DE10314547A1 - Parallelmanipulator und Vorrichtung zu seiner Steuerung - Google Patents

Parallelmanipulator und Vorrichtung zu seiner Steuerung

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DE10314547A1
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Koichi Osuka
Yoichi Nakamura
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Abstract

Wenn ein Endeffektor verwendet wird, um ein schweres Objekt zu handhaben, kann ein großes Biegemoment auf die Arme eines Manipulators wirken, das sie verbiegt. Daher kann ein Operationsabschnitt Positionen nicht genau steuern. Gemäß der vorliegenden Erfindung sind daher drei Arme 14 an einem Basisabschnitt 11 befestigt, von denen jeder Arm 14 aus einem ersten Strebenabschnitt 15, dessen eines Ende mit einer Welle 12 am Basisabschnitt 11 verbunden ist, und einem zweiten Strebenabschnitt 17 besteht, der mit dem ersten Strebenabschnitt 15 über eine weitere Welle 16 verbunden ist. Diese Arme 14 tragen den Operationsabschnitt 19. Der zweite Strebenabschnitt 17 ist mit der Welle 16 und dem Operationsabschnitt 19 unter Verwendung von Universalgelenken 18a und 18b verbunden. Eine direkt wirkende Antriebseinrichtung 13 besteht aus einer Antriebswelle 13a und einer Antriebsquelle, die die Antriebsquelle 13a vorschiebt und zurückzieht. Die Antriebswelle 13a wird zum Vorschieben und Zurückziehen angetrieben, um den Operationsabschnitt 19 in eine Sollposition zu bewegen. Dabei wird der Operationsabschnitt 19 stets parallel zu einer speziellen Ebene gehalten. Lasten auf dem Operationsabschnitt 19 wirken in der axialen Richtung der Antriebswellen 13a. Dies verhindert, dass die Antriebswellen 13a verformt bzw. gebogen werden, so dass eine genaue Positionssteuerung ermöglicht wird.

Description

    Anwendungsgebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft einen Manipulator, der einen Endeffektor verstellt, wobei eine konstante Position parallel zu einer speziellen Ebene aufrechterhalten wird.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Ein Manipulator, der als Industrieroboter oder dergleichen verwendet wird, bestimmt die Raumposition eines Endeffektors, der ein Objekt durch Steuerung eines Armabschnitts, der mit dem Endeffektor verbunden ist, verstellt, überwacht und bearbeitet. Es muss ein hoher Grad an Freiheit vorhanden sein, damit sich der Endeffektor in eine willkürliche Raumposition bewegen kann. Unter solchen Manipulatoren ist ein sog. Stewart-Plattformmanipulator (Freiheitsgrad: 6) bekannt, bei dem 6 direkt wirkende, expandierbare Parallelmanipulatoren, von denen jeder einen Aktuator aufweist, mit dem Endeffektor verbunden sind. Dieser Manipulator wird in der Praxis für Werkzeugmaschinen verwendet.
  • Wenn jedoch der Manipulator für eine bestimmte Operation (z. B. Verpacken, Ausrichten oder Sortieren von Gegenständen, Laden und Entladen von Werkstücken in eine und aus einer Werkzeugmaschine oder Inspektion von Gegenständen) verwendet wird, muss der Endeffektor nicht im Raum gedreht werden. In diesem Falle reicht es für den Endeffektor aus, sich in einer bestimmten Ebenenrichtung und in einer bestimmten Höhenrichtung zu bewegen.
  • Dies bedeutet, dass der Manipulator nur einen Freiheitsgrad 3 haben muss. Die geprüfte japanische Patentanmeldungsveröffentlichung (Tokko-Hei) Nr. 4-45310 beschreibt ein Beispiel eines Manipulators mit dem Freiheitsgrad 3, der für Anwendungsfälle wie die oben beschriebenen verwendet werden kann.
  • Fig. 10 zeigt den prinzipiellen Aufbau dieses üblichen Manipulators. Dieser Manipulator 10 ist so konstruiert, dass er drei Arme 4 hat, die an einem Basisabschnitt 1 befestigt sind, der als Bezug dient, so dass die distalen Enden der drei Arme 4 einen Endeffektor 9 tragen. Die Arme 4 sind so befestigt, dass sie sich radial vom Basisabschnitt 1 aus in drei Richtungen im Wesentlichen in gleichen Winkelabschnitten erstrecken. Jeder Arm 4 besteht aus einem Einzelstrebenabschnitt 5 mit einer einzelnen Strebe, dessen eines Ende mit einer Welle 2 verbunden ist, die am Basisabschnitt 1 vorgesehen ist, und einem Parallelstrebenabschnitt 7, der mit dem anderen Ende des Einzelstrebenabschnitts 5 über eine weitere Welle 6 verbunden ist und aus zwei Streben der gleichen Länge besteht. Drei Wellen zwei des Basisabschnitts 1 sind in der gleichen Ebene angeordnet und so installiert, dass die Wellen 6 parallel zu den entsprechenden Wellen 2 sind. Der Parallelstrebenabschnitt 7 ist mit jeder Welle 6 verbunden, die sich am oberen Ende befindet, und dem Endeffektor 9, der sich am unteren Ende befindet, wobei Universalgelenke 8a, 8b wie Kugelgelenke oder Kardangelenke, die einen Freiheitsgrad 2 oder mehr haben, verwendet sind. Das Universalgelenk 8b, das das vordere Ende des Parallelstrebenabschnitts 7 mit parallelen Verbindungsgliedern jedes der drei Arme 4 mit dem Endeffektor 9 verbindet, ist in der gleichen Ebene (nachfolgend als die "spezielle Ebene" bezeichnet) angeordnet. Eine Antriebseinrichtung 3 wie ein Servomotor ist mit jeder Welle 2 verbunden, die am Basisabschnitt 1 vorgesehen ist, um die Welle 2 um Ihre Achse drehmäßig anzutreiben.
  • Bei dem Manipulator 10, der in der zuvor beschriebenen Weise aufgebaut ist, kann der Einzelstrebenabschnitt 5 zusammen mit der Welle 2 des Basisabschnitts 1 um die Achse der Welle 2 gedreht werden. Der Einzelstrebenabschnitt 5 und der Parallelstrebenabschnitt 7 drehen sich um die Achse der Welle 6, um den Winkel zwischen den Abschnitten 5 und 7 zu ändern. Außerdem kann der Parallelstrebenabschnitt 7 um das Universalgelenk 8 relativ zur Welle 6, die sich am oberen Ende des Manipulators befindet, und den Endeffektor 9, der sich am unteren Ende des Manipulators befindet, gedreht werden. Daher kann durch Verwenden der Antriebseinrichtung 3, um die Wellen 2 des Basisabschnitts 1 drehmäßig anzutreiben, die Position der drei Arme 4 so gesteuert werden, dass sich der Endeffektor 9 in eine Sollposition bewegt. In dieser Hinsicht hält aufgrund der Aufbaueigenschaften des Parallelstrebenabschnitts 7 das Universalgelenk 8b, das sich am unteren Ende befindet, unabhängig davon, welche Position der Abschnitt 7 einnimmt, eine Position parallel zur Welle 6 ein, die sich am oberen Ende befindet. Somit hält der Endeffektor 9, der an den vorderen Enden der drei Arme 4 sitzt, stets eine Position parallel zur speziellen Ebene ein, wenn seine Position durch Änderung der Position der Arme 4 geändert wird. Dies bedeutet, dass der Manipulator 10 in eine beliebige Position bewegt werden kann, während er den Endeffektor stets parallel zur speziellen Ebene hält.
  • Der übliche Manipulator 10 verwendet einen Mechanismus, bei dem die Last des gesamten Arms 4 von der Welle 2, die sich am proximalen Ende des Arms 4 befindet, aufgenommen und bei dem die Welle 2 zur Steuerung der Position des Arms 4 drehmäßig angetrieben wird. Daher werden nachteiligerweise der Einzelverbindungsgliedabschnitt 5 und der Parallelstrebenabschnitt 7, der den Arm 4 bildet, schwer belastet. Es wird z. B. angenommen, dass ein Gegenstand durch Installieren einer geeigneten Aufgabenvorrichtung am Endeffektor 9 transferiert werden soll. Wenn dann die Antriebseinrichtung 3 die Welle 2 drehmäßig antreibt, um einen Gegenstand zu transferieren, wirkt ein großes Biegemoment auf die Streben des Einzelstrebenabschnitts 5 und des Parallelstrebenabschnitts 7, da sich die Positionen der Arme 4 ändern, während die Last des Gegenstands, der vom Endeffektor 9 erfasst wird, auf die Arme 4 wirkt. Als Ergebnis tritt eine Verformung wie ein Durchbiegen in den Streben auf, so dass verhindert wird, dass der Gegenstand in eine exakte Position transferiert wird. Außerdem wird die Lebenserwartung der Streben verkürzt. Diese Nachteile sind umso stärker, wenn die Last des zu handhabenden Gegenstands zunimmt. Es ist daher bisher schwierig, schwere Gegenstände effizient und genau zu transferieren.
  • Der Parallelmanipulator ist ein Mechanismus, bei dem ein Endeffektor wie eine bewegliche Basis mit einer festen Basis unter Verwendung mehrerer paralleler Streben verbunden ist. Einige der Gelenke, die bei einem Parallelmanipulator verwendet werden, sind angetriebene Gelenke, während andere antreibende Gelenke sind. Es wird erwartet, dass der Parallelmanipulator eine starre und genaue lineare Hochgeschwindigkeitsbewegung aus der tatsächlichen Position in eine Sollposition ermöglicht, welche Bewegung mit üblichen seriellen Mechanismen schwierig zu erreichen ist. Da jedoch der Parallelmechanisums angetriebene Gelenke hat, sind Vorwärtskinematik-Berechnungen schwierig. In den meisten Fällen wird daher eine Steuerung unter Verwendung von Sollkoordinatenvariablen nicht durchgeführt. Dies ist insbesondere der Fall, da eine inverse Matrix J-1 einer Jacobi-Matrix J erforderlich ist, um die Antriebsgelenk- Koordinatenvariablen in geschätzte Werte für Aufgabenkoordinatenvariable umzuwandeln. Bekanntermaßen sind die Elemente der Jacobi-Matrix nicht konstant, sondern Funktionen der Aufgabenkoordinatenvariablen. Es ist daher eine schwierige mathematische Aufgabe, die Werte der inversen Matrix in Verbindung mit den jeweiligen Werten der Aufgabenkoordinatenvariablen auszuwerten. Solch eine mathematische Aufgabe kann verhindern, dass der Parallelmechanismus praktisch eingesetzt wird.
  • Es ist eine grundlegende Aufgabe, die Notwendigkeit für die inverse Matrix J-1 der Jacobi-Matrix bei der Bestimmung von Aufgabenkoordinatenvariablen zu vermeiden. Eine weitere Aufgabe eines Aspekts der Erfindung, die im Anspruch 6 angegeben ist, besteht darin, die Notwendigkeit für eine inverse Matrix J-1 einer transponierten Matrix der Jacobi-Matrix durch Rückkopplung zu den antreibenden Gelenken zu beseitigen. Eine weitere Aufgabe eines Aspekts der Erfindung, der im Anspruch 7 angegeben ist, besteht darin, einen Parallelmechanismus zu schaffen, der einen Endeffektor starr bewegen kann, während eine konstante Position des Endeffektors aufrechterhalten wird.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Ein Parallelmanipulator gemäß der vorliegenden Erfindung wurde geschaffen, um die zuvor beschriebenen üblichen Probleme zu lösen. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Parallelmanipulator geschaffen, der einen Hilfsmechanismus hat, der so ausgebildet ist, dass er die Position eines Endeffektors stets parallel zu einer speziellen Ebene aufrechterhält, wobei der Manipulator dadurch gekennzeichnet ist, dass er mit wenigstens drei direkt wirkenden Antriebseinrichtungen, von denen jede aus einer Antriebswelle besteht, die eine gelagerte proximale Seite und eine distale Seite hat, die mit dem Endeffektor unter Verwendung eines Schwenklagers mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr verbunden ist, sowie einer Antriebswelle, die die Antriebswelle zu einem proximalen Lagerpunkt vorschiebt und von diesem zurückzieht, versehen ist.
  • Bei dem in der oben beschriebenen Weise aufgebauten Manipulator ist unabhängig vom Hilfsmechanismus, der die Position des Endeffektors reguliert, so dass er zu der speziellen Ebene parallel bleibt, die direkt wirkende Antriebseinrichtung zur Steuerung der Position des Endeffektors unabhängig vorgesehen, so dass Lasten auf die direkt wirkende Antriebseinrichtung in axialer Richtung der Antriebswelle wirken. Selbst wenn der Endeffektor eine Operation der Handhabung eines schweren Objekts durchführt, wird verhindert, dass die Antriebswelle der Antriebseinrichtung durch Lasten verformt bzw. gebogen wird. Dies verbessert die Positionssteuerung des Endeffektors. In dieser Hinsicht sind drei oder mehr direkt wirkende Aktuatoren erforderlich, um den Endeffektor in eine beliebige Position in der Ebene zu bewegen.
  • Der Hilfsmechanismus, der stets verwendet wird, um die Position des Endeffektors parallel zur speziellen Ebene zu halten, kann mit wenigstens zwei Armen versehen sein, von denen jeder aus einem ersten Strebenabschnitt besteht, dessen eines Ende mit einer Welle verbunden ist, die am Basisabschnitt angeordnet ist und den Freiheitsgrad 1 hat, und einem zweiten Strebenabschnitt versehen sein, der aus zwei oder mehreren parallelen Streben besteht, von denen jedes entgegengesetzte Enden hat, die mit dem anderen Ende des ersten Strebenabschnitts bzw. dem Endeffektor unter Verwendung von Schwenklagern mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr verbunden ist. Weiterhin wird in Betracht gezogen, dass die direkt wirkende Antriebseinrichtung so aufgebaut sein kann, dass die Antriebswelle durch eine Mutter vorgeschoben und von dieser zurückgezogen werden kann, wobei die Antriebsquelle dazu verwendet wird, die Antriebswelle bzw. die Mutter zu drehen, wobei die Mutter am Basisabschnitts unter Verwendung des Schwenklagers mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr befestigt ist, und ein Gewindeabschnitt, der in der Oberfläche der Antriebswelle ausgebildet ist, in die Mutter geschraubt wird.
  • Alternativ ist es möglich, dass die direkt wirkende Antriebseinrichtung aus einem Zylindermechanismus besteht, der entgegengesetzte Enden hat, die mit dem Endeffektor bzw. dem Basisabschnitt verbunden sind, wobei die Schwenklager mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr verwendet werden, und der Zylindermechanismus durch Fluiddruck angetrieben wird, um expandiert und kontrahiert zu werden.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Steuervorrichtung für einen Parallelmanipulator vorgesehen, der einen Endeffektor unter Verwendung mehrerer antreibender Gelenke und mehrere angetriebener Gelenke verstellt, wobei die Steuervorrichtung Inverskinematik-Umwandlungseinrichtungen zur Umwandlung geschätzter Werte für Aufgabenkoordinatenvariable für den Endeffektor in geschätzte Werte für Antriebsgelenk-Koordinatenvariable, eine Vorwärtskinematik-Umwandlungseinrichtung zum Aktualisieren der geschätzten Werte der Aufgabenkoordinatenvariablen, um Abweichungen zwischen den geschätzten Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen und den aktuellen Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen zu vermeiden, und eine Steuereinrichtung zur Rückkopplungssteuerung zu den Antriebsgelenken aufweist, um die Sollaufgabenkoordinatenvariablen an die geschätzten Werte für die Aufgabenkoordinatenvariablen anzupassen, wobei die Steuereinrichtung dadurch gekennzeichnet ist, dass die Vorwärtskinematik-Umwandlungseinrichtung die geschätzten Werte der Aufgabenkoordinatenvariablen durch Multiplizieren der Abweichungen mit einer transponierten Matrix einer Jacobi-Matrix und einer Verstärkung und Integration der erhaltenen Produkte aktualisiert, wobei die transponierte Matrix dazu verwendet wird, eine Differenzierung der Aufgabenkoordinatenvariablen in eine Differenzierung der Antriebsgelenk- Koordinatenvariablen umzuwandeln.
  • Vorzugsweise multipliziert die Steuereinrichtung die Abweichung zwischen den Sollaufgabenkoordinatenvariablen und den geschätzten Werten der Aufgabenkoordinatenvariablen mit der Jacobi-Matrix und einer Verstärkung, um die gesteuerten Variablen für die antreibenden Gelenke zu bestimmen.
  • Insbesondere besteht ein zu steuernder Parallelmanipulator aus einem Mechanismus zum Aufrechterhalten einer konstanten Position des Endeffektors relativ zu einer festen Basis und einem direkt wirkenden Mechanismus zur Änderung der Position des Endeffektors, wobei der direkt wirkende Endeffektor wie antreibende Gelenke gesteuert wird.
  • Mit der Steuervorrichtung für den Parallelmanipulator gemäß der vorliegenden Erfindung ist es, wenn die Vorwärtskinematik-Umwandlung angewandt wird, um die geschätzten Werte für die Sollkoordinatenvariablen aus den Antriebsgelenk- Koordinatenvariablen zu bestimmen, nicht erforderlich, die inverse Matrix der Jacobi-Matrix zu verwenden. Stattdessen kann die transponierte Matrix der Jacobi-Matrix verwendet werden. Die transponierte Matrix der Jacobi-Matrix kann leicht bestimmt werden, sobald die Jacobi-Matrix bestimmt ist. Dies reduziert den mathematischen Aufwand bei der Umwandlung der Antriebsgelenkkoordinaten in Aufgabenkoordinatenvariable. Durch Hilfsansätze und Simulationen, die in den Ausführungsformen beschrieben sind, hat der Erfinder bestätigt, dass es diese Konfiguration ermöglicht, die Aufgabenkoordinatenvariablen abzuschätzen.
  • Sobald die geschätzten Werte der Aufgabenkoordinatenvariablen erhalten sind, und die Abweichungen zwischen diesen geschätzten Werten und den Sollaufgabenkoordinatenvariablen bestimmt sind, muss eine Rückkopplung zu den antreibenden Gelenken erfolgen. Die inverse Matrix der transponierten Matrix der Jacobi-Matrix ist erforderlich, um die gesteuerten Variablen zu bestimmen, die auf die antreibenden Gelenke angewandt werden. Es ist jedoch ein schwieriger mathematischer Aufwand, die inverse Matrix zu finden. Somit werden gemäß dem Aspekt der Erfindung, der in Anspruch 6 angegeben ist, die gesteuerten Variablen durch Multiplizierung der Abweichungen mit der Jacobs-Matrix und der Verstärkung bestimmt. Dies vermeidet die Notwendigkeit, die inverse Matrix der transponierten Matrix der Jacobi-Matrix zu finden. Der Erfinder hat durch Simulationen bestätigt, dass der Parallelmanipulator längs einer Sollortskurve gesteuert werden kann.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Fig. 1 ist eine perspektivische Darstellung, die das Prinzip des Aufbaus eines Parallelmanipulators gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Fig. 2 ist eine Darstellung eines Beispiels des Aufbaus eines Arms, der für den Parallelmanipulator gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird, wobei Fig. 2A eine Frontansicht und Fig. 2B eine Seitenansicht ist.
  • Fig. 3 ist eine perspektivische Darstellung, die eine Ausführungsform des Parallelmanipulators gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Fig. 4 ist eine Aufsicht eines Ausschnitts, die eine Befestigungskonstruktion für eine Mutter zeigt, wobei sich die Darstellung auf ein Beispiel einer direkt wirkenden Antriebseinrichtung bezieht, die für den Parallelmanipulator gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
  • Fig. 5 ist eine Seitenschnittdarstellung längs der Linie V-V in Fig. 4, wobei sich die Darstellung auf ein Beispiel der direkt wirkenden Antriebseinrichtung bezieht, die für den Parallelmanipulator gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
  • Fig. 6 ist eine Seitenschnittdarstellung längs der Linie VI-VI in Fig. 4, wobei sich die Darstellung auf ein Beispiel der direkt wirkenden Antriebseinrichtung bezieht, die für den Parallelmanipulator gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
  • Fig. 7 ist ein Ausschnitt einer Frontansicht, der die Schraubverbindung zwischen einer Antriebswelle und der Mutter zeigt, wobei sich die Darstellung auf das Beispiel der direkt wirkenden Antriebseinrichtung bezieht, die für den Parallelmanipulator gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
  • Fig. 8 ist eine Aufsicht, die ein Beispiel des Aufbaus eines Endeffektors des Parallelmanipulators gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Fig. 9 ist eine Aufsicht, die ein anderes Beispiel des Aufbaus eines Endeffektors des Parallelmanipulators gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • Fig. 10 ist eine perspektivische Darstellung des Aufbauprinzips eines üblichen Manipulators.
  • Fig. 11 ist ein Blockschaltbild, das eine Steuervorrichtung für den Parallelmanipulator der Ausführungsform zeigt, wobei sich das Schaltbild auf einen Vorwärtskinematik-Verarbeitungsabschnitt bezieht.
  • Fig. 12 ist eine schematische Darstellung, die den bei der Ausführungsform verwendeten Parallelmanipulator zeigt.
  • Fig. 13 ist ein Diagramm, das die Ergebnisse der Simulation einer Aufgabenkoordinatenvariablen X unter Verwendung des Vorwärtskinematik- Verarbeitungsabschnitts in Fig. 11 zeigt.
  • Fig. 14 ist ein Diagramm, das die Ergebnisse der Simulation einer Aufgabenkoordinatenvariablen Y unter Verwendung des Vorwärtskinematik- Verarbeitungsabschnitts in Fig. 11 zeigt.
  • Fig. 15 ist ein Diagramm, das das die Ergebnisse der Simulation einer Aufgabenkoordinatenvariablen Z unter Verwendung des Vorwärtskinematik- Verarbeitungsabschnitts in Fig. 11 zeigt.
  • Fig. 16 ist ein Blockschaltbild, das ein Steuersystem für die Steuervorrichtung des Parallelmanipulators der Ausführungsform zeigt.
  • Fig. 17 ist ein Diagramm, das für die Aufgabenkoordinatenvariable X die Ergebnisse der Simulation der Bewegungssteuerung des Parallelmanipulators der Ausführungsform zeigt.
  • Fig. 18 ist ein Diagramm, das für die Aufgabenkoordinatenvariable Y die Ergebnisse der Simulation der Bewegungssteuerung des Parallelmanipulators der Ausführungsform zeigt.
  • Fig. 19 ist ein Diagramm, das für die Aufgabenkoordinatenvariable Z die Ergebnisse der Simulation der Bewegungssteuerung des Parallelmanipulators der Ausführungsform zeigt.
  • Fig. 20 ist ein Blockschaltbild, das den Aufbau der gesamten Steuervorrichtung für den Parallelmanipulator der Ausführungsform zeigt.
  • Fig. 21 ist eine perspektivische Darstellung des Parallelmanipulators, der bei der Ausführungsform verwendet ist.
  • Fig. 22 ist eine perspektivische Darstellung, die den Mechanismus zeigt, der die Position eines Endeffektors bzgl. einer festen Basis im Parallelmanipulator in Fig. 21 aufrechterhält.
  • Fig. 23 ist eine Darstellung, die den Freiheitsgrad der Position eines Kugelumlaufspindel-Antriebsservomotors des Parallelmanipulators in Fig. 21 zeigt.
  • Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Fig. 1 zeigt das Aufbauprinzip eines Parallelmanipulators M gemäß der vorliegenden Erfindung. Drei Arme 14 sind an einem als Bezug dienendem Basisabschnitt 1 befestigt, um als ein Hilfsmechanismus zu wirken, der dazu verwendet wird, die Position eines Endeffektors 19 parallel zum Basisabschnitt 1 zu halten. Der Endeffektor 19 ist an den distalen Enden der drei Arme 14 gelagert.
  • Die Arme 14 sind so befestigt, dass sie sich vom Basisabschnitt 11 in drei Richtungen in im Wesentlichen gleichen Winkelabständen radial erstrecken. Jeder der Arme 14 setzt sich aus einem ersten Strebenabschnitt 15, der aus einer einzelnen Strebe besteht, deren eines Ende mit einer Welle 12 verbunden ist, die am Basisabschnitt 11 vorgesehen ist, und einem zweiten Strebenabschnitt 17 zusammengesetzt, der aus parallelen Streben besteht, die am anderen Ende mit dem ersten Strebenabschnitt 15 über eine Welle 16 verbunden ist und dessen Streben gleiche Länge haben. Die drei Wellen 12 des Basisabschnitts 11 sind in der gleichen Ebene so angeordnet, dass sie miteinander nicht parallel sind. Die Welle 16 ist zu jeder der Wellen 12 parallel angeordnet.
  • Der zweite Parallelstrebenabschnitt 17 ist mit jeder Welle 16 verbunden, die sich am oberen Ende befindet, und dem Endeffektor 19, der sich am unteren Ende befindet, wobei Universalgelenke 18a, 18b wie Kugelgelenke oder Kardangelenke verwendet werden, die einen Freiheitsgrad 2 oder mehr haben. Das Universalgelenk 18b, das das untere Ende des zweiten Strebenabschnitts 17 jedes der drei Arme 14 mit dem Endeffektor 9 verbindet, ist in der gleichen Ebene (nachfolgend als die "spezielle Ebene" bezeichnet) angeordnet.
  • Der Parallelmanipulator M der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens drei direkt wirkende Antriebseinrichtungen 13 unabhängig von den Armen 14 vorgesehen sind, um die Position des Endeffektors 19 zu ändern. Jede der drei direkt wirkenden Antriebseinrichtungen 13 besteht aus einer Antriebswelle 13a, die ein distales Ende hat, das mit dem Endeffektor 19 in der Verwendung eines Schwenklagers mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr verbunden ist und die von einem proximalen Lagerpunkt aus vorgeschoben und zurückgezogen werden kann, und einer Antriebsquelle (in den Zeichnungen nicht gezeigt), die die Antriebswelle 13a so antreibt, dass sie vorgeschoben und zurückgezogen wird. Eine mögliche Einrichtung zur Lagerung der Antriebswelle 13a, so dass sie vorgeschoben und zurückgezogen werden kann, ist eine Anordnung, bei der z. B. eine Mutter 13b vorgesehen ist, so dass ein Gewindeabschnitt, der auf der Oberfläche der Antriebswelle 13a gebildet ist, in die Mutter 13b geschraubt werden kann, und bei der ein Antriebsmotor wie ein Servomotor vorgesehen ist, um die Antriebswelle 13a um die Achse dieser Welle (siehe Fig. 7) zu drehen. In diesem Falle befinden sich die Muttern 13b am Basisabschnitt 11 oder in einer Ebene parallel zum Basisabschnitt 11. Die Mutter 13b kann wenigstens in zwei Richtungen zusammen mit dem Basisabschnitt 11 oder in der Ebene parallel zum Basisabschnitt 11 gedreht werden. Dies bedeutet, dass die Mutter 13b einen Freiheitsgrad 2 hat.
  • Wie Fig. 2 zeigt, kann im Arm 14 des Parallelmanipulators M der erste Strebenabschnitt 15 um die Achse der Welle 12 des Basisabschnitts 12 gedreht werden. Der erste Strebenabschnitt 15 und der zweite Strebenabschnitt 17 können um die Achse der Welle 16 gedreht werden, um den Winkel zwischen diesen zu ändern. Außerdem kann der zweite Strebenabschnitt 17 um Schwenklager (Universalgelenke) 18a, 18b relativ zur Welle 16 gedreht werden, die sich am oberen Ende des Manipulators befindet, sowie zum Endeffektor 19, der sich am unteren Ende des Manipulators befindet. Folglich kann der Endeffektor 19 durch Vorschieben und Zurückziehen jeder der drei Wellen 13a der direkt wirkenden Antriebseinrichtung 13 in eine Sollposition gebracht werden. Während dieser Positionsänderung verbleibt dann aufgrund der konstruktiven Eigenschaften des Parallelstrebenabschnitts 17 das Universalgelenk 18b, das sich am unteren Ende des Manipulators befindet, stets parallel zur Welle 16, die sich am oberen Ende des Manipulators befindet. Daher bleibt der Endeffektor 19, der an den distalen Enden der drei Arme 14 gelagert ist, stets parallel zur speziellen Ebene unabhängig von der Position der Arme 14. Dies bedeutet, dass der Endeffektor 19 in eine beliebige Position verstellt wird, während er stets parallel zur speziellen Ebene bleibt.
  • Bei der vorliegenden Erfindung wirken aufgebrachte Lasten, wenn der Endeffektor 19 eine Operation durchführt, in der axialen Richtung der Antriebswelle 13a der direkt wirkenden Antriebseinrichtung 13. Dies verhindert, dass die Antriebswelle 13a verformt oder gebogen wird, wenn sie vorgeschoben oder zurückgezogen wird, um die Position des Endeffektors 19 zu ändern. Daher ist eine genaue Positionssteuerung selbst möglich, wenn der Endeffektor 19 ein schweres Objekt handhaben muss.
  • Drei oder mehr Arme 14, die die Bewegung des Endeffektors 19 regulieren, werden vorzugsweise vorgesehen, wenn die Stabilität berücksichtigt wird. Jedoch kann die Position des Endeffektors 19 parallel zur speziellen Ebene gehalten werden, wenn nur zwei Arme 14 verwendet werden.
  • Die Einrichtung zum Vorschieben und Zurückziehen der Antriebswelle 13a der direkt wirkenden Antriebseinrichtung 13 kann ein Mechanismus sein, der die Antriebswelle 13a so hält, dass sie daran gehindert wird, sich um ihre Achse zu drehen, und der die Mutter 13b dreht. Alternativ kann in Betracht gezogen werden, dass die direkt wirkende Betätigungseinrichtung aus einem Zylindermechanismus bestehen kann, der durch einen Fluiddruck wie Öl-, Wasser- oder Luftdruck angetrieben wird, so dass er expandiert und kontrahiert wird, und die Antriebswelle in Richtung auf den Lagerpunkt vorgeschoben und von diesem zurückgezogen wird.
  • Fig. 3 zeigt eine Ausführungsform des Parallelmanipulators M gemäß der vorliegenden Erfindung. Der Parallelmanipulator M hat einen vertikalen Rahmen H, der auf einem Boden G so vorgesehen ist, dass er senkrecht dazu verläuft und den plattenähnlichen Basisabschnitt 11 auf dem Boden G trägt. Die drei Arme 14 und die drei direkt wirkenden Antriebseinrichtungen 13 sind am Basisabschnitt 11 angeordnet. Der Endeffektor 19 wird von den Armen 14 und den unteren Enden der direkt wirkenden Antriebseinrichtungen 13 getragen.
  • Die drei Arme 14 sind so befestigt, dass sie sich radial vom Basisabschnitt 11 aus in drei Richtungen in im Wesentlichen gleichen Winkelabständen erstrecken.
  • Jeder der Arme 14 besteht aus einem ersten Strebenabschnitt 15, der sich um die Achse der Welle 12, die am Basisabschnitt 11 angeordnet ist, dreht, und dem zweiten Strebenabschnitt 17, der mit dem anderen Ende des ersten Strebenabschnitts 15 über eine weitere Welle 16 verbunden ist und aus zwei Streben der gleichen Länge besteht. In jedem der Arme 14 verläuft die Welle 16 parallel zur entsprechenden Welle 12 am Basisabschnitt 11. Der zweite parallele Strebenabschnitt 17 ist mit jeder Welle 16 verbunden, die sich am oberen Ende des Manipulators befindet, und dem Endeffektor 19, der sich am unteren Ende des Manipulators verbindet, und zwar unter Verwendung von Universalgelenken 18a, 18b wie Kugelgelenken oder Kardangelenken, die einen Freiheitsgrad 2 oder mehr haben.
  • Die drei direkt wirkenden Antriebseinrichtungen 13 zur Änderung der Position des Endeffektors 19 sind so ausgebildet, dass die Mutter 13b, die am Basisabschnitt 11 angeordnet ist, die Mitte der Antriebswelle 13a trägt, deren unteres Ende mit dem Endeffektor 19 über das Schwenklager 13c mit einem Freiheitsgrad von 2 oder mehr verbunden ist. Wie Fig. 4 zeigt, ist eine Halterung 20 in einer Öffnung 11a befestigt, die im Basisabschnitt 11 ausgebildet ist, um mittels einer Welle 22 drehbar zu sein. Die Mutter 13b ist an der Innenseite der Halterung 20 so befestigt, dass sie mittels einer Welle 21 gedreht werden kann, die sich senkrecht zur Welle 22 der Halterung 20 erstreckt. Somit kann, wie die Fig. 5 und 6 zeigen, die Mutter 13b in zwei Richtungen relativ zum Basisabschnitt 11 gedreht werden. Weiterhin ist, wie Fig. 7 zeigt, ein Gewindeabschnitt in einem geeigneten Bereich auf der Oberfläche der Antriebswelle 13a ausgebildet. Der Gewindeabschnitt ist in die Mutter 13b geschraubt. Außerdem ist eine Antriebsquelle R wie ein Servomotor vorgesehen, um die Antriebswelle 13a um ihre Achse drehmäßig anzutreiben. Durch Verwendung der Antriebsquelle R zur Steuerung der Größe der Drehung der Antriebswelle 13a kann somit die Strecke, um die die Antriebswelle 13a durch die Mutter 13b vorgeschoben oder zurückgezogen wird, eingestellt werden, um die Positionssteuerung des Endeffektors 19 zu erreichen.
  • Wie Fig. 8 zeigt, verbindet der Endeffektor 19 die unteren Enden der zweiten Strebenabschnitte 17 der drei Arme 14 mit den unteren Enden der Antriebswellen 13a der direkt wirkenden Antriebseinrichtung 13 unter Verwendung der Universalgelenke 18b, 13c, um einen Freiheitsgrad 2 oder mehr zu haben. Die Universalgelenke 18b, 13c sind in der gleichen Ebene angeordnet.
  • Der in Fig. 9 gezeigte Aufbau ist ein weiteres Beispiel, bei dem die unteren Enden des zweiten Strebenabschnitts 17 mit dem Endeffektor 19 verbunden sind, um einen Freiheitsgrad 2 zu haben. Dies bedeutet, dass ein Gelenk Q drehmäßig verstellbar am Endeffektor 19 unter Verwendung eines Stifts P2 befestigt ist. Das untere Ende des zweiten Strebenabschnitts 17 ist mit dem Gelenk Q unter Verwendung eines Stifts P1, der sich in einer Richtung senkrecht zum Stift P2 erstreckt, drehmäßig verstellbar verbunden. Der zweite Strebenabschnitt 17 kann somit in zwei unterschiedlichen Richtungen relativ zum Endeffektor 19 gedreht werden.
  • Bei dem Parallelmanipulator gemäß der vorliegenden Erfindung ist außer den beiden Armen, die die Position des Endeffektors regulieren, so dass er bzgl. der speziellen Ebene parallel bleibt, die direkt wirkende Antriebseinrichtung zur Steuerung des Endeffektors unabhängig vorgesehen, so dass Lasten auf dem Endeffektor in der axialen Richtung der Antriebsrichtung der direkt wirkenden Antriebseinrichtung wirken. Selbst wenn daher der Endeffektor einen Vorgang der Handhabung eines schweren Objekts durchführt, wird verhindert, dass die Antriebswelle der Antriebseinrichtung durch Lasten gebogen oder verformt wird. Dies verbessert die Positionssteuerung des Endeffektors. Außerdem kann die Lebenserwartung erhöht werden.
  • Anhand der Fig. 11 bis 23 wird nun eine Steuervorrichtung 102 für den Parallelmanipulator der Ausführungsform beschrieben. Die Steuervorrichtung 102 für den Parallelmanipulator besteht aus einem Vorwärtskinematik- Verarbeitungsabschnitt 104, der dazu verwendet wird, die geschätzten Werte Xc für Aufgabenkoordinatenvariable für den Endeffektor aus Antriebsgelenk- Koordinatenvariablen qd zu bestimmen, sowie einem Steuersystem 118, das dazu verwendet wird, die Rückkopplungssteuerung zu einem Parallelmanipulator- Hauptrahmen 120 gemäß den Abweichungen zwischen den bestimmten Aufgabenkoordinatenvariablen Xc und den Sollaufgabenkoordinatenvariablen Xr zu bewirken.
  • Die geschätzten Werte Xc der Aufgabenkoordinatenvariablen Xe werden durch Multiplizieren der Abweichungen zwischen den Antriebsgelenk- Koordinatenvariablen qd und ihren geschätzten Werten mit einer inversen Matrix J-1 einer Jacobi-Matrix J, Multiplizieren der Produkte mit einer geeigneten Verstärkung K und danach erfolgender Integration der Produkte erhalten. Dies ist bekannt. Der Erfinder hat dabei festgestellt, dass die geschätzten Werte Xc der Aufgabenkoordinatenvariablen auch durch Verwendung einer transponierten Matrix JT der Jacobi-Matrix anstelle der inversen Matrix J-1 der Jacobi-Matrix erhalten werden können.
  • In Fig. 11 ist 106 einen Inverskinematik-Verarbeitungsabschnitt, der die geschätzten Werte Xc für die Aufgabenkoordinatenvariablen in geschätzte Werte qc für die Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen umwandelt und dann die umgewandelten geschätzten Werte ausgibt. Ein Subtrahierglied 108 ermittelt die Differenzen zwischen diesen geschätzten Werten und den tatsächlichen Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen qd, die durch einen Kodierer oder dergleichen bestimmt werden. Ein Verarbeitungsabschnitt 110 für eine transponierte Jacobi-Matrix multipliziert die Differenzen mit der transponierten Matrix JT der Jacobi-Matrix. Ein Verstärkungsverarbeitungsabschnitt 112 multipliziert die vom Verarbeitungsabschnitt 110 der transponierten Jacobi-Matrix erhaltenen Produkte mit einer Konstanten bzw. K. Ein Integrator 114 integriert die durch den Verstärkungsverarbeitungsabschnitt 112 erhaltenen Produkte, um die geschätzten Werte Xc (die geschätzten Werte für die Koordinatenvariablen des Endeffektors) für die Aufgabenkoordinatenvariablen zu erhalten.
  • Der Vorwärtskinematik-Verarbeitungsabschnitt 104 soll die Rückkopplungssteuerung eines virtuellen Parallelmanipulators bewirken, um die geschätzten Werte qc für die Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen an die tatsächlichen Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen qd anzupassen. Ein Ausgangssignal u des Subtrahierglieds 108 entspricht den Abweichungen in Form von Antriebsgelenkkoordinaten. Ein Ausgangssignal F, das nach Multiplizieren der Abweichungen mit der transponierten Matrix der Jacobi-Matrix erhalten wird, entspricht der virtuellen Kraft bzw. dem virtuellen Moment, das auf den Endeffektor gegeben wird. Eine virtuelle Position des Endeffektors wird durch Multiplizieren des Ausgangssignals F mit der Verstärkung bestimmt und dann durch Integration der Produkte erhalten. Der Vorwärtskinematik- Verarbeitungsabschnitt 104 gibt geeignete Werte als geschätzte Anfangswerte Xc für die Aufgabenkoordinatenvariablen ein. Dann wird die Inverskinematikberechnung durchgeführt, um diese geschätzten Werte in geschätzte Werte für die Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen umzuwandeln. Entsprechend den Abweichungen zwischen den erhaltenen geschätzten Werten und den tatsächlichen Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen werden die geschätzten Werte mit der transponierten Matrix der Jacobi-Matrix (nachfolgend als die "transponierte Jacobi-Matrix" bezeichnet) multipliziert. Die Kraft bzw. das Moment F, die auf den virtuellen Endeffektor angewandt werden, wird ermittelt und dann mit der Verstärkung multipliziert. Die erhaltenen Produkte werden dann in virtuelle gesteuerte Variable W umgewandelt. Die gesteuerten Variablen W werden dann integriert, um die geschätzten Werte Xc für die Aufgabenkoordinatenvariablen zu aktualisieren.
  • Im Allgemeinen gilt, wenn die Aufgabenkoordinatenvariablen für den Endeffektor als XE und die Antriebsgelenk-Koordinatenvariable als q definiert sind, die Beziehung q = f(XE). Diese Beziehung wird vorübergehend integriert, um die Gleichung (1) zu erhalten:

    q' = JXE', J = σf/σXE (1)

    in der (') ein Differenzialsymbol bzw. eine Differenz für die Implementierung bedeutet. In diesem Falle ist eine Matrix J als eine "Jacobi-Matrix" bezeichnet, die quadratisch ist. Jedoch sind die Elemente dieser Matrix nicht konstant, sondern Funktionen der Aufgabenkoordinatenvariablen XE. Außerdem bezieht sich der Ausdruck "Koordinaten" oder "Koordinatenvariable", der hier verwendet wird, nicht nur auf einfache dreidimensionale Koordinaten, sondern auf eine allgemeine Vektorgröße. Z. B. bedeuten die Aufgabenkoordinatenvariablen einen Satz von Variablen, die die Position und Lage des Endeffektors identifizieren. Die Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen q bedeuten einen Vektor, der aus einem Satz Variablen besteht, die den Zustand mehrerer Antriebsgelenke beschreiben. Außerdem ist in der Gleichung (1) der Punkt, jenseits von dem die Jacobi-Matrix J nicht regelmäßig ist, als ein "singulärer Punkt" bezeichnet.
  • Wenn die Kraft bzw. das Moment, mit der der Endeffektor beaufschlagt wird, als F und die Antriebskraft, mit der jedes Gelenk beaufschlagt wird, als u bezeichnet wird, wurde folgende Gleichung aufgestellt:

    F = JT(XE)u (2)
  • Hierbei wird angenommen, dass der Vorwärtskinematik-Verarbeitungsabschnitt 104 in Fig. 11 die Steuereingangssignale W ermöglicht, um die Geschwindigkeiten X'c für den geschätzten Wert der Aufgabenkoordinatenvariablen zu steuern, wie durch die Gleichung (3) angegeben ist. Dann werden die geschätzten Werte für die Aufgabenkoordinatenvariablen durch Integration der Werte X'c erhalten.

    X'c = W (3)
  • Dann gilt der folgende Ansatz:
  • Ansatz
  • Die Steuereingangssignale W werden gemäß Gleichung (4) bestimmt.

    W = -KJ (Xc)T (qc - qd) (4)
  • Es wird dann angenommen, dass die Gleichung (5) für bestimmte positive Zahlen N und c aufgestellt wird.

    N < σ n(J(Xc).J(Xc)T), ||q'd|| < c (5)
  • Dann ist ein bestimmtes 10 für ein beliebiges ε0>0 und K in K>C/(ε 0.N) vorhanden. Somit wird die Gleichung (6) aufgestellt.

    ||qc - qd|| < ε0, (for all t ≥ T) (6)
  • In diesem Falle bezeichnet an die minimale singuläre Lösung. Die Gleichung (6) bedeutet, dass die geschätzten Werte für die Antriebsgelenk- Koordinatenvariablen auf die tatsächlichen Antriebsgelenk-Koordinaten durch Verstellen des virtuellen Endeffektors für eine Zeit T bzw. länger konvergieren, während Steuereingangssignale dem virtuellen Endeffektor entsprechend der Gleichung (4) zugeführt werden. In diesem Falle sind, vorausgesetzt, dass angenommen werden kann, dass der Vorwärtskinematik-Verarbeitungsabschnitt 104 den gleichen Mechanismus wie der des tatsächlichen Parallelmanipulators ausdrückt, d. h. vorausgesetzt, dass die Jacobi-Matrix J und der Inverskinematik- Verarbeitungsabschnitt 106 den tatsächlichen Parallelmanipulator ausdrücken, die geschätzten Werte Xc für die Aufgabenkoordinatenvariablen für den Endeffektor eine Lösung von q = f(XE).
  • In Fig. 11 bezeichnet 116 eine Subtrahierglied, das die Abweichungen zwischen den Sollwerten Xr für die Aufgabenkoordinatenvariablen und die geschätzten Werte Xc für die Aufgabenkoordinatenvariablen bestimmt. Das Steuersystem 118 wendet eine PD-Steuerung oder eine PDI-Steuerung auf diese Abweichungen an, um gesteuerte Variable (Steuereingangssignale) zu generieren, so dass der Parallelmanipulator-Hauptrahmen 120 angetrieben wird. Die Tabelle 1 zeigt die in den Ausführungsformen verwendeten Symbole. Bedeutung der Symbole XE: Aufgabenkoordinatenvariablen (Koordinaten des Endeffektors)
    Xc: geschätzte Werte für die Aufgabenkoordinatenvariablen (geschätzte Koordinaten des Endeffektors)
    Xr: Sollaufgabenkoordinatenvariablen (Sollkoordinaten des Endeffektors)
    qd: Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen
    qc: geschätzte Werte für die Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen
    θ1 bis θ3: die Länge der Kugelumlaufspindel
    das Differenzialsymbol
  • Um die Gültigkeit der Schätzung der Aufgabenkoordinatenvariablen X, die vom Vorwärtskinematik-Verarbeitungsabschnitt in Fig. 11 durchgeführt werden, zu verifizieren, wurden Simulationen unter Verwendung des Parallelmanipulators in Fig. 12 als ein Modell durchgeführt. Der Parallelmanipulator wird durch Modellbildung des in Fig. 21 gezeigten Parallelmanipulators erhalten. Ein Endeffektor 132 ist an einer festen Basis 130 über Antriebsgelenke befestigt, um eine konstante Position aufrechtzuerhalten. 133 bis 135 bezeichnen Servomotoren, Beispiele von Antriebsgelenken. 136 bis 138 bezeichnen Kugelumlaufspindeln. Die Längen der Kugelumlaufspindeln 136 bis 138 zwischen den Servomotoren 133 und dem Endeffektor 132 sind mit θ1 bis θ3 bezeichnet. Außerdem sind die Servomotoren 133 bis 135 an der festen Basis 130 unter Verwendung von Gelenken mit einem Schwenkfreiheitsgrad 2 oder mehr gelagert. Die distalen Enden der Kugelumlaufspindeln 136 bis 138 sind am Endeffektor so gelagert, dass sie einen Schwenkfreiheitsgrad von 2 oder mehr haben.
  • Da die Position des Endeffektors 132 eingeschränkt ist, wird der Freiheitsgrad durch drei Koordinaten X, Y und Z wiedergegeben. Die zentrale Position des Endeffektors verstellt sich, wie durch die unterbrochenen Linien in den Fig. 13 bis 15 gezeigt ist. Die Längen θ1 bis θ3 der drei Kugelumlaufspindeln schwanken, wie durch die Gleichung (7) angegeben ist. Die zentrale Anfangsposition (die Position zum Zeitpunkt 0, die durch die durchgehende Linie gezeigt ist) des Endeffektors 132 wurde näherungsweise geschätzt und z. B. auf (1,1,1) eingestellt. Dann wurde der Vorwärtskinematik-Verarbeitungsabschnitt 104 in Fig. 11 verwendet, um die Position des Endeffektors 132 zu simulieren. Die Ergebnisse sind in den Fig. 13 bis 15 gezeigt, in denen die durchgehenden Linien die geschätzten Werte für die Koordinaten des Endeffektors angeben. Bei dieser Simulation war die Verstärkung K 50. Wie sich aus den Fig. 13 bis 15 ergibt, konvergieren die geschätzten Werte für die Koordinatenvariablen des Endeffektors auf die tatsächlichen Werte in etwa einer Sekunde. Danach konnte die Position des Endeffektors in Echtzeit bestimmt werden.

    θ1 = sinπ/2t + √10
    θ2 = sinπ/2t + √10, K = 50 (7)
    03 = sinπ/2t + √10
  • Wie oben beschrieben, können unter Verwendung des Vorwärtskinematik- Verarbeitungsabschnitts 104 in Fig. 11 die Aufgabenkoordinatenvariablen für den Endeffektor unter Verwendung der transponierten Matrix JT f, die Jacobi- Matrix anstelle der inversen Matrix J-1 der Jacobi-Matrix geschätzt werden. Somit kann, vorausgesetzt, dass diese Werte geschätzt werden können, der Endeffektor in eine Sollposition bzw. längs einer Sollortskurve durch Anwenden des Steuersystems verstellt werden, um solch eine Rückkopplungssteuerung zu bewirken, die die Differenzen zwischen den Aufgabenkoordinatenvariablen und den Sollwerten Xr beseitigt.
  • Fig. 16 zeigt das Steuersystem 118 in der Steuervorrichtung 102 für den Parallelmanipulator. In diesem Falle führt das Steuersystem 118 eine PD- Steuerung durch. Daher sind die Eingangssignale die Sollkoordinatenvariablen Xr und ihre Differenzialwerte Xr' ebenso wie die geschätzten Werte Xc für die Aufgabenkoordinatenvariablen und ihre Differenzialwerte Xc'. Eine PID-Steuerung kann anstelle der PD-Steuerung verwendet werden. Die Art der Steuerung ist beliebig.
  • Gemäß der Kinematik werden die gesteuerten Variablen durch Multiplizieren der Verstellungen zwischen Xr und Xc mit der Verstärkung KP und Multiplizieren der erhaltenen Produkte mit der inversen Matrix J-T der transponierten Jacobi-Matrix erhalten.
  • Jedoch erfordert die Anwendung von J-T Berechnungen, deren Umfang dem entspricht, der zur Bestimmung der inversen Matrix J-1 der Jacobi-Matrix erforderlich ist. Diese Methode erfordert daher einen hohen Verarbeitungsaufwand. Der Erfinder hat daher festgestellt, dass mittels J-T . JT durch Anwenden von J.KP.JT oder J.KD.JT anstelle der Verstärkung KP bzw. der Verstärkung KD eine Identitätsumwandlung I durchgeführt werden kann, und dass die Verarbeitung einfach durch Durchführen einer Multiplikation unter Verwendung von J.KP bzw. J.KD erreicht werden kann. Die Verstärkungen KP und KD sind Matrizen, können jedoch Konstante sein.
  • Das Steuersystem 118 in Fig. 16 beruht auf diesem Konzept. Die Subtrahierglieder 116 und 117 bestimmen die Differenzen zwischen den Sollkoordinatenvariablen Xr und den geschätzten Werten Xc für die Aufgabenkoordinatenvariablen bzw. die Differenzen zwischen den Differenzialwerten Xr' für die Sollkoordinatenvariablen und die Differenzialwerte Xc' für die geschätzten Aufgabenkoordinatenvariablen. Dann führt ein Proportionalsteuerabschnitt 122 die Multiplikation J.KP durch, und ein Differentialsteuerabschnitt 123 die Multiplikation J.KD. Ein Addierglied 124 addiert dann diese gesteuerten Variablen. Ein ldentitätsumwandlungsabschnitt 125 unterwirft diese Variablen dann einer Identitätsumwandlung, um den Parallelmanipulator-Hauptrahmen 120 zu steuern. Der Identitätsumwandlungsabschnitt 125 ist für die Implementierung nicht erforderlich.
  • Solch eine Steuerung kann teilweise vorgesehen werden, da die Verstärkungen KP und KD grundsätzlich reguläre Matrizen sind, so dass selbst nach Multiplizierung mit der Jacobi-Matrix J und ihrer transponierten Matrix JT von ihren entgegengesetzten Seiten aus sie noch regelmäßige Matrizen sind, wobei ihre Basisstruktur ungeändert bleibt.
  • Die Ergebnisse der Steuerung des Steuersystems 118 in Fig. 16 wurden durch Einstellen des Wertes K auf 50.000, des Wertes KP auf 200 und des Wertes KD auf 50 und unter Verwendung des Modells in Fig. 12 simuliert. Die Ergebnisse der Simulation sind in den Fig. 17 bis 19 gezeigt. In den Figuren gibt eine unterbrochene Linie eine Sollortskurve wieder, und die durchgehenden Linien zeigen die Ergebnisse der Simulation. Bei dieser Simulation stimmt zum Zeitpunkt 0 die Position der Sollbahn mit den geschätzten Werten für die Aufgabenkoordinatenvariablen überein. Aus den Fig. 17 bis 19 ist ersichtlich, dass die Steuerung richtig durchgeführt wird, um der Sollbahn zu folgen, mit Ausnahme eines geringen Fehlers auf der Y-Koordinate. Somit kann der Parallelmanipulator-Hauptrahmen 120 durch Anwenden des Steuersystems 118 in Fig. 16 stabil gesteuert werden.
  • Fig. 20 zeigt die Steuervorrichtung 140 für den Parallelmanipulator. Diese Steuervorrichtung unterscheidet sich von der Steuervorrichtung 102 in den Fig. 11 und 16 darin, dass Differenzierglieder 142, 144, die verwendet werden, um Differenzialsignale zu erhalten, explizit vorhanden sind, und Schalter 144, 145 explizit vorhanden sind, die verwendet werden, damit die Steuerung auf den Beginn bzw. die Durchführung einer Steuerung ohne Rückmeldung zu warten, bis der Vorwärtskinematik-Verarbeitungsabschnitt 104 die geschätzten Werte für die Aufgabenkoordinatenvariablen vollständig konvergiert. Ein Ausgangssignal des Addierglieds 124 wird auf jeden Servotreiberverstärker 150 bis 152 gegeben, um einen entsprechenden Servomotor 133 bis 135 anzusteuern. Die Ausgangssignale T1 bis T3 der Servotreiberverstärker 150 bis 152 werden auf die entsprechenden Servomotoren gegeben. Die Positionen aller Kugelumlaufspindeln, die tatsächlich im Drehwinkel der Motoren und ihre akkumulierten Werte, die alle Drehungen der Motoren 133 bis 135 zugeordnet sind, werden auf die Steuervorrichtung 140 als Komponenten θ1 bis θ3 der Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen qd rückgekoppelt.
  • Es werden nun die Vorteile der Steuerung mit dem Aufgabenkoordinatenvariablen-System erläutert. Wenn die Steuerung unter Verwendung eines Gelenkkoordinatensystems vorgesehen wird, werden die Differenzen der Sollwerte für die jeweiligen Gelenke, d. h. die Steuerfehler akkumuliert und verhindern die Kompensation der Differenzen gegenüber den Sollwerten für den Endeffektor auf der Grundlage des Aufgabenkoordinatensystems. Wenn dagegen die Steuerung unter Verwendung des Aufgabenkoordinatensystems vorgesehen wird, können die Differenzen gegenüber den Sollwerten für den Endeffektor direkt rückgekoppelt werden. Diese vermeidet Akkumulierungsfehler in den jeweiligen Gelenken, so dass die Bewegung des Endeffektors genau gesteuert werden kann.
  • Fig. 21 zeigt ein Beispiel eines Parallelmanipulators, der mit der Steuervorrichtung 140 der Ausführungsform gesteuert werden soll. G bezeichnet einen Boden, H z. B. drei Stützen, an denen die fixierte Basis 130 befestigt ist. Wellen 160 sind z. B. auf einer Fläche der fixierten Basis 130 so befestigt, dass sie sich parallel zu dieser Fläche erstrecken. Eine erste Strebe 161 ist mit jeder Welle 160 verbunden. Eine zweite Strebe 162 ist schwenkbar am anderen Ende der ersten Strebe 161 über ein Gelenk 164 mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr verbunden. Die Wellen 160 und die Gelenke 163, 164 sind angetriebene Elemente. Die Gelenke 163, 164 sind nicht auf den Freiheitsgrad 2 beschränkt, sondern können einen Freiheitsgrad von wenigstens 2 haben. 166 bezeichnet Gelenke, die Verwendet werden, um die distalen Enden der Kugelumlaufspindeln 136 bis 138 am Endeffektor 132 zu befestigen. Die Kugelumlaufspindeln sind an diesen Gelenken so befestigt, dass sie mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr frei schwenken.
  • Wie Fig. 22 zeigt, verläuft jede Welle 160 parallel zur Oberfläche der fixierten Basis 130. Die gerade Linie, die die Gelenke 163 verbindet, verläuft ebenfalls parallel zur Oberfläche der fixierten Basis 130. Daher verläuft die gerade Linie, die die Gelenke 164 verbindet, ebenfalls parallel zur Oberfläche der fixierten Basis 130. Der Endeffektor 132 nimmt konstant eine Position parallel zur fixierten Basis 130 ein, da die drei geraden Linien, die die Gelenke 164 mit den distalen Enden der zweiten Streben 162 verbinden, alle parallel zur festen Basis 130 sind. Daher ist die Oberfläche des Endeffektors 132 konstant parallel zur Oberfläche der fixierten Basis 130. Dies ist bei der Handhabung von Halbleiterwafern oder Flüssigkristallsubstraten von Vorteil, die auf die Position des Manipulators empfindlich reagieren bzw. für die Bearbeitung, Montage oder Durchführung einer anderen Operation mit exakter Position. Dabei wird ein geeigneter Greifer oder dergleichen am Endeffektor 132 befestigt.
  • Die Position des Endeffektors 132 wird durch Expandieren und Kontrahieren der Kugelumlaufspindeln 136 bis 138 bestimmt. Die Servomotoren 133 bis 135 können in zwei axialen Richtungen relativ zur Oberfläche der fixierten Basis 130 schwenken, wie Fig. 23 zeigt. Ein Zwischenglied 174 ist an der fixierten Basis 130 über Wellen 172 befestigt. Der Servomotor 133 ist am Zwischenglied 174 über Wellen 176 befestigt. Daher kann der Servomotor 133 relativ zur fixierten Basis 130 mit einem Freiheitsgrad 2 frei schwenken. Die anderen Servomotoren 134, 135 sind in ähnlicher Weise befestigt.
  • Bei dem Parallelmanipulator-Hauptrahmen 120 in Fig. 21 hält der Endeffektor 132 eine konstante Position aufrecht und seine Position wird unter Verwendung der Kugelumlaufspindeln 136 bis 138 eingestellt. Außerdem verwendet der Parallelmanipulator-Hauptrahmen 120 die linear verstellenden (direkt wirkenden) Antriebsgelenke. Daher kann der Parallelmanipulator-Hauptrahmen 120 starr und genau mit hoher Geschwindigkeit verstellt werden. Somit kann sich der Endeffektor schnell, starr und genau verstellen. Es ist möglich, hydraulische oder pneumatische Zylinder bzw. Stangen zu verwenden, die unter Verwendung eines Linearmotors expandieren und kontrahieren, anstelle der Kugelumlaufspindeln 136 bis 138.
  • Bei der Ausführungsform wurde die Steuerung des speziellen Parallelmanipulator- Hauptrahmens 120 als Beispiel beschrieben. Da jedoch die vorliegende Erfindung die Notwendigkeit für Berechnungen der inversen Matrix J-T der Jacobi-Matrix, der inversen Matrix J-T der transponierten Jacobi-Matrix in der gleichen beseitigt, ist es möglich, die Steuerung eines Parallelmanipulators leicht durchzuführen, der komplizierter ist und mehr Antriebsgelenke hat.

Claims (7)

1. Parallelmanipulator mit einem Hilfsmechanismus, der so ausgebildet ist, dass eine Position eines Endeffektors stets parallel zu einer speziellen Ebene gehalten wird, wobei der Manipulator dadurch gekennzeichnet ist, dass wenigstens drei direkt wirkende Antriebseinrichtungen vorgesehen sind, die aus einer Antriebswelle mit einer gelagerten proximalen Seite und einer distalen Seite bestehen, die mit dem Endeffektor unter Verwendung eines Schwenklagers mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr verbunden ist, sowie einer Antriebsquelle, die die Antriebswelle in Richtung auf einen proximalen Lagerpunkt vorschiebt und von diesem zurückzieht.
2. Parallelmanipulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Hilfsmechanismus, der verwendet wird, um die Position des Endeffektors stets parallel zur speziellen Ebene zu halten, mit wenigstens zwei Armen versehen ist, von denen jeder aus einem ersten Strebenabschnitt, dessen eines Ende mit einer Welle verbunden ist, die an einem Basisabschnitt befestigt ist und einen Freiheitsgrad 1 hat, und einem zweiten Strebenabschnitt besteht, der aus zwei oder mehr parallelen Streben besteht, von denen jede entgegengesetzte Enden hat, die mit dem anderen Ende des ersten Strebenabschnitts bzw. dem Endeffektor unter Verwendung von Lagern mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr verbunden sind.
3. Parallelmanipulator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die direkt wirkende Antriebseinrichtung so ausgebildet ist, dass sie die Antriebswelle durch eine Mutter unter Verwendung der Antriebsquelle durchschiebt und aus dieser zurückzieht, um die Antriebswelle bzw. die Mutter zu drehen, wobei die Mutter am Basisabschnitt unter Verwendung des Schwenklagers mit einem Freiheitsgrad von 2 oder mehr verbunden ist, und die Mutter in einen auf der Oberfläche der Antriebswelle ausgebildeten Gewindeabschnitt geschraubt ist.
4. Parallelmanipulator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die direkt wirkende Antriebseinrichtung aus einem Zylindermechanismus besteht, dessen entgegengesetzte Enden mit dem Endeffektor bzw. dem Basisabschnitt unter Verwendung der Schwenklager mit einem Freiheitsgrad 2 oder mehr verbunden sind und der durch Fluiddruck zum Expandieren und Kontrahieren angetrieben ist.
5. Steuervorrichtung für einen Parallelmanipulator, der einen Endeffektor unter Verwendung mehrerer Antriebsgelenke und mehrerer angetriebener Gelenke verstellt, wobei die Steuervorrichtung eine Inverskinematik- Umwandlungseinrichtung zur Umwandlung geschätzter Werte für Aufgabenkoordinatenvariable für den Endeffektor in geschätzte Werte für Antriebsgelenk-Koordinatenvariable, eine Vorwärtskinematik- Umwandlungseinrichtung zum Aktualisieren der geschätzten Werte für die Aufgabenkoordinatenvariablen, um eine Abweichung zwischen den geschätzten Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen und den tatsächlichen Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen zu vermeiden, und eine Steuereinrichtung, um eine Rückkopplung zu den Antriebsgelenken zu bewirken, aufweist, um die Sollaufgaben-Koordinatenvariablen an die geschätzten Werte für die Aufgabenkoordinatenvariablen anzupassen, wobei die Steuervorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, dass die Vorwärtskoordinaten-Umwandlungseinrichtung die geschätzten Werte für die Aufgabenkoordinatenvariablen durch Multiplizieren der Abweichungen mit einer transponierten Matrix einer Jacobi-Matrix und einer Verstärkung und Integrieren der erhaltenen Produkte aktualisiert, wobei die transponierte Matrix zum Umwandeln einer Differentiation der Aufgabenkoordinatenvariablen in eine Differentiation der Antriebsgelenk-Koordinatenvariablen verwendet wird.
6. Steuervorrichtung für einen Parallelmanipulator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung die Abweichung zwischen den Sollaufgabenkoordinatenvariablen und den geschätzten Werten der Aufgabenkoordinatenvariablen mit der Jacobi-Matrix und der Verstärkung multipliziert, um die gesteuerten Variablen für die Antriebsgelenke zu bestimmen.
7. Steuervorrichtung für einen Parallelmanipulator nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass der zu steuernde Parallelmanipulator aus einem Mechanismus zum Aufrechterhalten einer konstanten Position des Endeffektors relativ zu einer festen Basis und einem direkt wirkenden Mechanismus zur Änderung der Position des Endeffektors besteht, wobei der direkt wirkende Mechanismus als Antriebsgelenke gesteuert ist.
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