DE102019216720A1 - Method and device for producing an electronic module - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen eines Elektronikmoduls. Das Elektronikmodul weist wenigstens ein elektronisches Bauelement auf und einen Schaltungsträger, auf dem das elektronische Bauelement angeordnet ist. Das Elektronikmodul weist auch eine Mold-Masse auf, in die das elektronische Bauelement wenigstens teilweise einbettet ist. Erfindungsgemäß weisen zueinander benachbarte Flächenbereiche der Mold-Masse zueinander verschiedene Schichtdicken auf. Bei dem Verfahren der eingangs genannten Art wird die Mold-Masse mittels Mikrowellenstrahlen bestrahlt, und in Abhängigkeit der in der Mold-Masse absorbierten Mikrowellenstrahlen ausgehärtet. Weiter wird bei dem Verfahren auf die zueinander benachbarten Flächenbereiche in Abhängigkeit der Schichtdicke eine verschiedene Strahlendosis gesendet.

Figure DE102019216720A1_0000
The invention relates to a method for producing an electronic module. The electronics module has at least one electronic component and a circuit carrier on which the electronic component is arranged. The electronics module also has a molding compound in which the electronic component is at least partially embedded. According to the invention, surface regions of the molding compound that are adjacent to one another have layer thicknesses that are different from one another. In the method of the type mentioned at the outset, the molding compound is irradiated by means of microwave beams and cured as a function of the microwave beams absorbed in the molding compound. Furthermore, in the method, a different radiation dose is sent to the surface areas adjacent to one another, depending on the layer thickness.
Figure DE102019216720A1_0000

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen eines Elektronikmoduls. Das Elektronikmodul weist wenigstens ein elektronisches Bauelement auf und einen Schaltungsträger, auf dem das elektronische Bauelement angeordnet ist. Das Elektronikmodul weist auch eine Mold-Masse auf, in die das elektronische Bauelement wenigstens teilweise einbettet ist.The invention relates to a method for producing an electronic module. The electronics module has at least one electronic component and a circuit carrier on which the electronic component is arranged. The electronics module also has a molding compound in which the electronic component is at least partially embedded.

Aus der JP02182438A ist ein Verfahren zum Wärmehärten von faserverstärktem Plastik bekannt, welches für Mikrowellen leitfähig ist.From the JP02182438A there is known a method for thermosetting fiber-reinforced plastic which is conductive for microwaves.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Erfindungsgemäß weisen zueinander benachbarte Flächenbereiche der Mold-Masse zueinander verschiedene Schichtdicken auf. Bei dem Verfahren der eingangs genannten Art wird die Mold-Masse mittels Mikrowellenstrahlen bestrahlt, und in Abhängigkeit der in der Mold-Masse absorbierten Mikrowellenstrahlen ausgehärtet. Weiter werden bei dem Verfahren auf die zueinander benachbarten Flächenbereiche in Abhängigkeit der Schichtdicke Mikrowellenstrahlen mit jeweils zueinander verschiedener Strahlendosis gesendet.According to the invention, surface regions of the molding compound that are adjacent to one another have layer thicknesses that are different from one another. In the method of the type mentioned at the outset, the molding compound is irradiated by means of microwave beams and cured as a function of the microwave beams absorbed in the molding compound. Furthermore, in the method, microwave beams with different radiation doses are transmitted to the surface areas adjacent to one another as a function of the layer thickness.

Vorteilhaft kann so - abhängig von der Schichtdicke der Flächenbereiche der Mold-Masse, insbesondere Epoxidharz-Mold-Masse - eine Strahlendosis gesendet werden, welche ausreicht, um das Mold-Material hinreichend zu vernetzen. Weiter vorteilhaft kann so in dünnen Lagen keine Überhitzung und Schädigung des Mold-Materials durch Mikrowellen stattfinden. Es wurde nämlich erkannt, dass beim Aushärten von Mold-Masse mittels Mikrowellen bei einer zu hohen Strahlendosis die Mold-Masse Schaden nehmen kann. Die Mold-Masse, insbesondere HCD-Masse (HCD = Hard-Cover-Dispensed), ist bevorzugt durch ein Harz, insbesondere Epoxidharz oder Polyesterharz gebildet. Die Moldmasse weist bevorzugt Füllpartikel, insbesondere Keramikpartikel auf.In this way, depending on the layer thickness of the surface areas of the molding compound, in particular epoxy resin molding compound, a radiation dose can advantageously be sent which is sufficient to crosslink the molding material sufficiently. In a further advantageous manner, overheating and damage to the mold material by microwaves cannot take place in thin layers. This is because it was recognized that when the molding compound is hardened by means of microwaves, the molding compound can be damaged if the radiation dose is too high. The mold compound, in particular HCD compound (HCD = Hard Cover Dispensed), is preferably formed by a resin, in particular epoxy resin or polyester resin. The molding compound preferably has filler particles, in particular ceramic particles.

In einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird ein Strahlenfilter zwischen eine Strahlenquelle und die Flächenbereiche der Mold-Masse eingebracht, wobei wenigstens zwei zueinander benachbarte Filterflächenbereiche des Strahlenfilters zueinander verschiedene Extinktionseigenschaften für die Mikrowellenstrahlen aufweisen, sodass durch das Strahlenfilter hindurchtretende Mikrowellenstrahlen innerhalb der Flächenbereiche eine zueinander verschiedene Schwächung erfahren. Vorteilhaft können so die zueinander verschiedenen Flächenbereiche der Mold-Masse mittels eines insbesondere flach ausgebildeten Strahlenfilters mit zueinander verschiedenen Bestrahlungsstärken ausgehärtet werden.In a preferred embodiment of the method, a radiation filter is placed between a radiation source and the surface areas of the molding compound, at least two adjacent filter surface areas of the radiation filter having mutually different extinction properties for the microwave rays, so that microwave rays passing through the radiation filter have different attenuation within the surface areas Experienced. Advantageously, the mutually different surface areas of the molding compound can be cured by means of a radiation filter, in particular of flat design, with different irradiation intensities.

In einer bevorzugten Ausführungsform weist das Strahlenfilter ein Fluid auf, welches ausgebildet ist, die Mikrowellenstrahlen beim Durchtreten des Strahlenfilters zu schwächen. Weiter bevorzugt weisen die zueinander benachbarten Filterflächenbereiche des Strahlenfilters jeweils das Fluid auf. Bevorzugt weist das Fluid Wasser oder ein Öl, beispielsweise einen Fettsäureester, insbesondere Pentaerithrit-Ester, auf, weiter bevorzugt ist das Fluid durch Wasser oder Öl gebildet. Das Fluid ist bevorzugt zum Absorbieren der Mikrowellenstrahlen und/oder zum Streuen der Mikrowellenstrahlen ausgebildet. Bevorzugt sind Fluidmoleküle des Fluids dazu polar ausgebildet.In a preferred embodiment, the radiation filter has a fluid which is designed to weaken the microwave rays as they pass through the radiation filter. The filter surface areas of the radiation filter that are adjacent to one another preferably each have the fluid. The fluid preferably has water or an oil, for example a fatty acid ester, in particular pentaerythritol ester, more preferably the fluid is formed by water or oil. The fluid is preferably designed to absorb the microwave rays and / or to scatter the microwave rays. Fluid molecules of the fluid are preferably designed to be polar for this purpose.

Vorteilhaft kann das Strahlenfilter so aufwandsgünstig bereitgestellt werden. Weiter vorteilhaft kann das Strahlenfilter so gekühlt werden, insoweit das Filtermedium selbst zum Aufnehmen von Wärme ausgebildet ist und als Fluid in einem Fluidkühler gekühlt werden kann.The radiation filter can thus advantageously be provided at low cost. The radiation filter can also advantageously be cooled in so far as the filter medium itself is designed to absorb heat and can be cooled as a fluid in a fluid cooler.

In einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird das Fluid in einem Fluidkreislauf geführt, und in dem Fluid absorbierte Wärme aus dem Fluid abgeführt. Vorteilhaft kann so eine Fluidtemperatur bevorzugt konstant gehalten werden. Das Fluid kann beispielsweise mittels einer Fluidmittelpumpe in einem Fluidkreislauf gehalten werden. Das Fluid kann von der Fluidmittelpumpe in das Strahlenfilter, beispielsweise durch eine Eintrittsöffnung, hineingepumpt werden, das Strahlenfilter durchlaufen und durch eine Ausgangsöffnung aus dem Strahlenfilter wieder austreten. Das Fluid kann dann weiter durch einen Wärmetauscher fließen, welcher ausgebildet ist, aus dem Fluid Wärme abzuführen. Das Fluid kann von dem Wärmetauscher wieder zurück zur Fluidmittelpumpe fließen. Vorteilhaft kann das Strahlenfilter so aufwandsgünstig gekühlt werden.In a preferred embodiment of the method, the fluid is conducted in a fluid circuit, and heat absorbed in the fluid is removed from the fluid. A fluid temperature can advantageously be kept constant in this way. The fluid can be kept in a fluid circuit, for example, by means of a fluid medium pump. The fluid can be pumped into the radiation filter by the fluid medium pump, for example through an inlet opening, pass through the radiation filter and exit the radiation filter again through an outlet opening. The fluid can then flow further through a heat exchanger which is designed to dissipate heat from the fluid. The fluid can flow from the heat exchanger back to the fluid medium pump. The radiation filter can thus advantageously be cooled at low cost.

Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zum Aushärten von Mold-Masse an einem Elektronikmodul. Die Vorrichtung umfasst einen Strahlensender für Mikrowellen und eine Haltevorrichtung zum Halten eines Elektronikmoduls. Der Strahlensender ist ausgebildet und angeordnet, Mikrowellenstrahlen zu erzeugen, und in Richtung der Haltevorrichtung oder auf die Haltevorrichtung zu senden. Die Vorrichtung weist auch ein Strahlenfilter auf, welches im Strahlengang zwischen dem Strahlensender und der Haltevorrichtung angeordnet ist, oder dort angeordnet werden kann.The invention also relates to a device for curing molding compound on an electronics module. The device comprises a radiation transmitter for microwaves and a holding device for holding an electronic module. The radiation transmitter is designed and arranged to generate microwave beams and to transmit them in the direction of the holding device or onto the holding device. The device also has a radiation filter, which is arranged in the beam path between the radiation transmitter and the holding device, or can be arranged there.

Das Strahlenfilter weist wenigstens zwei zum Strahlendurchtritt ausgebildete, jeweils ein Teilfilter bildende, Filterflächenbereiche auf, welche jeweils ausgebildet sind, auf das Strahlenfilter einfallende Mikrowellenstrahlen mit zueinander verschiedenen Schwächungsgraden zu schwächen. Bevorzugt weisen die Strahlenfilter jeweils zueinander verschiedene Extinktionseigenschaften, insbesondere Absorptionseigenschaften oder Streuungseigenschaften, auf. Weiter bevorzugt weisen die Teilfilter jeweils zueinander verschiedene Schichtdicken einer das Strahlenteilfilter bildenden Filterschicht auf. Die schwächende Wirkung der Teilfilter kann so vorteilhaft beispielsweise mittels eines Strahlengesetzes nach Lambert-Beer ermittelt werden.The radiation filter has at least two filter surface areas which are designed for the passage of radiation and each form a partial filter are designed to weaken the microwave rays incident on the radiation filter with mutually different degrees of attenuation. The radiation filters preferably each have mutually different extinction properties, in particular absorption properties or scattering properties. The partial filters further preferably each have different layer thicknesses of a filter layer forming the partial beam filter. The weakening effect of the partial filters can thus advantageously be determined, for example, by means of a radiation law according to Lambert-Beer.

In einer bevorzugten Ausführungsform weist das Strahlenfilter einen Behälter auf, in dem ein für die Mikrowellenstrahlen schwächendes Fluid aufgenommen ist. Der Behälter ist bevorzugt aus Glas, insbesondere Quarzglas, oder durch einen für die Mikrowellenstrahlen transluzenten Kunststoff gebildet. Vorteilhaft kann das Strahlenfilter so aufwandsgünstig in Verbindung mit einer Kühlung bereitgestellt werden.In a preferred embodiment, the radiation filter has a container in which a fluid that weakens the microwave rays is received. The container is preferably made of glass, in particular quartz glass, or a plastic that is translucent for the microwave rays. In this way, the radiation filter can advantageously be provided in conjunction with cooling at low cost.

Bevorzugt weisen die Teilfilter jeweils eine zueinander verschiedene Schichtdicke auf. Vorteilhaft haben die Teilfilter jeweils zueinander verschiedene Extinktionseigenschaften für die Mikrowellenstrahlen. Bevorzugt ist das Fluid Wasser oder ein Öl. Vorteilhaft können die Mikrowellenstrahlen so aufwandsgünstig gefiltert werden.The sub-filters preferably each have a different layer thickness from one another. The sub-filters advantageously each have mutually different extinction properties for the microwave rays. The fluid is preferably water or an oil. In this way, the microwave beams can advantageously be filtered at low cost.

In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Teilfilter jeweils durch einen Teil einer Behälterwand des Behälters gebildet, wobei die Behälterwand eine der Filterstärke der Teilfilter entsprechende Topografie aufweist. Vorteilhaft kann die Behälterwand des Behälters beispielsweise durch einen tiefgezogenen Kunststoff, oder durch geblasenes GlasGlas gebildet sein. Der Behälter weist bevorzugt eine zu der die Teilfilter bildenden Behälterwand beabstandete weitere Behälterwand auf, wobei die Behälterwände einen Hohlraum zwischeneinander einschließen. Der Hohlraum ist zum Führen des Fluids ausgebildet. Die weitere Behälterwand kann beispielsweise eben ausgebildet sein. Die weitere Behälterwand kann so beispielsweise durch eine flache Glasplatte oder Kunststoffplatte gebildet sein.In a preferred embodiment, the sub-filters are each formed by a part of a container wall of the container, the container wall having a topography corresponding to the filter thickness of the sub-filters. The container wall of the container can advantageously be formed, for example, by a deep-drawn plastic or by blown glass. The container preferably has a further container wall spaced apart from the container wall forming the partial filter, the container walls enclosing a cavity between one another. The cavity is designed for guiding the fluid. The further container wall can, for example, be flat. The further container wall can thus be formed, for example, by a flat glass plate or plastic plate.

Die Behälterwand, in der die Teilfilter ausgebildet sind, kann so für jeden Teilfilter einen Wandbereich aufweisen, welcher von der weiteren Behälterwand einen vorbestimmten Abstand aufweist. Bevorzugt weist die Behälterwand eine dem Elektronikmodul entsprechende Topografie, insbesondere Oberflächengeometrie, auf. Bevorzugt sind wenigstens zwei Wandbereiche der die Teilfilter ausbildenden Behälterwand von der weiteren Behälterwand verschieden beabstandet. So kann das Fluid in den Teilfiltern eine zueinander verschiedene Schichtdicke aufweisen.The container wall in which the sub-filters are formed can thus have a wall area for each sub-filter which is at a predetermined distance from the further container wall. The container wall preferably has a topography, in particular surface geometry, that corresponds to the electronics module. Preferably, at least two wall areas of the container wall forming the partial filters are spaced differently from the further container wall. Thus, the fluid in the sub-filters can have a different layer thickness from one another.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Vorrichtung ausgebildet, einen Fluidstrom durch das Strahlenfilter zu führen, wobei der Behälter dazu eine Fluideinlassöffnung und eine Fluidauslassöffnung aufweist. Bevorzugt ist die Vorrichtung ausgebildet, den Fluidstrom in einem Fluidkreislauf zu führen, und weist dazu eine Fluidmittelpumpe auf.In a preferred embodiment, the device is designed to guide a fluid flow through the radiation filter, the container having a fluid inlet opening and a fluid outlet opening for this purpose. The device is preferably designed to guide the fluid flow in a fluid circuit, and for this purpose has a fluid medium pump.

Eine Frequenz der Mikrowellen beträgt bevorzugt zwischen 500 Megahertz und 300 Gigahertz.A frequency of the microwaves is preferably between 500 megahertz and 300 gigahertz.

Der Mikrowellensender ist beispielsweise durch eine Wanderfeldröhre, ein Klystron, ein Twystron oder ein Gyrotron, jeweils zum Erzeugen der Mikrowellenstrahlen, gebildet.The microwave transmitter is formed, for example, by a traveling wave tube, a klystron, a twystron or a gyrotron, in each case for generating the microwave beams.

Die Erfindung wird nun im Folgenden anhand von Figuren und weiteren Ausführungsbeispielen beschrieben. Weitere vorteilhafte Ausführungsvarianten ergeben sich aus einer Kombination der in den abhängigen Ansprüchen und in den Figuren beschriebenen Merkmalen.

  • 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Härten von Mold-Masse an einem Elektronikmodul mittels Mikrowellenstrahlen, bei dem die Mikrowellenstrahlen für Bereiche der Moldmasse mit zueinander verschiedener Dickenerstreckung bis zu einem Bauteil oder einem Schaltungsträger hin mit einer der Dickenerstreckung entsprechenden Bestrahlungsstärke bestrahlt werden kann, was durch ein der Topografie des Elektronikmoduls entsprechend ausgebildetes Strahlenfilter bewirkt werden kann.
The invention will now be described below with reference to figures and further exemplary embodiments. Further advantageous design variants result from a combination of the features described in the dependent claims and in the figures.
  • 1 shows an embodiment of a device and a method for curing molding compound on an electronic module by means of microwave beams, in which the microwave beams for areas of the molding compound with mutually different thicknesses up to a component or a circuit carrier can be irradiated with an irradiance corresponding to the thickness which can be achieved by a radiation filter designed to match the topography of the electronics module.

1 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Härten von Mold-Masse an einem Elektronikmodul mittels Mikrowellenstrahlen. Die Vorrichtung 1 umfasst einen Sender 2 für Mikrowellenstrahlen 3. Der Sender 2 ist ausgebildet, die Mikrowellenstrahlen 3 zu erzeugen und in Richtung einer Haltevorrichtung 4, insbesondere in einen zwischen dem Sender 2 und der Haltevorrichtung 4 angeordneten Hohlraum 33, zu senden. 1 shows an embodiment of a device and a method for curing molding compound on an electronics module by means of microwave beams. The device 1 includes a transmitter 2 for microwave rays 3 . The transmitter 2 is formed, the microwave rays 3 to generate and in the direction of a holding device 4th , especially in one between the transmitter 2 and the holding device 4th arranged cavity 33 to send.

Die Haltevorrichtung 4 umfasst in diesem Beispiel einen umlaufend ausgebildeten Kragen 5, in dem eine radial nach innen weisende Ausnehmung ausgebildet ist, sodass im Bereich der Ausnehmung an dem Kragen eine Auflageschulter 6 für ein Elektronikmodul 7 gebildet ist. In einer anderen Ausführungsform kann die Haltevorrichtung Stege oder Stützen aufweisen, welche ausgebildet sind, das Elektronikmodul zu halten.The holding device 4th comprises in this example a circumferential collar 5 , in which a radially inwardly pointing recess is formed so that a support shoulder is provided in the area of the recess on the collar 6th for an electronic module 7th is formed. In another embodiment, the holding device can have webs or supports which are designed to hold the electronics module.

Das Elektronikmodul 7 weist einen Schaltungsträger 8, insbesondere Leiterplatte oder keramisch ausgebildeter Schaltungsträger, beispielsweise DCB-Substrat (DBC=Direct-Copper-Bonded), LTCC-Substrat (LTCC = Low-Temperature-Cofired-Ceramics), AMB-Substrat (AMB = Active-Metal-Brazed) oder IMC-Substrat (IMC = Insulated-Metal-Substrate) auf.The electronics module 7th has a circuit carrier 8th , in particular printed circuit board or ceramically designed circuit carrier, for example DCB substrate (DBC = Direct Copper Bonded), LTCC substrate (LTCC = Low-Temperature-Cofired- Ceramics), AMB-Substrate (AMB = Active-Metal-Brazed) or IMC-Substrate (IMC = Insulated-Metal-Substrate).

Das Elektronikmodul 7 weist auch zwei elektronische Bauelemente 9 und 10 auf, wobei die Bauelemente 9 und 10, beispielsweise ein Mikroprozessor oder ein Halbleiterschalter oder ein Kondensator, jeweils eine zueinander verschiedene Höhenerstreckung aufweisen. Die Bauelemente 9 und 10 sind mit dem Schaltungsträger 8 verbunden, insbesondere Lötverbunden. Die Bauelemente 9 und 10 sind in diesem Ausführungsbeispiel von einer Mold-Masse 11 bedeckt, insbesondere in diese eingebettet.The electronics module 7th also has two electronic components 9 and 10 on, with the components 9 and 10 , for example a microprocessor or a semiconductor switch or a capacitor, each have a mutually different height extension. The components 9 and 10 are with the circuit carrier 8th connected, in particular soldered. The components 9 and 10 are in this embodiment from a mold compound 11 covered, in particular embedded in this.

Die Mold-Masse 11 weist eine sich über eine Fläche des Schaltungsträgers 8 erstreckende gleichmäßige Höhenerstreckung 21 auf. Die Dickenerstreckung 22 der Mold-Masse 11, welche das Bauelement 9 bedeckt, ist kleiner ausgebildet als die Dickenerstreckung der Mold-Masse 11, welche den Schaltungsträger 8 bedeckt und dort der Höhenerstreckung 21 entspricht. Eine Dickenerstreckung 23 der Mold-Masse 11, welche das Bauelement 10 bedeckt, ist kleiner ausgebildet, als eine Dickenerstreckung 22, und auch kleiner als die der Höhenerstreckung 21 entsprechende Dickenerstreckung der Mold-Masse 11, die den Schaltungsträger 8 bedeckt.The mold mass 11 has one extending over a surface of the circuit board 8th extending uniform height extension 21st on. The thickness extension 22nd the mold mass 11 which the component 9 covered, is designed to be smaller than the thickness extension of the mold mass 11 , which is the circuit carrier 8th covered and there the height extension 21st corresponds to. A thickness extension 23 the mold mass 11 which the component 10 covered, is formed smaller than a thickness extension 22nd , and also smaller than that of the vertical extension 21st corresponding thickness extension of the mold compound 11 that is the circuit carrier 8th covered.

Im Strahlengang zwischen dem Sender 2 und der Haltevorrichtung 4, und so auch dem Elektronikmodul 7, ist ein Strahlenfilter 13 für die Mikrowellenstrahlen 3 angeordnet. Das Strahlenfilter 13 umfasst einen Behälter, der aus zwei jeweils tiefgezogenen, oder geblasenen Behälterwänden gebildet ist.In the beam path between the transmitter 2 and the holding device 4th , and so also the electronics module 7th , is a radiation filter 13th for the microwave rays 3 arranged. The radiation filter 13th comprises a container which is formed from two container walls which are each deep-drawn or blown.

Das Strahlenfilter 13, welches in diesem Ausführungsbeispiel durch einen für die Mikrowellenstrahlen 3 transluzenten Behälter gebildet ist, umfasst eine Behälterwand 14. Die Behälterwand 14 weist in diesem Ausführungsbeispiel zwei Flächenbereiche 16 und 17 auf, welche jeweils als insbesondere konkav oder hohl ausgebildete Vertiefungen in der Behälterwand 14 ausgebildet sind. Die Behälterwand 14 ist mittels eines Abstandes 18 von einer weiteren Behälterwand 15, welche in diesem Ausführungsbeispiel eben ausgebildet ist, beabstandet. So ist zwischen den Behälterwänden 14 und 15 ein Hohlraum eingeschlossen, in welchem ein Fluid 32 aufgenommen ist.The radiation filter 13th , which in this embodiment by one for the microwave beams 3 translucent container is formed, comprises a container wall 14th . The container wall 14th has two surface areas in this exemplary embodiment 16 and 17th on, which are each designed as a particular concave or hollow recesses in the container wall 14th are trained. The container wall 14th is by means of a distance 18th from another container wall 15th , which is flat in this embodiment, spaced. So is between the container walls 14th and 15th enclosed a cavity in which a fluid 32 is recorded.

Der Behälter, umfassend die Behälterwände 14 und 15, weist eine Einlassöffnung 25 für das Fluid 32 und eine Auslassöffnung 26 für das Fluid 32 auf. Das Fluid 32 kann so das Strahlenfilter 13 passieren. Der Flächenbereich 17 der Behälterwand 14 weist einen größeren Abstand 19 zu der weiteren Behälterwand 15 auf, als die den Flächenbereich 17 umgebende Behälterwand 14. Der Flächenbereich 16, welcher als Vertiefung in der Behälterwand 14 ausgebildet ist, weist zu der weiteren Behälterwand 15 hin einen größeren Abstand 20 auf, als der Abstand 18 der Behälterwand 14 zu der weiteren Behälterwand 15 hin.The container including the container walls 14th and 15th , has an inlet port 25th for the fluid 32 and an outlet port 26th for the fluid 32 on. The fluid 32 so can the radiation filter 13th happen. The area 17th the container wall 14th shows a greater distance 19th to the further container wall 15th on than the the area 17th surrounding container wall 14th . The area 16 , which as a recess in the container wall 14th is formed, points to the further container wall 15th a greater distance 20th on than the distance 18th the container wall 14th to the further container wall 15th down.

Das Fluid 32 weist in diesem Ausführungsbeispiel eine für die Mikrowellenstrahlen 3 schwächende Eigenschaft auf. Das Fluid 32 ist beispielsweise ausgebildet, die Mikrowellenstrahlen 3 beim Durchlaufen des Fluids 32 wenigstens teilweise oder nur teilweise zu absorbieren oder zu streuen.The fluid 32 has in this embodiment one for the microwave beams 3 debilitating property. The fluid 32 is designed, for example, the microwave rays 3 when passing through the fluid 32 to absorb or scatter at least partially or only partially.

Das Strahlenfilter 13 weist so im Flächenbereich 17 eine stärkere Extinktionswirkung für die Mikrowellenstrahlen 3 auf, als in dem den Flächenbereich 17 umgebenden Bereich des Filters 13 mit der Dickenerstreckung 18.The radiation filter 13th points so in the area 17th a stronger extinction effect for the microwave rays 3 on than in which the surface area 17th surrounding area of the filter 13th with the thickness extension 18th .

Der Flächenbereich 16 weist in diesem Ausführungsbeispiel eine größere Extinktionswirkung für die Mikrowellenstrahlen 3 auf, als der Flächenbereich 17. Die Flächenbereiche 16 und 17 bilden in diesem Ausführungsbeispiel ein Teilfilter des Filters 13. Eine Topografie des Filters 13, insbesondere der Behälterwand 14 mit den dort ausgebildeten verschiedenen Filterstärken kann so an eine Topografie des Elektronikmoduls angepasst sein, sodass durch das Filter 13 ein an die Schichtdicke der Moldmasse adaptiertes Strahlenfilter gebildet ist.The area 16 In this exemplary embodiment, it has a greater extinction effect for the microwave rays 3 on than the surface area 17th . The areas 16 and 17th form a sub-filter of the filter in this exemplary embodiment 13th . A topography of the filter 13th , especially the container wall 14th With the different filter thicknesses formed there, it can be adapted to a topography of the electronics module, so that through the filter 13th a radiation filter adapted to the layer thickness of the molding compound is formed.

Die Mikrowellenstrahlen 3, welche auf das Strahlenfilter 13 treffen, durchtreten die für die Mikrowellenstrahlen 3 transluzente Behälterwand 14, und werden in dem Fluid 32 im Bereich des Flächenbereichs 17, und so des Teilfilters, geschwächt und treten weiter aus dem Strahlenfilter durch die weitere Behälterwand 15, welche für die Mikrowellenstrahlen 3 transluzent ist, als geschwächte Mikrowellenstrahlen 3" aus dem Strahlenfilter 13 wieder heraus. Die Mikrowellenstrahlen 3, welche auf das Strahlenfilter im Bereich der Behälterwand 14 auftreffen, werden beim Durchlaufen des Filters 13 mit der Dickenerstreckung 18 durch das Fluid 32 geschwächt, und treten auf der Filterrückseite, gebildet durch die weitere Behälterwand 15, als geschwächte Mikrowellenstrahlen 3' wieder aus. Die Mikrowellenstrahlen 3 treten nach Durchlaufen des Flächenbereichs 16, welcher ein Teilfilter für die Mikrowellenstrahlen 3 bildet, als geschwächte Mikrowellenstrahlen 3''' aus dem Strahlenfilter 13 wieder aus.The microwave rays 3 , which on the radiation filter 13th meet, pass through for the microwave rays 3 translucent container wall 14th , and are in the fluid 32 in the area of the surface area 17th , and so of the partial filter, weakened and continue to emerge from the radiation filter through the further container wall 15th which for the microwave rays 3 is translucent than weakened microwave rays 3 " from the radiation filter 13th out again. The microwave rays 3 which are placed on the radiation filter in the area of the container wall 14th hit when passing through the filter 13th with the thickness extension 18th through the fluid 32 weakened, and occur on the back of the filter, formed by the further container wall 15th , as weakened microwave rays 3 ' out again. The microwave rays 3 occur after passing through the surface area 16 , which is a partial filter for the microwave rays 3 forms than weakened microwave rays 3 ''' from the radiation filter 13th out again.

Die geschwächten Mikrowellenstrahlen 3' sind ausgebildet, die Mold-Masse 11 mit der Dickenerstreckung 21 insbesondere vollständig auszuhärten. Die Mold-Masse 11, welche das Bauteil 10 bedeckt, weist eine kleinere Dickenerstreckung 23 auf. Die geschwächten Mikrowellenstrahlen 3''', welche durch das Teilfilter, gebildet durch den Flächenbereich 16 des Filters 13 geschwächt worden sind, reichen aus, um die Mold-Masse 11, welche das Bauteil 10 bedeckt, auszuhärten. Die Mikrowellenstrahlen 3, oder die Mikrowellenstrahlen 3', welche jeweils eine größere Strahlstärke aufweisen, als die geschwächten Mikrowellenstrahlen 3''', würden die Mold-Masse 11, die das Bauteil 10 bedeckt, nicht nur aushärten, sondern nach dem Aushärten weiter schädigen.The weakened microwave rays 3 ' are formed, the mold mass 11 with the thickness extension 21st in particular to cure completely. The mold mass 11 which the component 10 covered, has a smaller extent of thickness 23 on. The weakened microwave rays 3 ''' , which by the partial filter, formed by the surface area 16 of the filter 13th have been weakened, are sufficient to maintain the mold mass 11 which the component 10 covered to cure. The microwave rays 3 , or the microwave rays 3 ' , which each have a greater radiation intensity than the weakened microwave rays 3 ''' , would the mold bulk 11 that the component 10 covered, not only harden, but further damage after hardening.

Die Mikrowellenstrahlen 3'', erzeugt durch das Strahlenfilter, gebildet durch den Flächenbereich 17, sind ausgebildet, die Mold-Masse 11, welche das Bauteil 9 bedeckt, auszuhärten.The microwave rays 3 '' , generated by the radiation filter, formed by the surface area 17th , are formed, the mold mass 11 which the component 9 covered to cure.

Die Mikrowellenstrahlen 3 treffen bei der in 1 gezeigten Vorrichtung 1 in einer Projektion durch das Strahlenfilter 13 hindurch auf die Mold-Masse 11 des Elektronikmoduls 7. Die Mikrowellenstrahlen 3 erfahren beim Durchtreten des Filters 13, und so auch beim Durchtreten des in dem Strahlenfilter 13 aufgenommenen Fluids 32 - abhängig von der Dickenerstreckung 18, 19 oder 20 der Flächenbereiche des Filters 13 -, eine zueinander verschiedene Schwächung, erzeugt durch die Extinktionswirkung des Fluids 32. Die Mikrowellenstrahlen 3 werden so als geschwächte Mikrowellenstrahlen 3', 3'' oder 3''' auf das Elektronikmodul 7, und dort auf die Mold-Masse 11, projiziert.The microwave rays 3 meet at the in 1 device shown 1 in a projection through the radiation filter 13th through to the mold compound 11 of the electronics module 7th . The microwave rays 3 experienced when passing through the filter 13th , and so also when passing through the in the radiation filter 13th absorbed fluids 32 - depending on the thickness extension 18th , 19th or 20th the area of the filter 13th -, a mutually different weakening, produced by the extinction effect of the fluid 32 . The microwave rays 3 are called weakened microwave rays 3 ' , 3 '' or 3 ''' on the electronics module 7th , and there on the mold mass 11 , projected.

Das Fluid 32 kann beim Passieren des Filters 13 Strahlenenergie aus den Mikrowellenstrahlen 3 absorbieren, und in Wärme, insbesondere Niedertemperaturwärme, wandeln. Das Fluid 32 fließt in diesem Ausführungsbeispiel in einen Fluidkreislauf.The fluid 32 can when passing through the filter 13th Radiant energy from the microwave rays 3 absorb and convert it into heat, especially low-temperature heat. The fluid 32 flows in this embodiment in a fluid circuit.

Der Fluidkreislauf umfasst eine Fluidpumpe 24, einen Wärmetauscher 27 und einen Behälter 31, in dem das Fluid 32 vorrätig gehalten ist.The fluid circuit includes a fluid pump 24 , a heat exchanger 27 and a container 31 in which the fluid 32 is kept in stock.

Die Fluidpumpe 24 ist fluidausgangsseitig mittels einer Fluidleitung 28 mit der Einlassöffnung 25 des Filters 13 verbunden. Die Auslassöffnung 26 des Filters 13 ist mittels einer Fluidleitung 29 mit dem Wärmetauscher 27 verbunden. Der Wärmetauscher 27 ist mittels einer Fluidleitung 30 mit dem Behälter 31 verbunden. Der Behälter 31 ist mittels einer Fluidleitung 34 mit der Fluidpumpe 24 verbunden.The fluid pump 24 is on the fluid outlet side by means of a fluid line 28 with the inlet port 25th of the filter 13th connected. The outlet opening 26th of the filter 13th is by means of a fluid line 29 with the heat exchanger 27 connected. The heat exchanger 27 is by means of a fluid line 30th with the container 31 connected. The container 31 is by means of a fluid line 34 with the fluid pump 24 connected.

Die Vorrichtung 1 umfasst auch eine Verarbeitungseinheit 12, welche beispielsweise durch einen Mikrocontroller oder einen Mikroprozessor gebildet ist. Die Verarbeitungseinheit 12 ist über eine Verbindungsleitung 35 ausgangsseitig mit der Fluidpumpe 24 verbunden und ausgebildet, ein Steuersignal zum Aktivieren der Fluidpumpe 24 zu erzeugen und dieses über die Verbindungsleitung 35 an die Fluidpumpe 24 zu senden. Die Verarbeitungseinheit 12 ist über eine Verbindungsleitung 36 mit dem Strahlensender 2 für die Mikrowellenstrahlen 3 verbunden und ausgebildet, ein Steuersignal zum Aktivieren des Mikrowellensenders 2 zu erzeugen und dieses über die Verbindungsleitung 36 an den Mikrowellensender 2 zu senden.The device 1 also includes a processing unit 12th , which is formed for example by a microcontroller or a microprocessor. The processing unit 12th is via a connecting line 35 on the output side with the fluid pump 24 connected and formed, a control signal for activating the fluid pump 24 and this via the connection line 35 to the fluid pump 24 to send. The processing unit 12th is via a connecting line 36 with the radiation transmitter 2 for the microwave rays 3 connected and formed, a control signal for activating the microwave transmitter 2 and this via the connection line 36 to the microwave transmitter 2 to send.

Zu einem Betrieb der Vorrichtung 1 kann die Verarbeitungseinheit 12 das Steuersignal zum Aktivieren der Fluidpumpe 24 erzeugen, sodass das Fluid 32 aus dem Behälter 31 über die Fluidleitung 28 durch das Strahlenfilter 13 hindurchgepumpt werden kann, sodass das Fluid 32 das Strahlenfilter 13 passiert. Nachdem der Fluidkreislauf aktiviert worden ist, kann die Verarbeitungseinheit 12 das Steuersignal zum Aktivieren des Mikrowellensenders 2 erzeugen, sodass der Mikrowellensender 2 in Abhängigkeit des empfangenen Steuersignals die Mikrowellen 3 erzeugen und in den Hohlraum 33 aussenden kann.To an operation of the device 1 can the processing unit 12th the control signal for activating the fluid pump 24 generate so that the fluid 32 from the container 31 via the fluid line 28 through the radiation filter 13th can be pumped through, so that the fluid 32 the radiation filter 13th happens. After the fluid circuit has been activated, the processing unit 12th the control signal for activating the microwave transmitter 2 generate so the microwave transmitter 2 the microwaves depending on the received control signal 3 generate and into the cavity 33 can send out.

Die Mikrowellenstrahlen 3 können in dem Strahlenfilter 13 durch das dort fließende Fluid 32 geschwächt, insbesondere von dem Fluid 32 wenigstens teilweise absorbiert, werden. Die so durch Extinktionswirkung des Fluids 32 geschwächten Mikrowellenstrahlen 3', 3'' und 3''' können jeweils zueinander verschiedene Schichtdicken der Mold-Masse 11 mit der passenden Strahlendosis, entsprechend der geschwächten Mikrowellenstrahlen, aushärten.The microwave rays 3 can in the radiation filter 13th by the fluid flowing there 32 weakened, especially from the fluid 32 at least partially absorbed. The so by the extinction effect of the fluid 32 weakened microwave rays 3 ' , 3 '' and 3 ''' can each have different layer thicknesses of the mold compound 11 cure with the appropriate radiation dose, corresponding to the weakened microwave rays.

Das in dem Strahlenfilter 13 erwärmte Fluid 32 kann in dem Wärmetauscher 27, welcher beispielsweise eine Kühlvorrichtung, insbesondere Zwangskonvektionskühlvorrichtung mit Luftkühlung oder Fluidkühlung aufweist, gekühlt werden, sodass von dem Fluid 32 aufgenommene Wärme über den Wärmetauscher 27 abgeführt werden kann. Das im Wärmetauscher 27 gekühlte Fluid kann über die Fluidleitung 30 zurück in den Behälter 31 fließen.That in the radiation filter 13th heated fluid 32 can in the heat exchanger 27 , which has, for example, a cooling device, in particular a forced convection cooling device with air cooling or fluid cooling, so that the fluid 32 absorbed heat via the heat exchanger 27 can be discharged. That in the heat exchanger 27 cooled fluid can be via the fluid line 30th back in the container 31 flow.

Das Fluid 32 kann - anders als in 1 dargestellt - nicht in einem geschlossenen Fluidkreislauf fließen. Das Fluid 32 kann beispielsweise von einer Fluidquelle, beispielsweise einer Wasserzuflussleitung, bereitgestellt werden und zu der Einlassöffnung 25 geleitet werden. Das aus der Auslassöffnung 26 austretende Fluid kann beispielsweise in einen Abfluss, insbesondere eine Abflussleitung, geleitet werden.The fluid 32 can - unlike in 1 shown - not flow in a closed fluid circuit. The fluid 32 can for example be provided by a fluid source, for example a water inflow line, and to the inlet opening 25th be directed. That from the outlet 26th Exiting fluid can for example be conducted into a drain, in particular a drain line.

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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

  • JP 02182438 A [0002]JP 02182438 A [0002]

Claims (12)

Verfahren zum Erzeugen eines Elektronikmoduls (7), wobei das Elektronikmodul (7) wenigstens ein elektronisches Bauelement (9, 10) und einen Schaltungsträger (8) aufweist, auf dem das Bauelement (9, 10) angeordnet ist, und eine Moldmasse (11), die das elektronische Bauelement (9, 10) wenigstens teilweise einbettet, dadurch gekennzeichnet, dass zueinander benachbarte Flächenbereiche der Moldmasse (11) zueinander verschiedene Schichtdicken (21, 22, 23) aufweisen, wobei die Moldmasse (11) bei dem Verfahren mittels Mikrowellenstrahlen (3, 3', 3'', 3''') bestrahlt wird und in Abhängigkeit der in der Moldmasse (11) absorbierten Mikrowellenstrahlen (3, 3', 3'', 3''') ausgehärtet wird, wobei bei dem Verfahren auf die zueinander benachbarten Flächenbereiche in Abhängigkeit der Schichtdicke (21, 22, 23) Mikrowellenstrahlen (3', 3'', 3''') mit jeweils zueinander verschiedener Strahlendosis gesendet werden.Method for producing an electronic module (7), wherein the electronic module (7) has at least one electronic component (9, 10) and a circuit carrier (8) on which the component (9, 10) is arranged, and a molding compound (11) which at least partially embeds the electronic component (9, 10), characterized in that adjacent surface areas of the molding compound (11) have mutually different layer thicknesses (21, 22, 23), the molding compound (11) being used in the method by means of microwave rays ( 3, 3 ', 3'',3''') is irradiated and cured depending on the microwave rays (3, 3 ', 3'',3''') absorbed in the molding compound (11), with the method Depending on the layer thickness (21, 22, 23), microwave beams (3 ', 3'',3''') with different radiation doses are transmitted onto the adjacent surface areas. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem Verfahren ein Strahlenfilter (13) zwischen eine Strahlenquelle (2) und die Flächenbereiche der Moldmasse (11) eingebracht wird, wobei wenigstens zwei zueinander benachbarte Filterflächenbereiche (14, 16, 17) des Strahlenfilters (13) zueinander verschiedene Extinktionseigenschaften aufweisen, so dass durch das Strahlenfilter (13) hindurchtretende Mikrowellenstrahlen (3', 3'', 3''') innerhalb der Flächenbereiche (14, 16, 17) eine zueinander verschiedene Schwächung erfahren.Procedure according to Claim 1 , characterized in that in the method a radiation filter (13) is introduced between a radiation source (2) and the surface areas of the molding compound (11), at least two adjacent filter surface areas (14, 16, 17) of the radiation filter (13) different from one another Have extinction properties, so that microwave rays (3 ', 3 ", 3"') passing through the radiation filter (13) experience a mutually different attenuation within the surface areas (14, 16, 17). Verfahren (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlenfilter (13) ein Fluid (32) aufweist, welches ausgebildet ist, die Mikrowellenstrahlen (3, 3', 3'', 3''') beim Durchtreten des Fluids (23) zu schwächen.Procedure (1) according to Claim 1 or 2 , characterized in that the radiation filter (13) has a fluid (32) which is designed to weaken the microwave rays (3, 3 ', 3 ", 3"') when the fluid (23) passes through. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluid (32) Wasser oder Öl aufweist.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the fluid (32) comprises water or oil. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass und das Fluid (32) in einem Fluidkreislauf (13, 28, 29, 27, 30, 31, 34) geführt wird und in dem Fluid (32) absorbierte Wärme aus dem Fluid (32) abgeführt wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the fluid (32) is guided in a fluid circuit (13, 28, 29, 27, 30, 31, 34) and heat absorbed in the fluid (32) from the fluid ( 32) is discharged. Vorrichtung (1) zum Aushärten von Moldmasse (11) an einem Elektronikmodul (7), umfassend einen Strahlensender (2) für Mikrowellen (3, 3', 3'', 3'''), und eine Haltevorrichtung (4, 5) zum Halten eines Elektronikmoduls (7), wobei der Strahlensender (2) ausgebildet und angeordnet ist, Mikrowellenstrahlen (3, 3', 3'', 3''') zu erzeugen und in Richtung der Haltevorrichtung (4, 5) oder auf die Haltevorrichtung (4, 5) zu senden, und ein Strahlenfilter (13), welches im Strahlengang der Mikrowellenstrahlen (3, 3', 3'', 3''') zwischen dem Strahlensender (2) und der Haltevorrichtung angeordnet ist, und das Strahlenfilter (13) wenigstens zwei zum Strahlendurchtritt ausgebildete, jeweils ein Teilfilter (14, 16, 17) bildende Flächenbereiche (14, 16, 17) aufweist, die jeweils ausgebildet sind, auf das Strahlenfilter (13) einfallende Mikrowellenstrahlen (3) mit zueinander verschiedenen Schwächungsgraden zu schwächen.Device (1) for curing molding compound (11) on an electronic module (7), comprising a radiation transmitter (2) for microwaves (3, 3 ', 3 ", 3"'), and a holding device (4, 5) for holding an electronic module (7), the radiation transmitter (2) being designed and arranged to generate microwave beams (3, 3 ', 3 ", 3"') and in the direction of the holding device (4, 5) or onto the To send holding device (4, 5), and a radiation filter (13) which is arranged in the beam path of the microwave beams (3, 3 ', 3' ', 3' '') between the radiation transmitter (2) and the holding device, and the Radiation filter (13) has at least two surface areas (14, 16, 17) designed for the passage of rays and each forming a partial filter (14, 16, 17), each of which is designed to have mutually different microwave rays (3) incident on the radiation filter (13) To weaken degrees of weakening. Vorrichtung (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlenfilter (13) einen Behälter (14, 15) aufweist, in dem ein für ein die Mikrowellenstrahlen (3) schwächendes Fluid (32) aufgenommen ist.Device (1) according to Claim 6 , characterized in that the radiation filter (13) has a container (14, 15) in which a fluid (32) weakening the microwave rays (3) is received. Vorrichtung (1) nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilfilter (14, 16, 17) jeweils eine zueinander verschiedene Schichtdicke (18, 19, 20) aufweisen.Device (1) according to Claim 6 or 7th , characterized in that the sub-filters (14, 16, 17) each have a mutually different layer thickness (18, 19, 20). Vorrichtung (1) nach Anspruch 7 oder 8, das Fluid (32) Wasser oder Öl ist.Device (1) according to Claim 7 or 8th , the fluid (32) is water or oil. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilfilter (14, 15, 16) jeweils durch einen Teil einer Behälterwand (14) des Behälters (14, 15) gebildet sind, wobei die Behälterwand (14, 16, 17) eine der Filterstärke der Teilfilter (16, 17) entsprechende Topografie aufweist.Device (1) according to one of the Claims 6 to 9 , characterized in that the sub-filters (14, 15, 16) are each formed by a part of a container wall (14) of the container (14, 15), the container wall (14, 16, 17) having one of the filter thicknesses of the sub-filters (16 , 17) has a corresponding topography. Vorrichtung (1) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Behälterwand (14, 16, 17) eine dem Elektronikmodul (7) entsprechende Topografie aufweist.Device (1) according to Claim 10 , characterized in that the container wall (14, 16, 17) has a topography corresponding to the electronics module (7). Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1) ausgebildet ist einen Fluidstrom durch das Strahlenfilter (13) zu führen und der Behälter (14, 15) dazu eine Fluideinlassöffnung (25) und eine Fluidauslassöffnung (26) aufweist.Device (1) according to one of the Claims 6 to 10 , characterized in that the device (1) is designed to guide a fluid flow through the jet filter (13) and the container (14, 15) has a fluid inlet opening (25) and a fluid outlet opening (26) for this purpose.
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02182438A (en) * 1989-01-06 1990-07-17 Fuji Heavy Ind Ltd Method for heat-curing of fiber reinforced plastic having conductivity by microwave
EP1001311A1 (en) * 1998-11-16 2000-05-17 International Business Machines Corporation Patterning device
DE60312166T2 (en) * 2002-07-02 2007-10-31 Koninklijke Philips Electronics N.V. MASK AND A MANUFACTURING METHOD USING THIS MASK
US7604903B1 (en) * 2004-01-30 2009-10-20 Advanced Micro Devices, Inc. Mask having sidewall absorbers to enable the printing of finer features in nanoprint lithography (1XMASK)
US20100190340A1 (en) * 2009-01-29 2010-07-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of forming fine patterns using a nanoimprint lithography
US20130087951A1 (en) * 2011-10-11 2013-04-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Molding Chamber Apparatus and Curing Method
US20170259489A1 (en) * 2014-09-18 2017-09-14 Centre Technique des Industries Mécaniques Method for hot-forming a thermoplastic material and implementation facility
US20200116934A1 (en) * 2018-10-16 2020-04-16 Magic Leap, Inc. Methods and apparatuses for casting polymer products

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5644837A (en) * 1995-06-30 1997-07-08 Lambda Technologies, Inc. Process for assembling electronics using microwave irradiation
CN100530714C (en) * 2004-09-30 2009-08-19 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 Electrooptical device with wireless contaction
JP2007157763A (en) * 2005-11-30 2007-06-21 Mitsumi Electric Co Ltd Circuit module
EP1879294B1 (en) * 2006-07-11 2010-03-10 Balluff GmbH Electrical device and method of producing an electrical device
US20110266717A1 (en) * 2008-12-30 2011-11-03 Basf Se Microwave-Assisted Setting of Shaped Ceramic/Foam Bodies
DE102010023955A1 (en) * 2010-06-16 2011-12-22 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelectronic component
EP2736076A1 (en) * 2012-11-23 2014-05-28 Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Apparatus and method for manufacturing a layered product
DE102015200219A1 (en) * 2015-01-09 2016-07-14 Robert Bosch Gmbh Method for producing an electronic module, in particular a transmission control module
DE102015209585A1 (en) * 2015-05-26 2016-12-01 Robert Bosch Gmbh Tool and method for generating an electronic device
CN105619848B (en) * 2016-01-15 2018-02-09 中南大学 A kind of microwave heating equipment and method
JP6648626B2 (en) * 2016-04-27 2020-02-14 オムロン株式会社 Electronic device and method of manufacturing the same
US10913212B2 (en) * 2016-11-07 2021-02-09 Iftikhar Ahmad Near-field microwave heating system and method

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02182438A (en) * 1989-01-06 1990-07-17 Fuji Heavy Ind Ltd Method for heat-curing of fiber reinforced plastic having conductivity by microwave
EP1001311A1 (en) * 1998-11-16 2000-05-17 International Business Machines Corporation Patterning device
DE60312166T2 (en) * 2002-07-02 2007-10-31 Koninklijke Philips Electronics N.V. MASK AND A MANUFACTURING METHOD USING THIS MASK
US7604903B1 (en) * 2004-01-30 2009-10-20 Advanced Micro Devices, Inc. Mask having sidewall absorbers to enable the printing of finer features in nanoprint lithography (1XMASK)
US20100190340A1 (en) * 2009-01-29 2010-07-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Methods of forming fine patterns using a nanoimprint lithography
US20130087951A1 (en) * 2011-10-11 2013-04-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Molding Chamber Apparatus and Curing Method
US20170259489A1 (en) * 2014-09-18 2017-09-14 Centre Technique des Industries Mécaniques Method for hot-forming a thermoplastic material and implementation facility
US20200116934A1 (en) * 2018-10-16 2020-04-16 Magic Leap, Inc. Methods and apparatuses for casting polymer products

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