DE102019211277A1

DE102019211277A1 - Optoelektronische Messvorrichtung zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung

Info

Publication number: DE102019211277A1
Application number: DE102019211277.3A
Authority: DE
Inventors: Sergey Kudaev
Original assignee: Osram Opto Semiconductors GmbH
Current assignee: Ams Osram International GmbH
Priority date: 2019-07-30
Filing date: 2019-07-30
Publication date: 2021-02-04
Also published as: CN114207393A; US20220283027A1; DE112020003621A5; WO2021018617A1

Abstract

Bei einer optoelektronischen Messvorrichtung (1) zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung (10), mit mindestens zwei Messkanälen (M1, M2, ..., Mm), wobei ein erster der Messkanäle (M1) eine erste spektrale Empfindlichkeit aufweist und ein weiterer der Messkanäle (M2, ..., Mm) eine weitere spektrale Empfindlichkeit aufweist, die sich von der ersten spektrale Empfindlichkeit unterscheidet, werden mindestens zwei Kollimatoren (K1, K2, ..., Kk) zum Kollimieren der elektromagnetischen Strahlung (10) vor Erfassung mittels der Messkanäle (M1, ..., Mm) verwendet. Dabei verläuft durch jeden der Kollimatoren (K1, K2, ..., Kk) ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanäle (M1, M2, ..., Mm) und jeder der Messkanäle (M1, M2, ..., Mm) ist angeordnet, eine Intensität der mittels einem oder mehreren der Kollimatoren (K1, K2, ..., Kk) kollimierten elektromagnetischen Strahlung (10) zu messen.

Description

Die Erfindung betrifft eine optoelektronische Messvorrichtung zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung sowie ein zugehöriges Verfahren. Derartige optoelektronische Messvorrichtungen werden auch als Spektrometer bezeichnet.
Eine derartige optoelektronische Messvorrichtung kann mehrere Messkanäle umfassen, wobei ein erster der Messkanäle eine erste spektrale Empfindlichkeit aufweist und ein weiterer der Messkanäle eine weitere spektrale Empfindlichkeit aufweist, der sich von der ersten spektralen Empfindlichkeit unterscheidet.
Es stellt sich die Aufgabe, eine besonders empfindliche und kompakte optoelektronische Messvorrichtung zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung sowie ein entsprechendes Verfahren zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung bereitzustellen.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst eine derartige optoelektronische Messvorrichtung zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung mindestens zwei Messkanäle wobei ein erster der Messkanäle eine erste spektrale Empfindlichkeit aufweist und ein weiterer der Messkanäle eine weitere spektrale Empfindlichkeit aufweist, die sich von der ersten spektralen Empfindlichkeit unterscheidet. Weiterhin umfasst die optoelektronische Messvorrichtung mindestens zwei Kollimatoren zum Kollimieren der elektromagnetischen Strahlung.
Dabei verläuft durch jeden der Kollimatoren ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanäle. Überdies ist jeder der Messkanäle angeordnet, eine Intensität der mittels einem oder mehreren der Kollimatoren kollimierten elektromagnetische Strahlung zu messen.
Die Verwendung mehrerer Kollimatoren ermöglicht im Vergleich zur Verwendung nur eines Kollimators die Erhöhung der Empfindlichkeit der optoelektronischen Messvorrichtung bei vorgegebener Größe.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die optoelektronische Messvorrichtung mindestens 5 oder mindestens 10 oder mindestens 50 der Messkanäle.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die optoelektronische Messvorrichtung mindestens 5 oder mindestens 10 oder mindestens 50 der Kollimatoren.
Gemäß einer Ausführungsform weisen alle der Messkanäle unterschiedliche spektrale Empfindlichkeiten auf. Mit anderen Worten, die Messkanäle weisen jeweils eine spektrale Empfindlichkeit auf, die sich von den spektralen Empfindlichkeiten aller weiterer Messkanäle unterscheidet.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst mindestens einer der Kollimatoren eine Kollimationslinse und eine Aperturblende oder er besteht daraus. Besonders bevorzugt umfassen die Kollimatoren oder zumindest mehrere der Kollimatoren jeweils eine Aperturblende und eine Kollimationslinse oder bestehen daraus. Die Aperturblende kann in einem optischen Pfad vor der Kollimationslinse angeordnet sein, d.h. die Kollimationslinse ist angeordnet, eine durch die Aperturblende hindurch transmittierte elektromagnetische Strahlung zu kollimieren.
Als Aperturblende (auch Öffnungsblende genannt) wird eine Blende bezeichnet, die eine Öffnungsweite begrenzt, vorliegend die Öffnungsweite des Kollimators. Eine derartige Aperturblende besitzt eine für die elektromagnetische Strahlung undurchlässige Blendenmembran, in der mindestens eine Öffnung vorgesehen ist, durch die die elektromagnetische Strahlung hindurchtritt.
Gemäß einer Ausführungsform ist eine Blendenmembran der Aperturblende von mindestens einem der Kollimatoren monolithisch mit der Linse dieses Kollimators verbunden. Besonders bevorzugt ist bei den Kollimatoren oder zumindest bei mehreren der Kollimatoren eine Blendenmembran der Aperturblende des jeweiligen Kollimators mit der Linse dieses Kollimators monolithisch verbunden. Insbesondere kann die Blendenmembran eine Schicht auf der Linse umfassen oder daraus bestehen. Dies vereinfacht die Herstellung des Kollimators. Die Blendenmembran kann durch Beschichtung der Kollimationslinse mit der Schicht erzeugt werden.
Gemäß einer Ausführungsform umfassen die Kollimatoren oder mindestens zwei der Kollimatoren jeweils eine Kollimationslinse und eine Aperturblende, wobei die Aperturblenden der mindestens zwei Kollimatoren eine gemeinsame Blendenmembran aufweisen. Dies vereinfacht die Herstellung der Kollimatoren.
Gemäß einer Ausführungsform umfassen die Kollimatoren oder zumindest zwei der Kollimatoren jeweils Kollimationslinse und eine Aperturblende, wobei die Kollimationslinsen der Kollimatoren monolithisch ausgebildet sind. Dies vereinfacht die Herstellung der Kollimationslinsen, beispielsweise können diese gemeinsam in einem Spritzgussverfahren hergestellt werden. Überdies kann ein aus derartigen monolithischen Linsen gebildetes Linsenarray einfach positioniert und gehandhabt werden.
Gemäß einer Ausführungsform umfassen die Kollimatoren oder zumindest zwei der Kollimatoren jeweils eine Kollimationslinse und eine Aperturblende, wobei die Aperturblenden der Kollimatoren eine gemeinsame Blendenmembran aufweisen und die Kollimationslinsen der Kollimatoren monolithisch ausgebildet sind. Dabei kann die gemeinsame Blendenmembran mit den monolithisch verbundenen Kollimationslinsen monolithisch verbunden sein. Insbesondere kann die gemeinsame Blendenmembran eine Schicht auf den monolithisch verbundenen Kollimationslinsen umfassen oder daraus bestehen. Dementsprechend kann die Blendenmembran durch Beschichtung der monolithisch verbundenen Kollimationslinsen mit der Schicht erzeugt werden.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die optoelektronische Messvorrichtung überdies mindestens ein Strahlungsabsorptionselement, das zwischen zweien der Kollimatoren angeordnet ist. Dadurch kann ein Übersprechen zwischen den Kollimatoren vermieden werden und die Kollimierung verbessert werden. Idealerweise umfasst die optoelektronische Messvorrichtung k der Kollimatoren und mindestens k-1 der Strahlungsabsorptionselemente. Dann kann zwischen allen Kollimatoren ein Strahlungsabsorptionselement angeordnet werden.
Ein derartiges Strahlungsabsorptionselement ist insbesondere vorteilhaft, wenn es zwischen zwei Kollimatoren angeordnet ist, die jeweils wie zuvor beschrieben eine Kollimationslinse und eine Aperturblende umfassen. Dabei kann das Strahlungsabsorptionselement zwischen den Blendenmembranen der Aperturblenden und den (ggfs. monolithisch ausgebildeten) Kollimationslinsen angeordnet sein oder zwischen einer gemeinsamen Blendenmembran der Aperturblenden und den (ggfs. monolithisch ausgebildeten) Kollimationslinsen angeordnet sein. Alternativ oder zusätzlich kann es auch zwischen den Kollimationslinsen der zwei Kollimatoren angeordnet sein.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst zumindest einer der Messkanäle ein Strahlungsdetektionselement sowie einen Spektralfilter. Bevorzugt umfassen die oder zumindest mehrere der Messkanäle jeweils ein Strahlungsdetektionselement sowie einen Spektralfilter. Der Spektralfilter kann angeordnet sein, die elektromagnetische Strahlung vor Detektion durch das Strahlungsdetektionselement zu filtern.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die optoelektronische Messvorrichtung pro Messkanal genau einen zugeordneten Kollimator, wobei der Messkanal angeordnet ist, die mittels des jeweils zugeordneten Kollimators kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen. Beispielsweise sind die Messkanäle angeordnet, überwiegend die mittels des jeweils zugeordneten Kollimators kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen, d.h. mindestens 50 % oder 70 % oder sogar 90 % der von dem jeweiligen Messkanal erfassten elektromagnetischen Strahlung stammt von dem zugeordneten Kollimator. Auch können die Messkanäle angeordnet sein, nur die mittels des jeweils zugeordneten Kollimators kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen, d.h. 100% der von dem jeweiligen Messkanal erfassten elektromagnetischen Strahlung stammt von dem zugeordneten Kollimator.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die optoelektronische Messvorrichtung mehr Kollimatoren als Messkanäle. Das bedeutet, die optoelektronische Messvorrichtung kann mindestens zwei Messkanäle umfassen, wobei ein erster der Messkanäle eine erste spektrale Empfindlichkeit aufweist und ein weiterer der Messkanäle eine weitere spektrale Empfindlichkeit aufweist, die sich von der ersten spektralen Empfindlichkeit unterscheidet, und überdies mehr Kollimatoren zum Kollimieren der elektromagnetischen Strahlung als Messkanäle umfassen, wobei durch jeden der Kollimatoren ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanälen verläuft und jeder der Messkanäle angeordnet ist, eine Intensität der mittels einem oder mehreren der Kollimatoren kollimierten elektromagnetische Strahlung zu messen.
Gemäß einer Ausführungsform sind mehreren, vorzugsweise 2, 5 oder 25, der Messkanäle jeweils genau n Kollimatoren, wobei n eine natürliche Zahl größer oder gleich zwei ist, derart zugeordnet, dass diese Messkanäle angeordnet sind, die mittels der jeweils zugeordneten Kollimatoren kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen. Beispielsweise sind die Messkanäle angeordnet, überwiegend die mittels der zugeordneten Kollimatoren kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen, d.h. mindestens 50 % oder mindestens 70 % oder sogar mindestens 90 % der von dem jeweiligen Messkanal erfassten elektromagnetischen Strahlung stammt von den zugeordneten Kollimatoren. Auch können die Messkanäle angeordnet sein, nur die mittels der jeweils zugeordneten Kollimators kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen, d.h. 100% der von dem jeweiligen Messkanal erfassten elektromagnetischen Strahlung stammt von den zugeordneten Kollimatoren. Durch die höhere Anzahl an Kollimatoren kann die Größe der optoelektronischen Messvorrichtung weiter reduziert werden, wobei gleichzeitig einfach sichergestellt werden kann, dass die Kollimatoren die Intensität der elektromagnetischen Strahlung bei allen Messkanälen gleichartig beeinflussen.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die optoelektronische Messvorrichtung weniger Kollimatoren als Messkanäle. Das bedeutet, die optoelektronische Messvorrichtung kann mindestens zwei Kollimatoren zum Kollimieren der elektromagnetischen Strahlung umfassen und überdies mehr Messkanäle als Kollimatoren umfassen, wobei ein erster der Messkanäle eine erste spektrale Empfindlichkeit aufweist und ein weiterer der Messkanäle eine weitere spektrale Empfindlichkeit aufweist, die sich von der ersten spektralen Empfindlichkeit unterscheidet, wobei durch jeden der Kollimatoren ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanälen verläuft und jeder der Messkanäle angeordnet ist, eine Intensität der mittels einem oder mehreren der Kollimatoren kollimierten elektromagnetische Strahlung zu messen.
Gemäß einer Ausführungsform sind mehreren, vorzugsweise 2, 5 oder 20, der Kollimatoren jeweils genau n Messkanäle, wobei n eine natürliche Zahl größer oder gleich zwei ist, derart zugeordnet, dass diese Messkanäle angeordnet sind, die die mittels des jeweils zugeordneten Kollimators kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen. Beispielsweise sind die Messkanäle angeordnet, überwiegend die mittels des zugeordneten Kollimators kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen, d.h. mindestens 50 % oder mindestens 70 % oder sogar mindestens 90 % der von dem jeweiligen Messkanal erfassten elektromagnetischen Strahlung stammt von dem zugeordneten Kollimator. Auch können die Messkanäle angeordnet sein, nur die mittels des jeweils zugeordneten Kollimators kollimierte elektromagnetische Strahlung zu erfassen, d.h. 100% der von dem jeweiligen Messkanal erfassten elektromagnetischen Strahlung stammt von dem zugeordneten Kollimator. Durch die geringere Anzahl an Kollimatoren können Herstellungskosten gesenkt werden, wobei gleichzeitig einfach sichergestellt werden kann, dass die Kollimatoren die Intensität der elektromagnetischen Strahlung bei allen Messkanälen gleichartig beeinflussen.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die optoelektronische Messvorrichtung überdies mindestens ein Streuelement. Dieses kann in einem optischen Pfad vor den oder zumindest mehreren der Kollimatoren angeordnet sein. Das bedeutet, dass die Kollimatoren oder zumindest mehrere der Kollimatoren angeordnet sind, die durch das Streuelement gestreute elektromagnetische Strahlung zu kollimieren.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst die optoelektronische Messvorrichtung mindestens ein Strahlungsverteilungsmittel, das eingerichtet und angeordnet ist, eine auf die optoelektronische Messvorrichtung treffende elektromagnetischen Strahlung auf die Kollimatoren oder zumindest mehrere der Kollimatoren zu verteilen. Dabei kann es sich um das zuvor beschriebene Streuelement handeln oder das Strahlungsverteilungsmittel kann ein derartiges Streuelement umfassen. Alternativ oder zusätzlich kann das Strahlungsverteilungsmittel beispielsweise auch einen Lichtleiter umfassen oder daraus bestehen, wobei der Lichtleiter angeordnet ist, die elektromagnetische Strahlung auf die Kollimatoren zu verteilen.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst ein Verfahren zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung den Schritt des Messens der Intensität der elektromagnetischen Strahlung mittels mindestens zwei Messkanälen, wobei ein erster der Messkanäle eine erste spektrale Empfindlichkeit aufweist und ein weiterer der Messkanäle einen weitere spektrale Empfindlichkeit aufweist, die sich von der ersten spektrale Empfindlichkeit unterscheidet, und den Schritt des Kollimierens der elektromagnetischen Strahlung mittels mindestens zwei Kollimatoren vor dem Schritt des Messens der Intensität. Dabei verläuft durch jeden der Kollimatoren ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanäle und jeder der Messkanäle misst die Intensität der mittels einem oder mehreren der Kollimatoren kollimierten elektromagnetische Strahlung.
Bei dem Verfahren kann die zuvor beschriebene optoelektronische Messvorrichtung verwendet werden.
Verschiedene Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Lösung werden im Folgenden an Hand der Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen schematisch:

1: eine optoelektronische Messvorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel,
2: eine optoelektronische Messvorrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel,
3: ein Übersprechen zwischen Kollimatoren der optoelektronischen Messvorrichtung gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel,
4: eine optoelektronische Messvorrichtung gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel,
5: eine optoelektronische Messvorrichtung gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel,
6: eine optoelektronische Messvorrichtung gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel,
7: eine optoelektronische Messvorrichtung gemäß einem sechsten Ausführungsbeispiel,
8: eine optoelektronische Messvorrichtung gemäß einem siebten Ausführungsbeispiel,
9: eine optoelektronische Messvorrichtung gemäß einem achten Ausführungsbeispiel,
10: die Schritte eines Verfahrens zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung.

Eine optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel ist schematisch in 1 dargestellt. Sie umfasst ein Gehäuse 2, in dem ein erster Kollimator K₁ , ein zweiter Kollimator K₂ , ein erster Messkanal M₁ und ein zweiter Messkanal M₂ angeordnet sind. Der erste Kollimator K₁ umfasst eine erste Aperturblende A₁ und eine erste Kollmationslinse L₁ . Der zweite Kollimator K₂ umfasst dementsprechend eine zweite Aperturblende A₂ und eine zweite Kollmationslinse L₂ . Die erste Aperturblende A₁ umfasst eine erste Blendenmembran B₁ und die zweite Aperturblende A₂ umfasst eine zweite Blendenmembran B₂ . Die erste Aperturblende A₁ ist in einem optischen Pfad vor der ersten Kollimationslinse L₁ angeordnet, d.h. die elektromagnetische Strahlung 10 wird erst durch die erste Aperturblende A₁ hindurch transmittiert und dann durch die erste Kollimationslinse L₁ . Dies gilt analog auch für die zweite Aperturblende A₁ und die zweite Kollimationslinse L₂ .
Zwischen den Blendenmembranen B₁ , B₂ und zwischen den Kollimationslinsen L₁ , L₂ ist jeweils ein Gehäuseabschnitt 2a angeordnet, der als Halter für die Blendenmembranen B₁ , B₂ und die Kollimationslinsen L₁ , L₂ dient.
Der erste Messkanal M₁ umfasst einen ersten Spektralfilter F₁ sowie ein erstes Strahlungsdetektionselement D₁ . Analog dazu umfasst der zweite Messkanal M₂ einen zweiten Spektralfilter F₂ sowie ein zweites Strahlungsdetektionselement D₂ .
Detektoren haben einen sensitiven Spektralbereich. Dies ist der Wellenlängenbereich, in dem elektromagnetische Strahlung detektiert wird. Ein Detektor kann eine wellenlängenabhängige Empfindlichkeit, auch spektrale Empfindlichkeit genannt, haben, so dass unterschiedliche Wellenlängen gleicher Intensität unterschiedlich starke Detektorsignale, z.B. Spannungen oder Ströme, generieren.
Die beiden Spektralfilter F₁ und F₂ weisen unterschiedliche Filtercharakteristiken auf, so dass die Messkanäle M₁ und M₂ unterschiedliche spektrale Empfindlichkeiten aufweisen. Dementsprechend kann die Intensität der elektromagnetischen Strahlung 10 mit der optoelektronischen Messvorrichtung 1 frequenzaufgelöst gemessen werden.
Durch die Kollimierung der elektromagnetischen Strahlung 10 kann sichergestellt werden, dass die Messkanäle M₁ und M₂ von einem Einfallswinkel der elektromagnetischen Strahlung 10 im Wesentlichen unabhängige spektrale Empfindlichkeiten aufweisen, selbst wenn die Filtercharakteristiken der Spektralfilter F₁ , F₂ eine starke Winkelabhängigkeit aufweisen.
Bei den Spektralfiltern F₁ , F₂ kann es sich insbesondere um Bandpassfilter handeln. Die Filtercharakteristiken von Bandpassfiltern können eine starke Winkelabhängigkeit aufweisen, insbesondere wenn Mehrschichtinterferenzfilter als Bandpassfilter verwendet werden.
Die Strahlungsdetektionselemente D₁ und D₂ sind Bestandteil eines Detektorarrays 4. Vor den Kollimatoren K₁ , K₂ ist ein Streuelement 3 zum Streuen der elektromagnetischen Strahlung 10 angeordnet. Bei den Strahlungsdetektionselementen D1, D2 kann es sich um baugleiche Siliziumphotodioden handeln.
Die optoelektronische Messvorrichtung 1 weist mehrere Kollimatoren K₁ und K₂ auf. Sie besitzt pro Messkanal M₁ , M₂ genau einen Kollimator K₁ , K₂ . Die Kollimatoren K₁ und K₂ sind nicht „optisch in Reihe geschaltet“, d.h. die elektromagnetische Strahlung 10 passiert nicht erst durch einen der Kollimatoren K₁ ,K₂ und dann durch den anderen der Kollimatoren K₁ , K₂ . Vielmehr sind die Kollimatoren K₁ , K₂ „optisch parallel geschaltet“. Damit ist nicht gemeint, dass die Kollimatoren K₁ , K₂ parallel ausgerichtet sein müssen, sondern, dass durch jeden der Kollimatoren K₁ , K₂ ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanäle M₁ , M₂ verläuft. Dementsprechend steht sowohl die durch den ersten Kollimator K₁ durchgelassene elektromagnetische Strahlung 10 als auch die durch den zweiten Kollimator K₂ durchgelassene elektromagnetische Strahlung 10 zur Messung zur Verfügung.
Im Vergleich zu einer optoelektronischen Messvorrichtung mit einem Kollimator können dadurch Kollimatoren K₁ , K₂ mit einer geringeren Höhe verwendet werden. Die Höhe der optoelektronischen Messvorrichtung 1 ergibt sich als Summe der Fokallänge f der Kollimationslinsen L₁ , L₂ , der Dicke t der Linsen und der Arbeitsweite a, die gleich der Entfernung zwischen den Kollimationslinsen L₁ , L₂ und den Spektralfiltern F₁ , F₂ ist und gleich Null sein kann. Dementsprechend ist die Höhe der optoelektronischen Messvorrichtung 1 durch die Fokallänge f der Linsen und die Dicke t der Linsen L₁ , L₂ begrenzt.
Bei Verwendung von nur einem Kollimator müsste man, um dieselbe Intensität elektromagnetischer Strahlung mit der optoelektronische Messvorrichtung wie in dem vorliegenden ersten Ausführungsbeispiel zu erfassen, die Aperturblende größer wählen als im vorliegenden Ausführungsbeispiel. Um in einem solchen Fall dieselbe Strahldivergenz nach den Kollimatoren wie in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel zu erhalten, müsste man die Fokallänge der Linse erhöhen und auch die Linse vergrößern, wodurch diese auch dicker wird. Dementsprechend wird durch die Verwendung mehrerer Kollimatoren K₁ ,K₂ im Vergleich zu der Verwendung von nur einem Kollimator gemäß dem Stand der Technik die Höhe (Fokallänge f und Dicke t) der optoelektronischen Messvorrichtung 1 verringert. Ebenfalls kann durch die Verwendung mehrerer Kollimatoren K₁ , K₂ eine Empfindlichkeit der optoelektronischen Messvorrichtung 1 erhöht werden, indem mehr elektromagnetische Strahlung 10 zu den Messkanälen M₁ , M₂ gebracht wird.
In 2 ist eine optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel dargestellt. Diese ist im Wesentlichen analog zu der gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel aufgebaut. Statt zwei Messkanälen M₁ , M₂ besitzt diese allerdings m Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m , wobei m eine natürliche Zahl größer oder gleich zwei ist, vorliegend sind 9 Messkanäle dargestellt.
Überdies besitzt sie anstatt zwei Kollimatoren K₁ , K₂ k Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k , wobei k gleich m ist, d.h. die optoelektronische Vorrichtung hat genauso viele Kollimatoren wie Messkanäle. Vorliegend sind neun Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k dargestellt.
Alle der Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m weisen unterschiedliche spektrale Empfindlichkeiten auf. Mit anderen Worten, die Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m weisen jeweils eine spektrale Empfindlichkeit auf, die sich von der spektralen Empfindlichkeit aller weiterer Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m unterscheidet.
Folglich kann mit der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel bei Verwendung von mehr als 2 Messkanälen eine frequenzaufgelöste Messung der Intensität der elektromagnetischen Strahlung 10 mit genauerer spektraler Auflösung durchgeführt werden als mit der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel. Bei Verwendung von mehr als 2 Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k kann dies ohne Erhöhung der Höhe (insbesondere Fokallänge f und Dicke t) der optoelektronischen Messvorrichtung 1 erfolgen.
Wie erwähnt, kann die optoelektronische Messvorrichtung 1 alternativ zu den neun dargestellten Messkanälen und Kollimatoren auch eine davon abweichende Anzahl m an Messkanälen M und eine davon abweichende Anzahl k an Kollimatoren K aufweisen. Beispielsweise kann sie mindestens 5 oder mindestens 10 oder mindestens 50 Messkanäle M und Kollimatoren K aufweisen.
Die Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., Kg weisen im Unterschied zu dem ersten Ausführungsbeispiel, bei dem zwei Blendenmembranen B₁ , B₂ vorhanden sind, zwischen denen ein Gehäuseabschnitt 2a angeordnet ist, der als Halter für die Blendenmembranen B₁ , B₂ dient, eine gemeinsame Blendenmembran B auf, und der dazwischenliegende Gehäuseabschnitt 2a entfällt.
Die Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k sind monolithisch ausgebildet, d.h. aus einem Stück bestehend ausgebildet. Beispielsweise können diese gemeinsam in einem Spritzgussverfahren hergestellt sein. Ein aus derartigen monolithischen Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k gebildetes Linsenarray kann einfach positioniert und gehandhabt werden.
Zwischen den Kollimationslinsen L₁ , L₂ ist dementsprechend im Gegensatz zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel kein Gehäuseabschnitt 2a angeordnet.
Wie in 3 dargestellt, kann es bei der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß und zweiten Ausführungsbeispiel trotz der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k dazu kommen, dass Licht schräg auf die Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m trifft. Demnach kann elektromagnetische Strahlung 10, die besonders schräg aus einer der Aperturblenden A_1, A₂ , ..., A_k austritt, auf die Kollimationslinse L₁ , L₂ , ..., L_k eines anderen Kollimators K₁ , K₂ , ..., K_k treffen. In 3 ist dargestellt, wie elektromagnetische Strahlung 10, die besonders schräg aus der ersten Aperturblende A₁ austritt auf die zweite Kollimationslinse L₂ trifft und dementsprechend schräg und unkollimiert auf die Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m trifft. Dasselbe gilt für die optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß und ersten Ausführungsbeispiel, die allerdings in 3 nicht dargestellt ist.
Um ein derartiges Übersprechen zwischen den Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k zu verhindern, kann zusätzlich mindestens ein Strahlungsabsorptionselement 5 zwischen den Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k angeordnet sein. Die in 4 dargestellte optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen analog zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel aufgebaut. Im Unterschied zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel weist sie jedoch derartige Strahlungsabsorptionselemente 5 zwischen den Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k auf. Dabei ist zwischen allen k Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k ein derartiges Strahlungsabsorptionselement 5 angeordnet. Somit umfasst die optoelektronische Messvorrichtung k-1 der Strahlungsabsorptionselemente 5. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Strahlungsabsorptionselemente 5 zwischen der gemeinsamen Blendenmembran B der Aperturblenden A_1, A₂ , ..., A_k und den Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k angeordnet.
Die in 5 dargestellte optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen analog zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel aufgebaut. Im Unterschied zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel ist allerdings die gemeinsame Blendenmembran B der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k eine Schicht auf dem durch die monolithisch miteinander verbundenen Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k gebildeten Linsenarray. Dementsprechend ist sie monolithisch mit den Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k verbunden. Dabei sind die Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k vorzugsweise derart ausgestaltet, dass sich deren Brennpunkt in der Ebene der Blendenmembran B befindet.
Die in 5 dargestellte optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel besitzt im Gegensatz zu der in optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel keine Strahlungsabsorptionselemente 5. Alternativ dazu können Strahlungsabsorptionselemente 5 allerdings auch bei der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem vierten Ausführungsbeispiel vorgesehen sein, beispielsweise zwischen den Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k .
Die zuvor diskutierten optoelektronischen Messvorrichtungen 1 gemäß den Ausführungsbeispielen eins bis vier umfassen pro Messkanal M₁ , M₂ , ..., M_m genau einen zugeordneten Kollimator K₁ , K₂ , ..., K_k . Dabei ist der Messkanal M₁ , M₂ , ..., M_m angeordnet, überwiegend die mittels des jeweils zugeordneten Kollimators K₁ , K₂ , ..., K_k kollimierte elektromagnetische Strahlung 10 zu erfassen, d.h. mindestens 50 % der von dem jeweiligen Messkanal M₁ , M₂ , ..., M_m erfassten elektromagnetischen Strahlung 10 stammt von dem zugeordneten Kollimator K₁ , K₂ , ..., K_k . Dementsprechend umfasst die optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß den Ausführungsbeispielen eins bis vier genauso viele Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m wie Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k .
Die in 6 dargestellte optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen analog zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel aufgebaut. Im Unterscheid zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel umfasst die optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß dem fünften Ausführungsbeispiel k der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k und m der Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m , die angeordnet sind, eine Intensität der mittels der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k kollimierten elektromagnetischen Strahlung 10 zu messen, wobei k und m natürliche Zahlen sind und k > m ist und m ≥ 2 ist. Vorliegend sind 9 Kollimatoren und 8 Messkanäle dargestellt.
Die in 7 dargestellte optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß einem sechsten Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen analog zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel aufgebaut. Im Unterschied zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel sind bei der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel jedem Messkanal M₁ , M₂ , ..., M_m genau 2 Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k derart zugeordnet, dass die Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m angeordnet sind, überwiegend die mittels der zugeordneten Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k kollimierte elektromagnetische Strahlung 10 zu erfassen, d.h. mindestens 50% der von dem jeweiligen Messkanal M₁ , M₂ , ..., M_m erfassten elektromagnetischen Strahlung 10 stammt von den zugeordneten Kollimatoren K₁ ,K₂, ..., K_k .
Alternativ dazu können den mindestens zwei Messkanälen M₁ , M₂ , ..., M_m jeweils genau n Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k zugeordnet sein, wobei n eine natürliche Zahl größer als zwei ist.
Durch die Verwendung mehrerer Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k pro Messkanal M₁ , M₂ , ..., M_m gemäß den fünften und sechsten Ausführungsbeispielen, kann die Höhe der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k (Fokallänge f und Linsendicke t) weiter reduziert werden. Überdies kann dadurch die Empfindlichkeit der optoelektronischen Messvorrichtung 1 erhöht werden, da mehr elektromagnetische Strahlung 10 zu den Messkanälen M₁ , M₂ , ..., M_m geleitet werden kann. Durch die Zuordnung von einer festen Anzahl von Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k zu jedem Messkanal M₁ , M₂ , ..., M_m gemäß dem sechsten Ausführungsbeispiel können die Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k relativ zu den Messkanälen M₁ , M₂ , ..., M_m für alle Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m gleichartig ausgerichtet werden, um auf einfache Art und Weise sicherzustellen, dass an allen Messkanälen M₁ , M₂ , ..., M_m dieselbe Intensität elektromagnetischer Strahlung 10 vorhanden ist.
Die in 8 dargestellte optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß einem siebten Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen analog zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel aufgebaut. Im Unterschied zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel umfasst die optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß dem siebten Ausführungsbeispiel k der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k und m der Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m , die angeordnet sind, eine Intensität der mittels der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k kollimierten elektromagnetische Strahlung 10 zu messen, wobei k < m und k ≥ 2 ist. Vorliegend sind 9 Kollimatoren und 10 Messkanäle dargestellt.
Die in 9 dargestellte optoelektronische Messvorrichtung 1 gemäß einem achten Ausführungsbeispiel ist im Wesentlichen analog zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel aufgebaut. Im Unterscheid zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel sind bei der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem achten Ausführungsbeispiel jedem Kollimator K₁ , K₂ , ..., K_k genau zwei Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m derart zugeordnet, dass die Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m angeordnet sind, überwiegend die mittels der beiden zugeordneten Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k kollimierte elektromagnetische Strahlung 10 zu erfassen, d.h. mindestens 50% der von dem jeweiligen Messkanal M₁ , M₂ , ..., M_m erfassten elektromagnetischen Strahlung 10 stammt von den zugeordneten Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k .
Alternativ dazu können den mindestens zwei Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k jeweils genau n Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m zugeordnet sein, wobei n eine natürliche Zahl größer als zwei ist.
Durch die Verwendung mehrerer Messkanäle M₁ , M₂ , ..., M_m pro Kollimator K₁ , K₂ , ..., K_k gemäß den siebten und achten Ausführungsbeispielen, können im Vergleich zu der optoelektronischen Messvorrichtung 1 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k eingespart werden und dadurch Herstellungskosten gesenkt werden. Durch die Zuordnung von einer festen Anzahl von Messkanälen M₁ , M₂ , ..., M_m zu jedem Kollimator K₁ , K₂ , ..., K_k gemäß dem achten Ausführungsbeispiel können die Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k relativ zu den Messkanälen M₁ , M₂ , ..., M_m derart ausgerichtet werden, dass an allen Messkanälen M₁ , M₂ , ..., M_m dieselbe Intensität elektromagnetischer Strahlung 10 vorhanden ist.
Die zuvor beschriebenen optoelektronischen Messvorrichtungen 1 gemäß den fünften bis achten Ausführungsbeispielen können insbesondere auch derart abgewandelt werden, dass, wie im Zusammenhang mit dem dritten Ausführungsbeispiel beschrieben, Absorptionselemente 5 zwischen den Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k angeordnet werden. Überdies kann die Blendenmembran B der Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k , wie im Zusammenhang mit dem vierten Ausführungsbeispiel beschrieben, eine Schicht auf den Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k umfassen oder daraus bestehen.
Die zuvor beschriebenen optoelektronischen Messvorrichtungen 1 gemäß den fünften bis achten Ausführungsbeispielen können analog zu den zweiten bis vierten Ausführungsbeispielen mindestens 5 oder mindestens 10 oder mindestens 50 Messkanäle M aufweisen. Ebenso können sie mindestens 5 oder mindestens 10 oder mindestens 50 Kollimatoren K aufweisen.
Die zuvor beschriebenen optoelektronischen Messvorrichtungen 1 gemäß den zweiten bis achten Ausführungsbeispielen können insbesondere auch derart abgewandelt werden, dass, wie im Zusammenhang mit dem ersten Ausführungsbeispiel beschrieben, die Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k nicht monolithisch miteinander verbunden sind. Überdies können sie auch derart abgewandelt werden, dass die Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k keine gemeinsame Blendenmembran B aufweisen, sondern jeder Kollimator K₁ , K₂ , ..., K_k eine eigene Blendenmembran B aufweist.
Bei allen Ausführungsbeispielen können die im jeweiligen Ausführungsbeispiel verwendeten Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k unterschiedliche optische Eigenschaften haben. Vorzugsweise haben sie identische optische Eigenschaften. Ebenfalls können die Kollimatoren K₁ , K₂ , ..., K_k eines jeweiligen Ausführungsbeispiels identische optische Eigenschaften haben. Die Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k können bei allen Ausführungsbeispielen Glas und/oder Kunststoff umfassen oder aus Glas bestehen oder aus Kunststoff bestehen. Bei allen Ausführungsbeispielen sind die Kollimationslinsen L₁ , L₂ , ..., L_k für die zu messende elektromagnetische Strahlung 10 transparent.
In 10 ist ein Verfahren zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung 10 dargestellt.
Es umfasst:

S0: „Start“,
S1: „Kollimieren der elektromagnetischen Strahlung (10) mittels mindestens zwei Kollimatoren (K₁ , K₂ , ..., K_k )‟,
S2: „Messen der Intensität der elektromagnetischen Strahlung (10) mittels mindestens zwei Messkanälen“,
SE: „Ende“.

Der Schritt S2 wir nach dem Schritt S1 ausgeführt. Bei dem Schritt S2 weist ein erster der Messkanäle (M₁ ) eine erste spektrale Empfindlichkeit auf und ein weiterer der Messkanäle (M₂ , ..., M_m ) eine weitere spektrale Empfindlichkeit auf, die sich von der ersten spektralen Empfindlichkeit unterscheidet.
Die Schritte S1 und S2 werden derart ausgeführt, dass durch jeden der Kollimatoren (K₁ , K₂ , ..., K_k ) ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanäle (M₁ , M₂ , ..., M_m ) verläuft und jeder der Messkanäle (M₁ , M₂ , ..., M_m ) die Intensität der mittels einem oder mehreren der Kollimatoren (K₁ , K₂ , ..., K_k ) kollimierten elektromagnetische Strahlung (10) misst.
Bei dem Verfahren kann eine optoelektronische Messvorrichtung (1) gemäß einem der zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen verwendet werden.
Bezugszeichenliste

1: optoelektronische Messvorrichtung
2: Gehäuse
2a: Gehäuseabschnitt
3: Streuelement
4: Detektorarray
5: Strahlungsabsorptionselemente
10: elektromagnetische Strahlung
K₁,K₂, ..., K_k: Kollimator 1, Kollimator 2, ..., Kollimator k
A_1, A₂, ..., A_k: Aperturblende 1, Aperturblende 2, ..., Aperturblende k
B₁, B₂: Blendenmembran 1, Blendenmembran 2
B: gemeinsame Blendenmembran
L₁, L₂, ..., L_k: Kollimationslinse 1, Kollimationslinse 2, ..., Kollimationslinse k
M₁, M₂, ..., M_m: Messkanal 1, Messkanal 2, ..., Messkanal m
D₁, D₂, ..., D_m: Strahlungsdetektionselement 1, Strahlungsdetektionselement 2, ..., Strahlungsdetektionselement m
F₁, F₂, ..., F_m: Spektralfilter 1, Spektralfilter 2, ..., Spektralfilter m
f: Fokallänge
t: Dicke
a: Arbeitsweite

Claims

Optoelektronische Messvorrichtung (1) zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung (10), umfassend mindestens zwei Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m), wobei ein erster der Messkanäle (M₁) eine erste spektrale Empfindlichkeit aufweist und ein weiterer der Messkanäle (M₂, ..., M_m) eine weitere spektrale Empfindlichkeit aufweist, die sich von der ersten spektralen Empfindlichkeit unterscheidet, dadurch gekennzeichnet, dass die optoelektronische Messvorrichtung (1) weiterhin mindestens zwei Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) zum Kollimieren der elektromagnetischen Strahlung (10) umfasst, wobei durch jeden der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) verläuft und jeder der Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) angeordnet ist, eine Intensität der mittels einem oder mehreren der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) kollimierten elektromagnetische Strahlung (10) zu messen.
Optoelektronische Messvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) eine Kollimationslinse (L₁, L₂, ..., L_k) und eine Aperturblende (A_1, A₂, ..., A_k) umfasst.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Blendenmembran (B, B₁, B₂) der Aperturblende (A_1, A₂, ..., A_k) mit der Kollimationslinse (L₁, L₂, ..., L_k) monolithisch verbunden ist, wobei die Blendenmembran (B) vorzugsweise eine Schicht auf der Kollimationslinse (L₁, L₂, ..., L_k) umfasst.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) jeweils eine Kollimationslinse (L₁, L₂, ..., L_k) und eine Aperturblende (A_1, A₂, ..., A_k) umfassen, wobei die Aperturblenden (A_1, A₂, ..., A_k) eine gemeinsame Blendenmembran (B) aufweisen.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) jeweils eine Kollimationslinse (L₁, L₂, ..., L_k) und eine Aperturblende (A_1, A₂, ..., A_k) umfassen, wobei die Kollimationslinsen (L₁, L₂, ..., L_k) monolithisch verbunden sind.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Aperturblenden (A_1, A₂, ...A_k) eine gemeinsame Blendenmembran (B) aufweisen, die eine Schicht auf den monolithisch verbundenen Kollimationslinsen (L₁, L₂, ..., L_k) umfasst.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die optoelektronische Messvorrichtung (1) weiterhin mindestens ein Strahlungsabsorptionselement (5) umfasst, das zwischen zweien der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) angeordnet ist.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) ein Strahlungsdetektionselement (D₁, D₂, ..., D_m) sowie einen Spektralfilter (F₁, F₂, ..., F_m) umfasst.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die optoelektronische Messvorrichtung (1) mehr Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) als Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) umfasst.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehreren der Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) jeweils genau n Kollimatoren, wobei n eine natürliche Zahl größer oder gleich zwei ist, derart zugeordnet sind, dass diese Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) angeordnet sind, die mittels der jeweils zugeordneten Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) kollimierte elektromagnetische Strahlung (10) zu erfassen.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die optoelektronische Messvorrichtung (1) weniger Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) als Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) umfasst.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass mehreren der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) jeweils genau n Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m), wobei n eine natürliche Zahl größer oder gleich zwei ist, derart zugeordnet sind, dass diese Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) angeordnet sind, die mittels des jeweils zugeordneten Kollimators (K₁, K₂, ..., K_k) kollimierte elektromagnetische Strahlung (10) zu erfassen.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die optoelektronische Messvorrichtung (1) pro Messkanal genau einen zugeordneten Kollimator (K₁, K₂, ..., K_k) umfasst, wobei der Messkanal (M₁, M₂, ..., M_m) angeordnet ist, die mittels des jeweils zugeordneten Kollimators (K₁, K₂, ..., K_k) kollimierte elektromagnetische Strahlung (10) zu erfassen.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die optoelektronische Messvorrichtung (1) mindestens 5 oder mindestens 10 oder mindestens 50 Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) aufweist oder mindestens 5 oder mindestens 10 oder mindestens 50 Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) aufweist.
Optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die optoelektronische Messvorrichtung (1) ein Strahlungsverteilungsmittel (3) umfasst, das eingerichtet und angeordnet ist, die elektromagnetische Strahlung (10) auf die Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) zu verteilen.
Verfahren zur frequenzaufgelösten Messung einer Intensität einer elektromagnetischen Strahlung (10) umfassend den Schritt: - Messen (S2) der Intensität der elektromagnetischen Strahlung (10) mittels mindestens zwei Messkanälen (M₁, M₂, ..., M_m), wobei ein erster der Messkanäle (M₁) eine erste spektrale Empfindlichkeit aufweist und ein weiterer der Messkanäle (M₂, ..., Mm) eine weitere spektrale Empfindlichkeit aufweist, die sich von der ersten spektralen Empfindlichkeit unterscheidet, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren weiterhin den Schritt umfasst des: - Kollimierens (S1) der elektromagnetischen Strahlung (10) mittels mindestens zweier Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) vor dem Schritt des Messens (S2) der Intensität, wobei durch jeden der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) ein separater optischer Pfad zu einem oder mehreren der Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) verläuft und jeder der Messkanäle (M₁, M₂, ..., M_m) die Intensität der mittels einem oder mehreren der Kollimatoren (K₁, K₂, ..., K_k) kollimierten elektromagnetischen Strahlung (10) misst.
Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass eine optoelektronische Messvorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 15 zu frequenzaufgelösten Messung der Intensität der elektromagnetischen Strahlung (10) verwendet wird.