DE10258845A1

DE10258845A1 - Sensoreinrichtung zur Ermittlung von Temperaturen

Info

Publication number: DE10258845A1
Application number: DE2002158845
Authority: DE
Inventors: Ralf Schmidt; Jan Huels
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2002-12-17
Filing date: 2002-12-17
Publication date: 2004-01-15

Abstract

Es wird eine Sensoreinrichtung zur Ermittlung von Temperaturen mit einem kapazitiven Element (14) und einem darin elektrisch kontaktierten dielektrischen Material (10), welches seine dielektrischen Eigenschaften mit der Temperatur ändert, vorgeschlagen. Dabei ist vorgesehen, daß das kapazitive Element (14) mit einem induktiven Element (16) zu einem Schwingkreis (4) verschaltet ist, dessen Resonanzfrequenz sich in Abhängigkeit von der zu ermittelten Temperatur ändert (Figur 1).

Description

Stand der Technik
Die Erfindung betrifft eine Sensoreinrichtung zur Ermittlung von Temperaturen mit einem kapazitiven Element und einem darin elektrisch kontaktierten dielektischen Material nach der im Oberbegriff des Patentanspruches 1 näher definierten Art.

Aus der US 5,788,376 ist eine solche Sensoreinrichtung bekannt. Diese bekannte Vorrichtung dient beispielsweise zur Temperaturmessung an einem Auspuffsystem eines Kraftfahrzeuges und umfaßt zwei ringförmige, konzentrisch angeordnete, einen Kondensator bildende Metallelektroden, zwischen denen ein dielektrischer Werkstoff eingebettet ist. Der dielektrische Werkstoff hat eine dielektrische Konstante, die sich temperaturabhängig ändert, womit sich auch die Kapazität des aus den beiden Elektroden und dem dielektri schen Werkstoff gebildeten Kondensators ändert. Eine Prozessoreinheit ist mit dem kapazitiven Element zu dessen Kapazitätsbestimmung direkt verbunden und wandelt den Kapazitätswert in einen korrespondierenden Temperaturwert um.

Eine derartige Sensoreinrichtung kann beispielsweise im Automobil an feststehenden Stellen seinen Einsatz finden, jedoch ist eine derartige Vorrichtung nicht zur Bestimmung der Temperatur eines beweglichen Bauteils geeignet, da die beiden Elektroden mit zu der Prozessoreinheit führenden Anschlußleitungen versehen sind.

Die Sensierung von Temperaturen hat nicht nur im hier beispielsweise herangezogenen Anwendungsgebiet des Automobils, bei dem z. B. die Innentemperatur, die Außentemperatur, die Motortemperatur, die Öltemperatur oder dergleichen zu messen sind, sondern generell beim Betrieb von Maschinen eine große Bedeutung. Zumeist ist die Temperatur an leicht zugänglichen, feststehenden Bauteilen zu messen, wo je nach Temperaturbereich und Anforderung geeignete herkömmliche Temperaturmeßverfahren eingesetzt werden, Beispielsweise kann zur rein optischen Kontrolle ein Flüssigkeitsthermometer Anwendung finden. Es werden aber auch resistive Meßverfahren, Thermoelemente oder pyroelektrische Temperatursensoren eingesetzt.

An beweglichen Bauteilen gestaltet sich die Messung der Temperatur häufig als problematisch, da die meisten bekannten Sensoren aufgrund ihres Energieverbrauchs eine eigene Energiequelle benötigen, welche nicht bei allen Anwendungen zur Verfügung gestellt werden kann. Des weiteren ist es insbesondere bei beweglichen Bauteilen häufig erforderlich, daß die Signalübertragung zwischen dem Sensor und einer Auswerte- bzw. Anzeigeeinheit drahtlos erfolgt, so daß eine Reihe von Sensoren zur Temperaturmessung an bewegten Bauteilen ausscheidet. Eine drahtlose Signalübertragung kann optisch, akustisch oder mittels elektromagnetischer Wellen erfolgen, wobei es vom Meßprinzip abhängt, wie ein jeweils geeigneter Meßwandler gestaltet ist und ob dieser an dem beweglichen Bauteil befestigt ist. Im Fall eines pyroelektrisch arbeitenden Temperatursensors ist der Meßwandler in direkter Sichtverbindung zu dem betreffenden Bauteil angeordnet. Wenn keine direkte Sichtverbindung zwischen dem Meßwandler und dem Bauteil besteht, kann die Signalübertragung nach einem induktiven oder einem hochfrequenten Übertragungsverfahren erfolgen.

Eine Alternative bieten Sensoreinrichtungen, welche keine eigene Energiequelle benötigen und als passive Sensoren bekannt sind. Diese lassen sich telemetrisch abfragen, wobei das Meßwandlerprinzip zur Anwendung kommt, bei dem eine hochfrequente Welle moduliert, beispielsweise per Frequenzmodulation oder Laufzeitmodulation, und damit den Meßwert überträgt. Amplitudenmodulationen erweisen sich aufgrund ihrer Anfälligkeit gegenüber Störungen als ungeeignet.

Aus der Praxis ist es beispielsweise bekannt, zur drahtlosen Temperaturmessung einen sogenannten OFW(Oberflächenwellen)-Chip einzusetzen. Bei dieser Lösung wird eine hochfrequente, elektromagnetische Welle auf den mit einem piezoelektrischen Kristall gebildeten Chip eingestrahlt und dort in eine Oberflächenwelle transformiert, an bestimmten Reflektoren reflektiert und wieder abgestrahlt. Die Laufzeit der Oberflächenwelle ist abhängig von der Temperatur und der Verspannung des Kristalls. Die Reflektivität von Strukturen auf dem Kristall kann durch zusätzliche Kapazitäten beeinflußt werden.

Eine Temperaturermittlung nach einem derartigen Verfahren ist einerseits vergleichsweise langwierig, da die Oberflächenwelle nur eine Ausbreitungsgeschwindigkeit von etwa 3000 m/s aufweist, was andererseits den Vorteil hat, daß weitere, gegebenenfalls störende Reflexionen zum Zeitpunkt der Messung der reflektierten Welle bereits abgeklungen sind. Der Nachteil eines derartigen Meßverfahrens liegt jedoch darin, daß es erforderlich ist, ein zeitaufgelöstes Signal zu detektieren, wozu eine kostspielige Empfängereinheit eingesetzt werden muß.

Ferner ist es aus der DE 197 02 768 C1 bekannt, einen Quarz nahe seiner Eigenfrequenz zum Schwingen anzuregen und die Erregerschwingung dann abzuschalten, so daß der Quarz mit seiner Eigenfrequenz weiterschwingt. Die Eigenfrequenz des Quarzes ist temperaturabhängig. Die Frequenz kann dann direkt übertragen werden oder zur Modulation einer Trägerfrequenz dienen.

Bei diesem passiv arbeitenden Verfahren wird jedoch eine Einheit zur sogenannten "Frequenzumsetzung" benötigt, da Quarze typischerweise eine Eigenfrequenz von einigen Megahertz aufweisen.

Vorteile der Erfindung

Die erfindungsgemäße Sensoreinrichtung zur Ermittlung von Temperaturen mit den Merkmalen nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1, bei welcher das kapazitive Element mit einem induktiven Element zu einem elektrischen Schwingkreis verschaltet ist, dessen Resonanzfrequenz sich in Abhängigkeit von der zu ermittelten Temperatur ändert, hat den Vorteil, daß sie einen passiven Temperatursensor darstellt, welcher einen Betrieb ohne eigene Energiequelle erlaubt, einfach aufgebaut ist und mit einer üblich ausgebildeten Einheit zum Anregen eines Schwingkreises bzw, zur Ermittlung der Resonanzfrequenz eines elektrischen bzw. elektromagnetischen Schwingkreises kombinierbar ist.

Insbesondere kann der Schwingkreis drahtlos mit einer den Schwingkreis anregenden Sendeeinheit, einer die Frequenz des Schwingkreises erfassenden Empfangseinheit und einer die Resonanzfrequenz erfassenden Erfassungseinheit zusammenwirken, so daß die Vorrichtung nach der Erfindung speziell zur telemetrischen Temperaturmessung bei einem beweglichen Bauteil, wie beispielsweise einem Reifen eines Kraftfahrzeuges, geeignet ist.

Bei der erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung, die einen passiven kapazitiven Sensor darstellt, wird der Effekt ausgenutzt, daß das Dielektrikum eine temperaturabhängige Dielektrizitätszahl hat, so daß sich die Kapazität des z. B. einen Kondensator darstellenden kapazitiven Elements und damit die Resonanzfrequenz des Schwingkreises mit der Temperatur ändert.

Die Messung der Resonanzfrequenz erfolgt z. B. derart, daß der Schwingkreis mittels der Sendeeinheit mit einem Frequenzgemisch aus Frequenzen zwischen beispielsweise 1 kHz und 100 kHz angeregt wird, wobei die Resonanzfrequenz des Schwingkreises im Bereich von 10 kHz liegen kann. Die Resonanzfrequenz des Schwingkreises kann mittels einer geeigneten Erfassungseinheit direkt in Reflexion über einen sogenannten Streuparameter S11 oder auch mittels einer Differenzschaltung zur Kompensation einer etwaigen Temperaturdrift der Induktivität gemessen werden.

Zur Ermittlung der Temperatur muß bei der erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung nur die Resonanzfrequenz des Schwingkreises bestimmt werden, da aus dieser mit hoher Genauigkeit auf die Temperatur des betreffenden Bauteils geschlossen werden kann. Die Resonanzfrequenz ist durch die Auslegung des elektromagnetischen Schwingkreises und die Temperatur des betreffenden Bauteils bzw. des Dielektrikums vorgegeben und kann in einem weiten Bereich, beispielsweise im kHz-Bereich oder auch im MHz- oder GHz-Bereich, liegen.

Bei einer zweckmäßigen Ausführungsform der Erfindung ändert sich bei einer Temperaturänderung die Dielektrizitätszahl des eingesetzten Dielektrikums stetig und eineindeutig, wodurch sich die Kapazität des kapazitiven Elements und damit die Resonanzfrequenz des Schwingkreises ebenfalls stetig und eineindeutig ändert.

Der Schwingkreis der Sensoreinrichtung nach der Erfindung kann ein Reihen- oder auch ein Parallelschwingkreis sein.

Das kapazitive Element des elektromagnetischen Schwingkreises ist bei einer besonders einfach aufgebauten Ausführungsform der Sensoreinrichtung nach der Erfindung als Plattenkondensator ausgeführt, der mit dem Dielektrikum versehen ist.

Das dielektrische Material des kapazitiven Elements ist bei einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung aus einem ferroelektrischen Material, vorzugsweise aus Barium-Strontium-Titanat, gefertigt. Gegebenenfalls kann das Dielektrikum zusätzlich mit weiteren chemischen Elementen versehen sein, um den Temperaturkoeffizienten zu erhöhen. Das Dielektrikum hat zweckmäßig hinsichtlich seiner Permittivität mindestens einen Temperaturkoeffizienten zwischen 0,1 %/K und 1,5 %/K.

Bei Einsatz eines Dielektrikums aus Barium-Strontium-Titanat ist durch den Anteil an Strontium die Curietemperatur des Dielektrikums und damit der Übergang zwischen dem ferroelektrischen und paraelektrischen Bereich und mithin des Bereichs der maximalen Abhängigkeit der Permittivität von der Temperatur einstellbar.

Das kapazitive Element umfaßt mithin vorzugsweise als Dielektrikum ein ferroelektrisches Material, das sich durch eine relativ große Temperaturabhängigkeit der Permittivität auszeichnet. Zu beachten ist, daß oberhalb der Curietemperatur des Materials dessen Permittivität stetig abnimmt. Bei Bulkmaterialien beträgt der Temperaturkoeffizient der Permittivität bis zu 1 %/K. Bei dünnen Schichten beträgt der Temperaturkoeffizient beispielsweise zwischen 0,2 %/K und 0,4 %/K. Die Resonanzfrequenz des Schwingkreises der Sensoreinrichtung nach der Erfindung verschiebt sich bei derartigen Temperaturabhängigkeiten der Permittivität mit 0,1 %/K und 0,2 %/K.

Aus der Frequenzverschiebung läßt sich auf die Temperatur des Bauteiles, an dem der Schwingkreis angeordnet ist, schließen. Die der Resonanzfrequenz zugeordnete Temperatur wird jeweils in einer Auswerteeinheit ermittelt, die mit der Erfassungseinheit verbunden ist, wobei einer bestimmten Resonanzfrequenz abhängig vom dielektischen Material ein Temperaturwert zugeordnet werden kann.

Die Permittivität bzw, die Dielektrizitätszahl des Dielektrikums kann grundsätzlich einen beliebigen, dem jeweiligen Anwendungsfall angepaßten Wert aufweisen, liegt aber bei einer zweckmäßigen Auslegung zwischen 100 und 3000. Die Permittivität steigt mit der Kristallinität des Dielektrikums.

Die elektronische Schaltung bestehend aus dem kapazitiven Element mit dem dielektrischen Material und dem induktiven Element läßt sich zusammen mit der Erfassungs- und/oder der Auswerteeinrichtung in integrierter Bauweise herstellen.

Der Schwingkreis der erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung weist vorzugsweise eine für den Anwendungsfall geeignete Dipol-Antenne, Patch-Antenne oder eine andere Antenneneinrichtung auf, über die die Sende- und Empfangseinheit mit dem Schwingkreis zu dessen Anregung bzw. Abfrage zusammenwirkt. Wenn die Resonanzfrequenz des elektromagnetischen Schwingkreises im GHz-Bereich liegt, erweist sich eine Patch-Antenne als vorteilhaft; bei einer Resonanzfrequenz im kHz-Bereich oder im MHz-Bereich kann es sich bei der Antenne um eine einfache, gewickelte Drahtspule entsprechender Größe handeln. Im wesentlichen ist dann die Fläche der Spule bzw. Antenne relevant.

Zur Kompensation einer etwaigen Temperaturdrift der Induktivität ist es vorteilhaft, eine Differenzschaltung vorzusehen. Die Differenzschaltung arbeitet derart, daß zwei elektromagnetische Schwingkreise eingesetzt werden, welche mit der gleichen Induktivität ausgestattet sind, sich jedoch hinsichtlich ihrer Kapazitäten unterscheiden. Die Auswertung der von den beiden Schwingkreisen erhaltenen Resonanzfrequenzen kann mittels eines oder mehrerer als Differenzverstärker ausgeführten Operationsverstärker(s) erfolgen.

Die Sensoreinrichtung nach der Erfindung kann mit einem ebenfalls in einem elektromagnetischen Schwingkreis integrierten, kapazitiven Drucksensor kombiniert sein. Dies ist insbesondere in der Reifendrucksensorik von Bedeutung.

Bei einem Einsatz der erfindungsgemäß ausgestalteten Sensoreinrichtung in Kombination mit einem entsprechend ausgelegten Schwingkreis zur kapazitiven Druckmessung eines Fahrzeugreifens können sowohl die Temperatur als auch der Druck zur Kompensation einer etwaigen Temperaturdrift der Induktivität nach einem Differenzverfahren gemessen werden. Dann umfaßt eine Temperatureinheit zwei elektromagnetische Schwingkreise, deren Meßsignale mittels einer ersten Diffe renzschaltung auswertbar sind. Eine Druckmeßeinheit umfaßt gegebenenfalls ebenfalls zwei elektromagnetische Schwingkreise, deren Meßwerte ebenfalls mittels einer Differenzschaltung auswertbar sind. Eine derartige Anordnung zur Messung des Drucks und der Temperatur eines Reifens ist insbesondere hinsichtlich der Berücksichtigung der Temperatur bei der Bestimmung des Reifendrucks vorteilhaft.

Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen des Gegenstandes nach der Erfindung sind der Beschreibung, der Zeichnung und den Patentansprüchen entnehmbar.

Zeichnung
Ein Ausführungsbeispiel der Vorrichtung nach der Erfindung ist in der Zeichnung schematisch vereinfacht dargestellt und wird in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen
1 eine stark schematisierte Prinzipdarstellung einer Sensoreinrichtung nach der Erfindung zur Temperaturbestimmung bei einem Reifen eines Kraftfahrzeuges;
2 einen Parallelschwingkreis der Sensoreinrichtung nach 1 in schematischer Schaltbilddarstellung;
3 ein Diagramm, welches eine Temperaturabhängigkeit der Permittivität eines Dielektrikums des Parallelschwingkreises nach 2 darstellt; und
4 eine Verschiebung der Resonanzfrequenz des Parallelschwingkreises nach 2 bei einer Temperaturänderung.
Beschreibung des Ausführungsbeispiels
In 1 ist ein Reifen 1 dargestellt, der über eine Achse 2 an einem Kraftfahrzeugaufbau 3 befestigt ist. In dem Reifen 1 ist ein in integrierter Bauweise hergestellter Schwingkreis 4 angeordnet, der in 2 anhand eines Ersatzschaltbildes näher dargestellt ist und mit einer an dem Fahrzeugaufbau 3 angeordneten Sende- und Erfassungseinheit 5 zusammenwirkt.
Die Erfassungseinheit weist hier eine Empfangseinheit auf, welche die Frequenz des Schwingkreises 4 erfaßt. Des weiteren ist die Erfassungseinheit mit einer in der 1 nur symbolisch angedeuteten Auswerte- bzw. Anzeigeeinheit 6 verbunden.
Die Sende- und Erfassungs- bzw. Empfangseinheit 5 dient einerseits zum Anregen des Schwingkreises 4 mittels eines Frequenzgemisches zwischen 10 MHz und 40 MHz und andererseits zur drahtlosen Detektion der Resonanzfrequenz des elektromagnetischen Schwingkreises 4.
Der in 2 detailliert dargestellte Parallelschwingkreis 4 umfaßt einen ersten Port 11 und einen zweiten Port 12. Der erste Port 11 ist über eine Leitung 13, welche einen Widerstand von 50 Ohm aufweist, mit einem als Kondensator ausgebildeten kapazitiven Element 14 verbunden. Der Kondensator 14 ist über eine weitere Leitung 15 mit einem Widerstand von 50 Ohm mit einem als Spule ausgebildeten induktiven Element 16 verbunden, welches eine Induktivität von 58 μH aufweist und über eine dritte Leitung 17 mit dem zweiten Port 12 verbunden ist. Der Kondensator 14 und die Spule 16 liegen auf Masse.
Der Schwingkreis 4 weist des weiteren eine hier nicht näher dargestellte Antenneneinrichtung auf, welche mit einer ebenfalls nicht näher dargestellten Antenneneinrichtung der Sende- und Erfassungseinheit 5 zusammenwirkt.
Der Kondensator 14 ist vorliegend nach Art eines Plattenkondensators aufgebaut und weist zwischen zwei Platten 14A und 14B ein elektrisch kontaktiertes Dielektrikum 10 auf. Das kapazitive Element kann in anderen Ausführungen jedoch auch als Wickelkondensator oder dergleichen Kondensatoranordnung mit Dielektrikum aufgebaut sein.
Das Dielektrikum 10 besteht aus einem aus Barium-Strontium-Titanat gebildeten, ferroelektrischen Material, dessen Permittivität sich annähernd stetig mit der Temperatur ändert. Mithin ändert sich auch die Kapazität des Kondensators 14 annähernd stetig mit der Temperatur, was anhand einer Meßreihe in 3 beispielhaft dargestellt ist.
Das in 3 ersichtliche Diagramm der Kapazität, gemessen in Pikofarad (pF), über der Temperatur, gemessen in Kelvin (K), zeigt einen linearen Verlauf, wobei die Kapazität des Kondensators 14 bei einer Temperatur von 30°C etwa 228 pF, bei einer Temperatur von etwa 50°C 213 pF, bei einer Temperatur von 70°C 196 pF und bei einer Temperatur von 82°C etwa 188 pF beträgt. Die Kapazität des Kondensa tors ändert sich mit einem Temperaturkoeffizienten der Permittivität von 0,35 %/K.
In 4 ist die Änderung der mittels der Sende- und Erfassungseinheit 5 meßbaren Resonanzfrequenz des Schwingkreises 4 bei einer Temperaturänderung anhand einer Simulationsrechnung für sieben verschiedene Temperaturen bzw. Kapazitäten des Kondensators 14 veranschaulicht, wobei in dem Diagramm das reflektierte Signal S11, welches den Streuparameter darstellt, über der Frequenz aufgetragen ist. Im reflektierten Signal S11 kann die Frequenz ermittelt werden, bei der der Schwingkreis seine Resonanzfrequenz hat.
Der Temperaturkoeffizient des Schwingkreises beträgt bei dieser Simulationsrechnung hinsichtlich der Resonanzfrequenz 0,2 %/K. Die in 4 ganz links dargestellte Kurve 41, deren Minimum die auf der Abszisse ablesbaren Resonanzfrequenz von 29,55 MHz wiedergibt, entspricht einer Kapazität des Kondensators 14 von 50,0 pF, die Kurve 42 einer Kapazität von 49,9 pF, die Kurve 43 einer Kapazität von 49 pF, die Kurve 44 einer Kapazität von 48,0 pF, die Kurve 45 einer Kapazität von 47 pF, die Kurve 46 einer Kapazität von 46 pF und die Kurve 47 einer Kapazität von 45,0 pF. Die Änderung der Kapazität um jeweils 1 pF entspricht einer Temperaturänderung von 10 K. Zwischen den Kurven 41 und 42 besteht mithin eine Temperaturänderung von 1 K. Die Resonanzfrequenz des elektromagnetischen Schwingkreises 4 ändert sich um etwa 0,36 MHz bei einer Temperaturänderung von 10 K.
Es versteht sich, daß die Güte des Schwingkreises von großer Bedeutung bei dieser Art der Temperaturbestimmung ist.
Je besser die Güte des Schwingkreises ist, umso einfacher und signifikanter ist seine Resonanzfrequenz bestimmbar und umso genauer ist die Temperaturbestimmung.

Claims

Sensoreinrichtung zur Ermittlung von Temperaturen mit einem kapazitiven Element (14) und einem darin elektrisch kontaktierten dielektrischen Material (10), welches seine dielektrischen Eigenschaften mit der Temperatur ändert, dadurch gekennzeichnet, daß das kapazitive Element (14) mit einem induktiven Element (16) zu einem Schwingkreis (4) verschaltet ist, dessen Resonanzfrequenz sich in Abhängigkeit von der zu ermittelten Temperatur ändert.
Sensoreinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das dielektrische Material (10) ein ferroelektrisches Material, vorzugsweise aus Barium-Strontium-Titanat, oder dergleichen Material mit einer Temperaturabhängigkeit der Permittivität ist.
Sensoreinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das dielektrische Material (10) hin sichtlich seiner Permittivität mindestens einen Temperaturkoeffizienten zwischen 0,1 %/K und 1,5 %/K hat.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das kapazitive Element mit dem induktiven Element zu einem Reihenschwingkreis verschaltet ist.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das kapazitive Element (10) mit dem induktiven Element (16) zu einem Parallelschwingkreis (4) verschaltet ist.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine am Schwingkreis (4) angeordnete Sendeeinheit (5) zur Anregung des Schwingkreises (4) mit einem begrenzten Frequenzspektrum.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch eine Erfassungseinheit (5) zur direkten Bestimmung der Resonanzfrequenz durch Reflektion.
Sensoreinrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinrichtung (5) eine Empfangseinheit aufweist, welche die Frequenz des Schwingkreises (4) erfaßt.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Sende- bzw. Empfangseinheit (5) mit einer am Schwingkreis (4) angeordneten Di pol-Antenne, Patch-Antenne oder dergleichen Antenneneinrichtung zur Anregung bzw. Abfrage des Schwingkreises (4) verbunden ist.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch eine Erfassungseinheit zur Bestimmung der Resonanzfrequenz mittels einer elektronischen Differenzschaltung zur Kompensation einer Temperaturdrift der Induktivität.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinrichtung (5) mit einer Auswerteeinheit (6) zur Ermittlung der Resonanzfrequenz des Schwingkreises (4) zugeordneten Temperatur verbunden ist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingkreis (4) eine Resonanzfrequenz zwischen 1 MHz und 1 GHz hat.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Schaltung bestehend aus dem kapazitiven Element (14) mit dem dielektrischen Material (10) und dem induktiven Element (16) in integrierter Bauweise hergestellt ist.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassungseinheit (5) und/oder Auswerteeinheit (6) in integrierter Bauweise hergestellt ist.
Sensoreinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingkreis (4) an einem beweglichen Bauteil, insbesondere einem Reifen (1) eines Kraftfahrzeuges, angeordnet ist.