DE102019216720A1 - Method and device for producing an electronic module - Google Patents
Method and device for producing an electronic module Download PDFInfo
- Publication number
- DE102019216720A1 DE102019216720A1 DE102019216720.9A DE102019216720A DE102019216720A1 DE 102019216720 A1 DE102019216720 A1 DE 102019216720A1 DE 102019216720 A DE102019216720 A DE 102019216720A DE 102019216720 A1 DE102019216720 A1 DE 102019216720A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- fluid
- filter
- radiation
- microwave
- molding compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
- H05K3/284—Applying non-metallic protective coatings for encapsulating mounted components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
- B29C35/0266—Local curing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
- B29C35/08—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
- B29C35/0805—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
- B29C35/08—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
- B29C35/0888—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using transparant moulds
- B29C35/0894—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using transparant moulds provided with masks or diaphragms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C35/00—Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
- B29C35/02—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
- B29C35/08—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
- B29C35/0805—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
- B29C2035/0855—Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation using microwave
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/10—Using electric, magnetic and electromagnetic fields; Using laser light
- H05K2203/102—Using microwaves, e.g. for curing ink patterns or adhesive
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Oral & Maxillofacial Surgery (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen eines Elektronikmoduls. Das Elektronikmodul weist wenigstens ein elektronisches Bauelement auf und einen Schaltungsträger, auf dem das elektronische Bauelement angeordnet ist. Das Elektronikmodul weist auch eine Mold-Masse auf, in die das elektronische Bauelement wenigstens teilweise einbettet ist. Erfindungsgemäß weisen zueinander benachbarte Flächenbereiche der Mold-Masse zueinander verschiedene Schichtdicken auf. Bei dem Verfahren der eingangs genannten Art wird die Mold-Masse mittels Mikrowellenstrahlen bestrahlt, und in Abhängigkeit der in der Mold-Masse absorbierten Mikrowellenstrahlen ausgehärtet. Weiter wird bei dem Verfahren auf die zueinander benachbarten Flächenbereiche in Abhängigkeit der Schichtdicke eine verschiedene Strahlendosis gesendet. The invention relates to a method for producing an electronic module. The electronics module has at least one electronic component and a circuit carrier on which the electronic component is arranged. The electronics module also has a molding compound in which the electronic component is at least partially embedded. According to the invention, surface regions of the molding compound that are adjacent to one another have layer thicknesses that are different from one another. In the method of the type mentioned at the outset, the molding compound is irradiated by means of microwave beams and cured as a function of the microwave beams absorbed in the molding compound. Furthermore, in the method, a different radiation dose is sent to the surface areas adjacent to one another, depending on the layer thickness.
Description
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen eines Elektronikmoduls. Das Elektronikmodul weist wenigstens ein elektronisches Bauelement auf und einen Schaltungsträger, auf dem das elektronische Bauelement angeordnet ist. Das Elektronikmodul weist auch eine Mold-Masse auf, in die das elektronische Bauelement wenigstens teilweise einbettet ist.The invention relates to a method for producing an electronic module. The electronics module has at least one electronic component and a circuit carrier on which the electronic component is arranged. The electronics module also has a molding compound in which the electronic component is at least partially embedded.
Aus der
Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention
Erfindungsgemäß weisen zueinander benachbarte Flächenbereiche der Mold-Masse zueinander verschiedene Schichtdicken auf. Bei dem Verfahren der eingangs genannten Art wird die Mold-Masse mittels Mikrowellenstrahlen bestrahlt, und in Abhängigkeit der in der Mold-Masse absorbierten Mikrowellenstrahlen ausgehärtet. Weiter werden bei dem Verfahren auf die zueinander benachbarten Flächenbereiche in Abhängigkeit der Schichtdicke Mikrowellenstrahlen mit jeweils zueinander verschiedener Strahlendosis gesendet.According to the invention, surface regions of the molding compound that are adjacent to one another have layer thicknesses that are different from one another. In the method of the type mentioned at the outset, the molding compound is irradiated by means of microwave beams and cured as a function of the microwave beams absorbed in the molding compound. Furthermore, in the method, microwave beams with different radiation doses are transmitted to the surface areas adjacent to one another as a function of the layer thickness.
Vorteilhaft kann so - abhängig von der Schichtdicke der Flächenbereiche der Mold-Masse, insbesondere Epoxidharz-Mold-Masse - eine Strahlendosis gesendet werden, welche ausreicht, um das Mold-Material hinreichend zu vernetzen. Weiter vorteilhaft kann so in dünnen Lagen keine Überhitzung und Schädigung des Mold-Materials durch Mikrowellen stattfinden. Es wurde nämlich erkannt, dass beim Aushärten von Mold-Masse mittels Mikrowellen bei einer zu hohen Strahlendosis die Mold-Masse Schaden nehmen kann. Die Mold-Masse, insbesondere HCD-Masse (HCD = Hard-Cover-Dispensed), ist bevorzugt durch ein Harz, insbesondere Epoxidharz oder Polyesterharz gebildet. Die Moldmasse weist bevorzugt Füllpartikel, insbesondere Keramikpartikel auf.In this way, depending on the layer thickness of the surface areas of the molding compound, in particular epoxy resin molding compound, a radiation dose can advantageously be sent which is sufficient to crosslink the molding material sufficiently. In a further advantageous manner, overheating and damage to the mold material by microwaves cannot take place in thin layers. This is because it was recognized that when the molding compound is hardened by means of microwaves, the molding compound can be damaged if the radiation dose is too high. The mold compound, in particular HCD compound (HCD = Hard Cover Dispensed), is preferably formed by a resin, in particular epoxy resin or polyester resin. The molding compound preferably has filler particles, in particular ceramic particles.
In einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird ein Strahlenfilter zwischen eine Strahlenquelle und die Flächenbereiche der Mold-Masse eingebracht, wobei wenigstens zwei zueinander benachbarte Filterflächenbereiche des Strahlenfilters zueinander verschiedene Extinktionseigenschaften für die Mikrowellenstrahlen aufweisen, sodass durch das Strahlenfilter hindurchtretende Mikrowellenstrahlen innerhalb der Flächenbereiche eine zueinander verschiedene Schwächung erfahren. Vorteilhaft können so die zueinander verschiedenen Flächenbereiche der Mold-Masse mittels eines insbesondere flach ausgebildeten Strahlenfilters mit zueinander verschiedenen Bestrahlungsstärken ausgehärtet werden.In a preferred embodiment of the method, a radiation filter is placed between a radiation source and the surface areas of the molding compound, at least two adjacent filter surface areas of the radiation filter having mutually different extinction properties for the microwave rays, so that microwave rays passing through the radiation filter have different attenuation within the surface areas Experienced. Advantageously, the mutually different surface areas of the molding compound can be cured by means of a radiation filter, in particular of flat design, with different irradiation intensities.
In einer bevorzugten Ausführungsform weist das Strahlenfilter ein Fluid auf, welches ausgebildet ist, die Mikrowellenstrahlen beim Durchtreten des Strahlenfilters zu schwächen. Weiter bevorzugt weisen die zueinander benachbarten Filterflächenbereiche des Strahlenfilters jeweils das Fluid auf. Bevorzugt weist das Fluid Wasser oder ein Öl, beispielsweise einen Fettsäureester, insbesondere Pentaerithrit-Ester, auf, weiter bevorzugt ist das Fluid durch Wasser oder Öl gebildet. Das Fluid ist bevorzugt zum Absorbieren der Mikrowellenstrahlen und/oder zum Streuen der Mikrowellenstrahlen ausgebildet. Bevorzugt sind Fluidmoleküle des Fluids dazu polar ausgebildet.In a preferred embodiment, the radiation filter has a fluid which is designed to weaken the microwave rays as they pass through the radiation filter. The filter surface areas of the radiation filter that are adjacent to one another preferably each have the fluid. The fluid preferably has water or an oil, for example a fatty acid ester, in particular pentaerythritol ester, more preferably the fluid is formed by water or oil. The fluid is preferably designed to absorb the microwave rays and / or to scatter the microwave rays. Fluid molecules of the fluid are preferably designed to be polar for this purpose.
Vorteilhaft kann das Strahlenfilter so aufwandsgünstig bereitgestellt werden. Weiter vorteilhaft kann das Strahlenfilter so gekühlt werden, insoweit das Filtermedium selbst zum Aufnehmen von Wärme ausgebildet ist und als Fluid in einem Fluidkühler gekühlt werden kann.The radiation filter can thus advantageously be provided at low cost. The radiation filter can also advantageously be cooled in so far as the filter medium itself is designed to absorb heat and can be cooled as a fluid in a fluid cooler.
In einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird das Fluid in einem Fluidkreislauf geführt, und in dem Fluid absorbierte Wärme aus dem Fluid abgeführt. Vorteilhaft kann so eine Fluidtemperatur bevorzugt konstant gehalten werden. Das Fluid kann beispielsweise mittels einer Fluidmittelpumpe in einem Fluidkreislauf gehalten werden. Das Fluid kann von der Fluidmittelpumpe in das Strahlenfilter, beispielsweise durch eine Eintrittsöffnung, hineingepumpt werden, das Strahlenfilter durchlaufen und durch eine Ausgangsöffnung aus dem Strahlenfilter wieder austreten. Das Fluid kann dann weiter durch einen Wärmetauscher fließen, welcher ausgebildet ist, aus dem Fluid Wärme abzuführen. Das Fluid kann von dem Wärmetauscher wieder zurück zur Fluidmittelpumpe fließen. Vorteilhaft kann das Strahlenfilter so aufwandsgünstig gekühlt werden.In a preferred embodiment of the method, the fluid is conducted in a fluid circuit, and heat absorbed in the fluid is removed from the fluid. A fluid temperature can advantageously be kept constant in this way. The fluid can be kept in a fluid circuit, for example, by means of a fluid medium pump. The fluid can be pumped into the radiation filter by the fluid medium pump, for example through an inlet opening, pass through the radiation filter and exit the radiation filter again through an outlet opening. The fluid can then flow further through a heat exchanger which is designed to dissipate heat from the fluid. The fluid can flow from the heat exchanger back to the fluid medium pump. The radiation filter can thus advantageously be cooled at low cost.
Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zum Aushärten von Mold-Masse an einem Elektronikmodul. Die Vorrichtung umfasst einen Strahlensender für Mikrowellen und eine Haltevorrichtung zum Halten eines Elektronikmoduls. Der Strahlensender ist ausgebildet und angeordnet, Mikrowellenstrahlen zu erzeugen, und in Richtung der Haltevorrichtung oder auf die Haltevorrichtung zu senden. Die Vorrichtung weist auch ein Strahlenfilter auf, welches im Strahlengang zwischen dem Strahlensender und der Haltevorrichtung angeordnet ist, oder dort angeordnet werden kann.The invention also relates to a device for curing molding compound on an electronics module. The device comprises a radiation transmitter for microwaves and a holding device for holding an electronic module. The radiation transmitter is designed and arranged to generate microwave beams and to transmit them in the direction of the holding device or onto the holding device. The device also has a radiation filter, which is arranged in the beam path between the radiation transmitter and the holding device, or can be arranged there.
Das Strahlenfilter weist wenigstens zwei zum Strahlendurchtritt ausgebildete, jeweils ein Teilfilter bildende, Filterflächenbereiche auf, welche jeweils ausgebildet sind, auf das Strahlenfilter einfallende Mikrowellenstrahlen mit zueinander verschiedenen Schwächungsgraden zu schwächen. Bevorzugt weisen die Strahlenfilter jeweils zueinander verschiedene Extinktionseigenschaften, insbesondere Absorptionseigenschaften oder Streuungseigenschaften, auf. Weiter bevorzugt weisen die Teilfilter jeweils zueinander verschiedene Schichtdicken einer das Strahlenteilfilter bildenden Filterschicht auf. Die schwächende Wirkung der Teilfilter kann so vorteilhaft beispielsweise mittels eines Strahlengesetzes nach Lambert-Beer ermittelt werden.The radiation filter has at least two filter surface areas which are designed for the passage of radiation and each form a partial filter are designed to weaken the microwave rays incident on the radiation filter with mutually different degrees of attenuation. The radiation filters preferably each have mutually different extinction properties, in particular absorption properties or scattering properties. The partial filters further preferably each have different layer thicknesses of a filter layer forming the partial beam filter. The weakening effect of the partial filters can thus advantageously be determined, for example, by means of a radiation law according to Lambert-Beer.
In einer bevorzugten Ausführungsform weist das Strahlenfilter einen Behälter auf, in dem ein für die Mikrowellenstrahlen schwächendes Fluid aufgenommen ist. Der Behälter ist bevorzugt aus Glas, insbesondere Quarzglas, oder durch einen für die Mikrowellenstrahlen transluzenten Kunststoff gebildet. Vorteilhaft kann das Strahlenfilter so aufwandsgünstig in Verbindung mit einer Kühlung bereitgestellt werden.In a preferred embodiment, the radiation filter has a container in which a fluid that weakens the microwave rays is received. The container is preferably made of glass, in particular quartz glass, or a plastic that is translucent for the microwave rays. In this way, the radiation filter can advantageously be provided in conjunction with cooling at low cost.
Bevorzugt weisen die Teilfilter jeweils eine zueinander verschiedene Schichtdicke auf. Vorteilhaft haben die Teilfilter jeweils zueinander verschiedene Extinktionseigenschaften für die Mikrowellenstrahlen. Bevorzugt ist das Fluid Wasser oder ein Öl. Vorteilhaft können die Mikrowellenstrahlen so aufwandsgünstig gefiltert werden.The sub-filters preferably each have a different layer thickness from one another. The sub-filters advantageously each have mutually different extinction properties for the microwave rays. The fluid is preferably water or an oil. In this way, the microwave beams can advantageously be filtered at low cost.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Teilfilter jeweils durch einen Teil einer Behälterwand des Behälters gebildet, wobei die Behälterwand eine der Filterstärke der Teilfilter entsprechende Topografie aufweist. Vorteilhaft kann die Behälterwand des Behälters beispielsweise durch einen tiefgezogenen Kunststoff, oder durch geblasenes GlasGlas gebildet sein. Der Behälter weist bevorzugt eine zu der die Teilfilter bildenden Behälterwand beabstandete weitere Behälterwand auf, wobei die Behälterwände einen Hohlraum zwischeneinander einschließen. Der Hohlraum ist zum Führen des Fluids ausgebildet. Die weitere Behälterwand kann beispielsweise eben ausgebildet sein. Die weitere Behälterwand kann so beispielsweise durch eine flache Glasplatte oder Kunststoffplatte gebildet sein.In a preferred embodiment, the sub-filters are each formed by a part of a container wall of the container, the container wall having a topography corresponding to the filter thickness of the sub-filters. The container wall of the container can advantageously be formed, for example, by a deep-drawn plastic or by blown glass. The container preferably has a further container wall spaced apart from the container wall forming the partial filter, the container walls enclosing a cavity between one another. The cavity is designed for guiding the fluid. The further container wall can, for example, be flat. The further container wall can thus be formed, for example, by a flat glass plate or plastic plate.
Die Behälterwand, in der die Teilfilter ausgebildet sind, kann so für jeden Teilfilter einen Wandbereich aufweisen, welcher von der weiteren Behälterwand einen vorbestimmten Abstand aufweist. Bevorzugt weist die Behälterwand eine dem Elektronikmodul entsprechende Topografie, insbesondere Oberflächengeometrie, auf. Bevorzugt sind wenigstens zwei Wandbereiche der die Teilfilter ausbildenden Behälterwand von der weiteren Behälterwand verschieden beabstandet. So kann das Fluid in den Teilfiltern eine zueinander verschiedene Schichtdicke aufweisen.The container wall in which the sub-filters are formed can thus have a wall area for each sub-filter which is at a predetermined distance from the further container wall. The container wall preferably has a topography, in particular surface geometry, that corresponds to the electronics module. Preferably, at least two wall areas of the container wall forming the partial filters are spaced differently from the further container wall. Thus, the fluid in the sub-filters can have a different layer thickness from one another.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Vorrichtung ausgebildet, einen Fluidstrom durch das Strahlenfilter zu führen, wobei der Behälter dazu eine Fluideinlassöffnung und eine Fluidauslassöffnung aufweist. Bevorzugt ist die Vorrichtung ausgebildet, den Fluidstrom in einem Fluidkreislauf zu führen, und weist dazu eine Fluidmittelpumpe auf.In a preferred embodiment, the device is designed to guide a fluid flow through the radiation filter, the container having a fluid inlet opening and a fluid outlet opening for this purpose. The device is preferably designed to guide the fluid flow in a fluid circuit, and for this purpose has a fluid medium pump.
Eine Frequenz der Mikrowellen beträgt bevorzugt zwischen 500 Megahertz und 300 Gigahertz.A frequency of the microwaves is preferably between 500 megahertz and 300 gigahertz.
Der Mikrowellensender ist beispielsweise durch eine Wanderfeldröhre, ein Klystron, ein Twystron oder ein Gyrotron, jeweils zum Erzeugen der Mikrowellenstrahlen, gebildet.The microwave transmitter is formed, for example, by a traveling wave tube, a klystron, a twystron or a gyrotron, in each case for generating the microwave beams.
Die Erfindung wird nun im Folgenden anhand von Figuren und weiteren Ausführungsbeispielen beschrieben. Weitere vorteilhafte Ausführungsvarianten ergeben sich aus einer Kombination der in den abhängigen Ansprüchen und in den Figuren beschriebenen Merkmalen.
-
1 zeigt ein Ausführungsbeispiel für eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Härten von Mold-Masse an einem Elektronikmodul mittels Mikrowellenstrahlen, bei dem die Mikrowellenstrahlen für Bereiche der Moldmasse mit zueinander verschiedener Dickenerstreckung bis zu einem Bauteil oder einem Schaltungsträger hin mit einer der Dickenerstreckung entsprechenden Bestrahlungsstärke bestrahlt werden kann, was durch ein der Topografie des Elektronikmoduls entsprechend ausgebildetes Strahlenfilter bewirkt werden kann.
-
1 shows an embodiment of a device and a method for curing molding compound on an electronic module by means of microwave beams, in which the microwave beams for areas of the molding compound with mutually different thicknesses up to a component or a circuit carrier can be irradiated with an irradiance corresponding to the thickness which can be achieved by a radiation filter designed to match the topography of the electronics module.
Die Haltevorrichtung
Das Elektronikmodul
Das Elektronikmodul
Die Mold-Masse
Im Strahlengang zwischen dem Sender
Das Strahlenfilter
Der Behälter, umfassend die Behälterwände
Das Fluid
Das Strahlenfilter
Der Flächenbereich
Die Mikrowellenstrahlen
Die geschwächten Mikrowellenstrahlen
Die Mikrowellenstrahlen
Die Mikrowellenstrahlen
Das Fluid
Der Fluidkreislauf umfasst eine Fluidpumpe
Die Fluidpumpe
Die Vorrichtung
Zu einem Betrieb der Vorrichtung
Die Mikrowellenstrahlen
Das in dem Strahlenfilter
Das Fluid
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant was generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturPatent literature cited
- JP 02182438 A [0002]JP 02182438 A [0002]
Claims (12)
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102019216720.9A DE102019216720A1 (en) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | Method and device for producing an electronic module |
CN202080076348.2A CN114642086A (en) | 2019-10-30 | 2020-10-21 | Method and device for producing an electronic module |
EP20796752.2A EP4052547A1 (en) | 2019-10-30 | 2020-10-21 | Method and device for producing an electronics module |
PCT/EP2020/079579 WO2021083757A1 (en) | 2019-10-30 | 2020-10-21 | Method and device for producing an electronics module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102019216720.9A DE102019216720A1 (en) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | Method and device for producing an electronic module |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102019216720A1 true DE102019216720A1 (en) | 2021-05-06 |
Family
ID=73013408
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102019216720.9A Pending DE102019216720A1 (en) | 2019-10-30 | 2019-10-30 | Method and device for producing an electronic module |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP4052547A1 (en) |
CN (1) | CN114642086A (en) |
DE (1) | DE102019216720A1 (en) |
WO (1) | WO2021083757A1 (en) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02182438A (en) * | 1989-01-06 | 1990-07-17 | Fuji Heavy Ind Ltd | Method for heat-curing of fiber reinforced plastic having conductivity by microwave |
EP1001311A1 (en) * | 1998-11-16 | 2000-05-17 | International Business Machines Corporation | Patterning device |
DE60312166T2 (en) * | 2002-07-02 | 2007-10-31 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | MASK AND A MANUFACTURING METHOD USING THIS MASK |
US7604903B1 (en) * | 2004-01-30 | 2009-10-20 | Advanced Micro Devices, Inc. | Mask having sidewall absorbers to enable the printing of finer features in nanoprint lithography (1XMASK) |
US20100190340A1 (en) * | 2009-01-29 | 2010-07-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods of forming fine patterns using a nanoimprint lithography |
US20130087951A1 (en) * | 2011-10-11 | 2013-04-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Molding Chamber Apparatus and Curing Method |
US20170259489A1 (en) * | 2014-09-18 | 2017-09-14 | Centre Technique des Industries Mécaniques | Method for hot-forming a thermoplastic material and implementation facility |
US20200116934A1 (en) * | 2018-10-16 | 2020-04-16 | Magic Leap, Inc. | Methods and apparatuses for casting polymer products |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5644837A (en) * | 1995-06-30 | 1997-07-08 | Lambda Technologies, Inc. | Process for assembling electronics using microwave irradiation |
CN100530714C (en) * | 2004-09-30 | 2009-08-19 | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 | Electrooptical device with wireless contaction |
JP2007157763A (en) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Mitsumi Electric Co Ltd | Circuit module |
EP1879294B1 (en) * | 2006-07-11 | 2010-03-10 | Balluff GmbH | Electrical device and method of producing an electrical device |
US20110266717A1 (en) * | 2008-12-30 | 2011-11-03 | Basf Se | Microwave-Assisted Setting of Shaped Ceramic/Foam Bodies |
DE102010023955A1 (en) * | 2010-06-16 | 2011-12-22 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelectronic component |
EP2736076A1 (en) * | 2012-11-23 | 2014-05-28 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Apparatus and method for manufacturing a layered product |
DE102015200219A1 (en) * | 2015-01-09 | 2016-07-14 | Robert Bosch Gmbh | Method for producing an electronic module, in particular a transmission control module |
DE102015209585A1 (en) * | 2015-05-26 | 2016-12-01 | Robert Bosch Gmbh | Tool and method for generating an electronic device |
CN105619848B (en) * | 2016-01-15 | 2018-02-09 | 中南大学 | A kind of microwave heating equipment and method |
JP6648626B2 (en) * | 2016-04-27 | 2020-02-14 | オムロン株式会社 | Electronic device and method of manufacturing the same |
US10913212B2 (en) * | 2016-11-07 | 2021-02-09 | Iftikhar Ahmad | Near-field microwave heating system and method |
-
2019
- 2019-10-30 DE DE102019216720.9A patent/DE102019216720A1/en active Pending
-
2020
- 2020-10-21 CN CN202080076348.2A patent/CN114642086A/en active Pending
- 2020-10-21 EP EP20796752.2A patent/EP4052547A1/en active Pending
- 2020-10-21 WO PCT/EP2020/079579 patent/WO2021083757A1/en unknown
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02182438A (en) * | 1989-01-06 | 1990-07-17 | Fuji Heavy Ind Ltd | Method for heat-curing of fiber reinforced plastic having conductivity by microwave |
EP1001311A1 (en) * | 1998-11-16 | 2000-05-17 | International Business Machines Corporation | Patterning device |
DE60312166T2 (en) * | 2002-07-02 | 2007-10-31 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | MASK AND A MANUFACTURING METHOD USING THIS MASK |
US7604903B1 (en) * | 2004-01-30 | 2009-10-20 | Advanced Micro Devices, Inc. | Mask having sidewall absorbers to enable the printing of finer features in nanoprint lithography (1XMASK) |
US20100190340A1 (en) * | 2009-01-29 | 2010-07-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods of forming fine patterns using a nanoimprint lithography |
US20130087951A1 (en) * | 2011-10-11 | 2013-04-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Molding Chamber Apparatus and Curing Method |
US20170259489A1 (en) * | 2014-09-18 | 2017-09-14 | Centre Technique des Industries Mécaniques | Method for hot-forming a thermoplastic material and implementation facility |
US20200116934A1 (en) * | 2018-10-16 | 2020-04-16 | Magic Leap, Inc. | Methods and apparatuses for casting polymer products |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114642086A (en) | 2022-06-17 |
WO2021083757A1 (en) | 2021-05-06 |
EP4052547A1 (en) | 2022-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3124408C2 (en) | ||
EP3655234A1 (en) | Process and apparatus for producing 3d moldings comprising a spectrum converter | |
DE102010013559A1 (en) | Illumination device i.e. headlight, for car, has light-transparent closing disk provided with absorption coating at inner side and/or outer side, where coating is adapted to additional radiation source | |
EP3917892A1 (en) | Method for producing a glass-plastic connection | |
DE102019216720A1 (en) | Method and device for producing an electronic module | |
DE102004051961A1 (en) | Device for inspecting foreign bodies in filled container comprises vibration unit for vibrating container | |
DE102008018286A1 (en) | Welding process and welding apparatus for a resin element | |
DE102014211443A1 (en) | Control unit with thermally conductive housing wall | |
DE102007017842B4 (en) | Device for activating a polymerizable mass | |
DE10106888B4 (en) | Method and device for producing a surface coating | |
DE4444789C3 (en) | Method for producing chip cards, chip card and device for carrying out the method | |
WO2015014706A1 (en) | Headlight for vehicles | |
DE102022124732A1 (en) | METHOD FOR PRODUCING AN OPTOELECTRONIC COMPONENT AND OPTOELECTRONIC COMPONENT | |
EP3305044B1 (en) | Tool and method for producing an electronic device | |
DE102016105201A1 (en) | Sensor housing and method for producing a sensor housing | |
DE102007045418A1 (en) | Method for producing a device, use of an alternating mechanical field in the manufacture of a device and device | |
DE3312538A1 (en) | METHOD FOR REMOVING CONDENSATION PRODUCTS FROM COMPONENT SURFACES | |
DE10316513B4 (en) | Continuous soldering oven and method for heating printed circuit boards in a continuous soldering oven | |
DE102011120123A1 (en) | LED-headlight i.e. front headlight, for use in motor car, has light source arranged on printed circuit board that is arranged in housing, where areas of cooling body stay in contact with liquid cooling medium provided in container | |
DE10352184A1 (en) | Apparatus for curing or drying coatings on substrates comprises lamp above substrate fitted with curved barrier immediately below it, curved reflection filters behind it and straight filters across part of light outlet | |
DE4339954A1 (en) | Car headlamp | |
DE202020003092U1 (en) | Device for manufacturing a body | |
DE102016216981A1 (en) | Camera and manufacturing process of a camera | |
EP0930104B1 (en) | Apparatus and process for curing and hardening lacquer | |
DE102020004310A1 (en) | Method and device for manufacturing a body |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R163 | Identified publications notified |