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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung
zur Erzeugung eines gepulsten Plasmas innerhalb einer Vakuumkammer
mittels eines Festkörpertargets
mit mindestens einer Debris-Blende. Dabei kann zum einen mit der
Vorrichtung eine Beschichtung auf einem Substrat mittels eines an
sich bekannten PVD-Beschichtungsverfahrens aufgebracht und zum anderen
das Plasma für
die Emission elektromagnetischer Strahlung, bevorzugt im Wellenlängenbereich
der EUV-Strahlung unterhalb 50 nm genutzt werden. Im letztgenannten
Fall kann diese EUV-Strahlung zur lithografischen Herstellung von
extrem miniaturisierten Strukturen auf Halbleiterelementen eingesetzt werden.
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Das gepulste Plasma kann in ebenfalls
an sich bekann ter Weise auf verschiedenen Wegen erzeugt werden.
So kann beispielsweise ein gepulster Laserstrahl, ein Elektronenstrahl,
eine Bogenentladung oder eine Kombination dieser Mittel eingesetzt werden
um mit einem Festkörpertarget
ein Plasma zu erzeugen.
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Dabei wirken sich aus Atomen, Ionen
und insbesondere Tröpfchen
(den sogenannten Droplets) bestehende oder diese enthaltende Bestandteile
des Plasmas, als Debris-Strahlung nachteilig aus, die bei dieser
Form der Plasmaerzeugung auftritt. Diese Bestandteile weisen eine
höhere
Eigenmasse, als die eigentlichen Nutzkomponenten des Plasmas auf.
So sollen massearme Atome und Ionen die Beschichtung eines Substrates
bilden und die erwähnten
Bestandteile der Debris-Strahlung
von der Schichtbildung ferngehalten werden, oder es soll ausschließlich die
vom Plasma emittierte elektromagnetische Strahlung (EUV) genutzt
werden.
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Sie führt zu Ablagerungen innerhalb
der Vakuumkammer, die sich besonders nachteilig auf Oberflächen optischer
Elemente innerhalb der Vakuumkammer auswirken und deren Transparenz
bzw. Reflektivität
erheblich reduzieren können,
so dass ein häufiger
Austausch oder eine aufwendige Reinigung der optischen Elemente
erforderlich ist.
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So können beispielsweise optische
Fenster, durch die ein fokussierter Laserstrahl zur Erzeugung des
Plasma auf ein Festkörpertarget
gerichtet wird, von innen beschichtet und die Transmission für die Laserstrahlung
durch das optische Fenster reduziert werden, was bis in Bereiche
führen
kann, die keine ausreichenden Energiedichten, die für eine Plasmazündung erforderlich
sind, gewährleisten.
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Eine solche unerwünschte Beschichtung auf Flächen optischer
Elemente innerhalb der Vakuumkammer ist insbesondere bei reflektierenden
Elementen, wie Spiegel für
elektromagnetische Strahlung nachteilig, da insbesondere die Reflektivität für EUV-Strahlung
erheblich reduziert wird und diese kostenintensiven Elemente dementsprechend
in kurzen Zeitabständen
ersetzt werden müssen.
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So hat man bisher bereits versucht
auf verschiedenen Wegen diese Beschichtung infolge der nicht vermeidbaren
Debris-Strahlung zu ver- bzw. zu behindern.
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So sind Lösungen bekannt, bei denen mechanische
Elemente zwischen dem Plasma und einem optischen Element angeordnet
wurden. Diese Elemente auch als Debris-Shutter bezeichnet wurden so gestaltet,
dass sie infolge gezielter Bewegung den Weg von einem Plasma emittierter
elektromagnetischer Strahlung temporär in Richtung auf das jeweilige
optische Element (Spiegel) freigeben und anschließend für Debris-Strahlung
sperren. Dabei wurde die Erkenntnis ausgenutzt, dass die Geschwindigkeit
der Debris-Strahlung massebedingt deutlich niedriger (ca. 200 m/s
bei den Droplets) als die Geschwindigkeit der elektromagnetischen
Strahlung ist.
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So ist in
US 4,408,338 eine Lösung beschrieben,
bei der zwischen Plasma und optischem Element eine drehbare Scheibe
mit mindestens einem Durchtritt für elektromagnetische Strahlung
angeordnet worden ist. Der Durchtritt kann beispielsweise eine Durchbrechung
innerhalb der Scheibe oder Ausschnitt am äußeren Rand einer solchen Scheibe
sein.
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Die Winkelgeschwindigkeit mit der
die Scheibe gedreht wird und die gepulste Erzeugung eines Plasma
wurden dann so synchronisiert, dass elektromagnetische Strahlung
ausgehend vom Plasma durch den Durchtritt auf das optische Element
gelangen kann und die wegen der kleineren Geschwindigkeit zeitlich
später
an der Scheibe eintreffende Debris-Strahlung von der sich zwischenzeitlich
weiter gedrehten Scheibe gesperrt wird und so nicht auf die Oberfläche des
optischen Elementes gelangen können
soll.
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Es hat sich jedoch gezeigt, dass
dadurch keine zumindest nahezu vollständige Kontamination der kritischen
Oberfläche
optischer Elemente vermieden werden konnte.
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Diesen Gedanken aufgreifend wurde
von S. Bollanti u.a.; in „Toward
a high average power and debris free soft X-ray source for microlithography, pumped
by a long pulse excimer Laser"; in SPIE Vol. 3767 (1999); S. 33–43 vorgeschlagen
zwei solcher Scheiben mit entgegengesetzter Drehrichtung einzusetzen.
Hierbei treten erhebliche Probleme bei der Synchronisation der Winkelgeschwindigkeiten
und der Lagerung beider Scheiben und der elektromagnetischen Strahlung
vom Plasma auf, so dass entweder weiter Debris-Bestandteile zum optischen Element gelangen
können
oder die nutzbare Leistung der elektromagnetischen Strahlung reduziert
wird.
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Die Verwendung eines drehbaren hohlen
Zylinders mit einem Durchmesser von 200 mm ist von M. Yamamoto u.a.
in „Compact
debris shutter design of a laser-produced plasma source for high
NA application"; in Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Vol. 4146; (2000);
S. 128–131
beschrieben. Dabei sind in der Mantelfläche über den Umfang verteilt drei
Durchbrechungen für
den Durch lass elektromagnetischer Strahlung ausgebildet durch die
von einem Plasma ausgehende elektromagnetische Strahlung in den um
seine Längsachse
drehbaren Hohlzylinder in bestimmten Drehwinkelstellungen eintreten,
aus dem Hohlzylinder auf ein reflektierendes Element auftreffen
und von dort reflektierte elektromagnetische Strahlung wieder in
den und aus dem Hohlzylinder austreten kann. Bei dieser Lösung wirkt
sich unter anderem das grosse Volumen des Hohlzylinders nachteilig
aus und es kann auch keine nahezu vollständige Sperrung für Debris-Strahlung
erreicht werden. Insbesondere sehr schnelle und sehr langsame Bestandteile
der Debris-Strahlung können
einen solchen Hohlzylinder trotzdem passieren.
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Generell handelt es sich bei den
bekannten Lösungen
um störanfällige, kostenintensive
Aufbauten, die ein relativ grosses Volumen innerhalb einer Vakuumkammer
beanspruchen und mit denen keine oder nur geringfügige Einflussnahme
auf die Strahlführung
für elektromagnetische
Strahlung möglich
ist und erhöhte
Intensitätsverluste
in Kauf genommen werden müssen,
wenn ein nahezu optimaler Debris-Schutz erreicht werden soll.
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Es ist daher Aufgabe der Erfindung
eine effektive, kostengünstige
Schutzmöglichkeit
optischer Elemente oder einer zu beschichtenden Substratoberfläche innerhalb
von Vakuumkammern gegenüber Debris-Strahlung
zu schaffen, bei der Intensitätsverluste
elektromagnetischer Strahlung klein gehalten werden können.
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Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer,
die Merkmale des Anspruchs 1 aufweisenden Vorrichtung gelöst. Vorteilhafte
Ausgestaltungsformen und Weiterbildungen der Erfindung können mit in
den untergeordneten Ansprüchen
genannten Merkmalen erreicht werden.
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Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung
wird in einer Vakuumkammer mittels eines Festkörpertargets ein gepulstes Plasma
erzeugt. Dabei ist zwischen dem Plasma und einem optischen Element, das
in der Vakuumkammer oder in der Wandung der Vakuumkammer angeordnet
sein kann, im Strahlengang elektromagnetischer Strahlung mindestens eine
um eine Achse drehbare Debris-Blende angeordnet.
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An der Debris-Blende ist ein Kanal
für die elektromagnetische
Strahlung vorhanden, der über seine
gesamte Länge
einen definierten Querschnittsverlauf aufweist. Die Drehachse der
Debris-Blende ist orthogonal zur Längsachse des Kanals ausgerichtet.
Dadurch kann gesichert werden, dass die elektromagnetische Strahlung
bei bestimmten Drehwinkelstellungen der Debris-Blende durch den
Kanal gelangen kann, wohingegen die Debris-Blende in den anderen Winkelstellungen
eine Sperre für
jegliche Strahlung zwischen optischem Element und Plasma bildet.
Hierfür
sollte die Debris-Blende so gestaltet und dimensioniert sein, dass
eine vollständige
Abdeckung des jeweiligen optischen Elementes unter Berücksichtigung
der jeweiligen Abstände
zueinander und der Apertur emittierter elektromagnetischer Strahlung,
insbesondere von Debris-Strahlung in den gewünschten Winkelstellungen der
Debris-Blende erreicht werden kann.
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So kann eine erfindungsgemäße Debris-Blende
zwischen einem optischen Fenster und dem am Festkörpertarget
gepulst gebildeten Plasma angeordnet werden. Durch das optische
Fenster kann elektromagnetische Strahlung gepulst und fokussiert
auf die Oberfläche
des Festkörpertargets
gerichtet und ein entsprechendes Plasma erzeugt werden, wenn der
Kanal der Debris- Blende,
entsprechend der Achse der Strahlung, die in der Regel Strahlung
einer Laserlichtquelle ist, bei der Drehung der Debris-Blende in
entsprechenden Winkeln ausgerichtet ist und der fokussierte Strahl
durch den Kanal gelangen kann.
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Durch die weitere Drehung der Debris-Blende
sperrt diese den Weg für
die vom Plasma ausgehende Debris-Strahlung,
die sich zeitlich später
in Richtung auf das optische Fenster bewegt, so dass eine Beschichtung
des optischen Fensters innerhalb der Vakuumkammer verhindert werden
kann. Das optische Fenster behält
demzufolge seine Transmissivität
und Intensitätsverluste
infolge Absorption am optischen Fenster können zumindest über eine
deutlich größere Nutzungsdauer
vermieden werden.
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Dient das entsprechend erzeugte Plasma beispielsweise
als Quelle für
elektromagnetische Strahlung im Wellenlängenbereich des EUV, kann eine
erfindungsgemäß einzusetzende
Debris-Blende zwischen dem Plasma und einem reflektierenden Element
(Spiegel) für
die EW-Strahlung
angeordnet werden, um eine unerwünschte
Beschichtung der reflektierenden Oberfläche des kostenintensiven Elementes
mittels der Debris-Strahlung zu verhindern.
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In diesem Fall gibt der Kanal in
den gewünschten
Winkelstellungen den Weg für
die vom Plasma emittierte EW-Strahlung zur reflektierenden Oberfläche frei.
Die Debris-Blende dreht sich dann weiter, so dass die infolge geringerer
Geschwindigkeit zeitlich später
die Debris-Blende erreichende Debris-Strahlung auf die Debris-Blende
trifft, diese eine Sperre bildet und eine Beschichtung der Oberfläche des
reflektierenden Elementes verhindert.
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Um Intensitätsverluste der jeweiligen elektromagnetischen
Strahlung zu vermeiden, sollte der freie Querschnitt des Kanals
an seinem Eintritt so dimensioniert sein, dass die gesamte Strahlung
zumindest bei Übereinstimmung
von Längsachse
des Kanales mit der optischen Achse der elektromagnetischen Strahlung
durch den Kanal gelangen kann. Hierbei sollen die Abstände mit
den jeweiligen Strahlquerschnitten am Eintritt des Kanals berücksichtigt werden.
Der jeweilige Querschnitt der elektromagnetischen Strahlung wird
am jeweiligen Abstand von der Fokussierung bzw. der Divergenz der
emittierten Strahlung bestimmt.
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Die Länge des Kanales sollte maximal
100 mm sein.
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Ist lediglich ein solcher Kanal an
einer Debris-Blende
vorhanden, kann die Drehung der Debris-Blende so synchronisiert
sein, dass der Kanal nach jeweils einer 180° Drehung den Weg für die elektromagnetische
Strahlung freigibt, so dass die Drehzahl der Debris-Blende gegenüber der
Pulsfrequenz halbiert werden kann.
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In einer Debris-Blende können aber
auch mehr als ein Kanal vorhanden sein. So können mehrere Kanäle in äquidistanten
Winkelabständen
durch die Debris-Blende geführt
sein, so dass die Drehzahl bei konstanter Pulsfrequenz weiter reduziert
werden kann.
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Es können aber auch mehrere Kanäle, die
in einer gemeinsamen Ebene ausgerichtet sind, an einer Debris-Blende vorhanden
sein. Dadurch kann beispielsweise elektromagnetische Strahlung auf verschiedene
Bereiche der Oberfläche
eines Festkörpertargets
bzw. eines oder verschiedener optischer Elemente gerichtet werden.
Die Kanäle
können dabei
in verschiedenen Winkeln in der jeweiligen Ebene ausgerichtet sein.
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In ähnlicher Form können aber
auch mehrere Debris-Blenden
nebeneinander angeordnet sein, die jeweils eine gemeinsame Drehachse
haben.
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Es besteht die Möglichkeit, auch zwei Debris-Blenden
hintereinander anzuordnen. Die beiden Drehachsen sollten parallel
zueinander ausgerichtet sein. Mit Hilfe solcher zweier Debris-Blenden,
die zwischen einem optischen Element oder einem zu beschichtenden
Substrat und dem Plasma angeordnet sind, kann die Sperrwirkung für Debris-Strahlung bei
unterschiedlicher Drehzahl der Debris-Blenden erhöht werden.
Dabei sollte die Drehzahl der einen Debris-Blende ein ganzzahliges
Vielfaches, der Drehzahl der zweiten Debris-Blende aufweisen.
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Die beiden Debris-Blenden können von
einem gemeinsamen Antrieb angetrieben werden, so dass eine zusätzliche
Synchronisation der beiden Debris-Blenden nicht erforderlich ist.
In diesem Fall können
die beiden Debris-Blenden auch eine jeweils entgegengesetzte Drehrichtung
aufweisen
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In einer weiteren Alternative besteht
auch die Möglichkeit
eine Debris-Blende innerhalb eines Gehäuses anzuordnen, in dem zwei
sich gegenüberliegende Öffnungen
vorhanden, die den Durchtritt von elektromagnetischer Strahlung
oder die die Beschichtung auf einem Substrat bildenden Plasmabestandteile,
bei entsprechenden Drehwinkeln der Debris-Blende ermöglichen.
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Ist das Gehäuse innerhalb der Vakuumkammer
starr befestigt, kann die Debris-Blende bei erhöhter bzw. gleicher Sperrwirkung
für Debris-Strahlung
kleiner dimensioniert werden, was insbesondere die Länge des
einen oder auch mehrerer Kanäle
innerhalb der Debris-Blende
betrifft.
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Es besteht aber auch die Möglichkeit
das Gehäuse
drehbar, um die gleiche Drehachse wie die der Debris-Blende zu gestalten,
wobei auch in diesem Fall, die bei der Verwendung zweier hintereinander
angeordneter Debris-Blenden erwähnte
Drehzahlreduzierung erreicht werden kann.
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Durch das größere Gehäuse kann ein größerer Flächenbereich
vor dem Auftreffen von Debris-Strahlung geschützt werden.
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Die Sperrwirkung für Debris-Strahlung
kann weiter erhöht
werden, indem innerhalb des Kanals mindestens eine parallel zur
Längsachse
des Kanals ausgerichtete Lamelle vorhanden ist. Eine solche Lamelle
kann beispielsweise ein dünnes
ebenes Element sein Die Lamelle(n) kann/können dabei kürzer als
die jeweilige Kanallänge
sein.
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In einer Ausführungsform kann der Kanal durch
den Mantel eines Hohlzylinders gebildet sein, so dass elektromagnetische
Strahlung durch die offenen Stirnflächen des Hohlzylinders ein
und austreten kann und die Debris-Strahlung von der äußeren Mantelfläche des
Hohlzylinders gesperrt wird.
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Ein oder mehrere Kanäle können auch
als Bohrung durch einen Körper,
beispielsweise einen Vollzylinder oder eine Kugel ausgebildet sein.
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Insbesondere bei Einsatz einer Debris-Blende
beim sogenannten Laser-Arc-Verfahren, mit dem Beschichtungen auf
einem Substrat ausgebildet werden können, kann der Kanal in Form
eines langen schmalen Schlitzes ausgebildet sein, um ein entsprechend
langes optisches Fenster vor der Beschichtung infolge Debris-Strahlung zu schützen. Bei
diesem Laser-Arc-Verfahren wird der gepulste Strahl einer Laserlichtquelle
entlang der Oberfläche
eines Festkörpertargets
durch entsprechende Auslenkung geführt. Dabei ist ein optisches
Fenster in der Wandung der Vakuumkammer vorhanden, dessen Länge der
jeweiligen Länge
des Festkörpertargets
entspricht.
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Unabhängig von der Kanaleintrittsgestaltung kann
es vorteilhaft sein, die Drehrichtung der Debris-Blende so zu wählen, dass
sich der Eintritt des Kanales, der in Richtung auf das Plasma weist
von oben nach unten bewegt, so dass die massereicheren Bestandteile
der Debris-Strahlung nicht innerhalb der Vakuumkammer durch die
Drehung der Debris-Blende aufgewirbelt werden und zusätzlich zur wirkenden
Schwerkraft eher in richtung auf den Boden der Vakuumkammer beschleunigt
werden.
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Für
die Synchronisation der Drehung der Debris-Blende mit der Pulsfrequenz
ist es günstig
an der Debris-Blende
einen Drehwinkelsensor vorzusehen, mit dem der jeweilige Drehwinkel
der Debris-Blende bestimmt werden kann. Hierzu können beispielsweise inkrementale
Winkelmarkengeber eingesetzt werden, deren Messgenauigkeit besser
1° ist.
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Die Synchronisation der Drehzahl
der Debris-Blende kann unter Berücksichtigung
der Anordnung erfolgen, so sollte die Synchronisation auf die Pulsfrequenz
einer Laserlichtquelle durchgeführt werden,
wenn die Debris-Blende zwischen einem optischen Fenster und dem
Festkörpertarget
angeordnet ist. Ist die Debris-Blende
zwischen Plasma und einem reflektierenden Element angeordnet, sollte
auf die Plasmafrequenz synchronisiert werden.
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Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft beschrieben
werden.
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Dabei zeigen:
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1 in
schematischer Form ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung;
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2 eine
drehbare Debris-Blende mit Lamellen und
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3 in
schematischer Form ein zweites Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.
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In 1 ist
in schematischer Form ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
mit zwei Debris-Blenden 1 und 1' gezeigt.
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Beide Debris-Blenden 1 und 1' sind
innerhalb einer nicht dargestellten Vakuumkammer angeordnet.
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Dabei wird zur Erzeugung eines Plasmas 7 durch
ein optisches Fenster 2 ein Laserstrahl 5 in fokussierter
Form auf die Oberfläche
eines Festkörpertargets 8 gerichtet.
Zwischen dem optischen Fenster 2 und dem Ort der Plasmaerzeugung
am Festkörpertarget 8 ist
eine um eine Drehachse, die in die Zeichnungsebene gerichtet ist,
rotierende Debris-Blende 1 angeordnet. In der hier als
Hohlzylinder ausgebildeten Debris-Blende 1 ist ein Kanal 4 vorhanden.
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In der Darstellung befindet sich
der Kanal 4 in einer Winkelstellung, bei der der Laserstrahl 5,
als eine Form elektromagnetischer Strahlung durch den Kanal 4 auf
das Festkörpertarget 8 gelangen
und das Plasma 7 erzeugen kann. Nachfolgend in einer Pulspause
für die
Laserstrahlung 5 dreht sich die Debris-Blende 1,
wie mit dem Pfeil angedeutet, weiter, so dass die Debris-Blende 1 eine
Sperre für
Debris-Strahlung in Richtung auf das optische Fenster 2 bildet.
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Mit 1 wird
deutlich, wie der freie Querschnitt des Kanales 4 auf den
Strahlquerschnitt des Laserstrahles 5 am Eintritt in den
Kanal 4 abgestimmt ist, und so gesichert wird, dass keine
Intensitätsverluste
zu verzeichnen sind.
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Bei diesem Beispiel soll das gepulst
erzeugte Plasma 7 Quelle für EUV-Strahlung 6 sein,
wobei ein entsprechend geeigneter Werkstoff für das Festkörpertarget 8 ausgewählt wurde.
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Zwischen Plasma 7 und dem
reflektierenden Element 3, das hier schematisch als planarer
Spiegel für
die EUV-Strahlung 6 dargestellt ist, ist eine zweite Debris-Blende 1' angeordnet,
die analog zur erstgenannten Debris-Blende 1 ausgebildet
und drehbar ist.
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Beide Debris-Blenden 1 und 1' werden
in Bezug zur Pulsfrequenz so gedreht, dass ihre Kanäle 4 die
jeweils gewünschte
Strahlung 5 und 6 durchlassen und bei Erreichen
von Debris-Strahlung sich die Kanäle 4 der beiden Debris-Blenden 1 und 1' in
Winkelstellungen ausgerichtet sind, die ein Auftreffen von Bestandteilen
der Debris-Strahlung auf die Oberflächen des optischen Fensters 2 und
des reflektierenden Elementes 3 verhindern.
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Mit 2 ist
eine Ausführung
für Debris-Blenden 1 mit
Lamellen 9 gezeigt.
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Dabei ist der Kanal 4 der
Debris-Blende 1 innerhalb eines Zylinders, dessen Drehachse
vertikal ausgerichtet ist, ausgebildet. Der Zylinder kann aus einem
Vollmaterial bestehen und der Kanal durch die in diesem orthogonal
zur Drehachse der Debris-Blende 1 ausgerichtete Durchgangsbohrung
gebildet sein.
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Es besteht aber auch die Möglichkeit
den Kanal 4 durch einen entsprechend ausgebildeten Hohlzylinder
auszuführen,
wobei jedoch die Mantelflächen,
bis auf die sich gegenüberliegenden
Stirnflächen
für den
Ein- und Austritt
elektromagnetischer Strahlung 5, 6 bzw. gegebenenfalls
Bestandteile des Plasmas 6', die eine Beschichtung auf
einem Substrat ausbilden sollen, allseitig geschlossen ist. So kann
beispielsweise ein entsprechend ausgebildetes Rohr, das mit dem äußeren Mantel
eines Hohlzylinders stoffschlüssig
verbunden ist, den Kanal 4 ausbilden.
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Bei dem in 2 gezeigten Beispiel sind innerhalb des
Kanals 4 zwei parallel zueinander und parallel zur Längsachse
des Kanals 4 ausgerichtete Lamellen 9 vorhanden,
die von einer Stirnseite des Kanals 4 bis zur gegenüberliegenden
Stirnseite des Kanals 4 jeweils eine geschlossene Fläche bilden.
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Es besteht in nicht dargestellter
Form aber auch die Möglichkeit,
die wirksame Fläche
von Lamellen 9 zu verkleinern, so dass die gesamte Länge der
Lamellen 9 kürzer
als die Länge
des Kanals 4 ist.
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So können, wie hier gezeigt, die
beiden Lamellen 9 oder in ebenfalls nicht dargestellter
Form lediglich eine bzw. auch mehr als zwei Lamellen 9 innerhalb
des Kanals 4, parallel zu dessen Längsachse mit kürzerer Länge vorhanden
sein. Dabei kann der Abstand der Stirnseiten von Lamellen 9 zu
den beiden Stirnseiten des Kanals 4 jeweils in gleichem Maße verkürzt sein.
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Es besteht aber auch allein oder
zusätzlich die
Möglichkeit,
solche Lamellen 9 mit kürzerer
Länge als
die Länge
des Kanals 4 einzusetzen, wobei dann die nach außen weisenden
Stirnseiten der Lamellen 9 zumindest nahezu mit den äußeren Stirnflächen des
Kanals 4 fluchten. Dadurch entstehen im Inneren des Kanals 4 von
Lamellen 9 frei gehaltene Bereiche.
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Mit Hilfe solcher Lamellen 9 wird
der freie Querschnitt des Kanals 4 für den Durchtritt unerwünschter
Debris-Strahlung in einem weiter vergrößerten Drehwinkelbereich der
Debris-Blenden 1 verkleinert und ein nahezu ungehinderter
Durchtritt elektromagnetischer Strahlung 5, 6 oder
von Bestandteilen (6') des Plasmas 7, die die
Schicht auf einem Substrat 3' ausbilden sollen, ist lediglich
in einem sehr eng begrenzten Drehwinkelbereich der Debris-Blenden 1 gegeben.
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Bei dem in 3 schematisch gezeigten zweiten Beispiel
einer erfindungsgemäßen Vorrichtung
wurde wieder auf die Darstellung einer Vakuumkammer verzichtet.
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Auch bei diesem Beispiel wird mittels
einer fokussierten und gepulsten Laserstrahlung 5, die durch
ein optisches Fenster 2 auf ein Festkörpertarget 8 gerichtet
ist, ein Plasma 7 gebildet.
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Dabei ist, wie bereits im allgemeinen
Teil der Beschreibung und beim Beispiel nach 1, eine Debris-Blende 1 zwischen
dem optischen Fenster 2, zu dessen Schutz vor Debris-Strahlung
und dem Plasma 7 angeordnet.
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Eine zweite Debris-Blende 1' ist
zwischen dem vom Festkörpertarget 8 gebildeten
Plasma 7 und einem zu beschichtenden Substrat 3' angeordnet.
Mit dieser Debris-Blende 1' sollen insbesondere die sogenannten
Droplets, die Bestandteil der Debris-Strahlung sind, vom zu beschichtenden
Substrat 3' fern gehalten werden und lediglich Bestandteile 6' bzw.
Komponenten mit geringerer Eigenmasse durch den Kanal 4 auf
die zu beschichtende Fläche
des Substrates 3' auftreffen können.
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Da die Geschwindigkeitsdifferenz
zwischen den massereicheren Droplets und den Bestandteilen 6' des
Plasmas 7, mit denen die Schicht auf dem Substrat 3' gebildet
werden soll, deutlich geringer sind, als dies im Vergleich zur elektromagnetischen Strahlung 5 bzw. 6 der
Fall ist, kann die Drehzahl der in 3 gezeigten
Debris-Blende 1' verkleinert und/oder der freie Querschnitt
für den
Durchtritt der Bestandteile 6' des Kanals 4 größer sein.