DE102019112472B3

DE102019112472B3 - Verfahren zur Herstellung eines ein Trägersubstrat aufweisenden Displays sowie ein nach diesem Verfahren hergestelltes Trägersubstrat

Info

Publication number: DE102019112472B3
Application number: DE102019112472.7A
Authority: DE
Inventors: Roman Ostholt; Daniel Dunker; Sergej Schneider
Original assignee: LPKF Laser and Electronics AG
Current assignee: LPKF Laser and Electronics AG
Priority date: 2019-05-13
Filing date: 2019-05-13
Publication date: 2020-08-13
Anticipated expiration: 2039-05-14

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines flexiblen Displays auf einem Trägersubstrat (1). Hierzu werden in das Trägersubstrat (1) in einem ersten Schritt mittels Laserstrahlung Modifikationen (5) entlang einer geschlossenen oder linienförmigen Kontur in das Trägersubstrat (1) eingebracht. Anschließend wird ein Schichtaufbau aus mehreren Schichten (4) zumindest in dem die Modifikationen (5) aufweisenden Bereich (2) auf die Substratoberfläche aufgebracht. Nachfolgend wird eine der Schicht (4) abgewandten Seite des Trägersubstrats (1) einem Ätzangriff ausgesetzt, durch den der Materialabtrag des Trägersubstrats (1) entlang der Kontur der lasermodifizierten Bereiche (2) erreicht wird, sodass sich Ausnehmungen (6) zwischen der Schicht (4) und einer der Schicht (4) abgewandten Außenfläche des Trägersubstrats (1) erstrecken. Auf diese Weise erhält das Trägersubstrat (1) sowie die darauf aufgebrachten Schichten die gewünschten flexiblen Eigenschaften.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines ein Trägersubstrat, insbesondere Glassubstrat, aufweisenden Displays mit zumindest in einem vorbestimmten Bereich des Trägersubstrats flexiblen, biegbaren und/oder elastischen Eigenschaften.
Derartige Displays, beispielsweise auf der Basis von organischen Leuchtdiode (OLED) gewinnen für Anzeigezwecke zunehmend an Bedeutung, insbesondere bei kleinen Vorrichtungen, wie mobil mitführbare Geräte, einschließlich Wert- und Sicherheitsdokumenten, da sie als sehr dünne Schichten hergestellt werden können.
Es ist bekannt, OLED-Anzeigen flexibel auszuführen. Hierzu sind bereits Verfahren zum nachträglichen Strukturieren einer flexiblen organischen lichtemittierenden Diode (FOLED) bekannt, bei dem schrittweise ein oder mehrere Schichten von der gestapelten Schichtanordnung mittels Laserstrahlung wieder abgetragen werden (Ablation).
Da diese aus Schichten von organischen Materialien auf flexiblen Trägersubstraten hergestellt werden können, einschließlich flexiblen Treiberschaltungen, lassen sie sich an nicht-ebene Oberflächen anpassen oder in Strukturen einsetzen, welche selbst flexible Eigenschaften haben.
Als problematisch erweist sich die Empfindlichkeit der OLED-Materialien auf Sauerstoff und/oder Feuchtigkeit, was in relativ kurzen Lebensdauern resultiert. Dies kann beispielsweise gelöst werden, indem die eigentlichen OLED-Komponenten zwischen zwei Glas-Schichten eingebracht werden, welche im Wesentlichen frei von Sauerstoff und/oder Dampfdiffusion sind.
Eine weitere Möglichkeit ist es, die OLED-Anzeige auf einem Glassubstrat mit einer Sperrschicht zu verwenden. Diese Sperrschichten können beispielsweise aus Siliziumoxiden (SiO2), (Bor-)Silikaten, Aluminaten (Al2O3) oder Metallschichten (AI, Ag, Au, Rh) oder anderen entsprechenden Materialien aufgebaut werden.
Derartige OLED-Strukturen oder -Vorrichtungen bleiben flexibel, falls die Glasschichten eine Dicke unterhalb bestimmter Grenzen haben. Typischerweise haben OLEDs mit Glasschichten und einer Dicke von 100 µm oder weniger immer noch die notwendige Flexibilität für die meisten Zwecke.
Allerdings sind derartige dünne Glasschichten, d. h. unter 50 µm, oder selbst unter 20 µm, zerbrechlich und neigen wegen ihrer Sprödigkeit zum Brechen. Somit ist es von diesem Aspekt her wünschenswert, derartige OLEDs zu Stabilisierungszwecken mit mechanisch festen (flexiblen oder nicht-flexiblen) Trägersubstraten zu verbinden.
Bei der Produktion von klassischen Displays für Smartphones wird ein Trägersubstrat aus Glas als unterste Schicht verwendet, die sogenannte „Back Plane“. Die Eigenschaften von technischen Gläsern sind ideal für die Anforderungen an ein Back Plane.
Mit der Entwicklung von faltbaren Displays für neuartige Smartphones ging eine signifikante Änderung der Prozessabfolge einher. Die ursprünglich zur Stabilisierung und Fixierung der elektronischen Komponenten gedachten Back Planes aus Glas müssen in der aktuellen Herangehensweise nach der Aufbringung der Komponenten in einem aufwendigen und den Ausschuss erhöhenden Verfahren (Laser-Lift-Off-Verfahren) entfernt werden. Auf diese Weise bleiben nur die biegsamen Komponenten des Displays ohne die schützende Back Plane zurück
Beim Laser-Lift-Off-Verfahren geht es um den Transfer einer mikroelektronischen Funktionsschicht auf ein neues Trägersubstrat, welches leichter und dünner ist. Die Trennung der Schichten erfolgt dabei meistens durch selektive Laserablation und Verdampfen einer stark absorbierenden Zwischenschicht, typischerweise einer Polymerschicht. Entscheidend ist, die angrenzende mikroelektronische Funktionsschicht durch die Energie der Laserstrahlung nicht zu beeinträchtigen.
Die Produktion flexibler Displays, ob sie in einem Smartphone, Tablet oder E-Reader zum Einsatz kommen, haben immer eines gemeinsam: Die Schaltkreisschichten zur individuellen Pixel-Steuerung befinden sich nicht mehr auf einem festen Glasträger, sondern auf einer biegsamen Schicht.
Nachteile des herkömmlichen Laser-Lift-Off-Verfahrens sind die hohen Prozesszeiten/Produktionskosten und der Ausschuss, der durch das Verfahren zusätzlich entsteht, da Displays bei diesem Verfahren beschädigt werden können.
Derartige flexible Anzeigevorrichtungen sind beispielsweise aus der EP 3206108 B1 , EP 3456036 A1 oder der EP 2709091 B1 bekannt.
Weiterhin bezieht sich die US 2016/ 0 057 834 A1 auf ein Verfahren zur Herstellung eines Substrats für ein Anzeigemodul. Ein Substratkörper mit einem Signalschaltungsbereich wird auf eine transparente Trägerplatte aufgebracht. In den Substratkörper werden eine Vielzahl von Öffnungen eingebracht und eine untere Oberfläche durch hochenergetisches Licht durch die transparente Trägerplatte geätzt, um den Substratkörper von der transparenten Trägerplatte zu trennen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Trägersubstrat für ein Display zu schaffen, welches flexible Eigenschaften auch bei einer vergleichsweise großen Materialstärke aufweist.
Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren nach Anspruch 1 gelöst. Bevorzugte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
Erfindungsgemäß werden zumindest in einem vorbestimmten Bereich des Trägersubstrats flexible oder elastische Eigenschaften mit dem erfindungsgemäßen Verfahren dadurch realisiert, dass zunächst innerhalb des Bereichs des Trägersubstrats, der die gewünschten flexiblen Eigenschaften erhalten soll, mittels Laserstrahlung Modifikationen entlang einer geschlossenen und somit einen Teilbereich des Trägersubstrats einschließenden Kontur oder entlang einer linienförmigen Kontur in das Trägersubstrat insbesondere über dessen gesamte Breite eingebracht werden. Zumindest eine flexible Schicht wird auf das Trägersubstrat zumindest in dem zu erzeugenden flexiblen Bereich des Trägersubstrats, vorzugsweise jedoch auch auf angrenzende Bereiche des Trägersubstrats, aufgebracht. Anschließend wird das Trägersubstrat einem Ätzangriff ausgesetzt. Es kommt zu einem Materialabtrag des Trägersubstrats entlang der geschlossenen und/oder linienförmigen Kontur der lasermodifizierten Bereiche, sodass entweder Teilbereiche des Trägersubstrats herausgelöst oder schlitzförmige Einschnitte als Ausnehmungen erzeugt werden.
Diese Ausnehmungen erstrecken sich bevorzugt über einen Großteil der gesamten Dicke des Trägersubstrats, zwischen der Schicht auf dem Trägersubstrat und einer der Schicht abgewandten Außenfläche des Trägersubstrats.
Im Gegensatz zum Stand der Technik geht die Erfindung davon aus, dass anstatt die gläsernen Back Planes zu entfernen, diese selektiv vor der Displayfertigung an ausgewählten Stellen mit einem Laser modifiziert werden. Die modifizierten Bereiche zeichnen aus, dass diese zielgerichtet und wesentlich schneller als nicht-modifizierte Bereiche durch nasschemische Verfahren entfernt werden können. Durch die Laser-Modifikation wird die Integrität des Trägersubstrats aus Glas nicht maßgeblich verschlechtert, so dass dieses weiterhin in dem darauffolgenden Displayfertigungsprozess verwendet werden kann.
Auf das Trägersubstrat wird dann eine dünne Metallschicht, insbesondere eine Chromschicht als Haftvermittler sowie eine Kupferschicht als Ätzresist, aufgebracht. Alternativ kann an dieser Stelle auch eine Polymerschicht aufgebracht werden. Beide möglichen Schichten haben gemein, dass diese eine zumindest begrenzte Haltbarkeit gegenüber nasschemischen Ätzlösungen besitzen und gleichzeitig flexibel genug sind, um gefaltet zu werden.
Vorzugsweise überdecken die Metallschicht oder die Polymerschicht den zu erzeugenden flexiblen Bereich des Trägersubstrats sowie daran angrenzende Bereiche des Trägersubstrats, beispielsweise auch die gesamte Trägersubstratfläche.
Nach Abschluss der additiven Prozesse der eigentlichen Displayfertigung, insbesondere dem Aufbringen vorzugsweise mehrerer Schichten sowie elektrischer und optischer Komponenten, wird eine Verkapselung des Displays vorgenommen.
Anstatt wie beim Stand der Technik abtragende oder trennende Verfahren für die Glas-Back-Plane durchzuführen, wird erfindungsgemäß das gesamte Display einer nasschemischen Ätzlösung ausgesetzt. Diese verursacht zum einen, dass die Dicke der Glas-Back-Plane auf einen gewünschten Wert verringert wird und zum anderen, dass die zuvor lasermodifizierten Bereiche entfernt werden. Die Verkapselung des Displays sorgt dafür, dass die sensiblen Bereiche des Displays vor einer Beeinträchtigung durch die Ätzlösung geschützt bleiben.
Entsprechend den verwendeten Modifikationsgeometrien lassen sich flexible Trägersubstratbereiche erstellen oder ganze Teilbereiche des Trägersubstrates entfernen, so dass an dieser Stelle nur die flexiblen, biegsamen Displaybereiche vorhanden sind. Auf diese Weise wird erreicht, dass das Display sowohl flexible als auch feste Bereiche besitzt.
Das nasschemische Bearbeiten mit Flusssäure oder vergleichbaren Mitteln ist für sich genommen aus dem Stand der Technik bei der Herstellung von festen Displays bekannt.
Die später als Back Plane zu verwendenden technischen Gläser als Trägersubstrat werden als erster Prozessschritt lasermodifiziert. Je nach gewünschter Anwendung kann so das Glassubstrat auf verschiedene Weisen modifiziert und die Faltung des Displays unterstützt werden. Eine Herangehensweise ist das Herstellen von Schnitten und Bohrungen in dem Glassubstrat entsprechend vorbestimmten Geometrien.
Sofern beispielsweise der flexible Bereich des Trägersubstrats von nicht flexiblen Trägersubstratbereichen eingeschlossen ist, bleibt das Glassubstrat am Ende als stabilisierendes Material vorhanden. Dadurch werden Bereiche definiert, die entweder starr oder flexibel sind.
Eine weitere Möglichkeit besteht darin, das Glassubstrat entlang der zu erzeugenden Faltungsstrecke mit einer Vielzahl paralleler Konturen als Schnittlinien zu versehen und die Flexibilität nur über die unter dem Glas liegenden flexiblen elektronischen und optischen Komponenten zu gewährleisten.
Diese Variante lässt sich derart weiterentwickeln, dass ein von der Kontur eingeschlossener Bereich des Glassubstrats vollständig entfernt wird.
Die Erfindung lässt verschiedene Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips ist eine davon in der Zeichnung dargestellt und wird nachfolgend beschrieben. Diese zeigt in einer Prinzipdarstellung

1 eine geschnittene Seitenansicht eines für ein flexibles Display bestimmten Trägersubstrats mit zumindest einer überdeckenden Schicht;
2 eine Draufsicht auf ein mit linienförmigen Modifikationen versehenes Trägersubstrat;
3 eine Draufsicht auf ein Variante des Trägersubstrats mit randseitigen Modifikationen;
4 die Verfahrensschritte bei der Herstellung des Displays.

1 zeigt ein zur Herstellung eines flexiblen oder faltbaren Displays bestimmtes Trägersubstrat 1 aus Glas, wobei das Trägersubstrat 1 einen zentralen flexiblen Bereich 2 sowie beiderseits daran anschließende unflexible bzw. starre Randbereiche 3 aufweist. Alle Bereiche 2, 3 sind durch einen Schichtaufbau aus mehreren, in einzelnen Ebenen aufgebrachten Schichten 4 abgedeckt, wobei der Schichtaufbau seinerseits ebenfalls flexible Eigenschaften aufweist.
Die starren Randbereiche 3 weisen eine Materialstärke D von mehr als 100 µm auf. Mit diesen Randbereichen 3 einteilig bzw. monolithisch verbunden ist der zentrale Bereich 2, welcher mit Modifikationen 5 ausgestattet ist, die infolge eines nachfolgenden Ätzverfahrens Ausnehmungen 6 bilden, die in dem dargestellten Ausführungsbeispiel eine Beweglichkeit nach der Art eines Festkörpergelenks ermöglichen. Die in diesem Bereich 2 zu erzeugenden Ausnehmungen 6 können in Form von Gräben, Schnitten und/oder Bohrungen eingebracht werden, oder aber das Trägersubstratmaterial wird in diesem Bereich vollständig entfernt.
Die 2 und 3 zeigen jeweils eine Draufsicht auf das Trägersubstrat 1. Wie zu erkennen, verlaufen die Modifikationen 5 in dem flexiblen Bereich 2 über die gesamte Breite B des Trägersubstrats 1 zwischen einander gegenüberliegenden Seitenrändern 9 des Trägersubstrats 1, sodass eine homogene Materialschwächung und somit Beweglichkeit über die gesamte Breite B des auf dem Trägersubstrat 1 aufgebauten Displays zu erreichen.
Während sich bei der Variante gemäß der 2 starre Randbereiche 3 beiderseits des flexiblen Bereichs 2 anschließen, ist in der 3 noch ein Variante dargestellt, bei welcher der flexible Bereich 2 im Randbereich des Trägersubstrats 1 liegt, welches sich dem starren Randbereich 3 anschließt und somit einen Randabschluss 10 des Trägersubstrats 1 bildet.
Die einzelnen Verfahrensschritte zur Erzeugung der Kontur werden nachstehend anhand der 4 näher erläutert. Ausgehend von der Modifikation des Trägersubstrats1 in dem zentralen Bereich wird anschließend die Oberfläche des Trägersubstrats 1 in eine PVD-Anlage mit einer dünnen Schicht 4 aus Chrom und Kupfer bedampft und die Kupferschicht in einer Galvanik-Anlage nachträglich auf eine Dicke von mehreren Mikrometern verstärkt, bis sich eine durchgängige aber biegsame Schicht 4 bildet.
Die Abscheidung der Schicht 4, beispielsweise als Seed Layers auf das modifizierte Trägersubstrat, erfolgt mittels Magnetronsputtern (PVD-Verfahren). Das Trägersubstrat 1 wird mit der Unterseite nach oben in die PVD-Anlage platziert und die Kammer evakuiert. Nach dem Erwärmen des Trägersubstrats 1 auf eine Temperatur von ca. 200°C werden eine ca. 100 nm dicke Schicht 4 Chrom und anschließend eine ca. 350 nm dicke Schicht 4 Kupfer auf der Trägersubstratoberfläche abgeschieden. Nach dem Abkühlen des Trägersubstrats 1 auf ca. 100°C wird die Kammer belüftet und das Trägersubstrat 1 entnommen.
Als nächstes wird die Seed Layer-Schicht des Glassubstrats galvanisch verstärkt. Hierfür wird das Trägersubstrat 1 in einem Waferhalter fixiert und mit Hilfe eines Galvaniksystems ca. 5 µm Kupfer auf den Seed Layer abgeschieden. Anschließend wird das Trägersubstrat 1 mit VE-Wasser abgespült und mittels Trockenluft getrocknet.
Nach Abschluss der additiven Prozesse der eigentlichen Displayfertigung, insbesondere dem Aufbringen vorzugsweise mehrerer Schichten 4 sowie elektrischer und optischer Komponenten, wird eine Verkapselung durch Aufbringen einer Deckschicht 7 des Displays vorgenommen.
Es folgt das Ätzen des Trägersubstrats 1 in einer Lösung aus Flusssäure über einen Zeitraum von etwa 120 Minuten bei 5% HF-Lösung, bis mindestens die gesamten modifizierten Bereiche 2 ätztechnisch entfernt wurden. Eine Fortführung des Ätzdurchgangs um einige Mikrometer darüber hinaus erhöht die Zuverlässigkeit des Systems.
Nicht gezeigt ist der in der Praxis zusätzliche zwischen der Modifikation und dem Schichtauftrag (Polymer oder Metall) und dem nasschemischen Ätzschritt durchzuführende Prozess zur Herstellung des eigentlichen Displays.
Nach Abschluss des einseitigen Ätzangriffs 8 entsteht ein bereichsweise faltbares Trägersubstrat 1 aus Glas, welches fest mit einer durchgängigen, ebenfalls faltbaren Metallschicht verbunden ist. Das Entfernen der gläsernen Back Plane ist mit dieser Variante nicht mehr notwendig. Dementsprechend wird der Produktionsablauf um einen Ausschuss produzierenden Prozessschritt reduziert.
Je nach Variante wird durch das teilflexible Back Plane-Glas das Display selbst unterstützt und ist weniger anfällig für Beschädigungen.
Zusammenfassend lassen sich die wesentlichen Verfahrensschritte zur Herstellung eines Displays unter Verwendung des Glassubstrats 1 wie folgt beschreiben:

1. Bereitstellung eines starren Glassubstrats 1
2. Einbringen von Modifikationen 5 durch Laserstrahlung in das Glassubstrat 1
3. Aufbringen des Schichtaufbaus aus mehreren Schichten 4
4. Aufbringen einer Deckschicht 7 zur Verkapselung des Schichtaufbaus
5. zumindest einseitiges Ätzen des Glassubstrats 1 zur Erzeugung von Mikrostrukturen mit Ausnehmungen 6 zur Ausbildung des Festkörpergelenks

Claims

Verfahren zur Herstellung eines ein Trägersubstrat (1), insbesondere aus Glas, aufweisenden Displays, mit zumindest in einem vorbestimmten Bereich (2) des Trägersubstrats (1) flexiblen, biegbaren und/oder elastischen Eigenschaften, bei dem mehrere Ausnehmungen (6) mittels eines Ätzverfahrens infolge eines Materialabtrags in das Trägersubstrat (1) eingebracht werden, indem innerhalb des Bereichs (2) des Trägersubstrats (1) mittels Laserstrahlung Modifikationen (5) entlang mindestens einer geschlossenen und/oder linienförmigen Kontur und/oder punktuelle Modifikationen (5) in das Trägersubstrat (1) eingebracht werden und zumindest innerhalb des Bereichs (2) zumindest eine flexible, biegbare und/oder elastische Schicht (4) auf das Trägersubstrat (1) aufgebracht wird und nachfolgend eine der Schicht (4) abgewandte Seite des Trägersubstrats (1) einem Ätzangriff ausgesetzt wird, durch den der Materialabtrag des Trägersubstrats (1) entlang der mindestens einen geschlossenen und/oder linienförmigen Kontur und/oder an den punktuellen Modifikationen (5) der lasermodifizierten Bereiche (2) erfolgt, bis sich die so erzeugten Ausnehmungen (6) zumindest über einen wesentlichen Teil der Materialstärke (D) des Trägersubstrats (1), insbesondere zwischen der Schicht (4) und einer der Schicht (4) abgewandten Außenfläche des Trägersubstrats (1) erstrecken.
Verfahren zur Herstellung eines Trägersubstrats (1) für ein Display mit zumindest in einem vorbestimmten Bereich (2) des Trägersubstrats (1) flexiblen, biegbaren und/oder elastischen Eigenschaften, bei dem mehrere Ausnehmungen (6) mittels eines Ätzverfahrens infolge eines Materialabtrags in das Trägersubstrat (1) eingebracht werden, indem innerhalb des Bereichs (2) des Trägersubstrats (1) mittels Laserstrahlung Modifikationen (5) entlang mindestens einer geschlossenen und/oder linienförmigen Kontur und/oder punktuelle Modifikationen (5) in das Trägersubstrat (1) eingebracht werden und zumindest innerhalb des Bereichs (2) zumindest eine flexible, biegbare und/oder elastische Schicht (4) auf das Trägersubstrat (1) aufgebracht wird und nachfolgend eine der Schicht (4) abgewandte Seite des Trägersubstrats (1) einem Ätzangriff ausgesetzt wird, durch den der Materialabtrag des Trägersubstrats (1) entlang der geschlossenen und/oder linienförmigen Kontur und/oder der punktuellen Modifikation (5) der lasermodifizierten Bereiche (2) erfolgt, bis sich die so erzeugten Ausnehmungen (6) zumindest über einen wesentlichen Teil der Materialstärke (D) des Trägersubstrates (1), insbesondere zwischen der Schicht (4) und einer der Schicht (4) abgewandten Außenfläche des Trägersubstrats (1) erstrecken und dadurch ein Festkörpergelenk bilden.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf das Trägersubstrat (1) eine Opferschicht als Träger der Schicht (4) aufgebracht wird, und dass der Ätzvorgang fortgesetzt wird, bis die Opferschicht erreicht wird, sodass es zu einer Auflösung oder Reduzierung der Opferschicht und schließlich zu einem Trennen der Verbindung der durch die Kontur begrenzten Fläche des Trägersubstrats (1) von dem umgebenden Glassubstrat sowie von der Schicht (4) kommt.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Bereich (2) des Trägersubstrats (1) mehrere parallele Konturen erzeugt werden.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Schicht (4) ein Dünnschichtbauelement, insbesondere eine organische Leuchtdiode (OLED), aufgebracht wird und/oder dass die Schicht (4) als Träger des Dünnschichtbauelements dient.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Modifikationen (5) vor dem Aufbringen der Schicht (4) in das Trägersubstrat (1) eingebracht werden und/oder der Ätzprozess nach Abschluss des Schichtauftrags durchgeführt wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (4) sowohl auf den durch den Materialabtrag flexiblen Bereich des Trägersubstrats (1) als auch auf angrenzende Bereiche des Trägersubstrats (1) aufgebracht wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Ätzangriff mittels eines Ätzresists auf einen Teilbereich des Trägersubstrats (1) beschränkt wird.
Ein für ein flexibles Display bestimmtes Trägersubstrat (1) mit zumindest einer einen flexiblen Bereich (2) des Trägersubstrates (1) abdeckenden Schicht (4), hergestellt mit einem Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche.
Substrat nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (4) ein Dünnschichtbauelement, insbesondere eine organische Leuchtdiode (OLED), aufweist, und/oder dass die Schicht (4) als Träger des Dünnschichtbauelements dient.
Substrat nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (4) als eine metallische Schicht, insbesondere mit einem wesentlichen Materialanteil an Chrom und/oder Kupfer, oder als eine polymere Schicht ausgeführt ist.