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Die
Erfindung betrifft einen Photomischdetektor mit in und auf einem
Halbleitersubstrat angeordneten Schichten, die sich in vertikaler,
lateraler und transversaler Richtung erstrecken und die mindestens
zwei optisch transparente Modulationsphotogates und mindestens zwei
Auslesedioden bilden. Dabei sind die Modulationsphotogates in lateraler Richtung
innen einander benachbart. In lateraler Richtung ist außen neben
einem ersten Modulationsphotogate eine erste Auslesediode angeordnet,
die mit einer Detektierschaltung verbindbar ist. Das erste Modulationsphotogate
ist mit einem ersten Modulationspotential beaufschlagbar. In lateraler
Richtung ist außen
neben einem zweiten Modulationsphotogate eine zweite Auslesediode
angeordnet, die mit der Detektierschaltung verbindbar ist. Schließlich ist
das zweite Modulationsphotogate mit einem zweiten Modulationspotential
beaufschlagbar.
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Die
Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Betrieb dieses Photomischdetektors,
bei dem ein Objekt mit einem entsprechend einer ersten Modulationsfunktion
modulierten Licht beleuchtet und das daraufhin von dem Objekt reflektierte
Licht auf die Modulationsphotogates geleitet wird. Dabei werden
die Modulationsphotogates mit einer entsprechend einer mit der ersten
Modulationsfunktion korrelierten zweiten Modulationsfunktion moduliert.
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Schließlich betrifft
die Erfindung auch ein Verfahren zur Herstellung dieses Photomischdetektors,
bei dem in ein Halbleitersubstrat mittels der CMOS-Technologie mindestens
zwei Modulationsphotogates und zwei Auslesedioden eingebracht werden.
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Ein
Photomischdetektor, ein Verfahren zu dessen Betrieb und zu dessen
Herstellung ist in den Druckschriften
DE 197 04 496 A1 und der
DE 198 21 974 A1 beschrieben.
Diese Photomischdetektoren bestehen aus zwei optisch transparenten
Modulationsphotogates, insbesondere aus Polysilizium, und aus zwei
Auslesedioden, die in lateraler Richtung jeweils außen neben
den Modulationsphotogates angeordnet sind. Der so aufgebaute Photomischdetektor
ist in der Lage, aufgrund eines inhärenten Mischprozesses, der
bei einem Empfang eines von einem Objekt reflektierten Lichtes,
das durch eine Modulationsfunktion moduliert wurde, unmittelbar
die Laufzeit der von dem Objekt reflektierten elektromagnetischen
Wellen zu erfassen. Damit kann mit diesem Photomischdetektor neben
der Intensitätsinformation über die
empfangene Strahlung auch eine Entfernungs- oder Tiefeninformation
zu dem Reflektionsobjekt gewonnen werden.
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Zur
Realisierung dieser Funktion werden die Modulationsphotogates mit
je einem Modulationspotential beaufschlagt, und zwar in der Art,
dass das erste Modulationsphotogate mit einer ersten Modulationsspannung
Uo + Um und das
zweite Modulationsphotogate mit einer zweiten Modulationsspannung Uo – Um beaufschlagt wird, worin Uo eine
Grundspannung und Um eine Modulationsgrundspannung
darstellt, die der Modulationsfunktion folgt. Uo wird
in der Regel eine Gleichspannung sein, wohingegen Um insbesondere
eine zeitvariante Spannung darstellt.
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In
den Raumladungszonen unter den Modulationsphotogates werden durch
die Photonen des empfangenen Lichtes Photoelektronen generiert und gesammelt,
die durch das elektrische Feld der Modulationsphotogates zu den
Auslesedioden driften. Die Transferausbeute der Photoelektronen
hängt u.a. von
der Höhe
der Modulationsspannung ab. Durch die zeitinvariante Modulationsspan nung
werden die zu unterschiedlichen Zeitpunkten generierten Photoelektronen
zur ersten oder zweiten Auslesediode transportiert. Da Modulationsspannung
und empfangenes Licht mit der Modulationsfunktion korrelieren, kann
aus der Differenz der an den Auslesedioden gemessenen Spannung oder
Strom die Laufzeit der empfangenen Strahlung im Verhältnis zu
ihrem Aussenden ermittelt und damit auf die Entfernung des Objektes
geschlossen werden.
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Bei
dem bekannten Photomischdetektor grenzt das photoaktive Gebiet unter
den Modulationsphotogates direkt an die Auslesedioden. Damit wirkt
im Falle des Anliegens einer Modulationsspannung Uo +
Um an dem ersten oder zweiten Modulationphotogate
die in den Auslesedioden gesammelte Ladung auf den Ladungsträgertransport
aus der Raumladungszone unter den Modulationsphotogates zurück, da die
gesammelte Ladung den Feldgradienten in Richtung zu der Raumladungszone
reduziert und damit die Ladungsträgerausbeute reduziert wird.
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Außerdem bleiben
die an dem Modulationsphotogates angrenzenden Auslesedioden an den Modulationsphotogates
elektrisch angeschlossen, so dass im Falle des Anliegens einer Modulationsspannung
Uo – Um ein Teil der genierten Ladungsträger zur falschen
Auslesediode driften.
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Da
die Empfindlichkeit und die Tiefenauslösung aus der Differenz der
an den Auslesedioden gemessenen Photoströmen bestimmt werden, werden diese
durch die bekannte Anordnung negativ beeinflusst.
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Es
ist damit Aufgabe der Erfindung, einen Photomischdetektor derart
auszubilden, dass dessen Empfindlichkeit und Tiefenauflösung verbessert
wird.
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Diese
Aufgabe wird anordnungsseitig dadurch gelöst, dass in lateraler Richtung
zwischen dem ersten Modulationsphotogate und seiner zugeordneten
ersten Auslesediode ein erster Transfer- und Separationstransistor angeordnet
ist, an dessen Gate ein erstes Zusatzpotential anlegbar ist, und
in lateraler Richtung zwischen dem zweiten Modulationsphotogate
und seiner zugeordneten zweiten Auslesediode ein zweiter Transfer-
und Separationstransistor angeordnet ist, dessen Gate mit einem
zweiten Zusatzpotential beaufschlagbar ist. Dabei ist unter den
Modulationsphotogates ein bis teilweise unter die Transfer- und
Separationsgates der jeweiligen Transfer- und Separationstransistoren
reichendes Verarmungsgebiet eingebracht.
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Durch
die Transfer- und Separationstransistoren wird zum einen der Feldgradient
in Richtung zur jeweiligen Auslesediode erhöht. Zum anderen verhindert
die Absperrfunktion, dass ein Ladungstransport zur falschen Seite
der „Ladungsschaukel" stattfinden kann.
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Durch
das Verarmungsgebiet wird die Ladungsträgerrekombination an der Gateoxidgrenzfläche unter
den Modulationsphotogates reduziert, da ein vergrabener Kanal entsteht.
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Weiterhin
wird die Beeinflussung der Auslesediode durch das sich zeitlich
verändernde
Potential an den Modulationsphotogates vermieden.
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In
einer Ausgestaltung der Anordnung ist vorgesehen, dass das Halbleitersubstrat
aus einem p-Silizium mit einem spezifischen Widerstand von 5 bis
50 Ωcm
oder aus einem Epitaxiesubstrat mit gleicher Dotierung besteht.
Dies gewährleistet
die Herstellung der erfindungsgemäßen Anordnung mit bekannten
einfachen Mitteln.
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Weiterhin
wird der Photomischdetektor dadurch fortgebildet, dass zwischen
den Modulationsphotogates und/oder zu den benachbarten Transfer- und
Separationsgates der Transfer- und Separationstransistoren ein für die CMOS-Technologie
minimaler Abstand eingestellt wird. Dies dient zum einen einer hohen
Ladungsträgerausbeute
und außerdem wird
unter Beibehaltung der erfindungsgemäßen Vorteile damit die Ausdehnung
des Photomischdetektors minimal gehalten.
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Es
ist günstig,
in einer Ausführungsform
die Detektierschaltung durch eine Metallabdeckung vor optischer
Strahlung zu schützten.
Dadurch wird wirkungsvoll vermieden, dass die Detektierschaltung
in ihrer Wirkungsweise durch photoelektrische Effekte, insbesondere
durch die empfangene Strahlung beeinträchtigt wird, was zu unerwünschten Überlagerungseffekten
und damit zu einer Beeinträchtigung des
Messergebnisses führen
könnte.
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Weiterhin
ist es zweckmäßig, dass
die Modulationsphotogates aus Polysilizium bestehen. Polysilizium
ist einfach herstellbar und zeigt für den Einsatzzweck sehr gute
optische Eigenschaften, insbesondere eine gute Lichtdurchlässigkeit.
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Die
erfindungsgemäße Aufgabenstellung wird
auch durch Verfahren zum Betrieb dieses Photomischdetektors gelöst, bei
dem das erste und das zweite Modulationspotential mit einem Zeitverhalten, und
das erste und das zweite zusatzpotential mit dem selben Zeitverhalten
jeweils relativ zueinander zeitlich verändert werden. Damit werden
jeweils im gleichen Zeitverhalten zu dem Modulationspotential die Transfer-
und Absperrfunktionen realisiert.
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Hierin
ist es vorteilhaft, dass das erste und das zweite Modulationspotential
und das erste und zweite Zusatzpotential mit einem Takt gleicher
Taktfrequenz moduliert werden. Eine einfache Modulationsfunktion
kann in einer Taktung des ausgesandten Lichtes und in einer entsprechenden
Taktung des Modulationssignales bestehen. Da Taktsignale in der digitalen
Messtechnik ohnehin Verwendung finden, ist die Taktung als Modulation
eine einfach zu realisierende Form der Modulationsfunktion.
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Schließlich wird
die erfindungsgemäße Aufgabenstellung
auch durch ein Verfahren zur Herstellung dieses Photomischdetektors
gelöst,
welche dadurch gekennzeichnet ist, dass in lateraler Richtung zwischen
den Modulationsphotogates und den Auslesedioden Transfer- und Separationstransistoren eingebracht
werden. Diese hierfür
erforderlichen Verfahrensschritte sind durch die CMOS Technologie
in einfacher Art und Weise zu realisieren.
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Es
ist dabei zweckmäßig, dass
unter den Modulationsphotogates ein bis unter die jeweiligen Transfer-
und Separationstransistoren reichendes Verarmungsgebiet eingebracht
wird. Das Verarmungsgebiet dient dem Ladungsträgertransport und stellt die
Verbindung zu den benachbarten Absperr- und Separationstransistoren
her.
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Insbesondere
ist dabei zweckmäßig, dass das
Verarmungsgebiet durch Arsenimplantation erzeugt wird, eine wirkungsvolle
und mit üblichen
Verfahrensschritten zu realisierende Form.
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In
einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens
ist vorgesehen, dass das Modulationsphotogate als Polysiliziumgate
ausgeführt
wird, unter dem ein Gateoxid unabhängig von einem Gateoxid unter
den Transfer- und Separationsgates der Transfer- und Separationstransistoren erzeugt
wird. Hierdurch werden die einzelnen Verfahrensschritte deutlich
voneinander getrennt und es wird möglich, die Eigenschaften des
Photomischdetektors unabhängig
von den Parametern der Transfer- und Separationstransistoren einzustellen.
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Das
Herstellungsverfahren kann andererseits auch dadurch ausgebildet
werden, dass die Modulationsphotogates gemeinsam mit den Transfer- und
Separationsgates der Transfer- und Separationstransistoren auf einem
gemeinsamen Gateoxid erzeugt werden, wodurch Prozessschritte eingespart werden
können.
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In
einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens ist vorgesehen, dass
bei einer Dotierung der Auslesedioden mit Arsen oder Phosphor die
Abstände
zwischen den Modulationsphotogates und/oder zwischen den Modulationsphotogates
und den Transfer- und
Separationsgates der Transfer- und Separationstransistoren durch
eine Maske vor einer Dotierung geschützt werden.
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Weiterhin
ist es zweckmäßig, dass
bei weiteren Dotierungen innerhalb der CMOS-Technologie nach der
Photogateerzeugung die Abstände
zwischen den Photogates und/oder zwischen den Modulationsphotogates
und den Transfer- und Separationsgates der Transfer- und Separationstransistoren durch
Abdeckmasken vor einer Dotierung geschützt werden.
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Zur
Vermeidung einer Beeinträchtigung
der optischen Durchlässigkeit
ist es zweckmäßig, dass eine
in der CMOS-Technologie übliche
Nitridpassivierung über
dem Photomischdetektor im Bereich der Photogates mittels einer Bondfensterätzung geöffnet wird.
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Aus
dem gleichen Grunde ist es vorteilhaft, dass vor einem Aufbringen
von silizierten Transfer- und Separationstransitoren die Photogates
mit einer Abdeckmaske bedeckt werden.
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In
einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen,
dass durch eine zusätzliche
Phosphorimplantation in die Auslesedioden die pn-Tiefe so erhöht wird,
dass der Feldgradient in Richtung der Modulationsphotogates steigt.
Damit wird der Ladungsträgertransport
in die Auslesedioden verbessert.
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Weiterhin
ist es zweckmäßig, dass
bei allen im Prozess erfolgenden p-Dotierungen außer der
Dotierung des Verarmungsgebietes das Gebiet der Modulationsphotogates
durch Aufbringen einer oder mehrerer Abdeckmasken vor Dotierungen
geschützt wird.
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Dadurch
wird die p-Dotierung im Gebiet der Modulationsphotogates niedrig
gehalten, was eine Vergrößerung der
Raumladungszone im Substrat bei einer anliegenden Spannung an den
Modulationsphotogates bewirkt. Dies hat eine Erhöhung der Lichtausbeute zur
Folge.
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Die
Erfindung soll nachfolgend anhand zweier Ausführungsbeispiele näher erläutert werden.
In den zugehörigen
Zeichnungen zeigt
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1 einen
Querschnitt durch einen Photomischdetektor nach dem Stand der Technik,
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2 einen
Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen Photomischdetektor.
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Gleiche
Bezugszeichen bezeichnen in den Zeichnungen einander entsprechende
Anordnungsteile.
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Der
in den Zeichnungen dargestellte Photomischdetektor 1 ist
mit in und auf einem Halbleitersubstrat 2 angeordneten
Schichten, die sich in vertikaler Richtung 3, in lateraler
Richtung 4 und in nicht näher dargestellter transversaler
Richtung erstrecken versehen. Diese Schichten bilden zwei optisch transparente
Modulationsphotogates 5; 6 und mindestens zwei
Auslesedioden 7; 8. Dabei sind die Modulationsphotogates 5; 6 in
lateraler Richtung 4 innen einander benachbart. In lateraler
Richtung 4 ist außen
neben einem ersten Modulationsphotogate 5 eine erste Auslesediode 7 angeordnet.
In lateraler Richtung 4 ist außen neben einem zweiten Modulationsphotogate 6 eine
zweite Auslesediode 8 angeordnet.
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Die
Auslesedioden 7 und 8 bestehen aus einem jeweils
ersten 9 oder zweiten n+ dotierten Gebiet 10,
das mit einem ersten 11 oder zweiten Kontakt 12 versehen
ist. Die n+ dotierten Gebiete bilden mit dem p-leitenden Halbleitersubstrat 2 die
jeweiligen pn-Diodenübergänge. Über die
Kontakte 11 und 12 sind die Auslesedioden 7 und 8 mit
einer nicht näher dargestellten
Detektierschaltung verbunden.
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Die
Modulationsphotogates 5 und 6 erstrecken sich
in lateraler Richtung 4 so weit, dass sie in vertikaler
Richtung teilweise bis über
die n+ dotierten Gebiete 9 oder 10 der jeweiligen
Auslesedioden 7 oder 8 reichen.
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Das
erste Modulationsphotogate 5 ist mit einem ersten Modulationspotential
Uo + Um und das zweite
Modulationsphotogate 6 mit einem zweiten Modulationspotential
Uo – Um beaufschlagbar.
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Beispielsweise
zur Entfernungsmessung wird nun ein nicht näher dargestelltes Objekt mit
einem entsprechend einer ersten Modu lationsfunktion modulierten
Licht beleuchtet. Das daraufhin von dem Objekt reflektierte Licht
wird auf die Modulationsphotogates 5 und 6 geleitet.
Dabei werden die Modulationsphotogates 5 und 6 mit
einer entsprechend einer mit der ersten Modulationsfunktion korrelierten
zweiten Modulationsfunktion moduliert.
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Bei
dem Photomischdetektor nach 1 grenzt
das photoaktive Gebiet, d.h. die Raumladungszone 13 unter
dem ersten Modulationsphotogate 5, das mit Uo +
Um beaufschlagt ist, direkt an die erste
Auslesediode 7. Dies wirkt elektrisch auf den Ladungsträgertransport
aus der Raumladungszone 13 unter dem ersten Modulationsphotogates
zurück, in
der Weise, dass die in der ersten Auslesediode 7 gesammelten
Ladungen die effektive Spannung der ersten Auslesediode 7 reduzieren,
den Feldgradienten in Richtung zum ersten Modulationsphotogate 5 verkleinern
und damit die Ladungsträgerausbeute
reduzieren. Außerdem
bleibt die zweite Auslesediode 8, die am ersten Modulationsphotogate
angrenzt am zweiten Modulationsphotogate 6, elektrisch
angeschlossen, wenn dies mit der Modulationsspannung Uo +
Um beaufschlagt ist, so dass ein Teil der
generierten Ladungsträger
zur falschen Auslesediode driften und damit die Empfindlichkeit
und Tiefenauflösung
verschlechtern, da diese Information aus der Differenz der an den
Auslesedioden 7 und 8 gemessenen Photoströmen bestimmt
wird.
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Weiterhin
wird die Modulationsspannung der Modulationsphotogates 5 und 6 kapazitiv
auf die Auslesedioden 7 und 8 gekoppelt und erzeugt
eine periodische Störspannung
an den Auslesedioden.
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Das
erste Ausführungsbeispiel
gemäß 2 geht
von der Integration eines Photomischdetektors in einer CMOS-Technologie
mit selbstpositionierender Doppelwanne, einem Polysiliziumgate und
einer Doppelmetallisierung aus.
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Darin
ist zwischen der ersten Auslesediode 7 und dem ersten Modulationsphotogate 5 ein
erstes Transfer- und Separationsgate 14 und zwischen der zweiten
Auslesediode 8 und dem zweiten Mo dulationsphotogate 6 ein
zweites Transfer- und Separationsgate 15 lokalisiert. Damit
erstrecken sich die Transfer- und Separationsgates 14 und 15 in
vertikaler Richtung bis über
das erste oder zweite n+ dotierte Gebiet 9 oder 10 und
nicht mehr die Modulationsphotogates 5 oder 6.
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Unter
den Modulationsphotogates 5 und 6 ist ein Verarmungsgebiet 16 eingebracht,
dass sich in vertikaler Richtung teilweise bis unter die Transfer- und
Separationsgates 14 und 15 erstreckt. Damit wird
mit den Übergängen Verarmungsgebiet 16 – nicht
näher dargestellter
p-Wanne in dem Halbleitersubstrat 2 – erstes n+ dotiertes Gebiet 9 und
dem ersten Transfer- und Separationsgate 14 ein erster
Seperationstransistor 17 gebildet. In gleicher Weise wird
mit den Übergängen Verarmungsgebiet 16 – p-Wanne in dem Halbleitersubstrat 2 – zweites
n+ dotierte Gebiet 10 und dem ersten Transfer- und Separationsgate 15 ein
zweiter Transfer- und Separationstransistor 18 gebildet.
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Die
Transfer- und Separationsgate 14 und 15 werden
mit der gleichen Frequenz der Modulationsphotogates 5 und 6 phasenversetzt
so getaktet, dass eine minimale kapazitive Störspannung in den Auslesedioden
entsteht. Das erste Transfer- und Separationsgate 14 hat
die Spannung Utr, die den ersten Transfer-
und Separationstransistor 17 öffnet und eine Verarmungszone
unter dem ersten Transfer- und Separationsgate 14 einstellt,
so dass ein zusätzlicher
Feldgradient zur ersten Auslesediode 7 entsteht. Hierdurch
wird die Transferfunktion realisiert.
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Gleichzeitig
hat das zweite Transfer- und Separationsgate 15 eine Spannung
Usp, vorzugsweise 0V, die den zweiten Transfer- und Separationstransistor 18 zur
zweiten Auslesediode 8 absperrt und so den Ladungstransport
von Elektronen zur falschen Seite der Ladungsschaukel verhindert.
Damit wird die Absperrfunktion realisiert.
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Das
flache Verarmungsgebiet 16 unter den Modulationsphotogates 5 und 6 realisiert
den elektrischen Anschluss der Kanäle unter den Modulationsphotogates 5 und 6 an
den jeweiligen Transfer- und Separationstransistor 17 und 18,
beeinflusst aber das Sperrverhalten der Separationstransistoren 17 und 18 nicht.
Durch das Verarmungsgebiet 16 wird die Raumladungszone
in vertikaler Richtung 3 in das p-Halbleitersubstrat 2 hinein
tiefer, die Anzahl der generierten Ladungsträger steigt und die Oberflächenrekombination
wird reduziert, da sich ein vergrabener Kanal ausbildet. Bei Umpolung
der Modulationsspannung Um an den Modulationsphotogates 5 und 6 realisiert
das erste Transfer- und
Separationsgate 14 die Absperrfunktion und das zweite Transfer-
und Separationsgate 15 die Transferfunktion, wobei die
generierten Ladungsträger
zur zweiten Auslesediode 8 driften.
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Als
Halbleitersubstrat 2 wird p-Silizium mit einem spezifischen
Widerstand von 5 – 10 Ωcm oder ein
Epitaxiesubstrat mit gleicher Dotierung verwendet. Zur Integration
des Photomischdetektors 1 wird eine spezielle p-Wannenmaske
(Abdeckmaske) eingesetzt, die das zukünftige Gebiet des Photomischdetektors 1 abdeckt
und damit die Dotierung niedrig lässt. Zur Schwellspannungsimplantation
mit Bor, die normalerweise ganzflächig erfolgt, wird eine zweite Abdeckmaske
eingesetzt, um den Photomischdetektor vor weiteren Dotierungen zu
schützen.
Das Verarmungsgebiet 16 wird über eine flache Arsenimplantation
mit einer Dosis von 1·1011 bis 1·1012cm–2 über eine
Lackmaske eingebracht. Ein Gateoxid 19 unter den Modulationsphotogates 5 und 6 von
8-25 nm Dicke wird zusammen mit einem Gateoxid 20 und den Transfer-
und Separationsgates 14 15 erzeugt und ein minimaler
Abstand der Modulationsphotogates 5 und 6 von
0,35 μm – 1,2 μm, je nach
minimaler Strukturbreite der CMOS-Technologie, wird eingestellt.
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Wird
ein siliziertes Gate als Transfer- und Separationsgate 14 und 15 eingesetzt,
müssen
die Modulationsphotogates 5 und 6 über eine
Maske geschützt
werden, damit auf den Modulationsphotogates 5 und 6 kein
Silizid entsteht. Im Vergleich zum Polysilizium ist ein Silizidgate
für den
Photomischdetektor 1 unge eignet, da die optische Strahlung
reflektiert wird. In einer Maske zur Sourse/Drain-Implantation, bei
der die Auslesedioden 7 und 8 erzeugt werden, wird
ein Schutzstreifen generiert, damit der Abstand zwischen den Modulationsphotogates 5 und 6 nicht dotiert
und eine hohe Ladungstransfereffizienz erreicht wird. Der Abstand
zwischen den Modulationsphotogates 5 und 6 wird
außerdem
bei allen weiteren Dotierschritten, die zwischen der Photogateerzeugung
und der Kontakterzeugung durchgeführt werden, durch Masken geschützt.
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Die
nicht näher
dargestellte Ausleseelektronik des Photomischdetektors wird durch
zusätzliche Abdeckungen
im speziellen Design des zweiten Metalls vor der optischen Strahlung
geschützt,
um Fehlfunktionen durch parasitäre
Photoeffekte zu vermeiden. Die Maske für die Öffnung der Bondfenster wird so
ausgebildet, dass über
dem Photomischdetektor 1 die Passivierung entfernt und
damit die Quantenausbeute erhöht
wird.
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Ein
zweites Ausführungsbeispiel
geht von der Integration eines Photomischdetektors 1, ebenfalls
entsprechend 2, in einer CMOS-Technologie
mit Doppelwanne, Doppelpolisiliziumgate und Dreifachmetall aus.
Als Halbleitersubstrat 2 wird p-Silizium mit einem spezifischen
Widerstand von 20 – 50 Ωcm oder
ein p-Epitaxiesubstrat
gleicher Dotierung verwendet, um eine hohe Empfindlichkeit des Photomischdetektors 1 zu
erreichen, wobei der Standardprozess p-Substrat mit einem spezifischen
Widerstand von 5 - 10 Ωcm
benutzt. Da die p-Wanne über eine
Lackmaske implantiert wird, muss über das spezielle Design die
Maske so geändert
werden, dass der Photomischdetektor 1 nicht implantiert
wird, insbesondere durch einen Abdeckbereich in der p-Wannenmaske.
Eine oder mehrere weitere Abdeckmasken zum Schutz des Photomischdetektors 1 vor
weiteren Kanaldotierungen bei Schwellspannungsimplantationen, die
für CMOS-Transistoren üblich sind, werden
eingesetzt. Dadurch wird erreicht, dass im Gebiet des Photomischdetektors 1 die
Substratdotierung erhalten bleibt.
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Das
Verarmungsgebiet 16 wird über eine flache Arsenimplantation
mit einer Dosis von 1·1011 bis 1·1012cm–2 über eine
Lackmaske eingebracht, um durch einen vergrabenen Kanal die Ausbeute des
Ladungsträgertransports
zu erhöhen.
Der Ladungsträgertransport
findet durch eine Verarmungsimplantation in einem vergrabenen Kanal
statt und die Ladungsträgerrekombination
an der Grenzfläche
zum Gateoxid 20 wird reduziert. Die Modulationsphotogates 5 und 6 werden
im ersten Polysilizium realisiert und ein Gateoxid 19 von
wahlweise 20-100 nm Dicke ist einstellbar. Durch die Modulationsphotogates 5 und 6 mit
separatem Gateoxid 19 ist es möglich, die Eigenschaften des
PMD unabhängig
von den CMOS-Transistoren zu optimieren.
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Ein
minimaler Abstand der Modulationsphotogates 5 und 6 von
0,35μm – 1,2μm, je nach
minimaler Strukturbreite der CMOS-Technologie, wird eingestellt, um eine
hohe Ausbeute des Ladungsträgertransports
zu erreichen.
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Danach
werden das Gateoxid 20 und die Gateelektroden 21 für die Transfer-
und Separationstransistoren 17 und 18 hergestellt,
die unabhängig vom
Photomischdetektor 1 optimiert werden können. Eine Ausführung der
Transfer- und Separationsgate 14 und 15 als silizierte
Gates ist möglich.
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In
der Maske zur Source/Drain-Implantation, bei der die Auslesedioden 7 und 8 erzeugt
werden, wird ein Schutzstreifen generiert, damit der Abstand zwischen
den Modulationsphotogates 5 und 6 nicht dotiert
wird und eine hohe Ladungstransfereffizienz erreicht wird. Der Abstand
zwischen den Modulationsphotogates 5 und 6 wird
außerdem
bei allen weiteren Dotierschritten, die zwischen der Photogateerzeugung
und der Kontakterzeugung durchgeführt werden, durch Masken geschützt.
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Über eine
nicht näher
dargestellte Lackmaske werden die Auslesedioden 7 und 8 zusätzlich mit Phosphor
im Bereich von 1014 – 1016 cm–2 implantiert, die
Eindringtiefe der pn-Übergänge auf
0,5 bis 1 μm erhöht und damit
ein stärkerer
Feldgradient in Richtung der Modulationsphotogates 5 und 6 über die
Seperationsgates 14 und 15 erzeugt.
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Wird
ein Silizidprozeß angewendet,
muss der Photomischdetektor 1 durch eine zusätzliche
Abdeckmaske vor der Silizierung geschützt werden.
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Die
Ausleseelektronik des Photomischdetektors 1 wird durch
zusätzliche
Abdeckungen über
ein spezielles Design des zweiten und/oder dritten Metalls vor der
optischen Strahlung geschützt,
um Fehlfunktionen durch parasitäre
Photoeffekte zu vermeiden. Durch das Design der Maske für die Öffnung der Bondfenster
wird über
dem Photomischdetektor 1 die Passivierung entfernt und
damit die Quantenausbeute erhöht.
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- 1
- Photomischdetektor
- 2
- Halbleitersubstrat
- 3
- vertikale
Richtung
- 4
- laterale
Richtung
- 5
- erstes
Modulationsphotogate
- 6
- zweites
Modulationsphotogate
- 7
- erste
Auslesediode
- 8
- zweite
Auslesediode
- 9
- erstes
n+ dotiertes Gebiet
- 10
- zweites
n+ dotiertes Gebiet
- 11
- erster
Kontakt
- 12
- zweiter
Kontakt
- 13
- Raumladungszone
unter den Modulationsphotogates
- 14
- erstes
Transfer- und Separationsgate
- 15
- zweites
Transfer- und Separationsgate
- 16
- Verarmungsgebiet
- 17
- erster
Transfer- und Separationstransistor
- 18
- zweiter
Transfer- und Separationstransistor
- 19
- Gateoxid
unter den Modulationphotogates
- 20
- Gateoxid
unter den Transfer- und Separationsgates
- 21
- Gateelektrode