NL1025963C2

NL1025963C2 - Device for melting quartz glass rods.

Info

Publication number: NL1025963C2
Application number: NL1025963A
Authority: NL
Inventors: Matthias Schmidt; Rolf Martin; Michael Groebner
Original assignee: Schott Glas
Priority date: 2003-04-30
Filing date: 2004-04-16
Publication date: 2004-12-30
Also published as: DE10320531B8; CN1603260A; DE10320531B4; DE10320531A1; NL1025963A1; JP2004331493A

Description

Korte aanduiding: Inrichting voor het opsmelten van kwartsglassta- ven.Brief indication: Device for melting quartz glass rods.

BeschrijvingDescription

De uitvinding heeft betrekking op een opstelling voor het opsmelten van kwartsglasstaven van het type volgens de conclusies.The invention relates to an arrangement for melting quartz glass rods of the type according to the claims.

Een basiseis voor de best mogelijke optische homogeniteit 5 over de dwarsdoorsnede van gesmolten staven is de constantheid van het daarin aanwezige Si-OH, het fysisch opgeloste moleculaire waterstof H2, de ingebouwde UV-relevante structuurdefecten en de glasstructuur (dichtheid). Opdat deze parameters optimaal worden bereikt, moet de temperatuur op het reactieoppervlak (kap van de 10 staaf) zo egaal mogelijk zijn, moeten over het volledige reactieoppervlak dezelfde deeltjeslooptijden worden bereikt en moeten de stromingsomstandigheden van de deeltjes en gassen in de nabijheid van een stuwpunt eveneens constant zijn. De volgens de stand van de techniek toegepaste smeltwerkwijzen met het gebruikelijke "brander-15 schommelen" ten opzichte van de kap van de staaf tonen zonder een mogelijke aanvullende warmtebron een temperatuurgradiënt van het midden van de kap van de staaf naar de rand van de kap van de staaf van 300 tot 400 K. De oorzaken voor deze temperatuurgradiënt berusten daarop dat 20 - de brandervlam (centrale temperatuur ca. 2300°C) zelf een Gaus-sische temperatuurverdeling heeft, die bij staande brander wordt overgebracht op het glasoppervlak, het verplaatsingsgebied van de vlam duidelijk voor de rand van de kap eindigen moet om aanzetten resp. vitrificaties van de 25 moffel te vermijden, het kapoppervlak ten minste aan de rand in toenemende mate ge kromd is en de vlam dientengevolge in toenemende mate scherend op het kapoppervlak treft, de verhouding oppervlakte/volume aan de rand van de kap groter 30 wordt, aan de rand van de kap warmte wordt onttrokken door de duidelijk koudere moffelwand.A basic requirement for the best possible optical homogeneity over the cross-section of molten bars is the constancy of the Si-OH present therein, the physically dissolved molecular hydrogen H2, the built-in UV-relevant structural defects and the glass structure (density). In order for these parameters to be optimally achieved, the temperature on the reaction surface (cap of the rod) must be as even as possible, the same particle transit times must be achieved over the entire reaction surface and the flow conditions of the particles and gases in the vicinity of a stopping point must also be achieved. be constant. The melting methods used in the prior art with the usual "burner rocking" relative to the cap of the rod show without a possible additional heat source a temperature gradient from the center of the cap of the rod to the edge of the cap of the rod of 300 to 400 K. The reasons for this temperature gradient are that the burner flame (central temperature approx. 2300 ° C) itself has a Gaussian temperature distribution, which is transferred to the glass surface when the burner is standing, the displacement range of the flame must clearly end before the edge of the hood. to avoid vitrification of the muffle, the cap surface is increasingly curved at least at the edge and the flame is consequently increasingly shaving on the cap surface, the surface / volume ratio at the edge of the cap increases, the edge of the hood heat is extracted by the clearly colder muffle wall.

Een compensatie door langere verblijftijden van de brander aan de rand van de kap is beperkt, omdat dan het opbrengen van 1025963 I - 2 - H deeltjes in het midden van de kap zo gering wordt dat een gat ont- H staat, en ongewenst grote periodieke temperatuurwisselingen op de H kap ontstaan. Deze laatste vormen een risico voor de homogeniteit en bevorderen het ontstaan van periodieke schlieren in de kwarts- H 5 glasstaaf.Compensation through longer residence times of the burner at the edge of the hood is limited because then the application of 1025963 I - 2 - H particles in the center of the hood becomes so small that a hole is created and undesirably large periodic temperature changes on the H hood. The latter pose a risk to homogeneity and promote the development of periodic hinges in the quartz H 5 glass rod.

H Bovendien treden bij het omkeren van de branderbeweging over H het midden van de staaf volgens de stand van de techniek ringvor- mige brekingsindexinhomogeniteiten op, die het gebruik van de H kwartsglasstaven voor de vervaardiging van projectieoptieken voor li- 10 thografische objectieven nadelig beïnvloedt of belet.H In addition, when reversing the burner movement over H, the center of the rod of the prior art occurs annular refractive index inhomogeneities, which adversely affects or prevents the use of the H quartz glass rods for the production of projection optics for lithographic objectives. .

Het vergroten van de afstand tussen de brandermond en het kap- oppervlak, dat volgens de stand van de techniek bij de branderbeweging plaatsvindt, leidt tot verschillende deeltjeslooptijden, tot stro- mingsveranderingen en daardoor tot veranderingen van de stofeigen- 15 schappen. De veranderende trefhoek van de centrale branderstroom op het kapoppervlak in de nabijheid van het brandertrefpunt beïnvloedt de stromingsomstandigheden en de stofeigenschappen op ongewenste wijze.Increasing the distance between the burner mouth and the cap surface, which takes place during the burner movement according to the state of the art, leads to different particle transit times, to flow changes and thereby to changes in the dust properties. The changing target angle of the central burner flow on the cap surface in the vicinity of the burner target influences the flow conditions and the dust properties in an undesirable manner.

Volgens de stand van de techniek ontstaat een rotatielichaam met een kapvorm met lokaal veranderlijke kromming tussen kapmidden en kaprand.According to the state of the art, a rotating body with a cap shape is formed with locally variable curvature between cap center and cap edge.

I 20 Uit W001/27044 Al is een opstelling voor het vervaardigen van I homogene, schlierenvrije kwartsglaslichamen door vlamhydrolyse bekend, waarbij in de loop van het vervaardigen tussen een brander en een kwartsglaslichaam zodanig een relatieve beweging in axiale en radiale I richting plaatsvindt, dat de afstand van de brander tot het kwarts- I 25 glaslichaam met toenemende afstand van de brander tot de as van het I kwartsglaslichaam kleiner wordt en de brander slechts tussen het mid- I den van het reactieoppervlak van het kwartsglaslichaam en de rand er- I van beweegt. Hierdoor kunnen weliswaar de microstructurele defecten I worden verminderd en de homogeniteit van de optische eigenschappen I 30 worden verbeterd, maar deze verminderingen en verbeteringen zijn met betrekking tot de grootte van het kerngebied van een kwartsglaslichaam I en de materiaalopbrengst nog vatbaar voor verbetering.From WO01 / 27044 A1, an arrangement for the production of homogeneous, hinge-free quartz glass bodies by flame hydrolysis is known, wherein during the course of manufacture between a burner and a quartz glass body a relative movement in axial and radial direction takes place such that distance from the burner to the quartz glass body with increasing distance from the burner to the axis of the quartz glass body becomes smaller and the burner only moves between the center of the reaction surface of the quartz glass body and its edge . Although the microstructural defects I can be reduced in this way and the homogeneity of the optical properties I can be improved, these reductions and improvements with regard to the size of the core region of a quartz glass body I and the material yield can still be improved.

I Het is het doel van de uitvinding om een opstelling voor het I vervaardigen van kwartsglasstaven te verschaffen, waarbij de met be- 35 trekking tot de optische eigenschappen homogene kerngebieden, in het bijzonder van horizontale kwartsglasstaven, vergroot zijn en het mate-riaalverbruik verminderd is. Dit betreft in hoofdzaak de homogeniteit van de brekingsindex, de spanningsdubbelbreking en de UV-absorptie.It is the object of the invention to provide an arrangement for the manufacture of quartz glass rods in which the core areas, in particular of horizontal quartz glass rods, which are homogeneous with regard to the optical properties, are increased and the material consumption is reduced. . This mainly concerns the homogeneity of the refractive index, the voltage double refraction and the UV absorption.

- 3 -- 3 -

Volgens de uitvinding wordt dit doel bereikt door de kenmerken van de eerste conclusie. De kenmerken van de onderconclusies dienen voor de verdere voordelige uitvoering van de uitvinding.According to the invention, this object is achieved by the features of the first claim. The features of the subclaims serve for the further advantageous embodiment of the invention.

De uitvinding gaat ervan uit dat een kwartsglaslichaam, bij 5 voorkeur een kwartsglasstaaf met een sferische opsmeltkap ontstaat, waarbij de krommingen van de kap op alle plaatsen dezelfde zijn en ook de afscheidingsomstandigheden voor de deeltjes zo gelijkmatig mogelijk zijn. Ten opzichte van de op te smelten kap beweegt de brandermond, het doorschuifpunt van de branderas door het gasuittreedvlak van de 10 brander, in het meest algemene geval op een ruimtelijke kromme in afhankelijkheid van de drie ruimtecoördinaten x, y, z en de daarbij behorende drie ruimtehoeken α, β, γ. De uitvinding vertoont praktisch dezelfde effecten wanneer z en γ binnen bepaalde grenzen constant worden gehouden. Bij bekend zijn van β en γ is ook α gegeven, resp. kan α 15 worden berekend volgens de trigonometrische vergelijking cos α + cos β + cos γ = 1. Indien één γ resp. één z als constante zijn gegeven, dan betekent dit, dat reeds in nul-stand de as van de brander ten opzichte van de geometrische as van de kwartsglasstaaf nijgt en op voordelige wijze niet door het kruintoppunt van de kwartsglasstaaf 20 gaat. Bij horizontale opsmeltopstelling zou de brander volgens een voorafbepaald weg-tijd-regime om het middelpunt van de bolvormige kap bewegen over een cirkel (kleine cirkel) onder het horizontale vlak dat de branderas bevat, welke cirkel bij voorkeur 5 tot 10 mm afstand tot het kruinpunt heeft en welker omkeerpunten zich zo dicht mogelijk bij 25 de kaprand bevinden. Iets dergelijks geldt ook voor een verticale opsmeltopstelling. Een constant houden van z en/of γ beïnvloedt in praktijk de voordelige werking van de uitvinding niet, maar maakt aanzienlijke technologische vereenvoudigingen mogelijk, voornamelijk bij de besturing van het verloop van de beweging. Volgens de uitvinding is 30 het in principe mogelijk ook kwartsglaslichamen te vervaardigen die een volledige bol voorstellen, indien men afziet van het gebied waar zich de voor het inklemmen van het kwartsglaslichaam vereiste stempel bevindt.The invention is based on the assumption that a quartz glass body, preferably a quartz glass rod with a spherical fusing cap, is formed, wherein the curvatures of the cap are the same at all locations and also the separation conditions for the particles are as uniform as possible. With respect to the hood to be melted, the burner mouth, the passage point of the burner axis, moves through the gas discharge surface of the burner, in the most general case on a spatial curve in dependence on the three spatial coordinates x, y, z and the three associated space angles α, β, γ. The invention exhibits practically the same effects when z and γ are kept constant within certain limits. When β and γ are known, α is also given, resp. α 15 can be calculated according to the trigonometric equation cos α + cos β + cos γ = 1. If one γ resp. If one z is given as a constant, this means that already in zero position the axis of the burner is inclined relative to the geometric axis of the quartz glass rod and advantageously does not pass through the intersection of the quartz glass rod 20. In the case of a horizontal fusing arrangement, the burner would move around the center of the spherical cap according to a predetermined road-time regime over a circle (small circle) below the horizontal plane containing the burner axis, which circle is preferably 5 to 10 mm away from the crest point and whose reversal points are as close as possible to the hood edge. Something similar also applies to a vertical fusing arrangement. Keeping z and / or γ constant in practice does not affect the advantageous effect of the invention, but allows considerable technological simplifications, especially in controlling the course of the movement. According to the invention it is in principle also possible to manufacture quartz glass bodies which represent a complete sphere if the area where the stamp required for clamping the quartz glass body is located is dispensed with.

De uitvinding wordt hierna aan de hand van de schematische te-35 kening nader toegelicht. Daarin tonen: fig. 1 de principeopbouw van een uitvoeringsvoorbeeld volgens de uitvinding in een axiale doorsnede, 1025963 - 4 - H fig. 2 een tweede uitvoeringsvoorbeeld ter verduidelij- king van het verloop van de beweging, in bovenaan- zicht, fig. 3 aanzichttekening van fig. 2, 5 fig. 4 een diagram ter verduidelijking van de tijdsafhan- kelijke x-beweging van een brander en de betekenis daarvan, fig. 5a)-d) de volgens bekende werkwijzen bereikte optische parameters, en 10 fig. 6a)-d) de door de uitvinding bereikte optische parame- I ters.The invention will be explained in more detail below with reference to the schematic drawing. In the drawing: Fig. 1 shows the basic structure of an exemplary embodiment of the invention in an axial section, Fig. 2 a second exemplary embodiment for clarifying the course of the movement, in top view, Fig. 3 is a plan view of fig. 2, fig. 4 a diagram to clarify the time-dependent x-movement of a burner and the meaning thereof, fig. 5a) -d) the optical parameters achieved according to known methods, and fig. 6a) -d) the optical parameters achieved by the invention.

In fig. 1 is een moffel 10 van een spleet 11 voorzien, waar- H doorheen een brander 12 in de binnenruimte 13 van de moffel is ge- I leid, waarin zich een op te smelten kwartsglasstaaf 14 met een half- 15 bolvormige kap 16 bevindt, waarvan het krommingsmiddelpunt is aan- geduid met 15, het kruinpunt daarvan met 161 en de rand ervan met I 162. De spleet 11 kan afgesloten worden met een jaloezie, die aan beide zijden van de brander 12 is opgesteld, en kan hetzij een vol- doende breedte hebben, opdat voor de brander de beweging langs een 20 ruimtelijke kromme (baankromme) mogelijk is, die van kegelsnede- I soort is, of de spleet is zelf onder een rechte hoek ten opzichte I van het vlak van de tekening van fig. 1 gekromd en geleidt dienovereenkomstig de door niet-weergegeven aandrijfmiddelen bewo- H gen brander 12. De baankromme gaat met voordeel niet door het I 25 kruinpunt 161 van de kap 16 en ligt in het algemeen 5 tot 30 mm daarvan verwijderd. De gehele opstelling is in hoofdzaak rotatie- I symmetrisch ten opzichte van een as X-X opgebouwd, waaromheen ook de kwartsglasstaven 14 voortdurend draaien tijdens het opsmeltpro- I ces. De brander 12 kan om het middelpunt 15 tussen twee in hoofd- 30 zaak door de spleet 12 bepaalde eindposities (omkeerpunten) 121 en I 122 gezwenkt worden en volgt daarbij met verschillende baansnelheid I de genoemde ruimtelijke kromme. Hij bezit een mond Π, die zich I tijdens de volledige, zich voortdurend herhalende pendelbeweging I van de brander 12 tussen de eindposities 121 en 122 op een onveran- I 35 derlijke afstand a+r (kromtestraal) vanaf het krommingsmiddelpunt 15 van de kap 16 bevindt. De as van de brander 12 is, afgezien van het beginstadium, waarin zich eerst de sferische kap 16 moet vormen, altijd onder een rechte hoek ten opzichte van het oppervlak van de kap 16 gericht. Bij het begin van het opsmeltproces is geen - 5 - sferische aanloopkap vereist. Voor het bepalen van de schommelkromme neemt men eerst het krommingsmiddelpunt. Na afsluiten van de beginfase, die ongeveer een dag duurt, leidt het proces tot een halve bolvormige kap, met de beperking dat er een irrelevant randgebied 5 is waarin de bolvorm niet volledig is gewaarborgd.In Fig. 1, a muffle 10 is provided with a slit 11, through which a burner 12 is guided into the inner space 13 of the muffle, in which a quartz glass rod 14 to be melted with a hemispherical cap 16 is situated. of which the center of curvature is indicated by 15, the intersection thereof with 161 and the edge thereof with I 162. The slit 11 can be closed with a blind arranged on both sides of the burner 12, and can either be a have sufficient width so that the burner is able to move along a spatial curve (path curve), which is of a conic section, or that the gap is itself at right angles to the plane of the drawing of Fig. 1 is curved and accordingly guides the burner 12 moved by drive means (not shown). The web curve advantageously does not pass through the intersection 161 of the cap 16 and is generally 5 to 30 mm away from it. The entire arrangement is essentially rotational symmetrically constructed with respect to an axis X-X, around which also the quartz glass rods 14 rotate continuously during the melting process. The burner 12 can be pivoted about the center point 15 between two end positions (reversal points) 121 and I 122 predominantly defined by the gap 12, and thereby follows the said spatial curve at different web speed I. It has a mouth Π which, during the complete, constantly repeated pendulum movement I of the burner 12 between the end positions 121 and 122 at an unchanging distance a + r (radius of curvature) from the center of curvature 15 of the cap 16 is located. The axis of the burner 12, apart from the initial stage in which the spherical cap 16 must first be formed, is always directed at a right angle to the surface of the cap 16. At the start of the fusing process, no spherical start cap is required. The center of curvature is first taken to determine the rocking curve. After closing the initial phase, which lasts about a day, the process leads to a hemispherical cap, with the limitation that there is an irrelevant edge region in which the spherical shape is not fully guaranteed.

De brander 12 wordt bij voorkeur geleid resp. bewogen door aandrijfmiddelen, bijv. door een niet weergegeven robot. De spleet 11 waarborgt daarbij dat de brandervlam ongehinderd de kap 16 treft.The burner 12 is preferably guided or driven. moved by drive means, e.g. by a robot (not shown). The slit 11 thereby ensures that the burner flame hits the cap 16 unhindered.

10 In fig. 2 en 3 bevindt zich in de binnenruimte 13 van een smeltoven 10 een glasstaaf 14 met een sferische kap 16, waarvan het middelpunt 15 gelijktijdig de oorsprong is van een coördinatensysteem met de coördinaten x, y en z en waarin zich de hoekpunten van hoeken α, β, γ bevinden. De hoek β wordt gemeten in het x-y-vlak, 15 de hoek γ in het y-z-vlak en de hoek α in het x-z-vlak. Voor de verdere beschouwingen is de hoek γ evenals de coördinaat z van ondergeschikt belang. Een brander 12 met een mond 17 en een aangrijpingspunt 18 van een robotgeleiding beweegt tussen twee omkeerpun-ten 121 en 122 en daardoor tussen twee coördinatenpunten x0 en -x0 20 op de x-as met differentieel variërende snelheid heen en weer, en wel is de snelheid rond het kruinpunt 161 het grootst en in de nabijheid van de omkeerpunten 121, 122 het kleinst. Bij het omkeren is zij nul en wisselt van richting. Voor een kleine rit van x0 naar -x0 heeft de brander 12 30 tot 120 seconden nodig. De afstand van de 25 kruin 161 van de kap 16 tot het middelpunt 15 bedraagt 100 tot 500 mm. De afstand van de brandermond 17 tot de kruin van de kap 161 is 180 tot 250 mm. Tussen de coördinatenpunten x0 en -x0 bevindt zich een afstand van 80 tot 140 mm. De constante hoek γ tussen de staaf als Xi-Xi en de branderas X2-X2 dient 20 tot 30 graden te be-30 dragen. Alle aangegeven getalswaarden zijn op elkaar afgestemde voorbeeldwaarden, die zeker wel veranderd kunnen worden.In Figs. 2 and 3, in the inner space 13 of a melting furnace 10, there is a glass rod 14 with a spherical cap 16, the center point of which is at the same time the origin of a coordinate system with the coordinates x, y and z and in which the angular points are situated. from angles α, β, γ. The angle β is measured in the x-y plane, the angle γ in the y-z plane and the angle α in the x-z plane. For the further considerations, the angle γ as well as the coordinate z are of minor importance. A burner 12 with a mouth 17 and an engagement point 18 of a robot guide moves back and forth between two reversal points 121 and 122 and thereby between two coordinate points x0 and -x0 on the x-axis with differently varying speed, speed around the intersection 161 is highest and in the vicinity of the reversal points 121, 122 the smallest. When reversing, it is zero and changes direction. For a short trip from x0 to -x0, the burner 12 needs 30 to 120 seconds. The distance from the crown 161 of the cap 16 to the center 15 is 100 to 500 mm. The distance from the burner nozzle 17 to the crown of the cap 161 is 180 to 250 mm. There is a distance of 80 to 140 mm between coordinate points x0 and -x0. The constant angle γ between the rod as Xi-Xi and the burner axis X2-X2 should be 20 to 30 degrees. All indicated numerical values are coordinated example values, which can certainly be changed.

In fig. 4 is als voorbeeld het weg-tijd-voorschrift voor een branderverloop van x0 naar -x0, van de eindpositie 122 naar 121 weergegeven. Daaruit is te zien dat het branderverplaatsing in het 35 midden van de kruin 16, in de nabijheid van de as, het snelst is. Binnen 10 seconden wordt 1/3 van de weg tussen x0 en -Xo afgelegd.Fig. 4 shows, as an example, the path-time regulation for a burner progression from x0 to -x0, from the end position 122 to 121. It can be seen from this that the burner displacement in the center of the crown 16, in the vicinity of the axis, is the fastest. 1/3 of the way between x0 and -Xo is covered within 10 seconds.

Op deze wijze wordt een halfbolvormige kap 16 gevormd, waarvan de homogeniteit van de brekingsindex, de spanningsdubbelbreking, het OH-gehalte en de zuivere transmissie ten opzichte van de stand van 1025963 ® - 6 - H worden gezegd dat x(t) de leidende grootheid is waaruit alle andere grootheden y(t), P(t), y(t) kunnen worden afgeleid resp. bepaald.In this way a hemispherical cap 16 is formed, the homogeneity of the refractive index, the voltage double refraction, the OH content and the pure transmission with respect to the position of 1025963 ® - 6 - H are said to be x (t) the leading quantity is from which all other variables y (t), P (t), y (t) can be derived or derived. determined.

Fig. 5 en 6 laten de door de uitvinding bereikte verbeteringen duidelijk zien. In fig. 5a) tot d) zijn de volgens de bekende H 5 werkwijzen bereikbare waarden en in fig. 6a) tot d) zijn de door de uitvinding bereikbare waarden weergegeven.FIG. 5 and 6 clearly show the improvements achieved by the invention. Figures 5a) to d) show the values achievable by the known H 5 methods and Figures 6a) to d) show the values achievable by the invention.

Fig. 5a) en 6a) tonen bijna een radiale verdubbeling van het kerngebied van een kwartsglasstaaf 14 met gelijkblijvende homogeni- teit van de brekingsindex. Terwijl volgens de stand van de techniek 10 slechts een gebied van r = -30 tot + 30 mm bij benadering dezelfde homogeniteit van de brekingsindex Δη heeft, loopt dit gebied bij een volgens de uitvinding vervaardigde kwartsglasstaaf van r = -55 tot +55 mm. Ook bij de spanningsdubbelbreking SDB toont de volgens de uitvinding vervaardigde kwartsglasstaaf vooral een tot de halve waarde 15 (1) verminderde variatie ten opzichte van de stand van de techniek (2), zoals fig. 5b) en 6b) laten zien. Het OH-gehalte is volgens fig.FIG. 5a) and 6a) show almost a radial doubling of the core region of a quartz glass rod 14 with the same homogeneity of the refractive index. Whereas according to the state of the art only a range of r = -30 to + 30 mm has approximately the same homogeneity of the refractive index Δη, in a quartz glass rod manufactured according to the invention this range ranges from r = -55 to +55 mm. Also with the voltage double refraction SDB, the quartz glass rod manufactured according to the invention shows in particular a variation reduced to half the value 15 (1) relative to the state of the art (2), such as Figs. 5b) and 6b). The OH content is according to fig.

5c) en 6c) over de straal bij de uitvinding aan kleinere variaties on- H derhevig en stijgt pas snel bij de toch al kritische waarde van r = 55 mm. Tot slot toont ook de zuivere transmissie voor licht met een 20 golflengte van 193 nm bij een volgens de uitvinding vervaardigde kwartsglasstaaf een iets geringere radiale afval dan volgens de stand van de techniek (zie fig. 5d) en 6d).5c) and 6c) over the radius in the invention subject to smaller variations and only increases rapidly with the already critical value of r = 55 mm. Finally, the pure light transmission with a wavelength of 193 nm also shows a slightly lower radial waste in a quartz glass rod manufactured according to the invention than according to the prior art (see Figs. 5d) and 6d).

Alle in de beschrijving, de hierna volgende conclusies en de tekening weergegeven kenmerken kunnen zowel afzonderlijk alsook in H 25 willekeurige combinatie met elkaar wezenlijk voor de uitvinding zijn.All the features shown in the description, the following claims and the drawing can be essential to the invention both individually and in any combination with one another.

- 7 -- 7 -

Verwijzingscijferlijst 10 Moffel 11 Spleet 12 Brander 5 13 Binnenruimte 14 Kwartsglasstaaf 15 Krommingsmiddelpunt 16 Kap 17 Brandermond 10 18 Aangrijpingspunt van een robotgeleiding 121, 122 Omkeerpunten (eindposities) 19 Kruinpunt 20 Kaprand a Afstand 15 r Straal α, β, y Hoek X-X, Xi-Xi, X2-X2 Assen x0, z0, zD Coördinaten 1025987Reference number list 10 Muffle 11 Slit 12 Burner 5 13 Inside space 14 Quartz glass rod 15 Center of curvature 16 Cap 17 Burner mouth 10 18 Point of engagement of a robot guide 121, 122 Reversal points (end positions) 19 Intersection 20 Cap edge a Distance 15 r Radius α, β, y Angle XX, Xi- Xi, X2-X2 Axes x0, z0, zD Coordinates 1025987

Claims

Arrangement according to claim 1, characterized in that the turning points are arranged at least approximately diametrically on the edge of the cap.

3. Arrangement according to claim 1, characterized in that the speed decrease from the canopy to the reversal points is non-linear.

4. Arrangement according to claim 1, characterized in that the pivoting movement of the burner takes place along a spatial curve that does not pass through the crest center of the hood.

Arrangement according to claim 4, characterized in that the distance from the spatial curve to the intersection is 5 to 30 mm, preferably 5 to 10 mm.