DE10355918A1 - Messvorrichtung, Sensoranordnung und Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung - Google Patents

Messvorrichtung, Sensoranordnung und Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung Download PDF

Info

Publication number
DE10355918A1
DE10355918A1 DE2003155918 DE10355918A DE10355918A1 DE 10355918 A1 DE10355918 A1 DE 10355918A1 DE 2003155918 DE2003155918 DE 2003155918 DE 10355918 A DE10355918 A DE 10355918A DE 10355918 A1 DE10355918 A1 DE 10355918A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring device
signal
analog signal
digital
threshold values
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2003155918
Other languages
English (en)
Other versions
DE10355918B4 (de
Inventor
Johannes Volzer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Festo SE and Co KG
Original Assignee
Festo SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Festo SE and Co KG filed Critical Festo SE and Co KG
Priority to DE2003155918 priority Critical patent/DE10355918B4/de
Publication of DE10355918A1 publication Critical patent/DE10355918A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10355918B4 publication Critical patent/DE10355918B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/245Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D3/00Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
    • G01D3/08Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for safeguarding the apparatus, e.g. against abnormal operation, against breakdown

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung, eine Sensoranordnung sowie ein Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung. Es werden folgende Schritte durchgeführt: DOLLAR A - Erfassen eines wegabhängigen ersten Analogsignals (35) und eines zu dem ersten Analogsignals phasenversetzten wegabhängigen zweiten Analogsignals (36) durch einen ersten und einen zweiten Sensor (31, 32), DOLLAR A - Ermitteln eines von dem ersten Analogsignal abhängigen ersten Digitalsignals (42) und eines zu dem ersten Digitalsignal (42) phasenversetzten, von dem zweiten Analogsignal (36) abhängigen zweiten Digitalsignals (43), DOLLAR A - Vergleichen des ersten und des zweiten Analogsignals jeweils mit mindestens zwei Schwellwerten (S1, S2) und DOLLAR A - Ermitteln des ersten und des zweiten Digitalsignals als digitale Pulsfolgen in Abhängigkeit davon, ob das jeweilige Analogsignal (35) die Schwellwerte (S1, S2) unterschreitet oder überschreitet.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung zur inkrementellen Wegstreckenmessung, mit Mitteln zum Erfassen eines wegabhängigen, von einem ersten Sensor gebildeten ersten Analogsignals und eines zu dem ersten Analogsignal phasenversetzten wegabhängigen, von einem zweiten Sensor gebildeten zweiten Analogsignals, und zum Ermitteln eines von dem ersten Analogsignal abhängigen ersten Digitalsignals und eines zu dem ersten Digitalsignal phasenversetzten, von dem zweiten Analogsignal abhängigen zweiten Digitalsignals. Die Erfindung betrifft ferner eine entsprechende Sensoranordnung und ein entsprechendes Verfahren.
  • Eine derartige Messvorrichtung ist beispielsweise aus der EP 104393 B1 bekannt. Die Sensoren, beispielsweise fotoelektrische oder magnetische Sensoren, geben Analogsignale aus, die beispielsweise von einem zurückgelegten Weg oder Winkel abhängen. Die Sensoren sind beispielsweise um 90 Grad zueinander phasenversetzt, so dass sie beispielsweise ein Sinus- und ein Kosinussignal ausgeben. Aus dem Sinus-Signal und dem Kosinus-Signal ermittelt die bekannte Messvorrichtung anhand von Kippstufenschaltungen zwei um 90 Grad elektrisch versetzte Rechteckspannungen. Zusätzlich bildet die bekannte Messvorrichtung Betragswerte der beiden Sinus- und Kosinusspannungen und führt die jeweils niedrigere Spannung einem Analog-Digitalumsetzer zu. Von dem Analog-Digitalumsetzer gebildete digitale Werte sowie zusätzlich die beiden erstgenannten Rechteckspannungen dienen als Adressen für einen Festwertspeicher, aus dem in Abhängigkeit von der jeweiligen Adressierung Positionswerte ausgelesen werden können.
  • Bei der bekannten Messvorrichtung müssen also zu Adressierung des Festwertspeichers analoge Spannungen digitalisiert werden und zudem Rechteckspannungen gebildet werden. Dieses Verfahren ist verhältnismäßig aufwendig. Ferner benötigt die Digitalisierung von Spannung verhältnismäßig viel Zeit. Die Sensoren müssen in idealer Weise sinus- bzw. kosinusförmige Signale ausgeben.
  • Auch für andere, bekannte Inkremental-Wegemessverfahren werden sinusförmige Positionssignale benötigt. Die entsprechenden Messvorrichtungen bilden anhand der sinusförmigen Analogsignale mit Hilfe einer Arcustangens-Rechenmethode wegabhängige Wegesignale. Das Berechnen der Arcusstangenfunktion ist aufwendig und benötigt verhältnismäßig viel Prozessorleistung und/oder speziell ausgestaltete ASIC's (Application Spezific Integrated Circuit). Eine solche Messvorrichtung wird beispielsweise in der DE 38 38 291 C1 beschrieben.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Messvorrichtung der eingangs genannten Art bzw. ein entsprechendes Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung bereitzustellen, die kostengünstig und effizient sind.
  • Die Aufgabe wird durch eine Messvorrichtung der eingangs genannten Art gelöst, bei der die Mittel zum Vergleichen des ersten und des zweiten Analogsignals mit mindestens zwei Schwellwerten und zum Ermitteln des ersten und des zweiten Digitalsignals als digitale Pulsfolgen in Abhängigkeit von einem Unterschreiten oder Überschreiten der Schwellwerte durch das jeweilige erste und zweite Analogsignal ausgestaltet sind. Die Aufgabe wird ferner durch eine entsprechende Sensoranordnung und ein entsprechendes Verfahren gelöst.
  • Die Pulsfolgen haben die Werte Digital "0" oder "1". Die digitalen Pulsfolgen sind zueinander phasenversetzt, das heißt die jeweiligen Flankenwechsel der beiden Pulsfolgen treffen nicht aufeinander. Wegabhängig im Sinne der Erfindung ist allgemein zu verstehen und bedeutet z.B. abhängig von einem linearen Weg, von einer zurückgelegten Winkelstrecke oder dergleichen. Als Orientierungsmittel für die Sensoren dienen beispielsweise magnetische oder optische Markierungen. Die Orientierungsmittel sind relativ zu den Sensoren beweglich.
  • Die Sensoren können auch durch eine Sensoreinheit gebildet sein, beispielsweise einen bipolaren MR-Sensor mit z.B. zwei Ausgängen für die beiden Analogsignale.
  • Die erfindungsgemäße Messvorrichtung bildet die beiden Digitalsignale, beispielsweise Strom- oder Spannungssignale, anhand der beiden Analogsignale, die beispielsweise von einem optischen oder magnetischen Sensor erzeugt werden. Die Sensoren können Bestandteile der Messvorrichtung bilden. Die Messvorrichtung bildet die Digitalsignale in Abhängigkeit von der jeweiligen Lage der Analogsignale zu den Schwellwerten, also ob das jeweilige Analogsignal oberhalb, unterhalb oder zwischen den Schwellwerten liegt. Anhand der beiden Digitalsignale kann die Messvorrichtung oder eine nachgeschaltete Vorrichtung ein wegabhängiges Wegsignal bilden. Beispielsweise kann hierfür ein Zählerbaustein verwendet werden. Es ist auch möglich, dass ein Speicher inkrementell adressiert wird und aus dem Speicher Werte ausgelesen werden oder dergleichen.
  • Die Schwellwerte begrenzen einen oder mehrere Schwellwertkorridore. Wenn eines der beiden Analogsignale in einen Schwellwertkorridor hineintritt oder aus diesem heraustritt bewirkt die Messvorrichtung einen Wechsel des dem Analogsignal jeweils zugeordneten Digitalsignal von logisch "1" auf logisch "0" oder umgekehrt.
  • Erfindungsgemäß wird auch eine Sensoranordnung bereitgestellt, die als eine separate Baueinheit intern ein Analogsignal bildet und aus diesem ein Digitalsignal durch Vergleich des Analogsignals mit mindestens zwei Schwellwerten. Die Schwellwerte können an der Sensoranordnung einstellbar sein, beispielsweise im Rahmen eines Fertigungsprozesses. Zur Bildung einer erfindungsgemäßen Messvorrichtung werden zwei derartige Sensoranordnungen miteinander kombiniert, wobei die Sensoranordnungen oder relativ zu diesen bewegliche Orientierungsmittel phasenversetzt angeordnet sind, so dass die von den Sensoranordnungen erzeugten Digitalsignale zueinander phasenversetzt sind.
  • Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet für die erfindungsgemäße Messvorrichtung ist die Fluidtechnik, insbesondere die Pneumatik. Eine erfindungsgemäße Messvorrichtung und/oder eine erfindungsgemäße Sensoranordnung sind beispielsweise an einem pneumatischen Arbeitszylinder angeordnet.
  • Die Messvorrichtung kann teilweise in Software, teilweise in Hardware realisiert sein, wobei auch reine Hardware-Varianten oder reine Software-Varianten möglich sind. Im Falle einer Ausführung in Software bilden die Sensoren von der Messvorrichtung separate Baueinheiten.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen sowie aus der Beschreibung.
  • Zweckmäßigerweise erfolgen die Flankenwechsel des ersten Digitalsignals etwa bei der halben Pulslänge des zweiten Digitalsignals und umgekehrt. Beispielsweise wird der Phasenversatz zwischen dem ersten und dem zweiten Analogsignal entsprechend eingestellt. Ferner können die Schwellwerte entsprechend gewählt werden, um den Flankenwechsel in der obengenannten Form einzustellen. Der Phasenversatz wird beispielsweise durch entsprechend phasenversetzt angeordnete Sensoren erzeugt. Es ist aber auch möglich, relativ zu den Sensoren bewegliche Orientierungsmittel, beispielsweise Magnetanordnungen mit aneinandergereihten Magneten, mit einem entsprechenden Phasenversatz auszugestalten, so dass die Sensoren entsprechend phasenversetzte Analogsignale ausgeben können. Beispielsweise kann jedem Sensor ein Reihe von aneinandergereihten Magneten zugeordnet sein, wobei die beiden Reihen zueinander phasenversetzt sind.
  • Im Gegensatz zum Stand der Technik müssen die Analogsignale nicht zwingend sinus- oder kosinusförmig sein, sondern können beispielsweise dreieckförmig, sägezahnförmig oder dergleichen sein. Die Anforderungen an die Signalqualität der Sensoren sind geringer als beim Stand der Technik. Beispielsweise durch entsprechende Auswahl von Schwellwerten ist eine Anpas sung an das Signalverhalten der Sensoren möglich. Beispielsweise können für beide Sensoren identische Schwellwerte gewählt werden. Es ist aber auch möglich, jedem Sensor bzw. jedem von einem Sensor erzeugten Analogsignal individuelle Schwellwerte zuzuordnen. Die Analogsignale müssen zwar nicht zwingend sinusförmig sein. Allerdings ist es bevorzugt, dass sie jeweils symmetrisch zu ihren Wendepunkten sind.
  • Der Phasenversatz zwischen den Analogsignalen und/oder die Schwellwerte sind zweckmäßigerweise so vorbestimmt, dass ein Flankenwechsel eines Digitalsignals etwa bei der halben Pulslänge des anderen Digitalsignals erfolgt und umgekehrt. Die durch die Digitalsignale repräsentierten Weginkremente sind dadurch in etwa gleich lang. Es versteht sich, dass davon aber auch Abweichungen möglich sind, wobei vorteilhafterweise die Flankenwechsel der beiden Digitalsignale nicht aufeinandertreffen.
  • Zweckmäßigerweise ist die Messvorrichtung zur Durchführung einer Phasenkorrektur bezüglich des ersten oder des zweiten Digitalsignals beim Ermitteln des Wegsignals ausgestaltet, wobei die Messvorrichtung beispielsweise eine digitale Umrechnung durchführt, eine Tabelle benutzt oder dergleichen. In der Tabelle sind z.B. durch ein Kalibrierverfahren ermittelte Korrekturwerte abgelegt. Die Korrekturwerte sind z.B. anhand eines Referenzsystems ermittelt.
  • Zweckmäßigerweise sind zwar den beiden Analogsignalen jeweils identische Schwellwerte zugeordnet. Es ist aber auch möglich unterschiedliche Schwellwerte zu wählen, wobei beispielsweise ein unterer Schwellwert für beide Analogsignale gleich sein kann, während einer oder mehrere obere Schwellwerte für jedes der Analogsignale unterschiedlich gewählt sind.
  • Zweckmäßigerweise sind die Schwellwerte symmetrisch zu einer Amplituden-Mittelachse der jeweiligen Analogsignale.
  • Vorteilhafterweise sind die Schwellwerte so vorbestimmt, dass die Pulse des anhand der Schwellwerte jeweils gebildeten Digitalsignals im wesentlichen gleich lang sind. Gleichlange Pulslängen bedeuten dabei gleichlange Weginkremente.
  • Die Anzahl der Schwellwerte entspricht zweckmäßigerweise der Anzahl von Pulsen, die das einem Analogsignal zugeordnete Digitalsignal während einer Periode des Analogsignals aufweist.
  • Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine erfindungsgemäße fluidtechnische Aktoranordnung mit einer erfindungsgemäßen Messvorrichtung,
  • 2 von der Messvorrichtung gemäß 1 gebildete sinusförmige Analogsignale sowie anhand der Analog signale mit Hilfe zweier Schwellwerte gebildete Digitalsignale,
  • 3 ein von der Messvorrichtung gemäß 1 anhand der Digitalsignale gemäß 2 gebildetes wegabhängiges Digitalsignal,
  • 4 entspricht im wesentlichen 2, wobei dreieckförmige Analogsignale dargestellt sind,
  • 5 ein von der Messvorrichtung gemäß 1 anhand der Digitalsignale gemäß 4 gebildetes Wegsignal,
  • 6 zwei zu den Analogsignalen gemäß 2 ähnliche Analogsignale, wobei zwischen den Analogsignalen ein geringerer Phasenversatz vorhanden ist und Digitalsignale anhand von vier Schwellwerten gebildet sind, und
  • 7 ein wegabhängiges Wegsignal, das anhand der Digitalsignale gemäße 6 gebildet ist.
  • Eine fluidtechnische Aktoranordnung 10 enthält einen Aktor 11, beispielsweise einen pneumatischen Arbeitszylinder, der von einer Steuerungsvorrichtung 12 gesteuert und überwacht wird. Der Aktor 11 ist vorliegend ein Linearantrieb mit einem in Längsrichtung 13 vorwärts bzw. rückwärts (angedeutet durch Pfeile 14, 15) beweglichen Kolben bzw. Aktorglied 16. Eine elektrisches Steuergerät 17 steuert über eine Leitung 18 einen Antrieb eines Ventils 19, beispielsweise eines 4/2-Wegeventils oder einer sonstigen Ventilanordnung an. In der in 1 gezeigten Stellung des Ventils 19 strömt Fluid, beispielsweise Druckluft, aus einer Fluidversorgungseinrichtung 20 über eine Leitung 21 in eine erste Kammer 22 eines Gehäuses 23 des Arbeitszylinders 11 ein, so dass der Kolben 16 in Richtung eines Endanschlags 24 vorwärts bewegt wird. Durch den sich vorwärts bewegenden Kolben 16 wird Fluid aus einer zweiten Kammer 25, die durch den Kolben 16 von der ersten Kammer 22 getrennt ist, verdrängt und kann über eine Leitung 26 und das Ventil 19 in die Atmosphäre entweichen. Für eine Rückwärtsbewegung 15 wird in entsprechender Weise die zweite Kammer 25 mit Druckluft beaufschlagt und die erste Kammer 22 entlüftet, so dass sich der Kolben 16 in Richtung eines dem Endanschlag 24 entgegengesetzten Anschlags 27 bewegt.
  • Eine Messvorrichtung 30 dient zur inkrementellen Wegstreckenmessung am Aktor 11. Die Messvorrichtung 30 misst vorliegend die jeweilige Längsposition des Aktorglieds bzw. Kolbens 16. Sensoren 31, 32 tasten an einer Kolbenstange 28 des Arbeitszylinders 11 angeordnete Orientierungsmittel 33 ab. Die Sensoren 31, 32 sind beispielsweise optische oder magnetische Sensoren, z.B. Fotowiderstände, Hall-Sensoren, magnetoresistive Sensoren (MR-Sensoren) oder dergleichen. Je nach Aus gestaltung der Sensoren 31, 32 als optische oder magnetische Sensoren enthalten die Orientierungsmittel 33 beispielsweise in Längserstreckungsrichtung der Kolbenstange 28 angeordnete, durch die Sensoren 31, 32 erfassbare optische oder magnetische Markierungen 34, z.B. abwechselnde helle und dunkle Markierungen, an der Kolbenstange 28 angeordnete Magnete oder dergleichen.
  • Die Orientierungsmittel 33 und die Sensoren 31, 32 sind relativ zueinander beweglich. Bei Betätigung des Aktors 11 fährt die Kolbenstange 28 in das Gehäuse 23 ein oder aus diesem heraus. Dadurch werden die Orientierungsmittel 33 an den Sensoren 31, 32 vorbeibewegt. Dann geben der erste und der zweite Sensor 31, 32 wegabhängige erste und zweite Analogsignale 35, 36 aus. Die Analogsignale 35, 36 sind zueinander phasenversetzt. Beim Ausführungsbeispiel wird der Phasenversatz durch eine nebeneinander versetzte Positionierung der Sensoren 31, 32 bewirkt, wobei bei einer Längsbewegung des Kolbens 16 eine Markierung 34 beispielsweise zunächst in den Erfassungsbereich des Sensors 31 und phasenversetzt später in den Erfassungsbereich des Sensors 32 gelangt.
  • Die Analogsignale 35, 36 sind beispielsweise wie in 2 dargestellt im wesentlichen sinusförmig. Neben dieser sozusagen idealen Form der Analogsignale 35, 36 sind aber auch andere Signalformen möglich, beispielsweise dreieckförmige erste und zweite Analogsignale 35', 36', wie in 4 darge stellt, oder sonstige Signalformen, beispielsweise Sägezahnformen, unregelmäßige Signalformen und/oder mit Störungen behaftete Analogsignale. Die Analogsignale 35, 36 sind punktsymmetrisch zu Wendepunkten 37, die vorliegend auf einer Amplituden-Mittelachse 29 der Analogsignale 35, 36 liegen.
  • Die Sensoren 31, 32 übermitteln die Analogsignale 35, 36 Auswerteeinrichtungen 40, 41 über Leitungen 39. Die Auswerteeinrichtungen 40, 41 bilden anhand der Analogsignale 35, 36 ein erstes und ein zweites Digitalsignal 42, 43. Die Digitalsignale 42, 43 sind digitale Pulsfolgen mit den Werten logisch "0" oder "1". Pulse 73 der Digitalsignale 42, 43 haben vorzugsweise dieselben Pulslängen 74.
  • Vergleichseinrichtungen 44 vergleichen die Analogsignale 35, 36 mit Schwellwerten S1, S2, die den Vergleichseinrichtungen 44 beispielsweise als Referenzspannungen zugeführt werden. Komparatoren 45, 46 vergleichen die Analogsignale 35, 36 jeweils mit den Schwellwerten S1, 52, wobei die Komparatoren 45, 46 zur Bildung der Digitalsignale 42, 43 logisch "0" ausgeben, wenn das jeweilige Analogsignal 35, 36 den zugeordneten Schwellwert S1, S2 unterschreitet, und logisch "1" wenn es den Schwellwert S1, S2 überschreitet. Beispielsweise überschreitet das Analogsignal 35 in 2 zu einem Weginkrementpunkt x11 den Schwellwert S2 und unterschreitet diesen wieder zu einem Weginkrementpunkt x12. Zu einem Weginkrementpunkt x13 unterschreitet das Analogsignal 35 den Schwellwert S1 und überschreitet diesen wieder zu einem Weginkrementpunkt x14. Zwischen den Weginkrementpunkten x12 und x13 sowie dem Weginkrementpunkt x14 und einem Weginkrementpunkt x15 befindet sich das Analogsignal 35 in einem durch die Schwellwerte S1, S2 begrenzten Schwellwertkorridor SK12. Das Analogsignal 35 über- oder unterschreitet die Schwellwerte S1, S2 an Weginkrementpunkten x11 bis x19. In entsprechender Weise passiert das Analogsignal 36 die Schwellwerte S1, S2 an Weginkrementpunkten x21 bis x29.
  • Logikeinrichtungen 47 ermitteln die Digitalsignale 42, 43 aus den Ausgangswerten der Vergleichseinrichtungen 44 bzw. der Komparatoren 45, 46. Die Logikeinrichtungen 47 enthalten beispielsweise je ein EXOR-Gatter. Wenn sich die Analogsignale 35, 36 ober- oder unterhalb des Schwellwertkorridors SK12 befinden, gibt die Logikeinrichtung 47 beispielsweise logisch "0" aus, wenn sich das Analogsignal 35, 36 innerhalb des Schwellwertkorridors SK12 befindet, logisch "1".
  • Die Analogsignale 35, 36 und die Digitalsignale 42, 43 haben einen Phasenversatz 48, der beispielsweise durch einen Abstand der Sensoren 31, 32 in Längsrichtung 13 bedingt ist. beispielsweise sind Scheitelpunkte 38 der Analogsignale 35, 36 um den Phasenversatz 48 zueinander versetzt.
  • Das Steuergerät 17, das vorliegend zumindest teilweise einen Bestandteil der Messvorrichtung 30 bildet, ermittelt aus den Digitalsignalen 42, 43 ein wegabhängiges Wegsignal 49, das beispielsweise den in 3 gezeigten treppenförmigen Verlauf aufweist. Dabei inkrementiert oder dekrementiert ein Inkrementmodul 50 das Wegsignal 49 in Abhängigkeit von den Digitalsignalen 42, 43. Das Inkrementmodul 50 inkrementiert beispielsweise das Wegsignal 49 am Weginkrementpunkt x12, bei dem das Digitalsignal 42 einen Flankenwechsel von "0" auf "1" hat, während das Digitalsignal 43 den Wert "0" aufweist. Am Weginkrementpunkt x23 wechselt auch das Digitalsignal 43 von "0" auf "1", so dass das Inkrementmodul 50 das Wegsignal weiter erhöht.
  • Das Inkrementmodul 50 ist ein Softwaremodul, das in einem Speicher 51 des Steuergeräts 17 gespeichert ist und dessen Programmcode von einem Prozessor 52 aufgeführt werden kann. Prinzipiell könnte das Inkrementmodul 50 auch die Funktion der Logikeinrichtung 47 aufweisen. Zum Empfangen der Digitalsignale 42, 43 sowie zum Ausgeben von Steuerbefehlen an das Ventil 19 weist das Steuergerät 17 eine Ein-/Ausgabestelle 53 auf. Ferner kann das Steuergerät 53 von einer übergeordneten Steuerung 54 Steuerbefehle empfangen bzw. Meldungen an diese senden, beispielsweise das Wegsignal 49. Zur Steuerung des Ventils 19 bzw. des Arbeitszylinders 11 weist das Steuergerät 17 ferner ein Steuermodul 55 auf, das ebenfalls ein Programmmodul mit durch den Prozessor 52 ausführbarem Code ist. Das Steuermodul 55 wertet beispielsweise das Wegsignal 49 zur Steuerung des Aktors 11 aus.
  • Die Funktionen des Inkrementmoduls 50 könnten auch durch eine entsprechende Logikschaltung realisiert sein, die beispielsweise einen Bestandteil der Logikeinrichtungen 47 bilden kann. Ferner ist es möglich, Sensoranordnungen 56, 57 zu bilden. Die Sensoranordnung 56 enthält beispielsweise den Sensor 31 sowie die Auswerteeinrichtung 40, die zu einer Baueinheit kombiniert sind, und die Sensoranordnung 57 den Sensor 32 sowie die Auswerteeinrichtung 41. Ferner kann eine erfindungsgemäße Sensoranordnung auch zwei Sensoren, beispielsweise die Sensoren 31, 32 sowie die zugehörigen Auswerteeinrichtungen 40, 41 enthalten, wobei bereits durch zwei derartige Sensoranordnungen eine erfindungsgemäße Messvorrichtung gebildet ist.
  • Es versteht sich, dass die Auswerteeinrichtungen 40, 41 auch beispielsweise in ein Steuergerät in der Art des Steuergeräts 17 integriert sein können.
  • Anhand der 4 und 5 werden im Folgenden weitere Varianten der Erfindung erläutert.
  • Anstelle der Analogsignale 35, 36 sind in 4 dreieckförmige Analogsignale 35', 36' eingezeichnet, die beispielsweise durch andere, anstelle der Sensoren 31, 32 verwendete Sensoren erzeugt werden. Die Auswerteeinrichtungen 40, 41 können auch anhand der dreieckförmigen Analogsignale 35', 36' die Digitalsignale 42, 43 unter Berücksichtigung der Schwellwerte S1, S2 bilden.
  • Es ist aber auch möglich, dass beispielsweise der Sensor 32 anstelle des Analogsignals 36' ein Analogsignal 60 mit geringerer Amplitude bildet. Das Analogsignal 60 überschreitet den unteren Schwellwert S1 nicht und überschreitet den oberen Grenzwert S2 an anderen Weginkrementpunkten als an den Weginkrementpunkten x22, x23 und x26, x27. Daher werden der Auswerteeinrichtung 41 Schwellwerte S1', S2' vorgegeben, so dass die Auswerteeinrichtung 41 an den Weginkrementpunkten x21 bis x29 Flankenwechsel beim Digitalsignal 43 ermitteln kann. Die Schwellwerte S1, S2 bzw. S1', S2' können an den Auswerteeinrichtungen 40, 41 einstellbar sein, beispielsweise durch Anlegen externer Schwellwertspannungen und/oder durch entsprechende Verstelleinrichtungen, z.B. in Form von Potentiometern.
  • Die Flankenwechsel der Digitalsignale 42, 43 erfolgen jeweils zur halben Pulsperiode des jeweils anderen Digitalsignals. Der Phasenversatz 48 entspricht im wesentlichen einer halben Pulslänge 74 eines Pulses 73 der Digitalsignale 42, 43. Prinzipiell ist es aber auch möglich, größere oder kleinere Phasenversätze zu wählen, wobei lediglich die Flankenwechsel der beiden Digitalsignale 42, 43 nicht aufeinandertreffen sollen. Beispielsweise könnte der Sensor 31 näher am Sensor 32 angeordnet sein, so dass er anstelle des Analogsignals 35' ein Analogsignal 61 erzeugt (in strichpunktierten Linien angezeichnet). Unter Berücksichtigung der Schwellwerte S1, S2 ermittelt die Auswerteeinrichtung 40 dann ein Digitalsignal 62 aus dem Analogsignal 61. Anhand des Digitalsignals 62 sowie des Digitalsignals 43 bildet das Inkrementmodul 50 ein Wegsignal 63, das im Gegensatz zum Wegsignal 49 keinen gleichmäßigen treppenstufenartigen Verlauf hat, weil zwei aufeinanderfolgende Treppenstufen unterschiedliche Längen haben.
  • Das Inkrementmodul 50 kann nun eine Korrektur durchführen, wobei es beispielsweise aus dem Wegesignal 63 ein Wegesignal 64 bildet, bei dem jeweils zwei Treppenstufen des Wegsignals 63 einer einzigen Treppenstufe zugeordnet sind. Dadurch wird zwar die Weginkrement-Auflösung verringert, jedoch repräsentieren die Treppenstufen des Wegesignals 64 jeweils gleichlange Weginkremente.
  • Eine feinere Weginkrement-Auflösung mit kleineren Weginkrementen ist mittels weiterer Schwellwerte erzielbar. In 6 ist beispielsweise eine durch vier Schwellwerte S21 bis S24 bewirkte Signalhubfünftelung von Analogsignalen dargestellt. Der Sensor 32 ist beispielsweise näher an den Sensor 31 herangerückt, so dass der Sensor 32 anstelle des Analogsignals 36 ein Analogsignal 36'' mit einem gegenüber dem Phasenversatz 48 verkleinerten Phasenversatz 65 erzeugt. Während einer Periode P der Analogsignale 35, 36'' weisen die zugeordneten Digitalsignale 42'', 43'' den vier Schwellwerten S21 bis S24 entsprechend vier Pulse auf. Zur Bildung der Digitalsignale 42'' , 43'' könnte eine den Vergleichseinrichtungen 44 entsprechende Vergleichseinrichtung beispielsweise zwei weitere Komparatoren und eine den Logikeinrichtungen 47 entsprechende Logikeinrichtung weitere Logikgatter aufweisen. Das Analogsignal 36 passiert die Schwellwerte S21 bis S24 beispielsweise an Wegeinkrementpunkten X31 bis X39, das Analogsignal 36'' die Schwellwerte S21 bis S24 an Weginkrementpunkten X41 bis X49.
  • Anhand der Digitalsignale 42'', 43'' ist ein in 7 dargestelltes Wegsignal 67 erzeugbar, das eine feinere Wegauflösung aufweist als beispielsweise das Wegsignal 49.
  • Es versteht sich, dass anstelle der Wegsignale 49, 67 beispielsweise auch wegstreckenabhängige Zahlenwerte ermittelt und ausgegeben werden können.
  • Es ist auch möglich, dass die durch die Sensoren 31, 32 erzeugten Analogsignale einen größeren Phasenversatz aufweisen, als den Phasenversatz 65, damit die Digitalsignale 42'' , 43'' den Phasenversatz 65 aufweisen können. Beispielsweise könnte man den Sensor 32 weiter vom Sensor 31 entfernt anordnen als beim vorigen Ausführungsbeispiel, so dass er an Stelle des zweiten Analogsignals 36'' ein Analogsignal 66 bildet. Das Analogsignal 66 passiert zu denselben Weginkrementpunkten X43 bis 49 die Schwellwerte S21 bis S24 wie das Analogsignal 36''.
  • Es versteht sich, dass auch mehr oder weniger Schwellwerte möglich sind, als beispielsweise zwei oder vier Schwellwerte. Die Anzahl der Schwellwerte und somit die maximal erzielbare Weginkrementauflösung hängt im wesentlichen von der Qualität der durch die jeweiligen Sensoren erzeugten Analogsignale ab, wobei durch die vorigen Ausführungen deutlich geworden ist, dass die erfindungsgemäße Messvorrichtung gegenüber Rohsignalfehlern bei den Sensoren wesentlich unempfindlicher ist als die aus dem Stand der Technik bekannten Messvorrichtungen.
  • Prinzipiell kann die Anzahl der Schwellwerte halbiert werden, wenn die Analogsignale vor dem Vergleich mit dem Schwellwert oder den Schwellwerten gleichgerichtet werden. Beispielsweise könnten aus den Analogsignalen 35 und 36 gebildetes Halbwellensignal mit lediglich einem der Schwellwerte S1 oder S2 verglichen werden. Die Erfindung umfasst auch diese Variante, wobei die in den Ansprüchen gewählte Formulierung sich auf nicht gleichgerichtete Analogsignale bezieht.

Claims (17)

  1. Messvorrichtung zur inkrementellen Wegstreckenmessung, mit Mitteln zum Erfassen eines wegabhängigen, von einem ersten Sensor (31) gebildeten ersten Analogsignals (35; 35') und eines zu dem ersten Analogsignal (35; 35') phasenversetzten wegabhängigen, von einem zweiten Sensor (32) gebildeten zweiten Analogsignals (36; 36'; 36''), und zum Ermitteln eines von dem ersten Analogsignal (35; 35') abhängigen ersten Digitalsignals (42; 42'') und eines zu dem ersten Digitalsignal (42; 42'') phasenversetzten, von dem zweiten Analogsignal (36; 36'; 36'') abhängigen zweiten Digitalsignals (43; 43''), dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (40, 41) zum Vergleichen des ersten und des zweiten Analogsignals mit mindestens zwei Schwellwerten (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) und zum Ermitteln des ersten und des zweiten Digitalsignals als digitale Pulsfolgen in Abhängigkeit von einem Unterschreiten oder Überschreiten der Schwellwerte (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) durch das jeweilige erste und zweite Analogsignal ausgestaltet sind.
  2. Messvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie zum Ermitteln eines wegabhängigen Wegsignals (49; 63; 67) anhand des ersten und des zweiten Digitalsignals ausgestaltet ist.
  3. Messvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Phasenversatz zwischen dem ersten und dem zweiten Analogsignal und/oder die Schwellwerte (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) so vorbestimmt sind, dass ein Flankenwechsel des ersten Digitalsignals (42; 42'') etwa bei einer halben Pulslänge des zweiten Digitalsignals (43; 43'') erfolgt und umgekehrt.
  4. Messvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass sie zum Durchführen einer Phasenkorrektur bezüglich des ersten und/oder des zweiten Digitalsignals beim Ermitteln des Wegsignals (49; 63; 67) ausgestaltet ist.
  5. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwellwerte (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) mindestens einen Schwellwertkorridor (SK12) begrenzen, und dass die Mittel (40, 41) bei einem Wechsel des ersten oder zweiten Analogsignals in den mindestens einen Schwellwertkorridor (SK12) hinein oder aus dem mindestens einen Schwellwertkorridor (SK12) heraus einen Wechsel des zuge ordneten ersten oder zweiten Digitalsignals von logisch "1" auf logisch "0" oder umgekehrt bewirken.
  6. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem ersten und dem zweiten Analogsignal jeweils individuelle Schwellwerte (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) zugeordnet sind.
  7. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwellwerte (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) symmetrisch zu einer Amplituden-Mittelachse (29) des ersten und/oder des zweiten Analogsignals sind.
  8. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwellwerte (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) so vorbestimmt sind, dass die Pulse des ersten und/oder des zweiten Digitalsignals im wesentlichen jeweils gleich lang sind.
  9. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste und/oder das zweite Analogsignal im wesentlichen symmetrisch zu ihren jeweiligen Wendepunkten sind.
  10. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (40, 41) zur Bildung der Analogsignale mindestens zwei Sensoren enthalten
  11. Messvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren und/oder von den Sensoren erfassbare, relativ zu den Sensoren bewegliche Orientierungsmittel (33) entsprechend dem Phasenversatz zwischen den Analogsignalen zueinander angeordnet sind.
  12. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Schwellwerte (S1, 52; S1', S2'; S21-S24) der Anzahl von Pulsen des ersten Digitalsignals (42; 42'') oder des zweiten Digitalsignals während einer Periode (P) des ersten oder zweiten Analogsignals entspricht.
  13. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie von einem Prozessor (52) ausführbaren Programmcode aufweist.
  14. Speichermittel (51) mit einer darauf gespeicherten Messvorrichtung (30) nach Anspruch 13.
  15. Sensoranordnung für eine Messvorrichtung zur inkrementellen Wegstreckenmessung mit einem Sensor (31) zum Ermitteln eines wegabhängigen Analogsignals (35; 35'; 35''), mit Mitteln (40, 41) zum Ermitteln eines von dem Analogsignal (35; 35') abhängigen ersten Digitalsignals (42; 42'') durch Vergleich des Analogsignals mit mindestens zwei Schwellwerten (S1, S2; S1', S2'; S21-S24), wobei das erste Digitalsignal (42; 42'') eine von einem Unterschreiten oder Überschreiten der Schwellwerte (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) durch das Analogsignal abhängige Pulsfolge ist, so dass die Messvorrichtung (30) anhand des ersten Digitalsignals (42; 42'') und an hand eines zweiten, zu dem ersten Digitalsignal (42; 42'') phasenversetzten, mittels eines zweiten Sensors (32) ermittelten Digitalsignal (43; 43'') ein wegabhängiges Wegsignal (49; 63; 67) bilden kann.
  16. Fluidtechnische Aktoranordnung, insbesondere Arbeitszylinder, mit mindestens einer Sensoranordnung nach Anspruch 15 und/oder mindestens einer Messvorrichtung (30) nach einem der Ansprüche 1 bis 14.
  17. Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung, mit den Schritten: – Erfassen eines wegabhängigen ersten Analogsignals (35; 35') und eines zu dem ersten Analogsignal (35; 35') phasenversetzten wegabhängigen zweiten Analogsignals (36; 36'; 36'') durch einen ersten und einen zweiten Sensor, und – Ermitteln eines von dem ersten Analogsignal abhängigen ersten Digitalsignals (42; 42'') und eines zu dem ersten Digitalsignal (42; 42'') phasenversetzten, von dem zweiten Analogsignal (36; 36'; 36'') abhängigen zweiten Digitalsignals (43; 43''), gekennzeichnet durch, – Vergleichen des ersten und des zweiten Analogsignals jeweils mit mindestens zwei Schwellwerten (S1, 52; S1', S2'; S21-S24), – Ermitteln des ersten und des zweiten Digitalsignals als digitale Pulsfolgen in Abhängigkeit davon, ob das jeweilige A nalogsignal (35; 35') die Schwellwerte (S1, S2; S1', S2'; S21-S24) unterschreitet oder überschreitet.
DE2003155918 2003-11-29 2003-11-29 Messvorrichtung und Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung Expired - Fee Related DE10355918B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003155918 DE10355918B4 (de) 2003-11-29 2003-11-29 Messvorrichtung und Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003155918 DE10355918B4 (de) 2003-11-29 2003-11-29 Messvorrichtung und Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10355918A1 true DE10355918A1 (de) 2005-06-30
DE10355918B4 DE10355918B4 (de) 2006-03-16

Family

ID=34625409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2003155918 Expired - Fee Related DE10355918B4 (de) 2003-11-29 2003-11-29 Messvorrichtung und Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10355918B4 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006036294A1 (de) * 2006-08-03 2008-02-07 Inter Control Hermann Köhler Elektrik GmbH & Co. KG Gasventil und Verfahren zur Ansteuerung eines Gasventils
WO2011134823A3 (de) * 2010-04-28 2012-01-19 Robert Bosch Gmbh Inkrementelles multipositions-erfassungssystem für ein umlaufendes elektromagnetisches transfersystem

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3838291C1 (de) * 1988-11-11 1990-02-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De
EP0104393B1 (de) * 1982-08-27 1990-07-11 Siemens Aktiengesellschaft Auswerteeinrichtung für einen digitalen Inkrementalgeber
DE3906777A1 (de) * 1989-03-03 1990-09-06 Krieg Gunther Verfahren zur messung eines drehwinkels und drehwinkelmesser
DE4420551A1 (de) * 1994-06-15 1995-12-21 Vdo Schindling Positionsgeber
DE4441194A1 (de) * 1994-11-18 1996-05-23 Helmut Dr Baader Drucksensor
DE19646391A1 (de) * 1995-12-08 1997-06-12 Zeiss Carl Fa Inkrementales Meßsystem mit Absolutmarken
DE3740544C2 (de) * 1987-11-30 1999-08-12 Neutron Mikroelektronik Gmbh Einrichtung zur Wandlung einer Weg- oder Winkelgröße in eine elektrische inkrementale oder digitale Größe
DE10014056A1 (de) * 1999-03-30 2000-10-19 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren und Schaltungsanordnung zur Korrektur von periodischen Signalen eines inkrementalen Positionsmessystems

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0104393B1 (de) * 1982-08-27 1990-07-11 Siemens Aktiengesellschaft Auswerteeinrichtung für einen digitalen Inkrementalgeber
DE3740544C2 (de) * 1987-11-30 1999-08-12 Neutron Mikroelektronik Gmbh Einrichtung zur Wandlung einer Weg- oder Winkelgröße in eine elektrische inkrementale oder digitale Größe
DE3838291C1 (de) * 1988-11-11 1990-02-22 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut, De
DE3906777A1 (de) * 1989-03-03 1990-09-06 Krieg Gunther Verfahren zur messung eines drehwinkels und drehwinkelmesser
DE4420551A1 (de) * 1994-06-15 1995-12-21 Vdo Schindling Positionsgeber
DE4441194A1 (de) * 1994-11-18 1996-05-23 Helmut Dr Baader Drucksensor
DE19646391A1 (de) * 1995-12-08 1997-06-12 Zeiss Carl Fa Inkrementales Meßsystem mit Absolutmarken
DE10014056A1 (de) * 1999-03-30 2000-10-19 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren und Schaltungsanordnung zur Korrektur von periodischen Signalen eines inkrementalen Positionsmessystems

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006036294A1 (de) * 2006-08-03 2008-02-07 Inter Control Hermann Köhler Elektrik GmbH & Co. KG Gasventil und Verfahren zur Ansteuerung eines Gasventils
WO2011134823A3 (de) * 2010-04-28 2012-01-19 Robert Bosch Gmbh Inkrementelles multipositions-erfassungssystem für ein umlaufendes elektromagnetisches transfersystem

Also Published As

Publication number Publication date
DE10355918B4 (de) 2006-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69903277T2 (de) Magnetische Positionsbestimmung mit Korrektur für nichtlineare Sensorbereiche
EP1826533B1 (de) Magnetischer Sensor
DE10013196B4 (de) Positionserfassungseinrichtung
EP2122303B1 (de) Anordnung und verfahren zur absolutbestimmung der linearposition oder der durch einen winkel ausgedrükten drehposition
DE19818799C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Winkeln
DE10037211B4 (de) Lenkradstellungssensor
DE10048911C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Absolutposition bei Weg- und Winkelgebern
EP1662232A1 (de) Linearer Positionssensor
DE19855358A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Ermittlung einer Wegstrecke
EP2159546A2 (de) Messverfahren zur berührungslosen Erfassung linearer Relativbewegungen zwischen einer Sensorenanordnung und einem Permanentmagneten
EP2304274A1 (de) Verfahren zum kalibrieren eines positionssensors in einem kraftfahrzeuggetriebe
EP2166312B2 (de) Magnetischer oder induktiver Wegsensor
EP0755503A1 (de) Messsystem für linear- oder angularbewegungen
DE102011078597A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Messung des absoluten Drehwinkels
EP2159549B1 (de) Vorrichtung zur Messung der Relativposition zwischen einer Massverkörperung und einem Lesekopf
DE102019129264A1 (de) Verfahren zur Funktionsüberwachung einer kapazitiven Druckmesszelle
DE4402319A1 (de) Bewegungsmeßsystem für eine Einrichtung mit zwei gegenseitig verschiebbaren Körpern
DE3208591A1 (de) Laengen- oder winkelmesssystem
EP1260787A1 (de) Winkelaufnehmer mit magnetoresistiven Sensorelementen
EP3663722A1 (de) Verfahren zur automatischen kalibrierung eines magnetischen sensors und magnetischer sensor
DE10355918B4 (de) Messvorrichtung und Verfahren zur inkrementellen Wegstreckenmessung
DE202008002844U1 (de) Programmierbarer Positionssensor
EP1674830A2 (de) Verfahren zur Verbesserung der Signalqualität von sinusförmigen Spursignalen
DE3208785A1 (de) Lagesensor
DE10123539B4 (de) Magnetische Längenmessvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: FESTO AG & CO. KG, 73734 ESSLINGEN, DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20130601