DE10317376A1 - Layoutdatensicherungsverfahren, Layoutdatenumwandlungsvorrichtung und Graphikverifizierungsvorrichtung - Google Patents

Layoutdatensicherungsverfahren, Layoutdatenumwandlungsvorrichtung und Graphikverifizierungsvorrichtung Download PDF

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hierarchical structure
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Kazuya Kamon
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    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F30/00Computer-aided design [CAD]
    • G06F30/30Circuit design
    • G06F30/39Circuit design at the physical level

Abstract

Es werden Layoutdaten gesichert, welche Elternzelleninformationen aufweisen, welche auf Zellendaten höherer Ordnung hinweisen, um direkt auf Zellendaten niedriger Ordnung (oder Grundelementdaten) Bezug zu nehmen, wodurch eine umgekehrte hierarchische Struktur definiert wird. Insbesondere weisen beide Grundelementdaten (figD1 und figD2) Zellendaten (cell2) als die Elternzelleninformationen auf, alle der Grundelementdaten (figD3 bis figD5) weisen Zellendaten (cell3) als die Elternzelleninformationen auf, die Zellendaten (cell3) weisen zwei identische Zellendaten (cell2 und cell2) als die Elternzelleninformationen auf, und die Zellendaten (cell2) weisen drei identische Zellendaten (cell3, cell3 und cell3) als die Elternzelleninformationen auf.

Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Sichern von Layoutdaten, welche eine Mehrzahl von Grundelementdaten, die alle direkt eine als ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung vorgesehene Graphik definieren, und eine Mehrzahl von Zellendaten, die durch eine hierarchische Struktur konstruiert sind, welche sich am Ende auf die Grundelementdaten beziehen kann, aufweisen.
  • Herkömmlicherweise sind Daten (Layoutdaten), welche ein Layout eines Schaltungsmusters eines hochintegrierten Schaltkreises (LSI – large scale integrated circuit) aufweisen, in der Form gesichert worden, welche mit einem von CALMA Co., Ltd. ausgegebenen GDS2STREAM-Format übereinstimmt. Das GDS2STREAM-Format ist derzeit in der Welt weit verbreitet und ist tatsächlich ein Standard-Format geworden. In einem allgemeinen Anwendungsverfahren werden Daten daher in das GDS2STREAM-Format umgewandelt und werden somit im Bedarfsfall an eine durch andere Firmen hergestellte Software übertragen.
  • In dem GDS2STREAM-Format ist vor allem anderen eine Anfangszelle (top cell) der Hierarchie höchster Ordnung , um ein Startpunkt zu sein, spezifiziert, und Graphikdaten und andere Zellen, auf welche Bezug zu nehmem ist, werden in der Anfangszelle spezifiziert. Graphikdaten und andere Zellen, auf welche Bezug zu nehmen ist, werden auch in einer Zelle spezifiziert, auf welche Bezug genommen worden ist. Die Bezugsbeziehung wird rekursiv wiederholt, bis eine Zelle (Graphikdaten) in der untersten Schicht erreicht ist. Demgemäß können alle Daten sequentiell durch Folgen der hierarchischen Struktur der Zelle von der Anfangszelle der höchsten Hierarchie der Reihe nach verarbeitet werden. Damit weist das GDS2STREAM-Format ein Merkmal auf, daß eine gesamte Datei durch Beschreiben der hierarchischen Struktur konstituiert bzw. festgelegt ist.
  • 18 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel zeigt, in welchem Layoutdaten gemäß dem herkömmlichen Stand der Technik gesichert werden. 19 ist ein Diagramm, welches eine Baumstruktur der in dem in 18 dargestellten Format gesicherten Layoutdaten zeigt.
  • Wie in diesen Zeichnungen gezeigt, bilden die Daten eine hierarchische Struktur. 18 zeigt die nachstehende Beschreibung durch drei Zellendaten cell1 bis cell3.
    cell1{cell2, cell2, cell2}
    cell2{figD1, figD2, cell3, cell3}
    cell3{figD3, figD4, figD5}
  • Es wird angenommen, daß figD1 bis figD5 Graphikdaten sind. Die Graphikdaten werden auch als "Grundelementdaten" bezeichnet und implizieren tatsächlich Daten eines Quadrats oder eines Rechtecks. Z.B. werden ein längliches Rechteck, ein dünnes vertikales Rechteck und ein kleines Quadrat derart gestapelt, daß ein Transistor ausgebildet werden kann. Für jeweilige Attribute wirkt das längliche Rechteck als ein aktives Gebiet, das dünne vertikale Rechteck wirkt als ein Gate und das kleine Quadrat wirkt als ein Kontaktloch für eine Source, ein Gate und ein Drain. Somit definieren die Grundelementdaten (Graphikdaten) eine Graphik, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein.
  • In den Zellendaten cell1 der Hierarchie höchster Ordnung gemäß dem Beispiel wird auf die Zellendaten niedrigerer Ordnung cell2 dreimal Bezug genommen. Daher werden figD1 und figD2, welche in cell2 enthalten sind, dreimal verwendet. Für cell2 wird des weiteren zweimal auf die Zellendaten niedrigerer Ordnung cell3 Bezug genommen. Daher werden figD3 bis figD5, welche in cell3 enthalten sind, sechsmal als cell1 verwendet. Falls die Daten von cell1 flach expandiert sind (in nur Graphikdaten), können die nachstehenden flachen Daten erhalten werden.
    {figD1, figD2, figD3, figD4, figD5, figD3, figD4, figD5, figD1, figD2, figD3, figD4, figD5, figD3, figD4, figD5 , figD1 , figD2 , figD3 , figD4 , figD5 , figD3 , figD4 , figD5}
  • Somit werden die gleichen Graphikdaten viele Male wiederholt beschrieben. Das GDS2STREAM-Format nutzt die hierarchische Struktur aus und weist daher eine entsprechend kompaktere Datenstruktur auf im Vergleich mit dem Beispiel der flachen Expansion. Diese Tendenz ist bemerkenswerter, wenn das gleiche Format als Layoutdaten eines LSI verwendet wird, welcher Daten großen Maßstabs handhabt.
  • Somit ist das Datenformat mit der hierarchischen Struktur sehr effizient, weil es einfach die Inhalte einer Bezugnahme oder von Bezugnahmen einer Zelle ändert, wenn eine Arbeit zum wiederholten Verwenden einer bestimmten Grundgraphik oder Bewegen und Kopieren eines vergleichsweise großen Datenvolumens oft generiert wird.
  • Bei Layoutdaten, die eine herkömmliche hierarchische Struktur aufweisen, welche durch das GDS2STREAM-Format repräsentiert wird, werden eine Zelle niedriger Ordnung und Graphikdaten, auf welche Bezug genommen wird (welche nachstehend als eine "Kindzelle" bezeichnet werden wird) in einer Zelle wie oben beschrieben spezifiziert. Demgegenüber wird jedoch eine Zelle hoher Ordnung, auf welche Bezug genommen wird (welche nachstehend als eine "Elternzelle" bezeichnet werden wird), in der Zelle nicht spezifiziert. Insbesondere werden Zellendaten von einer hohen Ordnung zu einer niedrigen Ordnung spezifiziert, um die hierarchische Struktur zu implementieren.
  • Um einen Bereich zu prüfen, in welchem Zellen höherer Ordnung beeinflußt werden, wenn ein innerer Teil einer bestimmten Zelle korrigiert wird, ist es daher erforderlich, Daten durch reversives Folgen all der hierarchischen Strukturen einzeln zu expandieren und zu prüfen. Für die Verwendung, in welcher eine gegenseitige Positionsbeziehung zwischen Graphiken, welche in separaten Zellen enthalten sind, in Betracht gezogen wird, ist es darüber hinaus erforderlich, eine hierarchische Struktur einmal zu expandieren, um eine flache Datenstruktur auszubilden. Aus diesem Grunde ist die Verarbeitungseffizienz im Vergleich mit der in flachen Daten, welche ursprünglich keine hierarchische Struktur aufweisen, reduziert. Das Layoutdatenvolumen eines LSI wird enorm. Daher gibt es ein Problem dahingehend, daß eine Kapazität einer Speichervorrichtung wie etwa eine Platte oder ein Speicher überschritten wird und eine normale Verarbeitung nicht ausgeführt werden kann, wenn die hierarchische Struktur zu expandieren ist, um flache Daten zu generieren.
  • Um einen solchen Nachteil zu beseitigen, ist es erforderlich, spezielle Fachkenntnis zu besitzen, z.B., die Bezugsbeziehung zwischen Zellen in einer Layoutdatenauslegungsstufe zu beachten oder dafür zu sorgen, daß die Zellen nicht mit benachbarten Zellen überlappen.
  • Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Sichern von Layoutdaten mit einer Struktur bereitzustellen, in welcher ein durch eine Änderung in einer Graphik und dergleichen, welche durch Grundelementdaten definiert sind, insgesamt bzw. auf das Ganze ausgeübter Einfluß vergleichsweise einfach geprüft werden kann.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die technische Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird gelöst durch die Merkmale der unabhängigen Patentansprüche. Weiterentwicklungen und vorteilhafte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung bilden den Gegenstand der Unteransprüche.
  • Ein erster Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist auf ein Verfahren zum Sichern von Layoutdaten, welche eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Graphik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine hierarchische Struktur derart konstruiert sind, daß letztlich Bezug auf die Grundelementdaten genommen werden kann, aufweisen. In dem Layoutdatensicherungsverfahren werden die Layoutdaten in einem solchen Format gesichert, daß sie die hierarchische Struktur in einer umgekehrten Richtung von einer niedrigen Ordnung zu einer hohen Ordnung durch Beziehen auf Elternzelleninformationen definieren, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hindeuten, auf welche direkt Bezug genommen wird, bezüglich allen der Mehrzahl von Grundelementdaten und der Mehrzahl von Zellendaten.
  • Das Layoutdatensicherungsverfahren dient dazu, die hierarchische Struktur in der umgekehrten Richtung zu definieren und zu sichern, wobei eine hierarchische Bezie hung von einer niedrigen Ordnung zu einer hohen Ordnung definiert wird. Durch sequentielles Abfragen der Zellendaten in einer Hierarchie höherer Ordnung mit den Elternzelleninformationen der Grundelementdaten, welche so festgelegt sind, daß sie ein Startpunkt sind, ist es folglich möglich, einen durch eine Änderung in einer Graphik und dergleichen, welche durch die Grundelementdaten definiert sind, insgesamt ausgeübten Einfluß vergleichsweise einfach zu prüfen.
  • Ein zweiter Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist auf eine Layoutdatenumwandlungsvorrichtung zum Umwandeln von Layoutdaten eines ersten Typs in Layoutdaten eines zweiten Typs gerichtet. Die Layoutdaten des ersten Typs und des zweiten Typs weisen jeweils eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Graphik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine hierarchische Struktur derart definiert sind, daß letztlich auf die Grundelementdaten Bezug genommen werden kann, auf. Alle der Mehrzahl von Zellendaten in den Layoutdaten des ersten Typs weisen Kindzelleninformationen auf, welche auf Zellendaten niedriger Ordnung oder das Grundelement bzw. die Grundelementdaten, auf welche/-s direkt Bezug genommen wird, hindeuten, wodurch die hierarchische Struktur in einer positiven Richtung definiert wird. Sowohl die Mehrzahl von Grundelementdaten als auch die Mehrzahl von Zellendaten in den Layoutdaten des zweiten Typs weisen Elternzelleninformationen auf, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hindeuten, auf welche direkt Bezug genommen wird, wodurch die hierarchische Struktur in einer umgekehrten Richtung definiert wird. Die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung beinhaltet einen Hierarchiestrukturanalyseabschnitt und einen Umkehrhierarchiestrukturerzeugungsabschnitt. Der Hierarchiestrukturanalyseabschnitt analysiert die hierar chische Struktur auf der Grundlage der Kindzelleninformationen der Layoutdaten des ersten Typs. Der Umkehrhierarchiestrukturerzeugungsabschnitt fügt sowohl der Mehrzahl von Grundelementdaten als auch der Mehrzahl von Zellendaten jeweils die Elternzelleninformationen hinzu, um die Layoutdaten des zweiten Typs auf der Grundlage eines Ergebnisses einer durch den Hierarchiestrukturanalyseabschnitt ausgeführten Analyse zu erzeugen bzw. zu generieren.
  • Die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung kann die Layoutdaten des ersten Typs in die Layoutdaten des zweiten Typs umwandeln. Daher ist es möglich, die existierenden Layoutdaten des ersten Typs als die Layoutdaten des zweiten Typs wirksam auszunutzen.
  • Ein dritter Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist auf eine Layoutdatenumwandlungsvorrichtung zum Umwandeln von Layoutdaten eines zweiten Typs in Layoutdaten eines ersten Typs gerichtet. Die Layoutdaten des ersten Typs und des zweiten Typs weisen eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Graphik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine Hierarchiestruktur derart konstruiert sind, daß letztlich auf die Grundelementdaten Bezug genommen werden kann, auf . Alle der Mehrzahl der Zellendaten in den Layoutdaten des ersten Typs weisen Kindzelleninformationen auf, welche auf Zellendaten niedriger Ordnung oder das Grundelement bzw. die Grundelementdaten, auf welche/-s direkt Bezug genommen wird, hindeuten, wodurch die hierarchische Struktur in einer positiven Richtung definiert wird. Sowohl die Mehrzahl der Grundelementdaten als auch die Mehrzahl der Zellendaten in den Layoutdaten des zweiten Typs weisen Elternzelleninformationen auf, welche auf Zellendaten hoher Ordnung, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten, wodurch die hierarchische Struktur in einer umgekehrten Richtung definiert wird. Die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung beinhaltet einen Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt und einen Hierarchiestrukturerzeugungsabschnitt. Der Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt analysiert die hierarchische Struktur auf der Grundlage der Elternzel-leninformationen der Layoutdaten des zweiten Typs. Der Hierarchiestrukturerzeugungsabschnitt fügt den Kindzel-leninformationen aller der Mehrzahl von Zellendaten jeweils die Kindzelleninformationen hinzu, um die Layoutdaten des ersten Typs auf der Grundlage eines Ergebnisses einer durch den Umkehrhierarchiestruktur-analyseabschnitt ausgeführten Analyse zu generieren.
  • Die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung kann die Layoutdaten des zweiten Typs in die Layoutdaten des ersten Typs umwandeln. Daher ist es möglich, eine Kompatibilität der existierenden Layoutdaten des ersten Typs bzw. der Layoutdaten des existierenden ersten Typs und der Layoutdaten des zweiten Typs, welche die hierarchische Struktur in der umgekehrten Richtung definieren, zu erhalten.
  • Ein vierter Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung ist auf eine Graphikverifizierungsvorrichtung zum Ausführen einer Graphikverifikationsverarbeitung auf der Grundlage von Layoutdaten gerichtet. Die Layoutdaten weisen eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Graphik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine Hierarchiestruktur derart konstruiert sind, daß letztlich auf die Grundelementdaten Bezug genommen werden kann, auf. Sowohl die Mehrzahl von Grundelementdaten als auch die Mehrzahl von Zellendaten weisen Elternzelleninformationen auf, um Informationen über Zellendaten hoher Ordnung zu sein, auf welche direkt Bezug genommen wird, wodurch die hierarchische Struktur in der umgekehrten Richtung definiert wird. Die Graphikverifizierungsvorrichtung beinhaltet einen Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt und einen Graphikverifizierungsabschnitt. Der Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt analysiert die hierarchische Struktur auf der Grundlage der Elternzelleninformationen der Layoutdaten. Der Graphikverifizierungsabschnitt führt eine Verifikationsverarbeitung auf der Grundlage eines belegten bzw. besetzten Gebiets auf einem tatsächlichen Raumgebiet einer Graphik, welche durch die Mehrzahl von Grundelementdaten definiert ist, auf der Grundlage eines Ergebnisses einer durch den Hierarchiestrukturanalyseabschnitt durchgeführten Analyse aus.
  • Die Graphikverifizierungsvorrichtung kann vergleichsweise einfach das belegte Gebiet auf dem tatsächlichen Raumgebiet der durch die Grundelementdaten definierten Graphik erkennen, indem sie die Zellendaten hoher Ordnung mit den Elternzelleninformationen der Grundelementdaten, welche festgelegt sind, um ein Startpunkt zu sein, sequentiell abfragt bzw. abruft. Somit kann eine Graphik effizient verifiziert werden.
  • Diese und andere Aufgaben, Merkmale, Gesichtspunkte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachstehenden genauen Beschreibung der vorliegenden Erfindung offenkundiger werden, wenn sie in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen genommen wird.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist ein Diagramm, welches ein Verfahren zum Sichern von Layoutdaten gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 2 ist ein Flußdiagramm, welches ein Verfahren zum Generieren von Layoutdaten mit einer umgekehrten hierarchischen Struktur zeigt,
  • 3 ist ein Diagramm, welches einen Layoutdaten-Sicherungszustand gemäß der ersten Ausführungsform zeigt,
  • 4 ist ein Diagramm, welches den Layoutdaten-Sicherungszustand gemäß der ersten Ausführungsform in einem Baumformat zeigt,
  • 5 ist ein Diagramm, welches eine hierarchische Struktur in Layoutdaten darstellt,
  • 6 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 7 ist ein Flußdiagramm, welches einen Betrieb der Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt,
  • 8 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 9 ist ein Flußdiagramm, welches einen Betrieb der Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform zeigt,
  • 10 ist ein Blockdiagramm, welches einen Aufbau einer Belegungsratenanalysevorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 11 ist ein Flußdiagramm, welches einen Belegungsratenberechnungsvorgang der Belegungsratenanalysevorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform zeigt,
  • 12 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Belegungsratenanalysevorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 13 ist ein Flußdiagramm, welches einen Belegungsratenberechnungsvorgang der Berechnungsratenanalysevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform zeigt,
  • 14 ist ein Blockdiagramm, welches die Struktur einer Fourier-Analysevorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 15 ist ein Flußdiagramm, welches einen Fourier-Analysevorgang der Fourier-Analysevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform zeigt,
  • 16 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Fourier-Analysevorrichtung gemäß einer siebenten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt,
  • 17 ist ein Flußdiagramm, welches einen Fourier-Analysevorgang der Fourier-Analysevorrichtung gemäß der siebenten Ausführungsform zeigt,
  • 18 ist ein Diagramm, welches einen Layoutdaten-Sicherungszustand gemäß dem Stand der Technik zeigt, und
  • 19 ist ein Diagramm, welches den Layoutdaten-Sicherungszustand gemäß dem herkömmlichen Stand der Technik in einem Baumformat zeigt.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • <Erste Ausführungsform>
  • 1 ist ein Diagramm, welches ein Layoutdatensicherungsformat gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Ein Pfeil in 1 bezeichnet eine Bezugsrichtung. Wie in 1 gezeigt, ist dort eine hierarchische Struktur von einer niedrigen Ordnung zu einer hohen Ordnung in der Reihenfolge eines Grundelementdatenbeschreibungsabschnitts 11, eines Zellendatenbeschreibungsabschnitts 12, eines Zellendatenbeschreibungsabschnitts 13 und eines Höchstordnungszellendatenbeschreibungsabschnitts 14 dargestellt.
  • Auf den Grundelementdatenbeschreibungsabschnitt 11 wird von dem Zellendatenbeschreibungsabschnitt 12, dem Zellendatenbeschreibungsabschnitt 13 oder dem Höchstordnungszellendatenbeschreibungsabschnitt 14 direkt Bezug genommen, und der Grundelementdatenbeschreibungsabschnitt 11 weist Elternzelleninformationen (entsprechend dem Pfeil in 1) auf, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hindeuten, auf welche direkt Bezug genommen wird.
  • Auf den Zellendatenbeschreibungsabschnitt 12 wird von dem Zellendatenbeschreibungsabschnitt 13 oder dem Höchstordnungszellendatenbeschreibungsabschnitt 14 direkt Bezug genommen, und der Zellendatenbeschreibungsabschnitt 12 weist Elternzelleninformationen auf, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hindeuten, auf welche direkt Bezug genommen wird .
  • Auf den Zellendatenbeschreibungsabschnitt 13 wird von einem anderen Zellendatenbeschreibungsabschnitt 13 oder dem Höchstordnungszellendatenbeschreibungsabschnitt 14 direkt Bezug genommen, und der Zellendatenbeschreibungsabschnitt 13 weist Elternzelleninformationen auf, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hindeuten, auf welche direkt Bezug genommen wird.
  • Der Höchstordnungszellendatenbeschreibungsabschnitt 14 weist wegen der höchsten Hierarchie keine Elternzelleninformationen auf.
  • In dem Layoutdatensicherungsformat gemäß der ersten Ausführungsform wird daher eine Sicherung mit einer umgekehrten hierarchischen Struktur ausgeführt, in welcher eine hierarchische Beziehung von einer niedrigen Ordnung zu einer hohen Ordnung in einer zu der in dem herkömmlichen Stand der Technik umgekehrten Richtung klar ist. In dieser Beschreibung wird eine Richtung von der hohen Ordnung zu der niedrigen Ordnung und eine Richtung von der niedrigen Ordnung zu der hohen Ordnung in der hierarchischen Struktur nachfolgend als positive bzw. umgekehrte Richtung bezeichnet werden.
  • 2 ist ein Flußdiagramm, welches ein Verfahren zum Generieren von Layoutdaten mit der umgekehrten hierarchischen Struktur zeigt. Mit Bezug auf 2 wird eine Beschreibung bezüglich eines Betriebs bzw. Vorgangs zum Erzeugen einer Layoutdatenstruktur gemäß der ersten Ausführungsform gegeben werden.
  • In einem Schritt S11 werden Grundelementdaten DP erzeugt. Die Grundelementdaten DP sind Graphikdaten und besitzen Elternzelleninformationen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hindeuten, auf welche direkt Bezug genommen wird, um die umgekehrte hierarchische Struktur zu erfüllen, zusätzlich zu Informationen und einem Attribut, welches auf eine Graphik selbst in der gleichen Weise wie im herkömmlichen Stand der Technik hindeutet. Die Grundelementdaten DP entsprechen dem Grundelementdatenbeschreibungsabschnitt 11.
  • In einem Schritt S12 werden Zellendaten eines ersten Niveaus bzw. einer ersten Ordnung (nachstehend auch als erst-rangige Zellendaten bezeichnet) CL1, um auf die Grundelementdaten DP Bezug zu nehmen, beschrieben. Die erstrangigen Zellendaten CL1 enthalten keine Kindzelleninformationen, welche auf eine hierarchische Beziehung mit den Grundelementdaten DP, auf welche Bezug zu nehmen ist, hindeuten, sondern enthalten stattdessen Elternzelleninformationen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten.
  • Beispiele der erstrangigen Zellendaten CL1 beinhalten Zellen, welche eine logische Grundfunktion wie etwa UND, ODER, NICHT und/oder NICHTUND mit Bezug auf ein oder mehr Grundelementdaten DP aufweisen.
  • In einem Schritt S13 werden zweitrangige Zellendaten CL2 (Zellendaten eines zweiten Niveaus), um auf die erstrangigen Zellendaten CL1 Bezug zu nehmen, beschrieben. Die zweitrangigen Zellendaten CL2 enthalten keine Kindzelleninformationen, welche auf eine hierarchische Beziehung mit den erstrangigen Zellendaten CL1, auf welche Bezug zu nehmen ist, hindeuten, sondern enthalten Elternzelleninformationen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten. Es gibt eine Möglichkeit, daß andere zweitrangige Zellendaten CL2 möglicherweise auf die zweitrangigen Zellendaten CL2 Bezug nehmen. Daher wird eine Operation zum Beschreiben der zweitrangigen Zellendaten CL2 durch den Zellendatenbeschreibungsabschnitt 13 rekursiv ausgeführt.
  • Beispiele der zweitrangigen Zellendaten CL2 umfassen eine Zelle, um ein Befehl zu sein, welcher eine höhere Funktion aufweist, in Kombination mit den erstrangigen Zellendaten CL1 und den Grundelementdaten DP. Darüber hinaus können die zweitrangigen Zellendaten CL2 teilweise auf die Grundelementdaten DP Bezug nehmen.
  • In einem Schritt S14 werden schließlich die höchstrangigen Zellendaten CLX (Zellendaten eines höchsten Nivaus), auf welche keine Zelle Bezug nimmt, beschrieben. In einigen Fällen agieren die erstrangigen Zellendaten CLl und die zweitrangigen Zellendaten CL2 als die höchstrangigen Zellendaten CLX.
  • Die Grundelementdaten DP, die erstrangigen Zellendaten CL1, die zweitrangigen Zellendaten CL2 und die höchstrangigen Zellendaten CLX weisen Gebietsinforma-tionen zum Definieren von Größen, Ursprungspositionen und dergleichen auf durch sie selbst vorgeschriebenen Räumen auf.
  • Somit stellen die in dem Layoutdatensicherungsformat gemäß der ersten Ausführungsform zu sichernden Layoutdaten die umgekehrte hierarchische Struktur dar, in welcher Zellendaten Elternzelleninformationen aufweisen.
  • 3 ist ein Diagramm, welches den Layoutdaten-Sicherungszustand gemäß der ersten Ausführungsform zeigt. 4 ist ein Diagramm, welches eine Baumstruktur von in dem in 3 dargestellten Format gesicherten Layoutdaten zeigt. Die in 3 und 4 gezeigten Layoutdaten entsprechen in 18 und 19 gezeigten Layoutdaten.
  • Wie in 3 und 4 gezeigt, weisen Zellendaten (einschließlich Grundelementdaten) Elternzelleninformationen auf, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hinweisen, auf welche direkt Bezug zu nehmen ist. Genauer gesagt, weisen sowohl die Grundelementdaten figD1 als auch figD2 Zellendaten cell2 als Elternzelleninformationen auf, alle Grundelementdaten figD3 bis figD5 weisen Zel lendaten cell3 als die Elternzelleninformationen auf, die Zellendaten cell3 weisen zwei identische Zellendaten cell2 und cell2 als die Elternzelleninformationen auf, und die Zellendaten cell2 weisen drei identische Zellendaten cell1, cell1 und cell1 als die Elternzelleninformationen auf.
  • Demgemäß ist offenkundig, daß figD4 eine Beziehung mit all den Zellendaten, auf welche Bezug zu nehmen ist (cell3 (auf welche einmal Bezug genommen wird), cell2 (auf welche zweimal durch cell3 Bezug genommen wird) und cell1 (auf welche sechsmal durch cell2 und cell3 Bezug genommen wird)) wirksam und genau erkennen kann, indem festgelegt wird, daß die Elternzelleninformationen (cell3) von figD4 ein Startpunkt sind.
  • In dem Fall, in welchem Graphik- oder Grundelementdaten DP korrigiert werden, erreicht die Korrektur all die Zellen, welche auf die Grundelementdaten DP direkt oder indirekt Bezug nehmen. In einem herkömmlichen Verfahren zum Sichern von Layoutdaten mit einer hierarchischen Struktur ist nur eine hierarchische Beziehung in der positiven Richtung definiert. Daher ist es schwierig, einen durch die Korrektur der Grundelementdaten DP in dem niedrigsten Niveau insgesamt ausgeübten Einfluß korrekt zu erfassen.
  • In dem Layoutdatensicherungsformat gemäß der ersten Ausführungsform ist jedoch die hierarchische Beziehung in einer umgekehrten Richtung definiert. Daher wird die Abfrage dadurch ausgeführt, daß die Elternzelleninformation der Grundelementdaten DP als ein Startpunkt festgelegt werden. Demzufolge ist es möglich, den durch die Korrektur der Grundelementdaten DP insgesamt ausgeübten Einfluß wirksam und genau zu erkennen.
  • 5 ist ein Diagramm, welches die hierarchische Struktur in den Layoutdaten darstellt. In dem Beispiel von 5 ist ein Halbleiterchip 1, um die Zellendaten höchster Ordnung zu sein, mit einem Speicher 2, einer Eingabe/Ausgabe-Schnittstelle (I/O) 3 und einer Logikschaltung 4, um die Zellendaten niedrigerer Ordnung hiervon zu sein, ausgestattet. Des weiteren ist der Speicher 2 mit einer peripheren Schaltung 5 und einer Speicherzellenanordnung 6, um die Zellendaten niedrigerer Ordnung hiervon zu sein, ausgestattet, und eine große Anzahl von Speicherzellen (MC) 7, um die Zellendaten niedrigerer Ordnung zu sein, sind in einer Matrix auf dem Speicherzellenfeld 6 vorgesehen. Die Speicherzelle 7 ist mit Grundelementen F0, F1 und F2, um durch in der niedrigsten Ordnung der hierarchischen Struktur positionierte Grundelementdaten definierte Graphiken zu sein, ausgestattet.
  • Z.B. kann in dem Fall, in welchem die Grundelementdaten F2 geändert werden, ein durch das Speicherzellenfeld 6 (alle die Speicherzellen 7) und den Speicher 2 auf den Halbleiterchip 1 ausgeübter Einfluß durch Folgen der Elternzelleninformationen vergleichsweise einfach erkannt werden, wobei die Elternzelleninformationen der Grundelementdaten F2 festgelegt sind, um ein Startpunkt in den die umgekehrte hierarchische Struktur gemäß der ersten Ausführungsform aufweisenden Layoutdaten zu sein.
  • <Zweite Ausführungsform>
  • 6 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Wie in 6 gezeigt, analysiert ein Hierarchiestrukturanalyseabschnitt 21 eine hierarchische Struktur auf der Grundlage von Hierarchiestrukturlayoutdaten DH und gibt eine Hierarchiestrukturanalyseinformation D21 aus. Ein Umkehrhierarchiestrukturerzeugungsabschnitt 22 gibt Umkehrhierarchiestrukturlayoutdaten RDH auf der Grundlage der Hierarchiestrukturanalyseinformation D21 aus.
  • 7 ist ein Flußdiagramm, welches einen Betrieb der Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform zeigt. Mit Bezug auf 7 wird der Umwandlungsvorgang nachstehend beschrieben werden. Als al-lererstes wird eine Beschreibung bezüglich eines Hierarchiestrukturanalysevorgangs beschrieben werden, welcher durch den Hierarchiestrukturanalyseabschnitt 21 auszuführen ist.
  • Zuallererst werden bei einem Schritt S21 die Zellendaten höchster Ordnung von den Hierarchiestrukturlayoutdaten DH abgefragt, und Zellendaten niedriger Ordnung werden bei einem Schritt S22 von Kindzelleninformationen der Zellendaten höchster Ordnung abgefragt.
  • Dann werden hierarchische Daten niedrigerer Ordnung von den Kindzelleninformationen der bei dem Schritt S22 erfaßten Zellendaten niedriger Ordnung abgefragt. In dem Fall, in welchem die so abgefragten Zellendaten niedriger Ordnung ferner Zellendaten als Kindzelleninformationen aufweisen, wird eine Verarbeitung eines Schritts S23 rekursiv ausgeführt.
  • Danach werden bei einem Schritt S24 Grundelementdaten als die Zellendaten niedrigster Ordnung abgefragt. Unter bestimmten Umständen werden die Grundelementdaten nach Ausführung der Schritte S21 und S22 abgefragt.
  • Nach den Schritten S21 bis S24 erhält der Hierarchiestrukturanalyseabschnitt 21 die Hierarchiestrukturanaly- seinformation D21 einschließlich einer hierarchischen Beziehung (einer Eltern/Kindbeziehung) aller Grundelementdaten und Zellendaten und inhärenten Informationen in den Zellendaten.
  • Als nächstes wird ein Vorgang zum Generieren der Umkehrhierarchiestrukturlayoutdaten RDH auf der Grundlage der Hierarchiestrukturanalyseinformation D21 begonnen, welche durch den Umkehrhierarchiestrukturerzeugungsabschnitt 22 auszuführen ist.
  • Bei einem Schritt S25 werden Grundelementdaten erzeugt. Inhärente Informationen wie etwa Informationen über Graphikdaten in den Grundelementdaten sind die gleichen wie die der Hierarchiestrukturlayoutdaten DH. Durch erneutes Hinzufügen von Elternzelleninformationen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten, werden Grundelementdaten erzeugt, welche eine umgekehrte hierarchische Struktur aufweisen.
  • Dann werden bei einem Schritt S26 Zellendaten, um auf die Grundelementdaten Bezug zu nehmen, erzeugt. In diesem Fall weisen die Zellendaten keine Kindzelleninformationen auf, welche auf eine hierarchische Beziehung mit den Grundelementdaten hindeuten, und Elternzelleninformationen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung, auf welche direkt Bezug genommen werden, hindeuten, werden hinzugefügt.
  • Bei einem Schritt S27 werden als nächstes Zellendaten, um auf die Zellendaten Bezug zu nehmen, erzeugt. In diesem Fall besitzen die generierten Zellendaten keine Kindzelleninformationen, welche auf die hierarchische Beziehung mit den Zellendaten, auf welche Bezug zu nehmen ist, hindeuten, und Elternzelleninformationen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten, werden hinzugefügt. In dem Fall, in welchem ferner andere Zellendaten auf die generierten Zellendaten Bezug nehmen, wird die Verarbeitung des Schritts S27 rekursiv ausgeführt.
  • Dann werden bei einem Schritt S28 Zellendaten höchster Ordnung generiert. Die Zellendaten höchster Ordnung weisen die Kindzelleninformationen nicht auf.
  • Somit kann die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH in die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH umwandeln. Daher ist es möglich, existierende Layoutdaten hierarchischer Struktur bzw. Layoutdaten einer existierenden hierarchischen Struktur als Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur praktisch zu verwenden.
  • Eine große Anzahl existierender ausgelegter Layoutdaten werden als die Layoutdaten hierarchischer Struktur auf der Grundlage eines GDS2STREAM-Formats gesichert. Durch die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform ist es daher möglich, eine Kompatibilität mit den existierenden Layoutdaten hierarchischer Struktur aufrecht zu erhalten. Falls die Kompatibilität aufrecht erhalten werden kann, ist es auch möglich, eine herkömmliche hierarchische Struktur und die umgekehrte hierarchische Struktur gemäß der vorliegenden Erfindung richtig zu verwenden, falls erforderlich.
  • <Dritte Ausführungsform>
  • 8 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfinddung zeigt.
  • Wie in 8 gezeigt, analysiert ein Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 31 eine umgekehrte hierarchische Struktur auf der Grundlage von Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH und gibt eine Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D31 aus. Ein Hierarchiestrukturerzeugungsabschnitt 32 gibt Layoutdaten hierarchischer Struktur DH auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D31 aus.
  • 9 ist ein Flußdiagramm, welches einen Betrieb der Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform zeigt. Mit Bezug auf 9 wird nachstehend der Umwandlungsvorgang beschrieben werden. Zuallererst wird eine Beschreibung bezüglich eines Umkehrhierarchiestrukturanalysevorgangs, welcher durch den Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 31 auszuführen ist, beschrieben werden.
  • Zuallererst werden bei einem Schritt S31 Grundelementdaten von den Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH abgefragt, und bei einem Schritt S32 werden Zellendaten, um auf die Grundelementdaten Bezug zu nehmen, von den Elternzelleninformationen der Grundelementdaten abgefragt.
  • Dann werden Zellendaten höherer Ordnung von den Elternzelleninformationen der bei dem Schritt S32 erfaßten Zellendaten abgefragt. In dem Fall, in welchem die so abgefragten Zellendaten höherer Ordnung ferner Zellendaten als Elternzelleninformationen aufweisen, wird eine Verarbeitung eines Schritts 533 rekursiv ausgeführt.
  • Danach werden bei einem Schritt S34 Zellendaten höchster Ordnung durch Folgen der Elternzelleninformationen der Zellendaten abgefragt. Unter bestimmten Umständen werden die Zellendaten höchster Ordnung nach der Ausführung der Schritte S31 und S32 abgefragt.
  • Nach den Schritten S31 bis S34 erhält der Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 31 die Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D31 einschließlich einer hierarchischen Beziehung (einer Eltern/Kindbeziehung) all der Zellendaten und inhärenten Informationen in den Zellendaten.
  • Als nächstes wird ein Vorgang zum Generieren der Layoutdaten hierarchischer Struktur DH auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D31 begonnen, welcher durch den Hierarchiestrukturerzeugungsabschnitt 32 auszuführen ist.
  • Bei einem Schritt S35 werden die Zellendaten höchster Ordnung erzeugt. In diesem Fall werden Kindzelleninformationen hinzugefügt, wodurch die Zellendaten höchster Ordnung auf der Grundlage einer existierenden hierarchischen Struktur erzeugt werden.
  • Dann werden bei einem Schritt S36 Zellendaten niedriger Ordnung durch Bezugnahme auf die Kindzelleninformationen der Zelle höchster Ordnung erzeugt. In diesem Fall werden die Kindzelleninformationen, um Informationen über die Zellendaten zu sein, auf welche Bezug zu nehmen ist, zu den Zellendaten hinzugefügt.
  • Als nächstes werden bei einem Schritt S37 Zellendaten niedrigerer Ordnung durch Bezugnahme auf die Kindzelleninformation der Zellendaten erzeugt. In diesem Fall werden die Kindzelleninformationen, welche auf Zellendaten hindeuten, auf welche Bezug zu nehmen ist, hinzugefügt. In dem Fall, in welchem die Kindzelleninformationen der generierten Zellendaten andere Zellendaten aufweisen, wird die Verarbeitung des Schritts S37 rekursiv ausgeführt.
  • Dann werden bei einem Schritt S38 Grundelementdaten generiert.
  • Somit kann die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH in die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH umwandeln. Daher ist es möglich, eine Kompatibilität mit existierenden Layoutdaten hierarchischer Struktur bzw. mit Layoutdaten einer existierenden hierarchischen Struktur aufrecht zu erhalten. Falls die Kompatibilität aufrecht erhalten werden kann, ist es auch möglich, eine herkömmliche hierarchische Struktur und die umgekehrte hierarchische Struktur gemäß der vorliegenden Erfindung richtig zu verwenden, falls erforderlich.
  • <Vierte Ausführungsform>
  • 10 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Belegungsratenanalysevorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in 10 gezeigt, empfängt ein Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 41 Layoutdaten einer umgekehrten hierarchischen Struktur RDH und gibt eine Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 auf der Grundlage der Layoutdaten der umgekehrten hierarchischen Struktur RDH aus. Ein Belegungsratenberechnungsabschnitt 42, um ein Graphikverfizierungsabschnitt zu sein, gibt ein Belegungsratenberechnungsergebnis D42 auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 aus.
  • Die Belegungsratenanalysevorrichtung kann eine Struktur einsetzen, in welcher die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH direkt verwendet werden, oder eine Struktur, in welcher die durch Umwandeln von Layoutdaten einer existierenden hierarchischen Struktur DH mittels eines Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitts 20 erhaltenenen Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH verwendet werden, wie in 10 gezeigt. Die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform entspricht dem Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20.
  • 11 ist ein Flußdiagramm, welches einen Belegungsratenberechnungsvorgang der Belegungsratenanalysevorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform zeigt. 11 entspricht der Struktur von 10, in welcher die existierenden Layoutdaten hierarchischer Struktur DH ausgenutzt werden. Mit Bezug auf 11 wird eine Beschreibung bezüglich dem Belegungsratenberechnungsvorgang gegeben werden.
  • Zuallererst werden die Layoutdaten DH durch den Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20 bei einem Schritt S41 in Layoutdaten einer umgekehrten hierarchischen Struktur RDH umgewandelt.
  • Anschließend wird durch den Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 41 eine Umkehrhierarchiestrukturanalyseverarbeitung auf der Grundlage der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH ausgeführt.
  • Zuallererst werden bei einem Schritt S42 Grundelementdaten extrahiert.
  • Bei einem Schritt S43 werden als nächstes Zellendaten hoher Ordnung auf der Grundlage von Elternzelleninformationen der Grundelementdaten abgefragt.
  • Bei einem Schritt S44 werden des weiteren Zellendaten hoher Ordnung auf der Grundlage von Elternzelleninformationenen der Zellendaten abgefragt. Falls Elternzellendaten der so abgefragten Zellendaten vorliegen, wird die Verarbeitung des Schritts S44 rekursiv ausgeführt.
  • Bei einem Schritt S45 werden schließlich durch Folgen der Elternzelleninformationen die Zellendaten höchster Ordnung abgefragt. In Abhängigkeit von einer Struktur der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH wird der Schritt S45 in manchen Fällen unmittelbar nach der Ausführung der Schritte S42 und S43 ausgeführt.
  • Wenn die Zellendaten höchster Ordnung abgefragt sind, wird ein tatsächliches Raumgebiet, um durch die Zellendaten höchster Ordnung definiert zu sein, bestimmt. Eine durch wenigstens eine der Grundelementdaten definierte Graphik wird in dem tatsächlichen Raumgebiet verwendet. Daher wird das tatsächliche Raumgebiet ein Objekt der Belegungsratenberechnung, um eine der Graphikverifikationen zu sein.
  • Anschließend wird eine Belegungsratenberechnungsverarbeitung auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 begonnen, welche durch den Belegungsratenberechnungsabschnitt 42 auszuführen ist. In der vorliegenden Ausführungsform wird eine Verarbeitung bezüglich einer Netzgebietseinheit unter der Annahme ausgeführt, daß ein tatsächliches Raumgebiet aus einer Mehrzahl von Netzgebieten aufgebaut ist.
  • Zuallererst werden bei einem Schritt S46 absolute Koordinaten der durch Grundelementdaten definierten Graphik berechnet. Eine Koordinatenposition der durch die Grundelementdaten definierten Graphik auf dem tatsächlichen Raumgebiet wird auf der Grundlage von Gebietsinformatio nen über alle Zellendaten von den Grundelementdaten bis zu den Zellendaten höchster Ordnung bestimmt.
  • Zum Beispiel werden in dem Beispiel von 5 absolute Koordinaten, auf welchen eine durch Grundelementdaten F2 definierte Graphik vorliegt, nicht entschieden, bis eine hierarchische Struktur, welche eine Speicherzelle 7, ein Speicherzellenfeld 6, einen Speicher 2 und einen Halbleiterchip 1 aufweist, klar wird, und eine vorbestimmte Position der vorbestimmten Speicherzelle 7 in dem Speicherzellenfeld 6 des auf dem Halbleiterchip 1 ausgebildeten Speichers 2 wird auf eine Position festgelegt, in welcher die Grundelementdaten F2 auszubilden sind.
  • Bei einem Schritt S47 wird ein Gebiet, in welchem ein ausgewähltes Netzgebiet eine bei dem Schritt S46 entschiedene absolute Koordinaten aufweisende Graphik überlappt, als ein belegtes Gebiet einer Graphik auf dem Netzgebiet extrahiert.
  • Bei einem Schritt S47C wird das Vorliegen (Ja/Nein) der Extraktion aller Grundelementdaten geprüft. Falls die Grundelementdaten nicht extrahiert sind, kehrt die Verarbeitung zu dem Schritt S42 zurück. Anschließend wird die Verarbeitung der Schritte S42 bis S47 für alle Grundelementdaten wiederholt, und dann wird bei dem Schritt S47C eine Entscheidung von Ja erhalten, und die Verarbeitung schreitet zu einem Schritt S48 fort.
  • Bei dem Schritt S48 wird in dem Fall, in welchem zwei Graphiken einander auf dem gleichen Gebiet überlappen, eine Belegungsgebietstransformationsverarbeitung eines Entfernens eines überlappenden Abschnitts einer der Graphiken aus einem belegten Gebiet ausgeführt.
  • Bei einem Schritt S49 wird als nächstes eine Belegungsrate in dem ausgewählten Netzgebiet auf der Grundlage einer gesamten Fläche des durch die Schritte S47 und S48 erhaltenen belegten Gebiets berechnet. In diesem Fall wird bei dem Schritt S48 die Belegungsgebietstransformationsverarbeitung ausgeführt. Auch in dem Fall, in welchem zwei oder mehr Graphiken das gleiche Gebiet belegen, wird daher ein belegtes Gebiet jeder Graphik einfach hinzugefügt, so daß die gesamte Fläche des belegten Gebiets genau erhalten werden kann.
  • Dann wird bei einem Schritt S49C das Vorliegen eines Endes der Berechnung von Belegungsraten in allen Netzgebieten geprüft. Darüber hinaus wird, falls entschieden wird, daß es ein Netzgebiet gibt, in welchem die Berechnung nicht beendet ist, bei einem Schritt S49M ein neues Netzgebiet ausgewählt, und die Verarbeitung kehrt dann zu dem Schritt S42 zurück.
  • Danach wird, wenn bei dem Schritt S49C entschieden wird, daß die Berechnung der Belegungsraten in allen Netzgebieten beendet ist, bei einem Schritt S50 die Berechnung der gesamten Belegungsrate auf der Grundlage der Belegungsrate in jedem von allen Netzgebieten ausgeführt, und die Verarbeitung wird beendet.
  • In dem Fall, in welchem die Belegungsrate auf der Grundlage der Layoutdaten der existierenden hierarchischen Struktur DH zu berechnen ist, ist es erforderlich, zu veranlassen, daß eine Hierarchie sequentiell von Zellendaten hoher Ordnung aus absteigt, um Grundelementdaten abzufragen, und dann der Hierarchie zu der höchsten Ordnung zu folgen, wodurch die gleiche Berechnung ausgeführt wird wie die in den Schritten S42 bis S50.
  • In diesem Fall ist es erforderlich, eine hierarchische Struktur einmal in flache Daten zu expandieren. Daher werden eine für die Expansion erforderliche Verarbeitungszeit und eine Zwischendatei (ein Arbeitsgebiet) enorm, so daß die Verarbeitung in manchen Fällen nicht ausgeführt werden kann.
  • Andererseits werden in der vorliegenden Ausführungsform die Grundelementdaten der Layoutdaten der umgekehrten hierarchischen Struktur RDH verwendet. Daher wird die Verarbeitung von den Grundelementdaten her begonnen, und Zellendaten hoher Ordnung wird einfach gefolgt. Demzufolge kann eine Verarbeitung eines Abfragens von Zellendaten leicht ausgeführt werden, so daß eine Belegungsratenberechnung mit einer hohen Geschwindigkeit durchgeführt werden kann.
  • In einer vierten Ausführungsform ist darüber hinaus der Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20 zum Umwandeln der Layoutdaten hierarchischer Struktur DH in die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH vorgesehen. Daher ist es möglich, eine Belegungsrate mit einer hohen Geschwindigkeit auf die gleiche Weise auch in dem Fall zu berechnen, in welchem die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH gegeben sind.
  • <Fünfte Ausführungsform>
  • 12 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Belegungsratenanalysevorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in 12 gezeigt, empfängt ein Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 41 Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH und gibt eine Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 auf der Grundlage der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH aus. Ein Be legungsratenberechnungsabschnitt 52 gibt ein Belegungsratenberechnungsergebnis D52 auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 aus.
  • Die Belegungsratenanalysevorrichtung kann eine Struktur einsetzen, in welcher die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH direkt verwendet werden, oder eine Struktur, in welcher die durch Umwandeln von existierenden Layoutdaten hierarchischer Struktur bzw. von Layoutdaten einer existierenden hierarchischen Struktur DH mittels eines Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitts 20 erhaltenen Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH verwendet werden, wie in 12 gezeigt. Die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform entspricht dem Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20.
  • 13 ist ein Flußdiagramm, welches einen Belegungsratenberechnungsvorgang der Belegungsratenanalysevorrichtung gemäß der fünften Ausführungsform zeigt. 13 entspricht der Struktur von 12 unter Ausnutzung der Layoutdaten der existierenden hierarchischen Struktur DH. Mit Bezug auf 13 wird der Belegungsratenberechnungsvorgang nachstehend beschrieben werden.
  • Zuallererst werden bei einem Schritt S51 die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH durch den Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20 in die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH umgewandelt.
  • Anschließend wird die gleiche Umkehrhierarchiestrukturanalyseverarbeitung wie die der vierten Ausführungsform auf der Grundlage der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH durch den Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 41 ausgeführt. Genauer gesagt, sind die Inhalte der Verarbeitung von Schritten S52 bis S55 in
  • 13 die gleichen wie die der Schritte S42 bis S45 in 11.
  • Wenn bei dem Schritt S55 die Zellendaten höchster Ordnung abgefragt werden, wird ein durch die Zellendaten höchster Ordnung zu definierendes tatsächliches Raumgebiet bestimmt. Eine durch wenigstens eine der Grundelementdaten definierte Graphik wird in dem tatsächlichen Raumgebiet verwendet. Daher wird das tatsächliche Raumgebiet ein Objekt der Belegungsratenberechnung.
  • Anschließend wird eine Belegungsratenberechnungsverarbeitung auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 begonnen, welche durch den Belegungsratenberechnungsschritt 52 auszuführen ist.
  • Zuallererst werden bei einem Schritt S56 absolute Ko ordinaten der Grundelementdaten berechnet. Absolute Koordinatenpositionen einer durch die Grundelementdaten definierten Graphik auf einem tatsächlichen Raumgebiet werden auf der Grundlage von Gebietsinformationen über alle Zellendaten von den Grundelementdaten bis zu den Zellendaten höchster Ordnung bestimmt.
  • Bei einem Schritt S57 wird ein Gebiet, in welchem ein ausgewähltes Netzgebiet eine Graphik überlappt, welche bei dem Schritt S56 entschiedene absolute Koordinaten aufweist, als ein belegtes Gebiet einer Graphik auf dem Netzgebiet extrahiert.
  • Bei einem Schritt S57C wird das Vorliegen (Ja/Nein) der Extraktion aller Grundelementdaten geprüft. Falls die Grundelementdaten nicht extrahiert sind, kehrt die Verarbeitung zu dem Schritt S52 zurück. Anschließend wird die Verarbeitung der Schritte S52 bis S57 für alle Grundelementdaten wiederholt, und eine Entscheidung von Ja wird dann bei dem Schritt S57C erhalten, und die Verarbeitung schreitet zu einem Schritt S58 fort.
  • Bei dem Schritt S58 wird in dem Fall, in welchem zwei Graphiken einander auf dem gleichen Gebiet überlappen, der überlappende Abschnitt als eine Graphik zur Subtraktion generiert.
  • Bei einem Schritt S59 wird als nächstes eine Fläche der Graphik zur Subtraktion, welche bei dem Schritt S58 erhalten wird, von einer einfachen Überlappungsfläche subtrahiert, welche durch einfaches Addieren des bei dem Schritt 557 extrahierten belegten Gebiets erhalten wird. Demzufolge kann die belegte Fläche in dem ausgewählten Netzgebiet einfach und genau berechnet werden. In diesem Fall werden individuelle belegte Gebiete selbst nicht transformiert. Daher werden Formen der individuellen belegten Gebiete nicht kompliziert.
  • Dann wird bei einem Schritt S59C das Vorliegen eines Endes der Berechnung von Belegungsraten in allen Netzgebieten geprüft. Darüber hinaus wird, falls entschieden wird, daß es ein Netzgebiet gibt, in welchem die Berechnung nicht beendet ist, bei einem Schritt S59M ein neues Netzgebiet ausgewählt, und die Verarbeitung kehrt dann zu dem Schritt S52 zurück.
  • Danach wird, wenn bei dem Schritt S59C entschieden wird, daß die Berechnung der Belegungsraten in allen Netzregionen beendet ist, bei dem Schritt S60 die Berechnung der gesamten Belegungsrate auf der Grundlage der Belegungsrate in jedem von allen Netzgebieten ausgeführt, und die Verarbeitung wird beendet.
  • In dem Fall, in welchem die Belegungsratenberechnung durch die Layoutdaten der existierenden hierarchischen Struktur DH auf die gleiche Weise durchgeführt wird, ist es erforderlich, die hierarchische Struktur in flache Daten zu expandieren. Daher werden eine für die Expansion erforderliche Verarbeitungszeit und eine Zwischendatei (ein Arbeitsgebiet) enorm, und die Verarbeitung kann in manchen Fällen nicht ausgeführt werden.
  • Andererseits kann in der vorliegenden Ausführungsform die Verarbeitung von den Grundelementdaten der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH her gestartet werden. Demzufolge kann eine Verarbeitung eines Abfragens von Zellendaten einfach ausgeführt werden, und die Belegungsratenberechnung kann bei einer hohen Geschwindigkeit durchgeführt werden.
  • In der fünften Ausführungsform ist darüber hinaus der Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20 zum Umwandeln der Layoutdaten hierarchischer Struktur DH in die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH vorgesehen. Daher ist es möglich, eine Belegungsrate bei einer hohen Geschwindigkeit in der gleichen Weise auch in dem Fall zu berechnen, in welchem die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH gegeben sind.
  • <Sechste Ausführungsform>
  • 14 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Fourier-Analysevorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in 14 gezeigt, empfängt ein Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 41 Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH und gibt eine Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 auf der Grundlage der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH aus. Ein Fourier-Analyseabschnitt 62, um ein Graphikverifi-zierungsabschnitt zu sein, gibt ein Analyseergebnis D62 auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyse-information D41 aus.
  • Die Fourier-Analysevorrichtung kann eine Struktur einsetzen, in welcher die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH direkt verwendet werden, oder eine Struktur, in welcher die durch Umwandeln von existierenden Layoutdaten hierarchischer Struktur bzw. von Layoutdaten einer existierenden hierarchischen Struktur DH mittels eines Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitts 20 erhaltenen Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH verwendet werden, wie in 14 gezeigt. Die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform entspricht dem Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20.
  • 15 ist ein Flußdiagramm, welches einen Fourier-Analysevorgang der Fourier-Analysevorrichtung gemäß der sechsten Ausführungsform zeigt. 15 entspricht der Struktur von 14, wobei die Layoutdaten existierender hierarchischer Struktur DH ausgenutzt werden. Mit Bezug auf 15 wird nachstehend der Fourier-Analysevorgang beschrieben werden.
  • Zuallererst werden bei einem Schritt S61 die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH durch den Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20 in Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH umgewandelt.
  • Anschließend wird die gleiche Umkehrhierarchiestrukturanalyseverarbeitung wie die der vierten Ausführungsform durch den Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 41 auf der Grundlage der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH ausgeführt. Genauer gesagt, sind die Inhalte der Verarbeitung von Schritten S62 bis S65 in
  • 15 die gleichen wie die der Schritte S42 bis S45 in 11.
  • Wenn die Zellendaten höchster Ordnung bei dem Schritt S65 abgefragt werden, wird ein durch die Zellendaten höchster Ordnung zu definierendes tatsächliches Raumgebiet bestimmt. Eine durch wenigstens eine der Grundelementdaten definierte Graphik wird in dem tatsächlichen Raumgebiet verwendet. Daher wird das tatsächliche Raumgebiet ein Objekt der Fourier-Analyseverarbeitung, um eine der Graphikverifikationen zu sein.
  • Anschließend wird die Fourier-Analyseverarbeitung auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 durch den Fourier-Analyseabschnitt 62 begonnen.
  • Als allererstes werden bei einem Schritt S66 absolute Koordinaten der Grundelementdaten berechnet. Koordinatenpositionen der Grundelementdaten auf einem tatsächlichen Raumgebiet werden auf der Grundlage von Gebietsinformationen über alle Zellendaten von den Grundelementdaten bis zu den Zellendaten höchster Ordnung bestimmt.
  • Bei einem Schritt S67 wird ein überlappendes Gebiet eines ausgewählten Netzgebiets in dem tatsächlichen Raumgebiet und eine Graphik, welche die bei dem Schritt S66 entschiedenen Koordinatenpositionen aufweist, als ein belegtes Gebiet extrahiert.
  • Bei einem Schritt S67C wird das Vorliegen (Ja/Nein) der Extraktion aller Grundelementdaten geprüft. Falls die Grundelementdaten nicht extrahiert sind, kehrt die Verarbeitung zu Schritt S62 zurück. Anschließend wird die Verarbeitung der Schritte S62 bis S67 für alle Grundelementdaten wiederholt, und eine Entscheidung von Ja wird dann bei dem Schritt S67C erhalten, und die Verarbeitung schreitet zu einem Schritt 568 fort.
  • Bei dem Schritt S68 wird in dem Fall, in welchem zwei Graphiken einander auf dem gleichen Gebiet überlappen, eine Belegungsgebietstransformationsverarbeitung eines Entfernens des überlappenden Abschnitts aus einem belegten Gebiet bzw. Belegungsgebiet einer der Graphiken ausgeführt.
  • Bei einem Schritt S69 wird dann auf der Grundlage des durch die Schritte S67 und S68 erhaltenen belegten Gebiets eine Fourier-Abbildung in dem ausgewählten Netzgebiet berechnet. In diesem Fall wird bei dem Schritt S68 die Belegungsgebietstransformationsverarbeitung ausgeführt. Auch in dem Fall, in welchem zwei oder mehr Graphiken das gleiche Gebiet belegen, ist es daher möglich, das belegte Gebiet durch einfaches Addieren des belegten Gebiets jeder Graphik zu bestimmen.
  • Danach wird die Fourier-Abbildung bei einem Schritt S70 einer umgekehrten Fourier-Transformation unterzogen. Somit wird bei den Schritten S69 und S70 ein Ergebnis der Fourier-Analyseverarbeitung ein Analyseergebnis D62 auf einer Netzgebietseinheit.
  • Anschließend wird bei einem Schritt S70C das Vorliegen eines Endes der Fourier-Analyseverarbeitung in allen Netzgebieten geprüft. Darüber hinaus wird, falls entschieden wird, daß es ein Netzgebiet gibt, in welchem die Berechnung nicht beendet ist, bei einem Schritt S70M ein neues Netzgebiet ausgewählt, und die Verarbeitung kehrt dann zu dem Schritt S62 zurück.
  • Danach wird, wenn bei dem Schritt 5700 entschieden wird, daß die Analyse aller Netzgebiete beendet ist, die Verarbeitung beendet.
  • In dem Fall, in welchem die Fourier-Analyseverarbeitung durch die existierenden Layoutdaten hierarchischer Struktur DH auf die gleiche Weise ausgeführt wird, ist es erforderlich, die hierarchische Struktur in flache Daten zu expandieren. Daher werden eine für die Expansion erforderliche Verarbeitungszeit und eine Zwischendatei (ein Arbeitsgebiet) enorm, und die Verarbeitung kann in manchen Fällen nicht ausgeführt werden.
  • Andererseits werden in der vorliegenden Ausführungsform die Grundelementdaten der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH verwendet. Demzufolge kann die Verarbeitung eines Abfragens von Zellendaten leicht ausgeführt werden, und die Fourier-Analyse kann mit einer hohen Geschwindigkeit ausgeführt werden. Zusätzlich ist es möglich, ein physikalisches Phänomen in einem vergleichsweise großen Abstand durch Ausführen der Fourier-Analyse zu analysieren.
  • In der sechsten Ausführungsform ist darüber hinaus der Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20 zum Umwandeln der Layoutdaten hierarchischer Struktur DH in die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH vorgesehen. Daher ist es möglich, die Fourier-Analyseverarbeitung mit einer hohen Geschwindigkeit auf die gleiche Weise auch in dem Fall auszuführen, in welchem die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH gegeben sind.
  • <Siebente Ausführungsform>
  • 16 ist ein Blockdiagramm, welches eine Struktur einer Fourier-Analysevorrichtung gemäß einer siebenten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie in 16 gezeigt, empfängt ein Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 41 Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH und gibt eine Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 auf der Grundlage der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH aus. Ein Fourier-Analyseabschnitt 42 gibt ein Analyseergebnis D72 auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyse-information D41 aus.
  • Die Fourier-Analysevorrichtung kann eine Struktur einsetzen, in welcher die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH direkt verwendet werden, oder eine Struktur, in welcher die durch Umwandeln von existierenden Layoutdaten hierarchisches Struktur bzw. von Layoutdaten einer existierenden hierarchischen Struktur DH mittels eines Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitts 20 erhaltenen Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH verwendet werden, wie in 16 gezeigt. Die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform entspricht dem Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20.
  • 17 ist ein Flußdiagramm, welches einen Belegungsratenberechnungsvorgang der Fourier-Analysevorrichtung gemäß der siebenten Ausführungsform zeigt. 17 entspricht der Struktur von 16, welche die existierenden Layoutdaten hierarchischer Struktur DH ausnutzt. Mit Bezug auf 17 wird nachstehend der Fourier-Analysebetrieb beschrieben werden.
  • Zuallererst werden bei einem Schritt S71 die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH durch den Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20 in die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH umgewandelt.
  • Anschließend wird die gleiche Umkehrhierarchiestrukturanalyseverarbeitung wie die der vierten Ausführungsform auf der Grundlage der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH durch den Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt 41 ausgeführt. Genauer gesagt, sind die Inhalte der Verarbeitung von Schritten S72-S75 in 17 die gleichen wie die der Schritte S42-S45 in 11.
  • Wenn bei dem Schritt S75 die Zellendaten höchster Ordnung abgefragt werden, wird ein durch die Zellendaten höchster Ordnung zu definierendes tatsächliches Raumgebiet bestimmt. Eine durch wenigstens eine der Grundelementdaten definierte Graphik wird in dem tatsächlichen Raumgebiet verwendet. Daher wird das tatsächliche Raumgebiet ein Objekt der Fourier-Analyse.
  • Anschließend wird die Fourier-Analyseverarbeitung auf der Grundlage der Umkehrhierarchiestrukturanalyseinformation D41 durch den Fourier-Analyseabschnitt 72 begonnen.
  • Zu allererst werden bei einem Schritt S76 absolute Koordinaten der Grundelementdaten berechnet. Koordinatenpositionen der Grundelementdaten auf einem tatsächlichen Raumgebiet werden auf der Grundlage von Gebietsinformationen über alle Zellendaten von den Grundelementdaten bis zu den Zellendaten höchster Ordnung bestimmt.
  • Bei einem Schritt S77 wird ein überlappendes Gebiet eines ausgewählten Netzgebiets in dem tatsächlichen Raumgebiet und eine Graphik, welche bei dem Schritt S76 bestimmten Koordinatenpositionen aufweist, als ein belegtes Gebiet extrahiert.
  • Bei einem Schritt S77C wird das Vorliegen (Ja/Nein) der Extraktion aller Grundelementdaten geprüft. Falls die Grundelementdaten nicht extrahiert sind, kehrt die Verarbeitung zu dem Schritt S72 zurück. Anschließend wird die Verarbeitung der Schritte S72 bis S77 für alle Grundelementdaten wiederholt, und eine Entscheidung von Ja wird dann bei dem Schritt S77C erhalten, und die Verarbeitung schreitet zu einem Schritt S78 fort.
  • Bei dem Schritt S78 wird in dem Fall, in welchem zwei Graphiken einander auf dem gleichen Gebiet überlappen, der Überlappungsabschnitt als eine Graphik zur Subtraktion generiert.
  • Bei einem Schritt S79 wird als nächstes eine Fläche bzw. ein Bereich der Graphik zur Subtraktion, welche bei dem Schritt S78 erhalten wird, von einer einfachen Überlappungsfläche, welche durch einfaches Addieren des bei dem Schritt S77 extrahierten Belegungsgebiet erhalten wird, subtrahiert. Demzufolge kann ein gesamtes belegtes Gebiet in dem ausgewählten Netzgebiet einfach und genau erhalten werden, und eine Fourier-Abbildung in dem gesamten belegten Gebiet wird berechnet. In diesem Fall werden individuelle belegte Gebiete selbst nicht transformiert. Daher werden Formen der individuellen belegten Gebiete nicht kompliziert.
  • Danach wird bei einem Schritt S80 die Fourier-Abbildung einer umgekehrten Fourier-Transformation unterzogen. Ein durch die Verarbeitung der Schritte S78 und S79 erhaltenes Ergebnis wird ein Analyseergebnis D72.
  • Anschließend wird bei einem Schritt S80C das Vorliegen eines Endes der Berechnung von Belegungsraten in allen Fourier-Netzgebieten geprüft. Darüber hinaus wird, falls entschieden wird, daß es ein Netzgebiet gibt, in welchem die Fourier-Analyse nicht beendet ist, bei einem Schritt S80M ein neues Netzgebiet ausgewählt, und die Verarbeitung kehrt dann zu dem Schritt 572 zurück.
  • Dann wird, wenn bei dem Schritt S80C entschieden wird, daß die Analyse aller Netzgebiete beendet ist, die Verarbeitung beendet.
  • In dem Fall, in welchem die Fourier-Analyse durch die existierenden Layoutdaten hierarchischer Struktur DH auf die gleiche Weise ausgeführt wird, ist es erforderlich, die hierarchische Struktur in flache Daten zu expandieren. Daher werden eine für die Expansion erforderliche Verarbeitungszeit und eine Zwischendatei (ein Arbeitsgebiet) enorm, und die Verarbeitung kann in manchen Fällen nicht ausgeführt werden.
  • Andererseits werden in der vorliegenden Ausführungsform die Grundelementdaten der Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH verwendet. Demzufolge kann die Verarbeitung eines Abfragens von Zellendaten leicht ausgeführt werden, und die Fourier-Analyseverarbeitung kann mit einer hohen Geschwindigkeit ausgeführt werden.
  • In der siebten Ausführungsform ist darüber hinaus der Umkehrhierarchiedatenumwandlungsabschnitt 20 zum Umwandeln der Layoutdaten hierarchischer Struktur DH in die Layoutdaten umgekehrter hierarchischer Struktur RDH vorgesehen. Daher ist es möglich, die Fourier-Analyse mit einer hohen Geschwindigkeit auf die gleiche weise auch in dem Fall auszuführen, in welchem die Layoutdaten hierarchischer Struktur DH gegeben sind.
  • Während die Erfindung im Detail gezeigt und beschrieben worden ist, ist die vorstehende Beschreibung in allen Gesichtspunkten illustrativ und nicht restriktiv. Es ist daher zu verstehen, daß zahlreiche Modifizierungen und Variationen erdacht werden können, ohne den Schutzbereich der Erfindung zu verlassen.
  • Es sei darauf hingewiesen, daß die Verwendung der Pluralform der Worte 'Informationen' und 'Daten' keine Festlegung auf eine Mehrzahl von Informationen oder Daten festschreiben soll, sondern isch auch auf eine Einzelinformation oder ein einzelnes Datenelement, mithin auf eine Informations- oder Dateneinheit beziehen kann.
  • Gemäß der oben beschriebenen Erfindung werden Layoutdaten gesichert, welche Elternzelleninformationen aufweisen, welche auf Zellendaten höherer Ordnung hinweisen, um direkt auf Zellendaten niedriger Ordnung (oder Grundelementdaten) Bezug zu nehmen, wodurch eine umgekehrte hierarchische Struktur definiert wird. Insbesondere weisen beide Grundelementdaten (figD1 und figD2) Zellendaten (cell2) als die Elternzelleninformationen auf, alle der Grundelementdaten (figD3 bis figD5) weisen Zellendaten (cell3) als die Elternzelleninformationen auf, die Zellendaten (cell3) weisen zwei identische Zellendaten (cell2 und cell2) als die Elternzelleninformationen auf, und die Zellendaten (cell2) weisen drei identische Zellendaten (cell3, cell3 und cell3) als die Elternzelleninformationen auf .

Claims (9)

  1. Verfahren zum Sichern von Layoutdaten, welche eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Grafik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine hierarchische Struktur derart konstruiert sind, daß letztlich Bezug auf die Grundelementdaten genommen werden kann, aufweisen, wobei die Layoutdaten in einem solchen Format gesichert werden, daß sie die hierarchische Struktur in einer umgekehrten Richtung von einer niedrigen Ordnung zu einer hohen Ordnung dadurch definieren, daß sie sich auf Elternzelleninformationen beziehen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hindeuten, auf welche direkt Bezug genommen wird, bezüglich sowohl der Mehrzahl von Grundelementdaten als auch der Mehrzahl von Zellendaten.
  2. Layoutdatenumwandlungsvorrichtung zum Umwandeln von Layoutdaten eines ersten Typs (DH) in Layoutdaten eines zweiten Typs (RDH), wobei die Layoutdaten des ersten Typs und des zweiten Typs jeweils eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Grafik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine hierarchische Struktur derart definiert sind, daß letztlich auf die Grundelementdaten Bezug genommen werden kann, aufweisen, alle der Mehrzahl von Zellendaten in den Layoutdaten des ersten Typs Kindzelleninformationen aufweisen, welche auf Zellendaten niedriger Odnung oder die Grundelementdaten, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten, wodurch die hierarchische Struktur in einer positiven Richtung definiert wird, und sowohl die Mehrzahl von Grundelementdaten als auch die Mehrzahl von Zellendaten in den Layoutdaten des zweiten Typs Elternzelleninformationen aufweisen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung hindeuten, auf welche direkt Bezug genommen wird, wodurch die hierarchische Struktur in einer umgekehrten Richtung definiert wird, wobei die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung aufweist: einen Hierarchiestrukturanalyseabschnitt (21), welcher die hierarchische Struktur auf der Grundlage der Kindzelleninformationen der Layoutdaten des ersten Typs analysiert, und einen Umkehrhierarchiestrukturerzeugungsabschnitt (22), welcher sowohl der Mehrzahl von Grundelementdaten als auch der Mehrzahl von Zellendaten jeweils die Elternzelleninformationen hinzufügt, um die Layoutdaten des zweiten Typs auf der Grundlage eines Ergebnisses einer durch den Hierarchiestrukturanalyseabschnitt ausgeführten Analyse zu generieren.
  3. Layoutdatenumwandlungsvorrichtung zum Umwandeln von Layoutdaten eines zweiten Typs in Layoutdaten eines ersten Typs gerichtet, wobei die Layoutdaten des ersten Typs und des zweiten Typs eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Grafik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine Hierarchiestruktur derart konstruiert sind, daß letztlich auf die Grundelementdaten Bezug genommen werden kann, aufweisen, alle der Mehrzahl der Zellendaten in den Layoutdaten des ersten Typs Kindzellinformationen aufweisen, welche auf Zellendaten niedriger Ordnung oder die Grundelementdaten, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten, wodurch die hierarchische Struktur in einer positiven Richtung definiert wird, und sowohl die Mehrzahl der Grundelementdaten als auch die Mehrzahl der Zellendaten in den Layoutdaten des zweiten Typs Elternzelleninformationen aufweisen, welche auf Zellendaten hoher Ordnung, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten, wodurch die hierarchische Struktur in einer umgekehrten Richtung definiert wird, wobei die Layoutdatenumwandlungsvorrichtung aufweist: einen Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt (31), welcher die hierarchische Struktur auf der Grundlage der Elternzelleninformationen der Layoutdaten des zweiten Typs analysiert, und einen Hierarchiestrukturerzeugungsabschnitt (32), welcher allen der Mehrzahl von Zellendaten jeweils die Kindzelleninformationen hinzufügt, um die Layoutdaten des ersten Typs auf der Grundlage eines Ergebnisses einer durch den Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt ausgeführten Analyse zu generieren.
  4. Grafikverifizierungsvorrichtung zum Ausführen einer Grafikverifikationsverarabeitung auf der Grundlage von Layoutdaten, wobei die Layoutdaten eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Grafik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine Hierarchiestruktur derart konstruiert sind, daß letztlich auf die Grundelementdaten Bezug genommen werden kann, aufweisen, wobei sowohl die Mehrzahl von Grundelementdaten als auch die Mehrzahl von Zellendaten Elternzelleninformationen aufweisen, um Informationen über Zellendaten hoher Ordnung zu sein, auf welche direkt Bezug genommen wird, wodurch die hierarchische Struktur in der umgekehrten Richtung definiert wird, wobei die Grafikverifizierungsvorrichtung aufweist: einen Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt (41), welcher die hierarchische Struktur auf der Grundlage der Elternzelleninformationen der Layoutdaten analysiert; und einen Grafikverifizierungsabschnitt (42, 52, 62, 72), welcher eine Verifikationsverarbeitung auf der Grundlage eines belegten Gebiets auf einem tatsächlichen Raumgebiet einer Grafik, welche durch die Mehrzahl von Grundelementdaten definiert ist, auf der Grundlage eines Ergebnisses einer durch den Hierarchiestrukturanalyseabschnitt durchgeführten Analyse ausführt.
  5. Graphikverifizierungsvorrichtung gemäß Anspruch 4, wobei das tatsächliche Raumgebiet aus einer Mehrzahl von Netzgebieten gebildet ist, und der Graphikverifizierungsabschnitt (52, 52) einen Belegungsratenberechnungsabschnitt zum Berechnen einer Belegungsrate in jeder der Mehrzahl von Netzgebieten einer durch die Mehrzahl von Grundelementdaten definierten Graphik beinhaltet.
  6. Graphikverifizierungsvorrichtung gemäß Anspruch 4, wobei das tatsächliche Raumgebiet aus einer Mehrzahl von Netzgebieten gebildet ist, und der Graphikverifizierungsabschnitt einen Fourier-Analyseabschnitt zum Ausführen einer Fourier-Analyse in Bezug auf ein belegtes Gebiet der Netzgebiete einer durch die Mehrzahl von Grundelementdaten definierten Graphik beinhaltet.
  7. Graphikverifizierungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei der Graphikverifizierungsabschnitt (42, 62) eine Belegungsgebietstransformationsverabeitung eines Entfernens eines überlappenden Gebiets aus einem belegten Gebiet einer von zwei oder mehreren Graphiken ausführt, wenn die das tatsächliche Raumgebiet belegenden Graphiken einander auf demselben Gebiet überlappen.
  8. Graphikverifizierungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei der Graphikverifizierungsabschnitt (52, 72) eine Graphik zur Subtraktion in einem überlappenden Gebiet erneut generiert, wenn zwei oder mehr das tatsächliche Raumgebiet belegende Graphiken einander auf dem gleichen Gebiet überlappen.
  9. Graphikverifizierungsvorrichtung gemäß einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei unter der Annahme, daß die Layoutdaten Layoutdaten eines zweiten Typs sind, Layoutdaten eines ersten Typs empfangen werden, die Layoutdaten des ersten Typs eine Mehrzahl von Grundelementdaten, von denen alle direkt eine Graphik definieren, um ein Layoutmuster einer Komponente einer Halbleitervorrichtung zu sein, und eine Mehrzahl von Zellendaten, welche durch eine hierarchische Struktur derart aufgebaut sind, daß letztlich auf die Grundelementdaten Bezug genommen werden kann, aufweisen, alle der Mehrzahl von Zellendaten in den Layoutdaten des ersten Typs Kindzelleninformationen aufweisen, welche auf Zellendaten niedriger Ordnung oder Grundelementdaten, auf welche direkt Bezug genommen wird, hindeuten, wodurch die hierarchische Struktur in einer positiven Richtung definiert wird, wobei die Graphikverifizierungsvorrichtung weiter aufweist: einen Layoutdatenumwandlungsabschnitt (20) zum Empfangen von Layoutdaten des ersten Typs, Umwandeln der Layoutdaten des ersten Typs in die Layoutdaten des zweiten Typs, um die Layoutdaten des zweiten Typs an den Umkehrhierarchiestrukturanalyseabschnitt auszugeben.
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