DE10359238B4 - Mikroskop zur Inspektion von Halbleitern oder Photomasken - Google Patents
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Abstract
Mikroskop zur Inspektion von Halbleitern oder Photomasken mit einer einschwenkbaren Bertrandlinse, wobei auf der Bertrandlinse oder mit ihrer Schwenkung gekoppelt einbringbar ein Filter zur Abschwächung von kurzwelliger Strahlung im UV Bereich vorgesehen ist.
Description
- Stand der Technik
- In der Mikroskopie ist die Nutzung der sogenannten Bertrand-Optik Stand der Technik. Diese Zusatzoptik im Tubus kann in der Regel eingeschwenkt werden und erlaubt so die Beobachtung des Pupillenbilds für den Betrachter oder über eine CCD-Kamera.
- Dadurch wird die Einstellung der Lichtquelle, die Justierung der Optik oder die Einstellung von möglichen speziellen Pupilleneingriffen ermöglicht. In den Schriften
DE 39 42 514 A1 undDE 14 72 290 A wird der Einsatz einer Bertrandlinse in der Mikroskopie beschrieben. - In einem Maskeninspektionsmikroskop (
EP 628806 A2 - Weiterhin werden mit Hilfe der Bertrandoptik die Pupillen zentriert.
- Je niedriger die Wellenlänge ist desto mehr tritt das Problem auf, dass aufgrund der sehr viel höheren Energiedichte in der Pupille im Vergleich zum Feld, die Belichtungszeit oder die Laserintensität vor Aufnahme des Pupillenbilds deutlich reduziert werden muss.
- Erfindung:
- Die Lösung des genannten Problems erfolgt durch ein Mikroskop zur Inspektion von Halbleitern oder Photomasken mit den Merkmalen des Anspruches 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der jeweils abhängigen Ansprüche. Die Lösung des Problems besteht im Schutz der CCD-Kamera durch Kopplung eines (Neutral-)Filters mit der Bertrandoptik. Dieser Filter wird an die Intensitätsüberhöhung der Pupillenebene gegenüber der Feldebene angepasst. Dies ist typischerweise ein Faktor 100, so dass ein Filter z. B. der optischen Dichte 2 geeignet erscheint. Ein typisches Filtermaterial (Absorptionsfilter) bei dieser Wellenlänge kann z. B. eine Chromschicht geeigneter Dicke auf einem Quarzglas darstellen oder eine Aluminiumschicht gemäß verfügbarer Kataloge.
- Der Filter wird vorteilhaft fest an die Bertrandoptik angekoppelt, so dass bei dem Einschwenken (manuell oder über Software) automatisch die Abschwächung der Laserstrahlung stattfindet.
-
1 zeigt einen mikroskopischen Abbildungsstrahlengang von einem Objekt P, vorzugsweise eine Maske zur Halbleiterherstellung über Projektionslithografie, über ein Objektiv 0, eine Tubuslinse TL und eine Vergrößerungsoptik VO. - Mittels der einschwenkbaren Bertrandlinse BL wird die Pupillenebene der Austrittspupille des Mikroskops auf eine CCD-Kamera abgebildet.
- Die Lichtquelle zur Beleuchtung der Probe ist hier nicht dargestellt, sie kann über einen nicht dargestellten Strahlteiler in den Strahlengang eingekoppelt sein.
- Vor oder hinter der Bertrandlinse BL, vorzugsweise fest mit ihr verbunden, ist ein Filter F angeordnet, der vorteilhaft mit der Linse eingeschwenkt wird.
- Denkbar und weiterhin vorteilhaft ist ein separat einschwenkbarer Filter, vorteilhaft mit der Linse gekoppelt einschwenkbar.
- Weiterhin kann vorteilhaft direkt auf die Bertrandlinse eine Filterschicht aufgedampft sein, in Richtung des Objektives oder wegen möglicher Abdampfungen in Richtung der Abbildung nach außen.
- Durch die direkte Beschichtung oder die Zwangskopplung des Filters mit der Linse wird die Möglichkeit von Bedienfehlern ausgeschlossen, die zur Schädigung der Kamera führen könnten.
- Wichtig ist hierbei, dass der Neutralfilter entweder so dünn gewählt wird, dass er keine Einfluss auf die Schnittweite (und damit Vergrößerung des Pupillenstrahlengangs und die Lage der Pupille) hat bzw. der Effekt des zusätzlichen optischen Elements in die Optikrechnung des Tubus mit eingerechnet wird.
- Neben der geschilderten vorteilhaften Anordnung auf oder in der Nähe der Bertrandlinse ist prinzipiell die Anordnung eines separaten Filters im Beleuchtungs- oder Abbildungsstrahlengang nicht ausgeschlossen, der bei Einschwenken der Bertrandlinse mit eingeschwenkt wird.
Claims (6)
- Mikroskop zur Inspektion von Halbleitern oder Photomasken mit einer einschwenkbaren Bertrandlinse, wobei auf der Bertrandlinse oder mit ihrer Schwenkung gekoppelt einbringbar ein Filter zur Abschwächung von kurzwelliger Strahlung im UV Bereich vorgesehen ist.
- Mikroskop nach Anspruch 1, wobei der Filter einschwenkbar ist.
- Mikroskop nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die kurzwellige Strahlung einen Wellenlängenbereich unterhalb 400 nm, vorzugsweise 365 nm, 248 nm, 193 nm oder 157 nm, umfasst.
- Mikroskop nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei eine Filterschicht auf der Linse vorgesehen ist.
- Mikroskop nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei der einschwenkbare Filter in der Nähe der Linse angeordnet ist.
- Mikroskop nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei ein einschwenkbarer Filter im Beleuchtungs- und/oder Abbildungsstrahlengang vorgesehen ist.
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