DE10357974B4

DE10357974B4 - Metallische Flachdichtung mit Leiterbahn und Sensorelement sowie deren Verwendung

Info

Publication number: DE10357974B4
Application number: DE10357974A
Authority: DE
Inventors: Bernd Ruess; Matthias Laske; Friedrich Dillenz; Jürgen Schneider
Original assignee: Reinz Dichtungs GmbH
Current assignee: Reinz Dichtungs GmbH
Priority date: 2003-12-11
Filing date: 2003-12-11
Publication date: 2006-07-06
Anticipated expiration: 2023-12-12
Also published as: ATE357588T1; EP1692386A1; DE602004005494T2; DE602004005494D1; EP1692386B1; WO2005059347A1; DE10357974A1

Abstract

Metallische Flachdichtung mit mindestens einer Dichtungslage, mindestens einer Zusatzlage und gegebenenfalls einer Ergänzungslage mit jeweils mindestens einer Durchgangsöffnung sowie mindestens einem in die Flachdichtung integriertem Sensorelement das mit mindestens einer, von einem die Durchgangsöffnung unmittelbar umgebenden Dichtelement zu einem der Flachdichtungsaußenränder, führenden Leiterbahn kontaktiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass in der Dichtungslage eine um die gesamte Leiterbahn und das Sensorelement herum geführte Sicke ausgebildet ist und die Zusatzlage im Bereich der Leiterbahn und des Sensorelements eine der Dichtungslage zugewandte Aussparung aufweist, wodurch das Sensorelement und die Leiterbahn im wesentlichen druckfrei in die Flachdichtung eingebettet ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Metalldichtung mit mindestens einer Durchgangsöffnung, einem diese Durchgangsöffnung unmittelbar umgebenden Dichtelement und mindestens einer Sicke. Zusätzlich weist diese metallische Flachdichtung mindestens eine Leiterbahn auf, die als Kontaktierung zwischen einem Sensorelement und einer Messwerterfassungseinheit fungiert. Verwendung findet diese Flachdichtung bei der Herstellung von Zylinderkopfdichtungen, bei denen sensorische Messungen bestimmter Parameter, z. B. direkt hinter den eine Durchgangsöffnung unmittelbar umgebenden Dichtelementen, durchgeführt werden sollen.
Der Einsatz metallischer Dichtsysteme als Zylinderkopfdichtung erfordert vor allem gute Dichteigenschaften, so dass Brennräume, Kühl- und Schmiermitteldurchtritte, Schraubenbolzen sowie Durchgänge für Ventilsteuerteile gegeneinander und nach außen abgedichtet werden. Darüber hinaus ist in der letzten Zeit nun aber auch die messtechnische Datenaufnahme charakteristischer Parameter innerhalb der metallischen Dichtsysteme in den Vordergrund getreten. Hierbei bietet sich die Messung in Nähe der entsprechenden Öffnung an, um eine möglichst exakte Datenaufnahme zu realisieren. Die hohen Anforderungen an die Dimensionierung führen daher zum bevorzugten Einsatz von mikrosensorischen Systemen.
Beim Einsatz sensorischer Systeme in einem metallischen Dichtsystem ist die Kontaktierung zwischen dem Sensorelement und der Messwerterfassungseinheit ein kritischer Punkt, da in der Regel die Leiterbahn, die zur Kontaktierung zwischen beiden Einheiten nötig ist, häufig einen oder mehrere Sickenbereiche passieren muss. Die Integration der Leiterbahn in das metallische Dichtsystem erfolgt nach dem Stand der Technik bisher durch provisorische, nicht langzeitstabile Maßnahmen wie z. B. durch Auffüllen mit Dichtmassen oder durch Zukleben der Freiräume. Da die Leiterbahn die Sicke durchquert, liegt sie an mindestens einer Stelle im Krafthauptschluss. Die aus dem Stand der Technik bekannten Maßnahmen zur Abdichtung sind daher unzureichend, da die Leiterbahn im Sickenbereich eine örtliche Erhöhung darstellt, wodurch die Leiterbahn enormen statischen und zyklisch wirkenden Kräften ausgesetzt ist.

In der DE 691 06 081 T2 ist eine Druckerfassungsvorrichtung für Ottomotoren offenbart, bei der die Ausgangssignale der Erfassungseinrichtung nicht durch die Anziehungskraft der Bolzen beeinflusst werden.

Bei der in der DE 691 06 081 T2 offenbarten Zylinderkopfdichtung wird aber keine druckfreie Einbettung der Leiterbahn bis zum Dichtungsrand beschrieben.

Ferner wird in der US 2002/0130468 A1 ebenfalls eine Zylinderkopfdichtung von Verbrennungsmotoren beschrieben, bei der eine Druckmessung erfolgt. Aber auch diese Zylinderkopfdichtung ermöglicht keine druckfreie Einbettung der Leiterbahnen bis zum Dichtungsrand.

Aus der DE 101 41 251 wird eine Lösung für das Problem der eine Sicke kreuzenden Leiterbahn beschrieben. Die Sicke ist hierbei so ausgeführt, dass sie im Bereich der kreuzenden Leiterbahn eine geringere Federrate als im restlichen Bereich aufweist. Dies wird dadurch realisiert, dass die Sicke im Bereich der Leiterbahn weichere Eigenschaften aufweist.

Hiervon ausgehend war es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine metallische Flachdichtung bereitzustellen, die im gesamten Bereich der Leiterbahn diese vor Verpressung schützt.

Diese Aufgabe wird durch die metallische Flachdichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die weiteren abhängigen Ansprüche zeigen vorteilhafte Weiterbildungen auf. In den Ansprüchen 20 und 21 werden die Verwendungen der erfindungsgemäßen Flachdichtung beschrieben.

Erfindungsgemäß wird eine metallische Flachdichtung mit mindestens einer Dichtungslage, mindestens einer Zusatzlage und gegebenenfalls Ergänzungslagen beschrieben, wobei die Dichtungs-, Zusatz- und Ergänzungslagen jeweils mindestens eine Durchgangsöffnung aufweisen. In der metallischen Flachdichtung ist mindestens ein Sensorelement integriert, das mit mindestens einer, von einem die Durchgangsöffnung unmittelbar umgebenden Dichtelement zu einem der Flachdichtungsaußenränder führenden, Leiterbahn kontaktiert ist. Dabei ist in der Dichtungslage eine um die gesamte Leiterbahn und das Sensorelement herum geführte Sicke ausgebildet, gleichzeitig weist mindestens eine Zusatzlage im Bereich der Leiterbahn und des Sensorelements eine der Dichtungslage zugewandte Aussparung auf. Beide Maßnahmen bewirken eine im Wesentlichen druckfreie Einbettung der Leiterbahn und des Sensorelementes in die Flachdichtung. Bevorzugt umfasst die Zylinderkopfdichtung dabei n (1 < = n < = 4) Zusatzlagen und x (x < = 4 – n) Ergänzungslagen.

Unter Dichtungslagen sind im Rahmen dieser Anmeldung Lagen aus Federstahl oder aus einem kaltverformbaren, bei Temperierung aushärtendem Stahl zu verstehen. Diese Lagen können neben der Dichtfunktion, die zwingend ist, auch noch Stopperelemente beinhalten.

Unter Zusatzlagen sind solche Lagen zu verstehen, die keinerlei Einschränkung hinsichtlich des metallischen Materials aufweisen. Zu ihnen gehören beispielsweise Distanzlagen, Stopperlagen, weitere Lagen mit Dichtfunktion oder Lagen, die eine Kombination dieser Funktionen wahrnehmen, Zusatzlagen weisen zumindest über einen Bereich ihrer Dicke Aussparungen im Bereich von Leiterbahn und/oder Sensorelement auf.

Unter Ergänzungslagen sind solche Lagen zu verstehen, die keinerlei Einschränkung hinsichtlich des metallischen Materials aufweisen. Zu ihnen gehören beispielsweise Distanzlagen, Stopperlagen, weitere Lagen mit Dichtfunktion oder Lagen, die eine Kombination dieser Funktionen wahrnehmen. Im Gegensatz zu den Zusatzlagen weisen die Ergänzungslagen aber keine Aussparungen, für Leiterbahn und/oder Sensorelement auf. Sie können jedoch in ihrer Topographie an die ihnen benachbarte Dichtungs- oder Zusatzlage angepasst sein.

In einer ersten Variante erstreckt sich die Aussparung über die gesamte Dicke der 1. bis n-ten Zusatzlage in Form einer Unterbrechung der Zusatzlagen.

In einer zweiten Variante erstreckt sich die Aussparung über die gesamte Dicke der 1. bis (n – 1)-ten Zusatzlage und nur bereichsweise über die Dicke der n-ten Zusatzlage.

In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung weisen die ersten 1 bis k (k < n) der Dichtungslage zugewandten Zusatzlagen eine Aussparung für das Sensorelement und die Leiterbahn auf, während die (k + 1)-te bis n-te Zusatzlagen eine Aussparung nur für das Sensorelement aufweisen. Hierbei kann die jeweilige Aussparung in der k-ten und n-ten Zusatzlage entweder nur bereichsweise oder vollständig über die Dicke der betreffenden Zusatzlage reichen.

Aussparungen, die über die gesamte Dicke einer Zusatzlage reichen, werden bevorzugt mittels Stanzen oder Laserschneiden eingebracht. Aussparungen, die nur bereichsweise über die Dicke einer Zusatzlage reichen, können beispielsweise durch Fräsen oder Ätzen in der Zusatzlage erzeugt werden. Als weitere Technik bietet sich die elektrolytische Metallbearbeitung an. Kombinationen der genannten Techniken sind ebenfalls denkbar.

Vorzugsweise sind das Sensorelement und die Leiterbahn im von der Sicke umgebenen Bereich der Dichtungslage befestigt, d. h. Leiterbahn und Sensorelement sind an der der Zusatzlage zugewandten Seite der Dichtungslage angeordnet. So können sie beispielsweise an die Dichtungslage angeklebt sein. Aber auch alle weiteren aus dem Stand der Technik bekannten Befestigungsmethoden können hier zum Einsatz kommen.

Alternativ ist es aber ebenso möglich, dass das Sensorelement und die Leiterbahn in der Aussparung befestigt sind, d.h. auf der der Dichtungslage zugewandten Seite der Zusatzlage, die nur eine sich über einen Bereich ihrer Dicke erstreckenden Aussparung aufweist oder im Falle von Aussparungen, die jeweils über die gesamte Dicke der Zusatzlage(n) reichen, auf der der Dichtungslage zugewandten Seite der ersten auf die Zusatzlage(n) folgende Ergänzungslage.

Die Aussparung kann vorzugsweise so ausgebildet sein, dass diese zumindest teilweise mit Isoliermasse und/oder Füllmasse befüllbar ist, so dass eine Abdichtung von Leiterbahn und Sensorelement realisiert werden kann, Ebenso ist es aber auch möglich, dass der von der Sicke umschlossene Bereich mit Isoliermasse und/oder Füllmasse gefüllt ist.

Hinsichtlich des weiteren Aufbaus der metallischen Flachdichtung sind weitere Ergänzungslagen denkbar, die sich sowohl an die Dichtungs- als auch an die Zusatzlagen anschließen können. Die Gesamtzahl der Lagen, also die Summe aus einer Dichtungslage, n Zusatzlagen und x Ergänzungslagen beträgt bevorzugt maximal 5.

In einer vorteilhaften Weiterbildung entspricht die gesamte Dicke der Aussparungen in den Zusatzlagen mindestens der Dicke des Sensorelements, wobei im Rahmen dieser Anmeldung die Dicke des Sensorelements immer die Dicke der das Sensorelement unmittelbar umgebenden Isolierung beinhaltet.

Um die Leiterbahn und das Sensorelement kann sowohl eine Halbsicke als auch eine Vollsicke geführt sein.

Zur Herstellung der metallischen Flachdichtung werden hohe Anforderungen an die Leiterbahn gestellt. So müssen Leiterbahn und Sensorelement zum einen extrem flach sein, um bei geringerer Gesamthöhe der Dichtung deren Funktion nicht zu stören, zum anderen müssen sie aber auch extrem temperaturbeständig sein. Unter Temperaturbeständigkeit ist hier zu verstehen, dass bei den im Motorraum herrschenden Betriebsbedingungen und den damit verbundenen Temperaturen keine Beschädigung der Leiterbahn auftritt.

Als flache Leiter werden bevorzugt Leiter mit einer Gesamtdicke von 70 bis 200 μm, besonders bevorzugt von 90 bis 150 μm verwendet. Vorzugsweise besteht die Leiterbahn aus einem Polyimid oder Polytetrafluorethylen, wobei auf diese eine zusätzliche Schicht aus einem leitfähigen Metall, insbesondere Kupfer, mit einer Schichtdicke von 5 bis 70 μm, bevorzugt von 10 bis 35 μm und besonders bevorzugt von 35 μm aufgebracht ist. Besonders bevorzugt ist als Material für die Leiterbahn Polyetherimid.

Vorzugsweise können als Leiterbahnen auch 1-, 2-, 3- oder 4-Leiter Verwendung finden. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, dass die Leiterbahn Verästelungen aufweisen, so dass mehrere Sensoren gleichzeitig kontaktiert werden können. In diesem Fall weisen die Zusatzlagen auch Verästelungen in den Aussparungen auf.

Bevorzugt bieten sich daher für die Leiterbahnen Folienleiter an. Besonders bevorzugt sind hierunter FPC (flexible printed circuit – flexible gedruckte Leitung) oder FFC (flexible flat cable – flexibles Flachkabel). Daneben können die Leiterbahnen auch mittels Siebdruck auf der metallischen Flachdichtung aufgebracht werden. Derartige Verfahren sind aus dem Stand der Technik bekannt.

Die erfindungsgemäßen metallischen Flachdichtungen finden im großen Rahmen Anwendung bei der Temperaturmessung an Brennraumöffnungen. Ebenso können diese metallischen Dichtungssysteme aber auch für die Be stimmung weiterer Parameter an Brennraumöffnungen, wie z.B. Weg-, Dehnungs- und/oder Beschleunigungsmessungen eingesetzt werden.

Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen metallischen Flachdichtung sind in den Zeichnungen dargestellt und im Folgenden näher erläutert. Die gezeigten Ausführungsbeispiele sind insbesondere hinsichtlich der dargestellten Anzahl Lagen, der Anordnung der Ergänzungslagen, der Breite des von der Sicke umschlossenen Bereichs, der Dimensionierung der Sicke und der für die Abdichtung der Durchgangsöffnungen verwendeten Dichtelemente nur beispielhaft.
Es zeigen:
1a–e Schnitte durch verschiedene erfindungsgemäße Ausgestaltungen der metallischen Flachdichtung.
2a–d die Draufsicht auf die einzelnen Lagen einer erfindungsgemäßen metallischen Zylinderkopfdichtung.
3 die Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Dichtung.
In den 1a–e sind verschiedene Schnitte durch erfindungsgemäße Ausgestaltungen der metallischen Flachdichtung dargestellt.
Die 1a zeigt ausschnittsweise einen Schnitt durch eine erfindungsgemäß ausgestaltete metallische Flachdichtung. Die metallische Flachdichtung nach der Ausführungsform nach der 1a ist aus einer Dichtungslage 1 so wie aus zwei Zusatzlagen 3 und 4 auf gebaut. Die Zusatzlagen 3 und 4 sind dabei so ausgestaltet, dass sich die Aussparung in Form einer Unterbrechung beider Zusatzlagen 3, 4 erstreckt. Zusätzlich zur Dichtungslage 1 und den Zusatzlagen 3 und 4 weist der dargestellte Dichtungsaufbau eine Ergänzungslage 2 auf der Seite der Zusatzlage 4 auf.
Das Sensorelement und die Leiterbahn 5 sind im von der Sicke umschlossenen Bereich der Dichtungslage 1 befestigt. Dieser Bereich wird von einer Halbsicke umschlossen.
Der Dichtungsaufbau nach der 1b umfasst nur eine Dichtungslage 1 sowie eine Zusatzlage 7. Sensorelement und Leiterbahn 5 sind in der Aussparung 8, der nur über einen Bereich ihrer Dicke ausgesparten Zusatzlage 7, befestigt.
1c zeigt einen Schnitt durch eine erfindungsgemäße metallische Flachdichtung mit einer Dichtungslage 9, zwei Zusatzlagen 3 und 4 sowie einer Ergänzungslage 2. Die beiden Zusatzlagen 3 und 4 weisen eine über ihre gesamte Dicke reichende Aussparung aus. Sensorelement und Leiterbahn 5 sind in der Aussparung der Zusatzlagen 3 und 4 auf der Ergänzungslage 2 befestigt. Die Sicke ist in diesem Fall als Vollsicke 10, 11 ausgebildet.
1d zeigt ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen metallischen Zylinderkopfdichtung im Schnitt. Der Aufbau dieser Zylinderkopfdichtung umfasst eine Dichtungslage 13, drei Zusatzlagen 3, 4, 7 sowie eine Ergänzungslage 12. Die an die Dichtungslage 13 angrenzende Ergänzungslage 12 weist zur Vermeidung von Brüchen eine Sicke 15 auf, die benachbart zur Sicke 16 in der Dichtungslage 13 angeordnet ist, wobei beide Sicken 15, 16 als Halbsicke ausgeführt sind. Die sich an die Dichtungslage 13 anschließenden ersten beiden Zusatzlagen 3 und 4 weisen wiederum über die gesamte Dicke beider Zusatzlagen 3, 4 reichende Aussparungen auf, während die dritte Zusatzlage 7 eine Aussparung nur über einen Teil ihrer Dicke aufweist. Sensorelement und Leiterbahn 5 sind auf der Zusatzlage 7 in der Aussparung befestigt.
Eine weitere Ausführungsform ist in der 1e wiederum im Schnitt ausschnittsweise dargestellt. Diese Ausführungsform umfasst eine Dichtungslage 17 sowie zwei Zusatzlagen 18 und 19. Die Leiterbahn 5 und das Sensorelement 5' sind im von der als Halbsicken ausgeführten Sicke umschlossenen Bereich 20 befestigt. Der linke Teil der 1e zeigt einen Bereich nahe der Außenkante der Dichtung, durch den nur die Leiterbahn verläuft. Der rechte Teil der 1e zeigt einen Bereich nahe des die Durchgangsöffnung umgebenden Dichtelements, in dem sich das Sensorelement 5' befindet. Im Bereich der Leiterbahn 5 ist nur die Zusatzlage 19 ausgespart, während im Bereich von Leiterbahn 5 und Sensorelement 5' beide Zusatzlagen 18, 19 eine Aussparung aufweisen.
Die 2a–d zeigen in Draufsicht Ausschnitte aus den vier Lagen einer erfindungsgemäßen metallischen Zylinderkopfdichtung wie sie im Querschnitt in 1a dargestellt ist.
In der 2a ist die Dichtungslage 1 aus 1a wiedergegeben, die Draufsicht ist aus Richtung der benachbarten Lage 3 gezeichnet. Die sich im Außenbereich der Dichtungslage erstreckende Sicke 6, die auch den Bereich um Leiterbahn 5 und Sensorelement 5' umgibt, ist als Halbsicke ausgeführt. Die den Bereich um Leiterbahn 5 und Sensorelement 5' begrenzende Halbsicke reicht bis in die Nähe des die Brennraumöffnung umgebenden Dichtelements, in diesem Fall einer Vollsicke. Die Pfeile stellen exemplarisch die Schnittebene für 1a dar.
2b zeigt in Draufsicht die Zusatzlage 3 aus der erfindungsgemäßen Dichtung, die in 1a dargestellt ist. Die Aussparung für Sensorelement und Leiterbahn zieht sich vom Außenrand der Zusatzlage bis in die Nähe der Brennraumöffnung. In der dargestellten Ausführungsform wurde als Verformungsbegrenzer 22 an der Brennraumöffnung beispielhaft ein Wellenstopper gewählt.
2c zeigt in Draufsicht die Zusatzlage 4 aus der erfindungsgemäßen Dichtung, die in 1a dargestellt ist. Wie in Zusatzlage 3 reicht die Aussparung für Sensorelement und Leiterbahn vom Außenrand der Lage bis in die Nähe der Brennraumöffnung.
In 2d ist die Ergänzungslage 2 der erfindungsgemäßen Dichtung aus 1a dargestellt.
In 3 ist eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Dichtung aus 1e wiedergegeben. Der Blick geht von oben in Richtung der Zusatzlage 18, die nur eine Aussparung für das Sensorelement aufweist. Die Pfeile stellen die beiden Schnittebenen von 1e, einerseits im Bereich der Leiterbahn (jeweils im linken Bereich) und andererseits im Bereich von Sensorelement und zugehöriger Leiterbahn (jeweils im rechten Bereich), dar. Die gestrichelten Linien in 3 deuten an, dass diese erfindungsgemäße Dichtung als Verformungsbegrenzer in Brennraumnähe beispielhaft einen Wellenstopper aufweist. Ebenso ist anhand der gestrichelten Linien in 3 erkennbar, dass Halb sicken einerseits für den Außenbereich und fortlaufend für die Begrenzung des Bereichs um Leiterbahn und Sensorelement und andererseits für die Brennraumabdichtung verwendet werden.
Die erfindungsgemäßen metallischen Flachdichtungen finden im großen Rahmen Anwendung bei der Temperaturmessung an Brennraumöffnungen. Ebenso können diese metallischen Dichtungssysteme aber auch für die Bestimmung weiterer Parameter an Brennraumöffnungen, wie z.B. Weg-, Dehnungs- und/oder Beschleunigungsmessung eingesetzt werden.

Claims

Metallische Flachdichtung mit mindestens einer Dichtungslage, mindestens einer Zusatzlage und gegebenenfalls einer Ergänzungslage mit jeweils mindestens einer Durchgangsöffnung sowie mindestens einem in die Flachdichtung integriertem Sensorelement das mit mindestens einer, von einem die Durchgangsöffnung unmittelbar umgebenden Dichtelement zu einem der Flachdichtungsaußenränder, führenden Leiterbahn kontaktiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass in der Dichtungslage eine um die gesamte Leiterbahn und das Sensorelement herum geführte Sicke ausgebildet ist und die Zusatzlage im Bereich der Leiterbahn und des Sensorelements eine der Dichtungslage zugewandte Aussparung aufweist, wodurch das Sensorelement und die Leiterbahn im wesentlichen druckfrei in die Flachdichtung eingebettet ist.
Flachdichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Aussparung über die gesamte Dicke der mindestens einen Zusatzlage in Form einer Unterbrechung der Zusatzlage erstreckt.
Flachdichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Aussparung nur bereichsweise über die Dicke der mindestens einen Zusatzlage erstreckt.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement und die Leiterbahn im von der Sicke umschlossenen Bereich der Dichtungslage befestigt sind.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorelement und die Leiterbahn in der Aussparung befestigt sind.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigung z.B. mittels Kleben, Schweißen oder Löten erfolgt.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Aussparung zumindest teilweise mit Isoliermasse und/oder Füllmasse gefüllt ist.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der von der Sicke umschlossene Bereich zumindest teilweise mit Isoliermasse und/oder Füllmasse gefüllt ist.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass eine Zusatzlage ei ne Aussparung, die sich nur bereichsweise über deren Dicke erstreckt und die weiteren Zusatzlagen eine Aussparung über deren gesamten Dicke aufweisen.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Zusatzlage eine Aussparung für Sensorelement und Leiterbahn aufweist und die weiteren Sensorlagen eine Aussparung nur für das Sensorelement aufweisen.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Gesamtdicke der Aussparungen in den Zusatzlagen mindestens der Dicke des Sensors entspricht.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Sicke eine Halbsicke ist.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Sicke eine Vollsicke ist.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn eine Dicke von 70 bis 200 μm, bevorzugt von 90 bis 150 μm aufweist.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn ein Folienleiter ist.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn aus Polytetrafluorethylen oder einem Polyimid besteht.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn aus Polytetrafluorethylen oder Polyetherimid besteht und auf dieser eine zusätzliche Schicht aus einem leitfähigen Metall, insbesondere Kupfer, mit einer Schichtdicke von 5 bis 70 μm, bevorzugt von 10 bis 35 μm und besonders bevorzugt von 35 μm aufgebracht ist.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnen aus 1-, 2-, 3- und/oder 4-Leitern besteht.
Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahn, die Sicke und/oder die Aussparungen Verästelungen aufweisen, über die mehrere Sensoren kontaktierbar sind.
Verwendung der metallischen Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19 für Temperaturmessungen an Brennraumöffnungen.
Verwendung der metallischen Flachdichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 19 für Weg-, Dehnungs- und/oder Beschleunigungsmessungen an Brennraumöffnungen.