DE10320531A1 - Arrangement for producing quartz glass rollers comprises a burner which moves between two reversing points according to a path-time law on a spatial curve - Google Patents

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Abstract

Arrangement for producing quartz glass rollers comprises a burner (12) which moves between two reversing points (121, 122) according to a path-time law on a spatial curve so that during this movement the burner opening (17) is located always at the same distance from the cap (16) of the roller (14) and the burner axis is always directed toward the middle point of the cap.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Aufschmelzen von Quarzglaswalzen gemäß der Gattung der Patentansprüche.The The invention relates to an arrangement for melting quartz glass rolls according to the genus of claims.

Eine Grundforderung für bestmögliche optische Homogenität über den Querschnitt geschmolzener Walzen ist die Konstanz des in ihnen enthaltenen Si-OH, des physikalisch gelösten molekularen Wasserstoffs H2, der eingebauten UV-relevanten Strukturdefekte und der Glasstruktur (Dichte). Damit diese Parameter optimal erreicht werden, müssen die Temperatur auf der Reaktionsfläche (Walzenkappe) möglichst ausgeglichen sein, gleiche Partikelflugzeiten über die gesamte Reaktionsfläche erreicht werden und die Strömungsverhältnisse der Partikel und Gase in Staupunktnähe ebenfalls gleichbleibend sein. Die gemäß dem Stand der Technik angewandten Schmelzverfahren mit dem üblichen "Brennerrocking" gegenüber der Walzenkappe zeigen ohne eine mögliche zusätzliche Wärmequelle einen Temperaturgradienten von der Walzenkappenmitte zum Walzenkappenrand von 300 bis 400 K. Die Ursachen für diesen Temperaturgradienten liegen darin begründet, dass

  • – die Brennerflamme (Mittentemperatur ca. 2300°C) selbst eine gaußförmige Temperaturverteilung hat, welche sich bei stehendem Brenner auf die Glasoberfläche überträgt.
  • – der Verfahrbereich der Flamme deutlich vor dem Kappenrand enden muss, um Ansätze bzw. Verglasungen der Muffel zu vermeiden,
  • – die Kappenoberfläche zumindest am Rand zunehmend gekrümmt ist und die Flamme demzufolge zunehmend streifend auf die Kappenoberfläche auftrifft,
  • – das Verhältnis Oberfläche/Volumen sich am Kappenrand vergrößert,
  • – am Kappenrand durch die deutlich kältere Muffelwand Wärme entzogen wird.
A basic requirement for the best possible optical homogeneity across the cross-section of molten rolls is the constancy of the Si-OH contained in them, the physically dissolved molecular hydrogen H 2 , the built-in UV-relevant structural defects and the glass structure (density). In order for these parameters to be optimally achieved, the temperature on the reaction surface (roller cap) must be as balanced as possible, the same particle flight times must be achieved over the entire reaction surface and the flow conditions of the particles and gases near the stagnation point must also be constant. The melting processes used according to the prior art with the usual "burner rocking" compared to the roller cap show a temperature gradient from the center of the roller cap to the edge of the roller cap of 300 to 400 K without a possible additional heat source. The reasons for this temperature gradient lie in the fact that
  • - The burner flame (mean temperature approx. 2300 ° C) itself has a Gaussian temperature distribution, which is transferred to the glass surface when the burner is stopped.
  • - The travel range of the flame must end clearly in front of the edge of the cap in order to avoid deposits or glazing of the muffle,
  • The cap surface is increasingly curved at least at the edge and the flame consequently strikes the cap surface with increasing grazing,
  • - the surface / volume ratio increases at the edge of the cap,
  • - Heat is extracted at the edge of the cap through the significantly colder muffle wall.

Einem Ausgleich durch längere Verweilzeiten des Brenners am Kappenrand sind Grenzen gesetzt, weil dann der Partikelauftrag in der Walzenmitte so gering wird, dass ein Loch entsteht, und unerwünscht große periodische Temperaturschwankungen auf der Kappe entstehen.a Compensation through longer There are limits to the burner's residence times at the edge of the cap because then the particle application in the middle of the roller becomes so low that a hole arises, and undesirable size periodic temperature fluctuations occur on the cap.

Letztere stellen eine Gefahr für die Homogenität dar und begünstigen die Entstehung periodischer Schlieren in der Quarzglaswalze.Latter pose a danger to the homogeneity and favor the formation of periodic streaks in the quartz glass roller.

Darüber hinaus treten beim Umkehren der Brennerbewegung über der Walzenmitte gemäß dem Stand der Technik ringförmige Brechzahlinhomogenitäten auf, die die Verwendung der Quarzglaswalzen zur Herstellung von Projektionsoptiken für lithografische Objektive beeinträchtigt oder verhindert.Furthermore occur when the burner movement is reversed above the center of the roll according to the status technology ring-shaped Brechzahlinhomogenitäten on the use of quartz glass rollers to manufacture Projection optics for lithographic lenses impaired or prevented.

Die Erhöhung des Abstandes zwischen der Brennermündung und der Kappenoberfläche, die gemäß dem Stand der Technik bei der Brennerbewegung stattfindet, führt zu unterschiedlichen Partikelflugzeiten, zu Strömungsänderungen und damit zu Änderungen der Stoffeigenschaften. Der sich ändernde Auftreffwinkel der Brennermittenströmung auf der Kappenoberfläche in der Nähe des Brennerauftreffpunktes beeinflusst die Strömungsverhältnisse und die Stoffeigenschaften in unerwünschter Weise. Gemäß dem Stand der Technik ergibt sich ein Rotationskörper mit einer Kappenform mit ortsveränderlicher Krümmung zwischen Kappenmitte und Kappenrand. Aus der WO 01/27044 A1 ist eine Anordnung zur Erzeugung homogener, schlierenfreier Quarzglaskörper durch Flammenhydrolyse bekannt, bei der im Verlauf der Erzeugung zwischen einem Brenner und einem Quarzglaskörper eine Relativbewegung in axialer und radialer Richtung derart stattfindet, dass sich mit zunehmendem Abstand des Brenners von der Achse des Quarzglaskörpers der Abstand des Brenners vom Quarzglaskörper verringert und der Brenner sich nur zwischen der Mitte der Reaktionsfläche des Quarzglaskörpers und ihrem Rand bewegt. Hierdurch lassen sich zwar die mikrostrukturellen Defekte verringern und die Homogenität der optischen Eigenschaften verbessern, jedoch sind diese Verringerungen und Verbesserungen hinsichtlich der Größe des Kernbereichs des Quarzglaskörpers und der Materialausbeute noch verbesserungsbedürftig.The increase the distance between the burner orifice and the cap surface, the according to the status The technology that takes place during the torch movement leads to different ones Particle flight times, to flow changes and thus to changes the material properties. The changing angle of impact of the Burner center flow on the cap surface nearby the burner impact point influences the flow conditions and the material properties in unwanted Wise. According to the state the technology results in a rotating body with a cap shape of portable curvature between the center of the cap and the edge of the cap. From WO 01/27044 A1 an arrangement for the production of homogeneous, streak-free quartz glass bodies Flame hydrolysis known in the course of generation between a burner and a quartz glass body a relative movement in axial and radial direction takes place in such a way that with increasing distance of the burner from the axis of the quartz glass body The distance between the burner and the quartz glass body is reduced and the burner only between the center of the reaction surface of the quartz glass body and moved their edge. This allows the microstructural Reduce defects and the homogeneity of the optical properties improve, however, these are reductions and improvements in terms of the size of the core area of the quartz glass body and the material yield still needs improvement.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anordnung zur Herstellung von Quarzglaswalzen zu schaffen, bei denen die hinsichtlich der optischen Eigenschaften homogenen Kernbereiche, insbesondere von horizontalen Quarzglaswalzen, vergrößert und der Materialverbrauch verringert sind.task The invention is an arrangement for the production of quartz glass rollers to create, in terms of optical properties homogeneous core areas, especially of horizontal quartz glass rollers, enlarged and the Material consumption are reduced.

Das betrifft hauptsächlich die Brechzahlhomogenität, die Spannungsdoppelbrechung und die UV-Absorption.The mainly affects the homogeneity of the refractive index, stress birefringence and UV absorption.

Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale des ersten Patentanspruchs gelöst. Die Merkmale der Unteransprüche dienen der weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung.According to the invention is achieved by the characterizing features of the first claim solved. The characteristics of the subclaims serve the further advantageous embodiment of the invention.

Die Erfindung geht davon aus, dass ein Quarzglaskörper, vorzugsweise eine Quarzglaswalze mit einer sphärischen Aufschmelzkappe entsteht, bei der die Kappenkrümmungen an allen Stellen gleich sind und auch die Abscheideverhältnisse für die Partikel am gleichmäßigsten sind. Gegenüber der aufzuschmelzenden Kappe bewegt sich die Brennermündung, der Durchstoßpunkt der Brennerachse durch die Gasaustrittsebene des Brenners, im allgemeinsten Fall auf einer Raumkurve in Abhängigkeit von den drei Raumkoordinaten x, y, z und den ihnen entsprechenden drei Raumwinkeln α, β, γ. Die Erfindung zeigt praktisch gleiche Wirkungen, wenn z und γ innerhalb gewisser Grenzen konstant gehalten werden. Beim Bekanntsein von β und γ ist auch α gegeben bzw. lässt sich α berechnen nach der trigonometrischen Gleichung cosα + cosβ + cosγ = 1. Sind ein γ bzw. ein z als Konstanten gegeben, so bedeutet dies, dass bereits in Nullstellung die Achse des Brenners gegenüber der geometrischen Achse der Quarzglaswalze geneigt ist und vorteilhaft nicht durch den Scheitelpunkt der Quarzglaswalze geht. Bei horizontaler Aufschmelzanordnung würde sich der Brenner nach einem vorgegebenen Weg-Zeit-Regime um das Zentrum der kugelförmigen Kappe auf einem Kreis (Kleinkreis) unterhalb der die Brennerachse enthaltenden Horizontalebene bewegen, der vom Scheitelpunkt vorzugsweise 5 bis 10 mm Abstand hat und dessen Umkehrpunkte sich möglichst nahe am Kappenrand befinden. Ähnliches gilt für eine vertikale Aufschmelzanordnung. Eine Konstanthaltung von z und/oder γ beeinträchtigt praktisch die vorteilhafte Wirkung der Erfindung nicht, ermöglicht jedoch erhebliche technologische Vereinfachungen, vornehmlich bei der Steuerung des Bewegungsablaufs. Nach der Erfindung ist es grundsätzlich möglich, auch Quarzglaskörper herzustellen, die eine vollständige Kugel darstellen, wenn man von dem Bereich absieht, wo sich der zur Einspannung des Quarzglaskörpers benötigte Stempel befindet.The invention is based on the fact that a quartz glass body, preferably a quartz glass roller with a spherical melting cap, is produced, in which the curvatures of the cap are the same at all points and the separation conditions for the particles are also most uniform. The burner moves in relation to the cap to be melted mouth, the point of intersection of the burner axis through the gas outlet plane of the burner, in the most general case on a spatial curve depending on the three spatial coordinates x, y, z and the three solid angles α, β, γ corresponding to them. The invention shows practically the same effects if z and γ are kept constant within certain limits. If β and γ are known, α is also given or α can be calculated according to the trigonometric equation cosα + cosβ + cosγ = 1. If a γ or az are given as constants, this means that the axis of the Brenner is inclined relative to the geometric axis of the quartz glass roller and advantageously does not go through the apex of the quartz glass roller. In the case of a horizontal melting arrangement, the burner would move according to a predetermined path-time regime around the center of the spherical cap on a circle (small circle) below the horizontal plane containing the burner axis, which is preferably 5 to 10 mm away from the apex and whose reversal points are as possible close to the edge of the cap. The same applies to a vertical melting arrangement. Keeping z and / or γ constant practically does not adversely affect the advantageous effect of the invention, but enables considerable technological simplifications, primarily in the control of the movement sequence. According to the invention, it is fundamentally possible to also produce quartz glass bodies, which represent a complete sphere, if one disregards the area where the punch required for clamping the quartz glass body is located.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand der schematischen Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:The Invention is explained below with reference to the schematic drawing. It demonstrate:

1 den grundsätzlichen Aufbau eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels in einem Axialschnitt, 1 the basic structure of an embodiment according to the invention in an axial section,

2 ein zweites Ausführungsbeispiel zur Erläuterung des Bewegungsablaufs im Grundriss, 2 a second embodiment to explain the sequence of movements in the floor plan,

3 einen Aufriss zu 2, 3 an elevation too 2 .

4 ein Diagramm zur Erläuterung der zeitabhängigen x-Bewegung eines Brenners und ihrer Bedeutung, 4 1 shows a diagram to explain the time-dependent x-movement of a burner and its meaning,

5a)–d) die nach bekannten Verfahren erreichten optischen Parameter und 5a) - d) the optical parameters achieved by known methods and

6a)–d) die durch die Erfindung erreichten optischen Parameter. 6a) - d) the optical parameters achieved by the invention.

In 1 ist eine Muffel 10 mit einem Schlitz 11 versehen, durch den ein Brenner 12 in den Innenraum 13 der Muffel geführt ist, in dem sich eine aufzuschmelzende Quarzglaswalze 14 mit einer halbkugelförmigen Kappe 16 befindet, deren Krümmungsmittelpunkt mit 15, deren Scheitelpunkt mit 161 und deren Rand mit 162 bezeichnet sind. Der Schlitz 11 kann mit einer Jalousie verschließbar sein, die beiderseits des Brenners 12 angeordnet ist, und kann entweder eine ausreichende Breite haben, damit dem Brenner die Bewegung entlang einer Raumkurve (Bahnkurve) möglich ist, die kegelschnittartig ist, oder er ist selbst rechtwinklig zur Zeichenebene der 1 gekrümmt und führt den von nicht dargestellten Antriebsmitteln bewegten Brenner 12 entsprechend. Die Bahnkurve geht vorteilhaft nicht durch den Scheitelpunkt 161 der Kappe 16 und liegt im Allgemeinen 5 bis 30 mm, von ihm entfernt. Die gesamte Anordnung ist im Wesentlichen rotationssymmetrisch zu einer Achse X-X aufgebaut, um die sich auch die Quarzglaswalze 14 während des Aufschmelzprozesses ständig dreht. Der Brenner 12 ist um den Mittelpunkt 15 zwischen zwei im Wesentlichen durch den Schlitz 11 bestimmten Endlagen (Umkehrpunkte) 121 und 122 schwenkbar und folgt dabei mit unterschiedlicher Bahngeschwindigkeit der genannten Raumkurve. Er besitzt eine Mündung 17, die sich während der gesamten, sich ständig wiederholenden Pendelbewegung des Brenners 12 zwischen den Endlagen 121 und 122 in einem unveränderlichen Abstand a + r (Krümmungsradius) vom Krümmungsmittelpunkt 15 der Kappe 16 befindet. Die Achse des Brennen 12 ist, abgesehen vom Anfangsstadium, in dem sich die sphärische Kappe 16 erst herausbilden muss, immer rechtwinklig zur Oberfläche der Kappe 16 gerichtet. Zu Beginn des Aufschmelzprozesses wird keine sphärische Anfahrkappe benötigt. Für die Ermittlung der Rockingkurve gibt man sich den Krümmungsmittelpunkt vor. Nach Abschluss der Anfangsphase, die etwa einen Tag dauert, führt der Prozess zu einer halbkugelförmigen Kappe, mit der Einschränkung, das es einen unmaßgeblichen Randbereich gibt, in dem die Sphärenform nicht komplett gewährleistet ist.In 1 is a muffle 10 with a slit 11 provided by a burner 12 in the interior 13 the muffle is guided in which there is a quartz glass roller to be melted 14 with a hemispherical cap 16 whose center of curvature is with 15 whose apex ends with 161 and their edge with 162 are designated. The slot 11 can be closed with a blind on both sides of the burner 12 is arranged, and can either have a width sufficient to allow the burner to move along a space curve (path curve) that is conical, or it is itself perpendicular to the plane of the drawing 1 curved and guides the burner moved by drive means, not shown 12 corresponding. The trajectory advantageously does not go through the apex 161 the cap 16 and is generally 5 to 30 mm from it. The entire arrangement is essentially rotationally symmetrical with respect to an axis XX, around which the quartz glass roller also extends 14 constantly rotates during the melting process. The burner 12 is around the center 15 between two essentially through the slot 11 certain end positions (reversal points) 121 and 122 swiveling and follows the space curve mentioned at different path speeds. It has a mouth 17 that occur during the entire, constantly repeating pendulum movement of the burner 12 between the end positions 121 and 122 at an invariable distance a + r (radius of curvature) from the center of curvature 15 the cap 16 located. The axis of burning 12 is, apart from the initial stage, in which the spherical cap 16 must first form, always perpendicular to the surface of the cap 16 directed. No spherical start-up cap is required at the start of the melting process. To determine the rocking curve, the center of curvature is specified. After completing the initial phase, which lasts about a day, the process leads to a hemispherical cap, with the restriction that there is an immaterial border area in which the spherical shape is not completely guaranteed.

Der Brenner 12 wird vorzugsweise durch Antriebsmittel bspw. durch einen nicht dargestellten Roboter geführt bzw. bewegt. Der Schlitz 11 gewährleistet dabei das ungehinderte Auftreffen der Brennerflamme auf die Kappe 16.The burner 12 is preferably guided or moved by drive means, for example by a robot, not shown. The slot 11 guarantees the unimpeded impact of the burner flame on the cap 16 ,

In den 2 und 3 befindet sich im Innenraum 13 eines Schmelzofens 10 eine Glaswalze 14 mit einer sphärischen Kappe 16, deren Mittelpunkt 15 gleichzeitig der Ursprung eines Koordinatensystems mit den Koordinaten x, y, z ist und in dem sich die Scheitel von Winkeln α, β, γ befinden. Der Winkel β wird in der x-y-Ebene, der Winkel γ wird in der y-z-Ebene und der Winkel α wird in der x-z-Ebene gemessen. Für die weiteren Betrachtungen ist der Winkel γ ebenso wie die Koordinate z von untergeordneter Bedeutung. Ein Brenner 12 mit der Mündung 17 und dem Angriffspunkt 18 einer Roboterführung bewegt sich zwischen zwei Umkehrpunkten 121 und 122 und damit zwischen zwei Koordinatenpunkten x0 und –x0 auf der x-Achse mit differenziell variierender Geschwindigkeit hin und her, und zwar ist die Geschwindigkeit um den Scheitel 161 am Größten und in der Nähe der Umkehrpunkte 121, 122 am Kleinsten. Bei der Umkehr ist sie Null und wechselt ihre Richtung. Zu einer Fahrt von x0 nach –x0 benötigt der Brenner 12 30 bis 120 s. Der Abstand des Scheitels 161 der Kappe 16 vom Mittelpunkt 15 beträgt 100 bis 500 mm. Der Abstand der Brennermündung 17 vom Kappenscheitel 161 ist 180 bis 250 mm. Zwischen den Koordinatenpunkten x0 und –x0 befindet sich ein Abstand von 80 bis 140 mm. Der konstante Winkel γ zwischen der Walzenachse X1-X1 und der Brennerachse X2-X2 sollte 20 bis 30 Grad betragen. Alle angegebenen Zahlenwerte sind aufeinander abgestimmte Beispielswerte, die durchaus veränderbar sind.In the 2 and 3 is located in the interior 13 a melting furnace 10 a glass roller 14 with a spherical cap 16 whose center 15 is also the origin of a coordinate system with the coordinates x, y, z and in which the vertices of angles α, β, γ are located. The angle β is measured in the xy plane, the angle γ is measured in the yz plane and the angle α is measured in the xz plane. For further considerations, the angle γ and the coordinate z are of secondary importance. A burner 12 with the mouth 17 and the point of attack 18 a robot guidance moves between two reversal points 121 and 122 and thus back and forth between two coordinate points x 0 and –x 0 on the x-axis with a differentially varying speed, namely the speed around the apex 161 largest and near the turning points 121 . 122 the smallest. When reversed, it is zero and changes direction. The burner needs to travel from x 0 to –x 0 12 30 to 120 s. The distance of the vertex 161 the cap 16 from the center 15 is 100 to 500 mm. The distance of the burner mouth 17 from the top of the cap 161 is 180 to 250 mm. There is a distance of 80 to 140 mm between the coordinate points x 0 and –x 0 . The constant angle γ between the roller axis X 1 -X 1 and the burner axis X 2 -X 2 should be 20 to 30 degrees. All the given numerical values are coordinated example values that can be changed.

In 4 ist beispielhaft das Weg-Zeit-Gesetz für eine Brennerfahrt von x0 nach –x0, von der Endlage 122 nach 121 dargestellt. Daraus ist ersichtlich, dass die Brennerfahrt in der Mitte der Kappe 16, in Achsnähe, am schnellsten ist. Innerhalb von 10 s wird 1/3 des Weges zwischen x0 und –x0 zurückgelegt. Auf diese Weise bildet sich eine halbkugelförmige Kappe 16 aus, deren Brechzahlhomogenität, Spanungsdoppelbrechung, OH-Gehalt und Reintransmission gegenüber dem Stand der Technik teilweise erheblich verbessert sind. Generell lässt sich sagen, dass x(t) die Führungsgröße ist, aus der sich alle anderen Größen y(t), β(t), γ(t) ableiten bzw. ergeben.In 4 is an example of the distance-time law for a burner run from x 0 to –x 0 , from the end position 122 to 121 shown. This shows that the burner run is in the middle of the cap 16 , near the axis, is the fastest. 1/3 of the way between x 0 and –x 0 is covered within 10 s. In this way, a hemispherical cap is formed 16 from whose refractive index homogeneity, chip birefringence, OH content and pure transmission are in some cases considerably improved over the prior art. In general, it can be said that x (t) is the reference variable from which all other quantities y (t), β (t), γ (t) are derived.

Die 5 und 6 lassen die durch die Erfindung erreichten Verbesserungen deutlich erkennen. In 5a) bis d) sind die nach den bekannten Verfahren erzielbaren Werte und in 6a) bis d) sind die durch die Erfindung erreichten Werte dargestellt.The 5 and 6 clearly show the improvements achieved by the invention. In 5a) to d) are the values achievable according to the known methods and in 6a) to d) the values achieved by the invention are shown.

Die 5a) und 6a) zeigen fast eine radiale Verdoppelung des Kernbereichs einer Quarzglaswalze 14 mit gleichbleibender Brechzahlhomogenität. Während nach dem Stand der Technik nur ein Bereich von r = –30 bis +30 mm annähernd gleiche Brechzahlhomogenität Δn hat, reicht dieser Bereich bei einer erfindungsgemäß hergestellten Quarzglaswalze von r = –55 bis + 55 mm. Auch bei der Spannungsdoppelbrechung SDB zeigt die erfindungsgemäß hergestellte Quarzglaswalze vor allen Dingen eine auf den halben Betrag (1) reduzierte Schwankung gegenüber dem Stand der Technik (2), wie die 5b) und 6b) erkennen lassen. Der OH-Gehalt ist gemäß den 5c) und 6c) über den Radius bei der Erfindungen geringeren Schwankungen unterworfen und steigt erst bei dem ohnehin kritischen Wert von r = 55 mm schnell an. Schließlich zeigt auch die Reintransmission für Licht einer Wellenlänge von 193 nm bei einer erfindungsgemäß hergestellten Quarzglaswalze einen etwas geringeren radialen Abfall als nach dem Stand der Technik, siehe 5d) und 6d).The 5a) and 6a) show almost a radial doubling of the core area of a quartz glass roller 14 with constant refractive index homogeneity. While according to the prior art only a range from r = -30 to +30 mm has approximately the same refractive index homogeneity .DELTA.n, this range ranges from r = -55 to + 55 mm for a quartz glass roller produced according to the invention. Also in the case of the stress birefringence SDB, the quartz glass roller produced according to the invention above all shows half the amount ( 1 ) reduced fluctuation compared to the prior art ( 2 ), as the 5b) and 6b) reveal. The OH content is according to the 5c) and 6c) Subject to minor fluctuations over the radius in the case of the inventions and only increases rapidly at the already critical value of r = 55 mm. Finally, the pure transmission for light with a wavelength of 193 nm in a quartz glass roller produced according to the invention also shows a somewhat smaller radial drop than in the prior art, see 5d) and 6d) ,

Alle in der Beschreibung, den nachfolgenden Ansprüchen und der Zeichnung dargestellten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.All presented in the description, the following claims and the drawing Characteristics can essential to the invention both individually and in any combination with one another his.

1010
Muffelmuffle
1111
Schlitzslot
1212
Brennerburner
1313
Innenrauminner space
1414
Quarzglaswalzequartz glass roll
1515
KrümmungsmittelpunktCenter of curvature
1616
Kappecap
1717
Brennermündungburner mouth
1818
Angriffspunkt einer Roboterführungattackpoint a robot guide
121, 122121 122
Umkehrpunkte (Endlagen)turning points (End positions)
1919
Scheitelpunktvertex
2020
Kappenrandcap edge
aa
Abstanddistance
rr
Radiusradius
α, β, γα, β, γ
Winkelangle
X-X, X1-X1, X2-X2 XX, X 1 -X 1 , X 2 -X 2
Achsenaxes
x0, z0, zD x 0 , z 0 , z D
Koordinatencoordinates

Claims (4)

Anordnung zur Herstellung von Quarzglaswalzen, bei der sich ein Brenner mit einer Mündung und eine aufzuschmelzende Walze relativ zueinander bewegen und die Quarzglaswalze sich um ihre geometrische Achse dreht, dadurch gekennzeichnet, dass die Quarzglaswalze eine spärische Kappe aufweist, dass sich der Brenner zwischen zwei Umkehrpunkten nach einem vorgegebenen Weg-Zeit-Gesetz auf einer Raumkurve bewegt, dass während dieser Bewegung die Brennermündung sich immer im gleichen Abstand von der Kappe befindet und die Brennerachse immer zum Mittelpunkt der sphärischen Kappe gerichtet ist.Arrangement for the production of quartz glass rollers, in which a burner with an orifice and a roller to be melted move relative to one another and the quartz glass roller rotates about its geometric axis, characterized in that the quartz glass roller has a spherical cap that the burner moves between two reversal points moved a predetermined path-time law on a space curve that during this movement the burner orifice is always at the same distance from the cap and the burner axis is always directed to the center of the spherical cap. Anordnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Umkehrpunkte zumindest annähernd diametral und am Rand der Kappe liegend angeordnet sind.Arrangement according to claim 1, characterized in that the reversal points are at least approximately diametrical and are arranged lying on the edge of the cap. Anordnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwenkbewegung des Brenners entlang einer Raumkurve erfolgt, die nicht durch den Scheitelmittelpunkt der Kappe geht.Arrangement according to claim 1, characterized in that the pivoting movement of the burner is done along a space curve that is not through the apex center the cap goes. Anordnung gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand der Raumkurve vom Scheitelpunkt 5 bis 30 mm, vorzugsweise 5 bis 10 mm beträgt.Arrangement according to claim 3, characterized in that the distance of the space curve from the vertex 5 to 30 mm, preferably 5 to 10 mm.
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