DE102020131923A1

DE102020131923A1 - Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren

Info

Publication number: DE102020131923A1
Application number: DE102020131923.1A
Authority: DE
Inventors: Yasuyuki Nuriya
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 2019-12-02
Filing date: 2020-12-02
Publication date: 2021-06-02
Also published as: TW202122789A; CN112986282A; US20210172884A1; US11971367B2; KR20210069003A; JP2021089159A

Abstract

Eine Inspektionsvorrichtung umfasst eine Bildakquisitionseinheit, welche dazu ausgebildet ist, Bilder zu akquirieren, die erhalten werden durch Abbilden von Lot, welches üblicherweise auf ein Substrat aufgedruckt ist, unter mindestens zwei Beleuchtungsbedingungen mit unterschiedlicher Helligkeit, und eine Bildverarbeitungseinheit, welche dazu ausgebildet ist, eine Gestalt des Lots basierend auf einer Helligkeitsdifferenz zwischen den mittels der Bildakquisitionseinheit akquirierten Bildern zu spezifizieren und - basierend auf der Gestalt des Lots - Inspektionsdaten zu erzeugen, welche zum Inspizieren eines Zustands des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, herangezogen werden.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Offenbarung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
In einem Herstellungsprozess elektronischer Geräte wird eine Gestalt von Lot, welches auf ein Substrat aufgedruckt ist, unter Verwendung einer Erscheinungsbild-Inspektionsvorrichtung inspiziert. Die Erscheinungsbild-Inspektionsvorrichtung bestimmt eine Qualität eines Zustands des Lots unter Verwendung eines Bildes, welches erhalten wird durch Abbilden des Zustands des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist.
Beispielsweise wird bei dem japanischen Patent Nr. 5566707 ein Inspektionsfenster in einem zu inspizierenden Bereich gesetzt und in dem gesetzten Inspektionsfenster werden verschiedene Bestimmungen an einer elektronischen Komponente vorgenommen.
Die Erscheinungsbild-Inspektion des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, kann automatisch durchgeführt werden, weil eine Position, an welcher das Lot aufgedruckt wird, spezifiziert werden kann, wenn Designdaten (z. B. Gerber-Daten), welche Verdrahtungsinformationen des Substrats umfassen, verfügbar sind. Wenn aber die Designdaten nicht zur Verfügung stehen, dann besteht die Notwendigkeit, ein Inspektionsfenster manuell zu setzen, um eine Inspektionsposition zu spezifizieren.
Wenn also die Designdaten nicht verfügbar sind, dann braucht es Zeit, um das Inspektionsfenster zu setzen, und die Arbeitseffizienz des Loterscheinungsbild-Inspektionsprozesses kann eine Verschlechterung erfahren.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Eine Aufgabe der vorliegenden Offenbarung besteht darin, die Arbeitseffizienz einer Erscheinungsbild-Inspektion von Lot, welches auf ein Substrat aufgedruckt ist, zu verbessern.
Gemäß der vorliegenden Offenbarung wird eine Inspektionsvorrichtung bereitgestellt, umfassend eine Bildakquisitionseinheit, welche dazu ausgebildet ist, Bilder zu akquirieren, die erhalten werden durch Abbilden von Lot, welches üblicherweise auf ein Substrat aufgedruckt ist, unter mindestens zwei Beleuchtungsbedingungen mit unterschiedlicher Helligkeit, und eine Bildverarbeitungseinheit, welche dazu ausgebildet ist, eine Gestalt des Lots basierend auf einer Helligkeitsdifferenz zwischen den mittels der Bildakquisitionseinheit akquirierten Bildern zu spezifizieren und - basierend auf der Gestalt des Lots - Inspektionsdaten zu erzeugen, welche zum Inspizieren eines Zustands des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, herangezogen werden.
Gemäß der vorliegenden Offenbarung wird die Arbeitseffizienz einer Erscheinungsbild-Inspektion des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, verbessert.
Figurenliste

1 ist ein Diagramm, welches in schematischer Darstellung eine Produktionslinie für ein elektronisches Gerät gemäß einer Ausführungsform zeigt.
2 ist ein Diagramm, welches in schematischer Darstellung eine Lotinspektionsvorrichtung gemäß der Ausführungsform zeigt.
3 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches ein Beispiel für eine Konfiguration einer Steuervorrichtung gemäß der Ausführungsform zeigt.
4 ist ein Flussdiagramm, welches ein Beispiel für ein Verfahren zum Erzeugen von Inspektionsdaten gemäß der Ausführungsform zeigt.
5 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für ein Substrat, welches bei einem ersten Neigungswinkel abgebildet ist, gemäß der Ausführungsform zeigt.
6 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für ein Sustrat, welches bei einem zweiten Neigungswinkel abgebildet ist, gemäß der Ausführungsform zeigt.
7 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für ein Differenzbild zwischen dem bei dem ersten Neigungswinkel aufgenommenen Bild und einem bei dem zweiten Neigungswinkel aufgenommenen Bild gemäß der Ausführungsform zeigt.
8 ist ein Diagramm, welches ein Beispiel für Inspektionsdaten gemäß der Ausführungsform zeigt.
9 ist ein Flussdiagramm, welches ein Beispiel für ein Inspektionsverfahren gemäß einer Ausführungsform zeigt.
10 ist ein Blockdiagramm, welches ein Computersystem gemäß der Ausführungsform zeigt.

BESCHREIBUNG VON AUSFÜHRUNGSFORMEN
Nachfolgend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben; die vorliegende Offenbarung ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Komponenten der im Folgenden zu beschreibenden Ausführungsform können geeignet kombiniert werden. Ein Teil der Komponenten kann auch nicht verwendet werden.
Bei der Ausführungsform ist ein kartesisches XYZ-Koordinatensystem definiert und eine Lagebeziehung jedes Teils wird unter Bezugnahme auf das kartesische XYZ-Koordinatensystem beschrieben. Eine Richtung parallel zu einer X-Achse in einer horizontalen Ebene ist als eine X-Richtung definiert. Eine Richtung parallel zu einer Y-Achse in der horizontalen Ebene, welche orthogonal zu der X-Achse verläuft, ist als eine Y-Richtung definiert. Eine Richtung parallel zu einer Z-Achse, welche orthogonal zu der horizontalen Ebene verläuft, ist als eine Z-Richtung definiert. Eine Ebene, welche die X-Achse und die Y-Achse umfasst, wird entsprechend als eine XY-Ebene bezeichnet. Die XY-Ebene verläuft parallel zu der horizontalen Ebene. Die Z-Achse ist parallel zu einer vertikalen Linie. Die Z-Richtung ist eine Oben-Unten-Richtung. Eine +Z-Richtung ist eine Oben-Richtung und eine -Z-Richtung ist eine Unten-Richtung.
[Produktionslinie]
1 ist ein Diagramm, welches in schematischer Darstellung eine Produktionslinie 1 für ein elektronisches Gerät gemäß einer Ausführungsform zeigt. Wie in 1 gezeigt, umfasst die Produktionslinie 1 eine Druckmaschine 2, eine Lotinspektionsvorrichtung 3, eine Elektronikkomponenten-Montagevorrichtung 4, einen Reflow-Ofen 5 und eine Erscheinungsbild-Inspektionsvorrichtung 6.
Die Druckmaschine 2 bedruckt ein Substrat, auf welches elektronische Bauteile montiert werden sollen, mit Lotpaste.
Die Lotinspektionsvorrichtung 3 bestimmt eine Qualität eines Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist. Die Lotinspektionsvorrichtung 3 erzeugt, basierend auf einem Bild einer Lotpaste, welche üblicherweise auf das Substrat aufgedruckt ist, Inspektionsdaten zum Bestimmen einer Qualität des Zustands der Lotpaste. Die Lotinspektionsvorrichtung 3 bestimmt, basierend auf den Inspektionsdaten, die Qualität des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist. Die Lotinspektionsvorrichtung 3 bestimmt die Qualität des Zustands der Lotpaste durch Vergleich der Inspektionsdaten mit dem Zustand der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist.
Die Elektronikkomponenten-Montagevorrichtung 4 montiert elektronische Komponenten auf das Substrat, welches mit der Lotpaste bedruckt ist. Der Reflow-Ofen 5 erwärmt das Substrat, auf welchem die elektronischen Komponenten montiert sind, um die Lotpaste aufzuschmelzen. Die geschmolzene Lotpaste in dem Reflow-Ofen 5 wird abgekühlt, und auf diese Weise werden die elektronischen Komponenten mit dem Substrat verlötet.
Die Erscheinungsbild-Inspektionsvorrichtung 6 inspiziert, ob die elektronischen Komponenten geeignet auf dem Substrat montiert sind. Die Erscheinungsbild-Inspektionsvorrichtung 6 inspiziert, ob korrekte elektronische Komponenten auf dem Substrat montiert sind.
[Lotinspektionsvorrichtung]
Eine Ausgestaltung der Lotinspektionsvorrichtung 3 gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird unter Bezugnahme auf 2 beschrieben. 2 ist eine schematische Darstellung, welche ein Beispiel für die Ausgestaltung der Lotinspektionsvorrichtung 3 gemäß der Ausführungsform zeigt.
Wie in 2 gezeigt, umfasst die Lotinspektionsvorrichtung 3 eine Substrathaltevorrichtung 31, welche ein Substrat P hält, welches mit Lotpaste bedruckt ist; eine Beleuchtungsvorrichtung 32, mittels derer die Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, unter einer Mehrzahl von Beleuchtungsbedingungen beleuchtet werden kann; eine Abbildungsvorrichtung 33, welche die auf das Substrat P aufgebrachte Lotpaste abbildet; eine Steuervorrichtung 7, welche ein Computersystem umfasst; eine Anzeigevorrichtung 8, welche dazu in der Lage ist, Anzeigedaten anzuzeigen; und eine Eingabevorrichtung 9, welche von einer Bedienperson bedient wird.
Die Substrathaltevorrichtung 31 hält das Substrat P, auf welches die Lotpaste aufgedruckt ist. Die Substrathaltevorrichtung 31 umfasst ein Basisglied 31A, ein Halteglied 31B, welches das Substrat P hält, und einen Aktuator 31C, welcher Leistung erzeugt, um das Halteglied 31B zu bewegen. Das Basisglied 31A haltert das Halteglied 31B auf bewegliche Weise. Das Halteglied 31B hält das Substrat P derart, dass die auf eine Oberfläche des Substrats P aufgedruckte Lotpaste und die Abbildungsvorrichtung 33 einander gegenüberliegen. In einem Zustand, in dem das Substrat P gehalten ist, ist das Halteglied 31B durch Betätigen des Aktuators 31C in einer X-Richtung beweglich. Wenn beispielsweise das Halteglied 31B das Substrat P einträgt, wird eine Positionseinstellung zwischen der Abbildungsvorrichtung 33 und dem Substrat P in der X-Richtung durch Betätigung des Aktuators 31C durchgeführt. Wie dies später noch zu beschreiben ist, können die Positionen der Abbildungsvorrichtung 33 und des Substrats P in der XY-Richtung durch Bewegen der Abbildungsvorrichtung 33 in der XY-Richtung eingestellt werden, wenn die Abbildungsvorrichtung 33 das Substrat P abbildet.
Die Beleuchtungsvorrichtung 32 beleuchtet die Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, mit Beleuchtungslicht, während das Substrat P mittels der Substrathaltevorrichtung 31 gehalten wird. Die Lotpaste wird unter jeder der Mehrzahl von Beleuchtungsbedingungen der Beleuchtungsvorrichtung 32 beleuchtet. Die Beleuchtungsvorrichtung 32 ist oberhalb der Substrathaltevorrichtung 31 angeordnet. Die Beleuchtungsvorrichtung 32 umfasst eine Mehrzahl von Lichtquellen 34, durch welche die Lotpaste unter verschiedenen Beleuchtungsbedingungen beleuchtet werden kann, und ein Halterungsglied 32S, welches die Mehrzahl von Lichtquellen 34 haltert.
Jede der Mehrzahl von Lichtquellen 34 weist eine ringförmige Gestalt auf. Als Beispiel für die Mehrzahl von Lichtquellen 34 seien beispielsweise Leuchtdioden (LEDs) genannt. Die Mehrzahl von Lichtquellen 34 emittieren weißes Licht als Beleuchtungslicht. Das Halterungsglied 32S ist mindestens an einem Teil einer Peripherie der Mehrzahl von Lichtquellen 34 angeordnet. Das Beleuchtungslicht, welches von der Mehrzahl von Lichtquellen 34 emittiert wird, ist nicht auf weißes Licht beschränkt, sondern kann Rotlicht, Blaulicht oder dergleichen sein.
Bei der Ausführungsform umfassen die Lichtquellen 34 eine erste Lichtquelle 34A mit einem ersten Innendurchmesser, eine zweite Lichtquelle 34B mit einem zweiten Innendurchmesser, welcher größer ist als der erste Innendurchmesser, und eine dritte Lichtquelle 34C mit einem dritten Innendurchmesser, der größer ist als der zweite Innendurchmesser. Von der Mehrzahl von Lichtquellen 34 ist die erste Lichtquelle 34A an einer Position angeordnet, welche am weitesten von der Substrathaltevorrichtung 31 entfernt ist, die zweite Lichtquelle 34B ist an einer Position angeordnet, welche am zweitweitesten von der Substrathaltevorrichtung 31 entfernt ist, und die dritte Lichtquelle 34C ist an einer Position angeordnet, welche der Substrathaltevorrichtung 31 am nächsten liegt. Das heißt, von der Mehrzahl von Lichtquellen 34 ist die erste Lichtquelle 34A an der höchsten Position angeordnet, die zweite Lichtquelle 34B ist an der zweithöchsten Position angeordnet, und die dritte Lichtquelle 34C ist an der tiefsten Position angeordnet.
Die Beleuchtungsbedingung umfasst einen Einfallswinkel θ des Beleuchtungslichts, welches auf die Lotpaste fällt. Ein Einfallswinkel θ1, bei dem Beleuchtungslicht, welches von der ersten Lichtquelle 34A emittiert wird, auf die Lotpaste fällt, ein Einfallswinkel θ2, bei dem Beleuchtungslicht, welches von der zweiten Lichtquelle 34B emittiert wird, auf die Lotpaste fällt, und ein Einfallswinkel θ3, bei dem Beleuchtungslicht, welches von der dritten Lichtquelle 34C emittiert wird, auf die Lotpaste fällt, sind verschieden voneinander. Die Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, wird mit dem Beleuchtungslicht der Beleuchtungsvorrichtung 32 bei jedem der Mehrzahl von Einfallswinkeln 8 bestrahlt.
In der nachfolgenden Beschreibung kann die Beleuchtungsbedingung zum Beleuchten der Lotpaste mit dem Beleuchtungslicht, welches von der ersten Lichtquelle 34A emittiert wird, geeignet als eine erste Beleuchtungsbedingung bezeichnet werden. Die Beleuchtungsbedingung zum Beleuchten der Lotpaste mit dem Beleuchtungslicht, welches von der zweiten Lichtquelle 34B emittiert wird, kann entsprechend als eine zweite Beleuchtungsbedingung bezeichnet werden. Die Beleuchtungsbedingung zum Beleuchten der Lotpaste mit dem Beleuchtungslicht, welches von der dritten Lichtquelle 34C emittiert wird, kann entsprechend als eine dritte Beleuchtungsbedingung bezeichnet werden.
Wenn das Beleuchtungslicht von der ersten Lichtquelle 34A emittiert wird, wird das Beleuchtungslicht von keiner der Lichtquellen, welche sind die zweite Lichtquelle 34B und die dritte Lichtquelle 34C, emittiert. Wenn das Beleuchtungslicht von der zweiten Lichtquelle 34B emittiert wird, wird das Beleuchtungslicht von keiner der Lichtquellen, welche sind die dritte Lichtquelle 34C und die erste Lichtquelle 34A, emittiert. Wenn das Beleuchtungslicht von der dritten Lichtquelle 34C emittiert wird, wird das Beleuchtungslicht von keiner der Lichtquellen, welche sind die erste Lichtquelle 34A und die zweite Lichtquelle 34B, emittiert.
Die Abbildungsvorrichtung 33 bildet die Lotpaste ab, welche auf das Substrat P aufgebracht ist, und akquiriert ein Bild der Lotpaste. Die Abbildungsvorrichtung 33 ist oberhalb der Beleuchtungsvorrichtung 32 angeordnet. Die Abbildungsvorrichtung 33 umfasst ein optisches System 33A und einen Bildsensor 33B, welcher das Lotpastenbild über das optische System 33A akquiriert. Bei der Ausführungsform ist eine optische Achse AX des optischen Systems 33A parallel zu der Z-Achse. Die optische Achse AX des optischen Systems 33A ist innerhalb der ringförmigen Lichtquellen 34 angeordnet. Als Beispiel für den Bildsensor 33B sei mindestens eines von einem Charged-Coupled-Device-(CCD-)Bildsensor und einem (Complementary-Metal-Oxide-Semiconductor-(CMOS-)Bildsensor genannt. Die Abbildungsvorrichtung 33 kann ein Farbbild der Lotpaste akquirieren. Die Abbildungsvorrichtung 33 kann von einer Monochromkamera gebildet sein. In diesem Fall akquiriert die Abbildungsvorrichtung 33 ein monochromes Bild der Lotpaste.
Die Abbildungsvorrichtung 33 ist beispielsweise an einer bewegbaren Vorrichtung 35 oberhalb der Beleuchtungsvorrichtung 32 angeordnet. Die bewegbare Vorrichtung 35 weist ein Halteglied 35A und einen Aktuator 35B auf. Das Halteglied 35A haltert einen Kopfabschnitt der Abbildungsvorrichtung 33. In einem die Abbildungsvorrichtung 33 halternden Zustand ist das Halteglied 35A durch Betätigung des Aktuators 35B in der XY-Ebene beweglich. Durch Bewegen des Halteglieds 35A in der XY-Ebene in einem Zustand, in dem die Abbildungsvorrichtung 33 gehaltert ist, kann eine Positionseinstellung zwischen der Abbildungsvorrichtung 33 und dem Substrat P in der XY-Ebene während der Abbildung des Substrats P durchgeführt werden. Wenn sich die Abbildungsvorrichtung 33 in der XY-Ebene bewegt, bewegt sich auch die Beleuchtungsvorrichtung 32 zusammen mit der Abbildungsvorrichtung 33 in der XY-Ebene.
Die Abbildungsvorrichtung 33 bildet die Lotpaste in einem Zustand ab, in dem die Lotpaste von der Beleuchtungsvorrichtung 32 beleuchtet ist. Die Abbildungsvorrichtung 33 bildet die Lotpaste unter jeder der Bedingungen, welche sind die erste Beleuchtungsbedingung, die zweite Beleuchtungsbedingung und die dritte Beleuchtungsbedingung, ab. Die Lichtquellen 34 sind außerhalb eines Sichtfeldes der Abbildungsvorrichtung 33 angeordnet. Die Abbildungsvorrichtung 33 bildet die Lotpaste durch einen Raum innerhalb der Lichtquellen 34 hindurch ab.
Das Halteglied 35A bewegt sich in der XY-Ebene. Das Halteglied 35A bewegt sich derart, dass die Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, sich im Sichtfeld der Abbildungsvorrichtung 33 befindet. Die Abbildungsvorrichtung 33 bildet jeden einer Mehrzahl von Bereichen des Substrats P ab, wenn eine relative Position in der XY-Ebene zwischen dem Substrat P und dem Sichtfeld der Abbildungsvorrichtung 33 eingestellt ist. Somit kann die Abbildungsvorrichtung 33 Bilder der Lotpaste auf dem gesamten Substrat P akquirieren.
Die Steuervorrichtung 7 steuert die Substrathaltevorrichtung 31, die Beleuchtungsvorrichtung 32 und die Abbildungsvorrichtung 33. Die Steuervorrichtung 7 umfasst eine arithmetische Verarbeitungsvorrichtung, welche einen Prozessor, beispielsweise eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU), umfasst; und eine Speichervorrichtung, welche einen Speicher und einen Arbeitsspeicher, beispielsweise einen Nur-Lese-Speicher (ROM) oder einen Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM), umfasst. Die arithmetische Verarbeitungsvorrichtung führt eine arithmetische Verarbeitung gemäß einem Computerprogramm durch, welches in der Speichervorrichtung gespeichert ist. Ferner kann die Steuervorrichtung 7 beispielsweise durch eine integrierte Schaltungsanordnung realisiert sein, wie etwa eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC) oder ein Field-Programmable-Gate-Array (FPGA).
Die Steuervorrichtung 7 steuert die Substrathaltevorrichtung 31, um die relative Position zwischen dem Substrat P, welches von dem Halteglied 31B gehalten ist, und dem Sichtfeld der Abbildungsvorrichtung 33 einzustellen. Die Steuervorrichtung 7 steuert die Beleuchtungsvorrichtung 32, um die Beleuchtungsbedingung der Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgebracht ist, einzustellen. Die Steuervorrichtung 7 steuert die Abbildungsvorrichtung 33, um Abbildungsbedingungen, welche mindestens eines von einem Timing der Abbildung der Lotpaste, einer Belichtungszeit und einer Apertur des optischen Systems 33A umfassen, zu steuern.
Die Steuervorrichtung 7 steuert die Beleuchtungsvorrichtung 32, um die Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgebracht ist, in jeder der Mehrzahl von Beleuchtungsbedingungen zu beleuchten. Die Steuervorrichtung 7 steuert die Abbildungsvorrichtung 33, um eine Mehrzahl von Bildern der Lotpaste, welche unter der Mehrzahl von Beleuchtungsbedingungen beleuchtet wird, zu akquirieren.
Die Steuervorrichtung 7 steuert die Beleuchtungsvorrichtung 32, um bei der ersten Beleuchtungsbedingung die Lotpaste mit dem Beleuchtungslicht zu beleuchten, welches von der ersten Lichtquelle 34A emittiert wird. Die Steuervorrichtung 7 steuert die Beleuchtungsvorrichtung 32, um bei der zweiten Beleuchtungsbedingung die Lotpaste mit dem Beleuchtungslicht zu beleuchten, welches von der zweiten Lichtquelle 34B emittiert wird. Die Steuervorrichtung 7 steuert die Beleuchtungsvorrichtung 32, um bei der dritten Beleuchtungsbedingung die Lotpaste mit dem Beleuchtungslicht zu beleuchten, welches von der dritten Lichtquelle 34C emittiert wird. Die Steuervorrichtung 7 akquiriert ein Bild der Lotpaste bei Beleuchtung derselben unter der ersten Beleuchtungsbedingung, ein Bild der Lotpaste bei Beleuchtung derselben unter der zweiten Beleuchtungsbedingung und ein Bild der Lotpaste bei Beleuchtung derselben unter der dritten Beleuchtungsbedingung. Das Bild der Lotpaste bei Beleuchtung unter der ersten Beleuchtungsbedingung kann als ein erstes Bild bezeichnet werden. Das Bild der Lotpaste bei Beleuchtung unter der zweiten Beleuchtungsbedingung kann als ein zweites Bild bezeichnet werden. Das Bild der Lotpaste bei Beleuchtung unter der dritten Beleuchtungsbedingung kann als ein drittes Bild bezeichnet werden.
Die Steuervorrichtung 7 erzeugt ein Differenzbild, in dem eine Helligkeitsdifferenz zwischen dem ersten Bild und dem zweiten Bild berechnet wird. Die Steuervorrichtung 7 erzeugt ein Differenzbild, in dem eine Helligkeitsdifferenz zwischen dem ersten Bild und dem dritten Bild berechnet wird. Die Steuervorrichtung 7 erzeugt ein Differenzbild, in dem eine Helligkeitsdifferenz zwischen dem zweiten Bild und dem dritten Bild berechnet wird. Die Helligkeit eines Bildes ist die Brillanz, Luminanz oder dergleichen des Bildes.
Die Steuervorrichtung 7 führt eine Binarisierungsverarbeitung durch, bei welcher das erzeugte Differenzbild in einen zweistufigen Farbton von Schwarz und Weiß konvertiert wird, und erzeugt ein Binärbild. Beispielsweise wird von der Steuervorrichtung 7 pro Pixel in dem Differenzbild ein Bereich, welcher eine Luminanz aufweist, die einen vorbestimmten Schwellenwert überschreitet, in Weiß konvertiert und ein Bereich, welcher eine Luminanz aufweist, die unterhalb eines vorbestimmten Schwellenwerts liegt, wird in Schwarz konvertiert, um das Binärbild zu erzeugen. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist die Farbe des Binärbildes nicht auf Schwarz-Weiß beschränkt; andere Farbkombinationen können zum Einsatz kommen.
Die Steuervorrichtung 7 extrahiert eine Kante der Lotpaste basierend auf dem Binärbild. Die Steuervorrichtung 7 extrahiert die Schwarz-Weiß-Bereiche als die Kante der Lotpaste basierend auf dem Binärbild. Die Steuervorrichtung 7 spezifiziert eine Gestalt der Lotpaste basierend auf der extrahierten Kante.
Die Steuervorrichtung 7 erzeugt - basierend auf der Gestalt der Lotpaste - Inspektionsdaten zum Bestimmen einer Qualität der Gestalt der Lotpaste. Die Steuervorrichtung 7 erzeugt - basierend auf der Gestalt der Lotpaste, welche üblicherweise auf das Substrat aufgedruckt ist - Inspektionsdaten zum Bestimmen der Qualität der Gestalt der Lotpaste.
Die Steuervorrichtung 7 bestimmt die Qualität der Gestalt der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist. Basierend auf den Inspektionsdaten bestimmt die Steuervorrichtung 7 die Qualität der Gestalt der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist.
Die Anzeigevorrichtung 8 weist einen Anzeigebildschirm zum Anzeigen von Anzeigedaten auf. Als Beispiel für die Anzeigevorrichtung 8 sei eine flache Bildschirmanzeige, beispielsweise eine Flüssigkristallanzeige (LCD) oder eine organische Elektrolumineszenzanzeige (OELD), genannt. Eine Bedienperson kann den Anzeigebildschirm der Anzeigevorrichtung 8 überprüfen. Beispielsweise kann die Bedienperson auf dem Anzeigebildschirm der Anzeigevorrichtung 8 einen Zustand der Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, überprüfen.
Die Eingabevorrichtung 9 wird von einer Bedienperson betätigt. Die Eingabevorrichtung 9 erzeugt Eingabedaten infolge der Betätigung durch die Bedienperson. Die von der Eingabevorrichtung 9 erzeugten Eingabedaten werden an die Steuervorrichtung 7 ausgegeben. Als Beispiel für das Eingabegerät 9 sei mindestens eines von einer Computertastatur, einer Maus, einem Taster, einem Schalter oder einem Touchpanel genannt.
[Steuervorrichtung]
Eine Konfiguration der Steuervorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird unter Bezugnahme auf 3 beschrieben. 3 ist ein Funktionsblockdiagramm, welches ein Beispiel für die Ausgestaltung der Steuervorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt.
Wie in 3 gezeigt, umfasst die Steuervorrichtung 7 eine Eingabedatenakquisitionseinheit 71, eine Eintragspositionssteuereinheit 72, eine Beleuchtungssteuereinheit 73, eine Relativpositionssteuereinheit 74, eine Abbildungssteuereinheit 75, eine Bildakquisitionseinheit 76, eine Bildverarbeitungseinheit 77, eine Bestimmungseinheit 78, eine Speichereinheit 79 und eine Anzeigesteuereinheit 80.
Die Eingabedatenakquisitionseinheit 71 akquiriert die Eingabedaten, welche infolge Betätigung der Eingabevorrichtung 9 erzeugt werden.
Die Eintragspositionssteuereinheit 72 gibt eine Steueranweisung an die Substrathaltevorrichtung 31 aus, um eine relative Position in der X-Richtung zwischen der Abbildungsvorrichtung 33 und dem Halteglied 31B, welches das Substrat P während des Eintrags des Substrats P hält, einzustellen. Die Eintragspositionssteuereinheit 72 stellt eine relative Position in der X-Richtung zwischen der Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, und dem Sichtfeld der Abbildungsvorrichtung 33 während des Eintrags des Substrats P ein.
Die Beleuchtungssteuereinheit 73 gibt eine Steueranweisung an die Beleuchtungsvorrichtung 32 aus, um die Beleuchtungsbedingung einzustellen, wenn die Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, mit dem Beleuchtungslicht beleuchtet wird. Die Beleuchtungssteuereinheit 73 steuert die Beleuchtungsvorrichtung 32 derart, dass die Lotpaste unter mindestens zwei der Bedingungen, welche sind die erste Beleuchtungsbedingung, die zweite Beleuchtungsbedingung und die dritte Beleuchtungsbedingung, zu beleuchten ist.
Die Relativpositionssteuereinheit 74 gibt eine Steueranweisung an die bewegbare Vorrichtung 35 aus, um die bewegbare Vorrichtung 35 zu veranlassen, eine Bewegung in der XY-Ebene auszuführen; auf diese Weise wird die relative Position in der XY-Ebene zwischen dem Halteglied 31B, welches das Substrat P hält, und der Abbildungsvorrichtung 33 eingestellt. Die Relativpositionssteuereinheit 74 stellt die relative Position in der XY-Ebene zwischen der Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, und dem Sichtfeld der Abbildungsvorrichtung 33 ein.
Die Abbildungssteuereinheit 75 gibt eine Steueranweisung an die Abbildungsvorrichtung 33 aus, um Abbildungsbedingungen zu steuern, umfassend mindestens eines von Timing der Abbildung der Lotpaste, Belichtungszeit und Apertur des optischen Systems 33A.
Die Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert eine Mehrzahl von Bildern der Lotpaste in einem Zustand, in dem diese auf das Substrat P aufgedruckt ist und unter Beleuchtung derselben mittels der Beleuchtungsvorrichtung 32 unter der Mehrzahl von Beleuchtungsbedingungen. Die Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert die Mehrzahl von Bildern der Lotpaste, welche mittels der Abbildungsvorrichtung 33 abgebildet wird, während sie unter der Mehrzahl von Beleuchtungsbedingungen beleuchtet wird. Die Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert das erste Bild der Lotpaste bei Beleuchtung derselben unter der ersten Beleuchtungsbedingung, das zweite Bild der Lotpaste bei Beleuchtung derselben unter der zweiten Beleuchtungsbedingung und das dritte Bild der Lotpaste bei Beleuchtung derselben unter der dritten Beleuchtungsbedingung.
Die Bildverarbeitungseinheit 77 führt eine Bildverarbeitung an den mittels der Bildakquisitionseinheit 76 akquirierten Bildern durch. Die Bildverarbeitungseinheit 77 spezifiziert die Gestalt der Lotpaste basierend auf einer Helligkeitsdifferenz zwischen den Bildern, welche von der Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert werden. Basierend auf der Gestalt der Lotpaste erzeugt die Bildverarbeitungseinheit 77 Inspektionsdaten, welche zum Inspizieren eines Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat P aufgedruckt ist, herangezogen werden.
Insbesondere umfasst die von der Bildverarbeitungseinheit 77 durchgeführte Bildverarbeitung einen Verarbeitungsvorgang des Berechnens der Helligkeitsdifferenz zwischen zwei Bildern von den Bildern, welche sind erstes Bild, zweites Bild und drittes Bild, die von der Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert werden, und des Erzeugens eines Differenzbildes. Die Bildverarbeitung umfasst einen Verarbeitungsvorgang des Erzeugens eines Binärbildes basierend auf dem Differenzbild. Die Bildverarbeitung umfasst einen Verarbeitungsvorgang des Kantenextrahierens von Bereichen mit unterschiedlichen Farben basierend auf dem Binärbild, um die Gestalt der Lotpaste zu spezifizieren. Die Bildverarbeitung umfasst einen Verarbeitungsvorgang des Erzeugens, basierend auf der spezifizierten Gestalt der Lotpaste, von Inspektionsdaten zum Bestimmen der Qualität des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist. Die Inspektionsdaten werden basierend auf einem Bild des Substrats P erzeugt, auf welches die Lotpaste üblicherweise aufgedruckt ist. Die Bildverarbeitungseinheit 77 speichert die erzeugten Inspektionsdaten in der Speichereinheit 79.
Die Bestimmungseinheit 78 bestimmt verschiedene Zustände der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist. Die Bestimmungseinheit 78 bestimmt die Qualität des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist. Die Bestimmungseinheit 78 vergleicht das Bild der Lotpaste, welches von der Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert wird, mit den Inspektionsdaten, welche in der Speichereinheit 79 gespeichert sind, und bestimmt die Qualität des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist.
Die Speichereinheit 79 speichert verschiedene Arten von Informationen. Die Speichereinheit 79 speichert Inspektionsdaten zum Bestimmen der Qualität des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist. Die Speichereinheit 79 kann beispielsweise durch ein Halbleiterspeicherelement, wie etwa einen Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM) oder einen Flash-Speicher, oder durch eine Speichervorrichtung wie eine Festplatte oder einen Solid-State-Drive realisiert sein.
Die Anzeigesteuereinheit 80 zeigt verschiedene Arten von Anzeigedaten auf der Anzeigevorrichtung 8 an. Die Anzeigesteuereinheit 80 zeigt das Bild der Lotpaste, welches von der Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert wird, auf der Anzeigevorrichtung 8 an. Die Anzeigesteuereinheit 80 zeigt das Bild der Lotpaste, welches einer Bildverarbeitung mittels der Bildverarbeitungseinheit 77 unterzogen wird, auf der Anzeigevorrichtung 8 an. Die Anzeigesteuereinheit 80 zeigt ein Bestimmungsergebnis der Bestimmungseinheit 78 auf der Anzeigevorrichtung 8 an.
[Verfahren zum Erzeugen von Inspektionsdaten]
Ein Verfahren zum Erzeugen der Inspektionsdaten gemäß der Ausführungsform wird unter Bezugnahme auf 4 beschrieben. 4 ist ein Flussdiagramm, welches ein Beispiel für das Verfahren zum Erzeugen der Inspektionsdaten gemäß der Ausführungsform zeigt.
Die Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert von der Abbildungsvorrichtung 33 ein Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht bei einem ersten Neigungswinkel bestrahlt wird (Schritt S10). Der erste Neigungswinkel ist ein relativ steiler Winkel. In dem in 2 gezeigten Beispiel akquiriert die Bildakquisitionseinheit 76 von der Abbildungsvorrichtung 33 ein Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht der ersten Lichtquelle 34A bestrahlt wird. Die Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert von der Abbildungsvorrichtung 33 ein Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht der zweiten Lichtquelle 34B bestrahlt wird.
5 zeigt ein Bild IM1 des Substrats P, welches von der Abbildungsvorrichtung 33 abgebildet wird, während es mit dem Beleuchtungslicht bei dem ersten Neigungswinkel bestrahlt wird. In 5 ist das Bild des Substrats P dargestellt, welches von der Abbildungsvorrichtung 33 abgebildet wird, während es mit dem Beleuchtungslicht der ersten Lichtquelle 34A bestrahlt wird.
Das Substrat P ist in eine Mehrzahl von Bereichen unterteilt, und die Abbildungsvorrichtung 33 bildet die Mehrzahl von Bereichen ab. Die Abbildungsvorrichtung 33 bildet einen Bereich des Substrats P ab und bildet einen nächsten Bereich ab, nachdem der nächste Bereich des Substrats P mittels der Substrathaltevorrichtung 31 in das Sichtfeld der Abbildungsvorrichtung 33 bewegt wurde. Beispielsweise ist das Substrat P in drei Bereiche unterteilt, welche sind ein Bereich L1, ein Bereich L2 und ein Bereich L3, und die Abbildungsvorrichtung 33 bildet die drei Bereiche des Substrats P ab. Die Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert Bilder der drei Bereiche, welche sind Bereich L1, Bereich L2 und Bereich L3. Die Bildakquisitionseinheit 76 synthetisiert die Bilder des Bereichs L1, des Bereichs L2 und des Bereichs L3, um ein Bild des gesamten Substrats P zu erhalten. Das Substrat P ist mit Lotpaste SD1 bis SD15 bedruckt. Das Substrat P ist mit Seide M als Führung bedruckt. Das Substrat P stellt keine Einschränkung des Substrats dar, auf welches die vorliegende Ausführungsform Anwendung findet.
Die Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert von der Abbildungsvorrichtung 33 ein Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht bei einem zweiten Neigungswinkel bestrahlt wird (Schritt S11). Der zweite Neigungswinkel ist ein relativ sanfter Winkel. In einem Fall, in dem das Beleuchtungslicht des ersten Neigungswinkels von der ersten Lichtquelle 34A stammt, akquiriert die Bildakquisitionseinheit 76 von der Abbildungsvorrichtung 33 das Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht der zweiten Lichtquelle 34B oder der dritten Lichtquelle 34C bestrahlt wird. In einem Fall, in dem das Beleuchtungslicht des ersten Neigungswinkels von der zweiten Lichtquelle 34B stammt, akquiriert die Bildakquisitionseinheit 76 von der Abbildungsvorrichtung 33 das Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht der dritten Lichtquelle 34C bestrahlt wird.
6 zeigt ein Bild IM2 des Substrats P, welches von der Abbildungsvorrichtung 33 abgebildet wird, während es mit dem Beleuchtungslicht bei dem zweiten Neigungswinkel bestrahlt wird. Das Verfahren zum Abbilden des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht bei dem zweiten Neigungswinkel bestrahlt wird, ist das gleiche wie das Verfahren zum Abbilden des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht bei dem ersten Neigungswinkel bestrahlt wird.
Ein Vergleich von Bild IM1 aus 5 mit Bild IM2 von 6 zeigt, dass die Art und Weise, wie das Beleuchtungslicht reflektiert wird, verschieden ist. Insbesondere unterscheiden sich das Bild IM1 und das Bild IM2 in der Art und Weise, wie das Beleuchtungslicht in der Lotpaste SD1 bis SD15 reflektiert wird. Insbesondere reflektiert die Lotpaste SD1 bis SD15 in dem Bild IM1 mehr Licht als die Lotpaste SD1 bis SD15 in dem Bild IM2.
Die Bildverarbeitungseinheit 77 berechnet eine Helligkeitsdifferenz zwischen dem Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht bei dem ersten Neigungswinkel bestrahlt wird, und dem Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht bei dem zweiten Neigungswinkel bestrahlt wird, und erzeugt ein Differenzbild (Schritt S12). Die Bildverarbeitungseinheit 77 berechnet eine Luminanzdifferenz zwischen dem Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht bei dem ersten Neigungswinkel bestrahlt wird, und dem Bild des Substrats P, welches mit dem Beleuchtungslicht bei dem zweiten Neigungswinkel bestrahlt wird, und erzeugt ein Differenzbild. Nimmt man das Bild IM1 und das Bild IM2 als Beispiel, so sind Unterschiede in den Bereichen der Lotpaste SD1 bis SD15 relativ groß und Unterschiede in anderen Bereichen relativ klein.
Die Bildverarbeitungseinheit 77 führt eine Binarisierungsverarbeitung an dem erzeugten Differenzbild durch, um ein Binärbild zu erzeugen (Schritt S13). Die Bildverarbeitungseinheit 77 führt pro Pixel in dem Differenzbild eine Binarisierungsverarbeitung durch, um ein binäres Schwarz-Weiß-Bild zu erzeugen.
7 zeigt ein Bild IM3, welches mittels Durchführung einer Binarisierungsverarbeitung an dem Differenzbild erhalten wird. Wie in 7 gezeigt, sind in dem Bild IM3 die Bereiche der Lotpaste SD1 bis SD15, in denen der Helligkeitsunterschied groß ist, in weiß dargestellt, und andere Bereiche, umfassend die Seide M, in denen der Helligkeitsunterschied klein ist, sind in schwarz dargestellt. Das heißt, mittels Durchführung der Binarisierungsverarbeitung an dem Differenzbild werden Bereiche, welche mit der Lotpaste bedruckt sind, von anderen Bereichen unterschieden.
Die Bildverarbeitungseinheit 77 extrahiert die Kante der Lotpaste basierend auf dem Binärbild (Schritt S14). Die Bildverarbeitungseinheit 77 extrahiert Kanten der Lotpaste SD1 bis SD15 durch Extrahieren von Grenzen zwischen den weißen Bereichen und den schwarzen Bereichen basierend auf dem Bild IM3, wie in 7 gezeigt.
Die Bildverarbeitungseinheit 77 spezifiziert die Gestalt der Lotpaste basierend auf der Kante der Lotpaste (Schritt S15). In dem in 7 gezeigten Beispiel spezifiziert die Bildverarbeitungseinheit 77 Gestalten der Lotpaste SD1 bis SD15.
Auf Basis der spezifizierten Gestalt der Lotpaste erzeugt die Bildverarbeitungseinheit 77 Inspektionsdaten zum Inspizieren des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist (Schritt S16). Insbesondere erzeugt die Bildverarbeitungseinheit 77 Inspektionsdaten zum Bestimmen der Qualität des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist.
8 zeigt Inspektionsdaten D1 zum Bestimmen der Qualität des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist. In den Inspektionsdaten D1 sind die Gestalten der Lotpaste SD1 bis SD15 im Einzelnen spezifiziert. Die Bildverarbeitungseinheit 77 speichert die erzeugten Inspektionsdaten D1 in der Speichereinheit 79. Die Bestimmungseinheit 78 vergleicht das Bild der Lotpaste, welches mittels der Bildakquisitionseinheit 76 akquiriert wird, mit den Inspektionsdaten D1, welche aus der Speichereinheit 79 akquiriert werden, und bestimmt die Qualität des Zustands der Lotpaste.
[Inspektionsverfahren]
Bezugnehmend auf 9 wird ein Verfahren zum Inspizieren des Zustands der auf das Substrat aufgedruckten Lotpaste gemäß der Ausführungsform beschrieben. 9 ist ein Flussdiagramm, welches ein Beispiel für das Verfahren zum Inspizieren des Zustands der auf das Substrat aufgedruckten Lotpaste gemäß der Ausführungsform zeigt.
Die Bilderfassungseinheit 76 akquiriert ein Bild des Substrats, auf welches die zu inspizierende Lotpaste aufgedruckt ist (Schritt S20).
Die Bestimmungseinheit 78 vergleicht das Bild des Substrats, auf welches die zu inspizierende Lotpaste aufgedruckt ist, mit den Inspektionsdaten, welche in der Speichereinheit 79 gespeichert sind (Schritt S21). Die Bestimmungseinheit 78 bestimmt die Qualität des Zustands der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist, basierend auf dem Vergleichsergebnis zwischen dem Bild des Substrats, auf welches die zu inspizierende Lotpaste aufgedruckt ist, und den in der Speichereinheit 79 gespeicherten Inspektionsdaten (Schritt S22). Die Bestimmungseinheit 78 bestimmt, dass der Zustand der Lotpaste gut ist, wenn eine Matching-Rate zwischen der Gestalt der zu inspizierenden Lotpaste und einer korrespondierenden Lotpastengestalt, welche in den Inspektionsdaten enthalten ist, gleich oder größer als ein vorbestimmtes Verhältnis ist. Die Bestimmungseinheit 78 bestimmt, dass der Zustand der Lotpaste schlecht ist, wenn die Matching-Rate zwischen der Gestalt der zu inspizierenden Lotpaste und der korrespondierenden Lotpastengestalt, welche in den Inspektionsdaten enthalten ist, kleiner ist als das vorbestimmte Verhältnis.
Die Anzeigesteuereinheit 80 zeigt das Bestimmungsergebnis der Bestimmungseinheit 78 auf der Anzeigevorrichtung 8 an (Schritt S23).
[Computersystem]
10 ist ein Blockdiagramm, welches ein Computersystem 1000 gemäß der Ausführungsform zeigt. Die oben beschriebene Steuervorrichtung 7 umfasst das Computersystem 1000. Das Computersystem 1000 umfasst einen Prozessor 1001, beispielsweise eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU); einen Hauptspeicher 1002, umfassend einen nichtflüchtigen Speicher, beispielsweise einen Nur-Lese-Speicher (ROM), und einen flüchtigen Speicher, beispielsweise einen Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM); einen Speicher 1003 sowie eine Schnittstelle 1004, welche eine Eingabe-/Ausgabe-Schaltungsanordnung umfasst. Funktionen der Steuervorrichtung 7 sind in dem Speicher 1003 als ein Programm gespeichert. Der Prozessor 1001 liest das Programm aus dem Speicher 1003, expandiert das Programm in den Hauptspeicher 1002 und führt die oben beschriebene Verarbeitung gemäß dem Programm aus. Das Programm kann über das Netzwerk an das Computersystem 1000 verteilt werden.
Das Programm kann das Computersystem 1000 dazu veranlassen, Bilder, welche erhalten werden durch Abbilden des Lots, welches üblicherweise auf das Substrat P aufgedruckt ist, unter mindestens zwei Beleuchtungsbedingungen mit unterschiedlicher Helligkeit, zu akquirieren und die Gestalt des Lots basierend auf der Luminanzdifferenz zwischen den akquirierten Bildern zu extrahieren, um Inspektionsdaten zu erzeugen, welche zum Inspizieren des Zustands des Lots, welches auf das Substrat P aufgedruckt ist, gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform zu verwenden sind.
Wie oben beschrieben, werden die durch Abbilden des üblicherweise auf das Substrat P aufgedruckten Lots unter mindestens zwei Beleuchtungsbedingungen mit unterschiedlicher Helligkeit erhaltenen Bilder akquiriert, die Gestalt des Lots wird basierend auf der Helligkeitsdifferenz zwischen den akquirierten Bildern spezifiziert, und Inspektionsdaten, welche zum Inspizieren des Zustands des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, zu verwenden sind, werden basierend auf der spezifizierten Gestalt des Lots erzeugt. Somit können bei der vorliegenden Ausführungsform Inspektionsdaten zum Bestimmen der Qualität der Gestalt der Lotpaste, welche auf das Substrat aufgedruckt ist, automatisch erzeugt werden, selbst wenn die Designdaten nicht zur Verfügung stehen. Da die für den Inspektionsprozess benötigte Zeit verkürzt werden kann, wird die Arbeitseffizienz der Bedienperson verbessert.
[Weitere Ausführungsformen]
Bei der obigen Beschreibung ist zwar die Beleuchtungsbedingung des Beleuchtungslichts, mit dem das Substrat, welches mit der Lotpaste bedruckt ist, während der Erzeugung der Inspektionsdaten beaufschlagt wird, als ein Neigungswinkel des Beleuchtungslichts beschrieben, die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Die Beleuchtungsbedingung kann beispielsweise eine Helligkeit (Licht) des Beleuchtungslichts sein. In diesem Fall akquiriert die Steuervorrichtung 7 beispielsweise Bilder eines Substrats, auf welches eine Lotpaste aufgedruckt ist und welches mit zwei unterschiedlichen Helligkeiten bestrahlt wird. Sodann spezifiziert die Steuervorrichtung 7 eine Gestalt des Lots basierend auf einer Helligkeitsdifferenz zwischen den beiden akquirierten Bildern und erzeugt - basierend auf der Gestalt des Lots - Inspektionsdaten, welche zum Inspizieren eines Zustands des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, zu verwenden sind.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 5566707 [0003]

Claims

Inspektionsvorrichtung, umfassend: eine Bildakquisitionseinheit, welche dazu ausgebildet ist, Bilder zu akquirieren, die erhalten werden durch Abbilden von Lot, welches üblicherweise auf ein Substrat aufgedruckt ist, unter mindestens zwei Beleuchtungsbedingungen mit unterschiedlicher Helligkeit; und eine Bildverarbeitungseinheit, welche dazu ausgebildet ist, eine Gestalt des Lots basierend auf einer Helligkeitsdifferenz zwischen den mittels der Bildakquisitionseinheit akquirierten Bildern zu spezifizieren und - basierend auf der Gestalt des Lots - Inspektionsdaten zu erzeugen, welche zum Inspizieren eines Zustands des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, herangezogen werden.
Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Bildakquisitionseinheit Bilder des Lots akquiriert, welches mit Beleuchtungslicht aus mindestens zwei verschiedenen Neigungswinkeln bestrahlt wird.
Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Bildverarbeitungseinheit ein Differenzbild basierend auf einer Luminanzdifferenz zwischen den von der Bildakquisitionseinheit akquirierten Bildern erzeugt.
Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Bildverarbeitungseinheit eine Binarisierungsverarbeitung an dem Differenzbild durchführt, um ein Binärbild zu erzeugen.
Inspektionsvorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Bildverarbeitungseinheit eine Kante eines Bereichs zwischen dem Lot und dem Substrat basierend auf dem Binärbild extrahiert und eine Gestalt des Lots basierend auf der Kante spezifiziert.
Inspektionsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner umfassend: eine Bestimmungseinheit, welche dazu ausgebildet ist, die Inspektionsdaten mit einem Bild von zu inspizierendem Lot, welches auf ein Substrat aufgedruckt ist, zu vergleichen, um die Qualität eines Zustands des zu inspizierenden Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, zu bestimmen.
Inspektionsverfahren, umfassend: Akquirieren von Bildern, welche erhalten werden durch Abbilden von Lot, welches üblicherweise auf ein Substrat aufgedruckt ist, unter mindestens zwei Beleuchtungsbedingungen mit unterschiedlicher Helligkeit; und Spezifizieren einer Gestalt des Lots basierend auf einer Helligkeitsdifferenz zwischen den akquirierten Bildern und Erzeugen - basierend auf der Gestalt des Lots - von Inspektionsdaten, welche zum Inspizieren eines Zustands des Lots, welches auf das Substrat aufgedruckt ist, herangezogen werden.