DE102021213772A1 - Kanten-schneidverfahren - Google Patents

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Abstract

Kanten-Schneidverfahren zum Schneiden eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks, das einen abgeschrägten Teil an dem äußeren umfänglichen Abschnitt aufweist. Das Verfahren beinhaltet einen Einschnitt-Schritt zum relativen Bewegen einer sich drehenden Schneidklinge und eines Einspanntischs, um die Klinge dazu zu bringen, in den äußeren umfänglichen Abschnitt einzuschneiden, einen Schneidschritt, nach dem Einschnitt-Schritt, zum Drehen des Einspanntischs und Verursachen, dass der äußere umfängliche Abschnitt geschnitten wird, um eine ringförmige Stufe auszubilden, und einen Bewegungsschritt, nach dem Schneidschritt, zum Bewegen der Klinge in einer Richtung ihrer Drehachse, um eine weitere ringförmige Stufe benachbart zu der erstgenannten ringförmigen Stufe auszubilden. Der Einschnitt-, Schneid- und Bewegungsschritt werden in dieser Reihenfolge wiederholt und ein abgestuft geneigter Bereich wird an dem äußeren umfänglichen Abschnitt ausgebildet, wobei sich eine Dicke von einer äußersten umfänglichen Kante zu einer inneren Seite des Werkstücks erhöht.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Kanten-Schneidverfahren zum Schneiden eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks, das einen abgeschrägten Teil an dem äußeren umfänglichen Abschnitt aufweist.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Beim Herstellungsprozess von Halbleiter-Bauelementchips wird ein scheibenförmiger Halbleiter-Wafer (anders ausgedrückt ein Werkstück), das aus einem Halbleitermaterial wie Silizium ausgebildet ist, im Allgemeinen gleichmäßig an einer hinteren Oberfläche des Werkstücks geschliffen, wobei die hintere Oberfläche an einer Seite gegenüber einer vorderen Oberfläche ist, in der Bauelemente ausgebildet sind, um das Werkstück dünn auszugestalten. Im Allgemeinen sind jedoch sogenannte abgeschrägte Teile (auch angefaste Teile genannt) an jeweiligen äußeren Abschnitten an den Seiten der vorderen und hinteren Oberfläche des Werkstücks ausgebildet. Was im Allgemeinen als eine Messerkante (scharfe Kante) bezeichnet wird, ist folglich an dem äußeren umfänglichen Abschnitt an der Seite der vorderen Oberfläche ausgebildet, wenn das Werkstück an der hinteren Oberfläche geschliffen wird und wird auf eine Dicke dünn ausgestaltet, die zum Beispiel gleich oder weniger als eine Hälfte ist. Das Werkstück, das so ausgestaltet wurde, läuft Gefahr an der Messerkante als ein Startpunkt zu brechen.
  • Um ein solches Brechen zu verhindern, wurden folglich Verfahren vorgeschlagen, die vor dem Schleifen eines Werkstücks ein Kanten-Schneiden durchführen, um einen abgeschrägten Teil an der Seite einer vorderen Oberfläche des Werkstücks zu entfernen und nach diesem Kanten-Schneiden das Werkstück an einer hinteren Oberfläche zu schleifen (siehe zum Beispiel japanische Offenlegungsschrift Nummer 2000 - 173961 ). Falls das Werkstück an der hinteren Oberfläche nach dem Kanten-Schneiden geschliffen wird, kann jedoch ein relativ großer gebogener Bereich (zum Beispiel 5 cm oder so) als ein Abschnitt von dem äußeren umfänglichen Abschnitt an der Seite der hinteren Oberfläche aufgrund des Einflusses oder dergleichen des Schleifens abbrechen. Ein solch relativ großer Abschnitt kann nicht durch ein Schleifschmutz-Sammelsystem aufgenommen werden, das im Allgemeinen in einer Schleifvorrichtung angeordnet ist. Es ist darum notwendig, dass ein Arbeiter solch einen Abschnitt händisch aufsammelt, wann immer dieser generiert wird.
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Unter Beachtung dieses Problems ist die vorliegende Erfindung darauf gerichtet, ein Volumen eines Abschnitts, der während eines Schleifens generiert wird, zu reduzieren.
  • In Übereinstimmung mit einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Kanten-Schneidverfahren zum Schneiden eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks bereitgestellt, das einen abgeschrägten Teil an dem äußeren umfänglichen Abschnitt aufweist. Das Kanten-Schneidverfahren beinhaltet einen Halteschritt zum Halten des Werkstücks an einer Halteoberfläche eines Einspanntischs, einen Einschnitt-Schritt, nach dem Halteschritt, zum relativen Bewegen einer sich drehenden Schneidklinge und des Einspanntischs, um die Schneidklinge dazu zu bringen, in den äußeren umfänglichen Abschnitt des Werkstücks einzuschneiden, einen Schneidschritt, nach dem Einschnitt-Schritt, zum Drehen des Einspanntischs und Verursachen, dass der umfängliche Abschnitt des Werkstücks geschnitten wird, um eine ringförmige Stufe auszubilden, und einen Bewegungsschritt, nach dem Schneidschritt, zum Bewegen der Schneidklinge in einer Richtung einer Drehachse der Schneidklinge, um eine weitere ringförmige Stufe benachbart zu der erstgenannten ringförmigen Stufe auszubilden. Der Einschnitt-Schritt, der Schneidschritt und der Bewegungsschritt werden in dieser Reihenfolge wiederholt und ein abgestuft geneigter Bereich wird an dem äußeren umfänglichen Abschnitt ausgebildet, wobei sich eine Dicke von einer äußersten umfänglichen Kante zu einer inneren Seite des Werkstücks erhöht.
  • In Übereinstimmung mit einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Kanten-Schneidverfahren zum Schneiden eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks bereitgestellt, das einen abgeschrägten Teil an einem äußeren umfänglichen Abschnitt aufweist. Das Kanten-Schneidverfahren beinhaltet einen Halteschritt zum Halten des Werkstücks an einer Halteoberfläche eines Einspanntischs und, nach dem Halteschritt, einen Bearbeitungsschritt zum gleichzeitigen Durchführen einer relativen Bewegung einer sich drehenden Schneidklinge und des Einspanntischtischs, um die Schneidklinge dazu zu bringen, in den äußeren umfänglichen Abschnitt des Werkstücks zu schneiden, Drehen des Einspanntischs und Bewegen der Schneidklinge in einer Richtung einer Drehachse der Schneidklinge. In dem Bearbeitungsschritt wird ein abgestuft geneigter Bereich an einem äußeren umfänglichen Abschnitt ausgebildet, wobei eine Dicke sich von einer äußersten umfänglichen Kante zu einer inneren Seite des Werkstücks erhöht und eine untere Oberfläche schraubenförmig über mehrere Stufen ausgebildet ist, wenn der geneigte Bereich in einer Aufsicht betrachtet wird.
  • In diesem Kanten-Schneidverfahren entsprechend dem jeweils ersten und zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird an dem äußeren umfänglichen Abschnitt ein abgestuft geneigter Bereich ausgebildet, wobei sich eine Dicke von der äußersten umfänglichen Kante zu der inneren Seite des Werkstücks erhöht. Aufgrund des abgestuft geneigten Bereichs wird ein abgeschnittenes Stück selten auftreten, zum Beispiel, wenn das Werkstück an der hinteren Oberfläche nach dem Entfernen des abgeschrägten Teils an der Seite der vorderen Oberfläche geschliffen wird. Sogar falls ein abgeschnittenes Stück generiert wird, kann das abgeschnittene Stück hinsichtlich seines Volumens und seiner Bogenlänge im Vergleich mit einem gebogenen, abgeschnittenen Stück reduziert werden, das generiert würde, falls ein Werkstück mit nur einer Stufe, die durch das konventionelle Kanten-Schneidverfahren ausgebildet wird, an einer hinteren Oberflächenseite geschliffen wird. Sogar falls ein solches abgeschnittenes Stück generiert wird, gibt es entsprechend eine hohe Wahrscheinlichkeit, dass das abgeschnittene Stück durch ein Schleifschmutz-Sammelsystem, das im Allgemeinen in einer Schleifvorrichtung angeordnet ist, gesammelt werden kann, wodurch eine Reduktion der Frequenz, mit welcher ein Arbeiter abgeschnittene Stücke händisch einsammeln muss, reduziert werden kann.
  • Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die einige bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung zeigen, verstanden.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine perspektivische Ansicht eines Werkstücks und eines Einspanntischs einer Schneidvorrichtung und stellt einen Halteschritt in einem Kanten-Schneidverfahren entsprechend einer Ausführungsform eines ersten Aspekts (die Ausführungsform kann im Folgenden einfach als erste Ausführungsform bezeichnet werden) der vorliegenden Erfindung dar;
    • 2A ist eine seitliche Teilansicht teilweise im Querschnitt des Werkstücks und der Schneidvorrichtung und stellt einen Einschnitt-Schritt des Kanten-Schneidverfahrens dar;
    • 2B ist eine perspektivische Teilansicht des Werkstücks und der Schneidvorrichtung und stellt den Einschnitt-Schritt von 2A dar;
    • 3A ist eine seitliche Teilansicht teilweise im Querschnitt des Werkstücks und der Schneidvorrichtung und stellt einen Schneidschritt in dem Kanten-Schneidverfahren dar;
    • 3B ist eine perspektivische Teilansicht des Werkstücks und der Schneidvorrichtung und stellt den Schneidschritt von 3A dar;
    • 4A ist eine seitliche Teilansicht teilweise im Querschnitt des Werkstücks und der Schneidvorrichtung und stellt einen Bewegungsschritt in dem Kanten-Schneidverfahren dar;
    • 4B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht eines äußeren umfänglichen Abschnitts des Werkstücks in dem Bewegungsschritt von 4A;
    • 5A ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des äußeren umfänglichen Abschnitts des Werkstücks und stellt einen zweiten Einschnitt-Schritt in dem Kanten-Schneidverfahren dar;
    • 5B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des äußeren umfänglichen Abschnitts, der nach einem zweiten Schneidschritt des Kanten-Schneidverfahrens erhalten wird;
    • 6A ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des äußeren umfänglichen Abschnitts des Werkstücks, das nach einem Kanten-Schneiden durch das Kanten-Schneidverfahren erhalten wird;
    • 6B ist eine Teilansicht im Querschnitt des Werkstücks in seiner Gesamtheit und ein Abschnitt des Einspanntischs und stellt das Werkstück von 6A dar, das nach dem Kanten-Schneiden erhalten wird;
    • 7 ist ein Flussdiagramm, das das Kanten-Schneidverfahren entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
    • 8A ist eine Ansicht, die darstellt, wie das Werkstück an seiner hinteren Oberfläche geschliffen wird, nachdem ein geneigter Bereich durch das Kanten-Schneidverfahren gemäß 7 ausgebildet wurde;
    • 8B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht eines Bereichs, der durch eine Ellipse in 8A umgeben ist;
    • 9A ist eine Ansicht, die darstellt, wie ein Werkstück, das nur eine Stufe durch ein Kanten-Schneidverfahren ausgebildet aufweist, entsprechend einem Vergleichsbeispiel der ersten Ausführungsform, an der hinteren Oberfläche des Werkstücks geschliffen wird;
    • 9B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht eines Bereichs, der durch eine Ellipse in 9A umgeben ist;
    • 10A ist eine vergrößerte Querschnittsansicht eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks und stellt einen ersten Einschnitt-Schritt in dem Kanten-Schneidverfahren entsprechend einer Modifikation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
    • 10B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht eines äußeren umfänglichen Abschnitts von 10A und stellt eine Reihenfolge dar, in der mehrere Stufen in dem Kanten-Schneidverfahren gemäß 10A ausgebildet werden;
    • 11 ist ein Flussdiagramm eines Kanten-Schneidverfahrens entsprechend einer Ausführungsform eines zweiten Aspekts (die Ausführungsform wird im Folgenden einfach als die zweite Ausführungsform bezeichnet) der vorliegenden Erfindung;
    • 12 ist eine Aufsicht eines Werkstücks, das nach einem Bearbeitungsschritt in dem Kanten-Schneidverfahren von 11 erhalten wird;
    • 13A ist eine vergrößerte Ansicht teilweise im Querschnitt eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks und des Abschnitts des Einspanntischs und stellt ein Kanten-Schneidverfahren entsprechend einer Modifikation der ersten Ausführungsform, ihrer Modifikation oder der zweiten Ausführungsform dar (die Modifikation kann im Folgenden einfach als die dritte Ausführungsform bezeichnet werden), in welcher eine Schneidklinge, die eine Klingendicke größer als eine Breite eines äußeren umfänglichen Zusatzbereichs aufweist, verwendet wird;
    • 13B ist eine vergrößerte Ansicht teilweise im Querschnitt eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks und des Abschnitts des Einspanntischs und stellt ein Kanten-Schneidverfahren entsprechend einer weiteren Modifikation der ersten Ausführungsform, ihrer Modifikation oder der zweiten Ausführungsform (die Modifikation wird im Folgenden einfach als die vierte Ausführungsform bezeichnet) dar, in welcher eine Schneidklinge, die eine kleinere Dicke als eine Breite eines äußeren umfänglichen Zusatzbereichs aufweist, verwendet wird.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Mit Bezug zu den angehängten Figuren wird eine Ausführungsform eines ersten Aspekts (der im Folgenden einfach als die erste Ausführungsform bezeichnet wird) der vorliegenden Erfindung, ein Vergleichsbeispiel und eine Modifikation der ersten Ausführungsform, eine Ausführungsform eines zweiten Aspekts (der im Folgenden einfach als die zweite Ausführungsform bezeichnet wird) der vorliegenden Erfindung und zwei Modifikationen (die im Folgenden einfach als die dritte Ausführungsform und die vierte Ausführungsform bezeichnet werden) der ersten Ausführungsform, der Modifikation der ersten Ausführungsform oder der zweiten Ausführungsform detailliert beschrieben. Mit Bezug zuerst zu 1 wird das Werkstück 11 beschrieben, an dem ein Kanten-Schneiden angewendet wird. 1 ist eine perspektivische Ansicht eines Werkstücks 11 und eines scheibenförmigen Einspanntischs 4 einer Schneidvorrichtung 2 und stellt einen Halteschritt in einem Kanten-Schneidverfahren entsprechend einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar. Das Werkstück 11 ist zum Beispiel ein scheibenförmiger Wafer, der aus einem Halbleitermaterial wie Silizium ausgebildet ist. Das Werkstück 11 ist zum Beispiel mit einem Durchmesser von ungefähr 300 mm und einer vorbestimmten Dicke von 100 µm oder mehr jedoch 800 µm oder weniger ausgebildet. Das Werkstück 11 ist an einer vorderen Oberfläche 11a in mehrere Bereiche durch mehrere sich kreuzende, angerissene Linien (Straßen) 13 aufgeteilt.
  • In den jeweiligen Bereichen sind mehrere Bauelemente 15 wie integrierte Schaltungen (ICs) oder Largescale Integration (LSI) Schaltungen ausgebildet. Die Bauelemente 15 sind in einem kreisförmigen Bauelementbereich 17a angeordnet. Außerhalb des Bauelementbereichs 17a ist ein ringförmiger äußerer Zusatzbereich 17b, der kein Bauelement 15 aufweist, ausgebildet, sodass der ringförmige äußere Zusatzbereich 17b eine Umgebung des Bauelementbereichs 17a umgibt. Der Einfachheit halber wird eine Grenzlinie zwischen dem Bauelementbereich 17a und dem äußeren Zusatzbereich 17b durch eine abwechselnd kurz und lang gestrichelte Linie in 1 angegeben.
  • An jedem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c an einer Seite der vorderen Oberfläche 11a und an einem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c an einer Seite einer hinteren Oberfläche 11b ist ein abgeschrägter Teil (auch als angefaster Teil bezeichnet) 11d (siehe 2A) ausgebildet, sodass dieser sich über den gesamten Umfang des äußeren umfänglichen Abschnitts 11c erstreckt. Wenn ein Kanten-Schneiden an dem Werkstück 11 angewendet wird, wird die Schneidvorrichtung 2 verwendet. Wie in 1 dargestellt, weist die Schneidvorrichtung 2 den Einspanntisch 4 auf. Der Einspanntisch 4 weist ein scheibenförmiges Rahmenelement auf, das aus einem nicht porösen Kunststoff ausgebildet ist.
  • Ein scheibenförmiger, vertiefter Abschnitt (nicht dargestellt) ist an einem oberen Abschnitt des Rahmenelements ausgebildet und eine scheibenförmige, poröse Platte, die aus einer porösen Keramik ausgebildet ist, ist in dem vertieften Abschnitt fixiert. Die poröse Platte weist eine Oberfläche auf, die im Wesentlichen bündig mit einer oberen Oberfläche des Rahmenelements ist, und ist im Wesentlichen parallel zu einer horizontalen Ebene (X-Y-Ebene) ausgebildet, die im Wesentlichen orthogonal zu einer oben-unten Richtung (Z-Achsenrichtung) der Schneidvorrichtung 2 ist. An der oberen Oberfläche der porösen Platte wird ein negativer Druck von einer Saugquelle (nicht dargestellt) wie einer Strahlpumpe durch einen Flusspfad (nicht dargestellt), der in dem Rahmenelement ausgebildet ist, übertragen. Die obere Oberfläche der porösen Platte und die obere Oberfläche des Rahmenelements dienen als eine Halteoberfläche 4a, die das Werkstück 11 ansaugt und hält (siehe 2A).
  • Mit einem unteren Abschnitt des Einspanntischs 4 ist eine Ausgangswelle (nicht dargestellt) einer ersten Drehantriebsquelle wie einem Motor verbunden. Wenn die erste Drehantriebsquelle betätigt wird, dreht sich der Einspanntisch 4 in einer vorbestimmten Richtung um die Ausgangswelle als eine Drehachse 4b (siehe 3A). Unterhalb der ersten Drehantriebsquelle ist ein X-Achsenbewegungsmechanismus eines Kugelrollspindel-Typs (nicht dargestellt) angeordnet, um den Einspanntisch 4 in der X-Achsenrichtung zu bewegen. Oberhalb der Halteoberfläche 4a ist eine Schneideinheit 6 (siehe 2A) angeordnet.
  • Mit Bezug zu 2A wird eine Konfiguration der Schneideinheit 6 beschrieben. 2A ist eine seitliche Teilansicht teilweise im Querschnitt des Werkstücks 11 und der Schneidvorrichtung 2 und stellt einen Einschnitt-Schritt des Kanten-Schneidverfahrens dar. Die Schneideinheit 6 weist ein im Wesentlichen zylindrisches Spindelgehäuse 8 auf. Mit dem Spindelgehäuse 8 ist ein Z-Achsenbewegungsmechanismus eines Kugelrollspindel-Typs (nicht dargestellt) verbunden, um die Schneideinheit 6 nach oben und unten entlang der Z-Achsenrichtung zu bewegen. Mit dem Z-Achsenbewegungsmechanismus ist ein Y-Achsenbewegungsmechanismus eines Kugelrollspindel-Typs (nicht dargestellt) verbunden, um die Schneideinheit 6 entlang der Y-Achsenrichtung zu bewegen. Es sei angemerkt, dass die X-Achsenrichtung, die Y-Achsenrichtung und die Z-Achsenrichtung orthogonal zueinander sind.
  • In dem Spindelgehäuse 8 ist ein Abschnitt einer zylindrischen Spindel 10, die im Wesentlichen parallel zu der Y-Achsenrichtung angeordnet ist, drehbar aufgenommen. An einem Endabschnitt (proximaler Endabschnitt) der Spindel 10 ist eine zweite Drehquelle wie ein Servomotor angeordnet. An einem gegenüberliegenden Endabschnitt (distaler Endabschnitt) der Spindel 10 ist eine ringförmige Schneidklinge 12 befestigt. Die Schneidklinge 12, die in dieser Ausführungsform verwendet wird, weist im Wesentlichen die gleiche Klingendicke wie eine Breite des äußeren Zusatzbereichs 17b auf (zum Beispiel ungefähr 3 mm). In 2A ist eine Schneidklinge eines nabenlosen Typs (auch der Unterlegscheibentyp genannt), die nur eine Schneidklinge und keine ringförmige Nabe beinhaltet, als die Schneidklinge 12 dargestellt. Anstelle einer solchen nabenlosen Schneidklinge kann, als die Schneidklinge 12, eine Schneidklinge des Nabentyps verwendet werden, die eine Nabe und eine Schneidklinge aufweist.
  • Als nächstes mit Bezug zu 1 bis 8B wird das Kanten-Schneidverfahren der ersten Ausführungsform beschrieben, bei dem der äußere umfängliche Abschnitt 11c an der Seite der vorderen Oberfläche 11a geschnitten wird. Wie in 1 dargestellt, wird das Werkstück 11 zuerst an der Halteoberfläche 4a platziert, sodass die hintere Oberfläche 11b des Werkstücks 11 in Kontakt mit der Halteoberfläche 4a gebracht wird. Nach dieser Platzierung wird ein Zentrum an der Seite der vorderen Oberfläche 11a und ein Zentrum der Halteoberfläche 4a im Wesentlichen in Übereinstimmung miteinander in der Richtung der X-Y-Ebene gebracht. Zu diesem Zeitpunkt weist das Werkstück 11 eine Dickenrichtung im Wesentlichen parallel zu der Z-Achsenrichtung auf. Ein negativer Druck wird als nächstes dazu gebracht, an der oberen Oberfläche der porösen Platte zu wirken, um das Werkstück 11 unter einem Saugen an der Halteoberfläche 4a zu halten (Halteschritt S10).
  • Nach dem Halteschritt S10, der in 1 dargestellt ist, wird die Spindel 10 gedreht und die Schneidklinge 12 wird um eine Drehachse 10a gedreht. Jedoch wird der Einspanntisch ohne Drehung festgehalten. Jeweilige Positionen der Schneideinheit 6 und des Einspanntischs 4 werden dann angepasst, sodass eine Erstreckung der Drehachse 10a der Spindel 10 eine Erstreckung der Drehachse 4b (siehe 3A) des Einspanntischs 4 kreuzt und die Schneidklinge 12 wird unmittelbar oberhalb des äußeren umfänglichen Abschnitts 11c platziert.
  • Als nächstes werden die Schneidklinge 12 und der Einspanntisch 4 relativ zueinander bewegt, wodurch die Schneidklinge 12 in den äußeren umfänglichen Bereich 11c an der Seite der vorderen Oberfläche 11a einschneidet (Einschnitt-Schritt S20). In dieser Ausführungsform schneidet die Schneidklinge 12 in den äußeren umfänglichen Abschnitt 11c, was allgemein als Chopper-Schneiden) bezeichnet wird, durch eine abwärtige Bewegung der Schneideinheit 6 durch den Z-Achsenbewegungsmechanismus. In dem Einschnitt-Schritt S20 schneidet die Schneidklinge 12 in den äußeren umfänglichen Abschnitt 11c, sodass die Schneidklinge 12 die vordere Oberfläche 11a in rechten Winkeln schneidet. Die Einschnittmenge von der vorderen Oberfläche 11a zu der hinteren Oberfläche 11b ist zum Beispiel gleich einer vorbestimmten Tiefe gesetzt, welche die hintere Oberfläche 11b nicht erreicht (zum Beispiel 100 µm bis 200 µm).
  • 2B ist eine perspektivische Teilansicht des Werkstücks 11 und der Schneidvorrichtung 2 und stellt den Einschnitt-Schritt von 2A dar. Es sei angemerkt, dass in dem Einschnitt-Schritt S20 die Schneidklinge 12 auch in den äußeren umfänglichen Abschnitt 11c an der Seite der vorderen Oberfläche 11a durch relatives Bewegen der Schneideinheit 6 und des Einspanntischs 4 in der X-Achsenrichtung anstelle des Durchführens des Chopper-Schneidens einschneiden kann.
  • Nach dem Einschnitt-Schritt S20 wird die Position der Schneideinheit 6 fixiert, während die Schneidklinge 12 ihre Drehung beibehält. Durch Drehen des Einspanntischs 4 ungefähr eine Umdrehung um die Drehachse 4b in diesem Zustand wird eine ringförmige Stufe 11e1 (siehe 3A) an dem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c an der Seite der vorderen Oberfläche 11a (Schneidschritt S30) ausgebildet. Es sei angemerkt, dass in dem Schneidschritt S30 der Einspanntisch 4 sich eine Umdrehung oder mehr drehen muss und 1,5 oder 2 Umdrehung gedreht werden kann. Wenn der Einspanntisch 4 eine Umdrehung oder mehr gedreht wird, kann die ringförmige Stufe 11e1 durch teilweises Schneiden des äußeren umfänglichen Abschnitts 11c an der Seite der vorderen Oberfläche 11a in einer Tiefen-Richtung des Werkstücks 11 ausgebildet werden.
  • 3A ist eine seitliche Teilansicht teilweise im Querschnitt des Werkstücks 11 und der Schneidvorrichtung 2 und stellt einen Schneidschritt S30 in dem Kanten-Schneidverfahren dar und 3B ist eine perspektivische Teilansicht des Werkstücks 11 und der Schneidvorrichtung 2 und stellt den Schneidschritt S30 von 3A dar. Nach dem Schneidschritt S30 wird bestimmt, ob die Anzahl der Stufen, die so ausgebildet wurde, eine vorbestimmte Anzahl oder größer ist (Bestimmungsschritt S40) (siehe 7). Der Bestimmungsschritt S40 wird durch eine Steuerungseinheit (nicht dargestellt) durchgeführt, welche die Betätigung der Schneidvorrichtung 2 auf der Basis zum Beispiel von Information bezüglich einer Bewegungsbetätigung der Schneideinheit 6 steuert. Die Steuerungseinheit beinhaltet einen Computer, der zum Beispiel einen Prozessor (Bearbeitungseinheit) beinhaltet, der durch eine zentrale Berechnungseinheit (CPU), eine Hauptspeichervorrichtung wie einen dynamischen Arbeitsspeicher (DRAM), einen statischen Arbeitsspeicher (SRAM) oder einen Festwertspeicher (ROM) und ein Hilfssprecher-Bauelement wie Flash-Speicher, Festplattenspeicher oder eine SSD dargestellt ist. In dem Hilfsspeicher-Bauelement ist Software, die vorbestimmte Programme beinhaltet, gespeichert. Funktionen der Steuerungseinheit werden durch Betätigen des Bearbeitungsbauelements oder dergleichen entsprechend der Software realisiert. Jedoch kann anstelle der Steuerungseinheit ein Arbeiter die Bestimmung durchführen.
  • Die Anzahl der Stufen ist auf eine vorbestimmte Anzahl von zwei oder größer (4 in dieser Ausführungsform) gesetzt. Da die vier Stufen in dieser Ausführungsform auszubilden sind („Nein“ in S40), fährt das Verfahren zu einem Bewegungsschritt S50 fort. Falls die vier Stufen bereits ausgebildet wurden („Ja“ in S40) wird jedoch das Kanten-Schneiden beendet. In dem Bewegungsschritt S50 unmittelbar nachdem der erste Schneidschritt S30 ausgeführt wurde, wird der Einspanntisch 4 zum Beispiel in einen stationären Zustand versetzt. Um die andere ringförmige Stufe 11e2 (siehe 5B) benachbart zu der Stufe 11e1 aber außerhalb der Stufe 11e1 auszubilden, wird die Schneidklinge 12 zu einer äußeren Seite der Halteoberfläche 4a bewegt. Genauer gesagt wird der Y-Achsenbewegungsmechanismus verwendet, um die Schneideinheit 6 um einen kleinen Abstand (zum Beispiel 0,75 mm) zu der äußeren Seite der Halteoberfläche 4a entlang der Richtung der Drehachse 10a zu bewegen (anders ausgedrückt der Y-Achsenrichtung).
  • 4A ist eine seitliche Teilansicht teilweise im Querschnitt des Werkstücks 11 und der Schneidvorrichtung 2 und stellt den Bewegungsschritt S50 in dem Kanten-Schneidverfahren dar und 4B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des äußeren umfänglichen Abschnitts 11c des Werkstücks 11 in dem Bewegungsschritt S50 von 4A. In dem Bewegungsschritt S50 wird die Schneidklinge 12 zusammen mit der Bewegung der Schneideinheit 6 zu der äußeren Seite der Halteoberfläche 4a um einen kleinen Abstand, der durch einen Pfeil angegeben ist, wie in 4B dargestellt, bewegt. Es sei angemerkt, dass in dem Bewegungsschritt S50 die Schneidklinge 12 auch zu der äußeren Seite der Halteoberfläche 4a bewegt werden kann, während der Einspanntisch 4 seine Drehung kontinuierlich von dem Schneidschritt S30 beibehält. Nach dem Bewegungsschritt S50 kehrt das Verfahren zu dem Einschnitt-Schritt S20 zurück.
  • In einem zweiten Einschnitt-Schritt S20 schneidet die sich drehende Schneidklinge 12 in die Stufe 11e1 auf eine vorbestimmte Tiefe, die größer als eine untere Oberfläche der Stufe 11e1 ist, jedoch nicht die hintere Oberfläche 11b erreicht, während der Einspanntisch 4 in einem stationären Zustand verbleibt. 5A ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des äußeren umfänglichen Abschnitts 11c des Werkstücks 11 und stellt den zweiten Einschnitt-Schritt S20 dar. Durch Drehen des Einspanntischs 4 für mindestens eine Umdrehung nach dem zweiten Einschnitt-Schritt S20, wird die Stufe 11e2 außerhalb der Stufe 11e1 ausgebildet (zweiter Schneidschritt S30).
  • 5B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des äußeren umfänglichen Abschnitts 11c, der erhalten wird, nach dem zweiten Schneidschritt S30. Da eine Bestimmung „Nein“ in S40 nach dem zweiten Schneidschritt S30 gemacht wird, wird die Schneidklinge 12 zu einer äußeren Seite der Halteoberfläche 4a um den kleinen Abstand (zweiter Bewegungsschritt S50) bewegt. In dieser Ausführungsform werden der Einschnitt-Schritt S20, der Schneidschritt S30 und der Bewegungsschritt S50 in dieser Reihenfolge wiederholt. Als eine Konsequenz wird ein abgestuft geneigter Bereich 11f an dem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c ausgebildet, wobei sich eine Dicke von einer äußersten umfänglichen Kante 11c1 (siehe 6A) des Werkstücks 11 zu einer inneren Seite in einer radialen Richtung des Werkstücks 11 erhöht.
  • 6A ist eine vergrößerte Schnittansicht des äußeren umfänglichen Abschnitts 11c des Werkstücks 11, der nach dem Kanten-Schneiden erhalten wird. 6B ist eine Teilansicht im Querschnitt des Werkstücks 11 in seiner Gesamtheit und eines Abschnitts des Einspanntischs 4 und stellt das Werkstück 11 von 6A dar, das nach dem Kanten-Schneiden erhalten wird. 7 ist ein Flussdiagramm, welches das Kanten-Schneidverfahren entsprechend der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt. Der geneigte Bereich 11f in dieser Ausführungsform weist Stufen 11e3 und 11e4 zusätzlich zu den oben beschriebenen Stufen 11e1 und 11e2 auf und ist so insgesamt aus vier Stufen 11e1, 11e2, 11e3 und 11e4 ausgebildet, jedoch ist die Anzahl dieser Stufen nicht auf vier beschränkt. Der geneigte Bereich 11f weist mindestens zwei bevorzugt drei oder mehr Stufen auf.
  • Nach dem Ausbilden des geneigten Bereichs 11f wird das Werkstück 11 an der hinteren Oberfläche 11b unter Verwendung einer Schleifvorrichtung 14 (siehe 8A) geschliffen. Die Schleifvorrichtung 14 weist einen scheibenförmigen Einspanntisch 16 auf. Der Einspanntisch 16 weist eine Halteoberfläche 16a auf, an der das Werkstück 11 unter einem Saugen an der vorderen Oberfläche 11a gehalten wird. Mit einem unteren Abschnitt des Einspanntischs 16 ist eine Ausgangswelle (nicht dargestellt) einer dritten Drehantriebsquelle wie einem Servomotor verbunden. Wenn die dritte Drehantriebsquelle betätigt wird, dreht sich der Einspanntisch 16 um seine Drehachse 16b.
  • Oberhalb der Halteoberfläche 16a ist eine Schleifeinheit 18 angeordnet. Die Schleifeinheit 18 weist eine zylindrische Spindel auf, die sich parallel zu der Z-Achsenrichtung erstreckt und auch als eine Drehachse 18a dient. An einem unteren Endabschnitt der Spindel ist eine ringförmige Schleifscheibe 20 durch eine Scheibenbefestigung befestigt. Wenn das Werkstück 11 an der hinteren Oberfläche 11b geschliffen wird, wird ein Schutzband aus Kunststoff (nicht dargestellt) zuerst an der Seite der vorderen Oberfläche 11a angebracht, um eine Beschädigung an den Bauelementen 15 zu verhindern. Das Werkstück 11 wird dann an der vorderen Oberfläche 11a unter einem Saugen an der Halteoberfläche 16a durch das Schutzband gehalten.
  • Während der Einspanntisch 16 und die Schleifscheibe 20 sich in einer vorbestimmten Richtung drehen, wird eine abwärtige Schleifzufuhr der Schleifeinheit 18 als nächstes durchgeführt. Wenn das Werkstück 11 fortlaufend an der hinteren Oberfläche 11b geschliffen wird, wird das Werkstück 11 schrittweise dünner. 8A ist eine Ansicht, die darstellt, wie das Werkstück 11 an der hinteren Oberfläche 11b geschliffen wird, nach dem Ausbilden des geneigten Bereichs 11f durch das Kanten-Schneidverfahren von 7. 8B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht eines Bereichs 22, der durch eine Ellipse in 8A umgegeben ist. Da der abgestuft geneigte Bereich 11f an dem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c in dieser Ausführungsform ausgebildet wurde, wird ein abgeschnittenes Stück nur selten generiert, sogar wenn das Werkstück 11 von der hinteren Oberfläche 11b geschliffen wird. Falls das Werkstück 11 so dünn ausgestaltet wird, dass eine hintere Oberfläche 11b an einer unteren Position, wie durch die Pfeile in 8B angedeutet, ausgebildet wird, kann jedoch ein Abbrechen an dem äußeren Oberflächenabschnitt 11c an der Seite der hinteren Oberfläche 11b aufgrund eines Einflusses oder dergleichen des Schleifens auftreten und dieses Abplatzen kann in einem abgeschnittenen Stück 19 resultieren.
  • In dieser Ausführungsform wurde jedoch der abgestuft geneigte Bereich 11f ausgebildet. Sogar falls ein abgeschnittenes Stück 19 generiert wird, kann das abgeschnittene Stück 19 in seinem Volumen und seiner Bogenlänge im Vergleich mit einem gebogenen, abgeschnittenen Stück 19 verringert werden, das generiert worden wäre, falls ein Werkstück mit nur einer Stufe durch ein konventionelles Kanten-Schneiden an einer hinteren Oberfläche 11b geschliffen wird. Sogar falls das abgeschnittene Stück 19 generiert wird, existiert folglich eine hohe Wahrscheinlichkeit, dass das Aufsammeln des abgeschnittenen Stücks 19 durch das Schleifschmutz-Sammelsystem (nicht dargestellt), das im Allgemeinen in der Schleifvorrichtung 14 angeordnet ist, möglich ist, wodurch die Frequenz reduziert wird, mit welcher ein Arbeiter abgeschnittene Stücke 19 händisch aufsammelt.
  • 9A ist eine Ansicht, die darstellt, wie ein Werkstück 11, das nur eine Stufe durch ein Kanten-Schneidverfahren entsprechend des Vergleichsbeispiels der ersten Ausführungsform an einer hinteren Oberflächenseite 11b geschliffen wird und 9B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht eines Bereichs 24, der durch eine Ellipse in 9A umgeben ist. Falls das Werkstück 11 mit nur einer Stufe, die an einem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c ausgebildet ist, an der hinteren Oberfläche 11b geschliffen wird, wird ein Riss in der Stufe, wie in 9B dargestellt, generiert, sodass ein abgeschnittenes Stück 19 wahrscheinlich auftritt. Darüber hinaus ist das abgeschnittene Stück 19, das so generiert wird, hinsichtlich des Volumens größer im Vergleich zu dem abgeschnittenen Stück 19 in der ersten Ausführungsform und darum muss ein Arbeiter das abgeschnittene Stück 19 händisch jedes Mal aufsammeln, falls das abgeschnittene Stück 19 generiert wird.
  • Als nächstes wird eine Modifikation der ersten Ausführungsform beschrieben. 10A ist eine vergrößerte Querschnittsansicht eines äußeren umfänglichen Abschnitts 11c eines Werkstücks 11 und stellt einen ersten Einschnitt-Schritt in dem Kanten-Schneidverfahren entsprechend der Modifikation der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar und 10B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht des äußeren umfänglichen Abschnitts 11c von 10A und stellt eine Reihenfolge dar, in welcher mehrere Stufen 11e1 bis 11e4 in dem Kanten-Schneidverfahren von 10A ausgebildet werden. In 10B geben mehrere Pfeile die Richtungen und Bewegungsmengen der Schneidklinge 12 in einem Bewegungsschritt S50 an. In der ersten Ausführungsform werden die Stufen 11e1 bis 11e4 eine nach der anderen an dem äußeren Oberflächenabschnitt 11c von einer inneren Seite zu der äußersten umfänglichen Kante 11e1 (siehe 6A) der vorderen Oberfläche 11a (in anderen Worten in einer auswärtigen Richtung) ausgebildet. In dieser Modifikation werden andererseits die Stufen 11e1 bis 11e4 eine nach der anderen an dem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c von einer äußersten umfänglichen Kante 11e1 zu einer inneren Seite der vorderen Oberfläche 11a (anders ausgedrückt in einer nach innen gerichteten Richtung) ausgebildet. Wie in der ersten Ausführungsform kann auch ein abgestuft geneigter Bereich 11f an dem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c in dieser Modifikation ausgebildet werden, wobei sich eine Dicke von der äußersten umfänglichen Kante 11e1 zu der inneren Seite in der radialen Richtung des Werkstücks 11 erstreckt.
  • Als nächstes wird die zweite Ausführungsform beschrieben. 11 ist ein Flussdiagramm eines Kanten-Schneidverfahrens entsprechend der zweiten Ausführungsform. Um das Verstehen des Kanten-Schneidverfahrens entsprechend der zweiten Ausführungsform zu vereinfachen, wird auf 2A, 3A, 4A, 8A und 10B nach Bedarf Bezug genommen. In der zweiten Ausführungsform, nach einem Halteschritt S10, wird ein abgestuft geneigter Bereich 11f an einem äußeren umfänglichen Abschnitt 11c ausgebildet, wobei sich eine Dicke von einer äußersten umfänglichen Kante 11e1 zu einer inneren Seite in einer radialen Richtung eines Werkstücks 11 erhöht (Bearbeitungsschritt S22). Es sei jedoch angemerkt, dass der Bearbeitungsschritt S22 gleichzeitig verursacht, Einschneiden der Schneidklinge 12 in den äußeren umfänglichen Abschnitt 11c des Werkstücks 11, Drehen des Einspanntischs 4 und Bewegen der Schneidklinge 12 in einer Richtung der Drehachse 10a der Spindel 10.
  • Bei dem Einschneiden durch die Schneidklinge 12 in dem Bearbeitungsschritt S22 werden die sich drehende Schneidklinge 12 und der Einspanntisch 4 relativ durch eine Abwärtsbewegung der Schneideinheit 6 durch den Z-Achsenbewegungsmechanismus bewegt. Anders ausgedrückt schneidet die Schneidklinge 12 in den äußeren umfänglichen Abschnitt 11c, was im Allgemeinen Chopper-Schneiden genannt wird. Hier erhöht sich die Einschnitt-Tiefe graduell über die Zeit. Ferner, falls die Schneidklinge 12 in dem Bearbeitungsschritt S22 bewegt wird, wird die Schneideinheit 6 graduell mit der Zeit entlang der Y-Achsenrichtung von einer inneren Seite zu einer äußeren Seite der Halteoberfläche 4a unter Verwendung des Y-Achsenbewegungsmechanismus bewegt.
  • Als eine Konsequenz wird der äußere umfängliche Abschnitt 11c so bearbeitet, dass untere Oberflächen der mehreren Stufen 11e1, 11e2, 11e3 und 11e4 sich schraubenförmig erstrecken, wenn der geneigte Bereich 11f in einer Aufsicht betrachtet wird (siehe 12). 12 ist eine Aufsicht des Werkstücks 11 von oben, die nach der Bearbeitung erhalten wird. Für die Bewegung der Schneidklinge 12 in dem Bearbeitungsschritt S22 kann die Schneidklinge 12, die in eine äußere Seite eines äußeren Zusatzbereichs 17b geschnitten hat, von der äußeren Seite zu einer inneren Seite des äußeren Zusatzbereichs 17b wie in der oben beschriebenen Modifikation bewegt werden. In diesem Fall wird die Einschnitt-Tiefe mit der Zeit jedoch graduell verringert.
  • In der zweiten Ausführungsform tritt ein abgeschnittenes Stück 19 relativ selten auf, wie in der ersten Ausführungsform, sogar falls das Werkstück 11 an der hinteren Oberfläche 11b geschliffen wird. Sogar falls ein abgeschnittenes Stück 19 generiert wird, kann das abgeschnittene Stück 19 hinsichtlich seines Volumens und seiner Bogenlänge im Vergleich zu dem abgeschnittenen Stück 19 reduziert werden, das generiert wird, falls das Werkstück 11 mit nur einer Stufe, die durch das konventionelle Kanten-Schneidverfahren ausgebildet wurde, an der hinteren Oberfläche 11b geschliffen wird. Sogar falls ein abgeschnittenes Stück 19 generiert wird, existiert folglich eine hohe Wahrscheinlichkeit, dass das Aufsammeln des abgeschnittenen Stücks 19 durch das Schleifschmutz-Sammelsystem (nicht dargestellt), das im Allgemeinen in der Schleifvorrichtung 14 angeordnet ist, ermöglicht wird, wodurch eine Reduktion der Frequenz ermöglicht wird, mit welcher der Arbeiter abgeschnittene Stücke 19 händisch aufsammeln muss.
  • Als nächstes wird die dritte Ausführungsform beschrieben. 13A ist eine vergrößerte Teilansicht im Querschnitt eines äußeren umfänglichen Abschnitts 11c eines Werkstücks 11 und des Abschnitts des Einspanntischs 4 und stellt ein Kanten-Schneidverfahren entsprechend der dritten Ausführungsform dar, bei dem eine Schneidklinge 12a, die eine Dicke größer als die Breite eines äußeren umfänglichen Zusatzbereichs 17b aufweist, verwendet wird. Bei der Verwendung der Schneidklinge 12a können die erste und zweite Ausführungsform und die oben beschriebene Modifikation auch verwirklicht werden. Je größer die Dicke der Klinge ist, desto resistenter ist die Schneidklinge gegenüber Verformung, sogar falls ein Druck in der Richtung der Klingendicke aufgebracht wird. Die Schneidklinge 12a ist so insbesondere für das Ausbilden des schraubenförmigen geneigten Bereichs 11f geeignet, der in 2 beschrieben ist.
  • Als nächstes wird die vierte Ausführungsform beschrieben. 13B ist eine vergrößerte Teilansicht im Querschnitt eines äußeren Abschnitts 11c eines Werkstücks 11 und des Abschnitts des Einspanntischs 4 und stellt ein Kanten-Schneidverfahren entsprechend der vierten Ausführungsform dar, in der eine Schneidklinge 12b, die eine kleinere Klingendicke als die Breite eines umfänglichen Zusatzbereichs 17b aufweist, verwendet wird. Bei der Verwendung der Schneidklinge 12b können die erste und zweite Ausführungsform und die oben beschriebene Modifikation auch verwirklicht werden. Insbesondere, wenn die Schneidklinge 12b verwendet wird, schneidet die Schneidklinge 12b das Werkstück 11 an seiner gesamten Oberfläche an einer Seite ihrer äußeren Umgebung und folglich besteht ein Vorteil, dass eine ungleichmäßige Abnutzung im Vergleich mit der Schneidklinge 12a, die eine große Klingendicke aufweist, selten auftritt.
  • Zusätzlich können die Konfigurationen, die Verfahren und dergleichen entsprechend der oben beschriebenen Ausführungsformen mit Änderungen oder Modifikationen nach Bedarf verwirklicht werden, solange sie nicht von dem Umfang des Ziels der vorliegenden Erfindung abweichen. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2000 [0003]
    • JP 173961 [0003]

Claims (2)

  1. Kanten-Schneidverfahren zum Schneiden eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks, das einen abgeschrägten Teil an dem äußeren umfänglichen Abschnitt aufweist, umfassend: einen Halteschritt zum Halten des Werkstücks an einer Halteoberfläche eines Einspanntischs; einen Einschnitt-Schritt, nach dem Halteschritt, zum relativen Bewegen einer sich drehenden Schneidklinge und des Einspanntischs, um zu verursachen, dass die Schneidklinge in den äußeren umfänglichen Abschnitt des Werkstücks einschneidet; einen Schneidschritt, nach dem Einschnitt-Schritt, zum Drehen des Einspanntischs und Verursachen, dass der äußere umfängliche Abschnitt des Werkstücks geschnitten wird, um eine ringförmige Stufe auszubilden; und einen Bewegungsschritt, nach dem Schneidschritt, zum Bewegen der Schneidklinge in einer Richtung einer Drehachse der Schneidklinge, um eine weitere ringförmige Stufe benachbart zu der erstgenannten ringförmigen Stufe auszubilden, wobei der Einschnitt-Schritt, der Schneidschritt und der Bewegungsschritt in dieser Reihenfolge wiederholt werden und ein abgestuft geneigter Bereich an dem äußeren Oberflächenabschnitt ausgebildet wird, wobei sich eine Dicke von einer äußersten umfänglichen Kante zu einer inneren Seite des Werkstücks erhöht.
  2. Kanten-Schneidverfahren zum Schneiden eines äußeren umfänglichen Abschnitts eines Werkstücks, das einen abgeschrägten Teil an dem äußeren umfänglichen Abschnitt aufweist, umfassend: einen Halteschritt zum Halten des Werkstücks an einer Halteoberfläche eines Einspanntischs; und einen Bearbeitungsschritt, nach dem Halteschritt, zum gleichzeitigen Durchführen von relativem Bewegen einer sich drehende Schneidklinge und des Einspanntischs, um die Schneidklinge dazu zu bringen, in den äußeren umfänglichen Abschnitt des Werkstücks zu schneiden, Drehen des Einspanntischs, und Bewegen der Schneidklinge in einer Richtung der Drehachse der Schneidklinge, wobei in dem Bearbeitungsschritt ein abgestuft geneigter Bereich an dem äußeren umfänglichen Abschnitt ausgebildet wird, wobei sich eine Dicke von einer äußersten umfänglichen Kante zu einer inneren Seite des Werkstücks erhöht und eine untere Oberfläche schraubenförmig über mehrere Stufen ausgebildet ist, wenn der geneigte Bereich in einer Aufsicht betrachtet wird.
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