fibers.

Ein Behälter nach der Erfindung enthält vorzugsweise eine dünne Innenbekleidung festen Siliciumdioxyds. Weiter wird ein solcher Behälter nach der Erfindung vorzugsweise mit einem hitzebeständigen, starren Trägerkörper kombiniert. Dieser Trägerkörper kann z. B. aus festem Siliciumdioxyd oder Graphit bestehen.A container according to the invention preferably contains a thin inner lining solid silica. Such a container is also preferred according to the invention combined with a heat-resistant, rigid support body. This carrier body can e.g. B. consist of solid silicon dioxide or graphite.

Der Trägerkörper kann z. B. trogförmig sein und somit die Form eines Schiffchens haben, das beim Zonenschmelzen üblicherweise gebraucht wird, oder er kann die Form eines Topfes aufweisen, z. B. die eines Tiegels, der beim Aufziehen von Kristallen aus der Schmelze verwendet wird.The carrier body can, for. B. be trough-shaped and thus the shape of a Or he may be in the form of a pot, e.g. B. that of a crucible that is drawn up of crystals from the melt is used.

Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung kann ein solcher Behälter mit dem Trägerkörper dadurch hergestellt werden, daß Filz und/oder Gewebe aus Siliciumdioxydfasern auf einem hitzebeständigen, steifen Trägerkörper angebracht wird, der den Filz oder das Gewebe in der gewünschten Form abstützt. Eine solche Kombination wird vorzugsweise dadurch hergestellt, daß Siliciumdioxydfasern oder ein Gewebe aus diesen zwischen einer Außen- und einer Innenlehre angebracht werden, welche Lehren die Form des Behälters bestimmen, worauf das Ganze zwischen den Lehren zusammengepreßt und während des Preßvorgangs auf eine Temperatur von 1450 bis 1700° C erhitzt und darauf gekühlt wird, worauf die Innenlehre entfernt wird. Die Innenlehre besteht z. B. aus Graphit, ebenso wie die Außenlehre.According to a further feature of the invention, such a container be produced with the support body in that felt and / or fabric made of silicon dioxide fibers is attached to a heat-resistant, rigid support body, which the felt or supports the tissue in the desired shape. Such a combination becomes preferable produced in that silica fibers or a fabric made of these between an outer and an inner gauge are attached, which gauge the shape of the Container determine what the whole thing is compressed between the gauges and during the pressing process heated to a temperature of 1450 to 1700 ° C and then cooled whereupon the inner gauge is removed. The inner gauge consists z. B. made of graphite, as well as the external gauge.

Ein hitzebeständiger Behälter, der nur aus Filz oder Gewebe aus Siliciumdioxydfasern besteht, kann erfindungsgemäß dadurch hergestellt werden, daß Siliciumdioxydfasern und/oder ein Gewebe aus diesen zwischen einer Außenlehre und einer aus Graphit bestehenden Innenlehre angebracht werden, welche Lehren die Form des Behälters bedingen, daß das Ganze zwischen den Lehren zusammengepreßt und während der Kompression auf eine Temperatur zwischen 1450 bis 1700° C erhitzt wird, worauf das Gebilde abgekühlt wird und die Lehren entfernt werden. Die Außenlehre besteht dabei z. B. auch aus Graphit. Es eignen sich solche hitzebeständigen Behälter vorzüglich zum Gebrauch bei der Herstellung und Behandlung von halbleitenden Schmelzen zur Herstellung eines halbleitenden Körpers, wobei ein halbleitendes Material oder beim Schmelzen dieses halbleitende Material liefernde Bestandteile geschmolzen werden. Zweckmäßig findet diese Schmelzbehandlung in einem der vorstehend geschilderten Behälter nach der Erfindung statt. Es wird z. B. bei einer Einrichtung nach der Erfindung zum Aufziehen eines Kristalls aus der Schmelze ein Tiegel nach der Erfindung verwendet, während bei einer Einrichtung oder dem Verfahren zum Zonenschmelzen oder »zone levelling« ein Schiffchen nach der Erfindung gebraucht wird. Auf diese Weise lassen sich halbleitende Körper aus Silicium oder Indiumantimonid auf günstige Weise herstellen. Die Erfindung läßt sich selbstverständlich auch bei der Behandlung anderer Halbleiter vorteilhaft anwenden.A heat-resistant container made only from felt or fabric made from silicon dioxide fibers exists, can be produced according to the invention in that silicon dioxide fibers and / or a fabric made of these between an outer gauge and one made of graphite Inner gauge are attached, which gauges the shape of the container require that the whole thing squeezed between the gauges and while being compressed onto one Temperature between 1450 to 1700 ° C is heated, whereupon the structure cooled will and the lessons will be removed. The outer gauge consists z. B. also from Graphite. Such heat-resistant containers are ideally suited for use in the manufacture and treatment of semiconducting melts Manufacture of a semiconducting body, being a semiconducting material or at Melting this semiconducting material supplying components are melted. This melt treatment is expediently carried out in one of those described above Container according to the invention instead. It is z. B. at a facility after Invention for pulling up a crystal from the melt, a crucible according to the invention used while at a facility or process for zone melting or "Zone leveling" a boat according to the invention is used. In this way semiconducting bodies made of silicon or indium antimonide can be used in a favorable manner produce. The invention can of course also be used in the treatment of others Use semiconductors advantageously.

Aus der deutschen Patentschrift 698180 sind verschiedene Verfahren zur Herstellung von massiven, festen Körpern, insbesondere von Röhren oder profilierten Stäben aus Quarz, bekannt, und es wird insbesondere ein Verfahren angegeben, bei dem ein aus Quarzpulver unter Verwendung eines Bindemittels geformtes Rohr bzw. ein Stab zur Verglasung und Bildung eines festen, massiven Quarzkörpers durch mehrere Erhitzungszonen geführt wird. Diese Patentschrift nimmt jedoch nicht Bezug auf die Herstellung eines Schmelzbehälters, und überdies wird nach dem bekannten Verfahren ein massiver Quarzbehälter erhalten, dem gleichfalls die bereits erwähnten Nachteile des bekannten massiven Schmelzbehälters anhaften.From the German patent specification 698180 there are various methods for the production of massive, solid bodies, especially tubes or profiled ones Rods made of quartz, known, and in particular a method is given in to which a tube or tube formed from quartz powder using a binding agent a rod for glazing and forming a solid, solid quartz body through several Heating zones is performed. However, this patent makes no reference to the Manufacture of a melting container, and moreover, according to the known method Get a massive quartz container, which also has the disadvantages already mentioned of the well-known massive melting container.

Die verschiedenen Merkmale der Erfindung werden nachstehend an Hand einer Anzahl schematisch dargestellter Figuren näher erläutert.The various features of the invention are set forth below a number of schematically illustrated figures explained in more detail.

Fig. 1 zeigt im Schnitt einen hitzebeständigen Behälter nach der Erfindung mit einem Trägerkörper; Fig.2 zeigt im Schnitt eine Stufe der Herstellung des hitzebeständigen Behälters nach Fig. 3; Fig. 3 und 4 zeigen im Schnitt andere Ausführungsformen eines hitzebeständigen Behälters mit einem Trägerkörper nach der Erfindung; Fig.5 zeigt im Schnitt einen hitzebeständigen Behälter nach der Erfindung ohne einen Trägerkörper. Fig. 1 zeigt einen hitzebeständigen Behälter nach der Erfindung, der mit einem Trägerkörper zum Gebrauch beim Zonenschmelzen kombiniert ist. Die Einrichtung enthält ein trogförmiges Siliciumdioxydschiffchen 1 üblicher Gestalt, das senkrecht zur Zeichnungsebene einen nahezu halbkreisförmigen Querschnitt aufweist und eine Länge a von 23 cm und eine Höhe b von etwa 2,5 cm hat. Das Schiffchen 1 dient als Trägerkörper für einen Behälter 2 aus Siliciumdioxydfilz. Der Behälter ist dadurch erhalten, daß ein Stück Siliciumdioxydfilz in Form des Behälters in das Schiffchen 1 eingepreßt wird.Fig. 1 shows in section a heat-resistant container according to the invention with a carrier body; Fig.2 shows in section a stage in the production of the heat-resistant The container of Figure 3; 3 and 4 show in section other embodiments of a heat-resistant container with a carrier body according to the invention; Fig.5 shows in section a heat-resistant container according to the invention without a carrier body. Fig. 1 shows a heat-resistant container according to the invention, which is provided with a carrier body is combined for use in zone melting. The device contains a trough-shaped Silica boat 1 usual shape, which is perpendicular to the plane of the drawing has almost semicircular cross-section and a length a of 23 cm and a Height b of about 2.5 cm. The shuttle 1 serves as a support body for a container 2 made of silica felt. The container is obtained by making a piece of silica felt is pressed into the boat 1 in the form of the container.

Siliciumdioxydfilz ist käuflich erhältlich, oder er kann leicht dadurch hergestellt werden, daß käuflich erhältliche Siliciumdioxydwolle zwischen zwei Lehrenteilen bis zum gewünschten Maß zusammengepreßt und auf z. B. 1550° C während 2 Minuten erhitzt wird. Der Temperaturbereich liegt zwischen etwa 1450 und 1700° C. Die Lehrenteile bestehen z. B. aus Siliciumdioxydplättchen. In einem Sonderfall hatte der Siliciumdioxydfilz eine Stärke von etwa 0,6 cm und bestand aus feinen Siliciumdioxydfasern, die zu Filz mit einer Dichte von 0,06 g/em3 zusammengepreßt waren. Der Behälter enthält eine Menge 3 käuflich erhältlichen, sogenannten hyperreinen Siliciums in Form von Stäben mit einem spezifischen Widerstand von etwa 10 Ohm/cm bis etwa 50 Ohm/cm. örtliche Erhitzung erfolgt z. B. dadurch, daß das Schiffchen 1 innerhalb eines genau angemessenen äußeren Graphitschiffchens angebracht und eine Zone mittels einer sich langsam bewegenden Spule erhitzt wird, die Wirbelströme in das äußere Graphitschiffchen induziert. Statt eines äußeren Graphitschiffchens kann man auf dem Schiffchen 1 eine Graphitschicht auf der Außenwand anbringen, was durch die gestrichelte Linie 4 in Fig. 1 angegeben ist.Silica felt is commercially available, or it can be easily put through it be made that commercially available silica wool between two gauge parts compressed to the desired size and z. B. 1550 ° C for 2 minutes is heated. The temperature range is between about 1450 and 1700 ° C. The gauge parts exist z. B. from silicon dioxide flakes. In a special case the felt had silica a thickness of about 0.6 cm and consisted of fine silica fibers that too Felt with a density of 0.06 g / cm3 were compressed. The container contains a lot of 3 commercially available so-called hyperpure silicon in the form of Rods with a resistivity of about 10 ohm / cm to about 50 ohm / cm. local heating takes place z. B. in that the shuttle 1 is exactly within one appropriate outer graphite boat attached and a zone by means of a slowly moving coil is heated, the eddy currents in the outer graphite boat induced. Instead of an outer graphite boat, you can use the boat 1 attach a graphite layer on the outer wall, indicated by the dashed line 4 is indicated in FIG.

Es wird einleuchten, daß statt flacher Platten anders gebildete Lehrenteile verwendet werden können, um den Filz oder das Gewebe in die gewünschte Behälterform zu pressen. Fig.2 veranschaulicht eine Stufe dieses Herstellungsverfahrens. Käuflich erhältliche Siliciumdioxydwolle 2 mit einer Stärke von 2 bis 3 cm wird zwischen einer Innenlehre 5 und einer Außenlehre 6 aus Graphit angebracht und mittels Klemmen 7 bis zu einer Stärke von 1/4 bis '/z cm unter Erhitzung zusammengepreßt (die Klemmen 7 sind schematisch angedeutet). Mittels der Lehrenteile 5 und 6 kann ein Behälter 2 hergestellt werden, der dem nach Fig. 1 entspricht. Die Lehrenteile 5 und 6 können aus einem einzigen Stück bestehen, was in Fig. 2 angedeutet ist. Sie können jedoch auch aus je einer Anzahl von Teilen zusammengebaut werden. Die festgeklemmten Lehrenteile 5 und 6 mit der zwischen ihnen zusammengepreßten Wolle 2 werden in einen Ofen eingeführt und auf etwa 1550° C während 2 Minuten erhitzt, worauf sie aus dem Ofen entfernt und gekühlt werden. Die Klemmen 7 und der innere Lehrenteil5 werden darauf entfernt, so daß die kombinierte Einrichtung 2, 6 nach Fig. 3 erhalten wird.It will be evident that, instead of flat plates, gauge parts are formed differently Can be used to shape the felt or fabric into the desired container to press. Figure 2 illustrates one stage of this manufacturing process. Purchasable available silica wool 2 with a thickness of 2 to 3 cm is between an inner jig 5 and an outer jig 6 made of graphite and attached by means of clamps 7 pressed together to a thickness of 1/4 to ¼ cm under heating (the clamps 7 are indicated schematically). By means of the gauge parts 5 and 6, a container 2, which corresponds to that of FIG. Teaching parts 5 and 6 can consist of a single piece, which is indicated in FIG. However, you can can also be assembled from a number of parts each. The clamped gauge parts 5 and 6 with the wool 2 compressed between them are introduced into an oven and heated to about 1550 ° C for 2 minutes after which time it was removed from the oven and be cooled. The clamps 7 and the inner gauge part 5 are then removed, so that the combined device 2, 6 of Fig. 3 is obtained.

Fig. 4 zeigt einen topfförmigen Behälter 2 mit einem Trägerkörper 6 aus Graphit, der mit Hilfe des an Hand der Fig.2 und 3 geschilderten Verfahrens hergestellt ist. Der Unterschied äußert sich nur in der Form. Die Einrichtung nach Fig. 4 kann als Behälter für geschmolzenes Silicium zur Herstellung von Siliciumkristallen verwendet werden, die aus der Schmelze aufgezogen werden.Fig. 4 shows a pot-shaped container 2 with a carrier body 6 made of graphite, with the aid of the method described with reference to FIGS is made. The only difference is the shape. The establishment after Fig. 4 can be used as a container for molten silicon for producing silicon crystals used, which are drawn up from the melt.

Fig. 5 zeigt einen trogförmigen Behälter 2, der dadurch hergestellt ist, daß die äußere Lehre 6 der Einrichtung 2, 6 nach Fig. 3 weggenommen wird.Fig. 5 shows a trough-shaped container 2, which is produced thereby is that the outer gauge 6 of the device 2, 6 of FIG. 3 is removed.

Es hat sich gezeigt, daß bei Anwendung einer Graphitlehre das Siliciumdioxyd geneigt ist, über die Graphitfläche während der Wärmebehandlung unter Berührung der Lehre zu fließen, so daß eine dünne Schicht 8 nach den Fig. 3, 4 und 5 gebildet wird.It has been shown that when a graphite gauge is used, the silicon dioxide is inclined to touch over the graphite surface during the heat treatment the teaching to flow, so that a thin layer 8 according to FIGS. 3, 4 and 5 is formed will.

Wenn Graphit verwendet wird, muß in einer neutralen oder einer reduzierenden Atmosphäre erhitzt werden, z. B. in Argon, Stickstoff oder Wasserstoff.If graphite is used, it must be neutral or reducing Atmosphere are heated, e.g. B. in argon, nitrogen or hydrogen.

Bei Anwendung eines Behälters, der wie üblich aus Filz oder Gewebe zusammengebaut ist, wird beim Zoneschmelzen von Silicium nach dieser Behandlung noch kein Silicium in Einkristallform erhalten. Beim Entfernen des erstarrten Siliciums aus dem Schiffchen können außerdem Siliciumdioxydfasern am Silicium haftenbleiben. Diese Fasern können dann von der Oberfläche abgebürstet werden, oder die Siliciumoberfläche kann gewünschtenfalls nachgeätzt werden, z. B. mit einem Ätzmittel, das H F und H N 03 in einem Verhältnis von 10:90 enthält. Bei einem Behälter, der mittels einer Innenlehre aus Graphit hergestellt ist, besitzt das Silicium nach der Behandlung gewöhnlich annähernd Einkristallform. Manchmal werden tatsächlich Einkristalle erzielt. Es wird einleuchten, daß die Formgebung des Behälters mittels einer Siliciumdioxydlehre durchgeführt werden kann, wodurch die Oberfläche nahe dem Siliciumdioxyd faserig sein wird. Ein Behälter aus Siliciumdioxydgewebe kann auch in einer Graphitlehre erhitzt werden, um eine glattere Oberfläche zu erhalten.When using a container made of felt or fabric as usual is assembled when zone melting silicon after this treatment silicon in single crystal form has not yet been obtained. When removing the solidified silicon In addition, silicon dioxide fibers from the boat can adhere to the silicon. These fibers can then be brushed off the surface, or the silicon surface can be etched if desired, e.g. B. with an etchant, the H F and H contains N 03 in a ratio of 10:90. In the case of a container, which by means of a The inner gauge is made of graphite, the silicon possesses after the treatment usually approximately single crystal form. Sometimes single crystals are actually obtained. It will be evident that the shape of the container by means of a silica gauge can be carried out, making the surface close to the silica will be fibrous. A silicon dioxide mesh container can also be used in a graphite gauge heated to get a smoother surface.

Beim Schmelzen des Siliciums unter Berührung des Behälters wird der Behälter jedenfalls angegriffen; man kann die Heizzone mehrere Male längs des Behälters führen oder mehrere Schmelzvorgänge im Tiegel durchführen im Verhältnis zu der Dichte des Gewebes oder des Filzes und der Art der glatten Innenfläche, wenn letztere vorgesehen ist. Gewöhnlich zerbrechen jedoch nicht der Behälter und der feste Trägerkörper, was bei bekannten Siliciumdioxydbehältern wohl der Fall ist. Bei Anwendung eines Behälters aus Siliciumdioxydwolle in Form einer Filzschicht von etwa 3,2 bis 6,4 mm mit einer Dichte von etwa 0,06 g/cmg in einem Trägerkörper aus festem Siliciumdioxyd hat es sich als möglich gezeigt, mehrere Heizzonen nacheinander an einer Siliciummasse entlang zu führen, ohne daß der Filz erneuert zu werden brauchte und ohne daß der Trägerkörper zerbrach. Der Behälter oder die Einrichtung nach der Erfindung eignet sich vorzüglich zur Herstellung von halbleitenden Körpern aus Silicium oder Indiumantimonid. Er kann jedoch auch z. B. für Germanium verwendet werden.When the silicon is melted while touching the container, the Container attacked anyway; you can use the heating zone several times along the container lead or carry out several melting processes in the crucible in relation to the density the fabric or felt and the type of smooth inner surface, if the latter is provided is. Usually, however, the container and the solid support body do not break, which is probably the case with known silicon dioxide containers. When using a Silica wool container in the form of a felt layer of about 3.2 to 6.4 mm with a density of about 0.06 g / cmg in a support body made of solid silicon dioxide it has been shown to be possible to install several heating zones one after the other on a silicon mass to lead along without the felt needing to be renewed and without the Carrier body broke. The container or the device according to the invention is suitable excellent for the production of semiconducting bodies from silicon or indium antimonide. However, he can also z. B. used for germanium.

Das Zoneschmelzen, das sogenannte Zone-levelling, und das Aufziehen von Kristallen aus der Schmelze sind hier nicht in Einzelheiten beschrieben, da diese Verfahren in der Technik bekannt und in der betreffenden Literatur ausführlich beschrieben sind. Das Verweben von Siliciumoxydwolle ist hier auch nicht beschrieben; es können dazu bekannte Verfahren verwendet werden.Zone melting, so-called zone-leveling, and pulling up of crystals from the melt are not described in detail here, since these procedures are known in the art and are detailed in the relevant literature are described. The weaving of silica wool is not described here either; known methods can be used for this purpose.

Für praktische Zwecke eignet sich vorzüglich die Bildung eines äußeren Kohlenstoffilz-Siliciumdioxydfilz-Behälters in demselben Ofen, in dem der halbleitende Körper geschmolzen wird. Nach Erhitzung und nach Entfernen der Innenlehre kann die zu behandelnde Substanz eingeführt werden, worauf die Substanz mit der Kombination des Behälters und der Außenlehre unmittelbar in den Ofen zurückgeführt wird.For practical purposes the formation of an external one is particularly suitable Carbon felt-silica felt container in the same furnace as the semiconducting Body is melted. After heating and after removing the inner gauge, the substance to be treated are introduced, whereupon the substance with the combination of the container and the outer gauge is returned directly to the furnace.

Es sei noch bemerkt, daß, wenn Gewebe und Filz beide in einem Behälter verwendet werden, gewöhnlich der Filz als Innenschicht oder als Innen- und Außenbelag des Gewebes verwendet wird.It should also be noted that when fabric and felt are both in one container can be used, usually the felt as an inner layer or as an inner and outer covering of the fabric is used.

Claims

PATENT CLAIMS: 1. Heat-resistant container for treating melts, in particular of semiconductor melts, characterized in that it is made of felt and / or Fabric is formed from pure silica fibers.

2. Heat-resistant container according to claim 1, characterized in that it has a thin inner covering made of solid Contains silicon dioxide.

3. Heat-resistant container according to claim 1 and / or 2, characterized in that it is provided with a heat-resistant, rigid support body is combined.

4. Heat-resistant container according to claim 3, characterized in that that the support body consists of solid silicon dioxide.

5. Heat-resistant container according to claim 3, characterized in that the carrier body consists of graphite.

6. A method for producing a heat-resistant container according to one or more of claims 1 to 3, characterized in that silicon dioxide fibers and / or a fabric from it can be attached between an outer and an inner gauge, what doctrines determine the shape of the container, whereupon the whole between the doctrines compressed and during compression to a temperature between 1450 and 1700 ° C is heated and then cooled and the inner gauge and possibly also the outer gauge is removed.

7. Apparatus for performing the method according to claim 6, characterized in that the inner gauge consists of graphite. B. Apparatus for carrying out the method according to claim 6, characterized in that the outer and inner gauges are made of graphite. Considered publications: German Patent Nos. 611098, 621936, 623 138, 682 719, 689 404, 698 097, 698 180, 717 225