DE102016214739A1 - Optoelectronic device - Google Patents

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Sebastian Wittmann
Erwin Lang
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine optoelektronische Vorrichtung zum Erzeugen einer elektromagnetischen Strahlung. Bei einer optoelektronische Vorrichtung (10) mit einem Substrat (11), einer ersten Elektrode (14), einer zweiten Elektrode (15) und einer zwischen den Elektroden (14, 15) angeordneten funktionalen Schichtstruktur (16), die eingerichtet ist, bei Bestromung mittels den beiden Elektroden (14, 15) eine elektromagnetische Strahlung zu erzeugen, einer Isolierungsschicht (13), die zumindest eine der Elektroden (14, 15) gegenüber dem Substrat (11) elektrisch isoliert, einer Planarisierung (12) zum Ausgleichen einer Rauigkeit einer der ersten Elektrode (14) und der zweiten Elekrode (15) zugewandten Hauptfläche (11a) des Substrates (11), weist die Elektrode, die durch die Isolierungsschicht (13) gegenüber dem Substrat (11) elektrisch isoliert ist, einen Kontakt (24, 25) zur Kontaktierung auf und die Isolierungsschicht (13) ist eingerichtet und angeordnet, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere für Feuchtigkeitsdiffusion von dem Kontakt (24, 25) zu der Planarisierung (12) zu wirken.The invention relates to an optoelectronic device for generating electromagnetic radiation. In an optoelectronic device (10) having a substrate (11), a first electrode (14), a second electrode (15) and a between the electrodes (14, 15) arranged functional layer structure (16) which is set up when energized by means of the two electrodes (14, 15) to generate an electromagnetic radiation, an insulating layer (13), the at least one of the electrodes (14, 15) relative to the substrate (11) electrically insulated, a planarization (12) for compensating a roughness of a the first electrode (14) and the second electrode (15) facing the main surface (11a) of the substrate (11), the electrode, which is electrically insulated from the substrate (11) by the insulating layer (13), a contact (24, 25) for contacting and the insulating layer (13) is arranged and arranged to act as a moisture diffusion barrier for moisture diffusion from the contact (24, 25) to the planarization (12).

Description

Die Erfindung betrifft eine optoelektronische Vorrichtung zum Erzeugen einer elektromagnetischen Strahlung.The invention relates to an optoelectronic device for generating electromagnetic radiation.

Es ist bekannt, bei optoelektronischen Vorrichtungen zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung zwischen dem Substrat und einer Elektrode eine Isolierungsschicht anzuordnen, die die Elektrode gegenüber dem Substrat isoliert. Die Isolierschicht kann zudem eine Planarisierungswirkung haben. Bekannte Isolierschichten mit hoher Planarisierungswirkung bestehen aus organischen Materialien. Derartige Materialien, weisen eine hohe Feuchtigkeitstransportfähigkeit auf, wodurch die Robustheit der optoelektronischen Vorrichtung reduziert werden kann, was insbesondere bei Anwendungen im Kraftfahrzeug ungünstig ist.It is known in optoelectronic devices for generating electromagnetic radiation between the substrate and an electrode to arrange an insulating layer which insulates the electrode from the substrate. The insulating layer may also have a planarizing effect. Known insulating layers with high planarization effect consist of organic materials. Such materials have a high moisture transport capability, whereby the robustness of the optoelectronic device can be reduced, which is particularly unfavorable in automotive applications.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine optoelektronische Vorrichtung zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung mit einem einfachen und gleichzeitig robusten Aufbau vorzuschlagen.The object of the invention is to propose an optoelectronic device for generating electromagnetic radiation with a simple and at the same time robust construction.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale von Anspruch 1 gelöst. In davon abhängigen Ansprüchen sind vorteilhafte Ausgestaltungen angegeben.This object is solved by the features of claim 1. In dependent claims advantageous embodiments are given.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst eine optoelektronische Vorrichtung zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung ein vorzugsweise flächiges Substrat, eine funktionale Schichtstruktur, eine auf einer dem Substrat zugewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur angeordnete erste Elektrode und eine auf einer dem Substrat abgewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur angeordnete zweite Elektrode, wobei die funktionale Schichtstruktur eingerichtet ist, bei Bestromung der funktionalen Schichtstruktur mittels der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode die elektromagnetische Strahlung zu erzeugen.In accordance with at least one embodiment, an optoelectronic device for generating electromagnetic radiation comprises a preferably planar substrate, a functional layer structure, a first electrode arranged on a side of the functional layer structure facing the substrate, and a second electrode arranged on a side of the functional layer structure remote from the substrate; wherein the functional layer structure is adapted to generate the electromagnetic radiation when the functional layer structure is energized by means of the first electrode and the second electrode.

Die optoelektronische Vorrichtung umfasst überdies eine Isolierungsschicht, die zumindest eine der beiden Elektroden, d.h. die erste Elektrode oder die zweite Elektrode oder sowohl die erste Elektrode als auch die zweite Elektrode, gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert. The optoelectronic device further comprises an insulating layer which supports at least one of the two electrodes, i. the first electrode or the second electrode or both the first electrode and the second electrode, electrically insulated from the substrate.

Zudem umfasst die optoelektronische Vorrichtung eine Planarisierung zum Ausgleichen einer Rauigkeit einer den Elektroden zugewandten Hauptfläche des Substrats. In addition, the optoelectronic device comprises a planarization for compensating a roughness of a main surface of the substrate facing the electrodes.

Die zumindest eine Elektrode, die durch die Isolierungsschicht gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert ist, weist einen Kontakt zur Kontaktierung auf. Dieser dient vorzugsweise zur externen Kontaktierung, d.h. zur Kontaktierung von außerhalb der optoelektronischen Vorrichtung. Der Kontakt kann durch einen zur Kontaktierung geeigneten Bereich einer der beiden Elektroden gebildet sein.The at least one electrode, which is electrically insulated from the substrate by the insulating layer, has a contact for contacting. This is preferably for external contacting, i. for contacting from outside the optoelectronic device. The contact may be formed by a suitable area for contacting one of the two electrodes.

Die Isolierungsschicht ist eingerichtet und angeordnet, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere für Feuchtigkeitsdiffusion von dem Kontakt zu der Planarisierung zu wirken. The insulating layer is configured and arranged to act as a moisture diffusion barrier for moisture diffusion from the contact to the planarization.

Durch diese Isolierungsschicht, durch die verhindert wird, dass Feuchtigkeit von dem Kontakt zu der Planarisierung gelangt, wird folglich die Verwendung einer Planarisierung, in der sich Feuchtigkeit leicht ausbreitet, ermöglicht, bei einem gleichzeitig robustem Aufbau.Thus, by virtue of this insulating layer, which prevents moisture from passing from the contact to the planarization, the use of planarization in which moisture readily propagates is made possible, while maintaining a robust construction.

Durch die zuvor beschriebene Kombination von Planarisierung und Isolierungsschicht kann folglich eine sehr gute Planarisierungswirkung und gleichzeitig ein sehr guter Schutz gegen das Eindringen von Feuchtigkeit erzielt werden.By the combination of planarization and insulation layer described above, therefore, a very good planarization effect and at the same time a very good protection against the ingress of moisture can be achieved.

Die Planarisierung ist vorzugsweise zwischen dem Substrat und der funktionalen Schichtstruktur angeordnet. Dadurch kann ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung ermöglicht werden.The planarization is preferably arranged between the substrate and the functional layer structure. As a result, a simple structure of the optoelectronic device can be made possible.

Bei der Planarisierung kann es sich insbesondere um eine Planarisierungsschicht handeln.In particular, the planarization can be a planarization layer.

Die erste Elektrode kann eine erste Elektrodenschicht umfassen oder daraus bestehen. Die zweite Elektrode kann eine zweite Elektrodenschicht umfassen oder daraus bestehen.The first electrode may comprise or consist of a first electrode layer. The second electrode may comprise or consist of a second electrode layer.

Die Planarisierung ist vorzugsweise derart angeordnet, dass zumindest ein Bereich der funktionalen Schichtstruktur durch die Planarisierung planarisiert ist. Das bedeutet, dass die funktionale Schichtstruktur in diesem Bereich eine geringere Rauheit aufweist, als dies bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre.The planarization is preferably arranged such that at least a portion of the functional layer structure is planarized by the planarization. This means that the functional layer structure in this area has a lower roughness than would be the case in the absence of planarization.

Die erste Elektrode, die zweite Elektrode, die funktionale Schichtstruktur, die Isolierungsschicht, die Planarisierung und der Kontakt können zumindest teilweise, z.B. zumindest bereichsweise, auf der Hauptfläche des Substrates angeordnet sein. Beispielsweise können sie zumindest bereichsweise in direktem oder indirektem Kontakt mit dieser Fläche stehen. Insbesondere können sie auf diese Fläche gemäß einer Schichtfolge aufbeschichtet sein.The first electrode, the second electrode, the functional layer structure, the insulating layer, the planarization and the contact may be at least partially, e.g. at least in regions, be arranged on the main surface of the substrate. For example, they can at least partially be in direct or indirect contact with this surface. In particular, they can be coated on this surface according to a layer sequence.

Dass eine Schicht oder ein Element „auf“ – gleichbedeutend „über“ – einer anderen Schicht oder einem anderen Element angeordnet oder aufgebracht ist, kann hier und im Folgenden bedeuten, dass die eine Schicht oder das eine Element unmittelbar in direktem mechanischem und/oder elektrischem Kontakt auf der anderen Schicht oder dem anderen Element angeordnet ist. Weiterhin kann es auch bedeuten, dass die eine Schicht oder das eine Element mittelbar auf beziehungsweise über der anderen Schicht oder dem anderen Element angeordnet ist. Dabei können dann weitere Schichten und/oder Elemente zwischen der einen und der anderen Schicht beziehungsweise zwischen dem einen und dem anderen Element angeordnet sein.The fact that a layer or an element is arranged or applied "on top" - equivalent to "above" - another layer or another element may, here and below, mean that the one layer or the element directly in direct mechanical and / or electrical contact is disposed on the other layer or the other element. Furthermore, it can also mean that the one layer or the one element is arranged indirectly on or above the other layer or the other element. In this case, further layers and / or elements can then be arranged between the one and the other layer or between the one and the other element.

Dass eine Schicht oder ein Element „zwischen“ zwei anderen Schichten oder Elementen angeordnet ist, kann hier und im Folgenden bedeuten, dass die eine Schicht oder das eine Element unmittelbar in direktem mechanischem oder elektrischem Kontakt oder in mittelbarem Kontakt zur einen der zwei anderen Schichten oder Elementen und in direktem mechanischem und/oder elektrischem Kontakt oder mittelbarem Kontakt zur anderen der zwei anderen Schichten oder Elementen angeordnet ist. Dabei können bei mittelbarem Kontakt dann weitere Schichten und/oder Elemente zwischen der einen und zumindest einer der zwei anderen Schichten beziehungsweise zwischen dem einen und zumindest einem der zwei anderen Elemente angeordnet sein.The fact that a layer or an element is arranged "between" two other layers or elements may here and in the following mean that the one layer or the element directly in direct mechanical or electrical contact or in indirect contact with one of the two other layers Elements and in direct mechanical and / or electrical contact or indirect contact with the other of the other two layers or elements is arranged. In the case of indirect contact, further layers and / or elements can then be arranged between the one and at least one of the two other layers or between the one and at least one of the two other elements.

Die Planarisierung ist vorzugsweise derart angeordnet, dass zumindest ein Bereich des Kontakts nicht durch die Planarisierung planarisiert ist. Das bedeutet, dass gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform zumindest ein Bereich des Kontakts dieselbe Rauigkeit aufweist, wie dies bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre. Dies erleichtert die Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht. Besonders bevorzugt ist der gesamte Kontakt nicht durch die Planarisierung planarisiert. The planarization is preferably arranged such that at least a portion of the contact is not planarized by the planarization. That is, according to this preferred embodiment, at least a portion of the contact has the same roughness as would be the case in the absence of planarization. This facilitates the moisture diffusion barrier effect of the insulating layer. Most preferably, the entire contact is not planarized by the planarization.

Vorzugsweise erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates gesehen in einem Bereich des Kontakts oder besser über den gesamten Kontakt hinweg nicht die Planarisierung. Mit anderen Worten, vorzugsweise überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates gesehen der Kontakt und die Planarisierung nicht vollständig oder besser gar nicht. Durch diese bevorzugte Ausführungsform wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht. Preferably, when viewed in plan view of the main surface of the substrate, the planarization does not extend in a region of the contact, or better over the entire contact. In other words, the contact and the planarization preferably do not completely or better not overlap in a plan view of the main surface of the substrate. This preferred embodiment enables a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.

Vorzugsweise erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen die Isolierungsschicht in einem Bereich des Kontaktes und besonders bevorzugt über den gesamten Kontakt hinweg. Mit anderen Worten, vorzugsweise überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates gesehen die Isolierungsschicht und der Kontakt, besonders bevorzugt überlappen sie sich vollständig. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht.Preferably, as seen in plan view of the main surface of the substrate, the insulating layer extends in a region of the contact, and more preferably over the entire contact. In other words, the insulating layer and the contact preferably overlap one another in a plan view of the main surface of the substrate, and more preferably they completely overlap. This allows a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.

Vorzugsweise ist die Isolierungsschicht eingerichtet und angeordnet, in lateraler Richtung der Isolierungsschicht als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere zu wirken. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht.Preferably, the insulating layer is arranged and arranged to act as a moisture diffusion barrier in the lateral direction of the insulating layer. This allows a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.

Gemäß einer Ausführungsform ist die Isolierungsschicht eingerichtet und angeordnet, in einer zur lateralen Richtung der Isolierungsschicht senkrechten Richtung nicht als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere zu wirken. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung ermöglicht. Beispielsweise kann die Isolierungsschicht besonders einfach und kostengünstig erzeugt werden. Beispielsweise kann die Isolierungsschicht Löcher, so genannte Pinholes, aufweisen, die die elektrische Isolierungswirkung nicht wesentlich beeinträchtigen, jedoch eine Feuchtigkeitsdiffusion in einer zur lateralen Richtung der Isolierungsschicht senkrechten Richtung ermöglichen.According to one embodiment, the insulating layer is arranged and arranged not to act as a moisture diffusion barrier in a direction perpendicular to the lateral direction of the insulating layer. This allows a simple construction of the optoelectronic device. For example, the insulating layer can be produced in a particularly simple and cost-effective manner. For example, the insulating layer may have holes, called pinholes, which do not significantly affect the electrical isolation effect, but allow moisture diffusion in a direction perpendicular to the lateral direction of the insulating layer.

Unter einer lateralen Richtung der Isolierungsschicht wird beispielsweise eine in einer Grenzfläche einer ebenen Isolierungsschicht unter Vernachlässigung der Oberflächenrauheit verlaufende Richtung verstanden oder z.B. eine Tangente an eine Grenzfläche einer gekrümmten Isolierungsschicht unter Vernachlässigung einer Oberflächenrauheit. Dementsprechend wird unter einer Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates z.B. eine senkrechte Projektion auf die Hauptfläche eines ebenen Substrates verstanden oder z.B. eine Projektion auf die Hauptfläche eines gekrümmten flächigen Substrats, die lokal an jeder Stelle – unter Vernachlässigung der Oberflächenrauigkeit – senkrecht zu der Hauptfläche ist.By a lateral direction of the insulating layer is meant, for example, a direction extending in an interface of a flat insulating layer neglecting the surface roughness, or e.g. a tangent to an interface of a curved insulating layer neglecting a surface roughness. Accordingly, under a plan view of the main surface of the substrate, e.g. understood a vertical projection on the major surface of a planar substrate or e.g. a projection on the major surface of a curved sheet substrate, which is locally at each point - neglecting the surface roughness - perpendicular to the main surface.

Vorzugsweise weist eine dem Substrat abgewandte Grenzfläche der ersten Elektrode oder eine dem Substrat zugewandte Grenzfläche der zweiten Elektrode in einem Bereich, der durch die Planarisierung planarisiert ist, eine Reflektivität von mindestens 50 % bevorzugt mindestens 80 % oder sogar mindestens 90 % für eine auf diese Grenzfläche treffende elektromagnetische Strahlung auf. Die Reflektivitäten sind dabei jeweils auf die Strahlungsleistung bezogen. Besonders bevorzugt weist die Grenzfläche in dem zuvor beschriebenen Bereich die zuvor beschriebene Reflektivität für eine oder mehrere Wellenlängen des Spektrums des sichtbaren Lichtes von 380 nm bis 780 nm auf oder im arithmetischen Mittel über den Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichtes oder im arithmetischen Mittel für das Spektrum des sichtbaren Lichtes auf. Ebenfalls besonders bevorzugt weist die Grenzfläche in dem zuvor beschriebenen Bereich die zuvor beschriebene Reflektivität für eine oder mehrere Wellenlängen der von der funktionalen Schichtstruktur erzeugbaren elektromagnetischen Strahlung auf oder bezogen auf die Strahlungsleistung für die von der funktionalen Schichtstruktur erzeugbare elektromagnetische Strahlung. Dadurch kann eine spiegelnde elektromagnetische Vorrichtung realisiert werden. Die Reflektivität der zuvor genannten Grenzfläche kann sich insbesondere auf einen zur Grenzfläche senkrechten Strahlungseinfall beziehen. Die Reflektivität der zuvor genannten Grenzfläche der Elektrode hängt unter anderem von dem Brechungsindex der Elektrode und von dem Brechungsindex der daran angrenzenden Schicht oder Schichten ab. Dass der zuvor genannte Bereich der Grenzfläche der ersten Elektrode durch die Planarisierung planarisiert ist bedeutet, dass dieser eine geringere Rauigkeit aufweist, als das bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre.Preferably, an interface of the first electrode remote from the substrate or an interface of the second electrode facing the substrate has a reflectivity of at least 50%, preferably at least 80% or even at least 90% for one on this interface in a region planarized by the planarization meeting electromagnetic radiation. The reflectivities are in each case related to the radiation power. Particularly preferably, the interface in the above described range reflectivity for one or more wavelengths of the visible light spectrum from 380 nm to 780 nm on or in the arithmetic mean over the wavelength range of visible light or in the arithmetic mean of the spectrum of visible light. Likewise particularly preferably, the boundary surface in the area described above has the above-described reflectivity for one or more wavelengths of the electromagnetic radiation that can be generated by the functional layer structure or with respect to the radiation power for the electromagnetic radiation that can be generated by the functional layer structure. Thereby, a specular electromagnetic device can be realized. The reflectivity of the aforementioned boundary surface may relate in particular to a radiation incidence perpendicular to the boundary surface. The reflectivity of the aforementioned interface of the electrode depends inter alia on the refractive index of the electrode and on the refractive index of the adjacent layer or layers. The fact that the aforementioned area of the first electrode interface is planarized by the planarization means that it has less roughness than would be the case in the absence of planarization.

Vorzugsweise ist die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung durch die zweite Elektrode hindurch zu emittieren. Möglicherweise ist sie dabei zudem eingerichtet, die erzeugte elektromagnetische Strahlung nicht durch das Substrat hindurch zu emittieren.Preferably, the optoelectronic device is set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation through the second electrode. It may also be set up to not emit the generated electromagnetic radiation through the substrate.

Vorzugsweise ist die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung durch die erste Elektrode und das Substrat hindurch zu emittieren. Möglicherweise ist sie dabei zudem eingerichtet, die erzeugte elektromagnetische Strahlung nicht durch die zweite Elektrode hindurch zu emittieren.Preferably, the optoelectronic device is set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation through the first electrode and the substrate. It may also be set up to emit the generated electromagnetic radiation through the second electrode.

Vorzugsweise umfasst die optoelektronische Vorrichtung überdies eine Verkapselungsschicht zum Schutz der funktionalen Schichtstruktur vor Feuchtigkeit, die eine Ausnehmung aufweist, die den Kontakt zur Kontaktierung, z.B. zur externen Kontaktierung, zugänglich macht.Preferably, the optoelectronic device further comprises an encapsulating layer for protecting the functional layer structure from moisture, which has a recess forming the contact for contacting, e.g. for external contacting, accessible.

Die Verkapselungsschicht kann als eine einzelne Schicht, ein Schichtstapel oder eine Schichtstruktur ausgebildet sein. Bei der Verkapselungsschicht kann es sich insbesondere um eine Dünnschichtverkapselung (auch als TFE, thin-film encapsulation, bezeichnet) handeln.The encapsulation layer may be formed as a single layer, a layer stack or a layer structure. The encapsulation layer may in particular be a thin-layer encapsulation (also referred to as TFE, thin-film encapsulation).

Bevorzugt ist die Verkapselungsschicht zumindest teilweise auf einer dem Substrat abgeneigten Seite der zweiten Elektrode angeordnet. Dadurch kann eine gute Verkapselungswirkung der Verkapselungsschicht erzielt werden.Preferably, the encapsulation layer is at least partially disposed on a side of the second electrode which is angled away from the substrate. As a result, a good encapsulation effect of the encapsulation layer can be achieved.

Die Isolierungsschicht und die Verkapselungsschicht sind vorzugsweise auf gegenüberliegenden Seiten der zumindest einen Elektrode, die von der Isolierungsschicht gegenüber dem Substrat isoliert wird, angeordnet. Dadurch kann eine gute Verkapselungswirkung der Verkapselungsschicht erzielt werden.The insulating layer and the encapsulating layer are preferably disposed on opposite sides of the at least one electrode that is insulated from the insulating layer from the substrate. As a result, a good encapsulation effect of the encapsulation layer can be achieved.

Vorzugsweise überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen die Planarisierung und die Ausnehmung nur teilweise oder besser gar nicht. Mit anderen Worten, vorzugsweise erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen in einem Bereich der Ausnehmung nicht die Planarisierung und besonders bevorzugt erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates gesehen über die gesamte Ausnehmung hinweg nicht die Planarisierung. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht.Preferably, as seen in plan view of the main surface of the substrate, the planarization and the recess overlap only partially or better not at all. In other words, preferably in plan view of the main surface of the substrate seen in a region of the recess does not extend the planarization and particularly preferably does not extend seen in plan view of the main surface of the substrate over the entire recess away the planarization. This allows a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.

Ebenfalls bevorzugt überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen die Isolierungsschicht und die Ausnehmung, besonders bevorzugt überlappen sie sich vollständig. Mit anderen Worten, in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen erstreckt sich die Isolierungsschicht vorzugsweise über einen Teil der Ausnehmung hinweg. Besonders bevorzugt erstreckt sie sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen über die gesamte Ausnehmung hinweg. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht.Also preferably, as seen in plan view of the main surface of the substrate, the insulating layer and the recess overlap, more preferably, they completely overlap. In other words, as seen in plan view of the main surface of the substrate, the insulating layer preferably extends over a portion of the recess. Particularly preferably, it extends over the entire recess in a plan view of the main surface of the substrate. This allows a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.

Vorzugsweise weist die Isolierungsschicht eine Schichtdicke von mindestens 1 µm auf. Ebenfalls kann sie eine Dicke aufweisen, die mindestens gleich dem Doppelten einer Rauigkeit des Substrates ist, vorzugsweise mindestens gleich dem Doppelten einer maximalen Rauigkeit des Substrates. Dadurch kann eine hinreichende Stabilität z.B. gegen Durchstechen der Isolierungsschicht erzielt werden.The insulating layer preferably has a layer thickness of at least 1 μm. Also, it may have a thickness that is at least equal to twice a roughness of the substrate, preferably at least equal to twice a maximum roughness of the substrate. As a result, sufficient stability, e.g. can be achieved against puncturing the insulation layer.

Vorzugsweise ist ausgehend von dem Substrat gesehen die Isolierungsschicht der Planarisierung nachgeordnet. Dadurch kann eine Diffusion von Bestandteilen der Planarisierung in die funktionale Schichtstruktur verhindert werden, d.h. die Isolierungsschicht kann dabei als Diffusionsbarriere zwischen Planarisierung und funktionaler Schichtstruktur wirken. Dies kann insbesondere dann wünschenswert sein, wenn die Planarisierung ein organisches Material umfasst oder aus einem organischen Material besteht und gleichzeitig die funktionale Schichtstruktur ein organisches Material umfasst oder daraus besteht, d.h. es sich bei der funktionalen Schichtstruktur um eine organisch funktionale Schichtstruktur handelt.Preferably, starting from the substrate, the insulating layer is arranged downstream of the planarization. Thereby, diffusion of constituents of the planarization into the functional layer structure can be prevented, i. the insulating layer can act as a diffusion barrier between planarization and functional layer structure. This may be desirable, in particular, when the planarization comprises an organic material or consists of an organic material and at the same time the functional layer structure comprises or consists of an organic material, i. the functional layer structure is an organically functional layered structure.

Besonders bevorzugt umschließen die Isolierungsschicht und das Substrat zusammenwirkend die Planarisierung vollständig. Somit kann die Planarisierung durch die Isolierungsschicht in Zusammenwirkung mit dem Substrat von allen Seiten von Feuchtigkeit abgekapselt werden. More preferably, the insulating layer and the substrate cooperatively completely surround the planarization. Thus, the Planarization through the insulating layer in cooperation with the substrate to be encapsulated from all sides by moisture.

Gemäß einer alternativen Ausführungsform ist ausgehend von dem Substrat gesehen die Planarisierung der Isolierungsschicht nachgeordnet. Dabei kann die Isolierungsschicht sich über das gesamte Substrat hinweg erstrecken. Diese alternativen Ausführungsformen erleichtern die Herstellung der optoelektronischen Vorrichtung, beispielsweise kann dabei die Isolierungsschicht mittels einem Rolle zu Rolle Verfahren aufgebracht werden, bevor die Planarisierung aufgebracht und fein strukturiert wird.According to an alternative embodiment, starting from the substrate, the planarization of the insulation layer is arranged downstream. In this case, the insulating layer can extend over the entire substrate. These alternative embodiments facilitate the manufacture of the optoelectronic device, for example, while the insulating layer can be applied by means of a roll to roll method before the planarization is applied and finely structured.

Vorzugsweise steht die Elektrode, die durch die Isolierungsschicht gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert ist, in direktem Kontakt zu der Isolierungsschicht. Dadurch kann eine mechanisch besonders stabile Verbindung mit der Elektrode erzeugt werden, insbesondere bei Verwendung einer Isolierungsschicht aus anorganischem Material.Preferably, the electrode electrically insulated from the substrate by the insulating layer is in direct contact with the insulating layer. As a result, a mechanically particularly stable connection with the electrode can be produced, in particular when an insulating layer of inorganic material is used.

Die Planarisierung planarisiert, d.h. sie weist auf einer dem Substrat abgewandten Grenzfläche eine geringere Rauheit auf als auf einer dem Substrat zugewandten Grenzfläche, vorzugsweise um mindestens einen Faktor 2 geringer, besonders bevorzugt um mindestens einen Faktor 5 und ganz besonders bevorzugt um mindestens einen Faktor 20. Vorzugsweise weist die Planarisierung auf einer dem Substrat abgewandten Grenzfläche eine Rauheit kleiner oder gleich 500 nm auf, besonders bevorzugt kleiner oder gleich 200 nm und ganz besonders bevorzugt kleiner oder gleich 50 nm.The planarization is planarized, i. it has less roughness on an interface facing away from the substrate than on an interface facing the substrate, preferably smaller by at least a factor of 2, more preferably by at least a factor of 5 and most preferably by at least a factor of 20. Preferably, the planarization has a surface facing away from the substrate, a roughness of less than or equal to 500 nm, more preferably less than or equal to 200 nm and most preferably less than or equal to 50 nm.

Das Substrat hingegen kann auf der Hauptfläche eine Rauheit größer oder gleich 500 nm aufweisen, oder größer oder gleich 1000 nm oder sogar größer oder gleich 5000 nm.The substrate, on the other hand, may have a roughness greater than or equal to 500 nm on the major surface, or greater than or equal to 1000 nm, or even greater than or equal to 5000 nm.

Die mittlere Rauheit eines Bezugsbereichs, dargestellt durch das Symbol Ra, gibt den mittleren Abstand aller Punkte auf der Grenzfläche in dem Bezugsbereich zu einer Mittelebene an. Die Mittelebene schneidet das wirkliche Profil so, dass der mittlere Abstand minimal wird. Die mittlere Rauheit Ra entspricht also dem arithmetischen Mittel der betragsmäßigen Abweichung von der Mittelebene.The average roughness of a reference area, represented by the symbol R a , indicates the mean distance of all points on the interface in the reference area to a center plane. The middle plane intersects the real profile so that the mean distance becomes minimal. The average roughness R a thus corresponds to the arithmetic mean of the absolute deviation from the medial plane.

Vorzugsweise umfasst die Planarisierung ein organisches Material. Dadurch kann eine besonders gute Planarisierungswirkung erzielt werden. Beispielsweise kann es sich bei dem organischen Material um ein organisches Material ausgewählt aus folgender Gruppe von Materialien handeln: Epoxidharz, Acrylat, Polyurethan, Polyimid, Silikon, Organopolysilazan, Polysiloxan, Styrol, Polyester, Polyekton.Preferably, the planarization comprises an organic material. As a result, a particularly good planarization effect can be achieved. For example, the organic material may be an organic material selected from the following group of materials: epoxy resin, acrylate, polyurethane, polyimide, silicone, organopolysilazane, polysiloxane, styrene, polyester, polyectone.

Die Planarisierung kann eine aus der Flüssigphase prozessierte Planarisierung sein, d.h. dass zum Bereitstellen der Planarisierung eine Flüssigkeit aufgebracht wurde, die die Planarisierung bildet.The planarization may be a liquid phase processed planarization, i. a liquid has been applied to provide the planarization, which forms the planarization.

Vorzugsweise umfasst die Isolierungsschicht ein anorganisches Material. Dadurch kann eine besonders gute Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung erzielt werden. Beispielsweise kann die Isolierungsschicht ein anorganisches Material umfassen, das ausgewählt ist aus folgender Gruppe von Materialien: Oxid, Nitrid, Oxynitrid, Carbid, Metalloxid, Metallnitrid, Metalloxynitrid, Metallcarbid, Keramik, Glas. Insbesondere kann es sich bei dem anorganischen Material um Siliziumnitrid (SiN), Siliziumoxid (SiOx), Siliziumoxinitrid (SiNOx), Silizium-Oxikarbonitrid (SiCNOx), Aluminiumoxid (AlOx), Titanoxid (TiOx), Antimon-Zinn-Oxid (ATO) oder Siliziumcarbid (SiC) handeln.Preferably, the insulating layer comprises an inorganic material. As a result, a particularly good moisture diffusion barrier effect can be achieved. For example, the insulating layer may comprise an inorganic material selected from the following group of materials: oxide, nitride, oxynitride, carbide, metal oxide, metal nitride, metal oxynitride, metal carbide, ceramic, glass. In particular, the inorganic material may be silicon nitride (SiN), silicon oxide (SiO x ), silicon oxynitride (SiNO x ), silicon oxycarbonitride (SiCNO x ), aluminum oxide (AlO x ), titanium oxide (TiO x ), antimony tin Oxide (ATO) or silicon carbide (SiC) act.

Die Planarisierung ist vorzugsweise derart ausgestaltet und angeordnet, dass zumindest eine der ersten und zweiten Elektroden eine Grenzfläche aufweist, die in zumindest einem ersten Bereich eine geringere Rauigkeit aufweist als in einem zweiten Bereich.The planarization is preferably configured and arranged in such a way that at least one of the first and second electrodes has an interface which has a lower roughness in at least one first area than in a second area.

Da der erste Bereich eine andere Rauigkeit aufweist als der zweite Bereich, weisen diese Bereiche für einen Betrachter ein unterschiedliches Erscheinungsbild auf, wodurch das Erscheinungsbild der optoelektronischen Vorrichtung interessanter gestaltet und dadurch verbessert werden kann.Since the first region has a different roughness than the second region, these regions have a different appearance for a viewer, whereby the appearance of the optoelectronic device can be made more interesting and thereby improved.

Die Planarisierung kann beispielsweise derart ausgestaltet und angeordnet sein, dass eine dem Substrat abgewandte Grenzfläche der ersten Elektrode in dem ersten Bereich eine geringere Rauigkeit aufweist als in dem zweiten Bereich. Dabei ist die optoelektronische Vorrichtung vorzugsweise eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung durch die zweite Elektrode hindurch zu emittieren. Zudem kann sie dabei eingerichtet sein, die erzeugte elektromagnetische Strahlung nicht durch das Substrat hindurch zu emittieren.The planarization can be designed and arranged, for example, such that an interface of the first electrode facing away from the substrate has a lower roughness in the first region than in the second region. In this case, the optoelectronic device is preferably set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation through the second electrode. In addition, it may be arranged to not emit the generated electromagnetic radiation through the substrate.

Alternativ oder zusätzlich kann die Planarisierung auch derart ausgestaltet und angeordnet sein, dass eine dem Substrat zugewandte Grenzfläche der zweiten Elektrode in dem ersten Bereich eine geringere Rauigkeit aufweist als in dem zweiten Bereich. Dabei ist die optoelektronische Vorrichtung vorzugsweise eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung durch die erste Elektrode und das Substrat hindurch zu emittieren. Zudem kann sie dabei eingerichtet sein, die erzeugte elektromagnetische Strahlung nicht durch die zweite Elektrode hindurch zu emittieren.Alternatively or additionally, the planarization can also be configured and arranged such that an interface of the second electrode facing the substrate has a lower roughness in the first region than in the second region. In this case, the optoelectronic device is preferably set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation through the first electrode and the substrate. In addition, it may be arranged to not emit the generated electromagnetic radiation through the second electrode.

Die Planarisierung ist vorzugsweise zwischen dem Substrat und der ersten Elektrode angeordnet. Dadurch kann ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung ermöglicht werden.The planarization is preferably between the substrate and the first electrode arranged. As a result, a simple structure of the optoelectronic device can be made possible.

Die erste Elektrode kann eine erste Elektrodenschicht umfassen oder daraus bestehen. Dementsprechend kann beispielsweise die erste Elektrodenschicht auf einer dem Substrat abgewandten Grenzfläche in dem ersten Bereich ein geringere Rauigkeit aufweisen als in dem zweiten Bereich. The first electrode may comprise or consist of a first electrode layer. Accordingly, for example, the first electrode layer may have a lower roughness in the first region on an interface facing away from the substrate than in the second region.

Die zweite Elektrode kann eine zweite Elektrodenschicht umfassen oder daraus bestehen. Dementsprechend kann beispielsweise die zweite Elektrodenschicht auf einer dem Substrat zugewandten Grenzfläche in dem ersten Bereich eine geringere Rauigkeit aufweisen als in dem zweiten Bereich.The second electrode may comprise or consist of a second electrode layer. Accordingly, for example, the second electrode layer may have a lower roughness in the first region on an interface facing the substrate than in the second region.

Die Planarisierung ist gemäß einer bevorzugten Ausführungsform derart ausgestaltet und angeordnet, dass die zuvor diskutierte Grenzfläche in dem gesamten ersten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist und in dem gesamten zweiten Bereich nicht durch die Planarisierung planarisiert ist. Das bedeutet, dass gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform die erste Elektrode in dem ersten Bereich eine geringere Rauheit aufweist, als dies bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre, und in dem zweiten Bereich dieselbe Rauigkeit aufweist, wie dies bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre.According to a preferred embodiment, the planarization is configured and arranged such that the previously discussed interface is planarized in the entire first region by the planarization and is not planarized by the planarization in the entire second region. That is, according to this preferred embodiment, the first electrode in the first region has less roughness than would be the case in the absence of planarization, and in the second region has the same roughness as would be the case in the absence of planarization.

Die Planarisierung kann zumindest eine Aussparung aufweisen, die den zweiten Bereich hervorruft. Diese kann vollständig von der Planarisierung umrandet sein.The planarization may have at least one recess which causes the second region. This can be completely surrounded by the planarization.

Bevorzugt erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen, d.h. z.B. in senkrechter Projektion auf die Hauptfläche des Substrates gesehen, in dem gesamten ersten Bereich die Planarisierung und in dem gesamten zweiten Bereich nicht die Planarisierung. Mit anderen Worten, bevorzugt überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen der erste Bereich und die Planarisierung vollständig und der zweite Bereich und die Planarisierung nicht.Preferably, as seen in plan view, the main surface of the substrate, i. e.g. seen in perpendicular projection on the main surface of the substrate, in the entire first area, the planarization and in the entire second area not the planarization. In other words, preferably, when viewed in plan view of the main surface of the substrate, the first region and the planarization completely overlap and the second region and the planarization do not overlap completely.

Die Planarisierung ist gemäß einer bevorzugten Ausführungsform derart ausgestaltet und angeordnet, dass die zuvor diskutierte Grenzfläche in dem ersten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist und in dem zweiten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist, insbesondere kann sie derart ausgestaltet und angeordnet sein, dass die zuvor diskutierte Grenzfläche in dem gesamten ersten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist und in dem gesamten zweiten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist. Die unterschiedlichen Rauigkeiten in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich können dabei erzielt werden, indem die Planarisierung die Bereiche unterschiedlich stark planarisiert, beispielsweise durch Variation einer Dicke der Planarisierung, insbesondere einer Schichtdicke einer die Planarisierung bildenden Planarisierungsschicht. Entsprechend kann in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen eine die Planarisierung bildende Planarisierungsschicht in dem gesamten ersten Bereich eine andere Schichtdicke aufweisen als in dem gesamten zweiten Bereich.According to a preferred embodiment, the planarization is configured and arranged such that the previously discussed interface is planarized in the first region by the planarization and is planarized in the second region by the planarization, in particular it can be configured and arranged such that the previously discussed Boundary surface in the entire first region is planarized by the planarization and planarized in the entire second region by the planarization. The different roughnesses in the first region and the second region can be achieved in that the planarization planarizes the regions differently, for example by varying a thickness of the planarization, in particular a layer thickness of a planarization layer forming the planarization. Accordingly, as seen in plan view of the main surface of the substrate, a planarization layer forming the planarization may have a different layer thickness in the entire first region than in the entire second region.

Vorzugsweise weist die zuvor diskutierte Grenzfläche der zumindest einen Elektrode in dem ersten und/oder dem zweiten Bereich eine Reflektivität von mindestens 50 % bevorzugt mindestens 80 % oder sogar mindestens 90 % für eine auf die Grenzfläche der ersten Elektrode treffende elektromagnetische Strahlung auf. Die Reflektivitäten sind dabei jeweils auf die Strahlungsleistung bezogen. Besonders bevorzugt weist die Grenzfläche in dem ersten und/oder dem zweiten Bereich die zuvor beschriebene Reflektivität für eine oder mehrere Wellenlängen des Spektrums des sichtbaren Lichtes von 380 nm bis 780 nm auf oder im arithmetischen Mittel über den Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichtes oder im arithmetischen Mittel für das Spektrum des sichtbaren Lichtes auf. Ebenfalls besonders bevorzugt weist die Grenzfläche in dem zuvor beschriebenen Bereich die zuvor beschriebene Reflektivität für eine oder mehrere Wellenlängen der von der funktionalen Schichtstruktur erzeugbaren elektromagnetischen Strahlung auf oder bezogen auf die gesamte Strahlungsleistung für die von der funktionalen Schichtstruktur erzeugbare elektromagnetische Strahlung. Dadurch kann eine stark reflektierende elektromagnetische Vorrichtung realisiert werden, wobei sich die Reflektionseigenschaft in dem ersten und dem zweiten Bereich unterscheidet, insbesondere weil der erste Bereich verglichen mit dem zweiten Bereich weniger matt, d.h. weniger diffus, reflektiert. Die Reflektivität der zuvor genannten Grenzfläche kann sich insbesondere auf einen zur Grenzfläche senkrechten Strahlungseinfall beziehen. Die Reflektivität der zuvor genannten Grenzfläche der ersten Elektrode hängt unter anderem von dem Brechungsindex der ersten Elektrode und von dem Brechungsindex der daran angrenzenden Schicht oder Schichten ab.Preferably, the previously discussed interface of the at least one electrode in the first and / or the second region has a reflectivity of at least 50%, preferably at least 80% or even at least 90% for an electromagnetic radiation impinging on the interface of the first electrode. The reflectivities are in each case related to the radiation power. Particularly preferably, the interface in the first and / or the second region exhibits the above-described reflectivity for one or more wavelengths of the visible light spectrum from 380 nm to 780 nm, or in the arithmetic mean over the visible light wavelength range or in the arithmetic mean for the spectrum of visible light. Likewise particularly preferably, the boundary surface in the area described above has the above-described reflectivity for one or more wavelengths of the electromagnetic radiation that can be generated by the functional layer structure or based on the total radiation power for the electromagnetic radiation that can be generated by the functional layer structure. As a result, a highly reflective electromagnetic device can be realized, with the reflection characteristic differing in the first and second regions, particularly because the first region is less dull, i.e., less than the second region. less diffuse, reflected. The reflectivity of the aforementioned boundary surface may relate in particular to a radiation incidence perpendicular to the boundary surface. The reflectivity of the aforesaid interface of the first electrode depends inter alia on the refractive index of the first electrode and on the refractive index of the adjacent layer or layers.

Vorzugsweise ist die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet, durch Zusammenwirkung des ersten Bereichs und des zweiten Bereichs eine sichtbare Information darzustellen, d.h. eine für einen externen Betrachter sichtbare Information. Diese kann beispielsweise sowohl in einem Betriebszustand als auch in einem Außerbetriebszustand sichtbar sein. Bei der Information kann es sich beispielsweise um zumindest ein Muster oder ein Zeichen, insbesondere ein Schriftzeichen, handeln. Preferably, the optoelectronic device is set up to display visible information by interaction of the first area and the second area, ie information visible to an external observer. This can be visible, for example, both in an operating state and in an inoperative state. The information may be, for example, at least one pattern or a character, in particular a character.

Vorzugsweise ist die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung in einer Emissionsrichtung zu emittieren, wobei sowohl der erste Bereich als auch der zweite Bereich bei Betrachtung der optoelektronischen Vorrichtung entgegen der Emissionsrichtung sichtbar sind.Preferably, the optoelectronic device is set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation in an emission direction, wherein both the first region and the second region are visible in the direction opposite to the emission direction when the optoelectronic device is viewed.

Dadurch kann sichergestellt werden, dass diese Bereiche für einen externen Betrachter einfach auffindbar sind. Dabei können diese in einem Betriebszustand der optoelektronischen Vorrichtung an Hand einer lateralen Variation einer Eigenschaft der emittierten elektromagnetischen Strahlung, z.B. einer Helligkeitsverteilung und/oder einer Farbverteilung, sichtbar sein.This can ensure that these areas are easy to find for an external viewer. In this case, in an operating state of the optoelectronic device, they can be triggered by means of a lateral variation of a property of the emitted electromagnetic radiation, e.g. a brightness distribution and / or a color distribution, be visible.

Beispielsweise kann die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet sein, den Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung in der Emissionsrichtung durch einen Emissionsbereich der zweiten Elektrode hindurch zu emittieren. Ebenso kann die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet sein, den Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung in der Emissionsrichtung durch einen Emissionsbereich des Substrates hindurch zu emittieren.By way of example, the optoelectronic device can be set up to emit the part of the generated electromagnetic radiation in the emission direction through an emission region of the second electrode. Likewise, the optoelectronic device can be set up to emit the part of the generated electromagnetic radiation in the emission direction through an emission region of the substrate.

Vorzugsweise stehen die Isolierungsschicht und die Planarisierung in direktem Kontakt zueinander, was einen einfachen Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung ermöglicht.Preferably, the insulating layer and the planarization are in direct contact with each other, allowing a simple construction of the optoelectronic device.

Bei der funktionalen Schichtstruktur kann es sich um eine organisch funktionale Schichtstruktur handeln. Vorzugsweise handelt es sich bei der optoelektronischen Vorrichtung um eine organisch lichtemittierende Diode.The functional layer structure may be an organically functional layer structure. Preferably, the optoelectronic device is an organic light emitting diode.

Gemäß einer Ausführungsform umfasst ein Verfahren zum Bereitstellen der zuvor beschriebenen optoelektronischen Vorrichtung zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung die Schritte:

  • S1: Bereitstellens des Substrats,
  • S2: Bereitstellen der Isolierungsschicht
  • S3: Bereitstellen der Planarisierung zum Ausgleichen einer Rauigkeit einer der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode zugewandten Hauptfläche des Substrates,
  • S4: Bereitstellen der funktionalen Schichtstruktur, der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode, wobei die erste Elektrode auf einer dem Substrat zugewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur angeordnet wird und die zweite Elektrode auf einer dem Substrat abgewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur angeordnet wird, so dass die funktionale Schichtstruktur eingerichtet wird, bei Bestromung der funktionalen Schichtstruktur mittels der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode die elektromagnetische Strahlung zu erzeugen,
wobei bei den Schritten S2 und S4 die Isolierungsschicht und zumindest eine der Elektroden derart bereitgestellt werden, dass die Isolierungsschicht diese Elektrode gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert,
wobei bei dem Schritt S4 die zumindest eine Elektrode, die durch die Isolierungsschicht gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert wird, als Elektrode mit einen Kontakt zur Kontaktierung bereitgestellt wird und
wobei bei dem Schritt S2 die Isolierungsschicht eingerichtet und angeordnet wird, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere für Feuchtigkeitsdiffusion von dem Kontakt zu der Planarisierung zu wirken.According to one embodiment, a method for providing the above-described optoelectronic device for generating electromagnetic radiation comprises the steps:
  • S1: providing the substrate,
  • S2: Providing the insulation layer
  • S3: providing the planarization for compensating a roughness of a main surface of the substrate facing the first electrode and the second electrode,
  • S4: providing the functional layer structure, the first electrode and the second electrode, wherein the first electrode is arranged on a side facing the substrate of the functional layer structure and the second electrode is arranged on a side facing away from the substrate of the functional layer structure, so that the functional Layer structure is set up to generate the electromagnetic radiation by energizing the functional layer structure by means of the first electrode and the second electrode,
wherein in steps S2 and S4, the insulating layer and at least one of the electrodes are provided such that the insulating layer electrically isolates this electrode from the substrate,
wherein at step S4, the at least one electrode electrically insulated from the substrate by the insulating layer is provided as an electrode with a contact for making contact, and
wherein, at step S2, the insulating layer is arranged and arranged to act as a moisture diffusion barrier for moisture diffusion from the contact to the planarization.

Vorzugsweise wird bei dem Schritt S3 eine Flüssigkeit aufgebracht, die die Planarisierung bildet. Insbesondere kann die Flüssigkeit eine Planarisierung bilden, die aus einem Feststoff besteht, beispielsweise durch Verdampfen eines Lösungsmittels.Preferably, in step S3, a liquid is applied, which forms the planarization. In particular, the liquid may form a planarization consisting of a solid, for example by evaporation of a solvent.

Vorzugsweise werden Verfahrensschritte S2 und S3 nach dem Verfahrensschritt S1 ausgeführt. Vorzugsweise werden die Verfahrensschritte S2 und S3 vor dem Verfahrensschritt S4 ausgeführt.Preferably, method steps S2 and S3 are carried out after method step S1. The method steps S2 and S3 are preferably carried out before the method step S4.

Vorzugsweise umfasst das Verfahren weiterhin den Schritt S5 des Bereitstellens der Verkapselungsschicht zum Schutz der funktionalen Schichtstruktur vor Feuchtigkeit. Dieser kann z.B. nach den Verfahrensschritten S1 bis S4 ausgeführt werden.Preferably, the method further comprises the step S5 of providing the encapsulation layer to protect the functional layer structure from moisture. This can e.g. be carried out after the steps S1 to S4.

Nachfolgend wird das hier vorgestellte Prinzip unter Bezugnahme auf Zeichnungen an Hand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Gleiche Bezugszeichen geben dabei gleiche Elemente in den Figuren an. Es sind jedoch keine maßstäblichen Bezüge dargestellt, vielmehr können einzelne Elemente zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein.Hereinafter, the principle presented here will be explained in more detail with reference to drawings with reference to exemplary embodiments. The same reference numerals indicate the same elements in the figures. However, no scale relationships are shown, but individual elements may be shown exaggerated for better understanding.

Es zeigen:Show it:

1A, 1B, 1C: Eine optoelektronische Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik, 1A . 1B . 1C : An optoelectronic device according to the prior art,

2a, 2b, 2c: Eine optoelektronische Vorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel, 2a . 2 B . 2c : An optoelectronic device according to a first embodiment,

3a, 3b, 3c: Eine optoelektronische Vorrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel, 3a . 3b . 3c : An optoelectronic device according to a second embodiment,

4a, 4b, 4c Eine optoelektronische Vorrichtung gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel und 4a . 4b . 4c An optoelectronic device according to a third embodiment and

5a, 5b, 5c: Eine optoelektronische Vorrichtung gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel und 5a . 5b . 5c : An optoelectronic device according to a fourth embodiment and

6: Ein Verfahren zum Erzeigen einer optoelektronischen Vorrichtung gemäß einem der Ausführungsbeispiele. 6 A method for displaying an optoelectronic device according to one of the embodiments.

In 1A ist eine optoelektronische Vorrichtung 10* gemäß dem Stand der Technik in Draufsicht dargestellt. 1B zeigt eine Schnittdarstellung entlang der Linie A von 1A. 1C zeigt den Ausschnitt B von 1B in Vergrößerung.In 1A is an opto-electronic device 10 * shown in plan view according to the prior art. 1B shows a sectional view taken along the line A of 1A , 1C shows the section B of 1B in magnification.

Die optoelektronische Vorrichtung 10* umfasst ein elektrisch leitfähiges Substrat 11 (in 2A nicht sichtbar) mit einer rauen Oberfläche, die eine Grenzfläche zu weiteren Elementen der optoelektronischen Vorrichtung 10* bildet. Auf dieser ist eine Planarisierungsschicht 12 aus einem organischen Material angeordnet, die auf deren dem Substrat 11 abgewandten Seite eine geringere Rauheit aufweist als auf deren dem Substrat 11 zugewandten Seite. Auf der dem Substrat 11 abgewandten Seite der Planarisierungsschicht 12 sind wiederum eine erste Elektrode 14 und eine zweite Elektrode 15 angeordnet.The optoelectronic device 10 * comprises an electrically conductive substrate 11 (in 2A not visible) with a rough surface which forms an interface with other elements of the optoelectronic device 10 * forms. On this is a planarization layer 12 of an organic material arranged on top of which the substrate 11 opposite side has a lower roughness than on the substrate 11 facing side. On the substrate 11 opposite side of the planarization layer 12 are in turn a first electrode 14 and a second electrode 15 arranged.

Zwischen den Elektroden 14, 15 ist eine organisch funktionale Schichtstruktur 16 angeordnet, die bei Bestromung mittels den beiden Elektroden 14, 15 eine elektromagnetische Strahlung erzeugt. Diese wird von der optoelektronischen Vorrichtung 10 zumindest teilweise durch die zweite Elektrode 15 hindurch emittiert, nicht jedoch durch das Substrat 11 hindurch. Between the electrodes 14 . 15 is an organically functional layered structure 16 arranged when energized by means of the two electrodes 14 . 15 generates electromagnetic radiation. This is from the optoelectronic device 10 at least partially through the second electrode 15 through, but not through the substrate 11 therethrough.

Auf den zuvor genannten Schichten ist eine Verkapselungsschicht 17 zum Schutz vor Feuchtigkeit angeordnet. Diese weist Aussparungen auf, so dass entsprechende Kontakte 24, 25 der beiden Elektroden 14, 15 zugänglich sind. Die zweite Elektrode 15 weist einen ersten Abschnitt 150 aus Aluminium oder Silber mit dem Kontakt 25 auf und einen zweiten, lichtdurchlässigen Abschnitt 151 aus Indiumzinnoxid. Anstatt einer Indiumzinnoxidschicht kann eine beliebige leitfähige transparente Schicht vorgesehen werden, z.B. eine andere dünne Metallschicht oder eine Schicht aus Ag-Nanowires.On the aforementioned layers is an encapsulation layer 17 arranged to protect against moisture. This has recesses, so that corresponding contacts 24 . 25 the two electrodes 14 . 15 are accessible. The second electrode 15 has a first section 150 made of aluminum or silver with the contact 25 on and a second, translucent section 151 from indium tin oxide. Instead of an indium tin oxide layer, any conductive transparent layer may be provided, eg another thin metal layer or a layer of Ag nanowires.

Wie in 1B dargestellt, kann Feuchtigkeit entlang von Feuchtigkeitsdiffusionspfaden 30 via diesen Aussparungen durch die Elektroden 14 und 15 hindurch in die organische Planarisierungsschicht 12 diffundieren. Da die organische Planarisierungsschicht 12 eine hohe laterale Feuchtigkeitstransportfähigkeit aufweist, kann sich die Feuchtigkeit in lateraler Richtung via der organischen Planarisierungsschicht 12 zu der ersten Elektrode 14 hin ausbreiten und durch die erste Elektrode 14 hindurch in die organisch funktionale Schichtstruktur 16 diffundieren und diese schädigen.As in 1B As shown, moisture can flow along moisture diffusion paths 30 via these recesses through the electrodes 14 and 15 through into the organic planarization layer 12 diffuse. Because the organic planarization layer 12 has a high lateral moisture transport capability, the moisture can be laterally via the organic planarization layer 12 to the first electrode 14 spread out and through the first electrode 14 into the organic functional layer structure 16 diffuse and damage them.

In 2A ist eine optoelektronische Vorrichtung 10 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel dargestellt. 2B zeigt eine Schnittdarstellung entlang der Linie A von 2A. 2C zeigt den Ausschnitt B von 2B in Vergrößerung.In 2A is an opto-electronic device 10 shown according to a first embodiment. 2 B shows a sectional view taken along the line A of 2A , 2C shows the section B of 2 B in magnification.

Die optoelektronische Vorrichtung 10 umfasst ein flächiges Substrat 11 (in 2A nicht sichtbar), vorzugsweise aus Aluminium oder Silber, mit einer rauen Oberfläche, die eine Grenzfläche zu weiteren Elementen der optoelektronischen Vorrichtung 10 darstellt und hier und im Folgenden als Hauptfläche 11a bezeichnet wird.The optoelectronic device 10 comprises a flat substrate 11 (in 2A not visible), preferably of aluminum or silver, with a rough surface which forms an interface with other elements of the optoelectronic device 10 represents and here and below as the main surface 11a referred to as.

Auf dieser Hauptfläche 11a ist eine Planarisierungsschicht 12 aus einem organischen Material angeordnet. Letztere erstreckt sich, wie später genauer erläutert wird, in Draufsicht auf die Hauptfläche 11a gesehen nicht über das gesamte Substrat 11 hinweg. Auf der Planarisierungsschicht 12 und den nicht von dieser bedeckten Bereichen des Substrates 11 ist eine Isolierungsschicht 13 (in 2A nicht sichtbar) aus einem anorganischen Material angeordnet. Diese erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche 11a gesehen über das gesamte Substrat 11 hinweg. Die Planarisierungsschicht 12 gleicht Rauigkeiten des Substrates 11 zumindest teilweise aus. Zumindest teilweise bedeutet, dass dazu deckungsgleiche Unebenheiten auf der dem Substrat 11 abgewandten Seite der Planarisierungsschicht 12 dennoch vorhanden sein können, allerdings eine geringere Rauigkeit bewirken. Die Planarisierungsschicht 12 weist dementsprechend auf deren dem Substrat 11 abgewandten Grenzfläche 12a eine geringere Rauigkeit auf als auf der dem Substrat 11 zugewandten Grenzfläche 12b.On this main surface 11a is a planarization layer 12 arranged from an organic material. The latter extends, as will be explained in more detail later, in a plan view of the main surface 11a not seen over the entire substrate 11 time. On the planarization layer 12 and the non-covered areas of the substrate 11 is an insulation layer 13 (in 2A not visible) made of an inorganic material. This extends in plan view of the main surface 11a seen over the entire substrate 11 time. The planarization layer 12 equals roughness of the substrate 11 at least partially. At least in part, that means congruent unevenness on the substrate 11 opposite side of the planarization layer 12 can still be present, but cause less roughness. The planarization layer 12 has accordingly on the substrate 11 remote interface 12a less roughness than on the substrate 11 facing interface 12b ,

Auf dieser Isolierungsschicht 13 sind die beiden Elektroden 14, 15 mit dazwischenliegender organisch funktionaler Schichtstruktur 16 angeordnet, so dass die organisch funktionale Schichtstruktur 16 bei Bestromung mittels den beiden Elektroden 14, 15 elektromagnetische Strahlung erzeugt. Auf den zuvor genannten Schichten ist schließlich eine Verkapselungsschicht 17 zum Schutz vor Feuchtigkeit angeordnet. Diese weist Aussparungen auf, so dass entsprechende Kontakte 24, 25 der beiden Elektroden 14, 15 zugänglich sind. On this insulation layer 13 are the two electrodes 14 . 15 with intervening organic functional layer structure 16 arranged so that the organic functional layer structure 16 when energized by means of the two electrodes 14 . 15 generates electromagnetic radiation. Finally, on the aforementioned layers is an encapsulation layer 17 arranged to protect against moisture. This has recesses, so that corresponding contacts 24 . 25 the two electrodes 14 . 15 are accessible.

Im Unterschied zum Stand der Technik erstreckt sich die organische Planarisierungsschicht 12 in Draufsicht auf die Hauptfläche 11a des Substrates 11 gesehen nicht im Bereich dieser Aussparungen, sondern die Isolierungsschicht 13. Auf Grund dieser Anordnung kann so gut wie keine Feuchtigkeit durch die Aussparungen und die Elektroden 14, 15 hindurch via der organischen Planarisierungsschicht 12, in der sich Feuchtigkeit leicht ausbreitet, zu der funktionalen Schichtstruktur 16 gelangen. Die Isolierungsschicht 13 wirkt in einer Richtung R, die in einer Grenzfläche der Isolierungsschicht 13 verläuft, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere. Allerdings erstreckt sich die Planarisierungsschicht 12 in Draufsicht auf die Hauptfläche 11a des Substrates 11 gesehen in einem Bereich der funktionalen Schichtstruktur 16, so dass die beiden Elektroden 14, 15 und die funktionale Schichtstruktur 16 in diesem Bereich auf einer planarisierten Grenzfläche angeordnet sind. Folglich kann z.B. die erste Elektrode 14 derart aus Aluminium oder Silber erzeugt werden und die funktionale Schichtstruktur 16 derart ausgestaltet werden, dass die dem Substrat 11 abgewandte Grenzfläche der ersten Elektrode 14 eine gute Spiegelwirkung für eine von der dem Substrat 11 abgewandten Seite auf diese Grenzfläche treffende elektromagnetische Strahlung aufweist. In contrast to the prior art, the organic extends Planarization layer 12 in plan view of the main surface 11a of the substrate 11 seen not in the area of these recesses, but the insulation layer 13 , Due to this arrangement, virtually no moisture can pass through the recesses and the electrodes 14 . 15 through via the organic planarization layer 12 in which moisture easily spreads, to the functional layer structure 16 reach. The insulation layer 13 acts in a direction R, which is in an interface of the insulating layer 13 runs as a moisture diffusion barrier. However, the planarization layer extends 12 in plan view of the main surface 11a of the substrate 11 seen in an area of the functional layer structure 16 so that the two electrodes 14 . 15 and the functional layer structure 16 are arranged in this area on a planarized interface. Consequently, for example, the first electrode 14 be made of aluminum or silver and the functional layer structure 16 be designed such that the the substrate 11 remote interface of the first electrode 14 a good mirror effect for one of the substrate 11 Having opposite side of this interface has striking electromagnetic radiation.

Die Isolierungsschicht 13 besteht aus einem nichtleitenden Material oder umfasst ein solches Material. Unter einem nichtleitenden Material wird ein Material mit einer elektrischen Leitfähigkeit von weniger als 10–8–1·m–1 verstanden. Da die Isolierungsschicht 13 sich über das gesamte Substrat 11 hinweg erstreckt, kann das Substrat 11 dennoch aus einem elektrisch leitfähigen Material bestehen, ohne dass es zu einem Kurzschluss zwischen den beiden Elektroden 14, 15 kommt. Generell genügt es, um einen derartigen Kurzschluss zu vermeiden, wenn die Isolierungsschicht 13 derart angeordnet ist, dass sie zumindest eine der Elektroden 14, 15 gegenüber dem Substrat 11 elektrisch isoliert.The insulation layer 13 is made of a non-conductive material or comprises such a material. By non-conducting material is meant a material having an electrical conductivity of less than 10 -8 Ω -1 · m -1 . Because the insulation layer 13 over the entire substrate 11 extends, the substrate can 11 nevertheless consist of an electrically conductive material, without causing a short circuit between the two electrodes 14 . 15 comes. In general, it is sufficient to avoid such a short circuit when the insulation layer 13 is arranged such that it at least one of the electrodes 14 . 15 opposite the substrate 11 electrically isolated.

Die zweite Elektrode 15 umfasst einen ersten Abschnitt 150 aus Aluminium oder Silber, der den Kontaktbereich 25 aufweist, und einen damit elektrisch leitend verbundenen zweiten Abschnitt 151 bestehend aus einer für die von der funktionalen Schichtstruktur 16 erzeugbare elektromagnetische Strahlung zumindest teilweise durchlässige Schicht aus Indiumzinnoxid (ITO), so dass die erzeugbare elektromagnetische Strahlung durch diese Schicht hindurch von der optoelektronischen Vorrichtung 10 abgegeben werden kann. So kann eine Beschädigung der ITO-Schicht durch Kontaktierung vermieden werden. Anstatt einer Indiumzinnoxidschicht kann eine beliebige leitfähige transparente Schicht vorgesehen werden, z.B. eine andere dünne Metallschicht oder eine Schicht aus Ag-Nanowires.The second electrode 15 includes a first section 150 made of aluminum or silver, which is the contact area 25 and a second section electrically connected thereto 151 consisting of one for the of the functional layer structure 16 can be generated electromagnetic radiation at least partially permeable layer of indium tin oxide (ITO), so that the producible electromagnetic radiation through this layer of the optoelectronic device 10 can be delivered. Thus, damage to the ITO layer can be avoided by contacting. Instead of an indium tin oxide layer, any conductive transparent layer may be provided, eg another thin metal layer or a layer of Ag nanowires.

Vorzugsweise weist die Isolierungsschicht eine Schichtdicke von mindestens 1 µm auf. Ebenfalls kann sie eine Dicke aufweisen, die mindestens gleich dem Doppelten einer Rauigkeit des Substrates ist, vorzugsweise mindestens gleich dem Doppelten einer maximalen Rauigkeit des Substrates.The insulating layer preferably has a layer thickness of at least 1 μm. Also, it may have a thickness that is at least equal to twice a roughness of the substrate, preferably at least equal to twice a maximum roughness of the substrate.

Bei dem zuvor beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel ist ausgehend von dem Substrat 11 gesehen die Isolierungsschicht 13 der Planarisierungsschicht 12 nachgeordnet. Dadurch kann eine Diffusion von Bestandteilen der organischen Planarisierungsschicht 12 in die organisch funktionale Schichtstruktur 16 verhindert werden. In the first embodiment described above, starting from the substrate 11 seen the insulation layer 13 the planarization layer 12 downstream. This may cause diffusion of constituents of the organic planarization layer 12 into the organic functional layer structure 16 be prevented.

Zudem umschließen die Isolierungsschicht 13 und das Substrat 11 die Planarisierungsschicht 12 vollständig, so dass die Planarisierungsschicht 12 durch die Isolierungsschicht 13 in Zusammenwirkung mit dem Substrat 11 von allen Seiten von Feuchtigkeit abgekapselt wird.In addition, enclose the insulation layer 13 and the substrate 11 the planarization layer 12 completely, leaving the planarization layer 12 through the insulation layer 13 in cooperation with the substrate 11 is encapsulated from all sides by moisture.

Die Elektroden 14, 15 stehen in direktem Kontakt zu der anorganischen Isolierungsschicht 13, wodurch eine mechanisch besonders stabile Verbindung mit den Elektroden 14, 15 erzeugt wird. Folglich besteht die Möglichkeit, die optoelektronische Vorrichtung 10 an den Elektroden 14, 15 zu befestigen, z.B. an den Kontakten 24, 25 anzulöten oder festzukleben oder für Messungen temporär mit Kontaktstiften zu kontaktieren.The electrodes 14 . 15 are in direct contact with the inorganic insulating layer 13 , whereby a mechanically particularly stable connection with the electrodes 14 . 15 is produced. Consequently, there is the possibility of the optoelectronic device 10 at the electrodes 14 . 15 to attach, for example to the contacts 24 . 25 To solder or stick or temporarily contact with pins for measurements.

In 3A ist eine optoelektronische Vorrichtung 10 gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel dargestellt. 3B zeigt eine Schnittdarstellung entlang der Linie A von 3A. 3C zeigt den Ausschnitt B von 3B in Vergrößerung.In 3A is an opto-electronic device 10 shown according to a second embodiment. 3B shows a sectional view taken along the line A of 3A , 3C shows the section B of 3B in magnification.

Die optoelektronische Vorrichtung 10 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel ist analog zu der des ersten Ausführungsbeispiels aufgebaut, mit dem Unterschied, dass ausgehend von dem Substrat 11 gesehen die Planarisierungsschicht 12 der Isolierungsschicht 13 nachgeordnet ist. Die der Isolierungsschicht 13 nachgeordnete Planarisierungsschicht 12 ermöglicht eine einfache Herstellung der sich über das gesamte Substrat hinweg erstreckenden Isolierungsschicht, beispielsweise mittels einem Rolle zu Rolle Verfahren.The optoelectronic device 10 according to the second embodiment is constructed analogously to that of the first embodiment, with the difference that starting from the substrate 11 seen the planarization layer 12 the insulation layer 13 is subordinate. The insulation layer 13 downstream planarization layer 12 allows easy production of the over the entire substrate extending insulation layer, for example by means of a roll-to-roll method.

4A zeigt eine Schnittdarstellung einer optoelektronischen Vorrichtung 10 gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel. Diese ist analog zu der des ersten Auführungsbeispiels aufgebaut, mit dem Unterschied, dass sich die Planarisierungsschicht 12 in Draufsicht auf die Hauptfläche 11a des Substrates 11 gesehen nicht über die gesamte funktionalen Schichtstruktur 16 hinweg erstreckt. 4A shows a sectional view of an optoelectronic device 10 according to a fourth embodiment. This is constructed analogously to that of the first embodiment, with the difference that the planarization layer 12 in plan view of the main surface 11a of the substrate 11 not seen over the entire functional layered structure 16 extends.

In 4C ist der Ausschnitt B von 4A in Vergrößerung dargestellt. Da die Planarisierungsschicht 12 nur bereichsweise vorhanden ist und demensprechend nur bereichsweise eine Planarisierungswirkung entfaltet, weist die erste Elektrodenschicht 14 auf der dem Substrat 11 abgewandten Grenzfläche 14a in den dadurch planarisierten Bereichen 34a eine geringere Rauigkeit auf als nicht planarisierten Bereichen 34b. Die metallische Elektrodenschicht 14, die vorliegend aus Aluminium oder Silber besteht, ist bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel für von der dem Substrat 11 abgewandten Seite auf deren dem Substrat 11 abgewandten Grenzfläche 14a treffende elektromagnetische Strahlung in beiden Bereichen 34a und 34b sowohl über den sichtbaren Spektralbereich gemittelt als auch über den Spektralbereich der von der funktionalen Schichtstruktur 16 erzeugbaren elektromagnetischen Strahlung gemittelt zu über 90% reflektierend. In 4C is the section B of 4A shown in magnification. Because the planarization layer 12 only partially exists and demensprechend only partially developed a planarization, has the first electrode layer 14 on the substrate 11 remote interface 14a in the thereby planarized areas 34a less roughness than non-planarized areas 34b , The metallic electrode layer 14 , which in the present case consists of aluminum or silver, is in the present embodiment of the substrate 11 on the side facing away from the substrate 11 remote interface 14a meeting electromagnetic radiation in both areas 34a and 34b averaged over the visible spectral range as well as over the Spectral range of the functional layer structure 16 generated electromagnetic radiation averaged over 90% reflective.

Durch die mittels der nur partiell vorgesehenen Planarisierungsschicht 12 erzeugten beiden Bereiche 34a und 34b wird eine Information dargestellt, die bei Betrachtung der optoelektronischen Vorrichtung 10 entgegen der Emissionsrichtung E sowohl in einem Betriebszustand als auch in einem Außerbetriebszustand sichtbar ist.By means of the only partially provided planarization layer 12 generated two areas 34a and 34b an information is displayed which, when viewing the optoelectronic device 10 is visible against the emission direction E both in an operating state and in an inoperative state.

Vorliegend werden für einen externen Betrachter, wie in 4B dargestellt, bei Betrachtung der optoelektronischen Vorrichtung 10 entgegen der Emissionsrichtung E in einem Strahlungsemissionsbereich 40 die schraffiert dargestellte Schriftzeichen 41 „TXT“ sowie ein aus zwei Kreisen bestehendes schraffiert dargestelltes Zeichen 42, auch als Symbol oder Logo bezeichnet, sichtbar. Die Linie A-A zeigt dabei die Position des Schnitts von 1A.Present for an external viewer, as in 4B shown when viewing the optoelectronic device 10 opposite to the emission direction E in a radiation emission region 40 the shaded characters 41 "TXT" and a hatched two-character sign 42 , also known as a symbol or logo, visible. The line AA shows the position of the cut of 1A ,

Die Planarisierungsschicht 12 ist in Draufsicht auf das Substrat 11 gesehen in den gesamten schraffiert dargestellten Bereichen der beiden Kreise des Symbols 42 und der Buchstaben „TXT“ 41 vorhanden, außerhalb dieser Bereiche jedoch nicht. Dementsprechend sind die zu den Buchstaben 41 und den Kreisen 42 gehörigen Bereiche 34a der dem Substrat abgewandten Grenzfläche 14a der ersten Elektrodenschicht 14 planarisiert und für darauf treffende elektromagnetische Strahlung im sichtbaren Spektralbereich und für die von der funktionalen Schichtstruktur 16 erzeugbare elektromagnetische Strahlung spiegelnd und der restliche Bereich 34b der Grenzfläche 14a ist für derartige Strahlung matt reflektierend. Diese unterschiedlichen optischen Eigenschaften sind durch die entsprechende verschiedenartige Reflektion von außerhalb der optoelektronischen Vorrichtung 10 auf die Grenzfläche 14a treffende elektromagnetische Strahlung und die entsprechende verschiedenartige Reflektion der von der optoelektronischen Vorrichtung 10 erzeugbaren elektromagnetischen Strahlung sowohl in einem Betriebszustand als auch in einem Außerbetriebszustand für einen entgegen der Emissionsrichtung E auf die optoelektronische Vorrichtung 10 blickenden Betrachter sichtbar.The planarization layer 12 is in plan view of the substrate 11 seen in the entire hatched areas of the two circles of the symbol 42 and the letter "TXT" 41 available, but not outside these areas. Accordingly, those are the letters 41 and the circles 42 belonging areas 34a the surface facing away from the substrate 14a the first electrode layer 14 planarized and for impinging electromagnetic radiation in the visible spectral range and for that of the functional layer structure 16 reflective electromagnetic radiation and the remaining area 34b the interface 14a is matt reflective for such radiation. These different optical properties are due to the corresponding different reflection from outside the optoelectronic device 10 on the interface 14a pertinent electromagnetic radiation and the corresponding different reflection of the optoelectronic device 10 can be generated in an operating state as well as in an inoperative state for a counter to the emission direction E on the optoelectronic device 10 Visible viewer visible.

Alternativ zu den Zeichen und Symbolen kann mittels der partiell aufgebrachten Planarisierungsschicht 12 auch ein Muster, d.h. eine gleichbleibende Struktur, die sich gleichförmig wiederholt, dargestellt werden, z.B. parallele Linien oder ein Schachbrettmuster. As an alternative to the characters and symbols, by means of the partially applied planarization layer 12 also a pattern, ie a uniform structure that repeats uniformly, are displayed, for example, parallel lines or a checkerboard pattern.

Die in den 5A, 5B und 5C dargestellte optoelektronische Vorrichtung 10 gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel ist im Vergleich zu der des dritten Ausführungsbeispiels ähnlich aufgebaut. 5A zeigt dementsprechend eine zu 4A analoge Schnittdarstellung, 5B eine zu 4B analoge Darstellung der in dem Strahlungsemissionsbereich 40 sichtbaren Zeichen 41, 42 und 5C eine zu 4C analoge Vergrößerung des Ausschnitts B von 2A.The in the 5A . 5B and 5C illustrated optoelectronic device 10 According to a fourth embodiment is constructed similarly to that of the third embodiment. 5A indicates accordingly one 4A analog sectional view, 5B one too 4B analogous representation of the in the radiation emission region 40 visible signs 41 . 42 and 5C one too 4C analogous magnification of section B of 2A ,

Der einzige Unterschied zu dem dritten Ausführungsbeispiel besteht darin, dass die Zeichen 41, 42 bei dem vierten Ausführungsbeispiel dadurch dargestellt werden, dass die Planarisierungsschicht 12 in Draufsicht auf das Substrat 11 gesehen in dem gesamten Bereich außerhalb der beiden Kreise des Symbols 42 und der Buchstaben „TXT“ 41 vorhanden ist (schraffierter Bereich in 2B) und im Bereich dieser Zeichen nicht vorhanden ist. Dementsprechend erscheint für den externen Betrachter, der die optoelektronische Vorrichtung 10 entgegen der Strahlungsemissionsrichtung E betrachtet der schraffierte Bereich von 2B auf Grund der dort spiegelnden Grenzfläche 14a der ersten Elektrode 14 anders als der nicht schraffierte Bereich der Zeichen 41 und 42 auf Grund der dort matten Grenzfläche 14a der ersten Elektrode 14.The only difference with the third embodiment is that the characters 41 . 42 in the fourth embodiment, that the planarization layer 12 in plan view of the substrate 11 seen in the entire area outside the two circles of the symbol 42 and the letter "TXT" 41 is present (hatched area in 2 B ) and in the range of these characters does not exist. Accordingly, for the external viewer, the opto-electronic device appears 10 contrary to the radiation emission direction E, the hatched area of 2 B because of the mirroring interface 14a the first electrode 14 unlike the non-hatched area of the characters 41 and 42 due to the matte interface 14a the first electrode 14 ,

Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen kann die Planarisierungsschicht 12 auf einer dem Substrat 11 abgewandten Grenzfläche 12a eine Rauheit kleiner oder gleich 50 nm auf weisen.In the embodiments described above, the planarization layer 12 on a the substrate 11 remote interface 12a have a roughness equal to or less than 50 nm.

Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen besteht die Planarisierungsschicht 12 aus einem anderen Material als die Isolierungsschicht 13.In the embodiments described above, the planarization layer exists 12 made of a different material than the insulation layer 13 ,

Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen besteht die Isolierungsschicht 13 aus einem nichtleitenden Material oder umfasst ein solches Material. In the embodiments described above, the insulating layer is made 13 of a non-conductive material or comprises such a material.

Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen kann die Verkapselungsschicht 17 als eine einzelne Schicht oder als ein Schichtstapel oder als eine Schichtstruktur ausgebildet sein. Sie kann aufweisen oder daraus gebildet sein: Aluminiumoxid, Zinkoxid, Zirkoniumoxid, Titanoxid, Hafniumoxid, Tantaloxid, Lanthaniumoxid, Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Siliziumoxinitrid, Indiumzinnoxid, Indiumzinkoxid, Aluminium-dotiertes Zinkoxid, Poly(p-phenylenterephthalamid), Nylon 66, sowie Mischungen und Legierungen derselben oder Tetrafluorethylen (TFE). Bei der Verkapselungsschicht 17 kann es sich insbesondere um eine Dünnschichtverkapselung (auch als TFE, thin-film encapsulation, bezeichnet) handeln. Diese kann z.B. aus mehreren mittels Atomlagenabscheidung (auch als atomic layer deposition oder ALD bezeichnet) oder Moleküllagenabscheidung (auch als molecular layer deposition oder MLD bezeichnet) erzeugten Einzelschichten bestehen. Die Dünnschichtverkapselung oder deren Einzelschichten kann bzw. können auch mittels Ink Jet Printing oder Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) oder mittels der so genannten “Vacuum Polymer Technology” erzeugt sein.In the embodiments described above, the encapsulation layer 17 be formed as a single layer or as a layer stack or as a layer structure. It may be comprised of or formed from: alumina, zinc oxide, zirconia, titania, hafnia, tantalum oxide, lanthania, silica, silicon nitride, silicon oxynitride, indium tin oxide, indium zinc oxide, aluminum doped zinc oxide, poly (p-phenylene terephthalamide), nylon 66 , as well as mixtures and alloys thereof or tetrafluoroethylene (TFE). At the encapsulation layer 17 it may in particular be a thin-layer encapsulation (also referred to as TFE, thin-film encapsulation). This can consist, for example, of a plurality of individual layers produced by means of atomic layer deposition (also referred to as atomic layer deposition or ALD) or molecular layer deposition (also referred to as molecular layer deposition or MLD). The thin-layer encapsulation or its individual layers can also be produced by means of Ink Jet Printing or Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) or by means of the so-called "Vacuum Polymer Technology".

Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen kann die Planarisierungsschicht 12 ein organisches Material ausgewählt aus folgender Gruppe von Materialien umfassen: Epoxidharz, Acrylat, Polyurethan, Polyimid, Silikon, Organopolysilazan, Polysiloxan, Styrol, Polyester, Polyekton. Sie kann aufgedruckt sein, beispielsweise mittels einem Verfahren ausgewählt aus folgender Gruppe von Druckverfahren: Siebdruck, Tintenstrahldruck auch Inkjet-Druck genannt, Tiefdruck oder Flexodruck. Sie kann auch aufbeschichtet sein, z.B. mittels Düsenbeschichtung, auch slot-die-coating genannt, oder mittels Sprühbeschichtung, auch spray-coating genannt, beides ggfs. in Kombination mit anschließender Rückstrukturierung. Sie kann in flüssiger Form aufgebracht, z.B. aufgedruckt oder aufbeschichtet, und anschließend ausgehärtet sein, z.B. mittels thermischem Aushärten oder mittels UV-Aushärten.In the embodiments described above, the planarization layer 12 an organic material selected from the following group of materials include: epoxy resin, acrylate, polyurethane, polyimide, silicone, organopolysilazane, polysiloxane, styrene, polyester, polyectone. It may be printed, for example by means of a process selected from the following group of printing processes: screen printing, inkjet printing also known as inkjet printing, gravure printing or flexographic printing. It can also be coated, for example by means of nozzle coating, also called slot-die-coating, or by spray coating, also called spray-coating, both if necessary. In combination with subsequent back structuring. It can be applied in liquid form, for example printed or coated, and then cured, for example by means of thermal curing or by means of UV curing.

Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen kann die Isolierungsschicht 13 ein anorganisches Material, das ausgewählt ist aus folgender Gruppe von Materialien, umfassen: Oxid, Nitrid, Oxynitrid, Carbid, Metalloxid, Metallnitrid, Metalloxynitrid, Metallcarbid, Keramik, Glas. Insbesondere kann es sich bei dem anorganischen Material um Siliziumnitrid (SiN), Siliziumoxid (SiOx), Siliziumoxinitrid (SiNOx), Silizium-Oxikarbonitrid (SiCNOx), Aluminiumoxid (AlOx), Titanoxid (TiOx), Antimon-Zinn-Oxid (ATO) oder Siliziumcarbid (SiC) handeln. Diese anorganische Isolierungsschicht 13 kann durch Kathodenzerstäubung, auch Sputtern genannt, chemische Gasphasenabscheidung, auch chemical vapor deposition genannt, oder Atomlagenabscheidung, auch atomic layer deposition genannt, erzeugt sein. Bei der Isolierungsschicht 13 kann es sich um eine keramische Beschichtung handeln. Bei der Isolierungsschicht 13 kann es sich auch um eine Eloxalschicht handeln, vorzugsweise auf einem Substrat 11, das Aluminium enthält oder daraus besteht. Ebenso kann es sich um eine Beschichtung aus Glas oder eine Beschichtung, die Glas enthält, oder eine glasartige Beschichtung handeln.In the embodiments described above, the insulating layer 13 an inorganic material selected from the following group of materials include: oxide, nitride, oxynitride, carbide, metal oxide, metal nitride, metal oxynitride, metal carbide, ceramics, glass. In particular, the inorganic material may be silicon nitride (SiN), silicon oxide (SiO x ), silicon oxynitride (SiNO x ), silicon oxycarbonitride (SiCNO x ), aluminum oxide (AlO x ), titanium oxide (TiO x ), antimony tin Oxide (ATO) or silicon carbide (SiC) act. This inorganic insulation layer 13 can by cathode sputtering, also called sputtering, chemical vapor deposition, also called chemical vapor deposition, or atomic layer deposition, also called atomic layer deposition, be generated. At the insulation layer 13 it can be a ceramic coating. At the insulation layer 13 it may also be an anodized layer, preferably on a substrate 11 containing or consisting of aluminum. It may also be a coating of glass or a coating containing glass, or a glassy coating.

Die optoelektronischen Vorrichtungen 10 gemäß den zuvor genannten Ausführungsbeispielen emittieren die elektromagnetische Strahlung zumindest teilweise durch die zweite Elektrode 15 hindurch. Alternativ dazu können auch entsprechende optoelektronische Vorrichtungen 10 vorgesehen werden, welche die erzeugte elektromagnetische Strahlung zumindest teilweise durch das Substrat 11 hindurch emittieren, z.B. mit transparenter Isolierungsschicht 13 und transparenter Planarisierungsschicht 12.The optoelectronic devices 10 According to the aforementioned embodiments, the electromagnetic radiation emit at least partially through the second electrode 15 therethrough. Alternatively, corresponding optoelectronic devices may also be used 10 be provided, which generates the generated electromagnetic radiation at least partially through the substrate 11 through, eg with a transparent insulation layer 13 and transparent planarization layer 12 ,

7 zeigt ein Verfahren zum Erzeugen einer optoelektronischen Vorrichtung gemäß einem der Ausführungsbeispiele. Das Verfahren umfasst die Schritte des Bereitstellens S1 des Substrats, des Bereitstellens S2 der Isolierungsschicht, des Bereitstellens S3 der Planarisierungsschicht, des Bereitstellen S4 der funktionalen Schichtstruktur, der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode. Bei dem Schritt S3 wird eine Flüssigkeit aufgebracht, die die Planarisierung, die aus einem Feststoff besteht, durch Verdampfen eines Lösungsmittels ausbildet. Das Verfahren kann weiterhin den Schritt S5 des Bereitstellens der Verkapselungsschicht umfassen. Die Verfahrensschritte werden in folgender Reihenfolge ausgeführt S1, S2, S3, S4, S5 (optional). Alternativ dazu ist auch folgende Reihenfolge S1, S3, S2, S4, S5 (optional). 7 shows a method for producing an optoelectronic device according to one of the embodiments. The method comprises the steps of providing S1 of the substrate, providing the isolation layer S2, providing the planarization layer S3, providing the layered structure S4, the first electrode, and the second electrode. In step S3, a liquid is applied, which forms the planarization, which consists of a solid, by evaporation of a solvent. The method may further comprise step S5 of providing the encapsulation layer. The process steps are carried out in the following order S1, S2, S3, S4, S5 (optional). Alternatively, the following sequence S1, S3, S2, S4, S5 (optional).

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

10*10 *
Optoelektronische Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik Optoelectronic device according to the prior art
1010
Optoelektronische Vorrichtung Optoelectronic device
1111
Substrat substratum
11a11a
Hauptfläche des Substrates Main surface of the substrate
1212
Planarisierungsschicht Planarization layer
12a12a
Dem Substrat abgewandte Grenzfläche der Planarisierungsschicht The substrate surface facing away from the planarization of the planarization
12b12b
Dem Substrat zugewandte Grenzfläche der Planarisierungsschicht The substrate-facing interface of the planarization layer
1313
Isolierungsschicht insulation layer
1414
Erste Elektrode First electrode
14a14a
Dem Substrat abgewandte Grenzfläche der ersten Elektrode The substrate facing away from the interface of the first electrode
1515
Zweite Elektrode Second electrode
150150
Erster Abschnitt der zweiten Elektrode First section of the second electrode
151151
Zweiter Abschnitt der zweiten Elektrode Second section of the second electrode
1616
Funktionale Schichtstruktur Functional layer structure
1717
Verkapselungsschicht encapsulation
2424
Kontakt erste Elektrode Contact first electrode
2525
Kontakt zweite Elektrode Contact second electrode
3030
Feuchtigkeitsdiffusionspfad Moisture diffusion path
34a34a
Erster Bereich der ersten Elektrode First area of the first electrode
34b34b
Zweiter Bereich der ersten Elektrode  Second area of the first electrode
4040
Emissionsbereich emission region
4141
Schriftzeichen character
4242
Zeichen character
AA
Linie line
BB
Ausschnitt neckline
R R
Richtung, die in der Hauptfläche des Substrats verläuftDirection that runs in the main surface of the substrate
Ee
Emissionsrichtung emission direction

Claims (15)

Optoelektronische Vorrichtung (10) zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung, umfassend: ein Substrat (11), eine funktionale Schichtstruktur (16), eine auf einer dem Substrat (11) zugewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur (16) angeordnete erste Elektrode (14) und eine auf einer dem Substrat (11) abgewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur (16) angeordnete zweite Elektrode (15), wobei die funktionale Schichtstruktur (16) eingerichtet ist, bei Bestromung der funktionalen Schichtstruktur (16) mittels der ersten Elektrode (14) und der zweiten Elektrode (15) die elektromagnetische Strahlung zu erzeugen, eine Isolierungsschicht (13), die zumindest eine der Elektroden (14, 15) gegenüber dem Substrat (11) elektrisch isoliert und eine Planarisierung (12) zum Ausgleichen einer Rauigkeit einer der ersten Elektrode (14) und der zweiten Elektrode (15) zugewandten Hauptfläche (11a) des Substrates (11), wobei die zumindest eine Elektrode, die durch die Isolierungsschicht (13) gegenüber dem Substrat (11) elektrisch isoliert ist, einen Kontakt (24, 25) zur Kontaktierung aufweist, wobei die Isolierungsschicht (13) eingerichtet und angeordnet ist, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere für Feuchtigkeitsdiffusion von dem Kontakt (24, 25) zu der Planarisierung (12) zu wirken.Optoelectronic device ( 10 ) for generating an electromagnetic radiation, comprising: a substrate ( 11 ) a functional layer structure ( 16 ), one on the substrate ( 11 ) facing side of the functional layer structure ( 16 ) arranged first electrode ( 14 ) and one on a substrate ( 11 ) facing away from the functional layer structure ( 16 ) arranged second electrode ( 15 ), wherein the functional layer structure ( 16 ) is furnished, when energized the functional layer structure ( 16 ) by means of the first electrode ( 14 ) and the second electrode ( 15 ) to generate the electromagnetic radiation, an insulating layer ( 13 ), which at least one of the electrodes ( 14 . 15 ) relative to the substrate ( 11 ) and a planarization ( 12 ) for compensating a roughness of one of the first electrodes ( 14 ) and the second electrode ( 15 ) facing the main surface ( 11a ) of the substrate ( 11 ), wherein the at least one electrode passing through the insulating layer ( 13 ) relative to the substrate ( 11 ) is electrically isolated, a contact ( 24 . 25 ) for contacting, wherein the insulating layer ( 13 ) is arranged and arranged as a moisture diffusion barrier for moisture diffusion from the contact ( 24 . 25 ) to the planarization ( 12 ) to act. Optoelektronische Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Elektrode (14), die zweite Elektrode (15), die funktionale Schichtstruktur (16), die Isolierungsschicht (13), die Planarisierung (12) und der Kontakt (24, 25) zumindest teilweise auf der Hauptfläche (11a) des Substrates (11) angeordnet sind. Optoelectronic device according to claim 1, wherein the first electrode ( 14 ), the second electrode ( 15 ), the functional layer structure ( 16 ), the isolation layer ( 13 ), the planarization ( 12 ) and the contact ( 24 . 25 ) at least partially on the main surface ( 11a ) of the substrate ( 11 ) are arranged. Optoelektronische Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei sich die Planarisierung (12) in Draufsicht auf die Hauptfläche (11a) des Substrates (11) gesehen nicht mit dem Kontakt (24, 25) überlappt.Optoelectronic device according to claim 1 or 2, wherein the planarization ( 12 ) in plan view of the main surface ( 11a ) of the substrate ( 11 ) not seen with the contact ( 24 . 25 ) overlaps. Optoelektronische Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei sich die Isolierungsschicht (13) in Draufsicht auf die Hauptfläche (11a) des Substrats (11) über den gesamten Kontakt (24, 25) hinweg erstreckt.Optoelectronic device according to one of the preceding claims, wherein the insulating layer ( 13 ) in plan view of the main surface ( 11a ) of the substrate ( 11 ) over the entire contact ( 24 . 25 ) extends. Optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine dem Substrat (11) abgewandte Grenzfläche der ersten Elektrode (14) oder eine dem Substrat (11) zugewandte Grenzfläche der zweiten Elektrode (14) in einem Bereich, der durch die Planarisierung (12) planarisiert ist, eine Reflektivität von mindestens 50 % für eine auf die Grenzfläche treffende elektromagnetische Strahlung aufweist.Optoelectronic device ( 10 ) according to one of the preceding claims, wherein one of the substrates ( 11 ) facing away from the first electrode ( 14 ) or a substrate ( 11 ) facing the second electrode ( 14 ) in a region that is due to the planarization ( 12 ) is planarized, has a reflectivity of at least 50% for an electromagnetic radiation impinging on the interface. Optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, umfassend eine Verkapselungsschicht (17) zum Schutz der funktionalen Schichtstruktur (16) vor Feuchtigkeit, die eine Ausnehmung aufweist, die den Kontakt (24, 25) zur Kontaktierung zugänglich macht.Optoelectronic device ( 10 ) according to one of the preceding claims, comprising an encapsulation layer ( 17 ) for protecting the functional layer structure ( 16 ) from moisture, which has a recess which causes the contact ( 24 . 25 ) makes available for contacting. Optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Isolierungsschicht (13) und das Substrat (11) die Planarisierung (12) zusammenwirkend vollständig umschließen.Optoelectronic device ( 10 ) according to any one of the preceding claims, wherein the insulating layer ( 13 ) and the substrate ( 11 ) the planarization ( 12 ) completely co-operate cooperatively. Optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Rauheit einer dem Substrat (11) abgewandten Grenzfläche (12a) der Planarisierung (12) kleiner oder gleich 200 nm ist.Optoelectronic device ( 10 ) according to one of the preceding claims, wherein a roughness of a substrate ( 11 ) remote interface ( 12a ) of planarization ( 12 ) is less than or equal to 200 nm. Optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Isolierungsschicht (13) eine Dicke von mindestens 1 µm aufweist. (Unterschied zur Bottom-TFE)Optoelectronic device ( 10 ) according to any one of the preceding claims, wherein the insulating layer ( 13 ) has a thickness of at least 1 micron. (Difference to the bottom TFE) Optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Planarisierung (12) ein organisches Material umfasst.Optoelectronic device ( 10 ) according to one of the preceding claims, wherein the planarization ( 12 ) comprises an organic material. Optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Isolierungsschicht (13) ein anorganisches Material umfasst.Optoelectronic device ( 10 ) according to any one of the preceding claims, wherein the insulating layer ( 13 ) comprises an inorganic material. Optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Planarisierung (12) derart ausgestaltet und angeordnet ist, dass zumindest eine der ersten und zweiten Elektroden (14) eine Grenzfläche (14a) aufweist, die in zumindest einem ersten Bereich (34a) eine geringere Rauigkeit aufweist als in einem zweiten Bereich (34b).Optoelectronic device ( 10 ) according to one of the preceding claims, wherein the planarization ( 12 ) is configured and arranged such that at least one of the first and second electrodes ( 14 ) an interface ( 14a ), which in at least a first area ( 34a ) has a lower roughness than in a second region ( 34b ). Verfahren zum Bereitstellen einer optoelektronischen Vorrichtung (10) zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung, umfassend: Bereitstellen (S1) eines Substrats (11), Bereitstellen (S2) einer Isolierungsschicht (13), Bereitstellen (S3) einer Planarisierung (12) zum Ausgleichen einer Rauigkeit einer der ersten Elektrode (14) und der zweiten Elektrode (15) zugewandten Hauptfläche (11a) des Substrates (11), Bereitstellen (S4) einer funktionalen Schichtstruktur (16), einer ersten Elektrode (14) und einer zweiten Elektrode (15), wobei die erste Elektrode (14) auf einer dem Substrat (11) zugewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur (16) angeordnete wird und die zweite Elektrode auf einer dem Substrat (11) abgewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur (16) angeordnet wird, so dass die funktionale Schichtstruktur (16) eingerichtet wird, bei Bestromung der funktionalen Schichtstruktur (16) mittels der ersten Elektrode (14) und der zweiten Elektrode (15) die elektromagnetische Strahlung zu erzeugen, wobei die Isolierungsschicht (13) und zumindest eine der Elektroden (14, 15) derart bereitgestellt werden (S2, S4), dass die Isolierungsschicht (13) diese Elektrode (14, 15) gegenüber dem Substrat (11) elektrisch isoliert, wobei die zumindest eine Elektrode (14, 15), die durch die Isolierungsschicht (13) gegenüber dem Substrat (11) elektrisch isoliert wird, als Elektrode (14, 15) mit einen Kontakt (24, 25) zur Kontaktierung bereitgestellt wird (S4) und wobei beim Bereitstellen (S2) der Isolierungsschicht (13) diese eingerichtet und angeordnet wird, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere für Feuchtigkeitsdiffusion von dem Kontakt (24, 25) zu der Planarisierung (12) zu wirken.Method for providing an optoelectronic device ( 10 ) for generating an electromagnetic radiation, comprising: providing (S1) a substrate ( 11 ), Providing (S2) an insulation layer ( 13 ), Providing (S3) a planarization ( 12 ) for compensating a roughness of one of the first electrodes ( 14 ) and the second electrode ( 15 ) facing the main surface ( 11a ) of the substrate ( 11 ), Providing (S4) a functional layer structure ( 16 ), a first electrode ( 14 ) and a second electrode ( 15 ), the first electrode ( 14 ) on a substrate ( 11 ) facing side of the functional layer structure ( 16 ) and the second electrode on a substrate ( 11 ) facing away from the functional layer structure ( 16 ) is arranged so that the functional layer structure ( 16 ), when the functional layer structure ( 16 ) by means of the first electrode ( 14 ) and the second electrode ( 15 ) to generate the electromagnetic radiation, wherein the insulating layer ( 13 ) and at least one of the electrodes ( 14 . 15 ) are provided (S2, S4) such that the insulation layer ( 13 ) these Electrode ( 14 . 15 ) relative to the substrate ( 11 ), wherein the at least one electrode ( 14 . 15 ) passing through the insulating layer ( 13 ) relative to the substrate ( 11 ) is electrically isolated, as an electrode ( 14 . 15 ) with a contact ( 24 . 25 ) is provided for contacting (S4) and wherein when providing (S2) the insulation layer ( 13 ) it is set up and arranged as a moisture diffusion barrier for moisture diffusion from the contact ( 24 . 25 ) to the planarization ( 12 ) to act. Verfahren nach Anspruch 13, wobei beim Bereitstellen (S3) der Planarisierung (12) eine Flüssigkeit aufgebracht wird, die die Planarisierung (12) bildet.Method according to claim 13, wherein in providing (S3) the planarization ( 12 ) is applied a liquid, the planarization ( 12 ). Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, wobei eine optoelektronische Vorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 2 bis 12 erzeugt wird.A method according to claim 13 or 14, wherein an opto-electronic device ( 10 ) is produced according to one of claims 2 to 12.
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