DE102019130157A1

DE102019130157A1 - Vacuum valve

Info

Publication number: DE102019130157A1
Application number: DE102019130157.2A
Authority: DE
Inventors: Peter Zvokelj
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 2019-11-08
Filing date: 2019-11-08
Publication date: 2021-05-12

Abstract

Ein Vakuumventil umfasst ein Ventilgehäuse (1) mit einer ersten Ventilöffnung (4), die eine erste Achse (6) aufweist, und einer zweiten Ventilöffnung (5), die eine winkelig zur ersten Achse (6) stehende zweite Achse (7) aufweist, und ein Verschlussglied (10), welches parallel zur ersten Achse (6) zwischen einer Offenstellung und einer Schließstellung verfahrbar ist. In der Offenstellung des Verschlussglieds (10) ist ein von der ersten Ventilöffnung (4) bis zur zweiten Ventilöffnung (5) verlaufender Durchgangskanal durch das Vakuumventil freigegeben. Dieser weist einen Abschnitt auf, der von einem parallel zur ersten Achse (6) der ersten Ventilöffnung (4) liegenden und sich zumindest vom Bereich des Ventilsitzes (19) bis zum Bereich eines Schnittpunkts (8) zwischen der ersten Achse (6) der ersten Ventilöffnung (4) und der zweiten Achse (7) der zweiten Ventilöffnung (5) erstreckenden Rohrstück (24) gebildet wird, wobei das Ventilgehäuse (1) oder das Verschlussglied (10) das Rohrstück (24) aufweist und das Rohrstück (24) an einem der ersten Ventilöffnung (4) zugewandten ersten Ende offen ist und an einem gegenüberliegenden zweiten Ende geschlossen ist und im axialen Bereich des Schnittpunktes (8) zwischen der ersten Achse (6) und der zweiten Achse (7) eine zur zweiten Ventilöffnung (4) gerichtete Seitenöffnung (26) aufweist.A vacuum valve comprises a valve housing (1) with a first valve opening (4), which has a first axis (6), and a second valve opening (5), which has a second axis (7) at an angle to the first axis (6), and a closure member (10) which can be moved parallel to the first axis (6) between an open position and a closed position. When the closure member (10) is in the open position, a passage channel extending from the first valve opening (4) to the second valve opening (5) is released through the vacuum valve. This has a section extending from a parallel to the first axis (6) of the first valve opening (4) and at least from the area of the valve seat (19) to the area of an intersection (8) between the first axis (6) of the first Valve opening (4) and the second axis (7) of the second valve opening (5) extending pipe section (24) is formed, the valve housing (1) or the closure member (10) having the pipe section (24) and the pipe section (24) on a first end facing the first valve opening (4) is open and an opposite second end is closed and in the axial area of the intersection (8) between the first axis (6) and the second axis (7) one to the second valve opening (4) has directed side opening (26).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Vakuumventil umfassend ein Ventilgehäuse mit einer ersten Ventilöffnung, die eine erste Achse aufweist, und einer zweiten Ventilöffnung, die eine winkelig zur ersten Achse stehende zweite Achse aufweist, wobei die erste und die zweite Achse sich in einem Schnittpunkt schneiden, und ein Verschlussglied, welches in einem Innenraum des Ventilgehäuses angeordnet ist und parallel zur ersten Achse zwischen einer Offenstellung und einer Schließstellung verfahrbar ist und in der Schließstellung an einem die erste Achse umgebenden Ventilsitz des Ventilgehäuses anliegt und in der Offenstellung vom Ventilsitz abgehoben ist, wobei in der Offenstellung des Verschlussglieds ein von der ersten Ventilöffnung zur zweiten Ventilöffnung verlaufender Durchgangskanal durch das Vakuumventil freigegeben ist.The invention relates to a vacuum valve comprising a valve housing with a first valve opening, which has a first axis, and a second valve opening, which has a second axis at an angle to the first axis, the first and second axes intersecting each other, and a closure member which is arranged in an interior of the valve housing and can be moved parallel to the first axis between an open position and a closed position and, in the closed position, rests against a valve seat of the valve housing surrounding the first axis and is lifted off the valve seat in the open position, in In the open position of the closure member, a passage channel running from the first valve opening to the second valve opening is released through the vacuum valve.

Vakuumventile, bei denen die erste und die zweite Ventilöffnung des Ventilgehäuses winkelig, insbesondere rechtwinkelig, zueinander stehen und das Verschlussglied geradlinig parallel zu einer der Achsen der Ventilöffnung zwischen der Offenstellung und der Schließstellung verfahrbar ist, werden auch als Eckventile bezeichnet und sind in unterschiedlichen Ausführungsformen bekannt. So gehen aus der US 2015/0285396 A1 , US 2006/0169940 A1 und US 6,669,170 B2 Eckventile mit Handantrieb und aus der US 6,289,932 B1 , US 2009/0194728 A1 , US 5,678,595 A und US 9,851,012 B2 Eckventile mit einem pneumatischen Antrieb in Form einer Kolben-Zylinder-Einheit hervor.Vacuum valves in which the first and second valve openings of the valve housing are angled, in particular at right angles, to one another and the closure member can be moved in a straight line parallel to one of the axes of the valve opening between the open position and the closed position, are also referred to as angle valves and are known in different embodiments . So go out of the US 2015/0285396 A1 , US 2006/0169940 A1 and US 6,669,170 B2 Angle valves with manual drive and from the US 6,289,932 B1 , US 2009/0194728 A1 , U.S. 5,678,595 A and US 9,851,012 B2 Angle valves with a pneumatic drive in the form of a piston-cylinder unit emerge.

Bei Vakuumanlagen, in welchen aggressive Prozessgase eingesetzt werden, beispielsweise in der Halbleiterindustrie, besteht das Problem, dass Dichtungen von Vakuumventilen relativ rasch geschädigt werden, sodass eine häufige Wartung mit entsprechenden Standzeiten der Anlage erforderlich sind. Es wurden daher bereits Maßnahmen getroffen, um den Wartungsaufwand zu verringern. Beim aus der US 7,527,238 B2 bekannten Eckventil umfasst das Verschlussglied ein plattenförmiges Hauptteil, welches einen elastischen Dichtring zur Abdichtung gegenüber dem Ventilsitz in der Schließstellung des Verschlussgliedes aufweist, und an der dem Ventilsitz abgelegenen Rückseite in einer Vertiefung des Hauptteils ein plattenförmiges Zusatzteil, welches einen elastischen ZusatzDichtring aufweist. Dieser liegt in der Offenstellung des Verschlussgliedes an einer Dichtfläche des Ventilgehäuses an. Dichtungen für eine Lineardurchführung der das Verschlussglied tragenden Ventilstange, über welche diese aus dem Innenraum des Ventilgehäuses herausgeführt ist, werden dadurch gegenüber einem aggressiven eingesetzten Prozessgas geschützt.In vacuum systems in which aggressive process gases are used, for example in the semiconductor industry, there is the problem that seals of vacuum valves are damaged relatively quickly, so that frequent maintenance with corresponding downtimes of the system is required. Measures have therefore already been taken to reduce the maintenance effort. When out of the US 7,527,238 B2 known corner valve, the closure member comprises a plate-shaped main part which has an elastic sealing ring for sealing against the valve seat in the closed position of the closure member, and on the rear side remote from the valve seat in a recess of the main part a plate-shaped additional part which has an additional elastic sealing ring. In the open position of the closure element, this rests against a sealing surface of the valve housing. Seals for a linear feedthrough of the valve rod carrying the closure member, via which it is led out of the interior of the valve housing, are thereby protected against aggressive process gas used.

Beim aus der JP 3210186 U bekannten Eckventil ist ebenfalls an der Rückseite des Verschlussglieds eine Zusatzdichtung angeordnet, die in der Offenstellung des Verschlussglieds mit einer Dichtfläche des Ventilgehäuses zusammenwirkt. An der Vorderseite weist das Verschlussglied eine Dichtfläche auf, die mit einem am Ventilsitz angeordneten Dichtring zusammenwirkt. Der Ventilsitz ist an der Innenseite einer Vorderwand des Ventilgehäuses angeordnet, von welcher nach außen ein Anschlussstutzen absteht, der eine der Ventilöffnungen des Vakuumventils bildet. Gehäuseinnenseitig weist die Vorderwand einen ringförmigen Fortsatz auf, der den vom Anschlussstutzen gebildeten Kanal gehäuseinnenseitig etwas verlängert und vom Ventilsitz umgeben ist. Das Verschlussglied weist auf seiner dem Ventilsitz zugewandten Vorderseite eine Vertiefung auf, um in der Schließstellung eine Kollision mit dem ringförmigen Fortsatz zu vermeiden. Durch diesen ringförmigen Fortsatz wird ein durch diese Ventilöffnung eintretender Gasstrom am Bereich, in dem sich der Dichtring befindet, vorbeigeleitet, sodass sich aggressives Prozessgas weniger stark am Dichtring niederschlägt. Es wird dadurch allerdings nur ein eingeschränkter Schutz des Dichtrings erreicht.When out of the JP 3210186 U known corner valve, an additional seal is also arranged on the back of the closure member, which cooperates with a sealing surface of the valve housing in the open position of the closure member. On the front side, the closure member has a sealing surface which interacts with a sealing ring arranged on the valve seat. The valve seat is arranged on the inside of a front wall of the valve housing, from which a connection piece protrudes to the outside and forms one of the valve openings of the vacuum valve. On the inside of the housing, the front wall has an annular extension which somewhat extends the channel formed by the connecting piece on the inside of the housing and is surrounded by the valve seat. The closure member has a recess on its front side facing the valve seat in order to avoid a collision with the annular extension in the closed position. Through this annular extension, a gas flow entering through this valve opening is guided past the area in which the sealing ring is located, so that aggressive process gas is less precipitated on the sealing ring. However, this only provides limited protection for the sealing ring.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein vorteilhaftes Vakuumventil der eingangs genannten Art bereitzustellen, welches insbesondere bei der Verwendung von aggressiven Prozessgasen vorteilhaft einsetzbar ist. Erfindungsgemäß gelingt dies durch ein Vakuumventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1.The object of the invention is to provide an advantageous vacuum valve of the type mentioned at the beginning, which can be used advantageously in particular when using aggressive process gases. According to the invention, this is achieved by a vacuum valve with the features of claim 1.

Beim Vakuumventil gemäß der Erfindung weist der in der Offenstellung des Verschlussgliedes durch das Ventilgehäuse verlaufende Durchgangskanal einen Abschnitt auf, der von einem parallel, vorzugsweise koaxial, zur ersten Achse liegenden Rohrstück gebildet wird, mit welchem das Ventilgehäuse oder das Verschlussglied ausgestattet ist und welches sich zumindest vom Bereich des Ventilsitzes bis zum Bereich des Schnittpunkts zwischen der ersten und der zweiten Achse der ersten und zweiten Ventilöffnung erstreckt. Dieses Rohrstück ist an einem ersten Ende, welches der ersten Ventilöffnung zugewandt ist, offen und an einem gegenüberliegenden zweiten Ende geschlossen. Das Rohrstück weist im axialen Bereich des Schnittpunktes zwischen der ersten und der zweiten Achse der ersten und der zweiten Ventilöffnung eine zur zweiten Ventilöffnung gerichtete Seitenöffnung auf.In the vacuum valve according to the invention, the through-channel running through the valve housing in the open position of the closure member has a section which is formed by a pipe piece lying parallel, preferably coaxial, to the first axis, with which the valve housing or the closure member is equipped and which is at least extends from the area of the valve seat to the area of the intersection between the first and second axes of the first and second valve openings. This pipe section is open at a first end facing the first valve opening and closed at an opposite second end. In the axial region of the point of intersection between the first and the second axis of the first and the second valve opening, the pipe section has a side opening directed towards the second valve opening.

Durch die erfindungsgemäße Ausbildung kann ein Gasstrom eines aggressiven Prozessgases effektiv am Dichtring, durch den im geschlossenen Zustand des Vakuumventils das Verschlussglied gegenüber dem Ventilsitz abgedichtet ist, vorbeigeleitet werden, sodass möglichst wenig des Prozessgases mit dem Dichtring in Berührung kommt.Due to the design according to the invention, a gas flow of an aggressive process gas can effectively bypass the sealing ring, which seals the closure member from the valve seat when the vacuum valve is closed, so that as little as possible of the process gas comes into contact with the sealing ring.

In einer ersten möglichen Ausführungsform der Erfindung weist das Ventilgehäuse das Rohrstück auf, wobei das Rohrstück mit seinem ersten Ende an der Innenseite (=gehäuseinnenseitig) einer Gehäusevorderwand des Verschlussgliedes angebracht ist oder einstückig mit der Gehäusevorderwand ausgebildet ist. Das Rohrstück erstreckt sich also ausgehend von der Gehäusevorderwand in den Innenraum des Ventilgehäuses. Das Verschlussglied ist topfförmig ausgebildet und umgibt in der Schließstellung, in welcher es am Ventilsitz anliegt, das Rohrstück. Das Rohrstück wird also in der Schließstellung des Verschlussglieds vom Innenraum des topfförmigen Verschlussgliedes aufgenommen. Der Ventilsitz ist hierbei vorteilhafterweise an der Innenseite der Gehäusevorderwand angeordnet und umgibt das Rohrstück im Bereich seines ersten Endes.In a first possible embodiment of the invention, the valve housing has the pipe section, the pipe section being attached with its first end to the inside (= inside of the housing) of a housing front wall of the closure member or being formed in one piece with the housing front wall. The pipe section extends from the front wall of the housing into the interior of the valve housing. The closure member is cup-shaped and surrounds the pipe section in the closed position in which it rests on the valve seat. The pipe section is thus received in the closed position of the closure member from the interior of the cup-shaped closure member. The valve seat is advantageously arranged on the inside of the front wall of the housing and surrounds the pipe section in the region of its first end.

In einer zweiten möglichen Ausführungsform der Erfindung weist das Verschlussglied das Rohrstück auf, wobei das Rohrstück mit seinem zweiten Ende an einem Basisteil des Verschlussglieds angebracht ist oder einstückig mit diesem ausgebildet ist und vom Basisteil des Verschlussglieds an seinem zweiten Ende verschlossen wird. Das erste Ende des Rohrstücks ragt hierbei in einen von der ersten Ventilöffnung ausgehenden, durch einen Anschlussstutzen des Ventilgehäuses verlaufenden Kanal, und zwar in der Offenstellung des Verschlussgliedes weniger weit als in der Schließstellung. Der Ventilsitz ist vorteilhafterweise wiederum an der Innenseite der Vorderwand des Ventilgehäuses angeordnet und umgibt das Rohrstück. Der Außendurchmesser des Rohrstücks entspricht günstigerweise dem Innendurchmesser des Anschlussstutzens abgesehen von einem erforderlichen Spiel, um eine Schiebeführung des Rohrstücks im Anschlussstutzen auszubilden. Der Außendurchmesser des Rohrstücks ist also geringfügig kleiner als der Innendurchmesser des Anschlussstutzens, vorzugsweise um weniger als 1mm.In a second possible embodiment of the invention, the closure member has the pipe section, the pipe section being attached with its second end to a base part of the closure member or being formed integrally therewith and being closed by the base part of the closure member at its second end. The first end of the pipe section protrudes into a channel starting from the first valve opening and running through a connecting piece of the valve housing, namely less far in the open position of the closure element than in the closed position. The valve seat is again advantageously arranged on the inside of the front wall of the valve housing and surrounds the pipe section. The outer diameter of the pipe section favorably corresponds to the inner diameter of the connecting piece, apart from the clearance required in order to form a sliding guide for the pipe section in the connecting piece. The outer diameter of the pipe section is therefore slightly smaller than the inner diameter of the connecting piece, preferably by less than 1 mm.

Der elastische Dichtring, über welchen das Verschlussglied in der Schließstellung gegenüber dem Ventilsitz abgedichtet ist, ist vorzugsweise am Ventilsitz angeordnet. Grundsätzlich denkbar und möglich wäre aber auch eine Anordnung am Verschlussglied, wie in der Figurenbeschreibung noch genauer erläutert werden wird.The elastic sealing ring, via which the closure member is sealed off from the valve seat in the closed position, is preferably arranged on the valve seat. In principle, however, an arrangement on the closure member would also be conceivable and possible, as will be explained in more detail in the description of the figures.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass an der von der erste Ventilöffnung abgewandten Rückseite des Verschlussgliedes ein elastischer Zusatzdichtring angeordnet ist, der in der Offenstellung des Verschlussgliedes an eine Dichtfläche des Ventilgehäuses angedrückt ist. Es kann dadurch eine Abdichtung gegenüber dem Eindringen von aggressivem Prozessgas in den Bereich der Schiebedurchführung für die Ventilstange, von welcher das Verschlussglied getragen wird, erreicht werden.A preferred embodiment of the invention provides that an elastic additional sealing ring is arranged on the rear side of the closure member facing away from the first valve opening, which is pressed against a sealing surface of the valve housing in the open position of the closure member. In this way, a seal against the penetration of aggressive process gas into the area of the sliding leadthrough for the valve rod, by which the closure member is carried, can be achieved.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der beiliegenden Zeichnung erläutert. In dieser zeigen:

1 eine Schrägsicht eines Vakuumventils gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
2 das Vakuumventil von 1 in teilweise explodiertem Zustand;
3 eine Schrägsicht der Gehäusevorderwand mit dem daran angebrachten Anschlussstutzen und Rohrstück aus einer gegenüber 1 und 2 unterschiedlichen Blickrichtung;
4 eine Ansicht auf die Rückseite des Vakuumventils;
5 einen Schnitt entlang der Linie A-A von 4 in der Offenstellung des Verschlussgliedes;
6 einen Schnitt entlang der Line A-A von 4 in der Schließstellung des Verschlussgliedes;
7 und 8 Schnitte analog den 5 und 6 eines vorderen Teils des Vakuumventils in der Offenstellung und Schließstellung des Verschlussgliedes für eine zweite Ausführungsform der Erfindung (ein rückseitiger Teil des Ventilgehäuses und der Antrieb sind der Einfachheit halber nicht dargestellt).

Further advantages and details of the invention are explained below with reference to the accompanying drawing. In this show:

1 an oblique view of a vacuum valve according to an embodiment of the invention;
2 the vacuum valve of 1 in a partially exploded state;
3rd an oblique view of the housing front wall with the connecting piece and pipe piece attached to it from an opposite 1 and 2 different viewing directions;
4th a view of the rear of the vacuum valve;
5 a section along the line AA of 4th in the open position of the closure member;
6th a section along the line AA of 4th in the closed position of the closure member;
7th and 8th Cuts analogous to the 5 and 6th a front part of the vacuum valve in the open position and closed position of the closure member for a second embodiment of the invention (a rear part of the valve housing and the drive are not shown for the sake of simplicity).

Ein erstes Ausführungsbeispiel eines Vakuumventils gemäß der Erfindung ist in den 1 bis 6 dargestellt. Das Vakuumventil weist ein Ventilgehäuse 1 mit einem ersten Anschlussstutzen 2 und einem zweiten Anschlussstutzen 3 auf. Die Anschlussstutzen 2, 3 dienen zum Anschluss des Vakuumventils an andere Teile der Vakuumanlage. Beispielsweise kann der zweite Anschlussstutzen 3 mit einer Vakuumkammer vakuumdicht verbunden sein und am ersten Anschlussstutzen 2 kann eine Zuführleitung für ein Prozessgas angeschlossen sein. Das freie Ende des ersten Anschlussstutzens 2 weist eine erste Ventilöffnung 4, das freie Ende des zweiten Anschlussstutzens 3 weist eine zweite Ventilöffnung 5 auf. Das Vakuumventil ist als Eckventil ausgebildet und die erste Achse 6 der ersten Ventilöffnung 4 steht rechtwinkelig zur zweiten Achse 7 der zweiten Ventilöffnung 5. Andere Winkel, insbesondere im Bereich von 45° bis 135° sind denkbar und möglich, aber weniger bevorzugt.A first embodiment of a vacuum valve according to the invention is shown in FIGS 1 to 6th shown. The vacuum valve has a valve housing 1 with a first connection piece 2 and a second connection piece 3rd on. The connecting pieces 2 , 3rd serve to connect the vacuum valve to other parts of the vacuum system. For example, the second connection piece 3rd be connected vacuum-tight to a vacuum chamber and at the first connection piece 2 a supply line for a process gas can be connected. The free end of the first connection piece 2 has a first valve opening 4th , the free end of the second connection piece 3rd has a second valve opening 5 on. The vacuum valve is designed as an angle valve and the first axis 6th the first valve opening 4th is at right angles to the second axis 7th the second valve opening 5 . Other angles, in particular in the range from 45 ° to 135 °, are conceivable and possible, but less preferred.

Die erste Achse 6 der ersten Ventilöffnung 4 stellt gleichzeitig die Längsmittelachse des ersten Anschlussstutzens 2 dar und die zweite Achse 7 der zweiten Ventilöffnung stellt gleichzeitig die Längsmittelachse des zweiten Anschlussstutzens 3 dar. Die Anschlussstutzen 2, 3 weisen jeweils einen von der jeweiligen Gehäusewand abstehenden Rohrstutzen und einen am freien Ende des jeweiligen Rohrstutzens angeordneten Anschlussflansch auf.The first axis 6th the first valve opening 4th at the same time represents the longitudinal center axis of the first connecting piece 2 dar and the second axis 7th the second valve opening at the same time represents the longitudinal center axis of the second connecting piece 3rd represents. The connecting pieces 2 , 3rd each have a pipe socket protruding from the respective housing wall and a connection flange arranged at the free end of the respective pipe socket.

Die erste Achse 6 und die zweite Achse 7 schneiden sich in einem Schnittpunkt 8.The first axis 6th and the second axis 7th intersect at an intersection 8th .

Das Ventilgehäuse 1 weist einen Innenraum 9 auf. In diesem ist ein Verschlussglied 10 angeordnet. Das Verschlussglied 10 kann zwischen einer Offenstellung (5), in welcher das Vakuumventil geöffnet ist, und einer Schließstellung (6), in welcher das Vakuumventil geschlossen ist, geradlinig und parallel zur ersten Achse 6 verfahren werden. Das Verschlussglied 10 wird von einer Ventilstange 11 getragen. Die erste Achse 6 bildet die Längsmittelachse der Ventilstange 11, die Ventilstange 11 liegt also koaxial zur ersten Ventilöffnung 4. Die Ventilstange 11 ist mittels einer Schiebedurchführung aus dem Innenraum 9 des Vakuumventils herausgeführt, d.h. die Ventilstange 11 kann gegenüber dem Ventilgehäuse 1 parallel zur ersten Achse 6 verschoben werden, wobei sie gegenüber dem Ventilgehäuse 1 abgedichtet ist. Zur Abdichtung der Ventilstange 11 gegenüber dem Ventilgehäuse 1 dienen im Ausführungsbeispiel ringförmige elastische Dichtungen 12, 13, 14. Diese sind in ringförmigen Nuten angeordnet, welche die Öffnung im Ventilgehäuse 1 umgeben, durch welche die Ventilstange 11 verläuft. Auch eine Abdichtung mittels eines Balges, insbesondere Faltenbalges, wäre möglich, wie dies bekannt ist.The valve body 1 has an interior 9 on. In this is a locking link 10 arranged. The closure link 10 can choose between an open position ( 5 ), in which the vacuum valve is open, and a closed position ( 6th ), in which the vacuum valve is closed, in a straight line and parallel to the first axis 6th be proceeded. The closure link 10 is operated by a valve rod 11 carried. The first axis 6th forms the longitudinal center axis of the valve rod 11 who have favourited the valve stem 11 is therefore coaxial with the first valve opening 4th . The valve stem 11 can be removed from the interior by means of a sliding duct 9 of the vacuum valve, ie the valve rod 11 can opposite the valve body 1 parallel to the first axis 6th be moved, with respect to the valve housing 1 is sealed. For sealing the valve rod 11 opposite the valve body 1 are used in the embodiment, annular elastic seals 12th , 13th , 14th . These are arranged in annular grooves that form the opening in the valve housing 1 surrounded by which the valve rod 11 runs. Sealing by means of a bellows, in particular a bellows, would also be possible, as is known.

Die Ventilstange 11 stellt im Ausführungsbeispiel gleichzeitig die Kolbenstange einer pneumatischen Kolben-Zylinder-Einheit 15 dar, welche den Antrieb des Vakuumventils bildet.The valve stem 11 represents in the embodiment at the same time the piston rod of a pneumatic piston-cylinder unit 15th represents, which forms the drive of the vacuum valve.

Zwischen der am nächsten beim Innenraum 9 gelegenen Dichtung 12 und der daran anschließenden Dichtung 13 ist ein durch eine Bohrung 16 entlüfteter, die Ventilstange 11 umgebender Ringraum 17 vorgesehen, der von einer Nut in der Wand der von der Ventilstange 11 durchsetzten Bohrung durch das Ventilgehäuse 1 gebildet wird. Die Dichtung 12 wird dadurch gegen einen evtl. die Dichtungen 13, 14 überwindenden Überdruck aus der Kolben-Zylinder-Einheit 15 geschützt. Der Ringraum 17 könnte durch die Bohrung 16 auch abgepumpt sein.Between the closest to the interior 9 located seal 12th and the subsequent seal 13th is a through a hole 16 deflated, the valve stem 11 surrounding annulus 17th provided by a groove in the wall of the valve stem 11 penetrated bore through the valve housing 1 is formed. The seal 12th This may possibly damage the seals 13th , 14th overcoming overpressure from the piston-cylinder unit 15th protected. The annulus 17th could through the hole 16 also be pumped out.

Die Kolben-Zylinder-Einheit 15 weist im Ausführungsbeispiel einen doppelwirkenden Kolben auf. Es könnte auch ein einfachwirkender Kolben in Verbindung mit einer in die andere Richtung (insbesondere in die Schließrichtung) wirkenden Feder vorgesehen sein, wie dies bekannt ist.The piston-cylinder unit 15th has a double-acting piston in the exemplary embodiment. A single-acting piston could also be provided in connection with a spring acting in the other direction (in particular in the closing direction), as is known.

Auch andere Arten von Antrieben oder auch eine Handbetätigung könnten vorgesehen sein.Other types of drives or manual actuation could also be provided.

In der Schließstellung des Verschlussglieds 10 wird eine Dichtfläche 18 des Verschlussglieds 10 an einen am Ventilsitz 19 angeordneten elastischen Dichtring 20 angedrückt. Der Ventilsitz 19 umgibt die erste Achse 6. Insbesondere ist der Ventilsitz 19 an der Innenseite einer Vorderwand 21 des Ventilgehäuses angeordnet. An der Außenseite dieser Vorderwand 21 befindet sich der erste Anschlussstutzen 2.In the closed position of the locking link 10 becomes a sealing surface 18th of the connecting link 10 to one on the valve seat 19th arranged elastic sealing ring 20th pressed on. The valve seat 19th surrounds the first axis 6th . In particular, the valve seat is 19th on the inside of a front wall 21st of the valve housing arranged. On the outside of this front wall 21st the first connection nozzle is located 2 .

Die Vorderwand 21 des Ventilgehäuses 1 ist im Ausführungsbeispiel über eine Schraubverbindung und eine dazwischenliegende ringförmige Dichtung 22 mit Seitenwänden des Ventilgehäuses vakuumdicht verbunden. An einer dieser Seitenwände ist der zweite Anschlussstutzen 3 angeordnet.The front wall 21st of the valve body 1 is in the exemplary embodiment via a screw connection and an annular seal in between 22nd connected in a vacuum-tight manner to the side walls of the valve housing. The second connection piece is on one of these side walls 3rd arranged.

Die Seitenwände des Ventilgehäuses 1 sind im Ausführungsbeispiel einstückig mit einer Rückwand 23 des Ventilgehäuses ausgebildet. Die Rückwand 23 könnte auch von einem separaten Teil gebildet werden und über eine Dichtung und eine Schraubverbindung vakuumdicht mit den Seitenwänden des Ventilgehäuses verbunden sein. Insbesondere in diesem Fall könnte die Vorderwand 21 auch einstückig mit den Seitenwänden des Ventilgehäuses ausgebildet sein.The side walls of the valve housing 1 are in one piece with a rear wall in the exemplary embodiment 23 of the valve housing formed. The back wall 23 could also be formed from a separate part and connected in a vacuum-tight manner to the side walls of the valve housing via a seal and a screw connection. In this case, in particular, the front wall 21st also be formed in one piece with the side walls of the valve housing.

Im Ausführungsbeispiel ist das Ventilgehäuse 1 im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet. Stattdessen könnte es beispielsweise im Wesentlichen zylindrisch ausgebildet sein, mit einer zylindermantelförmigen Seitenwand.In the exemplary embodiment is the valve housing 1 essentially cuboid. Instead, it could be designed, for example, to be essentially cylindrical, with a side wall in the form of a cylinder jacket.

An der Innenseite der Vorderwand 21 des Ventilgehäuses 1 (=auf der Seite, die den Innenraum 9 des Ventilgehäuses begrenzt) ist ein Rohrstück 24 angeordnet. Die erste Achse 6 der ersten Ventilöffnung 4 stellt die Längsmittelachse des Rohrstücks 24 dar, d.h. das Rohrstück 24 liegt koaxial zur ersten Ventilöffnung 4, wie dies bevorzugt ist. Der vom Rohrstück 24 gebildete Kanal setzt den vom ersten Anschlussstutzen 2 gebildeten Kanal fort, vorzugsweise stufenlos.On the inside of the front wall 21st of the valve body 1 (= on the side that has the interior 9 of the valve housing) is a piece of pipe 24 arranged. The first axis 6th the first valve opening 4th represents the longitudinal center axis of the pipe section 24 represent, ie the pipe section 24 is coaxial with the first valve opening 4th as this is preferred. The one from the pipe 24 The channel formed by the first connection piece sets the channel 2 channel formed, preferably continuously.

In den Figuren ist eine einstückige Ausbildung der von der Vorderwand 21, dem ersten Anschlussstutzen 2 und dem Rohrstück 24 gebildeten Einheit dargestellt. Stattdessen könnte diese Einheit auch mehrteilig ausgebildet sein, wobei die zwei oder mehr Teile insbesondere durch eine Verschweißung miteinander verbunden sein könnte. So könnten beispielsweise der erste Anschlussstutzen 2 und das Rohrstück 24 einstückig ausgebildet sein und in eine Öffnung in der Gehäusevorderwand 21 eingeschweißt sein.In the figures, a one-piece design is that of the front wall 21st , the first connection nozzle 2 and the pipe section 24 formed unit shown. Instead, this unit could also be designed in several parts, with the two or more parts being able to be connected to one another in particular by welding. For example, the first connection piece 2 and the pipe section 24 be integrally formed and in an opening in the housing front wall 21st be shrink-wrapped.

Das Rohrstück 24 ist somit mit einem ersten Ende gehäuseinnenseitig an der Vorderwand 21 angebracht oder einstückig mit der Vorderwand 21 ausgebildet. An seinem gegenüberliegenden zweiten Ende ist das Rohrstück 24 von einem Deckel 25 verschlossen, der beispielsweise einstückig mit dem Rohrstück 24 ausgebildet ist.The pipe section 24 is thus with a first end on the inside of the housing on the front wall 21st attached or integral with the front wall 21st educated. The pipe section is at its second opposite end 24 from a lid 25th closed, for example in one piece with the pipe section 24 is trained.

Bezogen auf die Richtung der ersten Achse 6 weist das Rohrstück 24 im axialen Bereich des Schnittpunktes 8 zwischen der ersten Achse 6 und der zweiten Achse 7 eine Seitenöffnung 26 auf. Diese wird durch eine Fensterausnehmung in der die Längsachse des Rohrstücks 24 umgebenden Wand gebildet. Diese Seitenöffnung 26 ist zur zweiten Ventilöffnung 5 gerichtet. Vorzugsweise liegt die Achse der Seitenöffnung 26 koaxial zur zweiten Achse 7. Auch ein gewisser Versatz zwischen den beiden Achsen ist denkbar und möglich.In relation to the direction of the first axis 6th points the pipe section 24 in the axial area of the intersection 8th between the first axis 6th and the second axis 7th a side opening 26th on. This is through a window recess in the longitudinal axis of the pipe section 24 surrounding wall formed. This side opening 26th is to the second valve opening 5 directed. Preferably the axis of the side opening lies 26th coaxial with the second axis 7th . A certain offset between the two axes is also conceivable and possible.

Der Ventilsitz 19 umgibt das Rohrstück 24 im Bereich seines ersten Endes, an welchem dieses von der Vorderwand 21 des Ventilgehäuses 1 ausgeht. Das Rohrstück 24 ragt also von der Vorderwand 21 in den Innenraum 9 des Ventilgehäuses 1 und erstreckt sich hierbei bezogen auf die axiale Richtung der ersten Achse 6 zumindest vom Bereich des Ventilsitzes 19 bis zum Bereich des Schnittpunktes 8 zwischen der ersten Achse 6 und der zweiten Achse 7.The valve seat 19th surrounds the pipe section 24 in the area of its first end, at which this from the front wall 21st of the valve body 1 goes out. The pipe section 24 so protrudes from the front wall 21st in the interior 9 of the valve body 1 and extends in relation to the axial direction of the first axis 6th at least from the area of the valve seat 19th up to the area of the intersection 8th between the first axis 6th and the second axis 7th .

Der Dichtring 20 ist von der Seitenöffnung 26 bezogen auf die Richtung der ersten Achse 6 beabstandet, vorzugsweise um zumindest ein Viertel des auf die Richtung der ersten Achse 6 bezogenen Durchmessers der Seitenöffnung 26.The sealing ring 20th is from the side opening 26th related to the direction of the first axis 6th spaced, preferably at least a quarter of that in the direction of the first axis 6th related diameter of the side opening 26th .

Das Verschlussglied 10 ist topfförmig ausgebildet und besitzt im Ausführungsbeispiel ein scheibenförmiges Basisteil 27, von dem eine im Querschnitt ringförmige Wand 28 in Richtung zum Ventilsitz 19 absteht. Am dem Basisteil 27 gegenüberliegenden Ende ist an der Stirnseite der Wand 28 die Dichtfläche 18 angeordnet, welche somit ringförmig ausgebildet ist.The closure link 10 is cup-shaped and has a disk-shaped base part in the exemplary embodiment 27 , one of which is an annular wall in cross-section 28 towards the valve seat 19th protrudes. On the base part 27 opposite end is at the front of the wall 28 the sealing surface 18th arranged, which is thus annular.

In der Schließstellung des Verschlussgliedes, in welcher das Verschlussglied 10 mit der Dichtfläche 18 am Dichtring 20 anliegt, umgibt das Verschlussglied 10 das Rohrstück 24. D.h. das Rohrstück 24 liegt in der Schließstellung des Verschlussgliedes 10 im Innenraum des topfförmigen Verschlussglieds 10.In the closed position of the closure member, in which the closure member 10 with the sealing surface 18th on the sealing ring 20th rests, surrounds the closure member 10 the pipe section 24 . Ie the pipe section 24 lies in the closed position of the closure member 10 in the interior of the cup-shaped closure member 10 .

In der Offenstellung des Verschlussgliedes ist dieses vom Rohrstück 24 zumindest so weit abgezogen, dass die Seitenöffnung 26 des Rohrstücks 24 freigegeben ist.In the open position of the closure member, this is from the pipe section 24 pulled off at least so far that the side opening 26th of the pipe section 24 is released.

In der Offenstellung des Verschlussglieds 10 verläuft ein Durchgangskanal durch das Ventilgehäuse 1, der sich von der ersten Ventilöffnung 4 bis zur zweiten Ventilöffnung 5 erstreckt. Ausgehend von der ersten Ventilöffnung 4 verläuft ein erster Abschnitt dieses Durchgangskanals durch den vom ersten Anschlussstutzen 2 gebildeten Kanal. Ein folgender Abschnitt verläuft durch das Rohrstück 24 ausgehend von dessen offenem ersten Ende bis zu dessen Seitenöffnung 26. Ausgehend von der Seitenöffnung 26 verläuft der Durchgangskanal durch den Bereich des Innenraums des Ventilgehäuses 1, der zwischen der Seitenöffnung 26 und dem vom Anschlussstutzen 3 gebildeten Kanal liegt. Im Weiteren verläuft der Durchgangskanal durch den vom zweiten Anschlussstutzen 3 gebildeten Kanal bis zur zweiten Ventilöffnung 5.In the open position of the locking link 10 a passage channel runs through the valve housing 1 that extends from the first valve opening 4th up to the second valve opening 5 extends. Starting from the first valve opening 4th a first section of this through-channel runs through that of the first connection piece 2 formed channel. A following section runs through the pipe section 24 starting from its open first end to its side opening 26th . Starting from the side opening 26th the passage channel runs through the area of the interior of the valve housing 1 that is between the side opening 26th and that of the connection piece 3rd formed channel lies. In addition, the through-channel runs through that of the second connection piece 3rd channel formed up to the second valve opening 5 .

Im geschlossenen Zustand des Verschlussgliedes 10 ist der Durchgangskanal durch das Verschlussglied 10 vakuumdicht verschlossen.In the closed state of the locking link 10 is the passage channel through the closure member 10 closed vacuum-tight.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Durchmesser der Seitenöffnung 26 des Rohrstücks 24 kleiner als der Durchmesser des Durchgangskanals, den dieser im Abschnitt von der zweiten Ventilöffnung bis zur Mündung in den Innenraum des Ventilgehäuses aufweist. Wenn also durch die erste Ventilöffnung 4 ein Prozessgas einströmen gelassen wird und die zweite Ventilöffnung 5 mit dem Innenraum einer unter Vakuum stehenden Vakuumkammer verbunden ist, so verläuft die Strömung von der Seitenöffnung 26 des Rohrstücks 24 weitgehend direkt in den Kanal des zweiten Anschlussstutzens 3, d.h. die Strömung verläuft im Wesentlichen nur durch den Bereich des Innenraums 9 des Ventilgehäuses 1, der direkt zwischen der Seitenöffnung 26 und der Mündung des zweiten Anschlussstutzens 3 in den Innenraum des Ventilgehäuses liegt. Der am Ventilsitz 19 angeordnete Dichtring 20 gelangt somit kaum mit dem Prozessgas in Kontakt.In the embodiment shown, the diameter of the side opening is 26th of the pipe section 24 smaller than the diameter of the through channel, which this has in the section from the second valve opening to the opening into the interior of the valve housing. So if through the first valve opening 4th a process gas is allowed to flow in and the second valve opening 5 is connected to the interior of a vacuum chamber under vacuum, the flow is from the side opening 26th of the pipe section 24 largely directly into the duct of the second connection piece 3rd , ie the flow essentially only runs through the area of the interior 9 of the valve body 1 that is right between the side opening 26th and the mouth of the second connecting piece 3rd lies in the interior of the valve housing. The one on the valve seat 19th arranged sealing ring 20th thus hardly comes into contact with the process gas.

Auch eine Ausbildung, bei welcher der Durchmesser der Seitenöffnung größer ist als der Durchmesser des Durchgangskanals, den dieser im Abschnitt von der zweiten Ventilöffnung bis zur Mündung in den Innenraum des Ventilgehäuses aufweist, ist denkbar und möglich. Die Zuführung von Prozessgas erfolgt dann vorzugsweise durch die zweite Ventilöffnung und die erste Ventilöffnung ist dann also mit dem Innenraum der Vakuumkammer verbunden, der das Prozessgas zugeführt werden soll.A design in which the diameter of the side opening is larger than the diameter of the through-channel that it has in the section from the second valve opening to the opening into the interior of the valve housing is also conceivable and possible. The supply of process gas then preferably takes place through the second valve opening and the first valve opening is then connected to the interior of the vacuum chamber to which the process gas is to be supplied.

In einer Modifikation des ersten Ausführungsbeispiels wäre es auch denkbar und möglich, den Dichtring 20 am Verschlussglied 10 anzuordnen, speziell an der dem Ventilsitz 19 zugewandten Stirnseite der ringförmigen Wand 26. Der Ventilsitz 19 würde dann die Dichtfläche aufweisen. In diesem Fall würde das Verschlussglied 10 in der Offenstellung weiter als in 5 dargestellt zurückgezogen werden, und zwar so weit, dass der Dichtring 20 bezogen auf die axiale Richtung der ersten Achse 6 von der Seitenöffnung 26 axial beabstandet wäre, vorzugsweise zumindest um ein Viertel des Durchmessers der Seitenöffnung 26.In a modification of the first exemplary embodiment, it would also be conceivable and possible for the sealing ring 20th on the connecting link 10 to be arranged, especially on the valve seat 19th facing end face of the annular wall 26th . The valve seat 19th would then have the sealing surface. In this case the closure link would 10 wider in the open position than in 5 are withdrawn so far that the sealing ring 20th based on the axial direction of the first axis 6th from the side opening 26th would be axially spaced, preferably at least a quarter of the diameter of the side opening 26th .

An der von der ersten Ventilöffnung 1 abgewandten Rückseite des Verschlussglieds 10 ist ein elastischer Zusatzdichtring 29 angeordnet, der die erste Achse 6 umgibt. In der Offenstellung des Verschlussgliedes liegt dieser an einer Dichtfläche 30 des Ventilgehäuses 1 an. Die Dichtfläche 30 ist an der Innenseite der Rückwand 23 des Ventilgehäuses angeordnet und umgibt die Öffnung in der Rückwand 23, durch welche die Ventilstange 11 aus dem Innenraum 9 des Ventilgehäuses 1 herausgeführt ist. Die Dichtung 12 wird dabei in der Offenstellung des Verschlussglieds 10 vor Resten von Prozessgas geschützt, welche bis in diesen Bereich andernfalls vordringen könnten.At the one from the first valve opening 1 facing away from the rear of the closure member 10 is an additional elastic sealing ring 29 arranged of the first axis 6th surrounds. In the open position of the Closing member this lies on a sealing surface 30th of the valve body 1 at. The sealing surface 30th is on the inside of the back wall 23 of the valve housing and surrounds the opening in the rear wall 23 through which the valve rod 11 from the interior 9 of the valve body 1 is led out. The seal 12th is in the open position of the closure member 10 protected from residues of process gas, which could otherwise penetrate into this area.

Ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im Folgenden anhand der 7 und 8 erläutert. Abgesehen von den im Folgenden beschriebenen Unterschieden entspricht die Ausbildung derjenigen des ersten Ausführungsbeispiels und die Beschreibung des ersten Ausführungsbeispiels ist insoweit auch für das zweite Ausführungsbeispiel heranziehbar.A second exemplary embodiment of the invention is described below with reference to FIG 7th and 8th explained. Apart from the differences described below, the design corresponds to that of the first exemplary embodiment and the description of the first exemplary embodiment can in this respect also be used for the second exemplary embodiment.

Ein wesentlicher Unterschied des zweiten Ausführungsbeispiels zum ersten Ausführungsbeispiel besteht darin, dass im zweiten Ausführungsbeispiel das Verschlussglied 10 mit dem Rohrstück 24, welches die Seitenöffnung 26 aufweist, ausgestattet ist. Das Rohrstück 24 ist somit mit seinem zweiten Ende am Basisteil 27 des Verschlussglieds 10 angebracht oder (wie dargestellt) einstückig mit diesem ausgebildet und wird am zweiten Ende vom Basisteil 27 des Verschlussglieds verschlossen. Das koaxial zur ersten Achse 6 liegende Rohrstück 24 ragt mit seinem ersten Ende in den von der ersten Ventilöffnung 4 ausgehenden, durch den ersten Anschlussstutzen 2 verlaufenden Kanal, und zwar in der Offenstellung des Verschlussgliedes (7) weniger weit als in der Schließstellung des Verschlussgliedes (8). Der Außendurchmesser des Rohrstücks 24 ist hierbei vorzugsweise nur geringfügig kleiner als der Innendurchmesser des Kanals, vorzugsweise um weniger als 1mm. D.h. der Außendurchmesser des Rohrstücks 24 entspricht abgesehen von einem Spiel zur Ausbildung einer Schiebeführung zwischen dem Rohrstück 24 und dem ersten Anschlussstutzen 2 dem Innendurchmesser des Anschlussstutzens 2.An essential difference between the second exemplary embodiment and the first exemplary embodiment is that in the second exemplary embodiment the closure element 10 with the pipe section 24 the side opening 26th has, is equipped. The pipe section 24 is thus with its second end on the base part 27 of the connecting link 10 attached or (as shown) formed in one piece with this and is at the second end of the base part 27 the closure member closed. That is coaxial with the first axis 6th lying pipe section 24 protrudes with its first end into that of the first valve opening 4th outgoing, through the first connection nozzle 2 running channel, namely in the open position of the closure member ( 7th ) less than in the closed position of the locking link ( 8th ). The outside diameter of the pipe section 24 is preferably only slightly smaller than the inside diameter of the channel, preferably by less than 1mm. Ie the outer diameter of the pipe section 24 corresponds, apart from a game, to the formation of a sliding guide between the pipe section 24 and the first connection piece 2 the inside diameter of the connecting piece 2 .

Der Dichtring 20 kann wie dargestellt wiederum vorteilhafterweise am Ventilsitz 19 angeordnet sein und die Dichtfläche 18 am Verschlussglied 10, und zwar am Basisteil 27 des Verschlussglieds 10 (auf der Seite, die dem Ventilsitz 19 zugewandt ist), wobei die Dichtfläche 18 das zweite Ende des Rohrstücks 24 umgibt.The sealing ring 20th can in turn, as shown, advantageously on the valve seat 19th be arranged and the sealing surface 18th on the connecting link 10 , namely on the base part 27 of the connecting link 10 (on the side facing the valve seat 19th facing), the sealing surface 18th the second end of the pipe section 24 surrounds.

Die Vorderwand 21 des Ventilgehäuses 1 ist hier einstückig mit den Seitenwänden ausgebildet und eine Rückwand 23 des Ventilgehäuses ist abgedichtet mit den Seitenwänden verbunden (eine dazwischenliegende Dichtung und Verbindungsschrauben sind der Einfachheit halber nicht dargestellt). Es könnte aber analog zum ersten Ausführungsbeispiel wiederum eine abgedichtete Schraubverbindung der separat von den Seitenwänden ausgebildeten Vorderwand 21 vorgesehen sein und die Rückwand 23 könnte einstückig mit den Seitenwänden ausgebildet sein.The front wall 21st of the valve body 1 is formed here in one piece with the side walls and a rear wall 23 of the valve housing is connected in a sealed manner to the side walls (an intermediate seal and connecting screws are not shown for the sake of simplicity). However, analogously to the first exemplary embodiment, a sealed screw connection of the front wall formed separately from the side walls could again be used 21st be provided and the rear wall 23 could be formed in one piece with the side walls.

Der von der zweiten Ventilöffnung 5 ausgehende, den zweiten Anschlussstutzen 3 durchsetzende Kanal weist hier zumindest in einem Endabschnitt, in welchem er in den Innenraum 9 des Ventilgehäuses mündet, einen Durchmesser auf, der kleiner als der Durchmesser der Seitenöffnung 26 im Rohrstück 24 ist. Die Seitenöffnung 26 ist wiederum zur zweiten Ventilöffnung 5 gerichtet, wobei ihre Achse hier in der Offenstellung leicht gegenüber der zweiten Achse 7 der zweiten Ventilöffnung 5 versetzt ist (sie liegt näher bei der ersten Ventilöffnung 4), vgl. 7. Die Achse der Seitenöffnung 26 könnte in der Offenstellung des Verschlussgliedes aber auch wieder koaxial zur zweiten Achse 7 liegen.The one from the second valve opening 5 outgoing, the second connection nozzle 3rd The penetrating channel has here at least one end section in which it enters the interior 9 of the valve housing opens, a diameter that is smaller than the diameter of the side opening 26th in the pipe section 24 is. The side opening 26th is in turn to the second valve opening 5 directed, its axis here in the open position slightly opposite the second axis 7th the second valve opening 5 is offset (it is closer to the first valve opening 4th ), see. 7th . The axis of the side opening 26th but could also be coaxial to the second axis again in the open position of the closure member 7th lie.

In der Offenstellung des Verschlussgliedes 10 wird wiederum ein Durchgangskanal durch das Ventilgehäuse ausgebildet. Ausgehend von der zweiten Ventilöffnung 5 verläuft dieser durch den vom zweiten Anschlussstutzen 3 gebildeten Kanal und weiter durch den zwischen der gehäuseinnenseitigen Mündung dieses Kanals und der Seitenöffnung 26 liegenden Bereichs des Innenraums 9 des Ventilgehäuses. Ein weiterer Abschnitt des Durchgangskanals verläuft durch das Rohrstück 24 und zwar von der Seitenöffnung 26 bis zum offenen ersten Ende des Rohrstücks. Im Weiteren verläuft der Durchgangskanal durch den vom ersten Anschlussstutzen 2 gebildeten Kanal bis zur ersten Ventilöffnung 4.In the open position of the locking link 10 a through-channel is in turn formed through the valve housing. Starting from the second valve opening 5 this runs through the second connection piece 3rd channel formed and further through the between the opening on the inside of the housing of this channel and the side opening 26th lying area of the interior 9 of the valve body. Another section of the through channel runs through the pipe section 24 from the side opening 26th to the open first end of the pipe section. In addition, the passage channel runs through that of the first connection piece 2 channel formed up to the first valve opening 4th .

Der am Ventilsitz 19 angeordnete Dichtring 20 ist in der Offenstellung des Verschlussgliedes 10 von der Seitenöffnung 26 im Rohrstück 24 beabstandet, bezogen auf die Richtung der ersten Achse 6. Dieser axiale Abstand ist entsprechend 7 relativ gering ausgebildet, könnte aber auch größer gewählt werden, falls dies als zweckmäßig erscheint.The one on the valve seat 19th arranged sealing ring 20th is in the open position of the locking member 10 from the side opening 26th in the pipe section 24 spaced relative to the direction of the first axis 6th . This axial distance is corresponding 7th formed relatively small, but could also be selected larger if this appears to be expedient.

Wenn durch die zweite Ventilöffnung 5 ein Prozessgas einströmen gelassen wird, wobei das Vakuumventil über die erste Ventilöffnung 4 mit dem Innenraum einer unter Vakuum stehenden Vakuumkammer verbunden ist, so gelangt der größte Teil dieses Prozessgases von der inneren Mündung des durch den zweiten Anschlussstutzen 3 verlaufenden Kanals durch den direkt zwischen dieser Mündung und der Seitenöffnung 26 liegenden Bereich des Innenraums 9 des Ventilgehäuses 1 unmittelbar in das Rohrstück 24, wobei nur ein geringer Teil des Prozessgases in einen anderen Bereich des Innenraums 9 des Ventilgehäuses 1 und damit zum am Ventilsitz 19 angeordneten Dichtring 20 gelangt.If through the second valve opening 5 a process gas is allowed to flow in, the vacuum valve via the first valve opening 4th is connected to the interior of a vacuum chamber under vacuum, most of this process gas passes from the inner opening of the through the second connection piece 3rd running channel through the directly between this mouth and the side opening 26th lying area of the interior 9 of the valve body 1 directly into the pipe section 24 , with only a small part of the process gas in another area of the interior 9 of the valve body 1 and thus to the valve seat 19th arranged sealing ring 20th got.

Der Dichtring 20 könnte auch in diesem Ausführungsbeispiel wiederum statt am Ventilsitz 19 am Verschlussglied 10 angeordnet sein, wobei er das zweite Ende des Rohrstücks 24 umgeben würde. Der Ventilsitz 19 würde dann die mit dem Dichtring 20 zusammenwirkende Dichtfläche aufweisen. Der Dichtring 20 würde hierbei von der Seitenöffnung 26 bezogen auf die erste Achse 6 axial beabstandet angeordnet werden. Die Seitenöffnung 26 könnte hierzu weiter vom zweiten Ende des Rohrstücks 24 entfernt in diesem angeordnet sein.The sealing ring 20th could also in this embodiment again instead of on the valve seat 19th on the connecting link 10 be arranged, he being the second end of the pipe section 24 would surround. The valve seat 19th would then be the one with the sealing ring 20th have cooperating sealing surface. The sealing ring 20th would do this from the side opening 26th related to the first axis 6th be arranged axially spaced. The side opening 26th could do this further from the second end of the pipe section 24 be arranged away in this.

In diesem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung könnte der Durchmesser der Seitenöffnung 26 analog wie im ersten Ausführungsbeispiel gezeigt kleiner ausgebildet sein als der Durchmesser des von der zweiten Ventilöffnung zur Mündung in den Innenraum 9 des Ventilgehäuses 1 verlaufenden Abschnitts des Durchgangskanals. Es könnte in diesem Fall das Prozessgas zweckmäßigerweise durch die erste Ventilöffnung 4 zugeführt werden und das Vakuumventil mit seiner zweiten Ventilöffnung 5 mit dem Innenraum der Vakuumkammer verbunden werden.In this second embodiment of the invention, the diameter of the side opening 26th As shown in the first exemplary embodiment, it can be made smaller than the diameter of the from the second valve opening to the opening into the interior 9 of the valve body 1 running section of the through channel. In this case, the process gas could expediently pass through the first valve opening 4th are supplied and the vacuum valve with its second valve opening 5 be connected to the interior of the vacuum chamber.

Sowohl im ersten als auch im zweiten beschriebenen Ausführungsbeispiel könnte der zweite Anschlussstutzen 3 entfallen. Die zweite Ventilöffnung wäre dann direkt in der entsprechenden Seitenwand des Ventilgehäuses 1 vorgesehen und das Ventilgehäuse 1 könnte direkt mit dieser Seitenwand mit einem anderen Teil einer Vakuumanlage verbunden werden.Both in the first and in the second exemplary embodiment described, the second connecting piece could 3rd omitted. The second valve opening would then be directly in the corresponding side wall of the valve housing 1 provided and the valve housing 1 could be connected directly to another part of a vacuum system with this side wall.

Im ersten beschriebenen Ausführungsbeispiel könnte der erste Anschlussstutzen 2 entfallen und die erste Ventilöffnung 4 wäre dann direkt in der Vorderwand 21 des Ventilgehäuses 1 angeordnet und ein anderer Teil einer Vakuumanalage könnte direkt mit der Vorderwand 21 des Ventilgehäuses vakuumdicht verbunden werden.In the first exemplary embodiment described, the first connection piece could 2 omitted and the first valve opening 4th would then be right in the front wall 21st of the valve body 1 and another part of a vacuum system could be connected directly to the front wall 21st of the valve housing are connected in a vacuum-tight manner.

BezugszeichenlisteList of reference symbols

11: VentilgehäuseValve body
22: erster Anschlussstutzenfirst connection piece
33: zweiter Anschlussstutzensecond connection piece
44th: erste Ventilöffnungfirst valve opening
55: zweite Ventilöffnungsecond valve opening
66th: erste Achsefirst axis
77th: zweite Achsesecond axis
88th: SchnittpunktIntersection
99: Innenrauminner space
1010: VerschlussgliedConnecting link
1111: VentilstangeValve stem
1212th: Dichtungpoetry
1313th: Dichtungpoetry
1414th: Dichtungpoetry
1515th: Kolben-Zylinder-EinheitPiston-cylinder unit
1616: Bohrungdrilling
1717th: RingraumAnnulus
1818th: DichtflächeSealing surface
1919th: VentilsitzValve seat
2020th: DichtringSealing ring
2121st: VorderwandFront wall
2222nd: Dichtungpoetry
2323: RückwandBack wall
2424: RohrstückPipe section
2525th: Deckelcover
2626th: SeitenöffnungSide opening
2727: BasisteilBase part
2828: Wandwall
2929: ZusatzdichtungAdditional seal
3030th: DichtflächeSealing surface

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant was generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

US 2015/0285396 A1 [0002]
US 2006/0169940 A1 [0002]
US 6669170 B2 [0002]
US 6289932 B1 [0002]
US 2009/0194728 A1 [0002]
US 5678595 A [0002]
US 9851012 B2 [0002]
US 7527238 B2 [0003]
JP 3210186 U [0004]

Claims

Vacuum valve comprising - a valve housing (1) with a first valve opening (4) which has a first axis (6) and a second valve opening (5) which has a second axis (7) at an angle to the first axis (6), wherein the first and the second axis (6, 7) intersect at an intersection (8), and - a closure member (10) which is arranged in an interior (9) of the valve housing (1) and parallel to the first axis (6 ) is movable between an open position and a closed position and in the closed position rests against a valve seat (19) of the valve housing (1) surrounding the first axis (6) and is lifted off the valve seat (19) in the open position, the closure member in the open position (10) a through channel running from the first valve opening (4) to the second valve opening (5) is released by the vacuum valve, characterized in that it runs through the valve housing (1) in the open position of the closure member (10) The end of the passage channel has a section which extends from a parallel to the first axis (6) and, based on the axial direction of the first axis (6), at least from the area of the valve seat (19) to the area of the intersection (8) between the first axis (6) and the second axis (7) extending pipe section (24) is formed, the valve housing (1) or the closure member (10) having the pipe section (24) and the pipe section (24) at one of the first valve opening (4) facing first end is open and is closed at an opposite second end and has a side opening (26) directed towards the second valve opening (4) in the axial region of the intersection (8) between the first axis (6) and the second axis (7).

Vacuum valve after Claim 1 , characterized in that the pipe section (24) is attached with its first end to a front wall (21) of the valve housing (1) or is formed in one piece with the front wall (21) and, proceeding from the front wall (21) into the interior space (9 ) of the valve housing (1) protrudes, and that the closure member (10) is pot-shaped and surrounds the pipe section (24) in the closed position.

Vacuum valve after Claim 2 , characterized in that the valve seat (19) is arranged on the inner side of the front wall (21) of the valve housing (1) and surrounds the first end of the pipe section (24).

Vacuum valve after Claim 1 , characterized in that the pipe section (24) is attached with its second end to a base part (27) of the closure member (10) or is formed in one piece with the base part (27) of the closure member (10) and from the base part (27) of the closure member (10) is closed at the second end and protrudes with its first end into a channel starting from the first valve opening (4) and running through a connecting piece (2) of the valve housing (1).

Vacuum valve after Claim 4 , characterized in that the outer diameter of the pipe section (24) is less than 1mm smaller than the inner diameter of the channel.

Vacuum valve according to one of the Claims 1 to 5 , characterized in that an elastic sealing ring (20), by means of which the closure member (10) is sealed off from the valve seat (19) in the closed position, is arranged on the valve seat (19).

Vacuum valve according to one of the Claims 1 to 6th , characterized in that an elastic additional sealing ring (29) is arranged on the rear side of the closure member (10) facing away from the first valve opening (4) and rests against a sealing surface of the valve housing (1) in the open position of the closure member (10).

Vacuum valve according to one of the Claims 1 to 7th , characterized in that the closure member (10) is carried by a valve rod (11) which extends parallel to the first axis (6) of the first valve opening (4) and is vacuum-tight and axially displaceable from the interior (9) of the valve housing (1 ) is brought out.

Vacuum valve according to one of the Claims 1 to 8th , characterized in that the diameter of the section of the passage channel through the valve housing (1) that extends from the second valve opening (5) to the opening into the interior (9) of the valve housing (1) is larger than the diameter of the side opening (26) of the pipe section (24).

Vacuum valve according to one of the Claims 1 to 8th , characterized in that the diameter of the section of the passage channel formed in the open position of the closure member (10) through the valve housing (1) extending from the second valve opening (5) to the opening into the interior (9) of the valve housing (1) in the region of the opening into the interior space (9) of the valve housing (1) is smaller than the diameter of the side opening (26) of the pipe section (24).