DE102019201347B3

DE102019201347B3 - Herstellung von metallischen Leiterbahnen an Glas

Info

Publication number: DE102019201347B3
Application number: DE102019201347.3A
Authority: DE
Inventors: Robin Krüger; Bernd Rösener; Oktavia Ostermann; Malte Schulz-Ruhtenberg
Original assignee: LPKF Laser and Electronics AG
Current assignee: LPKF Laser and Electronics AG
Priority date: 2019-02-01
Filing date: 2019-02-01
Publication date: 2020-06-18
Anticipated expiration: 2039-02-02
Also published as: WO2020157153A1

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Glasträgern mit Leiterbahnen aus Metall. Die Glasträger weisen Ausnehmungen auf, die Mikrostrukturen bilden, wobei in den Ausnehmungen Metall angeordnet ist und auf der Oberfläche des Glasträgers, von der sich die Ausnehmungen in das Volumen des Glasträgers erstrecken, im Wesentlichen kein Metall vorliegt

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von metallischen Leiterbahnen an Glas, insbesondere in Ausnehmungen, die in dem Glas gebildet sind, bzw. ein Verfahren zur Herstellung von Glasträgern mit Leiterbahnen aus Metall, die insbesondere in Ausnehmungen der Glasträger angeordnet sind. Das Glas, vorliegend Glasträger genannt, weist Ausnehmungen auf, die Mikrostrukturen bilden, wobei in den Ausnehmungen Metall angeordnet ist und auf der Oberfläche des Glasträgers, von der sich die Ausnehmungen in das Volumen des Glasträgers erstrecken, im Wesentlichen kein Metall vorliegt.
Ein Vorteil der Erfindung liegt darin, dass Metall nicht ortsselektiv, sondern durch vollflächiges Beschichten des Glasträgers erfolgen kann und ein einfaches Abtragen von Metall in Bereichen außerhalb gewünschter Leiterbahnen möglich ist.
Stand der Technik
Die DE 10 2015 117 558 A1 beschreibt ein Verfahren zur selektiven Metallisierung, das Unterschiede in der Haftfestigkeit nutzt.
Die US2008/0005899 A1 beschreibt das Ausbilden von Ausnehmungen in Glas durch Nassätzen oder Trockenätzen, vorzugsweise Sandstrahlen, und dass ein Bereich des Glasträgers mit einem Alkylsilan beschichtet, dann mit UV belichtet wird und anschließend darauf leitfähige Paste, die ein zum Alkylsilan affines Lösungsmittel enthält, aufgebracht wird. Nach dem Erwärmen des Glases mit der Paste in den Ausnehmungen kann das Alkylsilan entfernt sein und sich aus der Paste ein Leiter mit einem Spalt zur Ausnehmung bilden.
Die KR 20050038018 A beschreibt nach einer Computerübersetzung das Bohren von Löchern in einen Träger, der Glas sein kann, mit anschließendem Einbetten eines Leiters in jedes Loch des Trägers durch Vibrieren des Trägers. Der Leiter kann aus Metallpartikeln erzeugt werden, die die Löcher füllen und anschließend entfernt werden, wobei anschließend eine Oberfläche des Trägers poliert wird, um die Leiter in den Löchern freizulegen.
Aufgabe der Erfindung
Der Erfindung stellt sich die Aufgabe, ein alternatives Verfahren und damit erhältliche alternative Glasträger bereitzustellen. Bevorzugt soll das Verfahren eine feste Verbindung des Metalls mit dem Glasträger herstellen. Weiter bevorzugt soll ein selektiver Auftrag von Metall auf den Glasträger vermieden werden.
Beschreibung der Erfindung
Die Erfindung löst die Aufgabe mit den Merkmalen der Ansprüche und insbesondere mittels eines Verfahrens, das die Schritte

1. Bereitstellen eines Glasträgers, der Ausnehmungen aufweistst, durch Bestrahlen eines ursprünglichen Glasträgers mit Laserimpulsen an den Stellen, an denen Ausnehmungen erzeugt werden sollen, und anschließendes Ätzen dieses Glasträgers, wodurch sich die Ausnehmungen in dem Glasträger bilden,
2. Kontaktieren des Glasträgers mit einer Silanverbindung,
3. Erwärmen des Glasträgers auf eine Temperatur, bei der sich die Silanverbindung mit dem Glasträger verbindet,
4. vollflächiges Auftragen von Metall auf den Glasträger,
5. Abtragen des Metalls, das auf der Oberfläche des Glasträgers liegt, von der sich die Ausnehmungen erstrecken,
6. Erwärmen des Glasträgers auf eine Temperatur, bei der das Metall eine Verbindung mit dem Silan bildet,
7. optional Verstärken der Metallschicht, die in den Ausnehmung angeordnet ist, z.B. durch Metallanlagerung aus einem chemischen Bad, bevorzugt galvanischen Bad, aufweist oder daraus besteht.

Die Silanverbindung weist bevorzugt eine Mercaptogruppe, eine Amingruppe, Epoxygruppe oder eine Carbonsäuregruppe auf. Die Silanverbindung kann z.B. aus Mercaptosilan, Aminosilan, Epoxysilan, Tetraethylorthosilikat (Tetraethoxysilan), anderen Silanen und Mischungen von zumindest zweien dieser ausgewählt sein, z.B. in einem Lösungsmittel.
Der Glasträger kann dadurch mit der Silanverbindung kontaktiert werden, dass der Glasträger vollflächig mit der Silanverbindung kontaktiert wird, z.B. durch Eintauchen in oder Besprühen mit der Silanverbindung. Bevorzugt wird der Glasträger dadurch mit der Silanverbindung kontaktiert, dass diese in einen Abschnitt der Ausnehmungen eingebracht wird. Die Ausnehmungen können einen schalenförmigen Bereich umfassen, der durch Ausnehmungen in Form von Kanälen mit den Ausnehmungen verbunden ist, insbesondere durch Kanäle mit allen Ausnehmungen verbunden ist, in denen metallische Leiterbahnen erzeugt werden sollen. In Schritt 2 kann dann die Silanverbindung in den schalenförmigen Bereich der Ausnehmungen eingebracht werden, z.B. mittels einer Kanüle oder mittels einer darauf ausgerichteten Düse, und die Silanverbindung verteilt sich in den mit ihr verbundenen Ausnehmungen, auch unter der Wirkung von Kapillarkräften, die in den Ausnehmungen wirken. Alternativ kann der Glasträger durch ein Druckverfahren mit der Silanverbindung kontaktiert werden, wobei das Druckverfahren bevorzugt eingerichtet ist, die Silanverbindung nur in den Bereichen aufzutragen, in denen die Ausnehmungen angeordnet sind.
Das Verfahren hat den Vorteil, eine starke Verbindung zwischen dem Glasträger und dem Metall, das Leiterbahnen bildet, zu erzeugen.
Die Ausnehmungen, die der Glasträger aufweist, erstrecken sich von der Oberfläche des Glasträgers in dessen Volumen und bilden in dem Glasträger Mikrostrukturen aus Ausnehmungen.
Die Ausnehmungen laufen optional durch die Dicke des Glasträgers und sind auf beiden gegenüberliegenden Oberflächen des Glasträgers offen, um z.B. Leitungen durch den Glasträger hindurch zu bilden. Die Ausnehmungen zeichnen sich bevorzugt dadurch aus, dass sie einen zumindest abschnittsweise zulaufenden Querschnitt aufweisen, bevorzugt einen Querschnitt, der V-förmig einen sacklochartigen Kanal in dem Glasträger bildet oder sich V-förmig durch den Glasträger erstreckt, jeweils optional mit unregelmäßig zulaufenden, bevorzugter mit gleichmäßig, insbesondere mit zwischen den Oberflächen des Glasträgers leicht konvex verlaufenden Innenflächen oder mit linearer Steigung bzw. gradlinig verlaufenden Innenflächen. Optional sind die Ausnehmungen mit ihrer Mittelachse, die eine Mittelebene sein kann, in einem Winkel von bis zu 60°, bis 45° oder bis 30° oder bis 10° zu den Oberflächen des Glasträgers geneigt angeordnet, bevorzugt sind die Ausnehmungen mit ihrer Mittelachse, die eine Mittelebene sein kann, rechtwinklig zu den Oberflächen des Glasträgers angeordnet. Generell bevorzugt haben die Ausnehmungen zu ihrer Mittelachse, die, z.B. bei sich entlang des Glasträgers kanalartig erstreckenden Ausnehmungen, eine Mittelebene sein kann, symmetrisch verlaufende Innenwände. Die Ausnehmungen können zu ihrer Mittelachse rotationssymmetrisch sein, z.B. kegelstumpfförmig, oder sich als zu einer Oberfläche des Glasträgers offener Kanal entlang der Mittelebene ihres Querschnitts, bzw. entlang des Glasträgers, erstrecken, wobei ihre Innenwände bevorzugt symmetrisch zur Mittelebene sind.
Die Glasträger weisen optional Ausnehmungen auf, die jeweils zumindest eine Hinterschneidung aufweisen. Die Ausnehmungen können sich von der Oberfläche jedes Glasträgers in dessen Innenvolumen erstrecken und Sacklöcher bilden, bevorzugt sind die Ausnehmungen durch jeden Glasträger durchgehende Ausnehmungen. Durchgehende Ausnehmungen sind generell solche, die sich über den vollständigen Abstand zwischen gegenüberliegenden Oberflächen des Glasträgers erstrecken, wobei ihre Querschnitte jeweils in den Ebenen der gegenüberliegenden Oberflächen des Glasträgers offen sind.
Der Glasträger, der Ausnehmungen aufweist, wird erfindungsgemäß dadurch bereitgestellt, dass ein Glasträger mit Laserimpulsen an den Stellen behandelt wird, an denen Ausnehmungen erzeugt werden sollen, und anschließend der Glasträger geätzt wird. Denn Laserimpulse erzeugen Modifikationen, z.B. strukturelle Veränderungen, im Glasträger, die beim anschließenden Ätzen schneller aufgelöst werden, als nicht laserbestrahlte Bereiche. Für Glasträger sind Laserimpulse mit einer Wellenlänge geeignet, bei der der Glasträger eine hohe Transmission aufweist, beispielsweise eine Wellenlänge von 1064 nm, z.B. mit Impulslängen von maximal 100 ps oder von maximal 50 ps, bevorzugt maximal 10 ps. Die Laserquelle wird gepulst betrieben, der Laserstrahl wird abschnittsweise bzw. mit Unterbrechungen über den Glasträger bewegt. Über die Impulsfrequenz und die Bewegungsgeschwindigkeit des Laserstrahls über den Glasträger wird der Abstand der auf den Glasträger eingestrahlten Impulse eingestellt.
Das Ätzen kann mit Flusssäure, z.B. 1 bis 20 Gew.-% und/oder Schwefelsäure und/oder Salzsäure und/oder Phosphorsäure und/oder Kalilauge erfolgen, bei z.B. 5 bis 40 °C. Die Erzeugung von Ausnehmungen, die bevorzugt durch den Glasträger hindurchgehen, durch Bestrahlen des Glasträgers mit Laserimpulsen mit anschließendem Ätzen hat den Vorteil, dass der Glasträger keine durch diese Verfahrensschritte erzeugten Risse oder Spannungen aufweist.
Der Glasträger kann flach sein und, insbesondere vor dem Bestrahlen mit Laserimpulsen und vor dem Ätzen z.B. eine Dicke von bis zu 800 µm, bevorzugt 100 bis 800 µm, z.B. 300 bis 500 µm aufweisen, nach dem Ätzen z.B. eine um 50 bis 700 oder bis 200 µm geringere Dicke und durchgehende Ausnehmungen in den laserbestrahlten Bereichen. Bei der Herstellung von Ausnehmungen mittels Laserimpulsen und anschließendem Ätzen können solche durchgehenden Ausnehmungen im Wesentlichen zylindrisch sein, z.B. mit geringem Winkel, z.B. von 3° bis 15° kegelförmig von der Oberfläche des Glasträgers in das Glasvolumen bzw. zur gegenüberliegenden Oberfläche des Glasträgers zulaufend.
Durch den Glasträger durchgehende Ausnehmungen, die eine Hinterschneidung aufweisen, bilden diese bevorzugt durch einen Bereich geringsten Querschnitts der Ausnehmung, der z.B. in genau einer Ebene der Oberfläche des Glasträgers gebildet ist. Eine Hinterschneidung kann alternativ oder zusätzlich dadurch gebildet sein, dass sich die Ausnehmung innerhalb des Glasträgers von einem Bereich geringsten Querschnitts verbreitert, insbesondere in Richtung auf die Oberfläche des Glasträgers verbreitert, auf die eine Silanverbindung und/oder Metall aufgebracht wird. Alternativ oder zusätzlich kann eine Hinterschneidung dadurch gebildet sein, dass sich die Ausnehmung verjüngt und anschließend verbreitert, z.B. jeweils kegelförmig. Kegelförmig zulaufende Ausnehmungen, die sich von der Oberfläche in einen Glasträger erstrecken, werden durch Ätzen eines Glasträgers entlang der mit Laserimpulsen bestrahlten Stellen gebildet, da die Ätzreaktion von der Glasoberfläche entlang der bestrahlten Stellen in das Glasvolumen fortschreitet und daher nahe der Glasoberfläche eine längere Einwirkzeit hat. Da die Ätzreaktion auf alle, bzw. auf beide gegenüberliegenden Oberflächen des Glasträgers wirkt, ergibt sich ein von der Oberfläche des Glasträgers zulaufender Querschnitt, z.B. bis zu einem minimalen Querschnitt, der zwischen den Oberflächen des Glasträgers liegt und sich zur gegenüberliegenden Oberfläche verbreitert. Bevorzugte Ausnehmungen sind Schlitze oder Gräben mit V-förmigem Querschnitt, Durchbrechungen oder Ausnehmungen mit kegelstumpfförmigem Querschnitt oder Durchbrechungen mit einem Bereich geringsten Querschnitts innerhalb des Glasträgers, auch als sanduhrförmiger Querschnitt bezeichnet. Für Ausnehmungen, die nur zu einer Oberfläche offen sind, bzw. sich von nur einer Oberfläche des Glasträgers in dessen Glasvolumen erstrecken, z.B. Kanäle mit V-förmigem Querschnitt, kann die gegenüberliegende Oberfläche eines Glasträgers vor dem Ätzen mit einem gegen Ätzen beständigen Material (Resist) beschichtet werden
Durch die Form der Ausnehmungen, die bevorzugt einen Bereich kleinsten Querschnitts in der Ebene genau einer Oberfläche des Glasträgers aufweisen, auf die die Ausnehmungen von der Ebene gegenüberliegenden Oberfläche des Glasträgers zulaufen bzw. sich verjüngen, wird in den Ausnehmungen aufgeschmolzenes und erstarrtes Metall formschlüssig, optional auch stoffschlüssig, festgelegt.
Die Ausnehmungen, in denen voneinander getrennte Leiter gebildet werden, sind z.B. in einem Abstand voneinander angeordnet, der zumindest 10 %, zumindest 20 % oder zumindest 50 % oder zumindest 200 % des Durchmessers der Ausnehmung, gemessen in der Ebene einer Oberfläche des Glasträgers, beträgt. Der Abstand kann z.B. bis zum 20-Fachen oder bis zum 15-Fachen oder bis zum 10-Fachen, z.B. bis 200 % oder bis 100 % oder bis 50 % des Durchmessers der Ausnehmung, gemessen in der Ebene einer Oberfläche des Glasträgers, betragen.
Die Ausnehmungen können z.B. einen Querschnitt oder Durchmesser in der Ebene der Oberfläche des Glasträgers im Bereich von 5 bis 200 µm oder bis 100 µm, z.B. 10 bis 50 µm oder 15 bis 30 oder bis 20 µm aufweisen. Die Längserstreckung von Ausnehmungen in Form von Kanälen, die sich entlang des Glasträgers erstrecken, kann unabhängig vom Durchmesser sein.
Bevorzugt weisen die Ausnehmungen Kanäle auf, die einen sacklochartigen Querschnitt haben, und damit verbundene Ausnehmungen auf, die durch den Glasträger hindurchgehen. Das Erwärmen des Glasträgers auf eine Temperatur, bei der sich die Silanverbindung mit dem Glasträger verbindet, kann durch Bestrahlung oder in einem Ofen erfolgen. Die Temperatur kann z.B. 80 bis 150°C, bevorzugt 100 bis 120°C betragen. Durch Schritt 2, optional zusätzlich Schritt 3, wird ein Glasträger erzeugt, der vollflächig, bevorzugt im Wesentlichen nur innerhalb der Ausnehmungen, silanisiert ist.
Das vollflächige Auftragen von Metall auf den Glasträger kann z.B. durch Bedampfen, z.B. PVD (physical vapour deposition)-Verfahren oder Aufsputtern des Metalls erfolgen, durch Kontaktieren mit einer Suspension von Nanopartikeln, die das Metall enthalten, z.B. Eintauchen in oder Besprühen mit einer Suspension, alternativ durch ein Druckverfahren, z.B. Lasertransferdrucken. Durch Schritt 4 wird ein Glasträger erzeugt, auf dem vollflächig Metall aufgetragen ist.
Das Metall ist bevorzugt Metall der Oxidationsstufe Null (Me⁰). Das Metall kann z.B. Gold, Silber, Kupfer, oder eine Mischung aus zumindest zweien dieser sein.
Das Abtragen des Metalls in Schritt 5 entfernt das Metall, das auf der Oberfläche des Glasträgers liegt, von der sich die Ausnehmungen erstrecken. Dabei wird das Metall in den Ausnehmungen am Glasträger zurückgelassen, da das Abtragen nur auf die Oberfläche einwirkt, von der sich die Ausnehmungen erstrecken, da diese Oberfläche des Glasträgers von der Ebene beabstandet ist, in die sich die Ausnehmungen in das Innenvolumen des Glasträgers erstrecken. Insbesondere in Ausführungsformen, in denen nur die Ausnehmungen mit der Silanverbindung kontaktiert werden, kann das Metall von dieser Oberfläche des Glasträgers einfach abgetragen werden, da diese Oberfläche eine geringere Haftung zum Metall hat. Das Abtragen in Schritt 5 kann durch ein mechanisches Verfahren, z.B. Aufdrücken und Abziehen einer Klebefolie, Kratzen oder Schleifen oder Bestrahlen mit einem Schleifmittel erfolgen, oder durch Einstrahlen von Laserstrahlung zum Verdampfen des Metalls durch Laserabtrag. Durch Schritt 5 wird ein Glasträger erzeugt, in dessen Ausnehmungen Metall angeordnet ist, wobei zwischen Metall und der Ausnehmung eine Silanverbindung, die mit der Ausnehmung eine Verbindung eingegangen ist, angeordnet ist, und dessen Oberfläche, die bevorzugt plan ist, frei von Metall ist.
Das optionale Erwärmen des Glasträgers auf eine Temperatur, bei der das Metall eine Verbindung mit dem Silan bildet, in Schritt 6, optional alternativ oder zusätzlich nach Schritt 7, auch als Tempern bezeichnet, führt bevorzugt zur Bildung einer chemischen Bindung zwischen reaktiven Gruppen der am Glasträger gebundenen Silanverbindung und dem Metall. Dabei kann die Temperatur, auf die in Schritt 6 und/oder zusätzlich nach Schritt 7 erwärmt wird, beispielsweise zumindest 80 °C bis zu 800°C, bevorzugt bis 700°C, bis 600°C, bis 500°C, bis 400°C, bis 300°C oder bis 200°C betragen, z.B. 100 bis 120°C.
Das optionale Verstärken der Metallschicht, die in den Ausnehmungen angeordnet ist, in Schritt 7 erfolgt bevorzugt in einem chemischen Bad, bevorzugt in einem galvanischen Bad, in dem Metallionen enthalten sind, wobei bevorzugt das Metall in den Ausnehmungen des Glasträgers elektrisch kontaktiert und mit Strom beaufschlagt wird, um eine Kathode zu bilden. Es hat sich gezeigt, dass dieses Verstärken der Metallschicht durch Abscheiden von Metallionen aus einem Bad im Wesentlichen nur abläuft, bis die Ausnehmungen des Glasträgers mit Metall gefüllt sind. Dabei kann das galvanische Bad Ionen eines anderen Metalls enthalten, als das zuvor auf den Glasträger bzw. in die Ausnehmungen aufgetragene Metall.
Das Verfahren stellt Glasträger her, die Ausnehmungen aufweisen, in denen Metall angeordnet ist, wobei zwischen dem Metall und dem Glasträger eine chemische Verbindung durch eine Silanverbindung besteht, wobei die Oberfläche des Glasträgers, von der sich die Ausnehmungen in das Volumen des Glasträgers erstrecken, frei von Metall ist. Die Ausnehmungen weisen erfindungsgemäß zumindest zwei Ausnehmungen auf, die sich durchgehend durch den Glasträger erstrecken und zumindest eine Ausnehmung, die in Form eines Kanals mit zumindest einer der durchgehenden Ausnehmungen verbunden ist, wobei bevorzugt ein schalenförmiger Bereich einer Ausnehmung durch eine Ausnehmung mit dem Kanal verbunden ist.
Die Figur zeigt das Verfahren schematisch anhand einer Ausnehmung in Form eines Grabens mit V-förmigen Querschnitt in einem plattenförmigen Glas.

1= Glas mit V-förmigem Graben
2= Flächiges Auftragen einer Metallschicht
3= Mechanischer Abtrag der Metallschicht
4= Galvanische Verstärkung

Beispiel: Herstellung eines Glasträgers, in dessen Ausnehmungen Leiter aus Metall angeordnet ist
Ein plattenförmiger Glasträger, ursprünglich 800 µm dick, wurde durch gepulste Laserbestrahlung und anschließendes Ätzen in Flusssäure mit Ausnehmungen versehen, die Kanäle bilden. Dazu wurden die Laserimpulse so platziert, dass sich die beim anschließenden Ätzen erzeugten Ausnehmungen verbanden. Die Tiefe der Kanäle wurde durch die Parameter des Ätzens, insbesondere Dauer, Konzentration des Ätzbades und Temperatur, gesteuert.
Zur Silanisierung wurde eine Silanverbindung, bevorzugt Mercaptosilan, in Lösungsmittel durch Sprühen oder Eintauchen vollflächig auf den Glasträger aufgebracht. Alternativ konnte die Silanverbindung dadurch zielgerichtet im Wesentlichen nur in die Ausnehmung eingebracht werden, dass sie in einen schalenförmigen Bereich des Kanals mit einer Kanüle eindosiert wurde.
Der mit der Silanverbindung versehene Glasträger wurde im Ofen auf 110 °C erwärmt. Anschließend wurde als Beispiel für ein Metall Gold durch Sputtern vollflächig auf den Glasträger aufgebracht. Unmittelbar nach dem Aufsputtern des Metalls wurde Klebeband auf den Glasträger gedrückt und davon abgezogen. Es zeigte sich, dass in den Ausnehmungen aufgebrachtes Metall dort blieb und die ebene Oberfläche des Glasträgers vom Metall befreit wurde. Das durch das Klebeband abgetragene Metall haftete an dem Klebeband.
Wie generell bevorzugt, wurde der Glasträger gemäß Schritt 6 auf ca. 100 bis 120°C erwärmt, um eine Thiol-Metall-Bindung herzustellen.
An dem Glasträger, der nur in seinen Ausnehmungen Metall aufwies, wurde das Metall mit einem Draht verbunden, mit Strom beaufschlagt und in ein galvanisches Bad getaucht, so dass auf dem Metall zusätzliches Metall aus dem Bad abgeschieden wurde.

Claims

Verfahren zur Herstellung von metallischen Leiterbahnen an einem Glasträger, das die Schritte 1. Bereitstellen eines Glasträgers, der Ausnehmungen aufweist, durch Bestrahlen eines ursprünglichen Glasträgers mit Laserimpulsen an den Stellen, an denen Ausnehmungen erzeugt werden sollen, und anschließendes Ätzen dieses Glasträgers, wodurch sich die Ausnehmungen in dem Glasträger bilden, 2. Kontaktieren des Glasträgers mit einer Silanverbindung, 3. Erwärmen des Glasträgers auf eine Temperatur, bei der sich die Silanverbindung mit dem Glasträger verbindet, 4. vollflächiges Auftragen von Metall auf den Glasträger, 5. Abtragen des Metalls, das auf der Oberfläche des Glasträgers liegt, von der sich die Ausnehmungen erstrecken, 6. Erwärmen des Glasträgers auf eine Temperatur, bei der das Metall eine Verbindung mit dem Silan bildet, aufweist oder daraus besteht.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Erwärmen des Glasträgers auf eine Temperatur, bei der das Metall eine Verbindung mit dem Silan bildet, die Metallschicht, die in den Ausnehmungen angeordnet ist, verstärkt wird.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Verstärken der Metallschicht, die in den Ausnehmung angeordnet ist, durch Metallanlagerung aus einem chemischen Bad erfolgt.
Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Silanverbindung eine Mercaptogruppe, eine Amingruppe, Epoxygruppe oder eine Carbonsäuregruppe aufweist.
Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen einen schalenförmigen Bereich umfassen und damit durch in Form von Kanälen gebildete Ausnehmungen in Verbindung stehen, und in Schritt 2 die Silanverbindung in den schalenförmigen Bereich aufgebracht wird und sich in die damit in Verbindung stehenden Ausnehmungen ausbreitet.
Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in Schritt 2 die Silanverbindung vollflächig auf den Glasträger aufgebracht wird.
Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Metall in Schritt 4 durch Bedampfen des Glasträgers mit Metall oder durch Kontaktieren des Glasträgers mit einer Suspension von Nanopartikeln erfolgt, die das Metall enthalten oder aus dem Metall bestehen.
Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in Schritt 6 der Glasträger auf zumindest 80°C erwärmt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Glasträger in dem Schritt des Verstärkens der Metallschicht, die in den Ausnehmungen angeordnet ist, in ein Bad getaucht wird, das Ionen eines anderen Metalls enthält als das in Schritt 4 aufgetragene Metall.
Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Glasträger in dem Schritt des Erwärmens des Glasträgers auf eine Temperatur, bei der das Metall eine Verbindung mit dem Silan bildet auf eine Temperatur erwärmt wird, bei der das Metall schmilzt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Glasträger nach dem Schritt des Verstärkens der Metallschicht, die in den Ausnehmungen angeordnet ist, auf eine Temperatur erwärmt wird, bei der das Metall schmilzt.
Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Ausnehmungen eine Hinterschneidung aufweist.
Glasträger mit darauf angeordneten metallischen Leiterbahnen, wobei der Glasträger Ausnehmungen aufweist, in denen Metall angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen zumindest zwei Ausnehmungen aufweisen, die sich durchgehend durch den Glasträger erstrecken und zumindest eine Ausnehmung, die in Form eines Kanals mit zumindest einer der durchgehenden Ausnehmungen verbunden ist, wobei zwischen dem Metall und dem Glasträger eine chemische Verbindung durch eine Silanverbindung besteht und wobei die Oberfläche des Glasträgers, von der sich die Ausnehmungen in das Volumen des Glasträgers erstrecken, frei von Metall ist.
Glasträger nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Glasträger durch ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12 erhältlich ist.
Glasträger nach einem der Ansprüche 13 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen einen schalenförmigen Bereich umfassen und die Ausnehmungen mit dem schalenförmigen Bereich in Verbindung stehen.
Glasträger nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen eine Hinterschneidung aufweisen und das Metall mit der Hinterschneidung in Eingriff steht.