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Die Erfindung betrifft eine LIDAR-Vorrichtung mit einer Anordnung zum Bereitstellen mindestens eines Strahls mit reduzierten Störreflexen oder ohne Störreflexe.
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Stand der Technik
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Bei Laserprojektionssystemen bzw. LIDAR-Systemen kommen Mikrospiegel auf Basis von mikroelektromechanischen System-Prozessen (MEMS-Prozessen) zum Einsatz. Der Mikrospiegel bzw. MEMS-Chip wird üblicherweise zum Schutz vor Umgebungseinflüssen mit einem Deckglas hermetisch verschlossen. Trotz der Verwendung von Antireflexbeschichtungen wird ein Bruchteil des Strahls am Deckglas reflektiert, so dass sich Störreflexe im gleichen Winkelbereich des reflektierten Hauptstrahls ergeben. Aufgrund dessen werden üblicherweise Störreflexe von dem gleichen Winkelbereich des Hauptstrahls abgelenkt, indem das Deckglas in einer geneigten Position montiert wird. Die Herstellung dieser geneigten Deckgläser und deren Fenstersitz sind sehr aufwändig und nur schwer mit Wafer-Prozessen umsetzbar. Da die Neigung des Deckglases größer sein muss, als der maximale Verkippwinkel des Spiegels, muss der Fenstersitz zudem eine signifikante Dicke aufweisen. Diese notwendigen Maßnahmen machen einen erheblichen Anteil der Gesamtkosten derartiger Systeme aus.
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In der Druckschrift
US 6 580 490 B1 ist ein Drucker offenbart, welcher mit Hilfe von LEDs Lichtstrahlen erzeugt und diese kollimiert sowie polarisiert. Das polarisierte Licht wird durch einen Strahlenteiler geleitet. Durch den Strahlenteiler wird Licht mit einer Polarisationsrichtung auf einen Spatial Light Modulator zum Anpassen einer Intensitätsverteilung des Lichts gelenkt und erneut in den Strahlenteiler abgestrahlt. Weiterer Stand der Technik ist in den Druckschriften
US 2008/0123168 A1 ,
US 2009/0102988 A1 ,
US 2009/0008669 A1 und
DE 10 2009 007 124 A1 beschrieben.
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Offenbarung der Erfindung
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Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe kann darin gesehen werden, eine LIDAR-Vorrichtung mit einer Anordnung, zu schaffen, die einfach zu realisieren ist und entstehende Störreflexe reduziert oder verhindert.
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Diese Aufgabe wird mittels des Gegenstands des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von jeweils abhängigen Unteransprüchen.
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Nach einem Aspekt der Erfindung wird eine Anordnung zum Bereitstellen mindestens eines Strahls mit reduzierten Störreflexen oder ohne Störreflexe bereitgestellt, die einen Spiegel zum Reflektieren mindestens eines in einen Bereich des Spiegels eintretenden Strahls einer Strahlenquelle, ein im Strahlengang des mindestens einen eintretenden Strahls zwischen dem Spiegel und der Strahlenquelle angeordnetes Deckglas zum Schutz des Spiegels und eine Empfangsvorrichtung zum Empfangen mindestens eines von dem Spiegel reflektierten, aus dem Bereich des Spiegels austretenden Strahls aufweist. Die Anordnung weist einen ersten Polarisationsfilter zum Polarisieren und/oder zum Ändern einer Polarisation des mindestens einen eintretenden und austretenden Strahls auf, der im Strahlengang des mindestens einen eintretenden und austretenden Strahls zwischen dem Spiegel und dem Deckglas angeordnet ist. Zusätzlich weist die Anordnung einen zweiten Polarisationsfilter auf, der im Strahlengang des mindestens einen austretenden Strahls zwischen dem Deckglas und der Empfangsvorrichtung zum Blockieren von Störreflexen des Deckglases angeordnet ist.
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Es wird mindestens ein eintretender Strahl von der Strahlungsquelle erzeugt und auf den Spiegel gerichtet. Der mindestens eine eintretende Strahl passiert das Deckglas, welches als Schutz für den Spiegel dient. Bei Passieren von Grenzschichten zwischen Luft bzw. Gas und dem Deckglas wird ein Teil des eintretenden Strahls reflektiert. Analog wird ein weiterer Teil des eintretenden Strahls nach einem Durchqueren des Deckglases an der Grenzschicht zwischen Glas und Luft reflektiert. Auch bei einer Verwendung einer Antireflexbeschichtung wird ein endlicher Bruchteil des Strahls am Deckglas reflektiert. Dadurch entstehen Störreflexe, die im gleichen Winkelbereich liegen, wie der eintretende Strahl, der am Spiegel reflektiert wird. Durch den ersten Polarisationsfilter wird der eintretende Strahl derart polarisiert, dass er eine Polarisationsrichtung aufweist, die sich von einer Polarisationsrichtung der Störreflexe unterscheidet. Nach einem Reflektieren des eintretenden Strahls an dem Spiegel wird der eintretende Strahl zum austretenden Strahl. Der Spiegel kann hierbei beispielsweise ein Mikro- oder Makrospiegel sein, der durch das Deckglas vor äußeren Einflüssen zumindest teilweise abgekapselt bzw. geschützt wird. Äußere Einflüsse können beispielsweise Staub, Schmutz, Steinschlag und ähnliche mechanische oder chemische Einwirkungen sein. Nach dem Reflektieren durchquert der austretende Strahl bzw. eine Vielzahl an austretenden Strahlen das Deckglas erneut. Hierbei können ebenfalls auftretende Störreflexe vernachlässigt werden, da sie von der Empfangsvorrichtung weggerichtet sind und diese nicht beeinflussen. Der mindestens eine austretende Strahl trifft anschließend auf den zweiten Polarisationsfilter und weist eine Polarisationsrichtung auf, die sich durch die Reflektion am Spiegel ändern oder gleich bleiben kann. Bevorzugterweise ist der zweite Polarisationsfilter derart ausgestaltet, dass er für den austretenden Strahl mit seiner Polarisationsrichtung ungehindert passierbar ist. Wenn die Strahlenquelle mindestens einen unpolarisierten Strahl erzeugt, sind die Störreflexe nur unter einem Brewster-Winkel vollständig linear polarisiert. Unter anderen Reflektionswinkel sind die Störreflexe zumindest teilweise linear polarisiert. Der Teil der Störreflexe, der linear polarisiert ist, weist eine bestimmte Polarisationsrichtung auf, die sich von der Polarisationsrichtung des austretenden Strahls unterscheidet. Bevorzugterweise unterscheidet sich die Polarisationsrichtung um 90°. Alternativ kann der Unterschied der Polarisationsrichtungen des austretenden Strahls und der Störreflexe je nach Ausführung des zweiten Polarisationsfilters kleiner sein. Durch die unterschiedlichen Polarisationsrichtungen kann der zweite Polarisationsfilter die Störreflexe mit einer bestimmten Polarisationsrichtung blockieren und den mindestens einen austretenden Strahl vorzugweise verlustfrei durchlassen. Da die Störreflexe bei mindestens einem unpolarisierten eintretenden Strahl teilweise unpolarisiert bleiben, können die Störreflexe durch den zweiten Polarisationsfilter zumindest reduziert werden. Somit können Störungen der Empfangsvorrichtung durch entstehende Reflektionen reduziert oder vollständig verhindert werden.
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Die Strahlenquelle kann hierbei ein Laser, eine Leuchtdiode und dergleichen sein. Die Strahlenquelle kann somit mindestens einen Strahl mit einer Wellenlänge im Bereich von 150nm bis 12µm erzeugen. Alternativ können auch mehrere Strahlenquellen parallel geschaltet sein, um eine Strahlungsleistung der Strahlenquelle erhöhen zu können. Die Empfangsvorrichtung kann beispielsweise ein CMOS- oder CCD-Sensor mit entsprechender elektronischer Beschaltung sein. Des Weiteren kann die Empfangsvorrichtung weitere Filter, Blenden und/oder optische Elemente wie beispielsweise Linsen oder diffraktive optische Elemente enthalten. Alternativ kann die Empfangsvorrichtung auch ein eine Umgebung, eine Fläche oder ein Objekt sein, die bzw. das mit dem mindestens einen austretenden Strahl belichtet werden soll.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Anordnung ist im Strahlengang des mindestens einen eintretenden Strahls zwischen der Strahlenquelle und dem Deckglas ein dritter Filter zum linearen Polarisieren des mindestens einen eintretenden Strahls angeordnet. Hierdurch kann eine beliebige Strahlenquelle verwendet werden, da die erzeugten Strahlen durch den dritten Polarisationsfilter linear oder zirkular polarisiert werden können. Bevorzugterweise ist der dritte Polarisationsfilter auf den ersten und den zweiten Polarisationsfilter abgestimmt, sodass Störreflexe vollständig unterbunden werden können. Hierzu verlaufen die Polarisationsrichtungen des zweiten und dritten Polarisationsfilters vorzugsweise senkrecht zueinander.
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Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung wird der eintretende Strahl durch die Strahlenquelle linear polarisiert. Hierbei erzeugt die Strahlenquelle mindestens einen einfallenden Strahl, der bereits eine lineare Polarisationsrichtung aufweist. Die Störreflexe behalten die lineare Polarisierung des mindestens einen eintretenden Strahls. Bei Reflektion an Grenzschichten kann sich zwar die Polarisationsrichtung beispielsweise je nach Beschichtung des Deckglases ändern, sie bleibt jedoch weiterhin linear. Somit kann der mindestens eine eintretende Strahl von dem ersten Polarisationsfilter derart polarisiert werden, dass der mindestens eine austretende Strahl eine Polarisationsrichtung aufweist, die sich von der Polarisationsrichtung der Störreflexe unterscheidet. Hierdurch kann der zweite Polarisationsfilter die Störreflexe vollständig blockieren, sodass nur der austretende Strahl den zweiten Polarisationsfilter passiert und die Empfangsvorrichtung erreicht.
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Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung ist der erste Polarisationsfilter eine Kombination aus einer λ/4-Platte und einem linearen Polarisationsfilter. Bei einem Durchlaufen des ersten Polarisationsfilters wird der eintretende Strahl zirkular polarisiert. Anschließend durchläuft der zirkular polarisierte eintretende Strahl den linearen Polarisator, der den zirkular polarisierten eintretenden Strahl derart linear polarisiert, dass dieser eine Polarisationsrichtung aufweist, die beispielsweise senkrecht zu einer Polarisationsrichtung der Störreflexe steht. Der Strahl wird anschließend am Spiegel reflektiert und durchläuft den gleichen Filter in umgekehrter Reihenfolge. Der lineare Polarisator wird ungehindert passiert, da dieser auf den gleichen Zustand sensitiv ist, der beim ersten Durchtritt des ersten Polarisationsfilters erzeugt wurde. Die nachfolgende λ/4-Platte verursacht eine zirkular Polarisation am austretenden Strahlen. Hierdurch können nach dem erneuten Passieren des Deckglases ein Teil des austretenden Strahls mit zirkularer Polarisation und die Störreflexe mit linearer Polarisation durch den zweiten Polarisationsfilter blockiert werden, sodass nur der entsprechend lineare Teil des austretenden Strahls den zweiten Polarisationsfilter durchläuft.
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Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Anordnung ist der erste Polarisationsfilter eine λ/4-Piatte. Beim ersten Durchtritt des ersten Polarisationsfilters wird dem eintretenden Strahl aus der linearen eine zirkulare Polarisation auferlegt, welche bei einer geeigneten Beschichtung des Spiegels erhalten bleibt. Beim erneuten Durchtritt durch den erst Polarisationsfilter wird eine weitere λ/4-Phasenverschiebung bei dem austretenden Strahl erzeugt, die in Summe eine im Vergleich zum eintretenden Strahl um 90° gedrehte lineare Polarisation erzeugt. Somit entsteht eine 90° Drehung der Polarisationsrichtung. Die Wahl der Ausrichtung der linearen Polarisation und einer Helizität der zirkularen Polarisation kann verschieden kombiniert werden. Entscheidend ist, dass die Polarisationsrichtung des austretenden Strahls nach dem erneuten Passieren des Deckglases möglichst senkrecht zu einer Polarisationsrichtung der Störreflexe steht.
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Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung weist der durch den ersten Polarisationsfilter austretende Strahl eine andere Polarisationsrichtung auf, als die Störreflexe des Deckglases. Hierdurch können mit einer angepassten optischen Ausrichtung des zweiten Polarisationsfilters Störreflexe vollständig eliminiert werden, so dass diese eine Aufnahme oder Messung der Empfangsvorrichtung nicht beeinträchtigen.
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Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung ist der zweite Polarisationsfilter für den austretenden durch den ersten Polarisationsfilter polarisierten Strahl durchlässig. Hierdurch kann der austretende Strahl bevorzugterweise verlustfrei den zweiten Polarisationsfilter passieren.
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Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung weißt der Spiegel eine Beschichtung auf, die eine Änderung einer durch den ersten Polarisationsfilter erzeugten Polarisationsrichtung verhindert. Hierdurch ist der Spiegel vorzugsweise derart beschichtet, dass die Polarisationsrichtung des eintretenden Strahls nach der Reflexion erhalten bleibt. Hierdurch weisen im Strahlengang zwischen dem Spiegel und dem Deckglas der eintretende Strahl und austretende Strahl die gleiche Polarisationsrichtung auf.
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Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung verlaufen der Spiegel und das Deckglas parallel zu einander oder weisen einen Winkel zu einander auf. Bei einer parallelen Anordnung des Spiegels und des Deckglases kann die Anordnung technisch besonders einfach hergestellt werden. Alternativ können der Spiegel und das Deckglas einen Winkel zueinander aufweisen, sodass am Deckglas entstehende Störreflexe zumindest teilweise von dem austretenden Strahl abgelenkt werden. Die so abgelehnten Störreflexe können anschließend durch eine Blende blockiert werden. Der Winkel zwischen dem Spiegel und den Deckel das muss derart gewählt werden, dass auch bei einer maximalen Verschwenkung des Spiegels Störreflexe stark genug abgelenkt werden, sodass sie nicht von der Empfangsvorrichtung registriert werden können.
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Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung ist der erste Polarisationsfilter als eine Beschichtung des Deckglases ausführbar. Hierdurch kann das Deckglas und der erste Polarisationsfilter in einem Schritt hergestellt und montiert werden. Vorzugsweise kann der erste Polarisationsfilter über einen Wafer-Prozess oder ein Epitaxieverfahren auf eine dem Spiegel zugewandte Seite des Deckglases aufgebracht werden.
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Bei einem Ausführungsbeispiel der Anordnung ist der erste Polarisationsfilter als eine Beschichtung des Spiegels ausgeführt. Alternativ zum vorherigen Ausführungsbeispiel kann der erste Polarisationsfilter auch integral mit dem Spiegel ausgeführt sein.
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Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung ist der erste Polarisationsfilter in einer Halterung zwischen dem Spiegel und dem Deckglas angeordnet. Hierdurch ist der Polarisationsfilter ein separates Bauteil und ist in einem Strahlengang zwischen dem Deckglas und dem Spiegel in einer dafür vorgesehenen Halterung angebracht.
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Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel der Anordnung ist der Spiegel verschwenkbar angeordnet. Hierdurch weist die Anordnung im Bereich des Spiegels Raum für eine Schwenkbewegung oder Drehbewegungen des Spiegels auf. Dies ist insbesondere bei Verwendung der Anordnung in einer LIDAR-Vorrichtung vorteilhaft. Alternativ könnte der Spiegel zusammen mit dem Deckglas zusammen verschwenkbar sein.
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Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum Bereitstellen eines Strahls mit weniger Störreflexen vorzugsweise ohne Störreflexe mit einer Anordnung bereitgestellt. Hierbei wird mindestens ein von mindestens einer Strahlenquelle erzeugter eintretender Strahl durch ein Deckglas auf einen Spiegel gelenkt. Ein zwischen dem Deckglas und dem Spiegel angeordneter erster Polarisationsfilter polarisiert und/oder ändert eine Polarisation des eintretenden und nach einer Reflexion am Spiegel austretenden Strahl derart, dass er eine Polarisationsrichtung aufweist, die sich von einer Polarisationsrichtung mögliche Störreflexe unterscheidet. Hierdurch kann vorzugsweise nur der austretende Strahl durch den zweiten Polarisationsfilter möglichst ungehindert transmittieren. Die Störreflexe hingegen werden von den zweiten Polarisationsfilter bevorzug vollständig blockiert.
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Bei der LIDAR-Vorrichtung erzeugt eine Strahlenquelle einen eintretenden Strahl, der durch einen Spiegel zu einem austretenden Strahl abgelenkt und auf eine Umgebung, eine Fläche oder ein Objekt gerichtet ist. Eine von der Umgebung, einer Fläche oder einem Objekt reflektierte und auf die Vorrichtung gerichtete Komponente des austretenden Strahls kann von einer entsprechenden Empfangskomponente registriert und weiterverarbeitet werden. Durch eine Schwenkbewegung des Spiegels kann somit die Umgebung oder das Objekt beispielsweise detektiert bzw. vermessen werden. Der Spiegel ist hierbei durch ein Deckglas vor äußeren Einflüssen geschützt. Damit dieser Vorgang fehlerfrei ablaufen kann, ist zwischen dem Spiegel und dem Deckglas ein erster Polarisationsfilter angeordnet, der den eintretenden bzw. austretenden Strahl derart polarisiert und/oder derart in der Polarisation ändert, dass er eine andere Polarisationsrichtung aufweist als eine Polarisationsrichtung möglicher Störreflexe. Ein zweiter Polarisationsfilter, der in einem Strahlengang des austretenden Strahls nach dem Deckglas angeordnet ist, kann eine Ausbreitung der Störreflexe verhindern indem er diese blockiert. Der polarisierte austretende Strahl kann hingegen den zweiten Polarisationsfilter passieren.
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Im Folgenden werden anhand von stark vereinfachten schematischen Darstellungen bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert. Hierbei zeigen
- 1 eine schematische Darstellung einer Anordnung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel,
- 2 eine schematische Darstellung einer Anordnung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel und
- 3 eine schematische Darstellung des Verfahrens gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel.
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In den Figuren weisen dieselben konstruktiven Elemente jeweils dieselben Bezugsziffern auf. Die Pfeile in jeweiligen Strahlengängen der 1 und 2 verdeutlichen Polarisationsrichtungen in entsprechenden Strahlenabschnitten.
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1 zeigt eine schematische Darstellung einer Anordnung 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel. Ein in der Anordnung 1 von einer nicht gezeigten Strahlenquelle erzeugter, in einen Bereich des Spiegels eintretender Strahl 2 wird durch einen linearen Polarisationsfilter 4 bzw. einen dritten Polarisationsfilter 4 geleitet und trifft anschließend auf ein Deckglas 6. Alternativ könnte direkt von der nicht gezeigten Strahlenquelle ein linear polarisierter Strahl erzeugt werden, sodass auf den dritten Polarisationsfilter 4 verzichtet werden könnte. Am Deckglas 6 entstehen durch den auftreffenden Strahl Störreflexe 8, wobei die Störreflexe 8 ihre lineare Polarisierung beibehalten. Der eintretende Strahl 2 durchläuft das Deckglas 6 und trifft anschließend auf einen zirkularen Polarisationsfilter 10 bzw. einen ersten Polarisationsfilter 10 bestehend aus einem linearen Polarisationsfilter 12 und einer A/4-Platte 14. Bei einem Durchlaufen der λ/4-Platte 14 des ersten Polarisationsfilters 10 wird der eintretende Strahl 2 zirkular polarisiert. Anschließend durchläuft der zirkular polarisierte eintretende Strahl 2 den linearen Polarisator 12, der den zirkular polarisierten eintretenden Strahl 2 linear polarisiert. Dann wird der eintretende Strahl 2 an einem Spiegel 16 reflektiert und durchläuft den gleichen Filter 10, 12, 14 in umgekehrter Reihenfolge als austretender Strahl 3. Der lineare Polarisator 12 wird von dem austretenden Strahl 3 ungehindert passiert. Die nachfolgende A/4-Platte 14 verursacht eine zirkulare Polarisation des austretenden Strahl 3. Der eintretende Strahl 2 und der austretende Strahl 3 können hierbei auch je nach Anforderungen eine Vielzahl an Strahlen 2,3 sein. Nach dem erneuten Durchlaufen des Deckglases 6 überlagen sich der am Spiegel 16 reflektierte austretende Strahl 3 mit zirkularer Polarisation und die Störreflexen 8 mit linearer Polarisation. Gemeinsam treffen die Störreflexe 8 und der austretende Strahl 3 auf einem weiteren Polarisationsfilter 18 bzw. zweiten Polarisationsfilter 18. Der zweite Polarisationsfilter 18 weist eine derartige optische Ausrichtung aufweist, dass die linear polarisierten Störreflexe 8 und eine entsprechende lineare Komponente des zirkular polarisierten austretenden Strahls 3 ausgesperrt bzw. blockiert werden.
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2 zeigt eine schematische Darstellung einer Anordnung 1 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel. Im Unterschied zum ersten Ausführungsbeispiel der Anordnung 1 ist zwischen dem Deckglas 6 und dem Spiegel 16 ausschließlich eine λ/4-Platte 14 angeordnet. Somit entspricht gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel die λ/4-Platte 14 dem ersten Polarisationsfilter 10. Nach dem Durchlaufen des Deckglases 6 trifft der eintretende Strahl 2 auf die λ/4-Platte 14 und wird zirkulär polarisiert. Anschließend wird der zirkular polarisierte eintretende Strahl 2 von dem Spiegel 16 reflektiert und durchläuft erneut als ein austretender Strahl 3 die A/4-Platte 14. Hierdurch wird der austretende Strahl 3 linear polarisiert und trifft, nachdem er das Deckglas 6 erneut durchlaufen hat, auf den zweiten Polarisationsfilter 18, welcher ungehindert von dem linear polarisierten, austretenden Strahl 3, jedoch nicht von den senkrecht hierzu polarisierten Störungsreflexen 8 passiert werden kann.
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In der 3 ist schematisch ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens 20 gezeigt, bei dem analog zur Anordnung 1 Störreflexe 8 reduziert oder vollständig unterbunden werden können. Es wird mindestens ein eintretender Strahl 2 von der Strahlungsquelle 22 erzeugt und auf den Spiegel 16 gerichtet. Hierbei wird der mindestens eine eintretende Strahl 2 von einem dritten Polarisationsfilter 4 linear polarisiert. Der mindestens eine eintretende Strahl 2 passiert das Deckglas 6, welches als Schutz für den Spiegel 16 dient. Bei Passieren von Grenzschichten zwischen Luft bzw. Gas und dem Deckglas 6 wird ein Teil des eintretenden Strahls 2 reflektiert. Analog wird ein weiterer Teil des eintretenden Strahls 2 nach einem Durchqueren des Deckglases 6 an der Grenzschicht zwischen Glas und Luft reflektiert. Die entstehenden Störreflexe 8 liegen im gleichen Winkelbereich, wie der austretende Strahl 3, der am Spiegel 16 reflektiert wurde. Der durch das Deckglas 6 transmittierte eintretende Strahl 2 durchläuft den ersten Polarisationsfilter 10. Bei einem Durchlaufen des ersten Polarisationsfilters 10 wird der eintretende Strahl 2 zirkular polarisiert, da der erste Polarisationsfilter einer λ/4-Platte 14 entspricht. Der Strahl 2 wird anschließend am Spiegel 16 reflektiert und durchläuft den gleichen Filter 10 erneut. Die λ/4-Platte 14 verursacht eine lineare Polarisation des austretenden Strahls 3. Hierbei wird der austretende Strahl 3 derart linear polarisiert, dass dieser eine Polarisationsrichtung aufweist, die vorzugsweise senkrecht zu einer Polarisationsrichtung der Störreflexe 8 verläuft. Nach dem erneuten Passieren des Deckglases 6 überlagen sich damit der am Spiegel 16 reflektierte austretende Strahl 3 mit linearer Polarisation und die Störreflexe 8 mit linearer Polarisation. Gemeinsam treffen die Störreflexe 8 und der austretende Strahl 3 auf den zweiten Polarisationsfilter 18, der eine derartige optische Ausrichtung aufweist, dass die linear polarisierten Störreflexe 3 ausgesperrt bzw. blockiert werden. Somit können mit einfachen technischen Mitteln Störreflexe 8, die eine genaue Messung beeinträchtigen, verhindert werden. Nach dem Passieren des zweiten Polarisationsfilters 18 kann der austretende Strahl 3, der auch aus einer Vielzahl austretender Strahlen 3 bestehen kann, zu einer Empfangsvorrichtung 24 geleitet und ausgewertet werden. Die Empfangsvorrichtung 24 kann hierbei auch ein Objekt, eine Fläche oder eine Umgebung sein, die von einem austretenden Strahl 3 untersucht oder vermessen werden soll.
