DE10322927A1

DE10322927A1 - Getter für eine Vakuumschaltkammer und Verfahren zum Befestigen des Getters vakuumseitig

Info

Publication number: DE10322927A1
Application number: DE2003122927
Authority: DE
Inventors: Dietmar Dipl.-Ing. Gentsch
Original assignee: ABB Patent GmbH
Current assignee: ABB AG Germany
Priority date: 2003-05-21
Filing date: 2003-05-21
Publication date: 2004-12-16
Also published as: DE20321632U1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumschaltkammer mit einer Kontaktstelle, die aus einem an einem beweglichen Kontaktträger befestigten beweglichen Kontaktstück und aus einem an einem feststehenden Kontaktträger (10) befestigten feststehenden Kontaktstück (12) gebildet ist, ausgestattet und mit Gettermaterial zur Aufrechterhaltung des Vakuums. Das Gettermaterial weist die Form einer Tablette (15, 18) oder eines Rings auf und ist in eine Bohrung (14, 17) am feststehenden und/oder beweglichen Kontaktträger (10) eingesetzt und darin fixiert.

Description

Die Erfindung betrifft einen Getter gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 und ein Verfahren zum Befestigen des Getters.
Zum Halten eines Vakuums in einem geschlossenen System über einen langen Zeitraum werden in der Regel Getter eingesetzt, die dazu dienen, Gase, die ins Vakuum der Kammer durch Permeation, beispielsweise durch den Faltenbalg gelangen, oder durch Diffusion aus den innerhalb der Kammer befindlichen Komponenten ausgasen, zu gettern d.h. zu binden, wobei nur sogenannte Aktivgase, nicht aber Edelgase vom Getter aufgenommen werden können.
In Vakuumschaltkammern oder Vakuumgefäßen werden in der Regel Streifen aus Gettermaterial verwendet, die ein- bzw. zweiseitig mit Gettermaterial beschichtet sind. Erprobte Getterwerkstoffe sind: Zirkon-Aluminium, Titan, Molybdän-Titan, Zirkon-Titan, Zirkon-Aluminium-Titan, Zirkon-Titan-Eisen-Vanadium u.a.
Um zu vermeiden, dass während eines Schaltvorgangs entstehende Metalldämpfe sich auf der Innenfläche des Isolierkörpers der Vakuumschaltkammer niederschlagen, ist die Kontaktstelle, also das bewegliche Kontaktstück und das feste Kontaktstück, von einem Schirm umgeben, der beispielsweise aus Kupfer hergestellt sein kann.

Aus der EP 0 955 655 A1 ist bekannt, einen bandförmigen, geschlossenen Getterring außenseitig am Schirm anzubringen und an mindestens einer Befestigungsstelle mechanisch durch Verformung des Schirms oder mittels Schweißen dauerhaft zu befestigen. Die EP 0 955 655 A1 beschreibt eine Reihe von Befestigungsmöglichkeiten sowie ein Verfahren, wie ein solcher Getterring auf die Außenfläche des Schirms aufgebracht werden kann.

Eine weitere Möglichkeit der Befestigung eines Getterstreifens ist das Einlegen des Getters in eine vorgefertigte Nut in einer Kupferschirmung, wobei die beiden sich überlappenden Enden z. B. durch Punktschweißen miteinander verbunden sind, so dass ein geschlossener Getterring entsteht.

Das Anbringen eines Getterrings ist dabei mit mehreren Arbeitsschritten verbunden.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Montage einer Vakuumschaltkammer und insbesondere die Montage des Getters zu vereinfachen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruches 1 gelöst.

Erfindungsgemäß also besitzt das Gettermaterial die Form einer Tablette oder eines Ringes, die bzw. der in eine Einsenkung am beweglichen und locker feststehenden Kontaktträger eingesetzt und darin fixiert ist.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Verbesserungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Anhand der Zeichnung in der zwei Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt sind, sollen die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Verbesserungen der Erfindung und weitere Vorteile näher erläutert und beschrieben werden.
Es zeigen:
1 eine Teilschnittansicht durch einen Kontaktträger für das feststehende Kontaktstück in einer ersten Ausführungsform und
2 die Anordnung eines Getters in einer zweiten Ausführungsform.
Eine Vakuumschaltkammer besitzt ein feststehendes und ein bewegliches Kontaktstück, die jeweils an einem feststehenden bzw. beweglichen Kontaktträger bzw. Kontaktstengel angebracht sind. Der feststehende Kontaktträger ist durch einen Deckel an der Vakuumschaltkammer vakuumdicht hindurchgeführt, wogegen der bewegliche Kontaktträger durch einen Deckel unter Zwischenfügung eines Faltenbalges hindurchgeführt ist. Zwischen den beiden Deckeln befindet sich ein Isolierkörper, vorzugsweise aus Keramik.
Damit sich während eines Schaltvorganges Metalldämpfe nicht auf der Innenfläche des Isolierrohres niederschlagen können, ist die Kontaktstelle von einem Schirm umgeben.
Diese grundsätzliche Anordnung einer Vakuumschaltkammer ist an sich bekannt und für die Erfindung nicht von Bedeutung.
Die 1 zeigt nun einen feststehenden Kontaktträger 10, der einen verbreiterten Fuß 11 aufweist, an dessen freier Stirnseite ein Kontaktstück 12, strichliert gezeichnet, befestigt ist. Der Kontaktträger 10 besitzt in seinem zylinderförmigen Bereich 13 eine Bohrung 14, in die eine kreisförmige Tablette 15 aus Gettermaterial eingesetzt ist; die Fixierung der Gettertablette 15 erfolgt durch Verstemmen oder Verformen des Randes 16. Als Materialien können die eingangs aufgeführten Getterwerkstoffe Verwendung finden. Anstatt einer Tablette kann auch ein Ring eingesetzt und benutzt werden.
Die 2 zeigt eine andere Befestigungsstelle am Kontaktträger 10; dort wird auf der Rückseite des Fußes 11 eine Bohrung 17 eingebracht, in die eine Gettertablette 18 oder auch ein Getterring eingesetzt ist. Auch hier wird die Fixierung dadurch bewirkt, dass der Rand 16 verstemmt wird.

Claims

Vakuumschaltkammer mit einer Kontaktstelle, die aus einem an einem beweglichen Kontaktträger befestigten beweglichen Kontaktstück und aus einem an einem feststehenden Kontaktträger (10) befestigten feststehenden Kontaktstück (12) gebildet ist, und mit Gettermaterial zur Aufrechterhaltung des Vakuums, dadurch gekennzeichnet, dass das Gettermaterial die Form einer Tablette (15, 18) oder eines Rings aufweist und in eine Einsenkung, vorzugsweise Bohrung (14, 17) am feststehenden und/oder beweglichen Kontaktträger (10) eingesetzt und darin fixiert ist.
Vakuumschaltkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Gettermaterial in eine Bohrung im zylindrischen Bereich (13) des Kontaktträgers (10) eingesetzt ist.
Vakuumschaltkammer nach Anspruch 1, mit einem das Kontaktstück (12) tragenden Kontaktträger (10), der einen verbreiterten Auflagefuß (11) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass auf der -bezogen auf das Kontaktstück (12)- Rückseite des Auflagefußes (11) eine Bohrung (17) vorgesehen ist, in die die Tablette (18) oder der Ring eingesetzt und darin fixiert ist.