DE102021102284A1

DE102021102284A1 - Valve plate for a closure device for vacuum-tight closure of an opening in a wall

Info

Publication number: DE102021102284A1
Application number: DE102021102284.3A
Authority: DE
Inventors: Fabian Büchel; Philipp Wohlwend
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 2021-02-01
Filing date: 2021-02-01
Publication date: 2022-08-04
Also published as: TW202235763A; WO2022161966A1; US20240093787A1; KR20230133309A; JP2024504498A; CN116783418A

Abstract

Eine Ventilplatte für eine Verschlussvorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung (2) in einer Wand (3) weist an ihrer Vorderseite einen Dichtring (8) zur Abdichtung gegenüber der Wand (3) und an ihrer Rückseite eine Vertiefung (29) zur Verbindung mit einer Ventilstange (4) der Verschlussvorrichtung auf. An die an der Rückseite der Ventilplatte (1) angeordnete Vertiefung (29) schließt zumindest in Bereichen von zwei gegenüberliegenden Seitenwänden der Vertiefung (29) jeweils eine Erweiterung (30) an. Für eine jeweilige Erweiterung (30) ist eine Gewindebohrung (31) vorhanden, welche an einer Seitenwand der jeweiligen Erweiterung (30) in die Erweiterung (30) mündet, wobei mittels eines in die jeweilige Gewindebohrung (31) eingeschraubten und mit einem Endabschnitt aus der Gewindebohrung (31) in die Erweiterung (30) herausragenden jeweiligen Haltebolzens (39) durch Zusammenwirken des Endabschnitts des Haltebolzens (39) mit einer Nut (32a), die an einem mit dem Ende der Ventilstange (4) verbundenen oder am Ende der Ventilstange (4) einstückig mit dieser ausgebildeten Verbindungsteil (32) angeordnet ist, die Ventilstange (4) mit der Ventilplatte (1) verbindbar ist.A valve plate for a closure device for vacuum-tight closure of an opening (2) in a wall (3) has a sealing ring (8) on its front side for sealing against the wall (3) and on its rear side a recess (29) for connection to a valve rod (4) of the locking device. A widening (30) adjoins the depression (29) arranged on the back of the valve plate (1), at least in areas of two opposite side walls of the depression (29). For each extension (30) there is a threaded hole (31) which opens into the extension (30) on a side wall of the respective extension (30), with a screwed into the respective threaded hole (31) and with an end section from the Threaded hole (31) projecting into the extension (30) of the respective retaining bolt (39) by interaction of the end portion of the retaining bolt (39) with a groove (32a) which is connected to the end of the valve rod (4) or at the end of the valve rod ( 4) is arranged in one piece with this formed connecting part (32), the valve rod (4) can be connected to the valve plate (1).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Ventilplatte für eine Verschlussvorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand, wobei die Ventilplatte an ihrer Vorderseite einen Dichtring zur Abdichtung gegenüber der Wand und an ihrer Rückseite eine Vertiefung zur Verbindung mit einer Ventilstange der Verschlussvorrichtung aufweist. Im Weiteren bezieht sich die Erfindung auf eine Verschlussvorrichtung mit einer solchen Ventilplatte, die mit einer Ventilstange der Verschlussvorrichtung verbunden ist.The invention relates to a valve plate for a closure device for vacuum-tight closure of an opening in a wall, the valve plate having a sealing ring on its front side for sealing against the wall and on its rear side a recess for connection to a valve rod of the closure device. Furthermore, the invention relates to a closure device with such a valve plate, which is connected to a valve rod of the closure device.

Eine Verschlussvorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand kann insbesondere in Form eines Vakuumventils ausgebildet sein, welches ein Ventilgehäuse aufweist, in dem die Ventilplatte angeordnet ist. Eine der Wände des Ventilgehäuses weist hierbei die von der Ventilplatte verschließbare Öffnung auf und in einer anderen Wand des Ventilgehäuses ist eine weitere Öffnung vorhanden, um im geöffneten Zustand des Vakuumventils einen Durchgang durch das Ventilgehäuse auszubilden. Eine weitere Möglichkeit zur Ausbildung einer Verschlussvorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand besteht in einer Vakuumtür, von der eine Öffnung in einer Vakuumkammer gegenüber dem die Vakuumkammer umgebenden Außenraum abgesperrt wird (wobei eine Vakuumtür ebenfalls als eine Art Vakuumventil angesehen werden kann). Hier kann eine von der Ventilplatte verschließbare Öffnung direkt in der Wand einer Vakuumkammer angeordnet sein, an welcher die Verschlussvorrichtung angebracht ist. Die Wand stellt dann somit keinen Teil der Verschlussvorrichtung dar.A closure device for the vacuum-tight closure of an opening in a wall can be designed in particular in the form of a vacuum valve which has a valve housing in which the valve plate is arranged. One of the walls of the valve housing has the opening that can be closed by the valve plate, and another wall of the valve housing has a further opening in order to form a passage through the valve housing when the vacuum valve is in the open state. A further possibility for designing a closure device for the vacuum-tight closure of an opening in a wall consists in a vacuum door, by which an opening in a vacuum chamber is closed off from the outside space surrounding the vacuum chamber (whereby a vacuum door can also be regarded as a type of vacuum valve). Here, an opening that can be closed by the valve plate can be arranged directly in the wall of a vacuum chamber to which the closing device is attached. The wall is then not part of the closure device.

Bei Vakuumventilen und Vakuumtüren kann es von Zeit zu Zeit erforderlich sein, dass die Ventilplatte gewartet wird, insbesondere aufgrund des Verschleißes des an ihr angeordneten Dichtrings, der zur Abdichtung gegenüber einer an der Wand angeordneten Dichtfläche dient. Besonders beim Einsatz von aggressiven Prozessgasen, wie diese beispielsweise in der Halbleiterindustrie verwendet werden, ist dieser Verschleiß relativ hoch. Zur Wartung der Ventilplatte muss diese von der Ventilstange abgenommen werden können. Hierzu ist üblicherweise eine Schraubverbindung zwischen der Ventilstange und der Ventilplatte vorgesehen.Vacuum valves and vacuum doors may require the valve plate to be serviced from time to time, particularly due to wear of the sealing ring thereon which serves to seal against a sealing surface on the wall. This wear is relatively high, particularly when aggressive process gases are used, such as those used in the semiconductor industry, for example. In order to service the valve plate, it must be possible to remove it from the valve rod. For this purpose, a screw connection is usually provided between the valve rod and the valve plate.

So zeigt die EP 0 453 857 B1 ein Vakuumventil, bei welchem eine Verbindungsvorrichtung, über welche die Ventilplatte mit der Ventilstange verbunden ist, an die Rückseite der Ventilplatte angeschraubt ist. Die Verbindungsvorrichtung weist hierbei eine Beweglichkeit sowohl um eine parallel zur Längserstreckung der Ventilplatte als auch um eine rechtwinkelig zur Längserstreckung der Ventilplatte stehende Achse auf, um trotz vorliegender Toleranzen im geschlossenen Zustand des Vakuumventils eine gleichmäßige Verpressung des an der Vorderseite der Ventilplatte angeordneten elastischen Dichtrings zu erreichen.This is how it shows EP 0 453 857 B1 a vacuum valve in which a connecting device, via which the valve plate is connected to the valve rod, is screwed to the back of the valve plate. The connecting device can move both about an axis parallel to the longitudinal extent of the valve plate and about an axis perpendicular to the longitudinal extent of the valve plate, in order to achieve uniform compression of the elastic sealing ring arranged on the front side of the valve plate despite the tolerances present when the vacuum valve is closed .

Durch Vorbenutzung bekannt ist auch ein Vakuumventil in Form eines Eckventils, bei welchem ein Ende der Ventilstange ein Außengewinde aufweist, mit welchem die Ventilstange direkt in eine Sackloch-Gewindebohrung eingeschraubt wird, die an der Rückseite der Ventilplatte ausgebildet ist. Eine Beweglichkeit der Ventilplatte gegenüber der Ventilstange ist hier nicht gegeben.Also known from previous use is a vacuum valve in the form of a corner valve in which one end of the valve rod has an external thread with which the valve rod is screwed directly into a blind tapped hole formed on the rear side of the valve plate. The valve plate cannot move relative to the valve rod here.

Weitere Verbindungsvorrichtungen zwischen einer Ventilplatte und einer Ventilstange, welche eine Bewegungsmöglichkeit der Ventilplatte gegenüber der Ventilstange zulassen, gehen aus der US 7,134,642 B2 und US 3,837,617 hervor. Die darin gezeigten Ventilplatten weisen eine Öffnung an einer ihrer Schmalseiten auf, um einen Endabschnitt der Ventilstange und/oder Teile der Verbindungsvorrichtung aufzunehmen.Other connecting devices between a valve plate and a valve rod, which allow a possibility of movement of the valve plate relative to the valve rod, go from the U.S. 7,134,642 B2 and U.S. 3,837,617 out. The valve plates shown therein have an opening on one of their narrow sides in order to receive an end portion of the valve rod and/or parts of the connecting device.

Bei industriell durchgeführten Vakuumprozessen ist es meist erwünscht, dass von den eingesetzten Vakuumkomponenten möglichst wenige Partikel in das Vakuum freigesetzt werden, um die Qualität des Vakuumprozesses nicht zu beeinträchtigen. Bei gleitend gegeneinander sich bewegenden Teilen werden jedoch viele Partikel erzeugt und freigesetzt.In industrial vacuum processes, it is usually desirable for the vacuum components used to release as few particles as possible into the vacuum in order not to impair the quality of the vacuum process. However, in the case of parts moving against each other in a sliding manner, many particles are generated and released.

Aufgabe der Erfindung ist es eine vorteilhafte Ventilplatte der eingangs genannten Art bereitzustellen, welche in einfacher Weise und zuverlässig mit der Ventilstange verbindbar und von der Ventilstange abnehmbar ist, wobei die Verbindung direkt mit der Ventilstange oder über eine mit der Ventilstange verbundene Verbindungsvorrichtung erfolgen kann. Erfindungsgemäß gelingt dies durch eine Ventilplatte mit den Merkmalen des Anspruchs 1.The object of the invention is to provide an advantageous valve plate of the type mentioned at the outset, which can be connected to the valve rod and removed from the valve rod in a simple and reliable manner, wherein the connection can be made directly to the valve rod or via a connecting device connected to the valve rod. According to the invention, this is achieved by a valve plate having the features of claim 1.

Bei der Ventilplatte gemäß der Erfindung schließt an die an der Rückseite der Ventilplatte angeordnete Vertiefung zumindest in Bereichen von zwei gegenüberliegenden Seitenwänden der Vertiefung jeweils eine Erweiterung an. Pro vorliegender Erweiterung ist in der Ventilplatte eine Gewindebohrung ausgebildet, welche an einer Seitenwand der jeweiligen Erweiterung in die Erweiterung mündet. Mittels eines in die jeweilige Gewindebohrung eingeschraubten und mit einem Endabschnitt aus der Gewindebohrung in die Erweiterung herausragenden jeweiligen Haltebolzens ist die Ventilplatte mit der Ventilstange verbindbar, und zwar durch Zusammenwirken des Endes des jeweiligen Haltebolzens mit einer Nut, die an einem mit dem Ende der Ventilstange verbundenen oder am Ende der Ventilstange einstückig mit dieser ausgebildeten Verbindungsteil angeordnet ist. Zum Lösen der Ventilplatte von der Ventilstange können somit die Haltebolzen soweit aufgeschraubt werden, dass ihre Endabschnitte außer Eingriff mit der oder der jeweiligen Nut gelangen.In the valve plate according to the invention, the indentation arranged on the rear side of the valve plate is adjoined by an enlargement, at least in regions of two opposite side walls of the indentation. A threaded hole is formed in the valve plate for each extension, which opens into the extension on a side wall of the respective extension. The valve plate can be connected to the valve rod by means of a respective retaining bolt which is screwed into the respective threaded bore and protrudes with an end section out of the threaded bore into the enlargement, namely through the interaction of the end of the respective retaining bolt with a groove which is connected to the end of the valve rod or at the end of the valve rod is arranged in one piece with this trained connecting part. To detach the valve plate from the valve rod, the retaining bolts can thus be screwed on until their end sections disengage from the groove or grooves.

Günstigerweise erstrecken sich die genannten Gewindebohrungen in der Ventilplatte parallel zur Ebene, in der die Ventilplatte liegt. Insbesondere sind sie in einem Winkel von mehr als 45°, vorzugsweise in einem Winkel von 90°, zur Längserstreckung der Ventilplatte angeordnet.Favorably, said threaded bores in the valve plate extend parallel to the plane in which the valve plate lies. In particular, they are arranged at an angle of more than 45°, preferably at an angle of 90°, to the longitudinal extension of the valve plate.

Die Abmessungen der Erweiterungen der Vertiefung sind zweckmäßigerweise in alle Richtungen parallel zur Ebene gemessen, in der die Ventilplatte liegt, kleiner als die Abmessungen der Vertiefung (ohne diese Erweiterungen) in die korrespondierenden Richtungen gemessen. Die Erweiterungen erstrecken sich ausgehend von der Vertiefung der Ventilplatte vorzugsweise in voneinander weg gerichtete Richtungen, die parallel zur Längserstreckung der Ventilplatte liegen.The dimensions of the extensions of the recess are suitably measured in all directions parallel to the plane in which the valve plate lies, smaller than the dimensions of the recess (without these extensions) measured in the corresponding directions. Starting from the indentation of the valve plate, the extensions preferably extend in directions directed away from one another, which lie parallel to the longitudinal extent of the valve plate.

Vorteilhafterweise weist die Ventilplatte eine die Vertiefung mit den Erweiterungen umgebende Dichtfläche oder eine solche Dichtung auf. Über diese Dichtfläche oder Dichtung kann somit eine Abdichtung zwischen der Ventilplatte und einem mit dem Ende der Ventilstange verbundenen öder am Ende der Ventilstange einstückig mit dieser ausgebildeten Verbindungsstück, von dem das mindestens eine Verbindungsteil absteht, erreicht werden. Somit kann der Innenraum der Vertiefung mit den Erweiterungen gegenüber dem umgebenden Raum, welcher beispielsweise den Innenraum eines Ventilgehäuses darstellt, abgedichtet werden. Wenn bei der gleitenden Relativbewegung zwischen Teilen, die in der Vertiefung der Ventilplatte angeordnet sind, Partikel gebildet werden, so können diese Partikel durch die Abdichtung am Austreten aus diesem Innenraum gehindert werden.Advantageously, the valve plate has a sealing surface or such a seal surrounding the depression with the widenings. This sealing surface or seal can thus be used to seal between the valve plate and a connecting piece connected to the end of the valve rod or formed integrally with the end of the valve rod and from which the at least one connecting part protrudes. The interior of the depression with the extensions can thus be sealed off from the surrounding space, which represents, for example, the interior of a valve housing. If particles are formed during the relative sliding movement between parts arranged in the recess of the valve plate, these particles can be prevented from escaping from this inner space by the seal.

Eine Verschlussvorrichtung gemäß der Erfindung weist eine erfindungsgemäße Ventilplatte auf, die mit der Ventilstange der Verschlussvorrichtung verbunden ist, wobei die Haltebolzen in die mindestens eine am mindestens einen Verbindungsteil angeordnete Nut eingreifen.A closure device according to the invention has a valve plate according to the invention, which is connected to the valve rod of the closure device, with the retaining bolts engaging in the at least one groove arranged on the at least one connecting part.

Vorzugsweise ist ein Verbindungsstück, von dem das mindestens eine Verbindungsteil absteht, lösbar mit dem Ende der Ventilstange verbunden. Insbesondere kann eine Beweglichkeit zwischen dem Verbindungsstück und der Ventilstange vorgesehen sein. Das Verbindungsstück kann somit Teil einer zwischen der Ventilplatte und der Ventilstange angeordneten Verbindungsvorrichtung sein. Grundsätzlich denkbar und möglich wäre es aber auch, dass das Verbindungsstück einstückig mit dem Ende der Ventilstange ausgebildet ist.Preferably, a connecting piece from which the at least one connecting part projects is releasably connected to the end of the valve rod. In particular, mobility can be provided between the connecting piece and the valve rod. The connecting piece can thus be part of a connecting device arranged between the valve plate and the valve rod. In principle, however, it would also be conceivable and possible for the connecting piece to be designed in one piece with the end of the valve rod.

Das Verbindungsstück weist günstigerweise einen Fortsatz auf, der in die Vertiefung der Ventilplatte ragt, wobei eine Verdrehsicherung zwischen dem Fortsatz und der Ventilplatte ausgebildet ist. Das kann insbesondere dadurch erreicht werden, dass der Fortsatz des Verbindungsstücks eine von der Kreisform abweichende Umfangskontur aufweist, die mit einer korrespondierenden Umfangskontur der Vertiefung zusammenwirkt.The connecting piece expediently has an extension which protrudes into the depression in the valve plate, with an anti-twist device being formed between the extension and the valve plate. This can be achieved in particular in that the extension of the connecting piece has a peripheral contour that deviates from the circular shape and interacts with a corresponding peripheral contour of the depression.

Die bzw. die jeweilige Nut, in welche der Endabschnitt des jeweiligen Haltebolzens eingreift, weist vorteilhafterweise (in einem parallel zur Längserstreckung des jeweiligen Haltebolzens und durch dessen Längsmittelachse verlaufenden Schnitt gesehen) eine Schrägfläche auf, die mit dem konisch zusammenlaufenden Endabschnitt des jeweiligen Haltebolzens zusammenwirkt. Dadurch wird das Verbindungsstück beim Verbinden der Haltebolzen mit dem mindestens einen Verbindungsteil an die Ventilplatte angedrückt. Es ergibt sich dadurch eine stabile Verbindung, wobei auch eine ringförmige Dichtung zwischen dem Verbindungsstück und der Ventilplatte, welche die Vertiefung mit den Erweiterungen umgibt, komprimiert werden kann.The or the respective groove, in which the end section of the respective retaining bolt engages, advantageously (seen in a section running parallel to the longitudinal extent of the respective retaining bolt and through its longitudinal center axis) has an inclined surface which cooperates with the conically converging end section of the respective retaining bolt. As a result, when the retaining bolts are connected to the at least one connecting part, the connecting piece is pressed against the valve plate. This results in a stable connection, with an annular seal between the connecting piece and the valve plate, which surrounds the recess with the extensions, also being able to be compressed.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der beiliegenden Zeichnung erläutert. In dieser zeigen:

1 eine Schrägsicht eines Teils einer Verschlussvorrichtung mit einer erfindungsgemäßen Ventilplatte in der Offenstellung der Ventilplatte;
2 eine Schrägsicht analog 1 in der Schließstellung der Ventilplatte;
3 und 4 eine Seitenansicht und eine Ansicht der Verschlussvorrichtung in der Offenstellung der Ventilplatte;
5 einen Schnitt entlang der Linie A-A von 4;
6 eine Seitenansicht des vorderen Endes der Ventilstange mit der über die Verbindungsvorrichtung mit der Ventilstange verbundenen Ventilplatte;
7 eine Schrägsicht der Ventilplatte mit der mit ihr verbundenen Verbindungsvorrichtung;
8 eine Schrägsicht aus einer gegenüber 7 unterschiedlichen Blickrichtung;
9 eine Schrägsicht des vorderen Endes der Ventilstange, der Verbindungsvorrichtung und der Ventilplatte, im auseinandergenommenen Zustand dieser Teile;
10 eine Draufsicht auf die Rückseite der Ventilplatte;
11 einen Schnitt entlang der Linie A-A von 10;
12 einen Schnitt entlang der Linie B-B von 10;
13 eine Draufsicht auf die Rückseite der Ventilplatte mit der mit der Ventilplatte verbundenen Verbindungsvorrichtung;
14 einen Schnitt entlang der Linie C-C von 13;
15 einen Schnitt entlang der Linie D-D von 13;
16 einen Schnitt entlang der Linie E-E von 13;
17 einen Schnitt entlang der Linie F-F von 13;
18 und 19 Explosionsdarstellungen der Verbindungsvorrichtung aus unterschiedlichen Blickrichtungen.

Further advantages and details of the invention are explained below with reference to the attached drawing. In this show:

1 an oblique view of part of a closure device with a valve plate according to the invention in the open position of the valve plate;
2 an oblique view analogous 1 in the closed position of the valve plate;
3 and 4 a side view and a view of the closure device in the open position of the valve plate;
5 a section along the line AA of 4 ;
6 a side view of the front end of the valve rod with the valve plate connected to the valve rod via the connecting device;
7 an oblique view of the valve plate with the connecting device connected to it;
8th an oblique view from a opposite 7 different line of sight;
9 an oblique view of the front end of the valve rod, the connecting device and the valve plate, in the disassembled state of these parts;
10 a plan view of the back of the valve plate;
11 a section along the line AA of 10 ;
12 a cut along the line BB of 10 ;
13 a plan view of the rear of the valve plate with the connecting device connected to the valve plate;
14 a section along the line CC of 13 ;
15 a section along the line DD of 13 ;
16 a section along the line EE of 13 ;
17 a section along the line FF of 13 ;
18 and 19 Exploded views of the connecting device from different perspectives.

Die Figuren weisen unterschiedliche Maßstäbe auf und sind teilweise vereinfacht dargestellt.The figures have different scales and are sometimes shown in a simplified manner.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im Folgenden anhand der 1 bis 19 erläutert.An embodiment of the invention is described below with reference to 1 until 19 explained.

In den Figuren ist beispielhaft eine Verschlussvorrichtung dargestellt, welche die Ventilplatte 1 aufweist, die zwischen einer Offenstellung (1) und einer Schließstellung ( 2) verstellbar ist. In der Offenstellung der Ventilplatte ist eine Öffnung 2 in einer Wand 3 freigegeben, in der Schließstellung ist die Öffnung 2 von der Ventilplatte 1 vakuumdicht verschlossen.In the figures, a closure device is shown as an example, which has the valve plate 1 between an open position ( 1 ) and a closed position ( 2 ) is adjustable. In the open position of the valve plate, an opening 2 in a wall 3 is exposed, in the closed position the opening 2 is closed by the valve plate 1 in a vacuum-tight manner.

Unter einem vakuumdichten Verschließen wird eine Leckrate Q von zumindest weniger als 10^-4 mbar l/s verstanden.A vacuum-tight closure means a leakage rate Q of at least less than 10 ^-4 mbar l/s.

Die Ventilplatte 1 wird von einer eine Längsachse 26 aufweisenden Ventilstange 4 getragen. Im Ausführungsbeispiel erfolgt die Verstellung der Ventilplatte 1 zwischen der Offenstellung und der Schließstellung lediglich durch eine axiale Verstellung der Ventilstange 4.The valve plate 1 is carried by a valve rod 4 having a longitudinal axis 26 . In the exemplary embodiment, the valve plate 1 is adjusted between the open position and the closed position merely by an axial adjustment of the valve rod 4.

Zur Verstellung der Ventilstange 4, um die Ventilplatte 1 zwischen der Offen- und der Schließstellung zu verstellen, dient ein Antrieb 5, welcher im Ausführungsbeispiel von einer pneumatischen Kolben-Zylinder-Einheit gebildet wird. Die Ventilstange 4 ist mit der Kolbenstange dieser Kolben-Zylinder-Einheit verbunden oder einstückig mit dieser ausgebildet.To adjust the valve rod 4 in order to adjust the valve plate 1 between the open and the closed position, a drive 5 is used, which in the exemplary embodiment is formed by a pneumatic piston-cylinder unit. The valve rod 4 is connected to the piston rod of this piston-cylinder unit or is formed in one piece with it.

Zur Abdichtung zwischen der Ventilplatte 1 und der Wand 3 im geschlossenen Zustand der Verschlussvorrichtung dient ein Dichtring 8 aus einem elastomeren Material, der an der Vorderseite der Ventilplatte 1 angebracht ist. Die Öffnung 2 in der Wand 3 ist von einer Dichtfläche 13 umgeben, die den Dichtsitz bildet, an dem der Dichtring 8 in der Schließstellung der Ventilplatte 1 anliegt.A sealing ring 8 made of an elastomeric material, which is attached to the front side of the valve plate 1, is used to seal between the valve plate 1 and the wall 3 when the closure device is in the closed state. The opening 2 in the wall 3 is surrounded by a sealing surface 13 which forms the sealing seat against which the sealing ring 8 rests when the valve plate 1 is in the closed position.

Der Dichtring 8 kann in einer Nut der an der Vorderseite der Ventilplatte 1 angeordnet und in dieser gehalten sein oder an die Vorderseite der Ventilplatte 1 anvulkanisiert sein.The sealing ring 8 can be arranged in a groove on the front side of the valve plate 1 and held in it, or it can be vulcanized onto the front side of the valve plate 1 .

Die Wand 3 kann Teil eines Ventilgehäuses sein, von dem in den 1 bis 4 jeweils nur ein Teil dargestellt ist. Der restliche Teil des Ventilgehäuses ist in 5 durch gestrichelte Linien angedeutet. Dieses Ventilgehäuse weist somit einen Innenraum auf, in welchem die Ventilplatte 1 angeordnet ist. Außerdem weist ein solches Ventilgehäuse eine zweite, in 5 ebenfalls angedeutete Öffnung 9 auf, beispielsweise der Öffnung 2 gegenüberliegend, um in der Offenstellung der Ventilplatte 1 einen Durchgangskanal durch das Ventilgehäuse auszubilden. Die Verschlussvorrichtung umfasst in diesem Ausführungsbeispiel somit auch das Ventilgehäuse mit der Wand 3 mit der Öffnung 2 und bildet ein Vakuumventil.The wall 3 may be part of a valve housing from which in the 1 until 4 only a part is shown in each case. The remaining part of the valve body is in 5 indicated by dashed lines. This valve housing thus has an interior space in which the valve plate 1 is arranged. In addition, such a valve housing has a second, in 5 also indicated opening 9, for example, the opening 2 opposite to form in the open position of the valve plate 1 a passage through the valve housing. In this exemplary embodiment, the closure device thus also includes the valve housing with the wall 3 with the opening 2 and forms a vacuum valve.

Das Ventilgehäuse besitzt eine weitere Öffnung 11, durch welche die Ventilstange 4 aus dem Innenraum des Ventilgehäuses herausgeführt ist. Diese Öffnung 11 ist von einem Anschlussstück 10 vakuumdicht verschlossen, an welchem der Antrieb 5 angebracht ist, wobei die Ventilstange 4 einen Durchgangskanal durch das Anschlussstück 10 durchsetzt und von diesem axial geführt ist. Zur Abdichtung zwischen dem Ventilgehäuse und dem Anschlussstück 10 dient eine ringförmige Dichtung 12. Zur Abdichtung der Ventilstange 4 gegenüber dem Durchgangskanal durch das Anschlussstück 10 dient im Ausführungsbeispiel ein Faltenbalg 6. Anstelle eines Faltenbalgs könnte zur Abdichtung auch eine Gleitdichtung mit mindestens einem Dichtring vorgesehen sein.The valve housing has a further opening 11 through which the valve rod 4 is guided out of the interior of the valve housing. This opening 11 is closed in a vacuum-tight manner by a connecting piece 10 to which the drive 5 is attached, with the valve rod 4 passing through a through-channel through the connecting piece 10 and being guided axially by it. An annular seal 12 is used to seal between the valve housing and the connection piece 10. In the exemplary embodiment, a bellows 6 is used to seal the valve rod 4 from the through-channel through the connection piece 10. Instead of a bellows, a sliding seal with at least one sealing ring could also be provided for sealing.

In einer modifizierten Ausführungsform könnte die Verschlussvorrichtung, die wie in den 1 bis 4 dargestellt ausgebildet ist, also wie in 5 ohne die gestrichelten Linien ausgebildet ist, auch an der Außenseite einer Wand einer Vakuumkammer angebracht sein, wobei die Öffnung 2 mit einer Öffnung in dieser Wand der Vakuumkammer fluchtet und die Wand 3 im die Öffnung 2 umgebenden Bereich gegenüber der Wand der Vakuumkammer abgedichtet ist. In einer solchen Anwendung könnte die Verschlussvorrichtung auch als Tür bezeichnet werden.In a modified embodiment, the closure device as in the 1 until 4 is shown, i.e. as in 5 without the dotted lines may also be attached to the outside of a wall of a vacuum chamber, the opening 2 being aligned with an opening in that wall of the vacuum chamber and the wall 3 being sealed to the wall of the vacuum chamber in the area surrounding the opening 2. In such an application, the closure device could also be referred to as a door.

In einer noch weiteren Ausführungsform könnte es sich bei der die Öffnung 2 aufweisenden Wand 3 auch um einen Teil einer Vakuumkammer handeln. Diese Vakuumkammer besitzt somit eine weitere Öffnung, entsprechend der in den Figuren dargestellten Öffnung 11, durch welche die Ventilstange 4 aus dem Innenraum der Vakuumkammer herausgeführt ist und die vom Anschlussstück 10 verschlossen ist, wobei am Anschlussstück wiederum der Antrieb 5 angebracht ist und die Ventilstange sich durch einen Durchgangskanal im Anschlussstück erstreckt. Die Ventilstange kann wiederum mittels eines Faltenbalgs (oder mittels einer Gleitdichtung) abgedichtet in den Vakuumbereich der Vakuumkammer geführt sein. Die die Öffnung 2 aufweisende Wand 3 stellt in dieser Ausführungsform also keinen Teil der Verschlussvorrichtung dar.In yet another embodiment, the wall 3 having the opening 2 could also be part of a vacuum chamber. This vacuum chamber thus has a further opening, corresponding to the opening 11 shown in the figures, through which the valve rod 4 is led out of the interior of the vacuum chamber and which is closed by the connection piece 10, the drive 5 being attached to the connection piece and the valve rod itself extends through a passage in the connector. The valve rod can in turn be guided into the vacuum region of the vacuum chamber in a sealed manner by means of a bellows (or by means of a sliding seal). The wall 3 having the opening 2 is therefore not part of the closure device in this embodiment.

Die Ventilplatte 1 ist mit einer im Wesentlichen rechteckigen Umfangskontur ausgebildet. „Im Wesentlichen rechteckig“ bedeutet hier, dass die Ventilplatte rechteckig mit abgerundeten Ecken ausgebildet ist.The valve plate 1 is formed with an essentially rectangular peripheral contour. “Essentially rectangular” here means that the valve plate is rectangular with rounded corners.

Die Öffnung 2 besitzt eine korrespondierende Kontur.The opening 2 has a corresponding contour.

Die Ventilplatte 1 liegt in einer Ebene 14, welche auch als Mittelebene oder Hauptebene der Ventilplatte bezeichnet werden könnte. Der Dichtring 8 erstreckt sich parallel zu dieser Ebene 14.The valve plate 1 lies in a plane 14, which could also be referred to as the central plane or main plane of the valve plate. The sealing ring 8 extends parallel to this plane 14.

An der Rückseite der Ventilplatte 1, welche der Vorderseite der Ventilplatte 1, an der der Dichtring 8 angeordnet ist, gegenüberliegt, weist die Ventilplatte einen vorspringenden Abschnitt 1a auf, in welchem eine Vertiefung 29 angeordnet ist, wie weiter unten noch genauer erläutert wird.On the rear side of the valve plate 1, which is opposite the front side of the valve plate 1 on which the sealing ring 8 is arranged, the valve plate has a projecting section 1a in which a recess 29 is arranged, as will be explained in more detail below.

Die Ventilstange 4 ist im Ausführungsbeispiel mit der Ventilplatte 1 mittels einer Verbindungsvorrichtung 15 verbunden, die eine Beweglichkeit zwischen der Ventilplatte 1 und der Ventilstange 4 ermöglicht. Hierzu weist die Verbindungsvorrichtung 15 einen Gelenkkopf 16 auf, der mit der Ventilstange 4 starr verbunden ist und im inneren Aufnahmeraum 18 eines gehäuseartigen Gelenkkörpers angeordnet ist, der ein Verbindungsstück 17a, das eine topfförmige Ausnehmung besitzt, und ein Deckelteil 17b umfasst, das das Verbindungsstück verschließt und mittels einer ringförmigen Dichtung 21 gegenüber diesem abgedichtet ist. Die Verbindung des Deckelteils 17b mit dem Verbindungsstück 17a erfolgt über Schrauben 22.In the exemplary embodiment, the valve rod 4 is connected to the valve plate 1 by means of a connecting device 15 which enables mobility between the valve plate 1 and the valve rod 4 . For this purpose, the connecting device 15 has a joint head 16, which is rigidly connected to the valve rod 4 and is arranged in the inner receiving space 18 of a housing-like joint body, which includes a connecting piece 17a, which has a cup-shaped recess, and a cover part 17b, which closes the connecting piece and sealed thereto by an annular seal 21 . The cover part 17b is connected to the connecting piece 17a via screws 22.

Über das Verbindungsstück 17a erfolgt die Verbindung mit der Ventilplatte 1, wie weiter unten genauer beschrieben wird.The connection to the valve plate 1 takes place via the connecting piece 17a, as will be described in more detail below.

Die Verbindung der Ventilstange 4 mit dem Gelenkkopf 16 erfolgt mittels einer Verbindungsschraube 23, welche eine zentrale Durchgangsbohrung 24 durch den Gelenkkopf 16 durchsetzt und in eine Gewindebohrung 25 am stirnseitigen Ende der Ventilstange 4 eingeschraubt ist. Die Ventilstange besitzt hierbei einen Verbindungsabschnitt 4a mit einem zumindest im Wesentlichen quadratischen Querschnitt und der Gelenkkopf 16 besitzt eine Vertiefung 16a mit einer korrespondierenden Außenkontur, in welche der Verbindungsabschnitt 4a der Ventilstange 4 zur Verdrehsicherung der Ventilstange gegenüber dem Gelenkkopf ragt.The valve rod 4 is connected to the joint head 16 by means of a connecting screw 23 which penetrates a central through hole 24 through the joint head 16 and is screwed into a threaded hole 25 at the front end of the valve rod 4 . The valve rod has a connecting section 4a with an at least substantially square cross section, and the joint head 16 has a recess 16a with a corresponding outer contour, into which the connecting section 4a of the valve rod 4 protrudes to prevent the valve rod from rotating relative to the joint head.

Zur Ermöglichung des Einschraubens der Verbindungsschraube 23 in die Gewindebohrung 25 der Ventilstange 4 weist das Verbindungsstück 17a im Boden eine Fensteröffnung 20 auf. To enable the connecting screw 23 to be screwed into the threaded bore 25 of the valve rod 4, the connecting piece 17a has a window opening 20 in the bottom.

Das Deckelteil 17b besitzt eine Fensteröffnung 27, durch welche die Ventilstange 4 im Bereich eines Endabschnitts ragt. In einer Mittellage der Verbindungsvorrichtung, in welcher die Ventilplatte 1 rechtwinkelig zur Längsachse 26 der Ventilstange 4 ausgerichtet ist (d.h. die Ebene 14, in der die Ventilplatte 1 liegt, steht rechtwinkelig zur Längsachse 26), liegt zwischen der Ventilstange 4 und dem Rand der Fensteröffnung 27 im Deckelteil 17b ein Ringspalt s vor. Es wird dadurch ausgehend von der Mittellage eine (begrenzte) Verschwenkung der Ventilplatte 1 um eine beliebige rechtwinkelig zur Längsachse 26 der Ventilstange 4 stehende Achse ermöglicht.The cover part 17b has a window opening 27 through which the valve rod 4 protrudes in the area of an end section. In a middle position of the connecting device, in which the valve plate 1 is aligned perpendicularly to the longitudinal axis 26 of the valve rod 4 (i.e. the plane 14 in which the valve plate 1 lies is perpendicular to the longitudinal axis 26), lies between the valve rod 4 and the edge of the window opening 27 in the cover part 17b an annular gap s. Starting from the central position, this enables (limited) pivoting of the valve plate 1 about any axis that is at right angles to the longitudinal axis 26 of the valve rod 4 .

Im Aufnahmeraum 18 des Gelenkkörpers 17a, 17b sind ein erstes und ein zweites Gelenkpfannenteil 35, 36 angeordnet. Die Gelenkpfannenteile 35, 36 besitzen jeweils eine konkave Gelenkfläche 35a, 36a. Diese konkave Gelenkfläche 35a, 36a weist jeweils die Form eines Abschnitts einer Kugelinnenfläche auf. Die konkaven Gelenkflächen 35a, 36a der Gelenkpfannenteile 35, 36 sind von gegenüberliegenden Seiten her auf den Gelenkkopf 16 aufgesetzt und wirken mit jeweils zugeordneten konvexen Gelenkflächen 16b, 16c des Gelenkkopfs 16 zusammen. Die konvexen Gelenkflächen 16b, 16c sind jeweils in Form eines Abschnitts einer Kugelfläche ausgebildet und stellen jeweils einen Abschnitt der äußeren Oberfläche des Gelenkkopfs 16 dar.A first and a second joint socket part 35, 36 are arranged in the receiving space 18 of the joint body 17a, 17b. The socket parts 35, 36 each have a concave articulation surface 35a, 36a. This concave joint surface 35a, 36a each has the shape of a section of a spherical inner surface. The concave joint surfaces 35a, 36a of the joint socket parts 35, 36 are placed on the joint head 16 from opposite sides and interact with respectively assigned convex joint surfaces 16b, 16c of the joint head 16. The convex joint surfaces 16b, 16c are each in the form of a section of a spherical surface and each represent a section of the outer surface of the joint head 16.

Die Gelenkpfannenteile 35, 36 sind durch ein federelastisches Element 37 in Form einer Federscheibe an den Gelenkkopf 16 angedrückt. Das federelastische Element 37 ist mittels Schrauben 38 an das Verbindungsstück 17a angeschraubt. Im an die Öffnung 37a anschließenden Bereich weist es radiale Einschnitte auf und die von den Einschnitten abgetrennten Segmente sind aufgebogen. In diesem Bereich liegt das federelastische Element 37 am zweiten Gelenkpfannenteil 36 an und drückt dieses gegen den Gelenkkopf 16, wodurch der Gelenkkopf 16 gegen das erste Gelenkpfannenteil 35 gedrückt wird, welches auf einer Bodenfläche am Boden der topfförmigen Ausnehmung im Verbindungsstück 17a aufliegt.The joint socket parts 35, 36 are pressed against the joint head 16 by a resilient element 37 in the form of a spring washer. The resilient element 37 is screwed to the connecting piece 17a by means of screws 38 . In the area adjoining the opening 37a, it has radial incisions and the segments severed from the incisions are bent up. In this area, the resilient element 37 rests against the second joint socket part 36 and presses it against the joint head 16, whereby the joint head 16 is pressed against the first socket part 35 which rests on a bottom surface at the bottom of the cup-shaped recess in the connector 17a.

Der Gelenkkopf wird dadurch reibschlüssig in der gerade vorliegenden Stellung gehalten. Dieser Reibschluss ist so stark, dass dadurch auch das Gewicht der Ventilplatte 1 aufgenommen werden kann, ohne dass es zu einer Veränderung der Stellung des Gelenkkopfs 16 kommt, und zwar unabhängig von der räumlichen Lage der Verschlussvorrichtung.The joint head is thus held in the current position by friction. This frictional connection is so strong that the weight of the valve plate 1 can also be absorbed without the position of the joint head 16 changing, regardless of the spatial position of the closure device.

Die Öffnung 37a des federelastischen Elements 37 ist größer als die Fensteröffnung 27 des Deckelteils 17b. Somit kann ein am Gelenkkopf 16 in einem die Vertiefung 16a umgebenden Bereich angeordneter Dichtring 19 die Öffnung 37a des federelastischen Elements 37 durchsetzen und in einem die Fensteröffnung 27 umgebenden Bereich an die Innenseite des Deckelteils 17b angedrückt sein.The opening 37a of the resilient element 37 is larger than the window opening 27 of the cover part 17b. Thus, a sealing ring 19 arranged on the joint head 16 in an area surrounding the recess 16a can pass through the opening 37a of the resilient element 37 and be pressed against the inside of the cover part 17b in an area surrounding the window opening 27 .

Der Gelenkkopf 16 weist auf gegenüberliegenden Seiten abstehende Zapfen auf. Ein jeweiliger Zapfen 16d ragt in eine jeweils zugeordnete Nut 17c im Verbindungsstück 17a. Eine jeweilige der Nuten 17c ist in einer die topfförmige Ausnehmung begrenzenden Wand ausgebildet. Die Nuten 17c verlaufen in der Mittelage der Verbindungsvorrichtung parallel zur Längsachse 26 der Ventilstange 4.The joint head 16 has pins protruding on opposite sides. A respective pin 16d protrudes into a respective associated groove 17c in the connecting piece 17a. Each of the grooves 17c is formed in a wall delimiting the cup-shaped recess. In the central position of the connecting device, the grooves 17c run parallel to the longitudinal axis 26 of the valve rod 4.

Der Gelenkkopf 16 ist durch die mit den Nuten zusammenwirkenden Zapfen bezüglich einer Drehung gegenüber dem Gelenkkörper um die Längsachse 26 der Ventilstange 4 gesperrt. Der Gelenkkopf 16 kann aber um eine beliebige, rechtwinkelig zur Längsachse 26 der Ventilstange 4 stehende Achse verkippt werden (bis der Ringspalt s aufgebraucht ist).The joint head 16 is blocked by the pins interacting with the grooves with respect to rotation relative to the joint body about the longitudinal axis 26 of the valve rod 4 . However, the joint head 16 can be tilted about any axis that is perpendicular to the longitudinal axis 26 of the valve rod 4 (until the annular gap s is used up).

Somit bildet die Verbindungsvorrichtung ein Kugelgelenk, welches bezüglich einer Drehung um eine rechtwinkelig zur Äquatorebene des Gelenkkopfes 16 stehende Achse, also um die Längsachse 26 der mit dem Gelenkkopf verbundenen Ventilstange 4, gesperrt ist.The connecting device thus forms a ball and socket joint which is locked with respect to rotation about an axis perpendicular to the equatorial plane of the joint head 16, ie about the longitudinal axis 26 of the valve rod 4 connected to the joint head.

Im vorspringenden Abschnitt 1a an der Rückseite der Ventilplatte 1 ist eine Vertiefung 29 angeordnet. Die Vertiefung 29 geht von der parallel zur Ebene 14 der Ventilplatte 1 liegenden Oberseite des vorspringenden Abschnitts 1a aus und erstreckt sich ausgehend von dieser Oberseite in eine Richtung rechtwinkelig zur Ebene 14 der Ventilplatte 1.In the protruding portion 1a on the back of the valve plate 1, a recess 29 is arranged. The depression 29 starts from the upper side of the projecting section 1a, which is parallel to the plane 14 of the valve plate 1, and extends from this upper side in a direction perpendicular to the plane 14 of the valve plate 1.

In Bereichen von zwei gegenüberliegenden Seitenwänden der Vertiefung 29 geht von dieser jeweils eine Erweiterung 30 aus. Die Abmessungen der beiden Erweiterungen sind in alle Richtungen parallel zur Ebene 14 gemessen, in der die Ventilplatte liegt, wesentlich kleiner als es die Abmessungen der Vertiefung 29 (ohne diese Erweiterungen) in die korrespondierenden Richtungen gemessen sind, vorzugsweise weniger als halb so groß. Die Erweiterungen 30 gehen von der Vertiefung 29 in entgegengesetzte Richtungen aus, welche parallel zur Längserstreckung der Ventilplatte liegen.In areas of two opposite side walls of the recess 29, an extension 30 extends from this. The dimensions of the two extensions, measured in all directions parallel to the plane 14 in which the valve plate lies, are substantially smaller than the dimensions of the recess 29 (without these extensions) measured in the corresponding directions, preferably less than half. The extensions 30 extend from the depression 29 in opposite directions, which are parallel to the longitudinal extent of the valve plate.

An einer Seitenwand einer jeweiligen Erweiterung mündet jeweils eine Gewindebohrung 31. Die Gewindebohrungen 31 liegen hierbei im Ausführungsbeispiel parallel zur Ebene 14 der Ventilplatte und in einem Winkel von 90° zur Längserstreckung der Ventilplatte. Das der Mündung in die jeweilige Erweiterung 30 gegenüberliegende Ende der jeweiligen Gewindebohrung 31 mündet an einer Seitenfläche des vorspringenden Abschnitts 1a.A threaded bore 31 opens out on a side wall of a respective extension. In the exemplary embodiment, the threaded bores 31 lie parallel to the plane 14 of the valve plate and at an angle of 90° to the longitudinal extension of the valve plate. The end of the respective threaded bore 31 opposite the opening into the respective extension 30 opens out on a side surface of the projecting section 1a.

Das Verbindungsstück 17a weist auf der von der Ventilstange 4 weg gerichteten Seite einen Fortsatz 17e auf, der im mit der Ventilplatte 1 verbundenen Zustand in die Vertiefung 29 der Ventilplatte 1 eingesetzt ist. Der Fortsatz 17e ragt somit in eine rechtwinkelig zur Ebene 14 der Ventilplatte 1 stehende Richtung in die Vertiefung 29. Dieser Fortsatz 17e des Verbindungsstücks 17a besitzt eine von der Kreisform abweichende Umfangskontur und die Vertiefung 29 besitzt eine korrespondierende Umfangskontur, wodurch eine Verdrehsicherung zwischen dem Verbindungsstück 17a und der Ventilplatte 1 ausgebildet ist (bezogen auf eine rechtwinkelig zur Ebene der Ventilplatte stehende Achse).On the side directed away from the valve rod 4 , the connecting piece 17a has an extension 17e which, when connected to the valve plate 1 , is inserted into the recess 29 of the valve plate 1 . The extension 17e thus protrudes into the depression 29 in a direction perpendicular to the plane 14 of the valve plate 1. This extension 17e of the connecting piece 17a has a peripheral contour that deviates from the circular shape and the depression 29 has a corresponding peripheral contour, thereby preventing rotation between the connecting piece 17a and the valve plate 1 (relative to an axis perpendicular to the plane of the valve plate).

Zwischen dem Fortsatz 17e und dem restlichen Teil des Verbindungsstücks 17a befindet sich eine Stufenfläche 17d. Diese liegt im verbundenen Zustand des Verbindungsstücks 17a mit der Ventilplatte 1 auf der Oberseite des vorspringenden Abschnitts 1a der Ventilplatte 1 an. An der Stufenfläche 17d ist eine ringförmige Dichtung 33 angeordnet, die im mit der Ventilplatte 1 verbundenen Zustand an eine Dichtfläche 34 der Ventilplatte 1 angedrückt ist, welche die Vertiefung 29 zusammen mit den Erweiterungen 30 umgibt und auf der Oberseite des vorspringenden Abschnitts 1a der Ventilplatte 1 angeordnet ist. Die Dichtfläche 34 könnte auch an der Stufenfläche 17d angeordnet sein und die ringförmige Dichtung 33 an der Ventilplatte 1.There is a stepped surface 17d between the extension 17e and the remaining part of the connecting piece 17a. In the connected state of the connecting piece 17a with the valve plate 1, this rests on the upper side of the projecting section 1a of the valve plate 1. An annular seal 33 is arranged on the stepped surface 17d, which in the connected state with the valve plate 1 is pressed against a sealing surface 34 of the valve plate 1, which surrounds the depression 29 together with the extensions 30 and on the upper side of the projecting section 1a of the valve plate 1 is arranged. The sealing surface 34 could also be arranged on the stepped surface 17d and the annular seal 33 on the valve plate 1.

Von der Stufenfläche 17d des Verbindungsstücks 17a stehen stiftförmige Verbindungsteile 32 ab. Die Verbindungsteile 32 besitzen hierzu im Ausführungsbeispiel ein Außengewinde, mit welchem sie in eine jeweilige Gewindebohrung 40 im Verbindungsstück 17a eingeschraubt sind.Pin-shaped connecting parts 32 protrude from the stepped surface 17d of the connecting piece 17a. For this purpose, in the exemplary embodiment, the connecting parts 32 have an external thread, with which they are screwed into a respective threaded bore 40 in the connecting piece 17a.

Entsprechend den beiden im Ausführungsbeispiel vorhandenen Erweiterungen 30 sind somit zwei stiftförmige Verbindungsteile 32 vorhanden, von welchen eines in die eine Erweiterung 30 und das andere in die andere Erweiterung 30 ragt, wenn das Verbindungsstück 17a mit seinem Fortsatz 17e in die Vertiefung 29 eingesetzt ist. Die Verbindungsteile ragen in eine Richtung rechtwinkelig zur Ebene 14 der Ventilplatte in die jeweilige Erweiterung 30.According to the two existing in the embodiment extensions 30 are thus two pin-shaped connecting parts 32 are present, one of which protrudes into one extension 30 and the other into the other extension 30 when the connecting piece 17a is inserted with its extension 17e into the recess 29. The connecting parts protrude in a direction at right angles to the plane 14 of the valve plate in the respective extension 30.

In die Gewindebohrungen 31 sind Haltebolzen 39 eingeschraubt. Ein Endabschnitt des jeweiligen Haltebolzens 39, der somit parallel zur Ebene 14 der Ventilplatte 1 liegt, ragt aus der jeweiligen Gewindebohrung 31 in den Bereich der jeweiligen Erweiterung 30 und dort in die Nut 32a im Schaft des jeweiligen Verbindungsteils 32. Der Endabschnitt des jeweiligen Haltebolzens 39 ist ohne Gewinde ausgebildet und verjüngt sich konisch zu seinem Ende hin. Die Nuten 32a der Verbindungsteile 32 besitzen eine korrespondierende im Querschnitt zum Boden der Nut hin sich konisch verjüngende Form, vgl. insbesondere 17. Die vom Verbindungsstück 17a abgelegene Seitenwand der jeweiligen Nut 32a bildet somit eine Schrägfläche, die mit dem Endabschnitt des jeweiligen Haltebolzens 39 zusammenwirkt. Beim Einschrauben des Haltebolzens, bei welchem der Endabschnitt in die Nut 32a einfährt, wird somit das Verbindungsstück 17a in Richtung zur Ventilplatte 1 gezogen, wobei die Dichtung 33 komprimiert wird und es zur Anlage der Stufenfläche 17d des Verbindungsstücks 17a an die Oberseite des vorspringenden Abschnitts 1a der Ventilplatte 1 kommt.Retaining bolts 39 are screwed into the threaded bores 31 . An end section of the respective retaining bolt 39, which is thus parallel to the plane 14 of the valve plate 1, protrudes from the respective threaded bore 31 in the area of the respective enlargement 30 and there into the groove 32a in the shank of the respective connecting part 32. The end section of the respective retaining bolt 39 is designed without a thread and tapers conically towards its end. The grooves 32a of the connecting parts 32 have a corresponding cross-sectional shape that tapers conically towards the bottom of the groove, see in particular FIG 17 . The side wall of the respective groove 32a remote from the connecting piece 17a thus forms an inclined surface which interacts with the end section of the respective retaining bolt 39. Thus, when screwing in the retaining bolt, in which the end portion enters the groove 32a, the connecting piece 17a is pulled towards the valve plate 1, compressing the seal 33 and causing the stepped surface 17d of the connecting piece 17a to abut against the top of the projecting portion 1a valve plate 1.

Es wird somit eine stabile starre Verbindung zwischen der Ventilplatte 1 und dem Verbindungsstück 17a ausgebildet, welche in einfacher Weise durch Aufschrauben der Haltebolzen 39 lösbar ist.A stable, rigid connection is thus formed between the valve plate 1 and the connecting piece 17a, which can be released in a simple manner by unscrewing the retaining bolts 39.

Dadurch, dass der Aufnahmeraum 18 des Gelenkkörpers 17a, 17b durch die Dichtung 21 zwischen dem Deckelteil 17b und dem Verbindungsstück 17a und den Dichtring 19 zwischen dem Deckelteil 17b und dem Gelenkkopf 16 abgedichtet ist und die Vertiefung 29 der Ventilplatte 1 durch die Dichtung 33 gegenüber dem Verbindungsstück 17a abgedichtet ist, können Partikel, welche insbesondere bei der Bewegung des Gelenkkopfes 16 gegenüber den Gelenkpfannenteilen 35, 36 entstehen, nicht in den die Ventilplatte 1 umgebenden Raum gelangen. Auch die Haltebolzen 39 können zweckmäßigerweise mittels Dichtungen gegenüber dem vorspringenden Abschnitt 1a der Ventilplatte 1 abgedichtet sein, vorzugsweise im Bereich ihrer Köpfe. Dies ist insbesondere in 17 ersichtlich (die Dichtungen sind nicht bezeichnet).The fact that the receiving space 18 of the joint body 17a, 17b is sealed by the seal 21 between the cover part 17b and the connecting piece 17a and the sealing ring 19 between the cover part 17b and the joint head 16 and the recess 29 of the valve plate 1 by the seal 33 opposite the Connecting piece 17a is sealed, particles which arise in particular during the movement of the joint head 16 relative to the joint socket parts 35, 36 cannot get into the space surrounding the valve plate 1. The retaining bolts 39 can also be sealed against the protruding section 1a of the valve plate 1 by means of seals, preferably in the region of their heads. This is particularly in 17 visible (the seals are not labeled).

Unterschiedliche Modifikationen des gezeigten Ausführungsbeispiels der Erfindung sind denkbar und möglich, ohne den Bereich der Erfindung, wie er in den Ansprüchen definiert ist, zu verlassen.Various modifications of the shown embodiment of the invention are conceivable and possible without departing from the scope of the invention as defined in the claims.

So könnte eine Verbindungsvorrichtung, welche eine Beweglichkeit zwischen der Ventilplatte 1 und der Ventilstange 4 vermittelt, entfallen. Es könnte dann ein Verbindungsstück starr mit der Ventilstange verbunden sein, beispielsweise mit dieser verschraubt sein. Die topfartige Ausnehmung mit den Nuten könnte dann entfallen, ebenso wie die Dichtung 21 und die Gewindebohrungen für die Schrauben 22, 38. Auf der von der Ventilstange abgelegenen Seite könnte ein solches Verbindungsstück analog zu dem in den Figuren gezeigten Verbindungsstück 17a ausgebildet sein. Auch eine einstückige Ausbildung der Ventilstange mit einem solchen Verbindungsstück, beispielsweise durch Verschweißen, ist denkbar und möglich.For example, a connecting device that provides mobility between the valve plate 1 and the valve rod 4 could be omitted. A connecting piece could then be rigidly connected to the valve rod, for example screwed to it. The cup-shaped recess with the grooves could then be omitted, as could the seal 21 and the threaded holes for the screws 22, 38. On the side remote from the valve rod, such a connecting piece could be designed analogously to the connecting piece 17a shown in the figures. A one-piece design of the valve rod with such a connecting piece, for example by welding, is also conceivable and possible.

Anstelle eines vorspringenden Abschnitts 1a könnte die Ventilplatte 1 an der Rückseite auch einen Querholm aufweisen, der in einem mittleren Abschnitt seiner Längserstreckung gegenüber einem plattenförmigen Hauptkörper der Ventilplatte 1 freigestellt ist und nur in den beiden Endabschnitten mit dem Hauptkörper der Ventilplatte verbunden ist. Im mittleren Abschnitt der Längserstreckung des Querholms der Ventilplatte wäre dann die Vertiefung 29 angeordnet. Ein solcher Querholm könnte in den beiden Endabschnitten mit dem Hauptkörper der Ventilplatte verschweißt oder auch verschraubt sein.Instead of a protruding section 1a, the valve plate 1 could also have a transverse bar on the rear side, which is free in a middle section of its longitudinal extension relative to a plate-shaped main body of the valve plate 1 and is only connected to the main body of the valve plate in the two end sections. The indentation 29 would then be arranged in the central section of the longitudinal extent of the transverse bar of the valve plate. Such a transverse bar could be welded or screwed to the main body of the valve plate in the two end sections.

In einer weiteren möglichen modifizierten Ausbildung ist es denkbar und möglich, dass die stiftförmigen Verbindungsteile 32 entfallen und stattdessen das Verbindungsstück 17a einen Fortsatz mit einer solchen Form aufweist, dass dieser Fortsatz nicht nur in die Vertiefung 29 sondern auch in die seitlichen Erweiterungen 30 ragt. In diesen in die seitlichen Erweiterungen 30 ragenden Bereichen könnte der Fortsatz mit Nuten versehen sein, mit denen die Haltebolzen 39 zusammenwirken oder es könnte eine einzelne den Fortsatz ringförmig umgebende Nut vorgesehen sein, wobei die Haltebolzen 39 mit einem jeweiligen Abschnitt dieser Nut zusammenwirken. Dieser Fortsatz würde somit ein einzelnes Verbindungsteil mit mindestens einer Nut bilden, mit der der Endabschnitt eines jeweiligen der Haltebolzen zusammenwirkt. Das Verbindungsstück 17a könnte bei einer solchen Ausbildung wiederum beweglich oder starr mit der Ventilstange verbunden sein oder einstückig mit dieser ausgebildet sein.In a further possible modified embodiment, it is conceivable and possible that the pin-shaped connecting parts 32 are omitted and instead the connecting piece 17a has an extension with such a shape that this extension projects not only into the depression 29 but also into the lateral extensions 30. In these areas projecting into the lateral extensions 30, the extension could be provided with grooves with which the retaining bolts 39 interact, or a single annular groove could be provided surrounding the extension, with the retaining bolts 39 interacting with a respective section of this groove. This extension would thus form a single connecting part with at least one groove with which the end portion of a respective one of the retaining bolts cooperates. In such a design, the connecting piece 17a could in turn be movably or rigidly connected to the valve rod or be designed in one piece with it.

Die Vertiefung 29 könnte auch mehr als zwei Erweiterungen aufweisen, in die das Verbindungsteil oder ein jeweiliges Verbindungsteil von der Seite der Ventilstange her ragt, wobei Endabschnitte von Haltebolzen durch die Öffnungen der Gewindebohrungen in diese Erweiterungen ragen und in die mindestens eine Nut des mindestens einen Verbindungsteils eingreifen.The recess 29 could also have more than two extensions into which the connecting part or a respective connecting part protrudes from the side of the valve rod, with end sections of retaining bolts protruding through the openings of the threaded bores into these extensions and into the at least one groove of the at least one connecting part intervention.

BezugszeichenlisteReference List

11: Ventilplattevalve plate
1a1a: vorspringender Abschnittprotruding section
22: Öffnungopening
33: WandWall
44: Ventilstangevalve stem
4a4a: Verbindungsabschnittconnection section
55: Antriebdrive
66: Faltenbalgbellows
88th: Dichtringsealing ring
99: Öffnungopening
1010: Anschlussstückfitting
1111: Öffnungopening
1212: Dichtungpoetry
1313: Dichtflächesealing surface
1414: Ebenelevel
1515: Verbindungsvorrichtungconnecting device
1616: Gelenkkopfrod end
16a16a: Vertiefungdeepening
16b16b: Gelenkflächearticular surface
16c16c: Gelenkflächearticular surface
16d16d: Zapfencones
17a17a: Verbindungsstückconnector
17b17b: Deckelteilcover part
17c17c: Nutgroove
17d17d: Stufenflächestep surface
1818: Aufnahmeraumrecording room
1919: Dichtringsealing ring
2020: Fensteröffnung window opening
2121: Dichtungpoetry
2222: Schraubescrew
2323: Verbindungsschraubeconnecting screw
2424: Durchgangsbohrungthrough hole
2525: Gewindebohrungthreaded hole
2626: Längsachselongitudinal axis
2727: Fensteröffnungwindow opening
2929: Vertiefungdeepening
3030: Erweiterungextension
3131: Gewindebohrungthreaded hole
3232: Verbindungsteilconnection part
32a32a: Nutgroove
3333: Dichtungpoetry
3434: Dichtflächesealing surface
3535: Gelenkpfannenteilsocket part
35a35a: Gelenkflächearticular surface
3636: Gelenkpfannenteilsocket part
36a36a: Gelenkflächearticular surface
3737: federelastisches Elementresilient element
37a37a: Öffnungopening
3838: Schraubescrew
3939: Haltebolzenretaining bolts
4040: Gewindebohrungthreaded hole

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited

EP 0453857 B1 [0004]
US7134642B2 [0006]
US 3837617 [0006]

Claims

Valve plate for a closure device for the vacuum-tight closure of an opening (2) in a wall (3), the valve plate (1) having a sealing ring (8) on its front side for sealing against the wall (3) and a recess (29) on its rear side. for connection to a valve rod (4) of the closure device, characterized in that a widening (30) adjoins the depression (29) arranged on the rear side of the valve plate (1), at least in regions of two opposite side walls of the depression (29). , And that for a respective extension (30) a threaded bore (31) is present, which opens on a side wall of the respective extension (30) in the extension (30), wherein by means of a screwed into the respective threaded bore (31) and with a End section of the respective retaining bolt (39) protruding from the threaded bore (31) into the extension (30) through the interaction of the end section of the retaining bolt (39 ) with a groove (32a) which is arranged on a connecting part (32) connected to the end of the valve rod (4) or formed in one piece with the end of the valve rod (4), the valve rod (4) with the valve plate (1) is connectable.

valve plate after claim 1 , characterized in that the threaded bores (31) extend parallel to the plane (14) in which the valve plate (1) lies.

valve plate after claim 1 or 2 , characterized in that the threaded bores (31) are each arranged at an angle of more than 45 ° to the longitudinal extension of the valve plate (1).

valve plate after claim 3 , characterized in that the threaded bores (31) are each arranged at an angle of 90 ° to the longitudinal extent of the valve plate (1).

Valve plate according to one of Claims 1 until 4 , characterized in that the dimensions of the extensions (30) in all directions parallel to the plane (14) in which the valve plate (1) lies, are smaller than the dimensions of the recess (29) without these extensions (30) in the corresponding directions.

Valve plate according to one of Claims 1 until 5 , characterized in that the extensions (30) extend starting from the depression (29) in the valve plate (1) in directions directed away from one another, which lie parallel to the longitudinal extent of the valve plate (1).

Valve plate according to one of Claims 1 until 6 , characterized in that the valve plate (1) has a sealing surface (34) or seal surrounding the recess (29) with the extensions (30) for sealing between the valve plate (1) and a valve rod (4) attached to the end or at the end the valve rod (4) has a connecting piece (17a) formed integrally with the latter, from which the at least one connecting part (32) protrudes.

Valve plate according to one of Claims 1 until 7 , characterized in that the depression (29) with the extensions (30) is arranged in a section (1a) of the valve plate (1) protruding on the rear side of the valve plate (1).

Closure device with a valve plate (1) according to one of Claims 1 until 8th which is connected to the valve rod (4) of the closure device, the retaining bolts (39) engaging in the at least one groove (32a) arranged on the at least one connecting part (32).

locking device claim 9 , characterized in that a connecting piece (17a) is detachably connected to the end of the valve rod (4) or is formed integrally with the end of the valve rod (4) and that the at least one connecting part (32) projects from the connecting piece (17a).

locking device claim 10 , characterized in that the connecting piece (17a) has an extension (17e) which protrudes into the depression (29) of the valve plate (1) and which has a non-circular peripheral contour which interacts with a corresponding peripheral contour of the depression (29). , against the valve plate (1) is secured against rotation.

locking device claim 10 or 11 , characterized in that the at least one groove (32a), in which the end sections of the retaining bolts (39) engage, has an inclined surface which interacts with the conically converging end section of the respective retaining bolt (39), wherein when connecting the retaining bolts (39) the connecting piece (17a) is pressed against the valve plate (1) with the at least one connecting part (32).

Closing device according to one of Claims 10 until 12 , characterized in that the connecting piece (17a) is sealed relative to the valve plate (1) by means of an annular seal (33) in the area surrounding the recess (29) with the extensions (30).

Closing device according to one of Claims 10 until 13 , characterized in that for each enlargement (30) of the recess (29) in the valve plate (1) there is a respective connecting part (32) which has a shaft protruding from the connecting piece (17a) and which extends from the respective groove (32a ) is surrounded annularly, into which the end section of the respective retaining bolt (39) protrudes.

Closing device according to one of Claims 10 until 14 , characterized in that the connecting piece (17a) is movably connected to the valve rod (4).