DE10211992A1

DE10211992A1 - Drucksensor zur Druckerfassung in einem Motorbrennraum sowie Verfahren zu dessen Herstellung

Info

Publication number: DE10211992A1
Application number: DE10211992A
Authority: DE
Inventors: Thomas Merhar; Dieter Zeisel
Original assignee: TRAFAG AG
Current assignee: TRAFAG AG
Priority date: 2001-05-04
Filing date: 2002-03-18
Publication date: 2002-11-28
Anticipated expiration: 2022-03-19
Also published as: DE10211992C2

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor (1) zur Druckerfassung in einem Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine während deren Betrieb, mit einem äußeren Sensorgehäuse (2), das an einem ersten, dem Brennraum zuzuwendenden Ende (5) durch eine druckaufnehmende Trennmembran (4) verschlossen ist und in dessem Inneren ein keramischer Stößel (10) und ein Kraftmesselement (13) untergebracht ist, wobei der keramische Stößel (10) Auslenkungen der Trennmembran (4) auf das Kraftmesselement (13) überträgt. Um den Drucksensor kostengünstig herstellbar und dennoch auch bei hohen Temperaturschwankungen langzeitstabil zur ständigen Drucküberwachung einsetzbar zu gestalten, wird vorgeschlagen, dass das Kraftmesselement (13) an einem aus Keramik gebildeten, innerhalb des Sensorgehäuses (2) befindlichen Distanzelement (9) zur Entkopplung der Kraftmessung von dem Sensorgehäuse (2) befestigt ist, das anderen Endes im Bereich des ersten Endes (5) des Sensorgehäuses (2) an diesem befestigt ist. Außerdem werden ein Herstellverfahren für einen solchen Drucksensor, eine diesen Drucksensor (1) verwendende Online-Drucküberwachungsvorrichtung und ein diesen Drucksensor enthaltender Motor beschrieben.

Description

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor zur Druckerfassung in einem Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine während des Betriebs der Verbrennungskraftmaschine, nach den Oberbegriffen der beigefügten Ansprüche 1 und 16, wie er aus der DE 41 06 102 A1 bekannt ist. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Drucksensors sowie eine Vorrichtung zur Erfassung des Druckes in einem Brennraum ei ner Verbrennungskraftmaschine sowie eine mit einer solchen Vorrichtung versehene Verbrennungskraftmaschine, die jeweils wenigstens einen solchen Drucksensor enthal ten.

Technologischer Hintergrund der Erfindung ist die Druckerfassung in einem Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine während deren Lauf, also beispielsweise die Erfassung des Druckes in dem Motorzylinder eines Kolbenmotors wie beispielsweise eines Otto- o der insbesondere eines Diesel-Motors. Zu diesem Zweck liefert die Fa. Kistler zur Zeit sehr teuere (mehrere 1.000,00 Euro pro Stück) Drucksensoren, die hochgenaue Überwa chungsmöglichkeiten liefern. Die Drucksensoren beruhen auf piezoelektrischen Meß systemen und sind praktisch nur in Motorenprüfständen einsetzbar. Auch die Fa. Leh mann und Michels liefert unter dem Namen "Premet" einen Drucksensor, der aber eben falls relativ teuer, unhandlich und zu wenig langzeitstabil ist, so dass er ebenfalls nur auf Motorenprüfständen oder zu Motorendiagnosezwecke einsetzbar ist. Dieser bekannte Drucksensor weist eine frontbündig eingebaute goldbeschichtete Membran mit einer Le bensdauer von nur wenigen 100 Stunden auf.

Die EP 0 175 449 A2 betrifft eine Vorrichtung zur Überwachung des Brennraumdruckes in einer Verbrennungskraftmaschine, bei der Auslenkungen der Brennraumkammer selbst zur Druckerfassung verwendet werden sollen. Hierzu wird ein Piezo-Element mit einer Außenhülle in einer Außenwand des Zylinderkopfes eines Verbrennungsmotors einge schraubt. Ein Stößel ist mit der Brennraumwand in Kontakt und erfasst Auslenkungen der Brennraumwand. Dieser Sensor ist nur bei einem bestimmten Motortyp anwendbar und als Speziallösung für allgemeine Zwecke zu teuer.

Die EP 0 399 069 A1 betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Brennraumdruckes in ei nem Zylinder einer Verbrennungskraftmaschine mit einem Drucksensor. Diese Druck schrift befasst sich hauptsächlich mit dem Eichverfahren für einen Online-Drucksensor, über den Aufbau des Drucksensors selbst ist nichts ausgesagt.

Die EP 0 671 618 A1 betrifft eine Vorrichtung zur Überwachung des Druckes in einem Verbrennungsmotor, bei der Dehnmessschrauben so eingebaut sind, dass sie als feste Bestandteile zum Motorteil gehören.

Die US 4 232 545 betrifft einen den Brennraumgasen in einem Motorbrennraum ausge setzten Ionenstrom-Detektor.

Die US 5 062 294 betrifft eine Vorrichtung zur Druckmessung in einem Motorzylinder mit einem piezoelektrischen Sensor und einer Kompensationsschaltung zur Kompensation von Temperaturänderungen.

Die US 5 181 417 betrifft eine Vorrichtung zur Druckmessung in einem Motorzylinder mit einer besonderen Anordnung der Druckmembran eines Druckmesskörpers, derart, dass die Druckmembran abgewandt von den heißen Gasen liegt. Das Sensorelement mit der Druckaufnahmemembran ist ein monokristallines Saphirsubstrat, das mittels eines Hart lötverfahrens mit dem Metall des Sensorgehäuses verbunden ist. Als Haftvermittler für dieses Löten dienen Ti-, Mo- und Ni-Schichten.

Die US 5 195 365 betrifft einen Drucksensor zur Brennraumüberwachung in der Zylinder kopfdichtung eines Verbrennungsmotors. Dabei erfolgt eine Kühlung des Sensors durch eine nahe Anbringung an den Kühlkanälen des Motors. Die bekannte Vorrichtung umfasst einen piezoelektrischen Sensor.

Bei der aus der US 5 712 424 bekannten Vorrichtung zur Überwachung des Druckes in Verbrennungskraftmaschinen sind die Einspritzdüsen eines Dieselmotors mit Dehn-Meß- Schraubbolzen befestigt.

Gemäß der US 5 747 677 wird eine in Art einer Unterlegscheibe geformter Zylinderdruck sensor zwischen die Zündkerze und einer dieser aufnehmende Lagerfläche eingesetzt. Die DE 37 46 430 A1 betrifft ein Verfahren zur Regelung des Zündwinkels bei Motoren mit einem Drucksensor, über dessen Aufbau allerdings nichts ausgesagt ist.

Die DE 38 11 311 C1 betrifft einen Drucksensor zur Druckerfassung im Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine während deren Betrieb mit einem äußeren Sensorgehäuse, das an einem ersten, dem Brennraum zuzuwendenden Ende durch eine druckaufneh mende Membran verschlossen ist und in dessen Inneren ein aus V4A gebildeter Stößel und ein durch piezoelektrische Quarze gebildetes Kraftmesselement untergebracht ist. Al le Grenzflächen der dem Kraftmesselement zugewandten Ende des Stößels folgenden Bauteile sind mit Hilfe einer Klebeverbindung verbunden. Für die Klebeverbindung werden Epoxydharzkleber mit Leitsilber verwendet.

Einen ähnlichen Aufbau weist der aus der DE 40 11 132 A1 bekannte Drucksensor zur Druckerfassung im Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine auf, wobei aber der Stempel auf Keramik gebildet ist und das Kraftmesselement nicht durch eine Klebever bindung, sondern durch eine Schraubverbindung mit an dem Sensorgehäuse angreifen den Schraubverbindung in Kontakt gebracht ist.

Auch bei der eingangs erwähnten DE 41 06 102 A1, die den Oberbegriff der beigefügten Ansprüche 1 und 16 bildet, ist ein keramischer Stößel zwischen einer Trennmembran und einem piezoresestiven Kraftmesselement eingesetzt. Das Kraftmesselement ruht mit sei ner dem Stempel entgegengesetzten Seite auf einem Keramikträger, der wiederum an dem Sensoraußengehäuse gegengelagert ist.

Die DE 197 49 814 A1 betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Brennraumdruckverlau fes in einer Verbrennungskraftmaschine mit einem Brennraumdrucksensor, dessen Auf bau aber nicht näher erläutert ist.

Die DE 197 55 192 A1 betrifft einen kapazitiven Drucksensor zur Druckmessung im Brennraum und Verbrennungskraftmaschinen.

Die WO 01/23855 A2 betrifft einen Hochdrucksensor für Drücke bis über 2000 bar zur Druckmessung in dem Einspritzsystem von Common-Rail-Dieselmotoren. Hierzu wird ei ne Messmembran durch einen hutförmigen Gehäuseeinsatz gebildet. Dieser wird zwi schen zwei Gehäuseteilen eingespannt.

Die DE 196 45 613 A1 betrifft einen Drucksensor und ein Verfahren zu dessen Herstel lung. Als Messmembran wirkt dabei ein Teil des Sensorgehäuses. Das Sensorgehäuse und die Membran sind aus Keramik (Al₂O₃) gebildet.

Die DE 41 03 706 A1 betrifft einen Drucksensor mit einer Trennmembran, einem Stößel und einem piezoresestiven Kraftmesselement in Dickschichttechnologie. Die Membran ist aus Superlegierungen aufgebaut. Ansonsten entspricht der Aufbau dem aus der DE 41 06 102 A1 bekannten Drucksensor. Das selbe gilt für den aus der DE 40 09 377 A1 bekann ten Drucksensor.

Aus der DE 38 40 703 A1 ist ein Drucksensor bekannt, bei dem das Kraftmesselement di rekt dem zu messenden Medium ausgesetzt ist und rückseitig über einen keramischen Tragkörper abgestützt ist. Die Keramik dient der elektromagnetischen Abschirmung. Ei nen ähnlichen Aufbau hat ein aus der DE 38 39 515 A1 bekannter Drucksensor.

Die DE 37 38 413 C1 betrifft einen Reifendrucksensor und die DE 37 27 221 C1 betrifft einen Drucksensor mit einem piezoelektrischen Röhrchen, das axial beaufschlagt wird. Zur Kühlung sind in dem Röhrchen Kupferlitze eingesetzt, die der Wärmeableitung die nen.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Drucksensor gemäß den Oberbegriffen der hier bei gefügten Patentansprüche 1 und 16 derart auszubilden, dass er kostengünstig herstellbar und auch bei höheren Temperaturen langzeitstabil für den Dauereinsatz zur Überwa chung in Verbrennungskraftmaschinen einsetzbar ist. Außerdem sollen ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Drucksensors, eine Vorrichtung zur ständigen Motordruck überwachung unter Verwendung eines solchen Drucksensors sowie eine mit einem sol chen Drucksensor oder einer solchen Vorrichtung versehene Verbrennungskraftmaschine geschaffen werden.

Zur Lösung der Aufgabe schlägt die Erfindung einen Drucksensor mit den Merkmalen des beigefügten Anspruchs 1 oder 16, ein Verfahren mit den Schritten des beigefügten An spruchs 22, eine Vorrichtung gemäß dem Anspruch 30 sowie eine Verbrennungskraftma schine gemäß dem Anspruch 31 vor.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Die Erfindung schafft demgemäss einen Drucksensor zur Online-Druckerfassung beim Einsatz während des Betriebes einer Verbrennungskraftmaschine mit einem äußeren Sensorgehäuse, das an einem ersten, dem Brennraum zuzuwendenden Ende durch eine druckaufnehmende Trennmembran verschlossen ist und in dessen Inneren ein kerami scher Stößel und ein Kraftmesselement untergebracht ist, wobei der keramische Stößel die Auslenkungen der Trennmembran auf das Kraftmesselement überträgt. Das Kraft messelement ist erfindungsgemäß aber nicht an dem Sensorgehäuse gegengelagert, sondern an einem ebenfalls aus Keramik gebildeten, innerhalb des Sensorgehäuses be findlichen Distanzelement befestigt. Das Distanzelement ist mit einem Ende direkt im Be reich der Trennmembran am Sensorgehäuse befestigt. Am anderen Ende trägt es das Kraftmesselement. Auslenkungen der Trennmembran werden über den keramischen Stö ßel übertragen. Auf diese Weise dient das Distanzelement zur vollständigen Entkoppe lung der Kraftmessung von dem Sensorgehäuse. Das Kraftmesselement ist nur über ke ramische Materialien abgestützt, ohne dass der Kraftfluss über das Sensorgehäuse laufen würde. Auf diese Weise werden Temperaturschwankungen am Sensorgehäuse weder auf das Kraftmesselement übertragen noch wirken sie sich auf die Kraftmessung aus. Da durch lässt sich auch ein bei hohen Temperaturen bis zu 550°C langzeitstabil einsetzba rer Drucksensor zur Online-Übermrachung von Brennraumdrücken mit hohem Frequenz gang erzielen.

Erfindungsgemäß ist die Kraftmessung durch eine Metall-Nichtmetall-Verbundkonstruktion von dem Sensorgehäuse entkoppelt.

Als Distanzelement wird vorzugsweise eine Keramikhülse oder ein keramisches Röhrchen eingesetzt. Durch die Durchgangsöffnung ist dann der Stößel, vorzugsweise mit geringem Abstand, geführt.

Zur Befestigung der Nichtmetallmaterialien des Distanzelements an dem Sensorgehäuse und/oder an dem Kraftmesselement wird weiter bevorzugt ein Hartlötverfahren eingesetzt. Zum Hartlöten wird bevorzugt ein Aktivlot eingesetzt. Das Hart- oder Aktivlöten erfolgt vorzugsweise unter Vakuum bei Temperaturen von ca. 1.000°C bis 1.400°C und inbeson dere bei einer Temperatur von ca. 1.200°C.

Durch solche Lötverfahren könnte zwar auch der keramische Stößel an beiden Seiten mit den entsprechend angrenzenden Elementen des Drucksensors, d. h. der Trennmembran einerseits und/oder dem Kraifmesselement andererseits, über Löten befestigt werden. Der Stößel ist bevorzugt aber einfach durch die Befestigung des Kraftmesselements über das Distanzelement an dem Sensorgehäuse sozusagen schwimmend oder einfach durch Einspannen gehalten.

Das Kraftmesselement weist bevorzugt eine Messmembran aus Keramik oder aus Stahl, insbesondere hochfestem Stahl, auf. Diese Messmembran hat dickere Befestigungsberei che mit einem dünneren Zwischenbereich dazwischen. An einem ersten Befestigungsbe reich ist die Membran an das Distanzelement befestigt, insbesondere angelötet. Mit dem zweiten Befestigungsbereich liegt die Membran bevorzugt auf dem Stößel auf. An dem dazwischen liegenden dünneren Zwischenbereich, der insbesondere ringförmig ausgebil det ist, wird die Messmembran durch Einwirkung des Stößels aufgrund Auslenkung der Trennmembran ausgelenkt und somit gedehnt. Diese Dehnung wird vorzugsweise über Dehnmessstreifen erfasst. Das Kraftmesselement ist vorzugsweise in Dünn- oder Dick schichttechnologie ausgeführt.

Das Sensorgehäuse weist in bevorzugter Ausführung außen im Bereich der Trennmemb ran ein Gewinde zum Einschrauben in den Brennraum eines Motors auf. Zum Einschrau ben des Drucksensors ist weiter ein Werkzeugeingriffsbereich, beispielsweise ein Sechs kant vorgesehen.

In bevorzugter Ausführung sind zwischen das Distanzelement und das Kraftmesselement und/oder zwischen den Stößel und das Kraftmesselement Zwischenstücke eingefügt. Vorzugsweise ist ein zwischen das Distanzelement und das Kraftmesselement eingefüg tes Zwischenstück beidseits gelötet. Die Zwischenstücke können bei entsprechender Ma terialauswahl der Verbesserung von Lötverbindungen zwischen Metall und Keramik und/oder mit entsprechenden Temperaturausdehnungskoeffizienten zur Kompensierung von Wärmeausdehnungen dienen. Insbesondere lassen sich durch gezielte Materialaus wahl minimale Versetzungen während des Lötens und beim Löten erhältliche integrierte Härtungen erreichen.

Als Keramikmaterialien kommen bevorzugt Zirkonoxid-Materialien oder Glaskeramik zum Einsatz. Ein Beispiel für eine geeignete Glaskeramik ist SiO₂46/Al₂O₃16/MgO17/K₂O10/B₂O₃7, ein unter dem Handelsnamen Macor vertriebenes Material, das spanend verarbeitbar ist, Spitzentemperaturen von 1000°C aushält, niedrige Wärmeleitfähigkeit besitzt, auch bei hoher Temperatur ein guter Wärmeisolator ist und hohe Festigkeit und Steifigkeit besitzt.

Um eine gute thermische Entkoppelung zu erzielen, schafft das Distanzelement und der Stößel eine Distanzierung von wenigstens 25 mm, vorzugsweise von wenigstens 30 mm, zu den aus Metall ausgeführten und somit gut wärmeleitenden Materialien des Sensorge häuses am Brennraum-Ende. Das Kraftmesselement ist somit zumindest durch eine Ke ramik-Stärke von 25 mm, vorzugsweise von wenigstens 30 mm, von dem Brennraum und den dort herrschenden Temperaturen getrennt. Ebenfalls zum Zwecke einer guten Tem peraturabschirmung kann der Spalt zwischen dem Stößel und dem Distanzelement so eng wie möglich bemessen werden, beispielsweise derart, dass nur ein Spalt von weniger als 1 mm, vorzugsweise von weniger als ca. 0,2 mm, verbleibt.

Zur weiteren Erhöhung der Lebensdauer ist die Trennmembran vorzugsweise zumindest an deren dem Brennraum zugewandten Oberflächenbereichen mit einer Schutzschicht gegen Verzundung und Oxidation versehen. Diese Oxidationsschutz-Oberflächenbe schichtung hat vorzugsweise eine Dicke von ca. 2-6 µm, insbesondere 3-4 µm, eine Mikrohärte von 2.000-4.000 Hv und eine Temperaturwiderstandsfähigkeit von wenigs tens 600°C. Gut geeignet ist eine Titan-Aluminium-Nitrid-Beschichtung, wie sie beispiels weise von der Fa. Balzers unter dem Handelsnamen "Balinit futura" zur Beschichtung von Bohr- und Fräswerkzeugen angeboten wird.

Zur besseren Haftfähigkeit der Hartlötverbindung sind die jeweiligen Metaffe der zur Ent koppelung der Kraftmessung von dem Sensorgehäuse vorgesehenen Verbundkonstruk tion aus blei- und schwefelarmen Stahl (1.4571) ohne Sigma-Phase, d. h. ohne Versprö dung. Vorzugsweise besteht auch der Bereich der Trennmembran und/oder des Sensor gehäuses, an welcher die Nichtmetall-Materialien der Nichtmetall-Verbundkonstruktion, also insbesondere die Keramikmaterialien des Distanzelements, angelötet sind, aus dem gleichen Material. Die Trennmembran ist dabei vorzugsweise ganzflächig mit der oben erwähnten Schutzschicht beschichtet, wobei die Verbundkonstruktion an das Sensorge häuse angelötet ist.

Als Lotmaterial dient bevorzugt - an allen Lötstellen - ein auf einer Silber-Legierung, einer Silber-Kupfer-Legierung oder einer Kupfer-Zinn-Legierung basierendes Aktivlot. Mit Ak tivlote werden die zum direkten Löten von Keramik-Keramik und Keramik-Metall-Verbin dungen verwendeten Lotmittel bezeichnet. Um eine gute Benetzung von Keramik-Werk stoffen zu erreichen, werden Aktivloten in der Regel Legierungselemente zugegeben, die an der Grenzfläche Lot-Keramik eine Reaktionsschicht bilden, durch die die Verbindung herbeigeführt wird. Vorzugsweise enthalten die hier eingesetzten Aktivlote Titan als akti ves Legierungselement. Als Lötatmosphären für das Aktivlöten können reines Argon oder, wie hier bevorzugt, Vakuum eingesetzt werden. Die Löttemperatur liegt oberhalb von 800°C und beträgt, wie oben bereits erwähnt, vorzugsweise 1.200°C.

Das Herstellverfahren läuft vorzugsweise derart ab, dass zunächst der Stößel aus Kera mik das Distanzelement aus Keramik mit einer Durchgangsöffnung für den Stößel, die Trennmembran aus Metall, und vorzugsweise in der oben erwähnten Weise beschichtet, ein Kraftmesselement, insbesondere gebildet mit oder aus Metall oder Keramik, und ein äußeres Sensorgehäuse bereitgestellt wird. Der durch die Durchgangsöffnung geführte Stößel wird zwischen Trennmembran und Kraftmesselement verspannt. Ein Ende des Distanzelements wird direkt oder indirekt an das Kraftmesselement angelötet und zwar durch Hartlöten und insbesondere durch Aktivlöten. Das gegenüberliegende Ende des Distanzelements wird an einem zur Anordnung in einem Brennraum einer Verbrennungs kraftmaschine ausgebildeten Boden des Sensorgehäuses, der eine durch die Trenn membran zu verschließende Öffnung enthält mittels Hartlöten, insbesondere Aktivlöten, angelötet. Die einzelnen Lötschritte können dabei je nach den durch die Gegebenheiten des Sensorgehäuses sich ergebenden Anforderungen in beliebiger Reihenfolge durch geführt werden. Vorzugsweise werden die Hartlötprozesse in einem Schritt innerhalb ei nes evakuierten Ofens durchgeführt, wobei die zueinander zu verlötenden Teile über aus Graphit gebildete Werkzeuge aufeinander ausgerichtet sind. Dabei können die einzelnen Teile entweder direkt aneinander gelötet werden oder indirekt unter Zwischenlage von Haftvermittlern, wie beispielsweise Kupfer-Plättchen.

Als Trennmembran wird bevorzugt eine Membran aus einem hochzähen Stahl oder einer Legierung (Stahl) mit hohem Nickelgehalt eingesetzt, der bzw. die bei 500°C bis 600°C noch gute maximale Spannungswerte liefert. Gut geeignet hierfür sind Chrom-Nickel-Le gierungen, beispielsweise solche wie sie zur Zeit unter dem Namen Nimonic 90 vertrieben werden. Um einen geringen Temperaturgang zu liefern, ist die Trennmembran relativ dünn ausgeführt und ist vorzugsweise ca. 0,3-0,5 mm dick. Bevorzugt wird zum Zu sammenbau des Sensors derart verfahren, dass der Stößel zunächst frei eingesetzt wird und lediglich zwischen der Trennmembran und dem Kraftmesselement vorgespannt wird. Dann wird die Trennmembran gemäß einer Ausführungsform mittels eines Lasers an das dem Brennraum zuzuwendende Ende des Distanzelementes oder einer Verlängerung derselben festgeschweißt, d. h. "geheftet".

Daraufhin erfolgt das Löten mittels zuvor an den Fügestellen in Form von Folien oder Pas ten zugegebener Lötmittel.

Das Sensorgehäuse kann, wie im einleitend genannten Stand der Technik gut bekannt, mehrteilig aufgebaut sein.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der hier beigefügten Fi guren näher erläutert. Darin zeigt:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen Drucksensor zur direkten, fortwährenden Druckmessung in Verbrennungsräumen eines Verbrennungsmotors (gemäß Schnitt I-I von Fig. 2);

Fig. 2 einen Schnitt durch den Drucksensor entlang der Linie II-II von Fig. 1;

Fig. 3 ein Diagramm des Druckverlaufes im Zylinder eines Verbrennungskraftmo tors aufgetragen über den Kurbelwellenwinkel; und

Fig. 4 ein Diagramm des Zylinderdruckes aufgetragen über das Volumen; und

Fig. 5 einen Teilschnitt durch einen dem Brennraum zuzuwendenden Bereich ei nes Drucksensors in einer gegenüber der Fig. 1 abgewandelten Ausfüh rungsform.

Der in den Fig. 1 und 2 sowie in leicht abgewandelter Form in Fig. 5 gezeigte Drucksensor 1 weist ein Sensoraußengehäuse 2 und eine darin untergebrachte Nichtmetall-Metall- Verbundkonstruktion 3 zur Entkoppelung einer Kraftmessung von dem Sensoraußenge häuse 2 und einer Trennmembran 4 auf.

Das Sensoraußengehäuse 2 weist an einem ersten Ende 5 ein Gewinde 6 zum Eindrehen des Drucksensors 1 in einen Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine (nicht darge stellt) und an einem zweiten Ende 7 einer Werkzeugeingriffsausbildung, hier in Form ei nes Sechskants 8, auf. Mittels des Sechskantes 8 kann der Drucksensor 1 durch Angriff beispielsweise eines Drehmomentschlüssels mit seinem Gewinde 6 in den Brennraum eingedreht werden.

Die Nichtmetall-Metall-Verbundkonstruktion 3 weist ein aus (temperaturbeständigen, schlecht wärmeleitenden) Nichtmetall gebildetes Distanzelement 9, einen aus (tempera turbeständigen, schlecht wärmeleitenden) Nichtmetall gebildeten Stößel 10, ein erstes Zwischenstück, hier in Form eines metallenen Ringes 11, ein zweites Zwischenstück 12, ebenfalls vorzugsweise aus Metall gebildet und ein Kraftmesselement 13 auf. Das Dis tanzelement 9 ist im Bereich des ersten Endes 5 an einen Boden 14 des aus Metall gebil deten Sensorgehäuses 5 befestigt. Aufgrund dieser Nichtmetall-Metall-Verbindung wird hier von einer Nichtmetall-Metall-Verbundkonstruktion 3 gesprochen.

In dem hier vorliegenden Ausführungsbeispiel ist das Distanzelement 9 durch eine aus Keramik gebildete Hülse oder ein Keramikröhrchen 15 gebildet. Dieses Keramikröhrchen 15 ist an dem Boden 14 mittels Hartlöten befestigt. Am anderen Ende des Keramikröhr chens 15 sitzt der Ring 11, der ebenfalls mittels Hartlöten befestigt ist. Auf dem Ring 11 sitzt das Kraftmesselement, hier in Form einer Messmembran aus (hochfestem) Stahl in Dünnschichttechnologie. Es sind auch andere Kraftmesselemente möglich, so zum Bei spiel auch Kraftmesselemente in Balkenform. In nicht dargestellten Ausführungsformen besteht das Kraftmesselement aus Keramik oder ist anstatt in Dünnschichttechnologie in Dickschichttechnologie aufgebaut. Das Kraftmesselement 13, also hier die Messmembran 16, weist dickere Befestigungsbereiche 17 und 18 und dünnere Zwischenbereiche 19 auf, an denen einen Verbiegung des Kraftmesselementes 13 in Richtung des Pfeiles P (axiale Richtung) ermöglicht ist. Dehnmessstreifen 20 sind zur Umwandlung einer solchen Ver biegung in ein elektrisches Signal vorgesehen. Außerdem ist bei der hier dargestellten Ausführungsform eine gedruckte Auswerteschaltung - insbesondere eine Brückenschal tung - an oder nahe des Kraftmesselementes 13 vorgesehen.

Eine Durchgangsöffnung 22 des Distanzelementes 9 wird durch den hier ebenfalls aus Keramik gebildeten Stößel 10 durchgriffen.

Am Gewinde 6 befindet sich innen eine mit Titan-Aluminium-Nitrit oder Titan-Aluminium- Nitrid beschichtete Trennmembran, die durch Drücke in dem Brennraum beaufschlagt wird. Deren Auslenkung wird über ein drittes Zwischenstück 23, den keramischen Stößel 10 und das zweite Zwischenstück 12 auf den inneren, auslenkbaren Bereich (2. Befesti gungsbereich 18) des Kraftmesselementes 13, d. h. hier der Messmembran 16 übertra gen. Auch die Verbindung des aus Keramik gebildeten Stößels 10 mit den Zwischenstü cken 12 und 23 erfolgt über Hartlot (gelötet bei ca. 1.200°C).

Der Stößel 10 ist - eventuell an seinen Enden mit den Zwischenstücken 12, 13 verlängert - sowohl auf dem Kraftmesselement 13 als auch auf der Trennmembran 4 quasi schwimmend gelagert. Die Zwischenstücke 12, 13 sind also an den Stößel 10, nicht aber an das Kraftmesselement 13 oder an die Trennmembran angelötet.

Die einzelnen Zwischenstücke 11, 12, 23 und auch ein in Fig. 1 zwischen Trennmembran 4 und Keramikröhrchen 15 angedeutete weiteres Zwischenstück 24 sind bei weiteren Ausführungsformen, wie beispielsweise in Fig. 5 gezeigt, auch entbehrlich. Das aus Nichtmetall, nämlich Keramik, gebildeten Distanzelement 9 ist dann direkt mit der Trenn membran 4 und dem Kraftmesselement 13 durch Hartlöten verbunden; der Stößel 9 liegt direkt einerseits auf der Trennmembran 4, andererseits auf dem Kraftmesselement 13 auf.

Zum Hartlöten wird ein Aktivlot auf Basis eines Silberlots, einer CuSnTi-Legierung oder einer Ag4Ti-Legierung basierendes Lot eingesetzt. Insbesondere bei letzterem wird, wenn der Kupferanteil nicht ausreicht, als Haftvermittler ein Kupferplättchen eingesetzt.

Die Verbundkonstruktion 3 wird im Vakuum (oder alternativ in Edelgasatmosphäre) hart gelötet. Dabei soll möglichst wenig Gefügeänderung auftreten. Aus diesem Grunde wer den angrenzend zu den Keramikmaterialien besondere Werkstoffe, d. h. insbesondere spezielle Stähle eingesetzt. Demgemäss bestehen die Zwischenstücke 11, 12 und 23, 24 aus blei- und schwefelarmem Stahl (z. B. 1.4571) ohne Sigma-Phase, d. h. ohne Ver sprödung. Durch das Hartlötverfahren bei ca 1.200°C ergibt sich ein integriertes Härten und eine hohe Festigkeit der Verbundkonstruktion 3. Das Sensorgehäuse 2 besteht eben falls aus einem solchen Stahl.

Die Trennmembran 4 besteht aus einem hochzähen Stahl, der bei 500°C bis 600°C noch gute maximale Spannungswerte hat, beispielsweise eine Chrom-Nickel-Legierung. Um die Temperaturabhängigkeit klein zu halten, soll die Trennmembran 4 möglichst dünn sein, typisch sind 0,3-0,5 mm Dicke. Als Beschichtung zum Schutz gegen Verzundung und Oxidation wird eine Oxidationsschutzschicht von 3-4 µm Dicke aus Titanium-Alumi nium-Nitrid (Multilayer-Schicht) aufgetragen.

Durch das Hartlöten müssen die einzelnen Elemente 4, 9, 10 und 13, die zur Kraftmes sung dienen, nicht durch weitere Maßnahmen zusammengespannt werden. Die Verwen dung der Keramik ermöglicht eine Trennung der Kraftmessung von dem Sensoraußenge häuse 2 und den im zu messenden Raum herrschenden hohen Temperaturen. Extra- Maßnahmen zur Kühlung wie zum Beispiel das Vorsehen von Kühlrippen sind entbehrlich. Dennoch ist der Drucksensor relativ kompakt aufbaubar (weniger als halb so groß wie die derzeit auf dem Markt befindlichen Drucksensoren). Das Keramikmaterial schafft eine Trennung von mindestens 25-30 mm, abhängig von den Keramikeigenschaften. Auch sind der Stößel 10 und das Röhrchen 15 mit geringem Spalt (weniger als 1 mm typi scherweise 0,1 mm) dazwischen angeordnet. Die Keramik beruht auf Zirkonoxyd-Materia lien und hält hohen Temperaturen auch über lange Betriebszeiten stand.

Zur Herstellung des Drucksensors 1 wird wie folgt verfahren:
Die Trenmembran 4 wird komplett mit der Oxidationsschicht beschichtet. Dies vermeidet Verzundung, erhöht die Lebensdauer und bietet einen Oxidationsschutz bei Arbeitstempe raturen bis 800°C bei einer Mikrohärte von 3000 Hv. Zum Hartlöten werden Aktivlote in Form von Folien oder Pasten auf die Trennfugen zwischen den zu lötenden Materialien aufgetragen. Die einzelnen Elemente werden mittels Graphitstangen oder entsprechen den graphitischen Rundstrukturen positioniert, die Trennmembran 4 wird mittels eines La sers auf die äußere Keramik, d. h. bei Fig. 1 auf eine durch das vierte Zwischenstück 24 erfolgte Verlängerung derselben festgeschweißt (geheftet).

Die Lötung erfolgt im Vakuum bei Temperaturen über 800-1000°C.

Der in Fig. 5 gezeigte Drucksensor 1 unterscheidet sich von dem Drucksensor gemäß Fig. 1 durch Weglassen der Zwischenstücke 12, 23 und 24. Die Trennmembran 4 ist di rekt auf die Keramik des Distanzelementes 9 aufgelötet.

Die hier beschriebenen Drucksensoren 1 sind für Druckmessungen bis zu 250 bar aus gelegt und werden zum Aufbau einer Vorrichtung zur Drucküberwachung in einem Brenn raum eines Verbrennungsmotors direkt in die Brennraumkammer eingeschraubt. Wesent liche Merkmale dieser Anwendung sind dabei hohe Temperaturbeständigkeit (bis zu 550°C Mitteltemperatur am Eingang), hohe Wechsellastfestigkeit (mindestens 20.000 Be triebsstunden) und ein hoher Frequenzgang (von über 30 KHz). Zum Einsatz kommen bei den hier beschriebenen Drucksensoren eine brennraumbündig eingebaute und be schichtete Trennmembran 4 sowie eine keramisch ausgeführte Distanzierung 9, 10 zu dem eigentlich messenden Druck- oder Kraftaufnehmer (hier: Kraifmesselement 13) aus Stahl oder Keramik in Dünnschichttechnologie oder Dickschichttechnologie.

Zur Produktion wird der Drucksensor 1 zunächst in der zuvor beschriebenen Weise me chanisch aufgebaut, dann im thermisch belasteten Zustand gegen einen Referenzsensor vermessen und die Abweichungen werden anschließend mit einer nachfolgenden Digital elektronik kompensiert. Als Ausgang einer aus dem Drucksensor und dessen Digital- und/oder Auswerteelektronik aufgebauten Vorrichtung zur fortwährenden Brennraum druckmessung im Betrieb einer Verbrennungskraftmaschine erhält man normierte elektro nische Ausgangssignale.

Mit einer solchen Vorrichtung lässt sich fortwährend der Druckverlauf im Zylinder eines Verbrennungskraftmotors wie beispielsweise eines Schiffsmotors messen. Diese Zylin derdruckmessung ist eine dynamische Druckmessung eines zyklisch pulsierenden heißen Gases und ist in den Fig. 3 und 4 schematisch dargestellt. Der Druck der Gassäule schwankt bei Diesel- und Gasmotoren für den Schiff- und Kraftwerksbetrieb zwischen 0 und 250 bar. Die mit den zuvor beschriebenen Drucksensoren und deren Auswerte elektronik mögliche "Online-Motorenüberwachung" wird vermutlich aus mehreren Grün den in Zukunft an Bedeutung gewinnen. Sie ermöglicht die Leistungsmessung in einem einzelnen Zylinder, kann zur Optimierung der Leistung und des Treibstoffverbrauches (ü ber die Begrenzung des Spitzendruckes und die Steuerung des Verbrennungszeit punktes) eingesetzt werden und detektiert darüber hinaus Ventilschäden, Druckverluste, Fehlzündungen sowie Klopfverhalten des Motors.

Bei Großmotoren finden sich zum Teil mehr als 16 Zylinder, somit werden bei einer On line-Drucküberwachungsvorrichtung pro Motor entsprechend 16 Online-Drucksensoren eingesetzt sowie per Elektronik mit entsprechender Software ausgewertet.

Normalerweise untersucht man bei einer Leistungsanalyse das Verhalten des Druckes P_Zyl aufgetragen über den Kurbelwellenwinkel °KW bzw. früher über das Volumen. In Fig. 3 und 4 ist dabei mit OT der obere Totpunkt und mit UT der untere Totpunkt bezeichnet. "P_Komp" bezeichnet den Kompessionsdruck "P_max" den Maximaldruck und ϕ (p_max) bezeich net den Winkel, bei dem dieser Maximaldruck auftritt. Die Leistung des Motors ergibt sich aus dem Integral über die Fläche der (theoretisch) geschlossenen Kurve.

Es sind somit ein Verfahren zur Herstellung von Drucksensorelementen, damit herge stellte Drucksensoren und mit letzteren versehene Drucküberwachungsvorrichtungen und Motoren beschrieben worden, die eine Druckerfassung in einem Motorenbrennraum er möglichen, und zwar über eine vom Sensoraußengehäuse 2 entkoppelte Kraftmessung in der Art, dass die Durchbiegung einer speziell beschichteten Trennmembran 4 auf einen Nichtmetall-Stößel einwirkt, dessen Bewegung wiederum mit einen Kraft- oder Druckauf nehmer 13 detektiert werden. Die Front- oder Trennmembran 4 wird vorzugsweise mit ei ner Titan-Aluminium-Nitrit-Legierung beschichtet. Die konstruktive Entkoppelung ge schieht über ein Metall-Nichtmetall-Hartlotverfahren, insbesondere ein Metall-Keramik-Ak tivlotverfahren.

Claims

1. Drucksensor (1) zur Druckerfassung in einem Brennraum einer Verbrennungs kraftmaschine während deren Betrieb, mit einem äußeren Sensorgehäuse (2), das an ei nem ersten, dem Brennraum zuzuwendenden Ende (5) durch eine druckaufnehmende Trennmembran (4) verschlossen ist und in dessen Inneren ein keramischer Stößel (10) und ein Kraftmesselement (13) untergebracht ist, wobei der keramische Stößel (10) Aus lenkungen der Trennmembran (4) auf das Kraftmesselement (13) überträgt, dadurch gekennzeichnet, dass das Kraftmesselement (13) an einem aus Keramik gebildeten, innerhalb des Sen sorgehäuses (2) befindlichen Distanzelement (9) zur Entkopplung der Kraftmessung von dem Sensorgehäuse (2) befestigt ist, das anderen Endes im Bereich des ersten Endes (5) des Sensorgehäuse (2) an diesem befestigt ist.

2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Distanzelement (9) eine Keramikhülse oder ein keramisches Röhrchen (15) mit einer Durchgangsöffnung (22) ist oder aufweist, durch die der Stößel (10) geführt ist.

3. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Distanzelement (9) durch Hartlöten direkt oder indirekt an das vorzugsweise aus Metall gebildete Sensoraußengehäuse (2) angelötet ist.

4. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das vorzugsweise aus Metall gebildete Kraftmesselement (13) oder ein vorzugs weise aus Metall gebildetes erstes Zwischenstück (11) zwischen dem Distanzelement (9) und dem Kraftmesselement (13) durch Hartlöten an das Distanzelement (9) angelötet ist.

5. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der keramische Stößel (10), insbesondere mit einer Vorspannung zwischen der In nenseite der Trennmembran (4) und dem Kraftmesselement (13) eingespannt oder ver klemmt ist.

6. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die dem zu messenden Medium zuzuwendende Seite der vorzugsweise aus Metall gebildeten Trennmembran (4) mit einer TiAINi-Mehrlageschutzschicht, mit Ti tan-Aluminium-Nitrit oder mit Titan-Aluminium-Nitrid beschichtet ist.

7. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Kraftmesselement (13) eine Messmembran (16) aus vorzugsweise hochfestem Stahl ist oder aufweist, die zwischen einem ersten, direkt oder indirekt an dem Distanz element (9) befestigten Befestigungsbereich (17) und einem zweiten, direkt oder indirekt an dem Stößel (10) angreifenden Befestigungsbereich (18) wenigstens einen gegenüber diesen Befestigungsbereichen (17, 18) dünner ausgeführten Zwischenbereich (19) auf weist, an dem eine Verbiegung der Messmembran (16) durch Einwirkung des Stößels (10) ermöglicht ist und der mit Dehnmessstreifen (20) zur Erfassung der Verbiegung ver sehen ist.

8. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorgehäuse (2) an dem ersten Ende (5) ein Gewinde (15) zum Einschrau ben in einen Motorzylinder und, vorzugsweise an dem gegenüberliegenden zweiten Ende (7), einen Werkzeugangriffsbereich aufweist, insbesondere einen Sechskant (8), über den der Drucksensor (1), insbesondere mit Hilfe eines Drehmomentschlüssels, zum Ein schrauben erfassbar ist.

9. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Sensorgehäuse (2) an dem ersten Ende (5) mit einem Bodenbereich (14) ver sehen ist, an welchem das Distanzelement (9) und die Trennmembran (4) befestigt ist.

10. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Kraftmesselement (13) über einen als ein erstes Zwischenstück eingesetzten Ring (11) an dem Distanzelement (9) indirekt befestigt ist und über ein zweites Zwischen stück (12) an dem der Trennmembran (4) abgewandten Ende des Stößels (10) indirekt angreift.

11. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an oder nahe dem Kraftmesselement (13) eine - vorzugsweise gedruckte - Aus werteschaltung (21), insbesondere Brückenschaltung, vorgesehen ist.

12. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der keramische Stößel (10) und/oder das keramische Distanzelement (9) zumindest über eine von der Trennmembran (4) zum Kraftmesselement (13) zu messende Länge von gleich oder mehr als 25-30 mm ausschließlich in Keramik ausgeführt ist.

13. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der keramische Stößel (10) und/oder das keramische Distanzelement (9) ganz oder teilweise unter Verwendung von Zirkonoxid-Materialien oder von Glaskeramik aufgebaut ist.

14. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Stößel (10) durch eine Durchgangsöffnung (22) durch das Distanzelement (9) derart hindurchgeführt ist, dass zwischen Stößel (10) und Distanzelement (9) nur ein ge ringer Spalt, vorzugsweise von weniger als 1 mm, insbesondere von weniger als 0,3-0,2 mm, verbleibt.

15. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennmembran (4) teilweise oder vorzugsweise vollständig mit einer Oxidations schutz-Oberflächenbeschichtung mit einer Dicke von ca. 2 bis 6 µm, vorzugsweise 3 bis 4 µm, einer Mikrohärte von 2000 bis 4000 Hv, vorzugsweise ca. 3000 Hv, und einer Tempe raturwiderstandsfähikeit bis ca. wenigstens 600°C, vorzugsweise bis 800°C, versehen ist.

16. Drucksensor (1), vorzugsweise nach einem der voranstehenden Ansprüche, zur Druckerfassung in einem Brennraum einer Verbrennungskraftmaschine während deren Betrieb, mit einem äußeren Sensorgehäuse (2), das an einem ersten, dem Brennraum zuzuwendenden Ende (5) durch eine druckaufnehmende Trennmembran (4) verschlossen ist und in dessen Inneren ein temperaturbeständiger, schlecht wärmeleitender Stößel (10) und ein Kraftmesselement (13) untergebracht ist, wobei der Stößel (10) Auslenkungen der Trennmembran (4) auf das Kraftmesselement (13) überträgt, dadurch gekennzeichnet, dass der Stößel (10) und das Kraifmesselement (13) Teile einer in dem Sensorgehäuse (2) untergebrachten hart- oder vakuumgelöteten Nichtmetall-Metall-Verbundkonstruktion (3) sind, die zur Entkopplung der Kraftmessung von dem Sensorgehäuse dient und ein Nichtmetall-Distanzelement (9) enthält, das zwischen dem die Trennmembran (4) aufwei senden Endbereich (5) des Sensorgehäuse (2) einerseits und dem Kraftmesselement (13) andererseits eingesetzt ist.

17. Drucksensor nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die an die Nichtmetalle angrenzenden Metallteile (11, 12, 23, 24) der Verbundkon struktion (3) und/oder an die Verbundkonstruktion (3) angelöteten Metallteile (14) des Drucksensors (1) aus blei- und schwefelarmen Stahl, insbesondere 1.4571-Stahl, ohne Sigma-Phase gebildet sind.

18. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Distanzelement (9) mittels eines Aktivlots an das Sensorgehäuse (2) bzw. die Trennmembran (4) und/oder an das Kraftmesselement (13) direkt oder indirekt angelötet ist.

19. Drucksensor nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivlot auf einer Silber-Legierung, einer Silber-Kupfer-Legierung oder einer Kupfer-Zinn-Legierung basiert und jeweils ein Legierungselement - insbesondere Titan -, das an der Grenzfläche Lot-Keramik eine Reaktionsschicht zum Herbeiführen der Lotver bindung bildet, enthält.

20. Drucksensor nach einem der Ansprüche 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktivlot CuSnTi, Silberlot, vorzugsweise cadmiumfreies Silberhartlot, oder/und Ag4Ti enthält.

21. Drucksensor nach einem der voranstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Keramik-Metall-Lotverbindung zum Verlöten des Dis tanzelements (9) enthaltend ein Lot mit einer Löttemperatur oberhalb von etwa 800°C.

22. Verfahren zum Herstellen eines Drucksensors (1) nach einem der voranstehenden Ansprüche, umfassend die Schritte:

a) Bereitstellen eines Stößels (10) aus Keramik, eines Distanzelements (9) aus Kera mik mit einer Durchgangsöffnung (22), einer Trennmembran (4) aus Metall, eines Kraftmesselements (13) aus Metall oder Keramik und eines äußeren Sensorge häuses (2) aus Metall,
b) Einsetzen des Stößels (10) in die Durchgangsöffnung (22),
c) direktes oder indirektes Hartlöten eines Endes des Distanzelements (9) an das Kraftmesselement (13), und
d) direktes oder indirektes Hartlöten des anderen, gegenüberliegenden Endes des Distanzelements (9) an den zur Anordnung in einem Brennraum einer Verbren nungskraftmaschine ausgebildeten Boden (14) des Sensorgehäuses (2),

wobei die Reihenfolge der Schritte b)-d) beliebig ist.

23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, dass der Stößel (10) direkt oder unter Verwendung von an die Stößelenden befestigten, insbesondere angelöteten Zwischenstücken (12, 23) schwimmend zwischen der Trenn membran (4) und dem Kraftmesselement (13) eingespannt wird.

24. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Hartföten bei einer Löttemperatur von über ca. 1000°C, vorzugsweise bei ca. 1200°C ± 100°C erfolgt.

25. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beim Hartlöten Kupfer-Plättchen zur Haftvermittlung und/oder zur gezielten Korrektur von Wärmeausdehnungen an den Fügeflächen verwendet werden.

26. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beim Hartlöten Graphitstäbe als Werkzeug eingesetzt werden.

27. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Materialien der durch das Hartlöten miteinander zu verbindenden Teile (2, 13, 4; 11, 24; 9) einerseits blei- und schwefelarmer Stahl, insbesondere ohne Sigma-Phase, d. h. ohne Versprödung, und andererseits auf Zirkoniumoxid-Materialien oder Glaskeramik ba sierende Keramiken eingesetzt werden.

28. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest der dem zu messenden Medium auszusetzende Oberflächenbereich der Trennmembran (4) mit einer Titan-Aluminium-Nitrid-Beschichtung von ca. 2-6 µm Dicke beschichtet wird.

29. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Drucksensor (1) nach seinem mechanischen Zusammenbau im thermisch be lasteten Zustand gegenüber einem Referenzsensor vermessen wird und Abweichungen anschließend mit einer dem Drucksensor (1) zugeordneten digitalen Elektronik kompen siert werden.

30. Vorrichtung zur Überwachung des Brennraumdruckes in einer Verbrennungs kraftmaschine, gekennzeichnet durch einen Drucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 21.

31. Verbrennungskraftmaschine gekennzeichnet durch einen Drucksensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 21 zur ständigen Brennraum drucküberwachung und/oder durch eine Vorrichtung nach Anspruch 30.