DE10334284B4 - Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran - Google Patents

Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran Download PDF

Info

Publication number
DE10334284B4
DE10334284B4 DE2003134284 DE10334284A DE10334284B4 DE 10334284 B4 DE10334284 B4 DE 10334284B4 DE 2003134284 DE2003134284 DE 2003134284 DE 10334284 A DE10334284 A DE 10334284A DE 10334284 B4 DE10334284 B4 DE 10334284B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
overload
chamber
diaphragm
hydraulic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE2003134284
Other languages
English (en)
Other versions
DE10334284A1 (de
Inventor
Dietfried Burczyk
Wolfgang Dannhauer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Endress and Hauser SE and Co KG
Original Assignee
Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress and Hauser SE and Co KG filed Critical Endress and Hauser SE and Co KG
Priority to DE2003134284 priority Critical patent/DE10334284B4/de
Priority to PCT/EP2004/007974 priority patent/WO2005012864A1/de
Publication of DE10334284A1 publication Critical patent/DE10334284A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10334284B4 publication Critical patent/DE10334284B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0618Overload protection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Differenzdruckaufnehmer, umfassend einen Hydraulikkörper (1), in dem eine Überlastkammer mit einer Überlastmembran (13) ausgebildet ist, welche die Überlastkammer in eine Hochdruckhalbkammer (20) und in eine Niederdruckhalbkammer (21) teilt, wobei die Hochdruckhalbkammer (20) mit einem ersten hydraulischen Pfad (8, 10) kommuniziert, der sich zwischen einem ersten Druckmittler und der Hochdruckseite einer Druckmeßzelle (12) erstreckt, und die Niederdruckhalbkammer (21) mit einem zweiten hydraulischen Pfad (9, 11) kommuniziert, der sich zwischen einem zweiten Druckmittler und der Niederdruckseite der Druckmeßzelle erstreckt, dadurch gekennzeichnet, daß die hydraulische Kapazität der Überlastmembran (13) gegen hochdruckseitige Überlasten geringer ist als die hydraulische Kapazität der Überlastmembran gegen niederdruckseitige Überlasten, wobei die Überlastmembran eine mittengefesselte Ringmembran ist, und wobei die Überlastmembran eine asymmetrische Abstützung gegen Auslenkung durch zentrale Abstützungsflächen in ihrem Mittenbereich erfährt, wobei der Radius der zentralen Abstützungsfläche in der Niederdruckhalbkammer größer ist als der Radius der zentralen Abstützungsfläche in der Hochdruckhalbkammer.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft Differenzdruckaufnehmer mit hydraulischer Druckübertragung zur Meßzelle mittels einer Übertragungsflüssigkeit, insbesondere solche Differenzdruckaufnehmer mit einer zentralen Überlastmembran. Ein derartiger Differenzdruckaufnehmer ist beispielsweise in der Offenlegungsschrift DE 196 08 321 A1 offenbart. Differenzdruckaufnehmer weisen einen Hydraulikkörper auf, in dem eine Überlastkammer mit einer Überlastmembran ausgebildet ist, welche die Überlastkammer in eine Hochdruckhalbkammer und in eine Niederdruckhalbkammer teilt, wobei die Hochdruckhalbkammer mit einem ersten hydraulischen Pfad kommuniziert, der sich zwischen einem ersten Druckmittler mit einer Trennmembran über einem Membranbett und der Hochdruckseite einer Druckmeßzelle erstreckt, und die Niederdruckhalbkammer mit einem zweiten hydraulischen Pfad kommuniziert, der sich zwischen einem zweiten Druckmittler mit einer Trennmembran über einem Membranbett und der Niederdruckseite einer Druckmeßzelle erstreckt.
  • Bei großen Überlasten wird die Übertragungsflüssigkeit vollständig aus dem Druckmittler herausgedrückt, und die Trennmemban liegt an dem Membranbett an. Die bei Überlastdruck in den betreffenden hydraulischen Pfad verschobene Übertragungsflüssigkeit führt zu einer Auslenkung der Überlastmembran, um das zusätzliche Volumen aufzunehmen und den Überlastdruck abzubauen.
  • Die Federsteifigkeit der Überlastmembran richtet sich nach dem Temperatureinsatzbereich, dem möglichen Systemdruck, dem Volumen der hydraulischen Übertragungsflüssigkeit und dem Überlastfaktor des Meßelementes. Je größer der Überlastfaktor des Meßelementes ist, desto steifer kann die Überlastmembran ausgeführt werden. Je steifer die Überlastmembran ist, desto schneller reagiert die Meßzelle auf Druckschwankungen, d. h. die Zeile reagiert dann schneller auf Druckschwankungen. Das ist besonders bedeutend bei Sensoren mit Druckmittleranbauten, die über eine lange Kapillarleitung mit dem Sensor verbunden sind. Die lange Kapillarleitung hat einen großen hydraulischen Widerstand und bildet mit der Überlastmembran ein RC-Glied, wobei eine großes Kapazität C, d. h. eine weiche Überlastmembran, zu großen Zeitkonstanten bzw. langen Ansprechzeiten führen kann.
  • Die Federsteifigkeit der Überlastmembran ist im allgemeinen symmetrisch in HP- und LP-Richtung. Der Überlastfaktor des Meßelementes ist zwischen HP- und LP-Belastung deutlich unterschiedlich. Die Auslegung der symmetrischen Überlastmembran richtet sich nach dem niedrigeren Berstwert des Meßelementes, was die hochdruckseitige Zeitkonstante des Differenzdruckaufnehmers unnötig vergrößert.
  • Das Patent US 4,285,244 A offenbart einen Differenzdruckaufnehmer mit einer Überlastmembran, zum Schutz eines Wandlerelements. Die Überlastmembran ist beidseitig durch mit Tellerfedern vorgespannte Scheiben abgestützt, wobei sich die Scheiben jeweils bis zum Rand eines in Richtung der Scheibe auslenkbaren Bereichs erstrecken, und wobei diese Bereiche unterschiedliche Durchmesser aufweisen, so dass die Auslenkbarkeit der Überlastmembran an die richtungsabhängige Überlastfestigkeit des Wandlerelements angepasst ist.
  • Das Patent US 4,766,769 A offenbart einen Differenzdruckaufnehmer mit einer Überlastmembran, zum Schutz eines Wandlerelements. Die Überlastmembran steuert ein Ventil, welches bei einer gewissen Auslenkung der Überlastmembran zur Niederdruckseite den Abfluss von Übertragungsflüssigkeit zur Niederdruckseite unterbrochen ist. Auf diese Weise wird das Wandlerelement durch die verbleibende Übertragungsflüssigkeit niederdruckseitig abgestützt, so dass eine weitere Auslenkung verhindert wird. Durch eine Versteifungsplatte, die an der Überlastmembran befestigt wird, kann die Steifigkeit kontrolliert an höhere Differenzdruckmessbereiche angepasst werden.
  • Die beschriebenen Überlastmechanismen weisen komplexe Konstruktionen zur Kontrolle der Steifigkeit der Überlastmembran auf.
  • Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, einen Differenzdruckaufnehmer bereitzustellen, der die beschriebenen Nachteile überwindet.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Druckaufnehmer gemäß des unabhängigen Patentanspruchs 1.
  • Hierbei wird die Überlastmembran auf die unsymmetrischen Berstwerte des Meßelementes optimal eingestellt, d. h. die maximale Federsteifigkeit der Überlastmembran und somit eine minimale hydraulische Kapazität der Überlastmembran wird richtungsabhängig gewährleistet.
  • Der erfindungsgemäße Differenzdruckaufnehmer weist einen Hydraulikkörper auf, in dem eine Überlastkammer mit einer Überlastmembran ausgebildet ist, welche die Überlastkammer in eine Hochdruckhalbkammer und in eine Niederdruckhalbkammer teilt, wobei die Hochdruckhalbkammer mit einem ersten hydraulischen Pfad kommuniziert, der sich zwischen einem ersten Druckmittler und der Hochdruckseite einer Druckmeßzelle erstreckt, und die Niederdruckhalbkammer mit einem zweiten hydraulischen Pfad kommuniziert, der sich zwischen einem zweiten Druckmittler und der Niederdruckseite einer Druckmeßzelle erstreckt, wobei die hydraulische Kapazität der Überlastmembran gegen hochdruckseitige Überlasten geringer ist als die hydraulische Kapazität der Überlastmembran gegen niederdruckseitige überlasten,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Überlastmembran eine mittengefesselte Ringmembran ist, und wobei die Überlastmembran eine asymmetrische Abstützung gegen Auslenkung durch zentrale Abstützungsflächen in Ihrem Mittenbereich erfährt, wobei der Radius der zentralen Abstützungsfläche in der Niederdruckhalbkammer größer ist als der Radius der zentralen Abstützungsfläche in der Hochdruckhalbkammer.
  • Die hydraulische Kapazität C der Überlastmembran ist die Volumenaufnahme dV bei einer Druckänderung dp: C = dV/dP
  • Mit anderen Worten weist die Überlastmembran eine asymmetrische Steifigkeit gegen hochdruckseitige und niederdruckseitige Überlasten auf.
  • Bei der Definition der Kapazität der Trennmembran sollen hydraulische Kompressibilitäten des Übertragungsmediums und die Volumina der Überlastkammern unberücksichtigt bleiben Nach einem Gesichtspunkt der Erfindung kann die Überlastmembran eine zur Niederdruckkammer auslenkbare Fläche aufweisen die kleiner ist als die zur Hochdruckkammer auslenkbare Fläche.
  • In einer Ausgestaltung weist die Überlastmembran eine asymmetrische Einspannung auf, wobei der Einspannradius in der Niederdruckhalbkammer geringer ist als der Einspannradius in der Hochdruckhalbkammer. Diese Ausgestaltung ist sowohl für Kreismembranen als auch für den äußeren Einspannradius einer mittengefesselten Ringmembranen anwendbar. Da die Überlastmembran erfindungsgemäß eine mittengefesselte Ringmembran ist, ist der innere Einspannradius in der Niederdruckhalbkammer größer als der innere Einspannradius in der Hochdruckhalbkammer. Selbstverständlich sind diese Maßnahmen miteinander kombinierbar.
  • Der Begriff Einspannradius ist im vorliegenden Zusammenhang folgendermaßen gebraucht. Die Überlastmembran ist entlang ihres Randes mit dem Hydraulikkörper oder dessen Teilen druckdicht verbunden, insbesondere verschweißt. Darüber hinaus erfährt die Überlastmembran in ihrem Randbereich eine flächige Abstützungen gegen Auslenkung durch ringförmige Abstützungsflächen, die sich vom Außenrand radial einwärts und bei einer mittengefesselten Überlastmembran zusätzlich vom Innenrand radial auswärts erstrecken. Der Einspannradius jener Radius, bis zu dem eine Abstützungsfläche die Überlastmembran von deren Rand her gegen Auslenkungen axial abstützt.
  • Erfindungsgemäß weist die Niederdruckhalbkammer mindestens eine Abstützung in einem zentralen Bereich einer kreisförmigen Überlastmembran auf. Die Abstützung bewirkt, daß die Überlastmembran gegenüber hochdruckseitigen Überlasten das Verhalten einer mittengefesselten Membran zeigt. Die Abstützung kann punktuell oder über ein flächig ausgedehntes Element erfolgen. Gleichermaßen kann für mittengefesselte Ringmembranen mindestens eine durchgehende oder unterbrochene ringförmige Abstützung in der Niederdruckkammer vorgesehen sein.
  • Ein Druckmittler im Sinne der Erfindung umfaßt beispielsweise einen Druckmittlerkörper welcher ein Membranbett aufweist, über dem eine mit einem Meßdruck beaufschlagbare Trennmembran befestigt ist, wobei zwischen der Trennmembran und dem Druckmittlerkörper eine Druckammer ausgebildet ist, welche mit einem hydraulischen Pfad kommuniziert über den eine Druckmeßzelle mit dem in der Druckkammer vorherrschenden Druck beaufschlagbar ist. Der Druckmittlerkörper kann in den Hydraulikkörper integriert oder von diesem getrennt angeordnet sein.
  • Im Nenndruckbereich des Druckaufnehmers wird die Trennmembran druckabhängig ausgelenkt, ohne an dem Membranbett anzuliegen. Bei großen Überlasten wird die Übertragungsflüssigkeit vollständig aus der Druckkammer herausgedrückt, und die Trennmemban liegt an dem Membranbett an. Ein weiterer Druckanstieg in dem jeweiligen hydraulischen Pfad ist somit ausgeschlossen.
  • Weitere Einzelheiten ergeben sich aus dem in der Zeichnung dargestellten Differenzdruckaufnehmer mit asymmetrischer Überlastmembran
  • 1. eine Schnittzeichnung durch einen Differenzdruckaufnehmer mit asymmetrischer Überlastmembran.
  • Der in 1 gezeigte Differenzdruckaufnehmer umfaßt einen im wesentlichen zylindrischen Hydraulikkörper 1 welcher einen ersten Halbkörper 2 und einen zweiten Halbkörper 3 aufweist. Die Halbkörper weisen jeweils an einer Stirnfläche ein Membranbett 18, 19 auf, über dem eine Trennmembran 4, 5 befestigt ist. Zwischen den Trennmembranen und den Membranbetten ist jeweils eine Druckkammer 16, 17 ausgebildet, von der sich jeweils ein Druckkanal 8, 9 in das Innere des Hydraulikkörpers 1 erstreckt. Im einzelnen erstreckt sich ein erster Druckkanal 8 von der ersten Druckkammer 16 zu einer Hochdruckhalbkammer 20, die in der von der ersten Druckkammer 16 abgewandten Stirnfläche des ersten Halbkörpers 2 ausgebildet ist, und ein zweiter Druckkanal 9 von der zweiten Druckkammer 17 zu einer Niederdruckhalbkammer 21, die in der von der zweiten Druckkammer 17 abgewandten Stirnfläche des zweiten Halbkörpers 3 ausgebildet ist. Von der Hochdruckhalbkammer 20 zweigt ein erster Kanal 10 ab, über den die Hochdruckseite einer Differerzdruckmeßzelle 12 mit dem in der Hochdruckhalbkammer 20 herrschenden Druck beaufschlagt wird. Gleichermaßen erstreckt sich von der Niederdruckhalbkammer ein zweiter Kanal 11 zur Niederdruckseite der Differenzdruckmeßzelle 12.
  • Die Differenzdruckmeßzelle kann jede geeignete Differenzdruckmeßzelle sein, die dem Fachmann geläufig ist. Auf den Typ der Meßzelle kommt es im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung nicht an. Im Ausführungsbeispiel umfaßt die Differenzdruckmeßzelle 12 eine Halbleitermembran mit einem flexiblen Bereich in einer Stärke von beispielseise 30 μm und integrierten piezoresistiven Widerstandselementen. Die Halbleitermembran weist einen ringförmigen Randbereich auf, der auf der Niederdruckseite erheblich stärker ist als 30 μm, beispielsweise einige 100 μm. Mit dem niederdruckseitigen Randbereich ist die Membran auf einem Gegenkörper entlang einer Fügestelle druckdicht befestigt. Bei einer Drucküberlast auf die Hochdruckseite der Halbleitermembran wird der Randbereich der Membran daher gegen den Gegenkörper gedrückt. Es besteht kaum eine Gefahr daß die Fügestelle versagen könnte. Wenn umgekehrt eine Drucküberlast auf die Niederdruckseite der Halbleitermembran wirkt, treten Zugkräfte in der Fügestelle und ggf. Kerbspannungen zwischen dem niederdruckseitigen Randbereich und dem flexiblen Bereich der Halbleitermembran auf. Es ist daher eine eine geringere Überlastfestigkeit der Differenzdruckmeßzelle gegen niederdruckseitige Überlasten gegeben. Dies ist bei der Konstruktion einer Überlastkammer, welche die Hochdruckhalbkammer 20 und die Niederdruckhalbkammer 21 sowie eine Überlastmembran 13 umfaßt, berücksichtigt.
  • Die Hochdruckhalbkammer 20 und die Niederdruckhalbkammer 21 sind in radialer Richtung jeweils durch die innere Mantelfläche eines ringförmig umlaufenden axialen Vorsprungs begrenzt, deren Stirnfläche als Überlastmembranabstützung 14 bzw. 15 dient. Die beiden Halbkörper 2, 3 sind jeweils entlang ihres äußeren Umfangs im Bereich der Überlastmembranabstützungen mit einer umlaufenden Schweißnaht mit der Überlastmembran 13 druckdicht verbunden. Die Überlastmembranabstützungen 14, 15 erstrecken sich jeweils vom Umfang des betreffenden Halbkörpers 2, 3 radial einwärts, wobei die hochdruckseitige Überlastmembranabstützungen 14 einen größeren Innenradius aufweist, als die niederdruckseitige Überlastmembranabstützung 15. Mit anderen Worten ist die Fläche der Überlastmembranabstützung auf der Hochdruckseite kleiner als die auf der Niederdruckseite. Dies führt im Ergebnis dazu, daß die Überlastmembran gegenüber Drucküberlasten von der Hochdruckseite eine geringere Hydraulische Kapazität aufweist als gegenüber Drucküberlasten von der Niederdruckseite, bzw. dazu daß die Überlastmembran gegenüber hochdruckseitigen Druckschwankungen steifer ist als gegenüber niederdruckseitigen Druckschwankungen. Die Überlastmembran 13 kann damit frühzeitig auf niederdruckseitige Überlasten reagieren, ohne die Dynamik des Differenzdruckaufnehmers bei der Detektion von schnellen hochdruckseitigen Druckschwankungen zu beeinträchtigen.

Claims (7)

  1. Differenzdruckaufnehmer, umfassend einen Hydraulikkörper (1), in dem eine Überlastkammer mit einer Überlastmembran (13) ausgebildet ist, welche die Überlastkammer in eine Hochdruckhalbkammer (20) und in eine Niederdruckhalbkammer (21) teilt, wobei die Hochdruckhalbkammer (20) mit einem ersten hydraulischen Pfad (8, 10) kommuniziert, der sich zwischen einem ersten Druckmittler und der Hochdruckseite einer Druckmeßzelle (12) erstreckt, und die Niederdruckhalbkammer (21) mit einem zweiten hydraulischen Pfad (9, 11) kommuniziert, der sich zwischen einem zweiten Druckmittler und der Niederdruckseite der Druckmeßzelle erstreckt, dadurch gekennzeichnet, daß die hydraulische Kapazität der Überlastmembran (13) gegen hochdruckseitige Überlasten geringer ist als die hydraulische Kapazität der Überlastmembran gegen niederdruckseitige Überlasten, wobei die Überlastmembran eine mittengefesselte Ringmembran ist, und wobei die Überlastmembran eine asymmetrische Abstützung gegen Auslenkung durch zentrale Abstützungsflächen in ihrem Mittenbereich erfährt, wobei der Radius der zentralen Abstützungsfläche in der Niederdruckhalbkammer größer ist als der Radius der zentralen Abstützungsfläche in der Hochdruckhalbkammer.
  2. Differenzdruckaufnehmer nach Anspruch 1 wobei die Überlastmembran (13) eine zur Niederdruckkammer (21) auslenkbare Fläche aufweist die kleiner ist als die zur Hochdruckkammer (20) auslenkbare Fläche.
  3. Differenzdruckaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Überlastmembran (13) eine asymmetrische Abstützung gegen Auslenkung durch ringförmige Abstützungsflächen (14, 15) in ihrem Randbereich erfährt, wobei der Innenradius der Abstützungsfläche (15) in der Niederdruckhalbkammer (21) geringer ist als der Innenradius der Abstützungsfläche (14) in der Hochdruckhalbkammer (20).
  4. Differenzdruckaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Niederdruckhalbkammer eine Abstützung gegen Auslenkung der Trennmembran in einem zentralen Bereich aufweist, und wobei die Hochdruckkammer keine solche Abstützung aufweist.
  5. Differenzdruckaufnehmer nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der erste und der zweite Druckmittler einen Druckmittlerkörper umfassen welcher ein Membranbett (18, 19) aufweist, über dem eine mit einem Meßdruck beaufschlagbare Trennmembran (4, 5) befestigt ist, wobei zwischen der Trennmembran (4, 5) und dem Druckmittlerkörper eine Druckammer (16, 17) ausgebildet ist, welche mit einem hydraulischen Pfad (8, 10, 9, 11) kommuniziert, über den eine Druckmeßzelle (12) mit dem in der Druckkammer (16, 17) vorherrschenden Druck beaufschlagbar ist.
  6. Differenzdruckaufnehmer nach Anspruch 5, wobei die Druckmittlerkörper des ersten und des zweiten Druckmittlers einstückig mit dem Hydraulikkörper (1) ausgebildet sind.
  7. Differenzdruckaufnehmer nach Anspruch 5, wobei die Druckmittlerkörper des ersten und des zweiten Druckmittlers getrennt von dem Hydraulikkörper angeordnet und mit diesem über Druckleitungen verbunden sind.
DE2003134284 2003-07-25 2003-07-25 Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran Expired - Fee Related DE10334284B4 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003134284 DE10334284B4 (de) 2003-07-25 2003-07-25 Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran
PCT/EP2004/007974 WO2005012864A1 (de) 2003-07-25 2004-07-16 Differenzdruckaufnehmer mit überlastmembran

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2003134284 DE10334284B4 (de) 2003-07-25 2003-07-25 Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10334284A1 DE10334284A1 (de) 2005-02-17
DE10334284B4 true DE10334284B4 (de) 2013-04-18

Family

ID=34071946

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2003134284 Expired - Fee Related DE10334284B4 (de) 2003-07-25 2003-07-25 Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE10334284B4 (de)
WO (1) WO2005012864A1 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102014104831A1 (de) * 2014-04-04 2015-10-08 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdrucksensor
DE102014212765A1 (de) * 2014-07-02 2015-01-29 Siemens Aktiengesellschaft Differenzdruckmessumformer mit einem Überlastschutzsystem
DE102018121446A1 (de) * 2018-09-03 2020-03-05 Endress+Hauser SE+Co. KG Differenzdruck-Messaufnehmer
CN117330235B (zh) * 2023-10-24 2024-05-31 核电运行研究(上海)有限公司 高静压纳米薄膜电阻应变式差压传感器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4285244A (en) * 1980-02-13 1981-08-25 Honeywell Inc. Non-symmetrical overload protection device for differential pressure transmitter
DE8233072U1 (de) * 1982-11-25 1984-07-19 Schoppe & Faeser Gmbh, 4950 Minden Messkapsel fuer einen differenzdruck-messumformer
DE3047276C2 (de) * 1979-12-19 1985-09-19 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo Differenzdruckmesser
US4766769A (en) * 1985-06-05 1988-08-30 The Foxboro Company Differential-pressure measuring apparatus with improved arrangement for coupling pressures to a semiconductor sensor
JPH05248978A (ja) * 1992-03-05 1993-09-28 Yokogawa Electric Corp 差圧測定装置
DE19608321A1 (de) * 1996-02-22 1997-08-28 Hartmann & Braun Ag Differenzdruckmeßumformereinheit mit einem Überlastschutzsystem
DE10052053A1 (de) * 2000-10-19 2002-04-25 Endress Hauser Gmbh Co Druckmeßzelle

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3047276C2 (de) * 1979-12-19 1985-09-19 Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo Differenzdruckmesser
US4285244A (en) * 1980-02-13 1981-08-25 Honeywell Inc. Non-symmetrical overload protection device for differential pressure transmitter
DE8233072U1 (de) * 1982-11-25 1984-07-19 Schoppe & Faeser Gmbh, 4950 Minden Messkapsel fuer einen differenzdruck-messumformer
US4766769A (en) * 1985-06-05 1988-08-30 The Foxboro Company Differential-pressure measuring apparatus with improved arrangement for coupling pressures to a semiconductor sensor
JPH05248978A (ja) * 1992-03-05 1993-09-28 Yokogawa Electric Corp 差圧測定装置
DE19608321A1 (de) * 1996-02-22 1997-08-28 Hartmann & Braun Ag Differenzdruckmeßumformereinheit mit einem Überlastschutzsystem
DE10052053A1 (de) * 2000-10-19 2002-04-25 Endress Hauser Gmbh Co Druckmeßzelle

Also Published As

Publication number Publication date
WO2005012864A1 (de) 2005-02-10
DE10334284A1 (de) 2005-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1714126B1 (de) Differenzdruckaufnehmer mit überlastmembran
EP1733199B1 (de) Differenzdruckaufnehmer mit dynamischem überlastschutz
DE2727244C2 (de) Gummifeder mit Flüssigkeitsfüllung
EP2612125B1 (de) Drucksensor mit piezoresistivem sensorchip-element
EP2516979B1 (de) Überlastsicherer, drucksensor, insbesondere differenzdrucksensor
EP1867900B1 (de) Trennelement
EP3314228B1 (de) Druckübertragungsmodul und druckmessaufnehmer mit einem druckübertragungsmodul
DE102008033337A1 (de) Druckmittler und Druckmessgerät mit einem solchen Druckmittler
EP1889022B1 (de) Hydraulischer druckmittler
EP3126805B1 (de) Differenzdrucksensor
EP1741843A2 (de) Systemtrenner
DE4110258A1 (de) Elastomere halterung sowie aufhaengung mit einer solchen halterung
WO2016074867A1 (de) Dämpfventil für einen schwingungsdämpfer
DE10334284B4 (de) Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran
EP0115074B1 (de) Druckdifferenz-Messeinrichtung
WO2012055605A2 (de) Druckmesswandler
DE19620971A1 (de) Hydrolager
WO2002063266A1 (de) Differenzdrucksensor mit überlastsicherung
DE10162044B4 (de) Druckmessaufnehmer
DE9319810U1 (de) Rückschlagventil für Infusionsgeräte
DE2429124C3 (de) Differenzdruck-Meßgerät
WO2017182213A1 (de) Differenzdruckmesszelle
DE202004009330U1 (de) Drucksensor für abrasive Medien
DE102004047419B4 (de) Druckmittler und Drucksensor mit Druckmittler
DD290716A5 (de) Ueberlastschutzvorrichtung fuer differenzdruckmessumformer

Legal Events

Date Code Title Description
OR8 Request for search as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8105 Search report available
8110 Request for examination paragraph 44
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final

Effective date: 20130719

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee