DE102020116660A1 - Verfahren zur temperaturabhängigen Gasdetektion mit einer gasselektiven Membran - Google Patents
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|---|---|---|---|---|
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| EP4775981A1 (en) * | 2025-01-10 | 2026-07-15 | Inficon GmbH | Gas detection system and method for modulation of a target gas concentration |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4326265A1 (de) | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
| US20050142034A1 (en) | 2003-12-26 | 2005-06-30 | Kim Yong S. | Sensor structure and method of fabricating the same |
| DE102005021909A1 (de) | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
| DE102006026125A1 (de) | 2006-06-03 | 2007-12-06 | Inficon Gmbh | Gassensor |
| WO2008106170A1 (en) | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Varian, Inc, | Methods and apparatus for test gas leak detection |
| WO2008106173A1 (en) | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Varian, Inc. | Test gas leak detection using a composite membrane |
| DE102009030180A1 (de) | 2009-06-24 | 2010-12-30 | Inficon Gmbh | Wasserstoffsensor |
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Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1302826B (cg-RX-API-DMAC7.html) * | 1962-07-16 | Ges Fuer Kernforschung Mbh | ||
| DE19521275A1 (de) * | 1995-06-10 | 1996-12-12 | Leybold Ag | Gasdurchlaß mit selektiv wirkender Durchtrittsfläche sowie Verfahren zur Herstellung der Durchtrittsfläche |
| DE10000496A1 (de) * | 2000-01-08 | 2001-07-12 | Bosch Gmbh Robert | Gasströmungs-Bestimmungsverfahren und -vorrichtung |
| JP2002202235A (ja) | 2001-01-04 | 2002-07-19 | Horiba Ltd | ガス濃度測定装置 |
| DE10125837B4 (de) * | 2001-05-25 | 2005-02-24 | Wma Airsense Analysentechnik Gmbh | Gasdetektor zur Erfassung von gasförmigen Verbindungen |
| DE10220944C1 (de) * | 2002-04-29 | 2003-12-18 | Ufz Leipzighalle Gmbh | Messverfahren und Messzelle zur Bestimmung der Einzelgaskonzentrationen in einem Fluid |
| EP1631805B1 (en) * | 2003-06-11 | 2016-07-20 | Agilent Technologies, Inc. | Methods and apparatus for leak detection by the accumulation method |
| US20060120920A1 (en) * | 2004-12-06 | 2006-06-08 | Gas Technology Institute | Hydrogen or helium sensor |
| US7905132B1 (en) * | 2007-08-14 | 2011-03-15 | LACO Technologies, Inc. | Leak testing using tracer gas permeable membrane |
| CN102292631A (zh) * | 2008-11-26 | 2011-12-21 | 松下电器产业株式会社 | 氮氧化物检测元件、氮氧化物检测传感器和使用其的氮氧化物浓度测定装置及氮氧化物浓度测定方法 |
| DE102009047354A1 (de) * | 2009-12-01 | 2011-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Steuergerät zur Detektion einer Gaskonzentration eines Gases aus einem Gasgemisch |
| DE102013227014A1 (de) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | Robert Bosch Gmbh | Fluidsensor zur Detektion von fluiden Medien |
| US9884269B2 (en) * | 2015-12-10 | 2018-02-06 | General Electric Company | Methods and systems for selective hydrogen gas extraction for dissolved gas analysis applications |
| DE102016200270A1 (de) | 2016-01-13 | 2017-07-13 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Detektieren eines Fluids |
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Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4326265A1 (de) | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
| US20050142034A1 (en) | 2003-12-26 | 2005-06-30 | Kim Yong S. | Sensor structure and method of fabricating the same |
| DE102005021909A1 (de) | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
| DE102006026125A1 (de) | 2006-06-03 | 2007-12-06 | Inficon Gmbh | Gassensor |
| WO2008106170A1 (en) | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Varian, Inc, | Methods and apparatus for test gas leak detection |
| WO2008106173A1 (en) | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Varian, Inc. | Test gas leak detection using a composite membrane |
| EP2340427B1 (en) | 2008-10-20 | 2019-05-22 | Agilent Technologies, Inc. | Calibration systems and methods for tracer gas leak detection |
| DE102009030180A1 (de) | 2009-06-24 | 2010-12-30 | Inficon Gmbh | Wasserstoffsensor |
Non-Patent Citations (6)
| Title |
|---|
| GROßE BLEY, Werner. Industrial vacuum leak detection with intelligent gas leak detectors: Not just a mass spectrometer. Vakuum in Forschung und Praxis, 2006, 18. Jg., Nr. S1 1, S. 24-29. |
| GROßE BLEY, Werner. Industrielle Vakuumlecksuche mit intelligenten Gas-Leckdetektoren: nicht nur ein Massenspektrometer. Industrial Vacuum Leak Detection with Intelligent Gas Leak Detectors: not only a Mass Spectrometer. Vakuum in Forschung und Praxis, 2004, 16. Jg., Nr. 4, S. 176-182. |
| JOUSTEN, Karl; ELLEFSON, Robert; GROßE BLEY, Werner. Partial Pressure Vacuum Gauges and Leak Detectors. Handbook of Vacuum Technology, 2016, S. 691 14.4.6.1 Helium Sniffers with Quartz Membrane |
| MENG, Donghui, et al. New leak element based on graphene oxide membranes. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 2018, 36. Jg., Nr. 4, S. 041603. |
| SPIES, J. Die Lecksuchröhre. KFK 553 VAKUUM-Technik 15. Jhrg. Heft 8 Seiten 185-191 Oktober 1966. https://publikationen.bibliothek.kit.edu/270002006/3809906 |
| WETZIG, D. Heliumpartialdrucksensor statt Massenspektrometer im Helium-Leckdetektor. Vakuum in Forschung und Praxis, 2009, 21. Jg., Nr. 2, S. 8-13. |
Also Published As
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