DE102020109264B3 - Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement - Google Patents

Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement Download PDF

Info

Publication number
DE102020109264B3
DE102020109264B3 DE102020109264.4A DE102020109264A DE102020109264B3 DE 102020109264 B3 DE102020109264 B3 DE 102020109264B3 DE 102020109264 A DE102020109264 A DE 102020109264A DE 102020109264 B3 DE102020109264 B3 DE 102020109264B3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
machine element
film
strain gauge
layer
until
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102020109264.4A
Other languages
English (en)
Inventor
Horst Brehm
Martin Kram
Jens Heim
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schaeffler Technologies AG and Co KG
Original Assignee
Schaeffler Technologies AG and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schaeffler Technologies AG and Co KG filed Critical Schaeffler Technologies AG and Co KG
Priority to DE102020109264.4A priority Critical patent/DE102020109264B3/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102020109264B3 publication Critical patent/DE102020109264B3/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2287Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/0061Force sensors associated with industrial machines or actuators
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B23K26/0622Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
    • B23K26/0624Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses using ultrashort pulses, i.e. pulses of 1ns or less
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Force In General (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement. Insbesondere kann der erfindungsgemäß erzeugte Dehnungsmessstreifen zur Bestimmung einer Verformung an einem rotierbaren Maschinenelement verwendet werden. Das Maschinenelement kann als drehbewegliche Welle ausgebildet oder ein Teil davon sein, an welchem eine auf dieses Maschinenelement wirkende Kraft bzw. ein Drehmoment gemessen werden soll. Das Verfahren beinhaltet das Herstellen einer Folie, welche mindestens aus einer ersten Isolationsschicht und einer auf dieser aufgebrachten unstrukturierten verformungssensitiven Funktionsschicht besteht, das Aufbringen der hergestellten Folie auf dem Maschinenelement und das anschließende Erzeugen einer Dehnungsmessstreifenstruktur mit Hilfe eines Lasers.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement. Insbesondere kann ein solcher Dehnungsmessstreifen zur Bestimmung einer Verformung an einem feststehenden oder rotierbaren Maschinenelement verwendet werden. Das Maschinenelement kann beispielsweise als drehbewegliche Welle ausgebildet oder ein Teil davon sein, an welchem eine auf dieses Maschinenelement wirkende Kraft bzw. ein Drehmoment gemessen werden soll.
  • Um eine Kraft oder ein Drehmoment an einem Maschinenelement zu erfassen, kommen heutzutage überwiegend Dehnungsmessstreifen zum Einsatz. Diese gestatten eine zuverlässige und präzise Messung. Die Dehnungsmessstreifen können eine positive Dehnung bzw. Streckung sowie eine negative Dehnung bzw. Stauchung erfassen und sind dazu stoffschlüssig auf dem zu messenden Maschinenelement angebracht. Wirkt nun eine Kraft auf das zu messende Maschinenelement, so kommt es zu dessen geringfügiger Verformung, welche auch zu einer Verformung des Dehnungsmessstreifens führt. Daraus resultiert eine Widerstandsänderung im Dehnungsmessstreifen, welche Aufschluss über die auf das Maschinenelement wirkende Kraft gibt.
  • Bei einer typischen Dehnmessstreifenanordnung wird eine verformungssensitive Metallfolie auf einem Kunststoffträger, welcher als Isolationsschicht fungiert, aufgetragen und mit elektrischen Anschlüssen versehen. Eine weitere Kunststofffolie wird daraufhin als Schutzschicht auf die Metallfolie aufgebracht. Eine weitere Möglichkeit der Dehnungsmessstreifen-Herstellung stellt die Dünnschichttechnik dar. Hierbei wird durch Aufdampfen oder Sputtern der Dehnungsmessstreifen direkt auf das zu messende Bauteil aufgebracht und durch Laserbearbeitung oder fotolithografische Verfahren entsprechend strukturiert. Auf die strukturierte Messschicht wird wieder eine Schutzschicht aufgebracht.
  • Ein Nachteil von Dehnungsmessstreifen ist mitunter deren schwierige Positionierung auf dem zu messenden Bauteil. Eine geringe Abweichung von nur ± 1 ° gegenüber der gewünschten Messrichtung kann eine nicht zu vernachlässigende Messabweichung hervorrufen. Weiterhin sind nur standardmäßige Dehnungsmessstreifen mit vorgegebener Strukturierung in großen Stückzahlen zu erwerben oder es Bedarf einer kostenintensive Einzelanfertigung nach den Vorgaben des Anwendungsfalls.
  • Der Artikel „Fertigung von Dünnfilm-Folien-Dehnungsmessstreifen durch Laserstrukturierung und Siebdrucktechnik“ von Vollberg, Probst, et. al., VDE Verlag, Tagungsband: MikroSystemTechnik Kongress 2015, beschreibt eine Methode zur Herstellung von Dünnfilm-Folien-Dehnungsmessstreifen. Die in dieser Methode verwendete Dünnschicht besteht aus einem granulären Metall, welches in einer kohlenstoffhaltigen Matrix eingebettet ist, wodurch das Material piezoresistive Eigenschaften besitzt. Die Dünnschicht wird mittels eines Sputterprozesses vollflächig auf eine Polyamidfolie aufgebracht und anschließend mit einem Picosekunden-Laser strukturiert. Abschließend wird eine Abdeckung und elektrische Kontaktierung mit Hilfe von siebdruckfähigen Pasten realisiert.
  • Die DE 10 2012 208 492 A1 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung einer Dehnungsmessstreifenanordnung an einer Oberfläche eines Maschinenelements. Auf der Oberfläche des Maschinenelements wird eine verformungssensitive Messschicht und darüber liegend eine Schutzschicht aufgebracht. Die Schutzschicht wird anschließend lokal mittels Laserbearbeitung entfernt, sodass die freigelegte Messschicht elektrisch kontaktiert werden kann.
  • Die DE 10 2016 108 985 A1 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements für einen Druck- oder Kraftsensor mit Bereitstellen eines zu verformenden Bauteils, Aufbringen einer Sensorfunktions- und Kontaktschicht und anschließend flächenhaftes Abtragen mittels Laser, so dass Dehnungsmessstreifen mit einer mäanderförmigen Widerstandstruktur und Kontaktpads stehenbleiben.
  • Die CN 107 218 909 B beschreibt ein Verfahren zum Anbringen eines Dehnungsmessstreifens an einer Triebwerksschaufel umfassend das Bestimmen der Anbringungsposition, der Anbringungsrichtung, der Anbringungsseite, eines zentralen Punktes A und eines Richtungsbezugspunktes B des Dehnungsmessstreifens an der Triebwerksschaufel durch CAE-Software, das Auswählen von Bezugsreferenzpunkten und das Ankleben des Dehnungsmessstreifens.
  • SUTTMANN, 0.: Patterning of thin film strain gauges on 3D-surfaces. In: Proceedings SENSOR 2013, 2013, S. 34-37. 4 beschreibt die Herstellung metallischer Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen, die direkt auf 3D-Oberflächen struktiuert werden und aus im Vakuum abgeschiedenen Isolations- und Sensorfilmen bestehen. Ausgehend vom vorliegenden Stand der Technik ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein aufwandsarmes Herstellungsverfahren bereitzustellen, welches eine exakte Positionierung eines frei definierbaren Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement gewährleistet, um nachfolgend eine Kraft bzw. ein Drehmoment messen zu können.
  • Die genannte Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement gemäß dem beigefügten Anspruch 1 gelöst.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement umfasst folgende Schritte:
    • In einem ersten Verfahrensschritt wird eine Folie hergestellt, welche mindestens aus einer ersten Isolationsschicht und einer auf dieser aufgebrachten unstrukturierten, verformungssensitiven Funktionsschicht besteht. Dieser Schritt erfolgt unabhängig von dem zu bestückenden Maschinenelement, sodass sich die genannte Folie preiswert in großer Stückzahl herstellen lässt. Die Funktionsschicht ist verformungssensitiv bzw. dehnungsempfindlich ausgebildet, sodass die spätere Funktionalität als Dehnungsmessstreifen vorbereitet ist. Vorzugsweise kann die Folie als ein Mehrschichtsystem gebildet sein, zusammengesetzt aus mindestens einer Isolationsschicht und mindestens einer Metallbeschichtung. Im Mehrschichtsystem können aber auch mehr als zwei Schichten zusammengefasst sein, insbesondere mehrere Funktionsschichten. Die Folie kann insbesondere ein Mehrschichtsystem gemäß der in DE 10 2012 208 492 A1 gezeigten Art sein.
  • Im nächsten Schritt wird die hergestellte, unstrukturierte Folie auf das Maschinenelement aufgebracht. Das Befestigen der Folie im Schritt des Aufbringens erfolgt bevorzugt mittels Klebeverbindung. Alternative Verbindungsmethoden, wie beispielsweise Schweiß- oder Lötverbindungen sind möglich, wobei auf eine funktionsfähige Übertragbarkeit mechanischer Spannungen vom Maschinenelement auf die Folie zu achten ist.
  • In einem letzten Schritt wird in der Folie eine Dehnungsmessstreifenstruktur erzeugt, indem mindestens die verformungssensitive Funktionsschicht mit einem Strukturierungswerkzeug, vorzugsweise mit Laser strukturiert wird. Alternativ kann als Strukturierungswerkzeug beispielsweise auch ein Hochdruck-Wasserstrahl, ein Präzisionsfräser oder ein vergleichbares Werkzeug genutzt werden. Hierzu müssen zunächst die im Betriebsmodus erwarteten und zu vermessenden mechanischen Spannungsverläufe im Maschinenelement berücksichtigt werden, sodass eine exakte Ausrichtung der Dehnungsmessstreifenstruktur erfolgen kann. Für eine korrekt ausgerichtete Dehnungsmessstreifenstruktur wird nach dem Aufbringen der Folie auf das Maschinenelement dessen Position bestimmt, vorzugsweise durch vermessen von mindestens zwei Referenzpunkten, die am Maschinenelement festgelegt sind. Die Führung des Lasers beim Strukturieren erfolgt dann in Abhängigkeit von diesen Referenzpunkten, indem sie in die Positionssteuerung des Lasers einbezogen werden. Bevorzugt erfolgt das Festlegen von den mindestens zwei Referenzpunkten mittels eines optischen Messsystems. Damit lässt sich beispielsweise die Dehnungsmessstreifenstruktur exakt zu einer Körperkante des Maschinenelements ausrichten, sodass eine ungewollte Winkelabweichung vermieden werden kann.
  • Der Dehnungsmessstreifen wird bevorzugt mit einer mäanderförmigen Dehnungsmessstreifenstruktur erzeugt. Mittels des Dehnungsmessstreifens lässt sich dann eine physikalische Größe, insbesondere ein Drehmoment oder eine auf das Maschinenelement wirkende Kraft erfassen. Die vom Dehnungsmessstreifen erfasste physikalische Größe kann alternativ aber auch die am Maschinenelement herrschende Temperatur oder ein anliegender Druck sein.
  • Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform wird im Zuge des Herstellens der Folie auf der von der Funktionsschicht abgewandten Seite der ersten Isolationsschicht eine Klebeschicht aufgebracht, sodass das Aufbringen der Folie auf das Maschinenelement stoffschlüssig erfolgt. Alternativ kann vor dem Aufbringen der Folie ein Klebstoff auf das Maschinenelement aufgetragen werden, mit welchem die Folie flächig kontaktiert und auf dem Maschinenelement befestigt wird.
  • Bevorzugt wird während der Herstellung der Folie und/oder nach dem Strukturieren der Funktionsschicht mittels Laser eine zweite Isolationsschicht auf die der ersten Isolationsschicht gegenüberliegenden Seite der Funktionsschicht aufgebracht, welche als Schutzschicht dient und die Funktionsschicht vor Umwelteinflüssen wie Staub, Schmutz, Feuchtigkeit oder Korrosion schützt.
  • Bevorzugt wird nach der Strukturierung der Folie das nicht zum Dehnungsmessstreifen zugehörige Material vom Maschinenelement entfernt, sodass lediglich die für die Funktionalität des Dehnungsmessstreifens notwendige Struktur auf dem Maschinenelement verbleibt.
  • Bei einer vorteilhaften Ausführungsform ist die Funktionsschicht aus einer NiCr-Schicht ausgebildet. Ein Vorteil einer Nickel-Chrom-Beschichtung ist, dass diese eine Dehnungsempfindlichkeit mit einem k-Faktor von ca. 2 besitzt. Ein weiterer Vorteil ergibt sich aus dem weitgehend temperaturunabhängigen Widerstand dieser Materialzusammensetzung, wodurch eine temperaturkompensierte Dehnungsmessung ermöglicht wird.
  • Bevorzugt ist die erste und ggf. auch die zweite Isolationsschicht aus einem Material gefertigt, welches aus wasserstoffhaltigem, amorphen Kunststoff, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und/oder Aluminiumoxid besteht, sodass eine elektrische Isolation von in der Nähe befindlichen Bauelementen gewährleistet wird. Aluminiumoxid bietet in Form von einem keramischen Aluminiumoxid-Target die zuverlässigste Isolationswirkung.
  • Für die Erzeugung der Dehnungsmessstreifenstruktur kann beispielsweise ein Picosekunden-Laser verwendet werden, mit welchem eine sehr feine Strukturierung mittels eines Laserspots von einigen Mikrometern möglich ist. Die Dehnungsmessstreifenstruktur kann als Konturschnitt oder großflächiger Schraffurabtragung erzeugt werden.
  • Um eine genaue und optimale Positionierung der Dehnungsmessstreifenstruktur auf dem Maschinenelement zu gewährleisten, erfolgt vor der Strukturierung eine Positionsausrichtung das zum Strukturieren vorzugsweise eingesetzten Laserwerkzeugs, bevorzugt mit Hilfe eines optischen Messsystems. Optische Messsysteme vermessen das Messobjekt berührungslos mittels Lichts, sodass durch Reflexion und Absorption Flächen am Maschinenelement erfasst werden können. Vorteile von optischen Messsystemen stellen zum einen die hohe Messgeschwindigkeit und zum anderen die einfache Vermessung von großflächigen Bauteilen dar. Diese können in nahezu Echtzeit flächig erfasst werden. Dies ermöglicht im Gegensatz zu beispielsweise taktilen Messsystemen einen schnelleren Fertigungsschritt beim Erzeugen der Dehnungsmessstreifenstruktur. Ein weiterer Vorteil von optischen Messsystemen besteht darin, dass diese berührungslos arbeiten und somit einen Verschleiß des Messtasters, wie beispielsweise die von taktilen Messsystemen, verhindern. Zudem ist ein Vermessen von hoch empfindlichen Maschinenelementen mittels optischen Messsystemen von Vorteil, da diese durch taktiles Abtasten und Vermessen beschädigt werden können.
  • Gemäß einer bevorzugt Ausführungsform wird die Klebeschicht bzw. der Klebstoff nach dem Aufbringen der Folie auf das Maschinenelement mittels Erwärmung oder Lichtstrahlung ausgehärtet, sodass trotz externer Einflüsse wie Feuchtigkeit oder Schmutz eine schnelle, sichere und dauerhafte Befestigung auf dem Maschinenelement realisiert wird. Ein Vorteil hierbei ist, dass die Trocknungszeit der Klebeschicht bzw. des Klebstoffs verringert wird und eine zügige Abfolge der Verfahrensschritte stattfinden kann.

Claims (10)

  1. Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement, folgende Schritte umfassend: Herstellen einer Folie, mindestens bestehend aus einer ersten Isolationsschicht und einer auf dieser aufgebrachten unstrukturierten verformungssensitiven Funktionsschicht; Aufbringen der Folie auf das Maschinenelement; Erzeugen einer Dehnungsmessstreifenstruktur durch Strukturieren der Funktionsschicht der auf dem Maschinenelement aufgebrachten Folie mit einem Strukturierungswerkzeug, wobei eine Positionsausrichtung der Dehnungsmessstreifenstruktur relativ zu mindestens zwei am Maschinenelement angebrachten Referenzpunkten erfolgt, indem die Referenzpunkte vermessen und in die Positionssteuerung des Strukturierungswerkzeugs einbezogen werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf der von der Funktionsschicht abgewandten Seite der ersten Isolationsschicht eine Klebeschicht angebracht ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufbringen der Folie auf dem Maschinenelement ein Klebestoff auf dem Maschinenelement aufgebracht wird, auf welchen die Folie nachfolgend aufgebracht wird.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Erzeugen der Dehnungsmessstreifenstruktur mit einem Laser erfolgt.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass während des Herstellens der Folie und/oder nach dem Strukturieren der Folie auf der der ersten Isolationsschicht gegenüberliegenden Seite eine zweite Isolationsschicht auf der Funktionsschicht aufgebracht wird.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Erzeugen der Dehnungsmessstreifenstruktur nicht zum Dehnungsstreifen gehörendes Material der Folie vom Maschinenelement entfernt wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Funktionsschicht als NiCr-Schicht ausgebildet ist.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Isolationsschichten aus wasserstoffhaltigem, amorphen Kohlenstoff, Siliziumoxid, Siliziumnitrid und/oder Aluminiumoxid besteht.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Positionsausrichtung während des Erzeugens der Dehnungsmessstreifenstruktur mit Hilfe eines optischen Messsystems erfolgt.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebeschicht nach dem Aufbringen der Folie auf das Maschinenelement mittels Erwärmung oder Lichtstrahlung ausgehärtet wird.
DE102020109264.4A 2020-04-02 2020-04-02 Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement Active DE102020109264B3 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102020109264.4A DE102020109264B3 (de) 2020-04-02 2020-04-02 Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102020109264.4A DE102020109264B3 (de) 2020-04-02 2020-04-02 Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102020109264B3 true DE102020109264B3 (de) 2021-09-09

Family

ID=77388921

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102020109264.4A Active DE102020109264B3 (de) 2020-04-02 2020-04-02 Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102020109264B3 (de)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012208492A1 (de) 2012-05-22 2013-11-28 Continental Teves Ag & Co. Ohg Dehnmessstreifenanordnung
CN107218909A (zh) 2017-06-01 2017-09-29 中国航发湖南动力机械研究所 一种在发动机叶片上贴应变片的方法
DE102016108985A1 (de) 2016-05-13 2017-11-16 Trafag Ag Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mittels Laserstrukturierung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012208492A1 (de) 2012-05-22 2013-11-28 Continental Teves Ag & Co. Ohg Dehnmessstreifenanordnung
DE102016108985A1 (de) 2016-05-13 2017-11-16 Trafag Ag Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements mittels Laserstrukturierung
CN107218909A (zh) 2017-06-01 2017-09-29 中国航发湖南动力机械研究所 一种在发动机叶片上贴应变片的方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
SUTTMANN, O.: Patterning of thin film strain gauges on 3D-surfaces. In: Proceedings SENSOR 2013, 2013, S. 34-37.
VOLLBERG, D. [u.a.]: Fertigung von Dünnfilm-Folien-Dehnungsmessstreifen durch Laserstrukturierung und Siebdruck Technik. In: Proceedings / MEMS, Mikroelemente, Systeme : MikroSystemTechnik Kongress 2015 ; 26.-28. Oktober 2015, Karlsruhe. Berlin : VDE-Verl., 2015. S. 614-617. - ISBN 978-3-8007-4100-7

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2852822B1 (de) Dehnmessstreifenanordnung
EP2718094B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ermittlung der druckverteilung zum bonden
EP1678474A2 (de) Vorrichtung zur feststellung von belastungen an faserverbund-bauteilen
EP0921384B1 (de) Elektrischer Widerstand ( DMS ) auf einem Trägerelement durch Abziehen und Aufsintern ( Lenkhilfesystem )
DE102013204924A1 (de) Messung eines auf eine Lenkwelle einwirkenden Drehmoments
EP1876434A2 (de) Vorrichtung zum Messen von Kräften, insbesondere Drucksensor, und zugehöriges Herstellverfahren
EP2527809A1 (de) Sensoreinrichtung
DE102020109264B3 (de) Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement
EP3722768B1 (de) Sensorvorrichtung zur erfassung von bremskräften in einem fahrzeug und messsystem
DE19814261A1 (de) Dehnungsempfindlicher Widerstand
DE19747001C2 (de) Dehnungsmeßstreifen sowie ein mit diesen Dehnungsmeßstreifen hergestellter mechanisch-elektrischer Wandler
DE4101871A1 (de) Flachdichtung mit stationaerem druckverteilungs- und druckverlaufssensor
EP2534466B1 (de) Sensorsystem zur bestimmung der ermüdung an metallischen bauteilen
DE102010054970B4 (de) Vorrichtung zum Wandeln einer Dehnung und/oder Stauchung in ein elektrisches Signal, insbesondere Dehnungsmessfolie
DE102008040729A1 (de) Drucksensoranordnung
DE102008021072B4 (de) Verfahren zum Messen von Kanten- oder Randspannungen in Glasscheiben
US3777558A (en) Strain-leaf burr height detector
US5507090A (en) Method for making stress sensors
EP3798598A1 (de) Vorrichtung, verfahren und system zum messen einer eigenspannung eines messobjekts
KR102571737B1 (ko) 프린팅 기술을 이용한 센서, 이를 포함하는 구조체 및 이의 제조방법
DE10307978B4 (de) Vorrichtung zur Bestimmung einer Kraft
DE19713838A1 (de) Drosselklappen-Potentiometer
DE102008041772A1 (de) DFS 1 - Messvorrichtung mit Erfassung von Deformationen
AT520716B1 (de) Vorrichtung und verfahren zum vermessen von elektrischen maschinen
DE102006010857A1 (de) Dehnungsmessstreifen

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final