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GEBIET
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Die vorliegende Offenbarung betrifft allgemein eine elektronische Vorrichtung zum Verteilen von elektrischem Strom auf mehrere Strompfade und insbesondere eine elektronische Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln, und insbesondere eine Prüfeinrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten. Die vorliegende Offenbarung betrifft außerdem den Schutz solcher Vorrichtungen oder Einrichtungen vor Stoßspannungs- und Überspannungsbedingungen.
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HINTERGRUND
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Wenn elektrischer Strom auf mehrere Strompfade verteilt wird, ist es oft erforderlich, jedem der Strompfade elektrischen Strom der gleichen Stärke zuzuführen. Ein Beispiel einer elektronischen Vorrichtung zum Verteilen von elektrischem Strom auf mehrere Strompfade ist eine elektronische Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln oder eine Prüfeinrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln, wobei die Prüfnadeln die Strompfade darstellen und an einem Ende mit einer elektrischen Energiequelle und am anderen Ende mit elektrischen Kontaktflächen der Halbleiterkomponente zu verbinden sind. Ein anderes Beispiel einer elektronischen Vorrichtung zum Verteilen von elektrischem Strom auf mehrere Strompfade betrifft das Gebiet der Beleuchtungstechnik, wo es erforderlich werden kann, mehreren Leuchtdioden elektrischen Strom der gleichen Stärke zuzuführen, damit sie Licht mit derselben Lichtstärke aussenden können. In all diesen verschiedenen Beispielen des Verteilens von elektrischem Strom auf mehrere Strompfade kann es somit erforderlich werden, zusätzliche Vorrichtungen oder Schaltungen zum gleichmäßigen Verteilen des elektrischen Stroms auf die Strompfade zu implementieren. Es kann weiterhin erforderlich werden, diese zusätzlichen Vorrichtungen oder Schaltungen vor Bedingungen zu schützen, unter denen Ströme von hoher Spannung oder Stromstärke an die mehreren Strompfade anzulegen sind. Beispielsweise beschreibt
EP 1 577 676 AI eine Schaltung zum Schutz von Prüfkontakten bei der Hochstrom-Messung von Halbleiterbauelementen mit Hilfe von Prüfnadeln auf einer Nadelkarte, bei der jeder Prüfnadel eine Schaltung vorgeordnet ist, welche im Bereich zulässiger Ströme niederohmig ist und oberhalb eines Grenzstroms hochohmig ist, um den Strom zu begrenzen.
US 2009/0273358 A1 offenbart eine Sondenkarten-Anordnung zum Prüfen von Halbleiterbauelementen mit einer Schaltung, welche eine Vielzahl von Reglern zur Steuerung von programmierbaren Leistungsversorgungen, wie zum Beispiel DC/DC-Wandlerschaltungen, umfasst.
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KURZFASSUNG
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Gemäß einem ersten Aspekt der Offenbarung umfasst eine elektronische Vorrichtung zum Verteilen von elektrischem Strom auf mehrere Strompfade eine elektrische Energiequelle, wenigstens eine elektrische Leitung, die mit der elektrischen Energiequelle verbunden ist, wenigstens eine elektrische Schaltung, die der wenigstens einen elektrischen Leitung vorgeschaltet ist, wobei die elektrische Schaltung wenigstens eine Schaltungskomponente umfasst, welche einen niedrigen Widerstand in einem Bereich von elektrischen Stromstärken aufweist und einen hohen Widerstand oberhalb einer gegebenen elektrischen Grenzstromstärke aufweist, und eine Steuerspannungsquelle, die mit der wenigstens einen elektrischen Schaltung verbunden ist, und eine erste DC/DC-Wandlerschaltung und eine zweite DC/DC-Wandlerschaltung, wobei die erste DC/DC-Wandlerschaltung zwischen die Steuerspannungsquelle und die zweite DC/DC-Wandlerschaltung geschaltet ist und die zweite DC/DC-Wandlerschaltung zwischen die erste DC/DC-Wandlerschaltung und die wenigstens eine elektrische Schaltung geschaltet ist.
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Gemäß einem zweiten Aspekt der Offenbarung umfasst eine elektronische Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln eine elektrische Energiequelle, mehrere Prüfnadeln, die mit der elektrischen Energiequelle verbunden sind, mehrere elektrische Schaltungen, wobei jede der elektrischen Schaltungen einer der Prüfnadeln vorgeschaltet ist, wobei jede der elektrischen Schaltungen wenigstens einen Transistor umfasst, und eine Steuerspannungsquelle, die mit jeder der elektrischen Schaltungen verbunden ist, und zwei DC/DC-Wandlerschaltungen, die zwischen die Steuerspannungsquelle und die elektrischen Schaltungen geschaltet sind.
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Gemäß einem dritten Aspekt der Offenbarung umfasst eine Prüfeinrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten einen Träger zum Stützen einer zu prüfenden Halbleiterkomponente, eine elektrische Energiequelle, mehrere Prüfnadeln, die mit der elektrischen Energiequelle verbunden sind, mehrere elektrische Schaltungen, wobei jede der elektrischen Schaltungen einer der Prüfnadeln vorgeschaltet ist, wobei jede der elektrischen Schaltungen wenigstens einen Transistor umfasst, und eine Steuerspannungsquelle, die mit jeder der elektrischen Schaltungen verbunden ist, und zwei DC/DC-Wandlerschaltungen, die zwischen die Steuerspannungsquelle und die elektrischen Schaltungen geschaltet sind.
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Gemäß einem vierten Aspekt der Offenbarung umfasst eine elektronische Vorrichtung zum Verteilen von elektrischem Strom auf mehrere Strompfade oder eine Prüfeinrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten eine elektrische Energiequelle, wenigstens eine elektrische Leitung, die mit der elektrischen Energiequelle verbunden ist, wenigstens eine elektrische Schaltung, die der wenigstens einen elektrischen Leitung vorgeschaltet ist, wobei die elektrische Schaltung wenigstens eine Schaltungskomponente umfasst, welche einen niedrigen Widerstand in einem Bereich von elektrischen Stromstärken aufweist und einen hohen Widerstand oberhalb einer gegebenen elektrischen Grenzstromstärke aufweist, und eine Steuerspannungsquelle, die mit der wenigstens einen elektrischen Schaltung verbunden ist, und eine DC/DC-Wandlerschaltung, wobei die DC/DC-Wandlerschaltung zwischen die Steuerspannungsquelle und die wenigstens eine elektrische Schaltung geschaltet ist, wobei ein Regelwiderstand zwischen die DC/DC-Wandlerschaltung und die wenigstens eine elektrische Schaltung geschaltet ist.
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Weitere Merkmale und Vorteile werden für den Fachmann auf diesem Gebiet bei Lektüre der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung unter Berücksichtigung der beigefügten Zeichnungen ersichtlich.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die beigefügten Zeichnungen wurden aufgenommen, um ein besseres Verständnis der Beispiele zu vermitteln; sie sind in diese Patentanmeldung einbezogen und stellen einen Bestandteil derselben dar. Die Zeichnungen veranschaulichen Aspekte der Erfindung und dienen gemeinsam mit der Beschreibung zur Erläuterung der Prinzipien der Beispiele. Weitere Beispiele sowie viele der beabsichtigten Vorteile der Beispiele werden offensichtlich, wenn sie anhand der folgenden ausführlichen Beschreibung besser verstanden werden.
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Die Elemente der Zeichnungen sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu zueinander. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen einander entsprechende ähnliche Teile.
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1 zeigt eine schematische Darstellung einer elektronischen Vorrichtung zum Verteilen von elektrischem Strom auf mehrere Strompfade gemäß einem ersten Aspekt.
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2 zeigt eine schematische Schaltungsdarstellung der zwei kaskadierten DC/DC-Wandler, die mit der elektrischen Schaltung verbunden sind, welche der wenigstens einen elektrischen Leitung vorgeschaltet ist.
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3 zeigt eine schematische Darstellung einer elektronischen Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln gemäß dem zweiten Aspekt.
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4 zeigt eine schematische Darstellung einer elektronischen Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln gemäß dem zweiten Aspekt, wobei die elektronische Vorrichtung eine erste und eine zweite elektrische Energiequelle umfasst, die mit den mehreren Prüfnadeln verbindbar sind.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
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Die Aspekte und Beispiele werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben, wobei allgemein stets gleiche Bezugszeichen verwendet werden, um gleiche Elemente zu bezeichnen. Zu Erläuterungszwecken werden in der nachstehenden Beschreibung zahlreiche spezielle Einzelheiten dargelegt, um ein umfassendes Verständnis eines oder mehrerer Aspekte der Beispiele zu erzielen. Für einen Fachmann kann es jedoch offensichtlich sein, dass ein oder mehrere Aspekte der Beispiele mit einem geringeren Umfang an den speziellen Einzelheiten ausgeführt werden können. In anderen Fällen sind bekannte Strukturen und Elemente in schematischer Form dargestellt, um die Beschreibung eines oder mehrerer Aspekte der Beispiele zu erleichtern. Es versteht sich, dass auch andere Beispiele verwendet und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne vom Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung abzuweichen. Weiterhin ist anzumerken, dass die Zeichnungen nicht maßstabsgetreu oder nicht notwendigerweise maßstabsgetreu sind.
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In der nachstehenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die einen Bestandteil derselben darstellen und in denen zum Zweck der Veranschaulichung spezifische Aspekte dargestellt werden, wie die Erfindung praktisch realisiert werden kann. In dieser Hinsicht können Richtungsangaben wie „obere(r/s)“, „untere(r/s)“, „vordere(r/s)“, „hintere(r/s)“ usw. unter Bezugnahme auf die Ausrichtung der beschriebenen Figuren verwendet werden. Da die Komponenten der beschriebenen Vorrichtungen in einer Reihe von verschiedenen Ausrichtungen positioniert sein können, werden die Richtungsangaben nur zu Zwecken der Veranschaulichung verwendet und sind in keiner Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Aspekte verwendet und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können ohne vom Schutzumfang der vorliegenden Offenbarung abzuweichen. Die folgende ausführliche Beschreibung ist daher nicht in einem einschränkenden Sinne zu verstehen, und der Schutzbereich der vorliegenden Offenbarung wird durch die beigefügten Patentansprüche definiert.
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Darüber hinaus kann, auch wenn ein bestimmtes Merkmal oder ein bestimmter Aspekt eines Beispiels möglicherweise nur in Bezug auf eine von mehreren Implementierungen offenbart wird, ein solches Merkmal oder ein solcher Aspekt mit einem oder mehreren anderen Merkmalen oder Aspekten der anderen Implementierungen kombiniert werden, je nachdem, wie es für eine gegebene oder eine bestimmte Anwendung wünschenswert oder vorteilhaft ist. Ferner sind, soweit sie in der ausführlichen Beschreibung oder den Patentansprüchen verwendet werden, die Ausdrücke „beinhalten“, „aufweisen“, „mit“ oder andere Varianten davon als inklusiv zu verstehen, auf ähnliche Weise wie der Begriff „umfassen“. Die Begriffe „gekoppelt“ und „verbunden“ sowie Ableitungen davon können verwendet werden. Es versteht sich, dass diese Begriffe verwendet werden können, um anzugeben, dass zwei Elemente zusammenwirken oder interagieren, unabhängig davon, ob sie in direktem physischem oder elektrischem Kontakt miteinander stehen oder sich nicht in direktem Kontakt miteinander befinden. Weiterhin soll der Ausdruck „beispielhaft“ lediglich auf ein Beispiel und nicht auf die beste oder optimale Ausführung hinweisen. Die folgende ausführliche Beschreibung ist daher nicht in einschränkendem Sinne zu verstehen, und der Schutzbereich der vorliegenden Offenbarung wird durch die beigefügten Patentansprüche definiert.
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Eine elektronische Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln kann zum Prüfen verschiedener Typen von Halbleiterkomponenten, Halbleiterchips oder Halbleiterchipmodulen oder von in die Halbleiterchips integrierten Schaltungen verwendet werden, darunter von integrierten Logikschaltungen, integrierten Analogschaltungen, integrierten Mischsignalschaltungen, Sensorschaltungen, MEMS (mikroelektromechanischen Systemen), integrierten Leistungsschaltungen, Chips mit integrierten passiven Bauelementen usw. Die elektronische Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten kann auch zum Prüfen von Halbleiterchips verwendet werden, die MOS-Transistorstrukturen oder vertikale Transistorstrukturen wie beispielsweise IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor, Bipolartransistor mit isolierter Gate-Elektrode) -Strukturen oder allgemein Transistor- oder andere Strukturen oder Vorrichtungen umfassen, bei denen mindestens eine elektrische Kontaktfläche auf einer ersten Hauptfläche des Halbleiterchips und mindestens eine weitere elektrische Kontaktfläche auf einer zweiten Hauptfläche des Halbleiterchips, die der ersten Hauptfläche des Halbleiterchips gegenüberliegt, angeordnet ist.
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1 zeigt eine schematische Darstellung einer elektronischen Vorrichtung zum Verteilen von elektrischem Strom auf mehrere Strompfade gemäß einem ersten Aspekt. Die elektronische Vorrichtung 10 von 1 umfasst eine elektrische Energiequelle 11, wenigstens eine elektrische Leitung 12, die mit der elektrischen Energiequelle 11 verbunden ist, und wenigstens eine elektrische Schaltung 13, die der wenigstens einen elektrischen Leitung 12 vorgeschaltet ist, wobei die elektrische Schaltung 13 wenigstens eine Schaltungskomponente 13A aufweist, welche einen niedrigen Widerstand in einem Bereich von elektrischen Stromstärken aufweist und einen hohen Widerstand oberhalb einer gegebenen elektrischen Grenzstromstärke aufweist. Die elektronische Vorrichtung 10 von 1 umfasst ferner eine Steuerspannungsquelle 14 , die mit der wenigstens einen elektrischen Schaltung 13 verbunden ist, und eine erste DC/DC-Wandlerschaltung 15 und eine zweite DC/DC-Wandlerschaltung 16, wobei die erste DC/DC-Wandlerschaltung 15 zwischen die Steuerspannungsquelle 14 und die zweite DC/DC-Wandlerschaltung 16 geschaltet ist und die zweite DC/DC-Wandlerschaltung 16 zwischen die erste DC/DC-Wandlerschaltung 15 und die wenigstens eine elektrische Schaltung 13 geschaltet ist. Die wenigstens eine elektrische Schaltung 13 kann auch Strombegrenzerschaltung (Current Limiter, CL) genannt werden.
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Gemäß einem Beispiel der elektronischen Vorrichtung des ersten Aspekts kann die elektronische Vorrichtung 10 als eine elektronische Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln ausgelegt sein, wobei in diesem Fall die Prüfnadeln die Strompfade bilden. Gemäß einem Beispiel hierfür umfasst die wenigstens eine elektrische Leitung eine Prüfnadel, die dafür ausgelegt ist, auf eine elektrische Kontaktfläche einer Halbleiterkomponente aufgesetzt zu werden. Gemäß einem weiteren Beispiel hierfür umfasst die elektronische Vorrichtung ferner eine Sondenkarte oder eine Nadelkarte, die jeweils mehrere Prüfnadeln in einer Anordnung umfasst, die geometrisch mit einer Anordnung elektrischer Kontaktflächen der Halbleiterkomponente übereinstimmt. Ein Beispiel hierfür wird weiter unten dargestellt und erläutert.
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Gemäß einem Beispiel der elektronischen Vorrichtung des ersten Aspekts ist die elektrische Energiequelle 11 entweder eine Spannungsquelle oder eine Stromquelle. Es ist auch möglich, sowohl eine Spannungsquelle als auch eine Stromquelle vorzusehen und beide über einen Schalter mit der wenigstens einen elektrischen Leitung zu verbinden. Ein Beispiel hierfür wird weiter unten dargestellt und erläutert.
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Gemäß einem Beispiel der elektronischen Vorrichtung des ersten Aspekts ist die wenigstens eine Schaltungskomponente 13A ein Transistor, insbesondere ein MOSFET-Transistor, und der zweite DC/DC-Wandler ist mit den Steueranschlüssen, insbesondere den Gate-Anschlüssen, der Transistoren verbunden. Gemäß einem Beispiel hierfür wird die elektrische Grenzstromstärke durch die Sättigung eines Drain-Stroms des MOSFET-Transistors bestimmt. Dementsprechend wird in diesem Beispiel die Eigenschaft von MOSFET-Transistoren genutzt, dass in Abhängigkeit von der Steuerspannung zwischen Gate und Source eine Sättigung des Source-Drain-Stroms nahezu unabhängig von der Spannung auf dem Source-Drain-Strompfad erfolgt. Dementsprechend erfolgt in dem sogenannten Ein-Zustands-Bereich für elektrische Ströme unterhalb der elektrischen Grenzstromstärke nur ein kleiner Spannungsabfall auf dem Source-Drain-Strompfad. Der MOSFET-Transistor ist einer Steuerspannung ausgesetzt, so dass seine Kennlinie fest ist, derart, dass sich der Transistor im Bereich zulässiger Messströme im Ein-Zustands-Bereich befindet und die Prüfanordnung durch den dann nur geringen Spannungsabfall nicht wesentlich beeinflußt wird. Falls der Strom den zulässigen Wert überschreitet, wird er durch den MOSFET-Transistor begrenzt, welcher sich nun im Sättigungsstrombereich befindet. Die Steuerspannungsquelle 14 ist von der wenigstens einen elektrischen Schaltung 13 mittels der ersten und der zweiten DC/DC-Wandlerschaltung 15 und 16 getrennt. Ein Beispiel wird weiter unten ausführlicher dargestellt und erläutert.
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Gemäß einem weiteren Beispiel ist eine Diode zu dem MOSFET-Transistor parallelgeschaltet.
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Gemäß einem Beispiel der elektronischen Vorrichtung des ersten Aspekts umfasst die wenigstens eine Schaltungskomponente genau einen MOSFET-Transistor, welcher der wenigstens einen elektrischen Leitung vorgeschaltet ist.
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Gemäß einem Beispiel der elektronischen Vorrichtung des ersten Aspekts umfasst die wenigstens eine Schaltungskomponente genau zwei in Reihe geschaltete MOSFET-Transistoren, die der wenigstens einen elektrischen Leitung vorgeschaltet sind. Ein Beispiel hierfür wird in Verbindung mit 2 dargestellt und erläutert.
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Gemäß einem Beispiel der elektronischen Vorrichtung des ersten Aspekts ist ein Regelwiderstand zwischen den zweiten DC/DC-Wandler und die wenigstens eine Schaltungskomponente geschaltet. Insbesondere ist im Falle eines MOSFET-Transistors als Schaltungskomponente der Regelwiderstand zwischen den zweiten DC/DC-Wandler und den Gate-Anschluß des MOSFET-Transistors geschaltet.
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2 zeigt ein schematisches Schaltbild eines Strombegrenzers gemäß einem Beispiel. Der Strombegrenzer 13, der auf der rechten Seite von 2 dargestellt ist, entspricht jeder der elektrischen Schaltungen 13, von denen eine in 1 dargestellt ist. Gemäß dem Beispiel von 2 umfasst der Strombegrenzer 13 genau zwei MOSFET-Transistoren 13A.1 und 13A.2, die in Reihe geschaltet und der wenigstens einen elektrischen Leitung 12 vorgeschaltet sind. Die elektrische Leitung 12 umfasst ein oberes Eingangsende IN, welches mit der elektrischen Energiequelle 11 verbunden ist, und ein unteres Ausgangsende OUT, welches zum Beispiel mit einer der Prüfnadeln verbunden sein kann. Außerdem kann zu jedem der MOSFET-Transistoren 13A.1 und 13A.2 eine Diode 13B.1 bzw. 13B.2 parallelgeschaltet sein.
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Die Schaltungsanordnung, die in 2 dargestellt ist, zeigt weiterhin in etwas detaillierterer Darstellung die Spannungsquelle 14, den ersten DC/DC-Wandler 15 und den zweiten DC/DC-Wandler 16. Die Spannungsquelle 14 liefert eine konstante Spannung von +12 V gegen Erde. Der erste DC/DC-Wandler 15 wandelt die Gleichspannung abwärts auf +5 V gegen Erde (Masseanschluss GND_ISO), welche danach auf galvanisch getrennte Weise an den zweiten DC/DC-Wandler 16 angelegt wird. Der Ausgang des zweiten DC/DC-Wandlers 16 ist mit den Gate-Anschlüssen der MOSFET-Transistoren 13A.1 und 13A.2 verbunden, wobei der Masseanschluss GND_ISO1 des zweiten DC/DC-Wandlers 16 mit dem Knoten zwischen den beiden MOSFET-Transistoren 13A.1 und 13A.2 verbunden, die Source auf Source miteinander verbunden sind. Der Spannungsausgang der zweiten DC/DC-Wandler 16 kann +5 V betragen und es können Regelwiderstände 17 zwischen die jeweiligen Ausgänge der zweiten DC/DC-Wandler 16 und die jeweiligen Gate-Anschlüsse der MOSFET-Transistoren 13A.1 und 13A.2 geschaltet werden können, durch die die an den Gates anliegende auf jede beliebige Spannung zwischen 0V und 5V eingestellt werden kann. Die Regelwiderstände 17 ermöglichen es somit, den Wert der elektrischen Grenzstromstärke der elektrischen Schaltungen 13 einzustellen. Jeder der Regelwiderstände 17 kann als eine einzelne Regelwiderstandsvorrichtung ausgebildet sein, oder als eine Kombination von aktiven und/oder passiven elektrischen Vorrichtungen, insbesondere ein Netzwerk von Widerständen, das einen gewünschten Widerstandswert bereitstellt.
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3 zeigt eine schematische Darstellung einer elektronischen Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln gemäß einem zweiten Aspekt. Die elektronische Vorrichtung 30 von 3 umfasst eine elektrische Energiequelle 31, mehrere Prüfnadeln 32.1, die mit der elektrischen Energiequelle 31 verbunden sind, und mehrere elektrische Schaltungen 33, wobei jede der elektrischen Schaltungen 33 einer der Prüfnadeln 32.1 vorgeschaltet ist, wobei jede der elektrischen Schaltungen 33 wenigstens einen Transistor 33A aufweist. Die elektronische Vorrichtung 30 von 3 umfasst ferner eine Steuerspannungsquelle 34, die mit jeder der elektrischen Schaltungen 33 verbunden ist, und zwei DC/DC-Wandlerschaltungen 35 und 36, die zwischen die Steuerspannungsquelle 34 und die elektrischen Schaltungen 33 geschaltet sind.
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Gemäß einem Beispiel der elektronischen Vorrichtung 30 von 3 sind die zwei DC/DC-Wandlerschaltungen 35 und 36 in Kaskadenschaltung miteinander verbunden. Gemäß einem weiteren Beispiel derselben umfassen die zwei DC/DC-Wandlerschaltungen 35 und 36 eine erste DC/DC-Wandlerschaltung 35 und eine zweite DC/DC-Wandlerschaltung 36, wobei die erste DC/DC-Wandlerschaltung 35 zwischen die Steuerspannungsquelle 34 und die zweite DC/DC-Wandlerschaltung 36 geschaltet ist und die zweite DC/DC-Wandlerschaltung 36 zwischen die erste DC/DC-Wandlerschaltung 35 und jede der elektrischen Schaltungen 33 geschaltet ist. Gemäß einem weiteren Beispiel davon kann die Schaltungskonfiguration dieselbe sein wie diejenige, die in Verbindung mit 2 dargestellt und erläutert wurde.
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3 zeigt ferner einen Träger 37 zum Halten einer Halbleiterkomponente 38. Die Halbleiterkomponente 38 kann zum Beispiel ein Halbleiterchip sein, und die Halbleiterkomponente 38 kann mehrere elektrische Kontaktflächen 38A umfassen, die auf eine bestimmte Weise auf einer Hauptfläche der Halbleiterkomponente 38 verteilt sind. Gemäß einem Beispiel der elektronischen Vorrichtung 30 von 3 umfasst die elektronische Vorrichtung 30 ferner eine Sondenkarte oder eine Nadelkarte (nicht dargestellt), die jeweils dafür ausgelegt ist, die mehreren Prüfnadeln 32.1 zu halten, wobei die mehreren Prüfnadeln 32.1 in einer Anordnung angeordnet sind, die geometrisch mit der Anordnung elektrischer Kontaktflächen 38A der Halbleiterkomponente 38 übereinstimmt. Die Prüfnadeln 32.1 können mit elektrischen Leitungen 32 verbunden sein, welche mit der elektrischen Energiequelle 31 verbunden sind, wobei die elektrischen Schaltungen 33 den elektrischen Leitungen 32 vorgeschaltet sind.
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4 zeigt eine schematische Darstellung einer elektronischen Vorrichtung zum Prüfen von Halbleiterkomponenten mit Prüfnadeln gemäß dem zweiten Aspekt. Die elektronische Vorrichtung 40 ist den elektronischen Vorrichtungen 10 und 30 ähnlich, die in Verbindung mit 1 und 3 dargestellt und beschrieben wurden. Außerdem umfasst die elektronische Vorrichtung 40 zwei elektrische Energiequellen 41.1 und 41.2, wobei die erste elektrische Energiequelle 41.1 aus einer Spannungsquelle besteht und die zweite elektrische Energiequelle 41.2 aus einer Stromquelle besteht. Die erste elektrische Energiequelle 41.1 kann zum Beispiel eine maximale Spannung von 2500 V bereitstellen, und die zweite elektrische Energiequelle 41.2 kann zum Beispiel einen maximalen Strom von 100 A bereitstellen. Die erste und die zweite elektrische Energiequelle 41.1 und 41.2 sind jeweils mit den mehreren elektrischen Leitungen 42 und somit mit den mehreren Prüfnadeln 42.1 mittels eines Schalters verbunden, so dass eine der elektrischen Energiequellen 41.1 und 41.2 selektiv mit den Prüfnadeln 42 verbunden werden kann.
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Die Bezugszeichen 43, 43A, 44, 45 und 46 bezeichnen die elektrische Schaltung, den Transistor, die Spannungsquelle, den ersten DC/DC-Wandler bzw. den zweiten DC/DC-Wandler 46 und weisen dieselben Eigenschaften und Funktionalitäten wie die jeweiligen Vorrichtungen auf, die in den vorhergehenden Beispielen von 1 bis 3 dargestellt und beschrieben wurden.
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Gemäß einem Beispiel des vierten Aspekts ist es in den Beispielen, die in 1 bis 3 dargestellt und beschrieben wurden, möglich, auf einen der DC/DC-Wandler zu verzichten und einen einzigen DC/DC-Wandler zwischen die Spannungsquelle und die elektrische Strombegrenzerschaltung zu schalten und einen Regelwiderstand zwischen den DC/DC-Wandler und die elektrische Strombegrenzerschaltung zu schalten, wie etwa denjenigen, der in Verbindung mit 2 dargestellt und beschrieben wurde.
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Obwohl die Erfindung unter Bezugnahme auf eine oder mehrere Implementierung(en) dargestellt und beschrieben wurde, sind Änderungen und/oder Modifikationen der dargestellten Beispiele möglich, ohne die Grundidee und den Schutzbereich der beigefügten Patentansprüche zu verlassen. Insbesondere im Hinblick auf die verschiedenen, von den vorstehend beschriebenen Komponenten oder Strukturen (Baugruppen, Vorrichtungen, Schaltungen, Systemen usw.) ausgeführten Funktionen ist beabsichtigt, dass die zur Beschreibung dieser Komponenten verwendeten Begriffe (einschließlich des Verweises auf ein „Mittel“), soweit nicht anders angegeben, jeder beliebigen Komponente oder Struktur entsprechen, welche die angegebene Funktion der beschriebenen Komponente ausführt (z.B. funktionsmäßig äquivalent ist), auch wenn sie strukturell nicht zu der beschriebenen Struktur äquivalent ist, welche die betreffende Funktion in den hier vorgestellten beispielhaften Implementierungen der Erfindung ausführt.
