DE102019112991A1

DE102019112991A1 - Prüfsondenspitze

Info

Publication number: DE102019112991A1
Application number: DE102019112991.5A
Authority: DE
Inventors: Julie A. Campbell; Josiah A. BARTLETT
Original assignee: Tektronix Inc
Current assignee: Tektronix Inc
Priority date: 2018-05-18
Filing date: 2019-05-16
Publication date: 2019-11-21

Abstract

Prüfsondenspitze mit einem Spitzenteil, einem Widerstandselement und einem Ausgleichselement. Das Spitzenteil ist konfiguriert, um eine elektrische Verbindung mit einer zu testenden Vorrichtung an einem ersten Ende des Spitzenteils herzustellen. Das Widerstandselement ist elektrisch mit einem zweiten Ende des Spitzenteils entlang einer Signalflussachse verbunden. Das Widerstandselement ist konfiguriert, um eine elektrische Impedanz für ein elektrisches Signal bereitzustellen, das durch das Widerstandselement hindurchgeht. Das Ausgleichselement ist konfiguriert, um eine Bewegung des Spitzenteils in eine erste Richtung zu ermöglichen, wenn eine mechanische Kraft auf das Spitzenteil in die erste Richtung ausgeübt wird, und um eine Bewegung des Spitzenteils in eine entgegengesetzte, zweite Richtung zu bewirken, wenn die auf das Spitzenteil ausgeübte mechanische Kraft entfernt oder reduziert wird. Auch die Architekturen für das Widerstandselement werden beschrieben.

Description

QUERVERWEISE AUF VERWANDTE ANMELDUNGEN
Diese Patentanmeldung beansprucht Die Priorität der am 18. Mai 2018 eingereichten vorläufigen Anmeldung Nr. 62/673 793, die durch diesen Hinweis in diese Patentanmeldung aufgenommen wird.
BEREICH DER ERFINDUNG
Diese Offenbarung bezieht sich im Allgemeinen auf Prüfsonden und insbesondere auf Sondenspitzen für Prüfsonden.
HINTERGRUND
Die heutigen Ingenieure versuchen, Geräte zu testen, die Hochgeschwindigkeits-Serienbusse aufweisen. Viele dieser Vorrichtungen können als Double Data Rate Second Generation (DDR2) synchroner dynamischer Random-Access-Speicher (SDRAM), Double Data Rate 4te Generation (DDR4) SDRAM und Peripheriekomponenten-Interconnect Express (PCIe) ausgebildet sein, sind aber nicht darauf beschränkt. Die Größe der Spannungsschwankungen und Impulsfrequenzen ist sehr hoch und die Komplexität der Signalisierung erfordert eine präzise elektrische Abtastung. Diese und andere Busse werden immer häufiger in verschiedenen Arten von Konsumgütern eingesetzt. Es gibt viele interessante Testpunkte für jedes dieser Produkte.
Die Testpunkte in diesen Produkten können sowohl in der Geometrie als auch in der Zugänglichkeit stark variieren und erfordern in der Regel ein oder zwei Kontaktpunkte. Typischerweise beinhalten die intakten Punkte Mikrospuren, Durchkontaktierungen, Bauteilpads und Steckerkontakte, die einen elektrischen Kontakt mit und damit den Zugang zu Hochgeschwindigkeitssignalen ermöglichen. Die Messpunkte befinden sich jedoch nicht immer in der gleichen Ebene, und wenn zwei Sondenkontakte gleichzeitig erforderlich sind (wie bei einer Differenzsonde), ist die Einhaltung der Spitze wünschenswert, um die Positionierung der Sonde für einen korrekten Kontakt zu erleichtern. Berührungspunkte können auf der Hardware der Hauptkomponentenanalyse (PCA) in praktisch jedem Orientierungswinkel liegen, auch von vertikal bis horizontal. In solchen Szenarien werden die Testpunkte durch Tastspitzen besser zugänglich gemacht.
Während es semipermanente Formen des Sondenkontakts für diese Zugangspunkte gibt, einschließlich des Lötens von Drähten an diesen Punkten, weisen solche Lösungen eine Reihe von Nachteilen auf, einschließlich potenzieller Schäden am Prüfling (DUT) während des Anschließens, langer Rüstzeiten und der Anforderung an außergewöhnliche Geschicklichkeit beim Löten von Drähten an diesen Prüfpunkten. Auch semi-permanente Kontakte sorgen nicht für ein schnelles Debugging. Einlötbare Sondenspitzen neigen dazu, sich bereits nach wenigen Anschlüssen zu verschleißen und verursachen daher einen erheblichen Austauschbedarf, der erhebliche Kosten verursacht. Schließlich gibt es aufgrund der Qualität und Geometrie der Lötverbindungen tendenziell eine hohe Variabilität der Signalgüte, insbesondere bei höheren Signalfrequenzen.
Ausführungsformen der offenbarten Technologie beheben Mängel im Stand der Technik.
Figurenliste

1 ist eine Explosionsansicht einer Prüfspitze gemäß den Ausführungsformen.
2A ist eine Seitenansicht der Spitze der Prüfspitze von 1 im montierten Zustand. 2B ist ein Schnitt durch die Spitze der Prüfspitze, aufgenommen entlang der in 2A angegebenen Linie.
3 veranschaulicht eine exemplarische Prüfspitze, die auf einer exemplarischen Prüfsonde installiert ist, entsprechend den Ausführungsformen.
4 veranschaulicht eine exemplarische Prüfspitze, die auf einer exemplarischen Prüfsonde installiert ist, entsprechend den Ausführungsformen.
5A ist eine seitliche Schnittansicht eines Widerstandselements gemäß den Ausführungsformen. 5B ist eine Querschnittsansicht des Widerstandselements von 5A, aufgenommen entlang einer Linie, die senkrecht zu einer Signalflussachse des Widerstandselements verläuft.
6A ist eine seitliche Schnittansicht eines Widerstandselements gemäß den Ausführungsformen. 6B ist eine Querschnittsansicht des Widerstandselements von 6A, aufgenommen entlang einer Linie, die senkrecht zu einer Signalflussachse des Widerstandselements verläuft.

Die Darstellungen in den Zeichnungen sind nicht unbedingt maßstabsgetreu.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
Ausführungsformen der offenbarten Technologie beinhalten im Allgemeinen Prüfpitzen, die für den Einsatz mit einer Prüfsonde geeignet sind und so konfiguriert sind, dass sie einen präzisen Kontakt mit einem Prüfpunkt herstellen, beispielsweise an einem Prüfling (DUT). Eine solche Prüfspitze kann als Federsonde ausgebildet sein, die ein Widerstands- oder Impedanzelement beinhaltet, das nahezu am Kontaktpunkt mit dem Prüfling positioniert ist. Das Widerstands- oder Impedanzelement kann das Durchtrittsverhalten der Federsonde erheblich verbessern und auch die Belastung des Prüflings deutlich verringern, was eine schnelle Signalerfassung ermöglicht. Das Feder- oder Ausgleichselement kann die mechanischen Belastungen der Prüfkopfspitze reduzieren.
Kontaktstifte und Kontaktspitzen gemäß der offenbarten Technologie können vorteilhaft eine bessere physikalische und elektrische Kontrolle der Kontaktfläche ermöglichen und sich auch für schnelle Debuggingumgebungen eignen, die typischerweise keine langen Kontaktaufbauzeiten aufnehmen können. Kontaktstifte und Kontaktspitzen in Übereinstimmung mit der offenbarten Technologie können vorteilhaft eine hervorragende Sichtbarkeit für die Platzierung von Verbindungen und die intuitive Bedienung verschiedener Produktklassen bieten, insbesondere für handgeführte oder schnelle Platzierungssonden.
1 ist eine Explosionsansicht, die Teile einer Prüfspitze 100 gemäß den Ausführungsformen zeigt. 2A ist eine Seitenansicht der montierten Prüfkopfspitze 100 aus 1. 2B ist eine Schnittansicht, die entlang der in 2A angegebenen Linie aufgenommen wurde. Wie in den 1, 2A und 2B gezeigt ist, kann eine Prüfspitze 100 ein Spitzenteil 101, ein Widerstandselement 102, ein Ausgleichselement 103 und ein Bauteil 104 aufweisen. Während der Verwendung kann ein elektrisches Signal von dem Spitzenteil 101 erfasst und durch das Widerstandselement 102 übertragen werden, das eine Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 definiert. Wie in 2A dargestellt, kann die Signalflussachse im Allgemeinen mit der Längsachse der Prüfkopfspitze 100 ausgerichtet sein.
Das Spitzenteil 101 kann ein erstes Ende 106 aufweisen, das konfiguriert ist, um eine elektrische Verbindung mit einer zu prüfenden Vorrichtung 107 herzustellen (siehe und ). So kann beispielsweise das Spitzenteil 101 einen oder mehrere Punkte aufweisen, um eine feinkörnige elektrische Verbindung mit einem oder mehreren Kontaktpunkten auf einem Prüfling 107 herzustellen oder anderweitig zu erleichtern. Ein zweites Ende 108 liegt dem ersten Ende 106 des Spitzenteils 101 entlang der Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 gegenüber.
Das Widerstandselement 102 kann an einem ersten Ende 109 des Widerstandselements 102 mit dem zweiten Ende 108 des Spitzenteils 101 entlang der Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 elektrisch gekoppelt sein. Die elektrische Kopplung kann durch Oberflächenkontakt, Löten, leitfähiges Epoxid oder ein anderes geeignetes Verfahren erfolgen. Das Widerstandselement 102 ist konfiguriert, um eine elektrische Impedanz für ein elektrisches Signal bereitzustellen, das durch das Widerstandselement 102 hindurchgeht. Das Widerstandselement 102 kann auch ein zweites Ende 110 aufweisen, das dem ersten Ende 109 des Widerstandselements 102 entlang der Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 gegenüberliegt.
Das Widerstandselement 102 kann ein herkömmliches Widerstandselement sein, oder das Widerstandselement 102 kann ein spezielles Widerstandselement sein, wie die nachfolgend anhand der 5A-6B beschriebenen.. Wenn das Widerstandselement 102 ein herkömmliches Widerstandselement ist, kann das Widerstandselement beispielsweise ein 0402 SMD-Woderstandselement (0402 package style resistor) sein, mit einem variablen Luftspalt bis zu keinem Luftspalt.
Das Widerstandselement 102 kann ein leitender Epoxidwiderstand mit einem suspendierten Widerstandsmaterial sein oder beinhalten. Das leitfähige Epoxid kann z.B. in einem Rohr geformt werden, das nicht am Epoxid haftet. Der Schlauch kann beispielsweise aus Polytetrafluorethylen (PTFE) bestehen, wie beispielsweise das unter der Marke TEFLON® angebotene PTFE. Die Menge des im leitfähigen Epoxidharz suspendierten Widerstandsmaterials kann erhöht oder verringert werden, um einen gewünschten Widerstandswert zu erreichen. Auch oder alternativ kann der vom Widerstandselement 102 bereitgestellte Widerstand durch Entfernen von Material vom Widerstandselement 102 (wie beispielsweise mit einer herkömmlichen Diamantsäge oder einem Laser) unter Überwachung des resultierenden Widerstandes abgestimmt werden.
Das Widerstandselement 102 kann ein Elastomer mit einem suspendierten Widerstandsmaterial sein oder beinhalten. Das Elastomer kann beispielsweise in einem Rohr geformt werden, das nicht am Elastomer haftet. Der Schlauch kann beispielsweise aus Polytetrafluorethylen (PTFE) bestehen, wie beispielsweise das unter der Marke TEFLON® angebotene PTFE. Die Menge des im Elastomer suspendierten Widerstandsmaterials kann erhöht oder verringert werden, um einen gewünschten Widerstandswert für das Widerstandselement 102 zu erreichen. Auch oder alternativ kann der vom Widerstandselement 102 bereitgestellte Widerstand durch Entfernen von Material vom Widerstandselement 102 (wie beispielsweise mit einer herkömmlichen Diamantsäge oder einem Laser) unter Überwachung des resultierenden Widerstandes abgestimmt werden.
Ein solches elastomeres Widerstandselement kann durch Zusammendrücken des Elastomers zwischen dem Spitzenteil 101 und der Kolbengrundkörper 114 und anschließendem Verkleben oder anderweitigem Befestigen des Bauteils 104 in Position gebracht werden, um sicherzustellen, dass das Elastomer im zusammengedrückten Zustand bleibt, was einige der Widerstandseigenschaften des Elastomers bestimmen würde. Der Betrag des Widerstandes kann gemessen werden, während das Elastomer zusammengedrückt wird, um sicherzustellen, dass der gewünschte Widerstandswert erreicht wird.
Anstelle oder zusätzlich zum Widerstandselement 102 können Ausführungsformen ein resistives Epoxidharz beinhalten, um das Spitzenteil 101 am Prüfling 107 zu befestigen und so einen Widerstand zwischen der Prüfspitze 100 und dem Prüfling 107 bereitzustellen. In einem solchen Szenario könnten die resistiven Aspekte des Epoxids basierend auf verschiedenen Kalibrierungstechniken bestimmt werden.
Das Ausgleichselement 103 kann konfiguriert werden, um eine Bewegung des Spitzenteils 101 in einer ersten axialen Richtung 111 entlang der Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 zu ermöglichen, wenn eine mechanische Kraft auf das Spitzenteil 101 in der ersten axialen Richtung 111 ausgeübt wird. So kann beispielsweise die mechanische Kraft dadurch entstehen, dass das Spitzenteil 101 der Prüfkopfspitze 100 den Prüfling 107 berührt. Das Ausgleichselement 103 kann auch konfiguriert werden, um eine Bewegung des Spitzenteils 101 in einer zweiten axialen Richtung 112 entlang der Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 zu bewirken, wenn die auf das Spitzenteil 101 ausgeübte mechanische Kraft entfernt oder reduziert wird. Die zweite axiale Richtung 112 ist entgegengesetzt zur ersten axialen Richtung 111.
Nicht alle Ausführungsformen der offenbarten Technologie beinhalten das Ausgleichselement 103. In solchen Ausführungsformen könnte das Widerstandselement 102 mit einem Prüfkörper 113 (siehe 3 und 4) verbunden werden, wie beispielsweise den nachfolgend beschriebenen Prüfkörpern.
Das Ausgleichselement 103 kann ferner einen Kolbengrundkörper 114, einen Federmechanismus 115 und eine Zylinderkörper 116 aufweisen.
Der Kolbengrundkörper 114 kann elektrisch mit dem zweiten Ende 110 des Widerstandselements 102 an einem ersten Ende 117 des Kolbengrundkörpers 114 gekoppelt sein. Die elektrische Kopplung kann durch Oberflächenkontakt, Löten, leitfähiges Epoxid oder ein anderes geeignetes Verfahren erfolgen. Ein zweites Ende 118 des Kolbengrundkörpers 114 liegt dem ersten Ende 117 des Kolbengrundkörpers 114 entlang der Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 gegenüber. Das zweite Ende 118 des Kolbengrundkörpers 114 kann ausgebildet sein, um innerhalb des Zylinderkörpers 116 und entlang der Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 zu gleiten.
Der Zylinderkörper e 116 kann ein kugelförmiges Ende aufweisen, wie in den 1 und 2A dargestellt.. Die Kugelform kann beispielsweise das Einsetzen des Zylinderkörpers 116 in eine Aufnahmebuchse der Prüfsonde 120 erleichtern (siehe 3 und 4). Dennoch muss der Zylinderkörper 116 nicht in allen Ausführungsformen ein sphärisches Ende aufweisen; es können auch andere Formen verwendet werden.
Der Federmechanismus 115 kann sich zumindest teilweise innerhalb des Zylinderkörpers 116 befinden. Der Federmechanismus 115 kann ausgebildet sein, um eine Bewegung des Kolbengrundkörpers 114 innerhalb des Zylinderkörpers 116 in der ersten axialen Richtung 111 zu ermöglichen, wenn die mechanische Kraft auf das Spitzenteil 101 in der ersten axialen Richtung 111 aufgebracht wird. Der Federmechanismus 115 kann auch konfiguriert werden, um eine Bewegung des Kolbengrundkörpers 114 innerhalb des Zylinderkörpers 116 in der zweiten axialen Richtung 112 zu bewirken, wenn die mechanische Kraft entfernt oder reduziert wird. Der Federmechanismus 115 kann beispielsweise eine Schraubenfeder sein, wie die in 1 dargestellte Beispielfeder. Dementsprechend kann sich die Schraubenfeder zusammendrücken, wenn die mechanische Kraft auf das Spitzenteil 101 in der ersten axialen Richtung 111 aufgebracht wird, und sich ausdehnen, wenn die mechanische Kraft entfernt oder reduziert wird. Als weiteres Beispiel kann der Federmechanismus 115 eine elastische Scheibe oder ein Puck oder eine Drehfeder sein.
Das Bauteil 104 kann das Spitzenteil 101 strukturell bzw. baulich mit dem Kolbengrundkörper 114 koppeln, und das Widerstandselement 102 kann sich innerhalb des Bauteils 104 befinden. Da das Widerstandselement 102 allein möglicherweise nicht von ausreichender struktureller Integrität ist, kann das Bauteil 104 die auf das Spitzenteil 101 ausgeübte mechanische Kraft ganz oder teilweise auf das Ausgleichselement 103 übertragen. Das Bauteil 104 kann mechanisch mit dem Kolbengrundkörper 114 und das Spitzenteil 101 mit Klebstoff, Epoxid, Befestigungsschraube oder einem anderen geeigneten chemischen oder mechanischen Befestigungselement gekoppelt werden. Das Bauteil 104 kann aus einem nichtleitenden Material, wie beispielsweise Kunststoff, bestehen. Während das Bauteil 104 als feste Struktur dargestellt wird, kann das Bauelement 104 in Ausführungsformen Hohlräume wie beispielsweise Löcher oder Lüftungsschlitze beinhalten.
In Ausführungsformen ist ein Innendurchmesser des Bauteils 104 größer als ein Außendurchmesser des Widerstandselements 102, um einen Luftspalt 119 zwischen dem Widerstandselement 102 und dem Bauteil 104 sicherzustellen. Ein Beispiel für diese Konfiguration ist in 2B dargestellt. Der Luftspalt 119 kann dazu beitragen, dass das Bauteil 104 die elektrischen Eigenschaften des Widerstandselements 102 nicht beeinflusst. Die Größe des Luftspaltes 119 (insbesondere der Abstand zwischen dem Außendurchmesser des Widerstandselements 102 und dem Innendurchmesser des Bauteils 104) kann abhängig von der Konfiguration der Prüfspitze 100 oder dem von der Prüfspitze 100 erfassten Signal gewählt werden und kann daher je nach gewünschter Implementierung variieren.
3 veranschaulicht ein Beispiel für eine Prüfspitze 100, die auf einer exemplarischen Prüfsonde 120 installiert ist. Wie in 3 dargestellt, kann eine Einspitzenprüfsonde 120 eine Prüfspitze 100 beinhalten, die auf einem Prüfkopfkörper 113 installiert ist. Die Prüfsonde 120 kann beispielsweise die Prüfsonde einer Prüf- und Messvorrichtung sein. Die Prüfspitze 100 kann auf der exemplarischen Prüfsonde 120 installiert werden, indem beispielsweise der Zylinderkörper 116 (siehe 1 und 2A) in eine Aufnahmebuchse der Prüfsonde 120 eingesetzt wird. Die Aufnahmebuchse kann beispielsweise auf eine Flexschaltung bzw. eine flexible Leiterplatte gelötet werden, die Teil der Prüfsonde 120 ist.
Dementsprechend kann die Prüfsonde 120 ein elektrisches Signal vom Prüfling 107 erfassen, indem sie das Spitzenteil 101 der Prüfspitze 100 gegen einen Zielbereich des Prüflings 107 positioniert. So kann beispielsweise ein Benutzer mit der Prüfsonde 120 einen Druckwiderstand zwischen der Prüfspitze 100 und einem Prüfpunkt auf dem Prüfling 107 erzeugen, wie beispielsweise auf einem schnellen Signalzugangspunkt.
4 veranschaulicht exemplarisch die Prüfspitzen 100, die auf einer exemplarischen Prüfsonde 121 montiert sind. Wie in 4 dargestellt, kann eine doppelt bestückte Differentialprüfsonde 121 zwei Prüfspitzen 100 beinhalten, die auf einem Prüfkopfkörper 113 montiert sind. Die Prüfsonde 121 kann beispielsweise die Prüfsonde einer Prüf- und Messvorrichtung sein. Jede der Prüfspitzen 100 kann auf der exemplarischen Prüfsonde 121 installiert werden, indem beispielsweise den Zylinderkörper 116 (siehe 1 und 2A) in eine Aufnahmebuchse der Prüfsonde 121 eingesetzt wird. Die Aufnahmebuchse kann beispielsweise auf eine Flexschaltung gelötet werden, die Teil der Prüfsonde 121 ist.
Dementsprechend kann die Prüfsonde 121 ein differentielles elektrisches Signal vom zu prüfenden Gerät erfassen, indem sie das Spitzenteil 101 jeder der Prüfspitzen 100 gegen einen Zielbereich des zu prüfenden Geräts positioniert. So kann beispielsweise ein Benutzer mit der Prüfspitze 121 einen Druckwiderstand zwischen einer der Prüfspitzen 100 und einem Prüfpunkt (oder beiden der Prüfspitzen 100 und zwei Prüfpunkten) auf dem Prüfling 107 erzeugen, wie beispielsweise einem schnellen Signalzugangspunkt.
5A ist eine seitliche, teilweise Schnittansicht, die Abschnitte eines Widerstandselements 122 gemäß den Ausführungsformen zeigt. Der Schnitt wird entlang einer Schnittebene aufgenommen, die parallel zu einer Signalflussachse 132 des Widerstandselements 122 verläuft. Das Widerstandselement 122 von 5A kann beispielsweise das Widerstandselement 102 von 1 sein. 5B ist eine Querschnittsansicht des Widerstandselements 122 aus 5A, aufgenommen entlang einer Schnittebene, die senkrecht zur Signalflussachse 132 des Widerstandselements 122 verläuft. Während des Gebrauchs durchläuft ein elektrisches Signal das Widerstandselement 122 in Richtung der Signalflussachse 132. Wie in 5A dargestellt, kann die Signalflussachse 132 im Allgemeinen mit der Längsachse des Widerstandselements 122 ausgerichtet werden. Wenn das Widerstandselement 122 Teil einer Prüfspitze ist, wie beispielsweise die Prüfspitze 100 aus den 1-2B kann die Signalflussachse 132 des Widerstandselements 122 im Allgemeinen mit der Signalflussachse 105 der Prüfspitze 100 ausgerichtet werden.
Wie in den 5A und 5B gezeigt, kann das Widerstandselement 122 eine erste Schicht 123 mit einer ersten Impedanz und eine zweite Schicht 124 mit einer zweiten Impedanz beinhalten. Die zweite Impedanz kann größer als die erste Impedanz sein, und die erste Schicht 123 und die zweite Schicht 124 können konzentrisch sein. Konzentrisch" bedeutet hier, ein gemeinsames Zentrum zu haben. Die Schichten (die erste Schicht 123 und die zweite Schicht 124) können im Querschnitt regelmäßige Polygone, Rechtecke, Kreise oder andere Formen mit einem identifizierbaren Mittelpunkt im Querschnitt sein, wobei der Querschnitt senkrecht zu einer Signalflussachse 132 des Widerstandselements 122 verläuft.
In Ausführungsformen, wie in 5B dargestellt, umschließt die zweite Schicht 124 die erste Schicht 123. In weiteren Ausführungsformen umschließt die erste Schicht 123 die zweite Schicht 124. In Ausführungsformen kann die zweite Impedanz bzw. der zweite Widerstand der zweiten Schicht 124 viel größer sein als die erste Impedanz bzw. der erst Widerstand der ersten Schicht 123, so dass die zweite Schicht 124 im Wesentlichen ein Isolator ist.
Wie in den 5A und 5B gezeigt, kann das Widerstandselement 122 ferner eine dritte Schicht 125 mit einer dritten Impedanz bzw. einem dritten Widerstand beinhalten, die größer als die zweite Impedanz bzw. der zweite Widerstand ist. Die erste Schicht 123, die zweite Schicht 124 und die dritte Schicht 125 können konzentrisch sein. In einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse 132 des Widerstandselements 122 kann die zweite Schicht 124 die erste Schicht 123 und die dritte Schicht 125 die zweite Schicht 124 umgeben. Daher können die Impedanzwerte bzw. Widerstandswerte der Schichten von der innersten Schicht bis zur äußersten Schicht ansteigen. Da sich höhere Frequenzen weiter vom Zentrum eines Widerstandes entfernen, würde eine Konfiguration, bei der die Impedanzwerte bzw. Widerstandswerte der Schichten von der innersten Schicht zur äußersten Schicht zunehmen, es ermöglichen, dass Gleichstrom- (DC) und Niederfrequenz (LF) Komponenten eines Signals mit relativ geringem Widerstand durch die Mitte des Widerstandselements 122 hindurchgehen, während höherfrequente Komponenten des Signals einen zunehmenden Widerstand erfahren würden.
In anderen Ausführungsformen können die Impedanzwerte der Schichten von der innersten Schicht zur äußersten Schicht abnehmen. In noch weiteren Ausführungsformen kann der Impedanzwert einer mittleren Schicht höher sein als die Impedanzwerte der beiden benachbarten Schichten.
Das Widerstandselement 122 kann Metallschichten 126 beinhalten. Die Metallschichten 126 können jedes geeignete Material zum Herstellen einer elektrischen Verbindung mit dem Kolbengrundkörper 114 und dem Spitzenteil 101 beinhalten. Diese Materialien können Silber, Gold, Kupfer oder jedes andere geeignet elektrisch leitfähige Material oder Kombinationen dieser Materialien beinhalten. Die Metallschichten 126 können mit jedem geeigneten Verfahren, wie beispielsweise einem Micropenning-Verfahren, aufgebracht werden. Die Metallschichten 126 können als Kappen ausgebildet sein, oder die Metallschichten 126 können so ausgebildet sein, dass entweder eines der beiden Enden oder beide Enden der Widerstandsschichten freigelegt bleiben.
Gemäß 5A und 5B können drei konzentrische Widerstandsschichten vorgesehen sein, wobei mehr oder weniger Widerstandsschichten in den Anwendungsbereich dieser Offenbarung fallen. Insbesondere wird jeder Widerstand mit zwei oder mehr Widerstandsschichten ausdrücklich in Betracht gezogen.
6A ist eine seitliche, teilweise Schnittansicht, die Abschnitte eines Widerstandselements 127 gemäß den Ausführungsformen zeigt. Der Schnitt wird entlang einer Schnittebene aufgenommen, die parallel zu einer Signalflussachse 132 des Widerstandselements 127 verläuft. Das Widerstandselement 127 von 6A kann beispielsweise das Widerstandselement 102 von 1 sein. 6B ist eine Querschnittsansicht des Widerstandselements 127 aus 6A, aufgenommen entlang einer Schnittebene, die senkrecht zur Signalflussachse 132 des Widerstandselements 127 durch eine exemplarische zweite Schicht 129 des Widerstandselements 127 verläuft. Während des Gebrauchs durchläuft ein elektrisches Signal das Widerstandselement 127 in Richtung der Signalflussachse 132. Wie es in 6A dargestellt ist, kann die Signalflussachse 132 im Allgemeinen mit der Längsachse des Widerstandselements 127 ausgerichtet werden. Wenn das Widerstandselement 127 Teil einer Prüfspitze ist, wie beispielsweise die Prüfspitze 100 aus den 1-2B kann die Signalflussachse 132 des Widerstandselements 127 im Wesentlichen mit der Signalflussachse 105 der Prüfspitze 100 ausgerichtet werden.
Wie in den 6A und 6B gezeigt, kann das Widerstandselement 127 eine erste Schicht 128 mit einer ersten Impedanz und eine zweite Schicht 129, 133 mit einer zweiten Impedanz beinhalten. Die zweite Impedanz kann größer als die erste Impedanz sein, und die erste Schicht 128 und die zweiten Schichten 129, 133 können orthogonal zur Signalflussachse 132 des Widerstandselements 127 sein. Die zweiten Schichten 129, 133 können elektrisch nicht leitfähig sein.
In Ausführungsformen können die zweiten Schichten 129, 133 eine Druckkontaktierung 130 beinhalten, die durch die zweite Schicht 129, 133 verläuft. Die Druckkontaktierung 130 kann parallel zur Signalflussachse 132 des Widerstandselements 127 verlaufen, und die Druckkontaktierung 130 kann mit einem leitenden Material beschichtet oder gefüllt sein. In Ausführungsformen können die zweiten Schichten 129, 133 mehr als eine über 130 aufweisen. Das Via oder die Durchkontaktierung 130 kann in unterschiedlichen Abständen von der Signalflussachse 132 liegen, wie in 6A für die zweite Schicht 129 und die zweite Schicht 133 dargestellt, um beispielsweise unterschiedliche Auswirkungen auf ein elektrisches Signal zu erzielen, das durch die zweite Schicht 129, 133 hindurchgeht. Die Druckkontaktierung 130 kann so ausgebildet sein, dass das elektrische Signal durch die jeweilige zweite Schicht 129, 133 zur nächsten Schicht geleitet wird. Eine solche Konfiguration kann es beispielsweise ermöglichen, dass die DC- und NF-Komponenten des elektrischen Signals im Wesentlichen ungehindert durch die zweiten Schichten 129, 133 hindurchgehen, während die höherfrequenten Komponenten des elektrischen Signals gezwungen sind, von einer Schicht zur nächsten zu springen, wodurch die höherfrequenten Komponenten des elektrischen Signals verlangsamt werden. So können beispielsweise die höherfrequenten Komponenten kapazitiv mit der nächsten leitenden Schicht gekoppelt werden.
Wie in den 6A und 6B gezeigt, kann das Widerstandselement 127 ferner eine dritte Schicht 131 orthogonal zur Signalflussachse 105 der Prüfkopfspitze 100 beinhalten. Die dritte Schicht 131 weist eine dritte Impedanz auf, die niedriger ist als die zweite Impedanz. In Ausführungsformen können die erste Impedanz (der ersten Schicht 128) und die dritte Impedanz (der dritten Schicht 131) gleichwertig sein. Die zweite Schicht 129, 133 kann sich zwischen der ersten Schicht 128 und der dritten Schicht 131 befinden. Die erste Schicht 128 und die dritte Schicht 131 können jeweils elektrisch leitfähig sein. Wie im Beispiel der Implementierung von 6A-6B, kann alternierende leitfähige Schichten (die erste Schicht 128 und die dritte Schicht 131) und nicht leitfähige Schichten (die zweiten Schichten 129, 133) aufweisen. Das Beispiel der 6A-6B ist nur eine mögliche Implementierung des Wechsels der Schichten.
Die leitenden Schichten können jedes geeignet leitfähige Material sein oder beinhalten. Diese Materialien können Silber, Gold, Kupfer oder jedes andere geeignet elektrisch leitfähige Material oder Kombinationen dieser leitfähigen Materialien beinhalten. Die nichtleitenden Schichten können jedes geeignete Isoliermaterial wie z.B. Kunststoff sein oder beinhalten.
BEISPIELE
Nachfolgend finden Sie anschauliche Beispiele für die offenbarten Technologien. Eine Ausführungsform der Technologien kann eine oder mehrere und jede beliebige Kombination der nachfolgend beschriebenen Beispiele beinhalten.
Beispiel 1 beinhaltet eine Prüfspitze mit: ein Spitzenteil mit einem ersten Ende, das konfiguriert ist, um eine elektrische Verbindung mit einer zu testenden Vorrichtung herzustellen, und einem zweiten Ende, das dem ersten Ende des Spitzenteils entlang einer Signalflussachse der Prüfkopfspitze gegenüberliegt; ein Widerstandselement, das elektrisch mit dem zweiten Ende des Spitzenteils entlang der Signalflussachse verbunden ist, wobei das Widerstandselement ausgebildet ist, um eine elektrische Impedanz für ein elektrisches Signal bereitzustellen, das durch das Widerstandselement verläuft; und ein Ausgleichselement, das konfiguriert ist, um eine Bewegung des Spitzenteils in einer ersten axialen Richtung entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze zu ermöglichen, wenn eine mechanische Kraft auf das Spitzenteil in der ersten axialen Richtung ausgeübt wird, und um eine Bewegung des Spitzenteils in einer zweiten axialen Richtung entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze zu bewirken, wobei die zweite axiale Richtung entgegengesetzt zur ersten axialen Richtung ist, wenn die auf das Spitzenteil ausgeübte mechanische Kraft entfernt oder reduziert wird.
Beispiel 2 beinhaltet die Prüfspitze von Beispiel 1, bei dem das Widerstandselement mit dem zweiten Ende des Spitzenteils an einem ersten Ende des Widerstandselements elektrisch verbunden ist, bei dem das Ausgleichselement einen Kolbengrundkörper aufweist, die elektrisch mit einem zweiten Ende des Widerstandselements gekoppelt ist, wobei das zweite Ende des Widerstandselements dem ersten Ende des Widerstandselements entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze gegenüberliegt.
Beispiel 3 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-2, ferner umfassend ein Bauteil, wobei das Bauteil das Spitzenteil strukturell mit dem Ausgleichselement verbindet.
Beispiel 4 beinhaltet die Prüfspitze von Beispiel 3, bei dem sich das Widerstandselement innerhalb des Bauteils befindet.
Beispiel 5 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-4, bei dem der Kolbengrundkörper elektrisch mit dem zweiten Ende des Widerstandselements an einem ersten Ende des Kolbengrundkörpers gekoppelt ist, bei dem das Ausgleichselement weiterhin einen Zylinderkörper beinhaltet, und bei dem ein zweites Ende des Kolbengrundkörpers konfiguriert ist, um innerhalb des Zylinderkörpers und entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze zu gleiten, wobei das zweite Ende des Kolbengrundkörpers dem ersten Ende des Kolbengrundkörpers entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze gegenüberliegt.
Beispiel 6 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-5, in dem das Ausgleichselement weiterhin einen Federmechanismus innerhalb des Zylinderkörpers beinhaltet, wobei der Federmechanismus konfiguriert ist, um eine Bewegung des Kolbengrundkörpers innerhalb des Zylinderkörper in der ersten axialen Richtung zu ermöglichen, wenn die auf das Spitzenteil in der ersten axialen Richtung ausgeübte mechanische Kraft und eine Bewegung des Kolbengrundkörpers innerhalb des Zylinderkörpers in der zweiten axialen Richtung zu bewirken, wenn die mechanische Kraft entfernt oder reduziert wird.
Beispiel 7 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-6, wobei das Widerstandselement eine erste Schicht mit einer ersten Impedanz und eine zweite Schicht mit einer zweiten Impedanz umfasst, wobei die zweite Impedanz größer als die erste Impedanz ist.
Beispiel 8 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-7, bei dem die erste Schicht und die zweite Schicht konzentrisch sind.
Beispiel 9 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-8, bei dem die zweite Schicht in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze die erste Schicht umgibt.
Beispiel 10 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-9, in dem das Widerstandselement ferner eine dritte Schicht mit einer dritten Impedanz umfasst, wobei die dritte Impedanz größer als die zweite Impedanz ist, in der die erste Schicht, die zweite Schicht und die dritte Schicht konzentrisch sind, und in dem die zweite Schicht in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze die erste Schicht und die dritte Schicht die zweite Schicht umgibt.
Beispiel 11 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-7, bei dem die erste Schicht und die zweite Schicht orthogonal zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze liegen.
Beispiel 12 beinhaltet die Prüfspitze von Beispiel 11, bei dem die zweite Schicht elektrisch nicht leitend ist und eine Durchkontaktierung durch die zweite Schicht parallel zur Signalflussachse der Prüfspitzenspitze umfasst.
Beispiel 13 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 11-12, ferner umfassend eine dritte Schicht orthogonal zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze, wobei die dritte Schicht eine dritte Impedanz aufweist, die niedriger als die zweite Impedanz ist, wobei die zweite Schicht zwischen der ersten Schicht und der dritten Schicht liegt, wobei die erste Schicht und die dritte Schicht jeweils elektrisch leitfähig sind.
Beispiel 14 beinhaltet die Prüfspitze eines der Beispiele 1-13, wobei das Widerstandselement ein Material umfasst, das ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus einem leitenden Epoxidwiderstand mit einem suspendierten Widerstandsmaterial oder einem Elastomer mit einem suspendierten Widerstandsmaterial.
Beispiel 15 beinhaltet ein Widerstandselement, das konfiguriert ist, um eine elektrische Impedanz für ein elektrisches Signal bereitzustellen, das entlang einer Signalflussachse des Widerstandselements verläuft, wobei das Widerstandselement umfasst: eine erste Schicht mit einer ersten Impedanz; und eine zweite Schicht mit einer zweiten Impedanz, wobei die zweite Impedanz größer als die erste Impedanz ist.
Beispiel 16 beinhaltet das Widerstandselement von Beispiel 15, bei dem die erste Schicht und die zweite Schicht konzentrisch sind.
Beispiel 17 beinhaltet das Widerstandselement eines der Beispiele 15-16, bei dem die zweite Schicht in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse die erste Schicht umgibt.
Beispiel 18 beinhaltet das Widerstandselement eines der Beispiele 15-16, bei dem in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse die erste Schicht die zweite Schicht umgibt und bei dem die zweite Schicht im Wesentlichen ein Isolator ist.
Beispiel 19 beinhaltet das Widerstandselement eines der Beispiele 15-17, in dem das Widerstandselement ferner eine dritte Schicht mit einer dritten Impedanz umfasst, wobei die dritte Impedanz größer als die zweite Impedanz ist, in der die erste Schicht, die zweite Schicht und die dritte Schicht konzentrisch sind, und in dem in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse die zweite Schicht die erste Schicht und die dritte Schicht die zweite Schicht umschließt.
Beispiel 20 beinhaltet das Widerstandselement von Beispiel 15, bei dem die erste Schicht und die zweite Schicht orthogonal zur Signalflussachse liegen.
Beispiel 21 beinhaltet das Widerstandselement von Beispiel 20, bei dem die zweite Schicht elektrisch nicht leitend ist und eine Durchkontaktierung durch die zweite Schicht parallel zur Signalflussachse umfasst.
Beispiel 22 beinhaltet das Widerstandselement eines der Beispiele 20-21, ferner umfassend eine dritte Schicht orthogonal zur Signalflussachse, wobei die dritte Schicht eine dritte Impedanz aufweist, die niedriger als die zweite Impedanz ist, wobei die zweite Schicht zwischen der ersten Schicht und der dritten Schicht liegt, wobei die erste Schicht und die dritte Schicht jeweils elektrisch leitfähig sind.
Ausführungsformen können auf einer speziell erstellten Hardware, auf Firmware, digitalen Signalprozessoren oder auf einem speziell programmierten Universalcomputer einschließlich eines Prozessors, der nach programmierten Anweisungen arbeitet, betrieben werden. Die hierin verwendeten Begriffe „Controller“ oder „Prozessor“ sollen Mikroprozessoren, Mikrocomputer, ASICs und spezielle Hardware-Controller umfassen. Ein oder mehrere Aspekte können in computerverwendbaren Daten und computerausführbaren Anweisungen verkörpert sein, wie beispielsweise in einem oder mehreren Programmmodulen, die von einem oder mehreren Computern (einschließlich Überwachungsmodulen) oder anderen Geräten ausgeführt werden. Im Allgemeinen beinhalten Programmodule Routinen, Programme, Objekte, Komponenten, Datenstrukturen usw., die bestimmte Aufgaben erfüllen oder bestimmte abstrakte Datentypen implementieren, wenn sie von einem Prozessor in einem Computer oder einer anderen Vorrichtung ausgeführt werden. Die computerausführbaren Anweisungen können auf einem nichtflüchtigen, computerlesbaren Medium gespeichert werden, wie beispielsweise auf einer Festplatte, einer optischen Platte, einem Wechselmedium, einem Festkörperspeicher, einem RAM usw. Wie von einem Fachmann geschätzt wird, kann die Funktionalität der Programmmodule beliebig kombiniert oder in verschiedenen Ausführungsformen verteilt werden. Darüber hinaus kann die Funktionalität ganz oder teilweise in Firmware oder Hardware-Äquivalenten wie integrierten Schaltungen, FPGAs (Field Programmable Gate Arrays) und dergleichen verkörpert werden. Bestimmte Datenstrukturen können verwendet werden, um einen oder mehrere Aspekte der offenbarten Systeme und Verfahren effektiver umzusetzen, und diese Datenstrukturen werden im Rahmen der hierin beschriebenen computerausführbaren Anweisungen und computerverwendbaren Daten betrachtet.
Die zuvor beschriebenen Versionen des offenbarten Gegenstands haben viele Vorteile, die entweder beschrieben wurden oder für eine Person mit gewöhnlichen Fähigkeiten offensichtlich wären. Dennoch sind all diese Vorteile oder Merkmale nicht in allen Versionen der offenbarten Geräte, Systeme oder Verfahren erforderlich.
Darüber hinaus wird in dieser schriftlichen Beschreibung auf bestimmte Merkmale hingewiesen. Es ist zu verstehen, dass die Offenbarung in dieser Spezifikation alle möglichen Kombinationen dieser besonderen Merkmale umfasst. Wenn beispielsweise ein bestimmtes Merkmal im Rahmen eines bestimmten Aspekts oder einer bestimmten Ausführungsform offenbart wird, kann dieses Merkmal, soweit möglich, auch im Rahmen anderer Aspekte und Ausführungsformen verwendet werden.
Auch wenn in dieser Anwendung auf ein Verfahren mit zwei oder mehr definierten Schritten oder Operationen verwiesen wird, können die definierten Schritte oder Operationen in beliebiger Reihenfolge oder gleichzeitig ausgeführt werden, es sei denn, der Kontext schließt diese Möglichkeiten aus.
Darüber hinaus wird in dieser Anwendung der Begriff „umfasst“ und seine grammatikalischen Entsprechungen verwendet, um zu bedeuten, dass optional andere Komponenten, Merkmale, Schritte, Prozesse, Operationen usw. vorhanden sind. So kann beispielsweise ein Artikel, der die Komponenten A, B und C umfasst, nur die Komponenten A, B und C enthalten, oder er kann die Komponenten A, B und C zusammen mit einer oder mehreren anderen Komponenten enthalten.
Obwohl spezifische Ausführungsformen zur Veranschaulichung veranschaulicht und beschrieben wurden, versteht es sich, dass verschiedene Änderungen vorgenommen werden können, ohne vom Geist und Umfang der Offenbarung abzuweichen. Dementsprechend sollte die Erfindung nicht eingeschränkt werden, außer wie durch die beigefügten Ansprüche.

Claims

Prüfsondenspitze, umfassend: ein Spitzenteil mit einem ersten Ende, das ausgebildet ist, um eine elektrische Verbindung mit einer zu prüfenden Vorrichtung herzustellen, und einem zweiten Ende, das dem ersten Ende des Spitzenteils entlang einer Signalflussachse der Prüfkopfspitze gegenüberliegt; ein Widerstandselement, das elektrisch mit dem zweiten Ende des Spitzenteils entlang der Signalflussachse verbunden ist, wobei das Widerstandselement ausgebildet ist, um eine elektrische Impedanz für ein elektrisches Signal bereitzustellen, das das Widerstandselement durchläuft; und ein Ausgleichselement, das ausgebildet ist, um eine Bewegung des Spitzenteils in einer ersten axialen Richtung entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze zu ermöglichen, wenn eine mechanische Kraft auf das Spitzenteil in der ersten axialen Richtung ausgeübt wird, und um eine Bewegung des Spitzenteils in einer zweiten axialen Richtung entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze zu bewirken, wobei die zweite axiale Richtung entgegengesetzt zur ersten axialen Richtung ist, wenn die auf das Spitzenteil ausgeübte mechanische Kraft entfernt oder reduziert wird.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 1, bei der das Widerstandselement mit dem zweiten Ende des Spitzenteils an einem ersten Ende des Widerstandselements elektrisch verbunden ist, bei der das Ausgleichselement einen Kolbengrundkörper beinhaltet, der elektrisch mit einem zweiten Ende des Widerstandselements gekoppelt ist, wobei das zweite Ende des Widerstandselements gegenüber dem ersten Ende des Widerstandselements entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze liegt.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend ein Strukturelement, wobei das Strukturelement das Spitzenteil strukturell mit dem Ausgleichselement verbindet.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 3, bei der sich das Widerstandselement innerhalb des Bauteils befindet.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 2, bei der der Kolbengrundkörper elektrisch mit dem zweiten Ende des Widerstandselements an einem ersten Ende des Kolbengrundkörpers gekoppelt ist, bei der das Ausgleichselement weiterhin einen Zylinderkörper beinhaltet, und bei der ein zweites Ende des Kolbengrundkörpers ausgebildet ist, um innerhalb des Zylinderkörpers und entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze zu gleiten, wobei das zweite Ende des Kolbengrundkörpers dem ersten Ende des Kolbengrundkörpers entlang der Signalflussachse der Prüfkopfspitze gegenüberliegt.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 5, in der das Ausgleichselement ferner einen Federmechanismus innerhalb des Zylinderkörpers beinhaltet, wobei der Federmechanismus ausgebildet ist, um eine Bewegung des Kolbengrundkörpers innerhalb des Zylinderkörpers in der ersten axialen Richtung zu ermöglichen, wenn die auf das Spitzenteil in der ersten axialen Richtung ausgeübte mechanische Kraft und eine Bewegung des Kolbengrundkörpers innerhalb des Zylinderkörpers in der zweiten axialen Richtung zu bewirken, wenn die mechanische Kraft entfernt oder reduziert wird.
Prüfsondenspitze nach einem der Ansprüche 1 bis 6, worin das Widerstandselement eine erste Schicht mit einer ersten Impedanz und eine zweite Schicht mit einer zweiten Impedanz umfasst, wobei die zweite Impedanz größer als die erste Impedanz ist.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 7, bei der die erste Schicht und die zweite Schicht konzentrisch sind.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 8, bei der die zweite Schicht in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze die erste Schicht umgibt.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 7, bei der das Widerstandselement ferner eine dritte Schicht mit einer dritten Impedanz umfasst, wobei die dritte Impedanz größer als die zweite Impedanz ist, bei der die erste Schicht, die zweite Schicht und die dritte Schicht konzentrisch sind, und bei der die zweite Schicht in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze die erste Schicht und die dritte Schicht die zweite Schicht umgibt.
Prüfkopfspitze nach Anspruch 7, bei der die erste Schicht und die zweite Schicht orthogonal zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze sind.
Prüfsondenspitze nach Anspruch 11, bei der die zweite Schicht elektrisch nicht leitfähig ist und eine Durchkontaktierung durch die zweite Schicht parallel zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze umfasst.
Die Prüfsondenspitze nach Anspruch 12, ferner umfassend eine dritte Schicht orthogonal zur Signalflussachse der Prüfkopfspitze, wobei die dritte Schicht eine dritte Impedanz aufweist, die niedriger als die zweite Impedanz ist, wobei die zweite Schicht zwischen der ersten Schicht und der dritten Schicht liegt, wobei die erste Schicht und die dritte Schicht jeweils elektrisch leitfähig sind.
Prüfsondenspitze nach einem der Ansprüche 1 bis 13, worin das Widerstandselement ein Material umfasst, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus einem leitfähigen Epoxidwiderstand mit einem suspendierten Widerstandsmaterial oder einem Elastomer mit einem suspendierten Widerstandsmaterial.
Widerstandselement, das ausgebildet ist, um eine elektrische Impedanz für ein elektrisches Signal bereitzustellen, das entlang einer Signalflussachse des Widerstandselements verläuft, wobei das Widerstandselement umfasst: eine erste Schicht mit einer ersten Impedanz; und eine zweite Schicht mit einer zweiten Impedanz, wobei die zweite Impedanz größer als die erste Impedanz ist.
Widerstandselement nach Anspruch 15, bei dem die erste Schicht und die zweite Schicht konzentrisch sind.
Widerstandselement nach Anspruch 16, bei dem die zweite Schicht in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse die erste Schicht umgibt.
Widerstandselement nach Anspruch 16, bei dem in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse die erste Schicht die zweite Schicht umgibt und bei dem die zweite Schicht im Wesentlichen ein Isolator ist.
Widerstandselement nach einem der Ansprüche 15 bis 18, worin das Widerstandselement ferner eine dritte Schicht mit einer dritten Impedanz umfasst, wobei die dritte Impedanz größer als die zweite Impedanz ist, worin die erste Schicht, die zweite Schicht und die dritte Schicht konzentrisch sind, und worin in einem Querschnitt senkrecht zur Signalflussachse die zweite Schicht die erste Schicht und die dritte Schicht die zweite Schicht umschließt.
Widerstandselement nach einem der Ansprüche 15 bis 19, bei dem die erste Schicht und die zweite Schicht orthogonal zur Signalflussachse sind.
Widerstandselement nach Anspruch 20, bei dem die zweite Schicht elektrisch nicht leitend ist und eine Durchkontaktierung durch die zweite Schicht parallel zur Signalflussachse umfasst.
Widerstandselement nach Anspruch 21, ferner umfassend eine dritte Schicht orthogonal zur Signalflussachse, wobei die dritte Schicht eine dritte Impedanz aufweist, die niedriger als die zweite Impedanz ist, wobei die zweite Schicht zwischen der ersten Schicht und der dritten Schicht liegt, wobei die erste Schicht und die dritte Schicht jeweils elektrisch leitfähig sind.