DE102023203331A1

DE102023203331A1 - Anzeigevorrichtung und verfahren zur herstellung einer anzeigevorrichtung

Info

Publication number: DE102023203331A1
Application number: DE102023203331.3A
Authority: DE
Inventors: Arichika Ishida
Original assignee: Japan Display Inc
Current assignee: Japan Display Inc
Priority date: 2022-05-10
Filing date: 2023-04-13
Publication date: 2023-11-16
Also published as: CN117042508A; JP2023166732A; US20230371314A1

Abstract

Eine Anzeigevorrichtung gemäß einer Ausführungsform umfasst eine untere.Elektrode, eine Rippe, die einen Abschnitt der unteren Elektrode bedeckt und eine Pixelöffnung aufweist, die die untere Elektrode überlagert, eine Trennwand, die auf der Rippe angeordnet ist und die Pixelöffnung umgibt, eine obere Elektrode, die der unteren Elektrode gegenüberliegt, und eine organische Schicht, die zwischen der unteren Elektrode und der oberen Elektrode angeordnet ist und entsprechend einer Potenzialdifferenz zwischen der unteren Elektrode und der oberen Elektrode leuchtet. Die Trennwand beinhaltet einen elektrisch leitfähigen unteren Abschnitt, der eine die Pixelöffnung umgebende ringförmige Seitenfläche aufweist, und einen oberen Abschnitt, der einen von der Seitenfläche vorspringenden ringförmigen Vorsprungabschnitt aufweist. Die obere Elektrode steht mit der Seitenfläche des unteren Abschnitts in Kontakt und der Vorsprungabschnitt weist über den gesamten Umfang hinweg eine konstante Breite auf.

Description

Querverweis auf verwandte Anmeldung
Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der am 10. Mai 2022 eingereichten japanischen Patentanmeldung Nr. 2022-077460 , deren vollständiger Inhalt hiermit in den vorliegenden Gegenstand mit einbezogen wird.
Gebiet
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung betrifft eine Anzeigevorrichtung und ein Herstellungsverfahren derselben.
Hintergrund
Seit einigen Jahren werden Anzeigevorrichtungen zur praktischen Anwendung gebracht, die als Anzeigeelemente organische Leuchtdioden (OLED) verwenden. Diese Anzeigeelemente umfassen eine untere Elektrode, eine organische Schicht, die die untere Elektrode bedeckt, und eine obere Elektrode, die die organische Schicht bedeckt.
Bei der Herstellung einer solchen Anzeigevorrichtung wird eine Technik benötigt, um eine Reduzierung der Zuverlässigkeit zu unterbinden.
Kurzbeschreibung der Figuren

1 ist eine Ansicht eines Ausgestaltungsbeispiels einer Anzeigevorrichtung gemäß einer Ausführungsform;
2 ist eine Ansicht, die ein Beispiel für ein Layout von Subpixeln zeigt;
3 ist eine schematische Schnittansicht der Anzeigevorrichtung an der Linie III-III aus 2;
4 ist eine Ansicht, die ein Beispiel einer Struktur zeigt, die auf eine Trennwand und deren Umgebung angewandt werden kann;
5 ist eine schematische Draufsicht, die die Form der Trennwand zeigt, die ein erstes Sübpixel umgibt;
6 ist eine schematische Draufsicht, die den Bereich eines Eckabschnitts der Trennwand in Vergrößerung zeigt;
7 ist eine schematische Schnittansicht eines Teils von Herstellungsschritten der Anzeigevorrichtung gemäß einer Ausführungsform;
8 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 7 zeigt;
9 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 8 zeigt;
10 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 9 zeigt;
11 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 10 zeigt;
12 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 11 zeigt;
13 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 12 zeigt;
14 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 13 zeigt;
15 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 14 zeigt;
16 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 15 zeigt;
17 ist eine schematische Schnittansicht, die einen Schritt im Anschluss an 16 zeigt; und
18 ist eine Ansicht eines Vergleichsbeispiels mit der Ausführungsform.

Detaillierte Beschreibung
Zusammengefasst umfasst eine Anzeigevorrichtung gemäß einer Ausführungsform eine untere Elektrode, eine Rippe, die einen Abschnitt der unteren Elektrode bedeckt und eine Pixelöffnung aufweist, die die untere Elektrode überlagert, eine Trennwand, die auf der Rippe angeordnet ist und die Pixelöffnung umgibt, eine obere Elektrode, die der unteren Elektrode gegenüberliegt, und eine organische Schicht, die zwischen der unteren Elektrode und der oberen Elektrode angeordnet ist und entsprechend einer Potenzialdifferenz zwischen der unteren Elektrode und der oberen Elektrode leuchtet. Die Trennwand beinhaltet einen elektrisch leitfähigen unteren Abschnitt, der eine die Pixelöffnung umgebende ringförmige Seitenfläche aufweist, und einen oberen Abschnitt, der einen von der Seitenfläche vorspringenden ringförmigen Vorsprungabschnitt aufweist. Die obere Elektrode steht mit der Seitenfläche des unteren Abschnitts in Kontakt und der Vorsprungabschnitt weist über den gesamten Umfang hinweg eine konstante Breite auf.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst ein Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung Bilden einer unteren Elektrode über einer Leiterplatte, Bilden einer Rippe, die wenigstens einen Abschnitt der unteren Elektrode bedeckt, Bilden einer Metallschicht als Grundlage des unteren Abschnitts der Trennwand auf der Rippe, Bilden einer Dünnschicht als Grundlage des oberen Abschnitts der Trennwand auf der Metallschicht, Bilden eines Resists auf der Dünnschicht, Bilden des oberen Abschnitts durch Entfernen des aus dem Resist freiliegenden Teils der Dünnschicht mittels Ätzen, und Bilden des unteren Abschnitts und des Vorsprungabschnitts, der über den gesamten Umfang hinweg eine konstante Breite aufweist, durch Entfernen des aus dem Resist freiliegenden Teils der Metallschicht mittels Ätzen und Reduzieren der Breite des unterhalb des Resists gelegenen Teils der Metallschicht.
Gemäß der Ausführungsform können eine Anzeigevorrichtung, mit der eine Erhöhung der Zuverlässigkeit möglich ist, und ein Verfahren zum Herstellen derselben bereitgestellt werden.
Im Folgenden wird unter Bezugnahme auf die Figuren eine Ausführungsform beschrieben.
Die Offenbarung ist lediglich beispielhaft, und nach Bedarf vorgenommene Änderungen durch den Fachmann unter Wahrung des Wesens der Erfindung, zu denen dieser ohne Weiteres gelangt, sind selbstverständlich ebenfalls im Umfang der Erfindung eingeschlossen. Die Figuren dienen zur Verdeutlichung der Beschreibung, und ihre einzelnen Bestandteile stellen Breite, Dicke, Form und dergleichen im Vergleich zu einer tatsächlichen Ausführung auf schematische Weise dar, weshalb sie lediglich beispielhaft sind und die Auslegung der vorliegenden Erfindung nicht einschränken sollen. In der vorliegenden Beschreibung und den Figuren sind bereits anhand einer anderen Figur erwähnte Elemente, die eine identische oder gleichartige Funktion erfüllen, mit gleichen Bezugszeichen versehen, auf deren erneute ausführliche Beschreibung entsprechend verzichtet werden kann.
In den Figuren sind bei Bedarf zum leichteren Verständnis eine X-Achse, Y-Achse und Z-Achse angegeben, die zueinander orthogonal sind. Die Richtung entlang der X-Achse wird als erste Richtung X bezeichnet, die Richtung entlang der Y-Achse wird als zweite Richtung Y bezeichnet und die Richtung entlang der Z-Achse wird als dritte Richtung Z bezeichnet. Das Betrachten der einzelnen Elemente parallel zur dritten Richtung Z bedeutet das Betrachten in Draufsicht. Wenn davon die Rede ist, dass „ein Element auf einem anderen Element ist“, „ein Element über einem anderen Element ist“ oder „ein Element einem anderen Element zugewandt ist“, so können Begriffe wie „auf“, „über“ und „zugewandt“, die das Positionsverhältnis zwischen zwei oder mehr Elementen angeben, nicht nur den Fall einschließen, dass die betreffenden zwei oder mehr Elemente einander unmittelbar berühren, sondern auch den Fall, dass zwischen den Elementen ein Spalt oder ein weiteres Element vorhanden ist.
Eine Anzeigevorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist eine organische Elektrolumineszenzanzeigevorrichtung (EL), die als Anzeigeelemente organische Leuchtdioden (OLED) umfasst, und kann in Fernsehgeräten, PCs, bordeigenen Fahrzeuggeräten, Tablet-Endgeräten, Smartphones Mobiltelefonen und dergleichen installiert werden.
1 ist eine Ansicht eines Ausgestaltungsbeispiels der Anzeigevorrichtung DSP der vorliegenden Ausführungsform. Die Anzeigevorrichtung DSP weist auf einem isolierenden Träger 10 einen Anzeigebereich DA, in dem Bilder angezeigt werden, und einen Nichtanzeigebereich SA um den Anzeigebereich DA herum auf. Bei dem Träger 10 kann es sich um Glas oder um eine biegsame Kunststofffolie handeln.
In der vorliegenden Ausführungsform ist der Träger 10 in Draufsicht rechteckig. Allerdings ist die Form des Trägers 10 in Draufsicht nicht auf eine Rechteckform beschränkt und kann auch eine andere Form wie ein Quadrat, ein Kreis oder ein Oval sein.
Der Anzeigebereich DA umfasst in der ersten Richtung X und der zweiten Richtung Y matrixartig aufgereihte Pixel PX. Die Pixel PX beinhalten mehrere Subpixel SP. In einem Beispiel beinhalten die Pixel PX rote erste Subpixel SP1, grüne zweite Subpixel SP2 und blaue dritte Subpixel SP3. Die Pixel PX können zusammen mit den Subpixeln SP1, SP2, SP3 oder anstelle von beliebigen der Subpixel SP1, SP2, SP3 auch Subpixel SP einer anderen Farbe wie Weiß oder dergleichen beinhalten. Die Anzahl der Subpixel SP, die ein einzelnes Pixel PX ausbilden, kann zwei oder weniger betragen.
Die Subpixel SP umfassen eine Pixelschaltung 1 und ein durch die Pixelschaltung 1 angesteuertes Anzeigeelement DE. Die Pixelschaltung 1 umfasst einen Pixelschalter 2, einen Ansteuerungstransistor 3 und einen Kondensator 4. Der Pixelschalter 2 und der Ansteuerungstransistor 3 sind Schaltelemente, die beispielsweise durch Dünnschichttransistoren ausgebildet sind.
Eine Gate-Elektrode des Pixelschalters 2 ist mit einer Abtastleitung GL verbunden. Eine von einer Source-Elektrode und einer Drain-Elektrode des Pixelschalters 2 ist mit einer Signalleitung SL verbunden und die andere ist mit einer Gate-Elektrode des Ansteuerungstransistors 3 und dem Kondensator 4 verbunden. Bei dem Ansteuerungstransistor 3 ist die eine von einer Source-Elektrode und einer Drain-' Elektrode mit einer Stromversorgungsleitung PL und dem Kondensator 4 verbunden, und die andere ist mit dem Anzeigeelement DE verbunden. Bei dem Anzeigeelement DE handelt es sich um eine als Leuchtelement dienende organische Leuchtdiode. (OLED).
Die Ausgestaltung der Pixelschaltung 1 ist nicht auf das gezeigte Beispiel beschränkt. Beispielsweise kann.die Pixelschaltung 1 eine größere Anzahl von Dünnfilmtransistoren und Kondensatoren umfassen.
2 ist eine Ansicht, die ein Beispiel für ein Layout der Subpixel SP1, SP2, SP3 zeigt. Im Beispiel aus 2 sind das erste Subpixel SP1 und das dritte Subpixel SP3 in der ersten Richtung X aufgereiht. Das zweite Subpixel SP2 und das dritte Subpixel SP3 sind ebenfalls in der ersten Richtung Y aufgereiht. Auch sind das erste Subpixel SP1 und das zweite Subpixel SP2 in der zweiten Richtung Y aufgereiht.
Bei einem derartigen Layout der Subpixel SP1, SP2, SP3 sind im Anzeigebereich DA eine Reihe, in der die Subpixel SP1, SP2 in der zweiten Richtung Y wechselweise angeordnet sind, und eine Reihe gebildet, in der mehrere dritte Subpixel SP3 wiederholt in der zweiten Richtung Y angeordnet sind. Diese Reihen sind in der ersten Richtung X wechselweise aufgereiht.
Das Layout der Subpixel SP1, SP2, SP3 ist nicht auf das Beispiel in 2 beschränkt. Als ein weiteres Beispiel können die Subpixel SP1, SP2, SP3 in den einzelnen Pixeln PX der Reihe nach in der ersten Richtung X aufgereiht sein.
Im Anzeigebereich DA sind eine Rippe 5 und eine Trennwand 6 angeordnet. Die Rippe 5 weist am ersten Subpixel SP1 eine erste Pixelöffnung AP1, am zweiten Subpixel SP2 eine zweite Pixelöffnung AP2 und am dritten Subpixel SP3 eine dritte Pixelöffnung AP3 auf. Im Beispiel aus 2 ist die zweite Pixelöffnung AP2 größer als die erste Pixelöffnung AP1, und die dritte Pixelöffnung AP3 ist größer als die zweite Pixelöffnung AP2.
Die Trennwand 6 ist an einer Grenze zwischen benachbarten Subpixeln SP angeordnet und überlagert die Rippe 5 in Draufsicht. Die Trennwand weist mehrere sich in der ersten Richtung X erstreckende erste Trennwände 6x und mehrere sich in der zweiten Richtung Y erstreckende zweite Trennwände 6y auf. Die mehreren ersten Trennwände 6x sind jeweils zwischen in der zweiten Richtung Y benachbarten Pixelöffnungen AP1, AP2 und zwischen zwei in der zweiten Richtung Y benachbarten dritten Pixelöffnungen AP3 angeordnet. Die zweiten Trennwände 6y sind jeweils zwischen in der ersten Richtung X benachbarten Pixelöffnungen AP1, AP3 und zwischen in der ersten Richtung X benachbarten Pixelöffnungen AP2, AP3 angeordnet.
Im Beispiel aus 2 sind die ersten Trennwände 6x und die zweiten Trennwände 6y miteinander verbunden. Auf diese Weise ist die Trennwand 6 insgesamt eine Gitterform, welche die Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 umgibt. Es ist auch möglich, dass die Trennwand 6 ebenso wie die Rippe 5 an den Subpixeln SP1, SP2, SP3 Öffnungen aufweist.
Das erste Subpixel SP1 umfasst eine erste untere Elektrode LE1, eine erste obere Elektrode UE1 und eine erste organische Schicht OR1, die jeweils die erste Pixelöffnung AP1 überlagern. Das zweite Subpixel SP2 umfasst eine zweite untere Elektrode LE2, eine zweite obere Elektrode UE2 und eine zweite organische Schicht OR2, die jeweils die zweite Pixelöffnung AP2 überlagern. Das dritte Subpixel SP3 umfasst eine dritte untere Elektrode LE3, eine dritte obere Elektrode UE3 und eine dritte organische Schicht OR3, die jeweils die dritte Pixelöffnung AP3 überlagern.
Die erste untere Elektrode LE1, die erste obere Elektrode UE1 und die erste organische Schicht OR1 bilden das erste Anzeigeelement DE1 des ersten Subpixels SP1 aus. Die zweite untere Elektrode LE2, die zweite obere Elektrode UE2 und die zweite organische Schicht OR2 bilden das zweite Anzeigeelement DE2 des zweiten Subpixels SP2 aus. Die dritte untere Elektrode LE3, die dritte obere Elektrode UE3 und die dritte organische Schicht OR3 bilden das dritte Anzeigeelement DE3 des dritten Subpixels SP3 aus. Die Anzeigeelemente DE1, DE2, DE3 können eine nachstehend beschriebene Deckschicht beinhalten.
Die erste untere Elektrode LE1 ist durch ein erstes Kontaktloch CH1 mit der Pixelschaltung 1 des ersten Subpixels SP1 (siehe 1) verbunden. Die zweite untere Elektrode LE2 ist durch ein zweites Kontaktloch CH2 mit der Pixelschaltung 1 des zweiten Subpixels SP2 verbunden. Die dritte untere Elektrode LE3 ist durch ein drittes Kontaktloch CH3 mit der Pixelschaltung 1 des dritten Subpixels SP3 verbunden.
In dem Beispiel aus 2 überlagern die Kontaktlöcher CH1, CH2 insgesamt die ersten Trennwände 6x zwischen in der zweiten Richtung Y benachbarten Pixelöffnungen AP1, AP2. Das dritte Kontaktloch CH3 überlagert insgesamt die ersten Trennwände 6x zwischen zwei in der zweiten Richtung Y benachbarten dritten Pixelöffnung AP3. Als weiteres Beispiel kann wenigstens ein Abschnitt der Kontaktlöcher CH1, CH2, CH3 die ersten Trennwände 6x nicht überlagern.
3 ist eine schematische Schnittansicht der Anzeigevorrichtung DSP an der Linie III-III aus 2. Auf dem Träger 10 ist eine Schaltungsschicht 11 angeordnet. Die Schaltungsschicht 11 beinhaltet verschiedene Schaltungen und Leiterbahnen wie etwa die Pixelschaltung 1 aus 1, die Abtastleitung GL, die Signalleitung SL und die Stromversorgungsleitung PL.
Die Schaltungsschicht 11 ist mit einer organischen Isolationsschicht 12 bedeckt. Die organische Isolationsschicht 12 dient als eine Abflachungsschicht, die durch die Schaltungsschicht 11 erzeugte Unebenheiten abflacht. Obwohl in dem Schnitt von 3 nicht dargestellt, sind die Kontaktlöcher CH1, CH2, CH3 allesamt an der organischen Isolationsschicht 12 bereitgestellt.
Die unteren Elektroden LE1, LE2 LE3 sind auf der organischen Isolationsschicht 12 angeordnet. Die Rippe 5 ist auf der organischen Isolationsschicht 12 und den unteren Elektroden LE1, LE2, LE3 angeordnet und weist die Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 auf. Ein Abschnitt der unteren Elektroden LE1, LE2, LE3 ist durch die Rippe 5 bedeckt.
Die Trennwand 6 beinhaltet einen elektrische Leitfähigkeit aufweisenden unteren Abschnitt 61, der auf der Rippe 5 angeordnet ist, und einen oberen Abschnitt 62, der auf dem unteren Abschnitt 61 angeordnet ist. Der obere Abschnitt 62 weist eine größere Breite als der untere Abschnitt 61 auf. Dadurch springen in 3 die beiden Endabschnitte des oberen Abschnitts 62 an den Seitenflächen des unteren Abschnitts 61 vor. Somit kann die Form der Trennwand 6 als Überhangform bezeichnet werden.
Die erste organische Schicht OR1 bedeckt die erste untere Elektrode LE1. Die erste obere Elektrode UE1 bedeckt die erste organische Schicht OR1 und liegt der ersten unteren Elektrode LE1 gegenüber. Die zweite organische Schicht OR2 bedeckt die zweite untere Elektrode LE2. Die zweite obere Elektrode UE2 bedeckt die zweite organische Schicht OR2 und liegt der zweiten unteren Elektrode LE2 gegenüber. Die dritte organische Schicht OR3 bedeckt die dritte untere Elektrode LE3. Die dritte obere Elektrode UE3 bedeckt die dritte organische Schicht OR3 und liegt der dritten unteren Elektrode LE3 gegenüber.
Im Beispiel aus 3 ist eine erste Deckschicht CP1 auf der ersten oberen Elektrode UE1 angeordnet, eine zweite Deckschicht CP2 auf der zweiten oberen Elektrode UE2 angeordnet und eine, dritte Deckschicht CP3 auf der dritten oberen Elektrode UE3 angeordnet. Die Deckschichten CP1, CP2, CP3 passen jeweils die optischen Eigenschaften des durch die organischen Schichten OR1, OR2, OR3 erzeugten Lichts an.
Ein Abschnitt der ersten organischen Schicht OR1, der ersten oberen Elektrode UE1 und der ersten Deckschicht CP1 ist auf dem oberen Abschnitt 62 gelegen. Dieser Abschnitt ist von den übrigen Teilen der ersten organischen Schicht OR1, der ersten oberen Elektrode UE1 und der ersten Deckschicht CP1 entfernt. Ebenso ist ein Abschnitt der zweiten organischen Schicht OR2, der zweiten oberen Elektrode UE2 und der zweiten Deckschicht CP2 auf dem oberen Abschnitt 62 gelegen, und dieser Abschnitt ist von den übrigen Teilen derzweiten organischen Schicht OR2, der zweiten oberen Elektrode UE2 und der zweiten Deckschicht CP2 entfernt. Auch ist ein Abschnittder dritten organischen Schicht OR3, der dritten oberen Elektrode UE3 und der dritten Deckschicht CP3 auf dem oberen Abschnitt 62 gelegen, und dieser Abschnitt ist von den übrigen Teilen der dritten organischen Schicht OR3, der dritten oberen Elektrode UE3 und der dritten Deckschicht CP3 entfernt.
Am ersten Subpixel SP1 ist eine erste Abdichtungsschicht SE1 angeordnet, am zweiten Subpixel SP2 ist eine zweite Abdichtungsschicht SE2 angeordnet und am dritten Subpixel SP3 ist eine dritte Abdichtungsschicht SE3 angeordnet. Die erste Abdichtungsschicht SE1 deckt die Trennwand 6 um die erste Deckschicht CP1 und das erste Subpixel SP1 kontinuierlich ab. Die zweite Abdichtungsschicht SE2 deckt die Trennwand 6 um die zweite Deckschicht CP2 und das zweite Subpixel SP2 kontinuierlich ab. Die dritte Abdichtungsschicht SE3 deckt die Trennwand 6 um die dritte Deckschicht CP3 und das dritte Subpixel SP3 kontinuierlich ab.
Ein Endabschnitt der Abdichtungsschichten SE1, SE2, SE3 (Umfangsrandabschnitt) ist auf dem oberen Abschnitt 62 gelegen. In dem Beispiel von 3 sind die auf dem oberen Abschnitt 62 der linken Trennwand 6 gelegene erste organische Schicht OR1, erste obere Elektrode UE1, erste Deckschicht CP1 und erste Abdichtungsschicht SE1 von der auf dem oberen Abschnitt 62 gelegenen dritten organischen Schicht OR3, dritten oberen Elektrode UE3, dritten Deckschicht CP3 und dritten Abdichtungsschicht SE3 entfernt. Außerdem sind die auf dem oberen Abschnitt 62 der rechten Trennwand 6 gelegene zweite organische Schicht OR2, zweite obere Elektrode UE2, zweite Deckschicht CP2 und zweite Abdichtungsschicht SE2 von der auf dem oberen Abschnitt 62 gelegenen dritten organischen Schicht OR3, dritten oberen Elektrode UE3, dritten Deckschicht CP3 und dritten Abdichtungsschicht SE3 entfernt.
Die Abdichtungsschichten SE1, SE2, SE3 sind durch eine Kunststoffschicht 13 bedeckt. Die Kunststoffschicht 13 ist durch einer Abdichtungsschicht 14 bedeckt. Darüber hinaus ist die Abdichtungsschicht 14 durch eine Kunststoffschicht 15 bedeckt.
Die organische Isolationsschicht 12 und die Kunststoffschichten 13, 15 sind aus einem organischen Material gebildet. Die Rippe 5 und die Abdichtungsschichten 14, SE1, SE2, SE3 sind beispielsweise aus einem anorganischen Material wie Siliziumnitrid (SiN), Siliziumoxid (SiO), Siliziumoxynitrid (SiON) oder dergleichen gebildet.
Die unteren Elektroden LE1, LE2, LE3 weisen beispielsweise eine aus Silber (Ag) gebildete Zwischenschicht und ein Paar leitfähige Oxidationsschichten auf, die jeweils die obere Fläche und die untere Fläche der Zwischenschicht bedecken.
Die leitfähigen Oxidationsschichten können jeweils aus einem transparenten elektrisch leitfähigen Oxid wie beispielsweise ITO (Indiumzinnoxid), IZO (Indiumzinkoxid) , IGZO (Indiumgalliumzinkoxid) oder dergleichen gebildet sein.
Die oberen Elektroden UE1, UE2, UE3 sind aus einem Metallmaterial wie beispielsweise einer Legierung aus Magnesium und Silber (MgAg) gebildet. Die unteren Elektroden LE1, LE2, LE3 entsprechen einer Anode und die oberen Elektroden UE1, UE2, UE3 entsprechen eine Kathode.
Die organischen Schichten OR1, OR2, OR3 beinhalten mehrere Funktionsschichten und eine Leuchtschicht. Die organischen Schichten OR1, OR2, OR3 weisen beispielsweise eine Struktur auf, in der eine Lochinjektionsschicht, eine Lochleitungsschicht, eine Elektronenblockierschicht, eine Leuchtschicht, eine Löchblockierschicht, eine Elektronenleitungsschicht und eine Elektroneninjektionsschicht übereinander geschichtet sind. Die Ausgestaltung der organischen Schichten OR1, OR2, OR3 ist nicht auf dieses Beispiel beschränkt, und beliebige der oben beschriebenen Funktionsschichten können wegfallen, oder es können weitere Funktionsschichten ergänzt werden.
Die Deckschichten CP1, CP2, CP3 können beispielsweise als mehrschichtige Körper mit mehreren transparenten Dünnschichten gebildet sein. Der mehrschichtige Körper kann als die mehreren Dünnschichten aus einem anorganischen Material gebildete Dünnschichten und aus einem organischen Material gebildete Dünnschichten beinhalten. Diese mehreren Dünnschichten weisen unterschiedliche Brechungszahlen auf. Das Material der den mehrschichtigen Körper ausbildenden Dünnschichten ist von dem Material der oberen Elektroden UE1, UE2, UE3 verschieden und ist von dem Material der Abdichtungsschichten SE1, SE2, SE3 verschieden. Wenigstens eine der Deckschichten CP1, CP2, CP3 kann wegfallen.
An die Trennwand 6 wird eine gemeinsame Spannung angelegt. Die gemeinsame Spannung wird jeweils an die oberen Elektroden UE1, UE2, UE3 angelegt, die mit der Seitenfläche des unteren Abschnitts 61 in Kontakt stehen. An die unteren Elektroden LE1, LE2, LE3 wird über die jeweilige Pixelschaltung 1 der Subpixel SP1, SP2, SP3 eine Pixelspannung angelegt.
Wenn sich eine Potenzialdifferenz zwischen der ersten unteren Elektrode LE1 und der ersten oberen Elektrode UE1 ergibt, strahlt die Leuchtschicht der ersten organischen Schicht OR1 Licht im roten Wellenlängenbereich ab. Wenn sich eine Potenzialdifferenz zwischen der zweiten unteren Elektrode LE2 und der zweiten oberen Elektrode UE2 ergibt, strahlt die Leuchtschicht der ersten organischen Schicht OR2 Licht im grünen Wellenlängenbereich ab. Wenn sich eine Potenzialdifferenz.zwischen der dritten unteren Elektrode LE3 und der dritten oberen Elektrode UE3 ergibt, strahlt die Leuchtschicht der ersten organischen Schicht OR3 Licht im blauen Wellenlängenbereich ab.
4 zeigt ein Beispiel einer Struktur, die auf die Trennwand 6 und ihre Umgebung angewandt werden kann. In dieser Ansicht ist der Teil der Trennwand 6 gezeigt, der zu dem ersten Subpixel SP1 benachbart ist, doch kann eine gleichartige Ausgestaltung auch auf die Teile der Trennwand 6 angewandt werden, die zu den Subpixeln SP2, SP3 benachbart sind.
Im Beispiel aus 4 weist der untere Abschnitt 61 der Trennwand 6 eine die Rippe 5 bedeckende erste Metallschicht 611 und eine auf der ersten Metallschicht 611 angeordnete zweite Metallschicht 612 auf. Die zweite Metallschicht 612 ist ausreichend dicker als die erste Metallschicht 611 gebildet.
Beispielsweise ist die erste Metallschicht 611 aus Molybdän (Mo) gebildet und die zweite Metallschicht 612 aus Aluminium (Al) gebildet. Als weiteres Beispiel kann die zweite Metallschicht 612 auch aus einer Aluminiumlegierung wie Aluminium-Neodym (AlNd) gebildet sein oder eine geschichtete Struktur aus Aluminium und einer Aluminiumlegierung aufweisen. Die erste Metallschicht 611 kann auch eine Einzelschicht aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung aufweisen.
Im Beispiel von 4 weist der obere Abschnitt 62 der Trennwand 6 eine auf dem unteren Abschnitt 61 angeordnete erste Dünnschicht 621 und eine die erste Dünnschicht 621 bedeckende zweite Dünnschicht 622 auf. Diese Dünnschichten 621, 622 sind dünner als der untere Abschnitt 61 gebildet. Die Dicke des oberen Abschnitts 62 mit den Dünnschichten 621, 622 zusammengenommen beträgt beispielsweise 1/3 oder weniger der Dicke des unteren Abschnitt 61, und vorzugsweise1/4 oder weniger. Als konkretes Beispiel beträgt die Dicke des unteren Abschnitts 61 etwa 1000 nm und die Dicke des oberen Abschnitts 62 100-200 nm.
Die erste Dünnschicht 621 ist beispielsweise aus einem Metallmaterial wie Titan (Ti) oder dergleichen gebildet, und die zweite Dünnschicht 622 ist aus einem elektrisch leitfähigen Oxid wie ITO, IZO, IGZO oder dergleichen gebildet. Als weiteres Beispiel kann der obere Abschnitt 62 eine Einzelschichtstruktur aus einem Metallmaterial wie Titan oder dergleichen aufweisen. Der obere Abschnitt 62 kann eine Einzelschichtstruktur aus einem anorganischen Material wie Siliziumoxid aufweisen.
Der untere Abschnitt 61 weist eine Seitenfläche SF auf. In dem Beispiel aus 4 ist die Seitenfläche SF im Wesentlichen parallel zur dritten Richtung Z. Als weiteres Beispiel kann die Seitenfläche SF in Bezug auf die dritte Richtung geneigt sein, derart, dass der untere Abschnitt 61 dünner wird.
Die erste obere Elektrode UE1, die das erste Anzeigeelement DE1 ausbildet, steht mit wenigstens einem Abschnitt der Seitenfläche SF in Kontakt. Die erste organische Schicht OR1, die das erste Anzeigeelement DE1 ausbildet, steht nicht mit der Seitenfläche SF in Kontakt und ist vollständig durch die erste obere Elektrode UE1 bedeckt. Die erste Deckschicht CP1 kann, wie in 4 gezeigt, nicht mit der Seitenfläche SF in Kontakt stehen, oder kann mit der Seitenfläche SF in Kontakt stehen.
Beispielsweise ist ein Endabschnitt der ersten unteren Elektrode LE1 unterhalb des unteren Abschnitts 61 gelegen. Aufgrund dessen ist in 4 eine auf die erste untere Elektrode LE1 zurückgehende Stufe der Rippe 5 durch den unteren Abschnitt 61 bedeckt.
Der obere Abschnitt 62 weist einen Vorsprungabschnitt PT auf, der von der Seitenfläche SF in Breitenrichtung der Trennwand 6 (Richtung orthogonal zur dritten Richtung Z) vorspringt. Der obere Abschnitt 62 weist eine obere Fläche UF und eine untere Fläche BF des Vorsprungabschnitts PT auf.
An der oberen Fläche UF ist ein Abschnitt der ersten organischen Schicht OR1, der ersten oberen Elektrode UE1 und der ersten Deckschicht CP1 angeordnet. Die erste Abdichtungsschicht SE1 deckt fortlaufend einen Abschnitt der ersten Anzeigeelement DE1, der Seitenfläche SF, des Vorsprungabschnitts PT (untere Fläche BF), der auf dem Vorsprungabschnitt PT angeordneten ersten organische Schicht OR1, der ersten oberen Elektrode UE1 und der ersten Deckschicht CP1 ab.
Im Folgenden wird der Teil der oberen Fläche UF, der durch die erste organische Schicht OR1, die erste obere Elektrode UE1 und die erste Deckschicht CP1 bedeckt ist, als bedeckter Bereich CR bezeichnet. Wie in 3 gezeigt, beinhaltet die obere Fläche UF den Teil, der von keiner der organischen Schichten OR1, OR2, OR3, der oberen Elektroden UE1, UE2, UE3, der Deckschichten CP1, CP2, CP3 und der Abdichtungsschichten SE1, SE2, SE3 bedeckt ist.
Im Beispiel aus 4 ist an dem Vorsprungabschnitt PT die gesamte obere Fläche UF in dem bedeckten Bereich CR enthalten. Eine Breite W1 des Vorsprungabschnitts PT ist kleiner als eine Breite W2 des bedeckten Bereichs CR. Als weiteres Beispiel kann die Breite W1 größer als die Breite W2 sein. Die Breite W1 entspricht einer Länge der Trennwand 6 in Breitenrichtung von der Seitenfläche SF bis zu einem Endabschnitt EP des Vorsprungabschnitts PT.
5 ist eine schematische Draufsicht, die die Form der das erste Subpixel SP1 umgebenden Trennwand 6 veranschaulicht. In dem Beispiel aus 5 sind die erste Pixelöffnung AP1 und ein Innenumfangsabschnitt IF der die erste Pixelöffnung AP1 umgebenden Trennwand 6 rechteckig.
Der Innenumfangsabschnitt IF weist somit vier erste Geradenabschnitte L1 und vier erste Eckabschnitte C1 auf, die je zwei benachbarte erste Geradenabschnitte L1 miteinander verbinden. Die erste Pixelöffnung AP1 weist außerdem vier zweite Geradenabschnitte L2, die zu den vier ersten Geradenabschnitten L1 parallel sind, und vier zweite Eckabschnitte C2 auf, die je zwei benachbarte zweite Geradenabschnitte L2 miteinander verbinden. Der Innenumfangsabschnitt IF und die erste Pixelöffnung AP1 sind dabei nicht auf eine Rechteckform beschränkt.
Der Innenumfangsabschnitt IF beinhaltet die Seitenfläche SF aus 4 und den Endabschnitt EP. Die Form der Seitenfläche SF und des Endabschnitts EP in Draufsicht ist jeweils eine die erste Pixelöffnung AP1 umgebende Ringform. In 5 entspricht ein Teil zwischen der Seitenfläche SF und dem Endabschnitt EP dem Vorsprungabschnitt PT. Auch die Form des Vorsprungabschnitts PT in Draufsicht ist eine die erste Pixelöffnung AP1 umgebende Ringform.
Der in 5 mit schrägen Linien versehene Teil entspricht dem bedeckten Bereich CR. Die Form des bedeckten Bereichs CR in Draufsicht ist eine die erste Pixelöffnung AP1 umgebende Ringform. Im Beispiel aus 5 überlagert der bedeckte Bereich CR den Vorsprungabschnitt PT vollständig.
6 ist eine schematische Draufsicht, die den Bereich des ersten Eckabschnitts C1 in Vergrößerung zeigt. Die Seitenfläche SF erstreckt sich an dem ersten Geradenabschnitt L1 parallel zur ersten Richtung X oder zweiten Richtung Y und erstreckt sich am ersten Eckabschnitt C1 kreisbogenförmig. Ebenso erstreckt sich der Endabschnitt EP des Vorsprungabschnitts PT an dem ersten Geradenabschnitt L1 parallel zur ersten Richtung X oder zweiten Richtung Y und erstreckt sich am ersten Eckabschnitt C1 kreisbogenförmig.
In der vorliegenden Ausführungsform ist die Breite W1 des Vorsprungabschnitts PT über den gesamten Umfang des Vorsprungabschnitts PT konstant. Um eine solche Ausgestaltung zu erreichen, ist ein Krümmungsradius R1 des Endabschnitts EP.am ersten Eckabschnitt C1 kleiner als ein Krümmungsradius R2 der Seitenfläche SF am ersten Eckabschnitt C1. Anders ausgedrückt ist die Krümmung des Endabschnitts EP am ersten Eckabschnitt C1 stärker als die Krümmung der Seitenfläche SF am ersten Eckabschnitt C1.
Im Beispiel aus 6 erstreckt sich die erste Pixelöffnung AP1 am zweiten Eckabschnitt C2 kreisbogenförmig. Ein Krümmungsradius R3 der ersten Pixelöffnung AP1 am zweiten Eckabschnitt C2 ist kleiner als der Krümmungsradius R1. Anders ausgedrückt ist die Krümmung des Endabschnitts EP am ersten Eckabschnitt C1 kleiner als die Krümmung derersten Pixelöffnung AP1 am zweiten Eckabschnitt C2.
Ein Schnitt der Anzeigevorrichtung DSP an der in 6 durch die Linie A-A gezeigten Position und der durch die Linie B-B gezeigten Position ist jeweils identisch mit dem in 4 gezeigten Schnitt. Das heißt, sowohl an dem ersten Geradenabschnitt L1 als auch dem ersten Eckabschnitt C1 weist der Vorsprungabschnitt PT die Breite W1 auf und steht die erste obere Elektrode UE1 mit der Seitenfläche SF in Kontakt.
In 4 bis 6 ist beispielhaft die Struktur des ersten Subpixels SP1 und der Trennwand6 in seiner Nähe gezeigt, doch kann die gleiche Struktur auch auf die anderen Subpixel SP2, SP3 und die Trennwand 6 angewandt werden.
Als Nächstes wird ein Verfahren zum Herstellen der Anzeigevorrichtung DSP beschrieben.
7 bis 17 sind jeweils eine schematische Schnittansicht eines Teils eines Herstellungsschritts der Anzeigevorrichtung DSP. In 7 bis 17 wurden der Träger 10 und die Schaltungsschicht 11 weggelassen.
Bei der Herstellung der Anzeigevorrichtung DSP werden auf dem Träger 10 zunächst die Schaltungsschicht 11 und die organische Isolationsschicht 12 gebildet. Wie in 7 gezeigt, werden auf der organischen Isolationsschicht 12 außerdem die unteren Elektroden LE1, LE2, LE3 gebildet.
Wie in 8 gezeigt, wird als Nächstes die Rippe 5 gebildet, die die Endabschnitte der unteren Elektroden LE1, LE2, LE3 bedeckt. Die Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 können vor dem Fortfahren mit den Schritten ab 9 oder nach dem Durchlaufen der Schritte von 9 bis 12 gebildet werden.
Nach dem Bilden der Rippe 5 wird die Trennwand 6 gebildet. Konkret wird, wie in 9 gezeigt, zunächst auf der Rippe 5 die als Grundlage der ersten Metallschicht 611 dienende Metallschicht 611a gebildet, auf der Metallschicht 611a wird die als Grundlage der zweiten Metallschicht 612 dienende Metallschicht 612a gebildet, auf der Metallschicht 612a wird die als Grundlage der ersten Dünnschicht 621 dienende Dünnschicht 621a gebildet, und auf der Dünnschicht 621a wird die als Grundlage der zweiten Dünnschicht 622 dienende Dünnschicht 622a gebildet. Außerdem wird der Resist RG1 entsprechend der Form der Trennwand 6 auf der Dünnschicht 622a gebildet. Die Dünnschichten 621a, 622a sind ausreichend dünner als die Metallschicht 612a.
Dann wird, wie in 10 gezeigt, durch Ätzen mit dem Resist RG1 als Maske der Teil der Dünnschicht 622a entfernt, der aus dem Resist RG1 freiliegt. Auf diese Weise wird die zweite Dünnschicht 622 gebildet. Wenn die Dünnschicht 622a beispielsweise aus einem elektrisch leitfähigen Oxid wie ITO oder dergleichen gebildet wird, kann bei dem Ätzen Nassätzen verwendet werden.
Dann wird, wie in 11 gezeigt, durch anisotropes Trockenätzen mit dem Resist RG1 als Maske der Teil der Dünnschicht 621a und der Metallschicht 612a entfernt, der aus dem Resist RG1 freiliegt. Auf diese Weise wird der obere Abschnitt 62 gebildet, der die erste Dünnschicht 621 und die zweite Dünnschicht 622 beinhaltet. In dem Beispiel aus 11 wird ein Teil des aus dem Resist RG1 freiliegenden Teils der Metallschicht 612a beibehalten.
Anschließend erfolgt erneut isotropes Nassätzen der Metallschichten 611a,612a. Durch das isotrope Nassätzen wird, wie in 12 gezeigt, derjenige Teil der Metallschichten 611a, 612a entfernt, der aus dem Resist RG1 freiliegt. Außerdem wird die Breite des Teils der Metallschichten 611a, 612a reduziert, der unterhalb des Resists RG1 gelegen ist. Dadurch wird der in 4 gezeigte untere Abschnitt 61 gebildet, der die erste Metallschicht 611 und die zweite Metallschicht 612 beinhaltet. Außerdem wird der Vorsprungabschnitt PT des oberen Abschnitts 62 gebildet.
Der in 6 gezeigte flache Vorsprungabschnitt PT wird erlangt, indem der Resist RG1 so-strukturiert wird, dass die Kontur des Resists RG1 am erste Eckabschnitt C1 kreisbogenförmig wird. Der obere Abschnitt 62 ist dünner als der untere Abschnitt 61, und wenigstens die erste Dünnschicht 621 wird durch das anisotrope Trockenätzen gebildet. Daher kann der obere Abschnitt 62 mit der nah am Resist RG1 liegenden Form auf stabile Weise gebildet werden. Die kreisbogenförmige Seitenfläche SF am ersten Eckabschnitt C1 wird gebildet, indem die Metallschichten 611a, 612a beim isotropen Nassätzen auf isotrope Weise weggeätzt werden.
Nach dem Bilden der Trennwand 6 wird der Resist RG1 entfernt, und es werden die Schritte zum Bilden der Anzeigeelemente DE1, DE2, DE3 ausgeführt. In der vorliegenden Ausführungsform ist als ein Beispiel denkbar, dass als Erstes das dritte Anzeigeelement DE3, dann das zweite Anzeigeelement DE2 und zum Schluss das erste Anzeigeelement DE1 gebildet wird. Allerdings ist die Reihenfolge des Bildens der Anzeigeelemente DE1, DE2, DE3 nicht auf dieses Beispiel beschränkt.
Beim Bilden des dritten Anzeigeelements DE3 werden, wie in 13 gezeigt, zunächst durch Aufdampfen der Reihe nach die dritte organische Schicht OR3, die dritte obere Elektrode UE3, die dritte Deckschicht CP3 und die dritte Abdichtungsschicht SE3 auf dem gesamten Träger gebildet. Durch die überhangartige Trennwand 6 werden dabei die dritte organische Schicht OR3, die dritte obere Elektrode UE3 und die dritte Deckschicht CP3, die an den einzelnen Subpixeln SP1, SP2, SP3 gebildet sind, durchtrennt. Die dritte Abdichtungsschicht SE3 bedeckt fortlaufend das dritte Anzeigeelement DE3, das die dritte untere Elektrode LE3, die dritte organische Schicht OR3, die dritte obere Elektrode UE3 und die dritte Deckschicht CP3 beinhaltet, und die Trennwand 6.
Als Nächstes wird, wie in 14 gezeigt, auf der dritten Abdichtungsschicht SE3 Resist RG2 angeordnet. Der Resist RG2 wird so strukturiert, dass er das dritte Subpixel SP3 überlagert. Der Resist RG2 ist auch über demjenigen Teil der das dritte Subpixel SP3 umgebenden Trennwand 6 gelegen, der zum dritten Subpixel SP3 hin tendiert.
Durch Ätzen unter Verwendung des Resists RG2 als Maske wird, wie in 15 gezeigt, der Teil der dritten organischen Schicht OR3, der dritten oberen Elektrode UE3, der dritten Deckschicht CP3 und der dritten Abdichtungsschicht SE3 entfernt, der aus dem Resist RG2 freiliegt. Dadurch werden am dritten Subpixel SP3 das dritte Anzeigeelement DE3, das die dritte untere Elektrode LE3, die dritte organische Schicht OR3, die dritte obere Elektrode UE3 und die dritte Deckschicht CP3 beinhaltet, und die diese bedeckende dritte Abdichtungsschicht SE3 gebildet, wodurch ein Träger in einem Zustand erlangt werden kann, an dem keine Anzeigeelemente und Abdichtungsschichten an den Subpixeln SP1, SP2 gebildet sind.
Das Ätzen in dem Schritt von 15 beinhaltet beispielsweise Trockenätzen der dritten Abdichtungsschicht SE3, Nassätzen oder Veraschen der dritten Deckschicht CP3, Nassätzen der dritten oberen Elektrode UE3 und Veraschen der dritten organischen Schicht OR3. Beim Trockenätzen der dritten Abdichtungsschicht SE3 dienen die dritte Deckschicht CP3 und die dritte organische Schicht OR3 als Ätzstopper.
Anschließend wird der Resist RG2 entfernt, und es werden in der gleichen Abfolge wie für das dritte Anzeigeelement DE3 die Schritte zum Bilden des zweiten Anzeigeelements DE2 am zweiten Subpixel SP2 ausgeführt. Dadurch kann, wie in 16 gezeigt, ein Träger erlangt werden, bei dem außerdem an dem zweiten Subpixel SP2 das zweite Anzeigeelement DE2, das die zweite untere Elektrode LE2, die zweite organische Schicht OR2, die zweite obere Elektrode UE2 und die zweite Deckschicht CP2 beinhaltet, und die diese bedeckende zweite Abdichtungsschicht SE2 gebildet sind.
Nach dem Bilden des zweiten Anzeigeelements DE2 werden in der gleichen Abfolge wie für das dritte Anzeigeelement DE3 die Schritte zum Bilden des ersten Anzeigeelements DE1 am ersten Subpixel SP1 ausgeführt. Dadurch kann, wie in 17 gezeigt, ein Träger erlangt werden, bei dem außerdem an dem ersten Subpixel SP1 das erste Anzeigeelement DE1, das die erste untere Elektrode LE1, die erste organische Schicht OR1, die erste obere Elektrode UE1 und die erste Deckschicht CP1 beinhaltet, und die diese bedeckende erste Abdichtungsschicht SE1 gebildet sind.
Anschließend werden der Reihe nach die Schritte zum Bilden der Kunststoffschicht,13, der Abdichtungsschicht 14 und der Kunststoffschicht 15 ausgeführt. Damit ist die Anzeigevorrichtung DSP mit der in 3 gezeigten Struktur fertiggestellt.
In der obenstehenden Ausführungsform weisen die Vorsprungabschnitte PT der die Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 umgebenden Trennwände 6 jeweils über den gesamten Umfang eine konstante Breite auf. Wäre die Breite der Vorsprungabschnitte PT an einigen Stellen zu groß, so bestünde die Möglichkeit, dass die oberen Elektroden UE1, UE2, UE3 die Seitenfläche SF nicht erreichen. Wie oben erwähnt, dienen die oberen Elektroden UE1, UE2, UE3 beim Trockenätzen der Abdichtungsschichten SE1, SE2, SE3 als Ätzstopper. Würden die oberen Elektroden UE1, UE2, UE3 die Seitenfläche SF nicht erreichen und würde die Rippe 5 freiliegen, so würde beim Trockenätzen der Abdichtungsschichten AE1, SE2, SE3 auch die Rippe 5 weggeätzt, sodass ein Weg gebildet werden könnte, über den Feuchtigkeit unter der Rippe 5 eindringen kann Wenn aber die Vorsprungabschnitte PT über den gesamten Umfang hinweg eine konstante Breite aufweisen, so stehen am Umfang der Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 die oberen Elektroden UE1, UE2, UE3 vollständig mit der Seitenfläche SF in Kontakt, sodass ein Freiliegen der Rippe 5 unterbunden wird. Als Ergebnis wird die Bildung eines Wegs zum Eindringen von Feuchtigkeit unterbunden und die Zuverlässigkeit der Anzeigevorrichtung DSP erhöht.
Wäre die Breite der Vorsprungabschnitte PT an einigen Stellen zu gering, so bestünde die Möglichkeit, dass die organischen Schichten OR1, OR2, OR3 an diesen Stellen mit der Seitenfläche SF in Kontakt gelangen. Dies kann zu Anzeigemängeln führen, indem zwischen dem untere Abschnitt 61 und den organischen Schichten OR1, OR2, OR3 (insbesondere der Lochinjektionsschicht und der Lochleitungsschicht) Strom fließt. Wenn dagegen die Vorsprungabschnitte PT über den gesamten Umfang hinweg eine konstante Breite aufweisen, so kann bewirkt werden, dass die organischen Schichten OR1, OR2, OR3 am Umfang der Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 vollständig von der Seitenfläche SF entfernt sind. Als Ergebnis werden Anzeigemängel unterbunden und die Anzeigequalität der Anzeigevorrichtung DSP wird verbessert.
Wie beispielhaft in 6 gezeigt, ist die Krümmung des zweiten Eckabschnitts C2 der Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 größer als die Krümmung des Endabschnitts EP des ersten Eckabschnitts C1. Bei einer solchen Ausgestaltung ist es möglich, gegenüber dem Fall, dass die Krümmung der Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 am zweiten Eckabschnitt C2 klein ist, die Oberfläche der Pixelöffnungen AP1, AP2, AP3 zu vergrößern und das Öffnungsverhältnis der Subpixel SP1, SP2, SP3 zu erhöhen.
18 zeigt eine Ansicht eines Vergleichsbeispiels vorliegenden Ausführungsform. Diese Ansicht zeigt ebenso wie 6 eine schematische Draufsicht auf die Trennwand 6. In diesem Vergleichsbeispiel ist die Form des Endabschnitts EP des Vorsprungabschnitts PT am ersten Eckabschnitt C1 nicht kreisbogenförmig, sondern ungefähr rechtwinklig.
In einem solchen Fall ist die Breitenrichtung des Vorsprungabschnitts PT am ersten Eckabschnitt C1 geringer als die Breite des Vorsprungabschnitts PT am ersten Geradenabschnitt L1. Daher erhöht sich das Risiko, dass zwischen dem unteren Abschnitt 61 und den organischen Schichten OR1, OR2, OR3 Strom fließt.
In der vorliegenden Ausführungsform hingegen, wie in 6 gezeigt, ist der Endabschnitt EP am ersten Eckabschnitt C1 kreisbogenförmig, weshalb auch am ersten Eckabschnitt C1 die gleiche Breite des Vorsprungabschnitts PT wie am ersten Geradenabschnitt L1 erzielt wird.
Da für die Bearbeitung des unteren Abschnitts 61 isotropes Nassätzen erforderlich ist, ist es schwierig, die Seitenfläche SF am ersten Eckabschnitt C1 in die steile Form des Endabschnitts EP des Vergleichsbeispiels zu bringen. Daher ist es nicht realistisch, die Form des Endabschnitts EP und die Form der Seitenfläche SF aufeinander abzustimmen, um die Breite des Vorsprungabschnitts PT konstant zu halten.
Dagegen ist der obere Abschnitt 62 dünner als der untere Abschnitt 61, und die erste Dünnschicht 621 wird durch anisotropes Trockenätzen bearbeitet, weshalb sich die Form des Endabschnitts EP verhältnismäßig leicht steuern lässt. Wenn der Endabschnitt EP am ersten Eckabschnitt C1 wie in 6 kreisbogenförmig gebildet ist, kann daher die Breite des Vorsprungabschnitts PT mit hoher Präzision gesteuert werden.
In der vorliegenden Ausführungsform beinhaltet „die Breite des Vorsprungabschnitts PT ist über den gesamten Umfang konstant“ nicht nur, dass die Breite des Vorsprungabschnitts PT über den gesamten Umfang hinweg keinerlei Schwankungen aufweist, sondern beinhaltet auch, dass die Breite des Vorsprungabschnitts PT an verschiedenen Stellen trotz gewisser Schwankungen als gleich betrachtet werden kann. Der Ausdruck „die Breite des Vorsprungabschnitts PT ist über den gesamten Umfang konstant“ schließt somit aus, dass, wie beispielsweise in 18 gezeigt, die Breite des Vorsprungabschnitts PT im Bereich des ersten Eckabschnitts C1 stark reduziert ist. Als Beispiel gilt die Breite des Vorsprungabschnitts PT als im Sinne der vorliegenden Ausführungsform „konstant“, wenn die Breite des Vorsprungabschnitts PT um maximal etwa 10 % schwankt.
Anzeigevorrichtungen und deren Herstellungsverfahren, die der Fachmann unter geeigneter Änderung auf Grundlage der als Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschriebenen Anzeigevorrichtung und ihres Herstellungsverfahrens erlangen kann, fallen ebenfalls in den Umfang der vorliegenden Erfindung, solange sie den Kern der Erfindung enthalten.
Im Rahmen des Grundgedankens der vorliegenden Erfindung kann der Fachmann zu verschiedenen Abwandlungsbeispielen gelangen, und auch diese Abwandlungsbeispiele sind als in den Umfang der vorliegenden Erfindung fallend zu verstehen. Beispielsweise kann der Fachmann bei der obenstehenden Ausführungsform nach Bedarf Aufbauelemente hinzufügen, weglassen oder in der Auslegung ändern oder Schritte hinzufügen, weglassen oder in ihren Bedingungen verändern, und alle diese Änderungen fallen ebenfalls in den Umfang der vorliegenden Erfindung, solange sie den Kern der Erfindung enthalten.
Auch andere Wirkungen, die auf die erörterten Aspekte der obenstehenden Ausführungsform zurückgehen, seien sie aufgrund der Beschreibung auf der Hand liegend oder durch Überlegungen des Fachmanns erzielt, gelten selbstverständlich als durch die vorliegende Erfindung bewirkt.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2022077460 [0001]

Claims

Anzeigevorrichtung, umfassend: eine untere Elektrode, eine Rippe, die einen Abschnitt der unteren Elektrode bedeckt und eine Pixelöffnung aufweist, die die untere Elektrode überlagert, eine Trennwand, die auf der Rippe angeordnet ist und die Pixelöffnung umgibt, eine obere Elektrode, die der unteren Elektrode gegenüberliegt, und eine organische Schicht, die zwischen der unteren Elektrode und der oberen Elektrode angeordnet ist und entsprechend einer Potenzialdifferenz zwischen der unteren Elektrode und der oberen Elektrode leuchtet, wobei die Trennwand einen elektrisch leitfähigen unteren Abschnitt, der eine die Pixelöffnung umgebende ringförmige Seitenfläche aufweist, und einen oberen Abschnitt beinhaltet, der einen von der Seitenfläche vorspringenden ringförmigen Vorsprungabschnitt aufweist, wobei die obere Elektrode mit der Seitenfläche des unteren Abschnitts in Kontakt steht und der Vorsprungabschnitt über den gesamten Umfang hinweg eine konstante Breite aufweist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei ein Innenumfangsabschnitt der Trennwand, die die Pixelöffnung umgibt, bei Betrachtung in Draufsicht mehrere erste Geradenabschnitte und mehrere erste Eckabschnitte aufweist, die je zwei benachbarte erste Geradenabschnitte miteinander verbinden, wobei sich die Seitenfläche und ein Endabschnitt des Vorsprungabschnitts an den ersten Geradenabschnitten geradlinig erstrecken und wobei sich die Seitenfläche und der Endabschnitt des Vorsprungabschnitts an den ersten Eckabschnitten kreisbogenförmig erstrecken.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, wobei eine Krümmung des Endabschnitts des Vorsprungabschnitts an den ersten Eckabschnitten größer als eine Krümmung der Seitenfläche an den ersten Eckabschnitten ist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Pixelöffnung bei Betrachtung in Draufsicht mehrere zweite Geradenabschnitte, die zu den ersten Geradenabschnitten parallel sind, und mehrere zweite Eckabschnitte aufweist, die je zwei benachbarte zweite Geradenabschnitte miteinander verbindet, wobei eine Krümmung des Endabschnitts des Vorsprungabschnitts an den zweiten Eckabschnitten kleiner als eine Krümmung der Pixelöffnung an den zweiten Eckabschnitten ist.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, wobei an den mehreren ersten Geradenabschnitten und den mehreren ersten Eckabschnitten jeweils ein Teil der organischen Schicht die obere Fläche des Vorsprungabschnitts bedeckt.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 2, ferner umfassend eine Deckschicht, die die obere Elektrode bedeckt, und eine Abdichtungsschicht, die die Deckschicht bedeckt und die Seitenfläche und den Vorsprungabschnitt an den mehreren ersten Geradenabschnitten und den mehreren ersten Eckabschnitten fortlaufend bedeckt.
Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei der obere Abschnitt dünner als der untere Abschnitt ist.
Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung, an der eine Trennwand angeordnet ist, die auf einer Rippe, die eine Pixelöffnung aufweist, einen elektrisch leitfähigen unteren Abschnitt, der eine die Pixelöffnung umgebende ringförmige Seitenfläche aufweist, und einen oberen Abschnitt beinhaltet, der einen von der Seitenfläche vorspringenden ringförmigen Vorsprungabschnitt aufweist, umfassend: Bilden einer unteren Elektrode über einer Leiterplatte, Bilden der Rippe, die wenigstens einen Abschnitt der unteren Elektrode bedeckt, Bilden einer Metallschicht als Grundlage des unteren Abschnitts auf der Rippe, Bilden einer Dünnschicht als Grundlage des oberen Abschnitts auf der Metallschicht, Bilden eines Resists auf der Dünnschicht, Bilden des oberen Abschnitts durch Entfernen des aus dem Resist freiliegenden Teils der Dünnschicht mittels Ätzen, und Bilden des unteren Abschnitts und des Vorsprungabschnitts, der über den gesamten Umfang hinweg eine konstante Breite aufweist, durch Entfernen des aus dem Resist freiliegenden Teils der Metallschicht mittels Ätzen und Reduzieren der Breite des unterhalb des Resists gelegenen Teils der Metallschicht.
Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, ferner umfassend: Bilden einer organischen Schicht, die durch die Pixelöffnung mit der unteren Elektrode in Kontakt steht, und Bilden einer oberen Elektrode, die die organische Schicht bedeckt und mit der Seitenfläche des unteren Abschnitts in Kontakt steht.
Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Dünnschicht dünner als die Metallschicht gebildet wird, wobei das Ätzen an der Dünnschicht anisotropes Trockenätzen beinhaltet, und wobei das Ätzen der Metallschicht isotropes Nassätzen beinhaltet.
Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, wobei ein Innenumfangsabschnitt der Trennwand, die die Pixelöffnung umgibt, bei Betrachtung in Draufsicht mehrere erste Geradenabschnitte und mehrere erste Eckabschnitte aufweist, die je zwei benachbarte erste Geradenabschnitte miteinander verbinden, wobei sich die Seitenfläche und ein Endabschnitt des Vorsprungabschnitts an den ersten Geradenabschnitten geradlinig erstrecken und wobei sich die Seitenfläche und der Endabschnitt des Vorsprungabschnitts an den ersten Eckabschnitten kreisbogenförmig erstrecken.
Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung nach Anspruch 11, wobei eine Krümmung des Endabschnitts des Vorsprungabschnitts an den ersten Eckabschnitten größer als eine Krümmung der Seitenfläche an den ersten Eckabschnitten ist.
Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Pixelöffnung bei Betrachtung in Draufsicht mehrere zweite Geradenabschnitte, die zu den ersten Geradenabschnitten parallel sind, und mehrere zweite Eckabschnitte aufweist, die je zwei benachbarte zweite Geradenabschnitte miteinander verbindet, wobei eine Krümmung des Endabschnitts des Vorsprungabschnitts an den zweiten Eckabschnitten kleiner als eine Krümmung der Pixelöffnung an den zweiten Eckabschnitten ist.
Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung nach Anspruch 11, wobei an den mehreren ersten Geradenabschnitten und den mehreren ersten Eckabschnitten jeweils ein Teil der organischen Schicht die obere Fläche des Vorsprungabschnitts bedeckt.
Verfahren zum Herstellen einer Anzeigevorrichtung nach Anspruch 9, ferner umfassend: Bilden einer Deckschicht, die die obere Elektrode bedeckt, und Bilden einer Abdichtungsschicht, die die Deckschichtbedeckt und die Seitenfläche und den Vorsprungabschnitt fortlaufend bedeckt.