DE102016214739A1 - Optoelectronic device - Google Patents
Optoelectronic device Download PDFInfo
- Publication number
- DE102016214739A1 DE102016214739A1 DE102016214739.0A DE102016214739A DE102016214739A1 DE 102016214739 A1 DE102016214739 A1 DE 102016214739A1 DE 102016214739 A DE102016214739 A DE 102016214739A DE 102016214739 A1 DE102016214739 A1 DE 102016214739A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrode
- substrate
- planarization
- optoelectronic device
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/81—Anodes
- H10K50/814—Anodes combined with auxiliary electrodes, e.g. ITO layer combined with metal lines
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/805—Electrodes
- H10K50/82—Cathodes
- H10K50/824—Cathodes combined with auxiliary electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/0004—Devices characterised by their operation
- H01L33/002—Devices characterised by their operation having heterojunctions or graded gap
- H01L33/0025—Devices characterised by their operation having heterojunctions or graded gap comprising only AIIIBV compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
- H01L33/56—Materials, e.g. epoxy or silicone resin
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/62—Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft eine optoelektronische Vorrichtung zum Erzeugen einer elektromagnetischen Strahlung. Bei einer optoelektronische Vorrichtung (10) mit einem Substrat (11), einer ersten Elektrode (14), einer zweiten Elektrode (15) und einer zwischen den Elektroden (14, 15) angeordneten funktionalen Schichtstruktur (16), die eingerichtet ist, bei Bestromung mittels den beiden Elektroden (14, 15) eine elektromagnetische Strahlung zu erzeugen, einer Isolierungsschicht (13), die zumindest eine der Elektroden (14, 15) gegenüber dem Substrat (11) elektrisch isoliert, einer Planarisierung (12) zum Ausgleichen einer Rauigkeit einer der ersten Elektrode (14) und der zweiten Elekrode (15) zugewandten Hauptfläche (11a) des Substrates (11), weist die Elektrode, die durch die Isolierungsschicht (13) gegenüber dem Substrat (11) elektrisch isoliert ist, einen Kontakt (24, 25) zur Kontaktierung auf und die Isolierungsschicht (13) ist eingerichtet und angeordnet, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere für Feuchtigkeitsdiffusion von dem Kontakt (24, 25) zu der Planarisierung (12) zu wirken.The invention relates to an optoelectronic device for generating electromagnetic radiation. In an optoelectronic device (10) having a substrate (11), a first electrode (14), a second electrode (15) and a between the electrodes (14, 15) arranged functional layer structure (16) which is set up when energized by means of the two electrodes (14, 15) to generate an electromagnetic radiation, an insulating layer (13), the at least one of the electrodes (14, 15) relative to the substrate (11) electrically insulated, a planarization (12) for compensating a roughness of a the first electrode (14) and the second electrode (15) facing the main surface (11a) of the substrate (11), the electrode, which is electrically insulated from the substrate (11) by the insulating layer (13), a contact (24, 25) for contacting and the insulating layer (13) is arranged and arranged to act as a moisture diffusion barrier for moisture diffusion from the contact (24, 25) to the planarization (12).
Description
Die Erfindung betrifft eine optoelektronische Vorrichtung zum Erzeugen einer elektromagnetischen Strahlung.The invention relates to an optoelectronic device for generating electromagnetic radiation.
Es ist bekannt, bei optoelektronischen Vorrichtungen zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung zwischen dem Substrat und einer Elektrode eine Isolierungsschicht anzuordnen, die die Elektrode gegenüber dem Substrat isoliert. Die Isolierschicht kann zudem eine Planarisierungswirkung haben. Bekannte Isolierschichten mit hoher Planarisierungswirkung bestehen aus organischen Materialien. Derartige Materialien, weisen eine hohe Feuchtigkeitstransportfähigkeit auf, wodurch die Robustheit der optoelektronischen Vorrichtung reduziert werden kann, was insbesondere bei Anwendungen im Kraftfahrzeug ungünstig ist.It is known in optoelectronic devices for generating electromagnetic radiation between the substrate and an electrode to arrange an insulating layer which insulates the electrode from the substrate. The insulating layer may also have a planarizing effect. Known insulating layers with high planarization effect consist of organic materials. Such materials have a high moisture transport capability, whereby the robustness of the optoelectronic device can be reduced, which is particularly unfavorable in automotive applications.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine optoelektronische Vorrichtung zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung mit einem einfachen und gleichzeitig robusten Aufbau vorzuschlagen.The object of the invention is to propose an optoelectronic device for generating electromagnetic radiation with a simple and at the same time robust construction.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale von Anspruch 1 gelöst. In davon abhängigen Ansprüchen sind vorteilhafte Ausgestaltungen angegeben.This object is solved by the features of claim 1. In dependent claims advantageous embodiments are given.
Gemäß zumindest einer Ausführungsform umfasst eine optoelektronische Vorrichtung zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung ein vorzugsweise flächiges Substrat, eine funktionale Schichtstruktur, eine auf einer dem Substrat zugewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur angeordnete erste Elektrode und eine auf einer dem Substrat abgewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur angeordnete zweite Elektrode, wobei die funktionale Schichtstruktur eingerichtet ist, bei Bestromung der funktionalen Schichtstruktur mittels der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode die elektromagnetische Strahlung zu erzeugen.In accordance with at least one embodiment, an optoelectronic device for generating electromagnetic radiation comprises a preferably planar substrate, a functional layer structure, a first electrode arranged on a side of the functional layer structure facing the substrate, and a second electrode arranged on a side of the functional layer structure remote from the substrate; wherein the functional layer structure is adapted to generate the electromagnetic radiation when the functional layer structure is energized by means of the first electrode and the second electrode.
Die optoelektronische Vorrichtung umfasst überdies eine Isolierungsschicht, die zumindest eine der beiden Elektroden, d.h. die erste Elektrode oder die zweite Elektrode oder sowohl die erste Elektrode als auch die zweite Elektrode, gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert. The optoelectronic device further comprises an insulating layer which supports at least one of the two electrodes, i. the first electrode or the second electrode or both the first electrode and the second electrode, electrically insulated from the substrate.
Zudem umfasst die optoelektronische Vorrichtung eine Planarisierung zum Ausgleichen einer Rauigkeit einer den Elektroden zugewandten Hauptfläche des Substrats. In addition, the optoelectronic device comprises a planarization for compensating a roughness of a main surface of the substrate facing the electrodes.
Die zumindest eine Elektrode, die durch die Isolierungsschicht gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert ist, weist einen Kontakt zur Kontaktierung auf. Dieser dient vorzugsweise zur externen Kontaktierung, d.h. zur Kontaktierung von außerhalb der optoelektronischen Vorrichtung. Der Kontakt kann durch einen zur Kontaktierung geeigneten Bereich einer der beiden Elektroden gebildet sein.The at least one electrode, which is electrically insulated from the substrate by the insulating layer, has a contact for contacting. This is preferably for external contacting, i. for contacting from outside the optoelectronic device. The contact may be formed by a suitable area for contacting one of the two electrodes.
Die Isolierungsschicht ist eingerichtet und angeordnet, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere für Feuchtigkeitsdiffusion von dem Kontakt zu der Planarisierung zu wirken. The insulating layer is configured and arranged to act as a moisture diffusion barrier for moisture diffusion from the contact to the planarization.
Durch diese Isolierungsschicht, durch die verhindert wird, dass Feuchtigkeit von dem Kontakt zu der Planarisierung gelangt, wird folglich die Verwendung einer Planarisierung, in der sich Feuchtigkeit leicht ausbreitet, ermöglicht, bei einem gleichzeitig robustem Aufbau.Thus, by virtue of this insulating layer, which prevents moisture from passing from the contact to the planarization, the use of planarization in which moisture readily propagates is made possible, while maintaining a robust construction.
Durch die zuvor beschriebene Kombination von Planarisierung und Isolierungsschicht kann folglich eine sehr gute Planarisierungswirkung und gleichzeitig ein sehr guter Schutz gegen das Eindringen von Feuchtigkeit erzielt werden.By the combination of planarization and insulation layer described above, therefore, a very good planarization effect and at the same time a very good protection against the ingress of moisture can be achieved.
Die Planarisierung ist vorzugsweise zwischen dem Substrat und der funktionalen Schichtstruktur angeordnet. Dadurch kann ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung ermöglicht werden.The planarization is preferably arranged between the substrate and the functional layer structure. As a result, a simple structure of the optoelectronic device can be made possible.
Bei der Planarisierung kann es sich insbesondere um eine Planarisierungsschicht handeln.In particular, the planarization can be a planarization layer.
Die erste Elektrode kann eine erste Elektrodenschicht umfassen oder daraus bestehen. Die zweite Elektrode kann eine zweite Elektrodenschicht umfassen oder daraus bestehen.The first electrode may comprise or consist of a first electrode layer. The second electrode may comprise or consist of a second electrode layer.
Die Planarisierung ist vorzugsweise derart angeordnet, dass zumindest ein Bereich der funktionalen Schichtstruktur durch die Planarisierung planarisiert ist. Das bedeutet, dass die funktionale Schichtstruktur in diesem Bereich eine geringere Rauheit aufweist, als dies bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre.The planarization is preferably arranged such that at least a portion of the functional layer structure is planarized by the planarization. This means that the functional layer structure in this area has a lower roughness than would be the case in the absence of planarization.
Die erste Elektrode, die zweite Elektrode, die funktionale Schichtstruktur, die Isolierungsschicht, die Planarisierung und der Kontakt können zumindest teilweise, z.B. zumindest bereichsweise, auf der Hauptfläche des Substrates angeordnet sein. Beispielsweise können sie zumindest bereichsweise in direktem oder indirektem Kontakt mit dieser Fläche stehen. Insbesondere können sie auf diese Fläche gemäß einer Schichtfolge aufbeschichtet sein.The first electrode, the second electrode, the functional layer structure, the insulating layer, the planarization and the contact may be at least partially, e.g. at least in regions, be arranged on the main surface of the substrate. For example, they can at least partially be in direct or indirect contact with this surface. In particular, they can be coated on this surface according to a layer sequence.
Dass eine Schicht oder ein Element „auf“ – gleichbedeutend „über“ – einer anderen Schicht oder einem anderen Element angeordnet oder aufgebracht ist, kann hier und im Folgenden bedeuten, dass die eine Schicht oder das eine Element unmittelbar in direktem mechanischem und/oder elektrischem Kontakt auf der anderen Schicht oder dem anderen Element angeordnet ist. Weiterhin kann es auch bedeuten, dass die eine Schicht oder das eine Element mittelbar auf beziehungsweise über der anderen Schicht oder dem anderen Element angeordnet ist. Dabei können dann weitere Schichten und/oder Elemente zwischen der einen und der anderen Schicht beziehungsweise zwischen dem einen und dem anderen Element angeordnet sein.The fact that a layer or an element is arranged or applied "on top" - equivalent to "above" - another layer or another element may, here and below, mean that the one layer or the element directly in direct mechanical and / or electrical contact is disposed on the other layer or the other element. Furthermore, it can also mean that the one layer or the one element is arranged indirectly on or above the other layer or the other element. In this case, further layers and / or elements can then be arranged between the one and the other layer or between the one and the other element.
Dass eine Schicht oder ein Element „zwischen“ zwei anderen Schichten oder Elementen angeordnet ist, kann hier und im Folgenden bedeuten, dass die eine Schicht oder das eine Element unmittelbar in direktem mechanischem oder elektrischem Kontakt oder in mittelbarem Kontakt zur einen der zwei anderen Schichten oder Elementen und in direktem mechanischem und/oder elektrischem Kontakt oder mittelbarem Kontakt zur anderen der zwei anderen Schichten oder Elementen angeordnet ist. Dabei können bei mittelbarem Kontakt dann weitere Schichten und/oder Elemente zwischen der einen und zumindest einer der zwei anderen Schichten beziehungsweise zwischen dem einen und zumindest einem der zwei anderen Elemente angeordnet sein.The fact that a layer or an element is arranged "between" two other layers or elements may here and in the following mean that the one layer or the element directly in direct mechanical or electrical contact or in indirect contact with one of the two other layers Elements and in direct mechanical and / or electrical contact or indirect contact with the other of the other two layers or elements is arranged. In the case of indirect contact, further layers and / or elements can then be arranged between the one and at least one of the two other layers or between the one and at least one of the two other elements.
Die Planarisierung ist vorzugsweise derart angeordnet, dass zumindest ein Bereich des Kontakts nicht durch die Planarisierung planarisiert ist. Das bedeutet, dass gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform zumindest ein Bereich des Kontakts dieselbe Rauigkeit aufweist, wie dies bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre. Dies erleichtert die Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht. Besonders bevorzugt ist der gesamte Kontakt nicht durch die Planarisierung planarisiert. The planarization is preferably arranged such that at least a portion of the contact is not planarized by the planarization. That is, according to this preferred embodiment, at least a portion of the contact has the same roughness as would be the case in the absence of planarization. This facilitates the moisture diffusion barrier effect of the insulating layer. Most preferably, the entire contact is not planarized by the planarization.
Vorzugsweise erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates gesehen in einem Bereich des Kontakts oder besser über den gesamten Kontakt hinweg nicht die Planarisierung. Mit anderen Worten, vorzugsweise überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates gesehen der Kontakt und die Planarisierung nicht vollständig oder besser gar nicht. Durch diese bevorzugte Ausführungsform wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht. Preferably, when viewed in plan view of the main surface of the substrate, the planarization does not extend in a region of the contact, or better over the entire contact. In other words, the contact and the planarization preferably do not completely or better not overlap in a plan view of the main surface of the substrate. This preferred embodiment enables a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.
Vorzugsweise erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen die Isolierungsschicht in einem Bereich des Kontaktes und besonders bevorzugt über den gesamten Kontakt hinweg. Mit anderen Worten, vorzugsweise überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates gesehen die Isolierungsschicht und der Kontakt, besonders bevorzugt überlappen sie sich vollständig. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht.Preferably, as seen in plan view of the main surface of the substrate, the insulating layer extends in a region of the contact, and more preferably over the entire contact. In other words, the insulating layer and the contact preferably overlap one another in a plan view of the main surface of the substrate, and more preferably they completely overlap. This allows a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.
Vorzugsweise ist die Isolierungsschicht eingerichtet und angeordnet, in lateraler Richtung der Isolierungsschicht als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere zu wirken. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht.Preferably, the insulating layer is arranged and arranged to act as a moisture diffusion barrier in the lateral direction of the insulating layer. This allows a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.
Gemäß einer Ausführungsform ist die Isolierungsschicht eingerichtet und angeordnet, in einer zur lateralen Richtung der Isolierungsschicht senkrechten Richtung nicht als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere zu wirken. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung ermöglicht. Beispielsweise kann die Isolierungsschicht besonders einfach und kostengünstig erzeugt werden. Beispielsweise kann die Isolierungsschicht Löcher, so genannte Pinholes, aufweisen, die die elektrische Isolierungswirkung nicht wesentlich beeinträchtigen, jedoch eine Feuchtigkeitsdiffusion in einer zur lateralen Richtung der Isolierungsschicht senkrechten Richtung ermöglichen.According to one embodiment, the insulating layer is arranged and arranged not to act as a moisture diffusion barrier in a direction perpendicular to the lateral direction of the insulating layer. This allows a simple construction of the optoelectronic device. For example, the insulating layer can be produced in a particularly simple and cost-effective manner. For example, the insulating layer may have holes, called pinholes, which do not significantly affect the electrical isolation effect, but allow moisture diffusion in a direction perpendicular to the lateral direction of the insulating layer.
Unter einer lateralen Richtung der Isolierungsschicht wird beispielsweise eine in einer Grenzfläche einer ebenen Isolierungsschicht unter Vernachlässigung der Oberflächenrauheit verlaufende Richtung verstanden oder z.B. eine Tangente an eine Grenzfläche einer gekrümmten Isolierungsschicht unter Vernachlässigung einer Oberflächenrauheit. Dementsprechend wird unter einer Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates z.B. eine senkrechte Projektion auf die Hauptfläche eines ebenen Substrates verstanden oder z.B. eine Projektion auf die Hauptfläche eines gekrümmten flächigen Substrats, die lokal an jeder Stelle – unter Vernachlässigung der Oberflächenrauigkeit – senkrecht zu der Hauptfläche ist.By a lateral direction of the insulating layer is meant, for example, a direction extending in an interface of a flat insulating layer neglecting the surface roughness, or e.g. a tangent to an interface of a curved insulating layer neglecting a surface roughness. Accordingly, under a plan view of the main surface of the substrate, e.g. understood a vertical projection on the major surface of a planar substrate or e.g. a projection on the major surface of a curved sheet substrate, which is locally at each point - neglecting the surface roughness - perpendicular to the main surface.
Vorzugsweise weist eine dem Substrat abgewandte Grenzfläche der ersten Elektrode oder eine dem Substrat zugewandte Grenzfläche der zweiten Elektrode in einem Bereich, der durch die Planarisierung planarisiert ist, eine Reflektivität von mindestens 50 % bevorzugt mindestens 80 % oder sogar mindestens 90 % für eine auf diese Grenzfläche treffende elektromagnetische Strahlung auf. Die Reflektivitäten sind dabei jeweils auf die Strahlungsleistung bezogen. Besonders bevorzugt weist die Grenzfläche in dem zuvor beschriebenen Bereich die zuvor beschriebene Reflektivität für eine oder mehrere Wellenlängen des Spektrums des sichtbaren Lichtes von 380 nm bis 780 nm auf oder im arithmetischen Mittel über den Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichtes oder im arithmetischen Mittel für das Spektrum des sichtbaren Lichtes auf. Ebenfalls besonders bevorzugt weist die Grenzfläche in dem zuvor beschriebenen Bereich die zuvor beschriebene Reflektivität für eine oder mehrere Wellenlängen der von der funktionalen Schichtstruktur erzeugbaren elektromagnetischen Strahlung auf oder bezogen auf die Strahlungsleistung für die von der funktionalen Schichtstruktur erzeugbare elektromagnetische Strahlung. Dadurch kann eine spiegelnde elektromagnetische Vorrichtung realisiert werden. Die Reflektivität der zuvor genannten Grenzfläche kann sich insbesondere auf einen zur Grenzfläche senkrechten Strahlungseinfall beziehen. Die Reflektivität der zuvor genannten Grenzfläche der Elektrode hängt unter anderem von dem Brechungsindex der Elektrode und von dem Brechungsindex der daran angrenzenden Schicht oder Schichten ab. Dass der zuvor genannte Bereich der Grenzfläche der ersten Elektrode durch die Planarisierung planarisiert ist bedeutet, dass dieser eine geringere Rauigkeit aufweist, als das bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre.Preferably, an interface of the first electrode remote from the substrate or an interface of the second electrode facing the substrate has a reflectivity of at least 50%, preferably at least 80% or even at least 90% for one on this interface in a region planarized by the planarization meeting electromagnetic radiation. The reflectivities are in each case related to the radiation power. Particularly preferably, the interface in the above described range reflectivity for one or more wavelengths of the visible light spectrum from 380 nm to 780 nm on or in the arithmetic mean over the wavelength range of visible light or in the arithmetic mean of the spectrum of visible light. Likewise particularly preferably, the boundary surface in the area described above has the above-described reflectivity for one or more wavelengths of the electromagnetic radiation that can be generated by the functional layer structure or with respect to the radiation power for the electromagnetic radiation that can be generated by the functional layer structure. Thereby, a specular electromagnetic device can be realized. The reflectivity of the aforementioned boundary surface may relate in particular to a radiation incidence perpendicular to the boundary surface. The reflectivity of the aforementioned interface of the electrode depends inter alia on the refractive index of the electrode and on the refractive index of the adjacent layer or layers. The fact that the aforementioned area of the first electrode interface is planarized by the planarization means that it has less roughness than would be the case in the absence of planarization.
Vorzugsweise ist die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung durch die zweite Elektrode hindurch zu emittieren. Möglicherweise ist sie dabei zudem eingerichtet, die erzeugte elektromagnetische Strahlung nicht durch das Substrat hindurch zu emittieren.Preferably, the optoelectronic device is set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation through the second electrode. It may also be set up to not emit the generated electromagnetic radiation through the substrate.
Vorzugsweise ist die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung durch die erste Elektrode und das Substrat hindurch zu emittieren. Möglicherweise ist sie dabei zudem eingerichtet, die erzeugte elektromagnetische Strahlung nicht durch die zweite Elektrode hindurch zu emittieren.Preferably, the optoelectronic device is set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation through the first electrode and the substrate. It may also be set up to emit the generated electromagnetic radiation through the second electrode.
Vorzugsweise umfasst die optoelektronische Vorrichtung überdies eine Verkapselungsschicht zum Schutz der funktionalen Schichtstruktur vor Feuchtigkeit, die eine Ausnehmung aufweist, die den Kontakt zur Kontaktierung, z.B. zur externen Kontaktierung, zugänglich macht.Preferably, the optoelectronic device further comprises an encapsulating layer for protecting the functional layer structure from moisture, which has a recess forming the contact for contacting, e.g. for external contacting, accessible.
Die Verkapselungsschicht kann als eine einzelne Schicht, ein Schichtstapel oder eine Schichtstruktur ausgebildet sein. Bei der Verkapselungsschicht kann es sich insbesondere um eine Dünnschichtverkapselung (auch als TFE, thin-film encapsulation, bezeichnet) handeln.The encapsulation layer may be formed as a single layer, a layer stack or a layer structure. The encapsulation layer may in particular be a thin-layer encapsulation (also referred to as TFE, thin-film encapsulation).
Bevorzugt ist die Verkapselungsschicht zumindest teilweise auf einer dem Substrat abgeneigten Seite der zweiten Elektrode angeordnet. Dadurch kann eine gute Verkapselungswirkung der Verkapselungsschicht erzielt werden.Preferably, the encapsulation layer is at least partially disposed on a side of the second electrode which is angled away from the substrate. As a result, a good encapsulation effect of the encapsulation layer can be achieved.
Die Isolierungsschicht und die Verkapselungsschicht sind vorzugsweise auf gegenüberliegenden Seiten der zumindest einen Elektrode, die von der Isolierungsschicht gegenüber dem Substrat isoliert wird, angeordnet. Dadurch kann eine gute Verkapselungswirkung der Verkapselungsschicht erzielt werden.The insulating layer and the encapsulating layer are preferably disposed on opposite sides of the at least one electrode that is insulated from the insulating layer from the substrate. As a result, a good encapsulation effect of the encapsulation layer can be achieved.
Vorzugsweise überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen die Planarisierung und die Ausnehmung nur teilweise oder besser gar nicht. Mit anderen Worten, vorzugsweise erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen in einem Bereich der Ausnehmung nicht die Planarisierung und besonders bevorzugt erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrates gesehen über die gesamte Ausnehmung hinweg nicht die Planarisierung. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht.Preferably, as seen in plan view of the main surface of the substrate, the planarization and the recess overlap only partially or better not at all. In other words, preferably in plan view of the main surface of the substrate seen in a region of the recess does not extend the planarization and particularly preferably does not extend seen in plan view of the main surface of the substrate over the entire recess away the planarization. This allows a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.
Ebenfalls bevorzugt überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen die Isolierungsschicht und die Ausnehmung, besonders bevorzugt überlappen sie sich vollständig. Mit anderen Worten, in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen erstreckt sich die Isolierungsschicht vorzugsweise über einen Teil der Ausnehmung hinweg. Besonders bevorzugt erstreckt sie sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen über die gesamte Ausnehmung hinweg. Dadurch wird ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung mit guter Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung der Isolierungsschicht ermöglicht.Also preferably, as seen in plan view of the main surface of the substrate, the insulating layer and the recess overlap, more preferably, they completely overlap. In other words, as seen in plan view of the main surface of the substrate, the insulating layer preferably extends over a portion of the recess. Particularly preferably, it extends over the entire recess in a plan view of the main surface of the substrate. This allows a simple construction of the optoelectronic device with good moisture diffusion barrier effect of the insulating layer.
Vorzugsweise weist die Isolierungsschicht eine Schichtdicke von mindestens 1 µm auf. Ebenfalls kann sie eine Dicke aufweisen, die mindestens gleich dem Doppelten einer Rauigkeit des Substrates ist, vorzugsweise mindestens gleich dem Doppelten einer maximalen Rauigkeit des Substrates. Dadurch kann eine hinreichende Stabilität z.B. gegen Durchstechen der Isolierungsschicht erzielt werden.The insulating layer preferably has a layer thickness of at least 1 μm. Also, it may have a thickness that is at least equal to twice a roughness of the substrate, preferably at least equal to twice a maximum roughness of the substrate. As a result, sufficient stability, e.g. can be achieved against puncturing the insulation layer.
Vorzugsweise ist ausgehend von dem Substrat gesehen die Isolierungsschicht der Planarisierung nachgeordnet. Dadurch kann eine Diffusion von Bestandteilen der Planarisierung in die funktionale Schichtstruktur verhindert werden, d.h. die Isolierungsschicht kann dabei als Diffusionsbarriere zwischen Planarisierung und funktionaler Schichtstruktur wirken. Dies kann insbesondere dann wünschenswert sein, wenn die Planarisierung ein organisches Material umfasst oder aus einem organischen Material besteht und gleichzeitig die funktionale Schichtstruktur ein organisches Material umfasst oder daraus besteht, d.h. es sich bei der funktionalen Schichtstruktur um eine organisch funktionale Schichtstruktur handelt.Preferably, starting from the substrate, the insulating layer is arranged downstream of the planarization. Thereby, diffusion of constituents of the planarization into the functional layer structure can be prevented, i. the insulating layer can act as a diffusion barrier between planarization and functional layer structure. This may be desirable, in particular, when the planarization comprises an organic material or consists of an organic material and at the same time the functional layer structure comprises or consists of an organic material, i. the functional layer structure is an organically functional layered structure.
Besonders bevorzugt umschließen die Isolierungsschicht und das Substrat zusammenwirkend die Planarisierung vollständig. Somit kann die Planarisierung durch die Isolierungsschicht in Zusammenwirkung mit dem Substrat von allen Seiten von Feuchtigkeit abgekapselt werden. More preferably, the insulating layer and the substrate cooperatively completely surround the planarization. Thus, the Planarization through the insulating layer in cooperation with the substrate to be encapsulated from all sides by moisture.
Gemäß einer alternativen Ausführungsform ist ausgehend von dem Substrat gesehen die Planarisierung der Isolierungsschicht nachgeordnet. Dabei kann die Isolierungsschicht sich über das gesamte Substrat hinweg erstrecken. Diese alternativen Ausführungsformen erleichtern die Herstellung der optoelektronischen Vorrichtung, beispielsweise kann dabei die Isolierungsschicht mittels einem Rolle zu Rolle Verfahren aufgebracht werden, bevor die Planarisierung aufgebracht und fein strukturiert wird.According to an alternative embodiment, starting from the substrate, the planarization of the insulation layer is arranged downstream. In this case, the insulating layer can extend over the entire substrate. These alternative embodiments facilitate the manufacture of the optoelectronic device, for example, while the insulating layer can be applied by means of a roll to roll method before the planarization is applied and finely structured.
Vorzugsweise steht die Elektrode, die durch die Isolierungsschicht gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert ist, in direktem Kontakt zu der Isolierungsschicht. Dadurch kann eine mechanisch besonders stabile Verbindung mit der Elektrode erzeugt werden, insbesondere bei Verwendung einer Isolierungsschicht aus anorganischem Material.Preferably, the electrode electrically insulated from the substrate by the insulating layer is in direct contact with the insulating layer. As a result, a mechanically particularly stable connection with the electrode can be produced, in particular when an insulating layer of inorganic material is used.
Die Planarisierung planarisiert, d.h. sie weist auf einer dem Substrat abgewandten Grenzfläche eine geringere Rauheit auf als auf einer dem Substrat zugewandten Grenzfläche, vorzugsweise um mindestens einen Faktor 2 geringer, besonders bevorzugt um mindestens einen Faktor 5 und ganz besonders bevorzugt um mindestens einen Faktor 20. Vorzugsweise weist die Planarisierung auf einer dem Substrat abgewandten Grenzfläche eine Rauheit kleiner oder gleich 500 nm auf, besonders bevorzugt kleiner oder gleich 200 nm und ganz besonders bevorzugt kleiner oder gleich 50 nm.The planarization is planarized, i. it has less roughness on an interface facing away from the substrate than on an interface facing the substrate, preferably smaller by at least a factor of 2, more preferably by at least a factor of 5 and most preferably by at least a factor of 20. Preferably, the planarization has a surface facing away from the substrate, a roughness of less than or equal to 500 nm, more preferably less than or equal to 200 nm and most preferably less than or equal to 50 nm.
Das Substrat hingegen kann auf der Hauptfläche eine Rauheit größer oder gleich 500 nm aufweisen, oder größer oder gleich 1000 nm oder sogar größer oder gleich 5000 nm.The substrate, on the other hand, may have a roughness greater than or equal to 500 nm on the major surface, or greater than or equal to 1000 nm, or even greater than or equal to 5000 nm.
Die mittlere Rauheit eines Bezugsbereichs, dargestellt durch das Symbol Ra, gibt den mittleren Abstand aller Punkte auf der Grenzfläche in dem Bezugsbereich zu einer Mittelebene an. Die Mittelebene schneidet das wirkliche Profil so, dass der mittlere Abstand minimal wird. Die mittlere Rauheit Ra entspricht also dem arithmetischen Mittel der betragsmäßigen Abweichung von der Mittelebene.The average roughness of a reference area, represented by the symbol R a , indicates the mean distance of all points on the interface in the reference area to a center plane. The middle plane intersects the real profile so that the mean distance becomes minimal. The average roughness R a thus corresponds to the arithmetic mean of the absolute deviation from the medial plane.
Vorzugsweise umfasst die Planarisierung ein organisches Material. Dadurch kann eine besonders gute Planarisierungswirkung erzielt werden. Beispielsweise kann es sich bei dem organischen Material um ein organisches Material ausgewählt aus folgender Gruppe von Materialien handeln: Epoxidharz, Acrylat, Polyurethan, Polyimid, Silikon, Organopolysilazan, Polysiloxan, Styrol, Polyester, Polyekton.Preferably, the planarization comprises an organic material. As a result, a particularly good planarization effect can be achieved. For example, the organic material may be an organic material selected from the following group of materials: epoxy resin, acrylate, polyurethane, polyimide, silicone, organopolysilazane, polysiloxane, styrene, polyester, polyectone.
Die Planarisierung kann eine aus der Flüssigphase prozessierte Planarisierung sein, d.h. dass zum Bereitstellen der Planarisierung eine Flüssigkeit aufgebracht wurde, die die Planarisierung bildet.The planarization may be a liquid phase processed planarization, i. a liquid has been applied to provide the planarization, which forms the planarization.
Vorzugsweise umfasst die Isolierungsschicht ein anorganisches Material. Dadurch kann eine besonders gute Feuchtigkeitsdiffusionsbarrierewirkung erzielt werden. Beispielsweise kann die Isolierungsschicht ein anorganisches Material umfassen, das ausgewählt ist aus folgender Gruppe von Materialien: Oxid, Nitrid, Oxynitrid, Carbid, Metalloxid, Metallnitrid, Metalloxynitrid, Metallcarbid, Keramik, Glas. Insbesondere kann es sich bei dem anorganischen Material um Siliziumnitrid (SiN), Siliziumoxid (SiOx), Siliziumoxinitrid (SiNOx), Silizium-Oxikarbonitrid (SiCNOx), Aluminiumoxid (AlOx), Titanoxid (TiOx), Antimon-Zinn-Oxid (ATO) oder Siliziumcarbid (SiC) handeln.Preferably, the insulating layer comprises an inorganic material. As a result, a particularly good moisture diffusion barrier effect can be achieved. For example, the insulating layer may comprise an inorganic material selected from the following group of materials: oxide, nitride, oxynitride, carbide, metal oxide, metal nitride, metal oxynitride, metal carbide, ceramic, glass. In particular, the inorganic material may be silicon nitride (SiN), silicon oxide (SiO x ), silicon oxynitride (SiNO x ), silicon oxycarbonitride (SiCNO x ), aluminum oxide (AlO x ), titanium oxide (TiO x ), antimony tin Oxide (ATO) or silicon carbide (SiC) act.
Die Planarisierung ist vorzugsweise derart ausgestaltet und angeordnet, dass zumindest eine der ersten und zweiten Elektroden eine Grenzfläche aufweist, die in zumindest einem ersten Bereich eine geringere Rauigkeit aufweist als in einem zweiten Bereich.The planarization is preferably configured and arranged in such a way that at least one of the first and second electrodes has an interface which has a lower roughness in at least one first area than in a second area.
Da der erste Bereich eine andere Rauigkeit aufweist als der zweite Bereich, weisen diese Bereiche für einen Betrachter ein unterschiedliches Erscheinungsbild auf, wodurch das Erscheinungsbild der optoelektronischen Vorrichtung interessanter gestaltet und dadurch verbessert werden kann.Since the first region has a different roughness than the second region, these regions have a different appearance for a viewer, whereby the appearance of the optoelectronic device can be made more interesting and thereby improved.
Die Planarisierung kann beispielsweise derart ausgestaltet und angeordnet sein, dass eine dem Substrat abgewandte Grenzfläche der ersten Elektrode in dem ersten Bereich eine geringere Rauigkeit aufweist als in dem zweiten Bereich. Dabei ist die optoelektronische Vorrichtung vorzugsweise eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung durch die zweite Elektrode hindurch zu emittieren. Zudem kann sie dabei eingerichtet sein, die erzeugte elektromagnetische Strahlung nicht durch das Substrat hindurch zu emittieren.The planarization can be designed and arranged, for example, such that an interface of the first electrode facing away from the substrate has a lower roughness in the first region than in the second region. In this case, the optoelectronic device is preferably set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation through the second electrode. In addition, it may be arranged to not emit the generated electromagnetic radiation through the substrate.
Alternativ oder zusätzlich kann die Planarisierung auch derart ausgestaltet und angeordnet sein, dass eine dem Substrat zugewandte Grenzfläche der zweiten Elektrode in dem ersten Bereich eine geringere Rauigkeit aufweist als in dem zweiten Bereich. Dabei ist die optoelektronische Vorrichtung vorzugsweise eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung durch die erste Elektrode und das Substrat hindurch zu emittieren. Zudem kann sie dabei eingerichtet sein, die erzeugte elektromagnetische Strahlung nicht durch die zweite Elektrode hindurch zu emittieren.Alternatively or additionally, the planarization can also be configured and arranged such that an interface of the second electrode facing the substrate has a lower roughness in the first region than in the second region. In this case, the optoelectronic device is preferably set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation through the first electrode and the substrate. In addition, it may be arranged to not emit the generated electromagnetic radiation through the second electrode.
Die Planarisierung ist vorzugsweise zwischen dem Substrat und der ersten Elektrode angeordnet. Dadurch kann ein einfacher Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung ermöglicht werden.The planarization is preferably between the substrate and the first electrode arranged. As a result, a simple structure of the optoelectronic device can be made possible.
Die erste Elektrode kann eine erste Elektrodenschicht umfassen oder daraus bestehen. Dementsprechend kann beispielsweise die erste Elektrodenschicht auf einer dem Substrat abgewandten Grenzfläche in dem ersten Bereich ein geringere Rauigkeit aufweisen als in dem zweiten Bereich. The first electrode may comprise or consist of a first electrode layer. Accordingly, for example, the first electrode layer may have a lower roughness in the first region on an interface facing away from the substrate than in the second region.
Die zweite Elektrode kann eine zweite Elektrodenschicht umfassen oder daraus bestehen. Dementsprechend kann beispielsweise die zweite Elektrodenschicht auf einer dem Substrat zugewandten Grenzfläche in dem ersten Bereich eine geringere Rauigkeit aufweisen als in dem zweiten Bereich.The second electrode may comprise or consist of a second electrode layer. Accordingly, for example, the second electrode layer may have a lower roughness in the first region on an interface facing the substrate than in the second region.
Die Planarisierung ist gemäß einer bevorzugten Ausführungsform derart ausgestaltet und angeordnet, dass die zuvor diskutierte Grenzfläche in dem gesamten ersten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist und in dem gesamten zweiten Bereich nicht durch die Planarisierung planarisiert ist. Das bedeutet, dass gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform die erste Elektrode in dem ersten Bereich eine geringere Rauheit aufweist, als dies bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre, und in dem zweiten Bereich dieselbe Rauigkeit aufweist, wie dies bei Nichtvorhandensein der Planarisierung der Fall wäre.According to a preferred embodiment, the planarization is configured and arranged such that the previously discussed interface is planarized in the entire first region by the planarization and is not planarized by the planarization in the entire second region. That is, according to this preferred embodiment, the first electrode in the first region has less roughness than would be the case in the absence of planarization, and in the second region has the same roughness as would be the case in the absence of planarization.
Die Planarisierung kann zumindest eine Aussparung aufweisen, die den zweiten Bereich hervorruft. Diese kann vollständig von der Planarisierung umrandet sein.The planarization may have at least one recess which causes the second region. This can be completely surrounded by the planarization.
Bevorzugt erstreckt sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen, d.h. z.B. in senkrechter Projektion auf die Hauptfläche des Substrates gesehen, in dem gesamten ersten Bereich die Planarisierung und in dem gesamten zweiten Bereich nicht die Planarisierung. Mit anderen Worten, bevorzugt überlappen sich in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen der erste Bereich und die Planarisierung vollständig und der zweite Bereich und die Planarisierung nicht.Preferably, as seen in plan view, the main surface of the substrate, i. e.g. seen in perpendicular projection on the main surface of the substrate, in the entire first area, the planarization and in the entire second area not the planarization. In other words, preferably, when viewed in plan view of the main surface of the substrate, the first region and the planarization completely overlap and the second region and the planarization do not overlap completely.
Die Planarisierung ist gemäß einer bevorzugten Ausführungsform derart ausgestaltet und angeordnet, dass die zuvor diskutierte Grenzfläche in dem ersten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist und in dem zweiten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist, insbesondere kann sie derart ausgestaltet und angeordnet sein, dass die zuvor diskutierte Grenzfläche in dem gesamten ersten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist und in dem gesamten zweiten Bereich durch die Planarisierung planarisiert ist. Die unterschiedlichen Rauigkeiten in dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich können dabei erzielt werden, indem die Planarisierung die Bereiche unterschiedlich stark planarisiert, beispielsweise durch Variation einer Dicke der Planarisierung, insbesondere einer Schichtdicke einer die Planarisierung bildenden Planarisierungsschicht. Entsprechend kann in Draufsicht auf die Hauptfläche des Substrats gesehen eine die Planarisierung bildende Planarisierungsschicht in dem gesamten ersten Bereich eine andere Schichtdicke aufweisen als in dem gesamten zweiten Bereich.According to a preferred embodiment, the planarization is configured and arranged such that the previously discussed interface is planarized in the first region by the planarization and is planarized in the second region by the planarization, in particular it can be configured and arranged such that the previously discussed Boundary surface in the entire first region is planarized by the planarization and planarized in the entire second region by the planarization. The different roughnesses in the first region and the second region can be achieved in that the planarization planarizes the regions differently, for example by varying a thickness of the planarization, in particular a layer thickness of a planarization layer forming the planarization. Accordingly, as seen in plan view of the main surface of the substrate, a planarization layer forming the planarization may have a different layer thickness in the entire first region than in the entire second region.
Vorzugsweise weist die zuvor diskutierte Grenzfläche der zumindest einen Elektrode in dem ersten und/oder dem zweiten Bereich eine Reflektivität von mindestens 50 % bevorzugt mindestens 80 % oder sogar mindestens 90 % für eine auf die Grenzfläche der ersten Elektrode treffende elektromagnetische Strahlung auf. Die Reflektivitäten sind dabei jeweils auf die Strahlungsleistung bezogen. Besonders bevorzugt weist die Grenzfläche in dem ersten und/oder dem zweiten Bereich die zuvor beschriebene Reflektivität für eine oder mehrere Wellenlängen des Spektrums des sichtbaren Lichtes von 380 nm bis 780 nm auf oder im arithmetischen Mittel über den Wellenlängenbereich des sichtbaren Lichtes oder im arithmetischen Mittel für das Spektrum des sichtbaren Lichtes auf. Ebenfalls besonders bevorzugt weist die Grenzfläche in dem zuvor beschriebenen Bereich die zuvor beschriebene Reflektivität für eine oder mehrere Wellenlängen der von der funktionalen Schichtstruktur erzeugbaren elektromagnetischen Strahlung auf oder bezogen auf die gesamte Strahlungsleistung für die von der funktionalen Schichtstruktur erzeugbare elektromagnetische Strahlung. Dadurch kann eine stark reflektierende elektromagnetische Vorrichtung realisiert werden, wobei sich die Reflektionseigenschaft in dem ersten und dem zweiten Bereich unterscheidet, insbesondere weil der erste Bereich verglichen mit dem zweiten Bereich weniger matt, d.h. weniger diffus, reflektiert. Die Reflektivität der zuvor genannten Grenzfläche kann sich insbesondere auf einen zur Grenzfläche senkrechten Strahlungseinfall beziehen. Die Reflektivität der zuvor genannten Grenzfläche der ersten Elektrode hängt unter anderem von dem Brechungsindex der ersten Elektrode und von dem Brechungsindex der daran angrenzenden Schicht oder Schichten ab.Preferably, the previously discussed interface of the at least one electrode in the first and / or the second region has a reflectivity of at least 50%, preferably at least 80% or even at least 90% for an electromagnetic radiation impinging on the interface of the first electrode. The reflectivities are in each case related to the radiation power. Particularly preferably, the interface in the first and / or the second region exhibits the above-described reflectivity for one or more wavelengths of the visible light spectrum from 380 nm to 780 nm, or in the arithmetic mean over the visible light wavelength range or in the arithmetic mean for the spectrum of visible light. Likewise particularly preferably, the boundary surface in the area described above has the above-described reflectivity for one or more wavelengths of the electromagnetic radiation that can be generated by the functional layer structure or based on the total radiation power for the electromagnetic radiation that can be generated by the functional layer structure. As a result, a highly reflective electromagnetic device can be realized, with the reflection characteristic differing in the first and second regions, particularly because the first region is less dull, i.e., less than the second region. less diffuse, reflected. The reflectivity of the aforementioned boundary surface may relate in particular to a radiation incidence perpendicular to the boundary surface. The reflectivity of the aforesaid interface of the first electrode depends inter alia on the refractive index of the first electrode and on the refractive index of the adjacent layer or layers.
Vorzugsweise ist die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet, durch Zusammenwirkung des ersten Bereichs und des zweiten Bereichs eine sichtbare Information darzustellen, d.h. eine für einen externen Betrachter sichtbare Information. Diese kann beispielsweise sowohl in einem Betriebszustand als auch in einem Außerbetriebszustand sichtbar sein. Bei der Information kann es sich beispielsweise um zumindest ein Muster oder ein Zeichen, insbesondere ein Schriftzeichen, handeln. Preferably, the optoelectronic device is set up to display visible information by interaction of the first area and the second area, ie information visible to an external observer. This can be visible, for example, both in an operating state and in an inoperative state. The information may be, for example, at least one pattern or a character, in particular a character.
Vorzugsweise ist die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet, zumindest einen Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung in einer Emissionsrichtung zu emittieren, wobei sowohl der erste Bereich als auch der zweite Bereich bei Betrachtung der optoelektronischen Vorrichtung entgegen der Emissionsrichtung sichtbar sind.Preferably, the optoelectronic device is set up to emit at least part of the generated electromagnetic radiation in an emission direction, wherein both the first region and the second region are visible in the direction opposite to the emission direction when the optoelectronic device is viewed.
Dadurch kann sichergestellt werden, dass diese Bereiche für einen externen Betrachter einfach auffindbar sind. Dabei können diese in einem Betriebszustand der optoelektronischen Vorrichtung an Hand einer lateralen Variation einer Eigenschaft der emittierten elektromagnetischen Strahlung, z.B. einer Helligkeitsverteilung und/oder einer Farbverteilung, sichtbar sein.This can ensure that these areas are easy to find for an external viewer. In this case, in an operating state of the optoelectronic device, they can be triggered by means of a lateral variation of a property of the emitted electromagnetic radiation, e.g. a brightness distribution and / or a color distribution, be visible.
Beispielsweise kann die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet sein, den Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung in der Emissionsrichtung durch einen Emissionsbereich der zweiten Elektrode hindurch zu emittieren. Ebenso kann die optoelektronische Vorrichtung eingerichtet sein, den Teil der erzeugten elektromagnetischen Strahlung in der Emissionsrichtung durch einen Emissionsbereich des Substrates hindurch zu emittieren.By way of example, the optoelectronic device can be set up to emit the part of the generated electromagnetic radiation in the emission direction through an emission region of the second electrode. Likewise, the optoelectronic device can be set up to emit the part of the generated electromagnetic radiation in the emission direction through an emission region of the substrate.
Vorzugsweise stehen die Isolierungsschicht und die Planarisierung in direktem Kontakt zueinander, was einen einfachen Aufbau der optoelektronischen Vorrichtung ermöglicht.Preferably, the insulating layer and the planarization are in direct contact with each other, allowing a simple construction of the optoelectronic device.
Bei der funktionalen Schichtstruktur kann es sich um eine organisch funktionale Schichtstruktur handeln. Vorzugsweise handelt es sich bei der optoelektronischen Vorrichtung um eine organisch lichtemittierende Diode.The functional layer structure may be an organically functional layer structure. Preferably, the optoelectronic device is an organic light emitting diode.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst ein Verfahren zum Bereitstellen der zuvor beschriebenen optoelektronischen Vorrichtung zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung die Schritte:
- S1: Bereitstellens des Substrats,
- S2: Bereitstellen der Isolierungsschicht
- S3: Bereitstellen der Planarisierung zum Ausgleichen einer Rauigkeit einer der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode zugewandten Hauptfläche des Substrates,
- S4: Bereitstellen der funktionalen Schichtstruktur, der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode, wobei die erste Elektrode auf einer dem Substrat zugewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur angeordnet wird und die zweite Elektrode auf einer dem Substrat abgewandten Seite der funktionalen Schichtstruktur angeordnet wird, so dass die funktionale Schichtstruktur eingerichtet wird, bei Bestromung der funktionalen Schichtstruktur mittels der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode die elektromagnetische Strahlung zu erzeugen,
wobei bei dem Schritt S4 die zumindest eine Elektrode, die durch die Isolierungsschicht gegenüber dem Substrat elektrisch isoliert wird, als Elektrode mit einen Kontakt zur Kontaktierung bereitgestellt wird und
wobei bei dem Schritt S2 die Isolierungsschicht eingerichtet und angeordnet wird, als Feuchtigkeitsdiffusionsbarriere für Feuchtigkeitsdiffusion von dem Kontakt zu der Planarisierung zu wirken.According to one embodiment, a method for providing the above-described optoelectronic device for generating electromagnetic radiation comprises the steps:
- S1: providing the substrate,
- S2: Providing the insulation layer
- S3: providing the planarization for compensating a roughness of a main surface of the substrate facing the first electrode and the second electrode,
- S4: providing the functional layer structure, the first electrode and the second electrode, wherein the first electrode is arranged on a side facing the substrate of the functional layer structure and the second electrode is arranged on a side facing away from the substrate of the functional layer structure, so that the functional Layer structure is set up to generate the electromagnetic radiation by energizing the functional layer structure by means of the first electrode and the second electrode,
wherein at step S4, the at least one electrode electrically insulated from the substrate by the insulating layer is provided as an electrode with a contact for making contact, and
wherein, at step S2, the insulating layer is arranged and arranged to act as a moisture diffusion barrier for moisture diffusion from the contact to the planarization.
Vorzugsweise wird bei dem Schritt S3 eine Flüssigkeit aufgebracht, die die Planarisierung bildet. Insbesondere kann die Flüssigkeit eine Planarisierung bilden, die aus einem Feststoff besteht, beispielsweise durch Verdampfen eines Lösungsmittels.Preferably, in step S3, a liquid is applied, which forms the planarization. In particular, the liquid may form a planarization consisting of a solid, for example by evaporation of a solvent.
Vorzugsweise werden Verfahrensschritte S2 und S3 nach dem Verfahrensschritt S1 ausgeführt. Vorzugsweise werden die Verfahrensschritte S2 und S3 vor dem Verfahrensschritt S4 ausgeführt.Preferably, method steps S2 and S3 are carried out after method step S1. The method steps S2 and S3 are preferably carried out before the method step S4.
Vorzugsweise umfasst das Verfahren weiterhin den Schritt S5 des Bereitstellens der Verkapselungsschicht zum Schutz der funktionalen Schichtstruktur vor Feuchtigkeit. Dieser kann z.B. nach den Verfahrensschritten S1 bis S4 ausgeführt werden.Preferably, the method further comprises the step S5 of providing the encapsulation layer to protect the functional layer structure from moisture. This can e.g. be carried out after the steps S1 to S4.
Nachfolgend wird das hier vorgestellte Prinzip unter Bezugnahme auf Zeichnungen an Hand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Gleiche Bezugszeichen geben dabei gleiche Elemente in den Figuren an. Es sind jedoch keine maßstäblichen Bezüge dargestellt, vielmehr können einzelne Elemente zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein.Hereinafter, the principle presented here will be explained in more detail with reference to drawings with reference to exemplary embodiments. The same reference numerals indicate the same elements in the figures. However, no scale relationships are shown, but individual elements may be shown exaggerated for better understanding.
Es zeigen:Show it:
In
Die optoelektronische Vorrichtung
Zwischen den Elektroden
Auf den zuvor genannten Schichten ist eine Verkapselungsschicht
Wie in
In
Die optoelektronische Vorrichtung
Auf dieser Hauptfläche
Auf dieser Isolierungsschicht
Im Unterschied zum Stand der Technik erstreckt sich die organische Planarisierungsschicht
Die Isolierungsschicht
Die zweite Elektrode
Vorzugsweise weist die Isolierungsschicht eine Schichtdicke von mindestens 1 µm auf. Ebenfalls kann sie eine Dicke aufweisen, die mindestens gleich dem Doppelten einer Rauigkeit des Substrates ist, vorzugsweise mindestens gleich dem Doppelten einer maximalen Rauigkeit des Substrates.The insulating layer preferably has a layer thickness of at least 1 μm. Also, it may have a thickness that is at least equal to twice a roughness of the substrate, preferably at least equal to twice a maximum roughness of the substrate.
Bei dem zuvor beschriebenen ersten Ausführungsbeispiel ist ausgehend von dem Substrat
Zudem umschließen die Isolierungsschicht
Die Elektroden
In
Die optoelektronische Vorrichtung
In
Durch die mittels der nur partiell vorgesehenen Planarisierungsschicht
Vorliegend werden für einen externen Betrachter, wie in
Die Planarisierungsschicht
Alternativ zu den Zeichen und Symbolen kann mittels der partiell aufgebrachten Planarisierungsschicht
Die in den
Der einzige Unterschied zu dem dritten Ausführungsbeispiel besteht darin, dass die Zeichen
Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen kann die Planarisierungsschicht
Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen besteht die Planarisierungsschicht
Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen besteht die Isolierungsschicht
Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen kann die Verkapselungsschicht
Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen kann die Planarisierungsschicht
Bei den zuvor beschriebenen Ausführungsbeispielen kann die Isolierungsschicht
Die optoelektronischen Vorrichtungen
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 10*10 *
- Optoelektronische Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik Optoelectronic device according to the prior art
- 1010
- Optoelektronische Vorrichtung Optoelectronic device
- 1111
- Substrat substratum
- 11a11a
- Hauptfläche des Substrates Main surface of the substrate
- 1212
- Planarisierungsschicht Planarization layer
- 12a12a
- Dem Substrat abgewandte Grenzfläche der Planarisierungsschicht The substrate surface facing away from the planarization of the planarization
- 12b12b
- Dem Substrat zugewandte Grenzfläche der Planarisierungsschicht The substrate-facing interface of the planarization layer
- 1313
- Isolierungsschicht insulation layer
- 1414
- Erste Elektrode First electrode
- 14a14a
- Dem Substrat abgewandte Grenzfläche der ersten Elektrode The substrate facing away from the interface of the first electrode
- 1515
- Zweite Elektrode Second electrode
- 150150
- Erster Abschnitt der zweiten Elektrode First section of the second electrode
- 151151
- Zweiter Abschnitt der zweiten Elektrode Second section of the second electrode
- 1616
- Funktionale Schichtstruktur Functional layer structure
- 1717
- Verkapselungsschicht encapsulation
- 2424
- Kontakt erste Elektrode Contact first electrode
- 2525
- Kontakt zweite Elektrode Contact second electrode
- 3030
- Feuchtigkeitsdiffusionspfad Moisture diffusion path
- 34a34a
- Erster Bereich der ersten Elektrode First area of the first electrode
- 34b34b
- Zweiter Bereich der ersten Elektrode Second area of the first electrode
- 4040
- Emissionsbereich emission region
- 4141
- Schriftzeichen character
- 4242
- Zeichen character
- AA
- Linie line
- BB
- Ausschnitt neckline
- R R
- Richtung, die in der Hauptfläche des Substrats verläuftDirection that runs in the main surface of the substrate
- Ee
- Emissionsrichtung emission direction
Claims (15)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016214739.0A DE102016214739A1 (en) | 2016-08-09 | 2016-08-09 | Optoelectronic device |
PCT/EP2017/068235 WO2018028955A1 (en) | 2016-08-09 | 2017-07-19 | Optoelectronic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102016214739.0A DE102016214739A1 (en) | 2016-08-09 | 2016-08-09 | Optoelectronic device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102016214739A1 true DE102016214739A1 (en) | 2018-02-15 |
Family
ID=59416675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102016214739.0A Pending DE102016214739A1 (en) | 2016-08-09 | 2016-08-09 | Optoelectronic device |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102016214739A1 (en) |
WO (1) | WO2018028955A1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110250392A1 (en) * | 2008-12-31 | 2011-10-13 | Woody V Joseph W | Substrate with Planarizing Coating and Method of Making Same |
DE112004000937B4 (en) * | 2003-05-30 | 2012-02-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Organic electronic component |
DE102012200084A1 (en) * | 2012-01-04 | 2013-07-04 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | RADIATION-EMITTING ORGANIC COMPONENT |
CH709370A1 (en) * | 2014-03-07 | 2015-09-15 | Fofitec Ag | Roll material for one or a Submikrometerschicht on a flexible support and use thereof. |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2003221089A1 (en) * | 2002-03-29 | 2003-10-13 | Miyadera, Toshiyuki | Organic electroluminescence display panel |
JP2014150001A (en) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Nitto Denko Corp | Organic electroluminescent device |
-
2016
- 2016-08-09 DE DE102016214739.0A patent/DE102016214739A1/en active Pending
-
2017
- 2017-07-19 WO PCT/EP2017/068235 patent/WO2018028955A1/en active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112004000937B4 (en) * | 2003-05-30 | 2012-02-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Organic electronic component |
US20110250392A1 (en) * | 2008-12-31 | 2011-10-13 | Woody V Joseph W | Substrate with Planarizing Coating and Method of Making Same |
DE102012200084A1 (en) * | 2012-01-04 | 2013-07-04 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | RADIATION-EMITTING ORGANIC COMPONENT |
CH709370A1 (en) * | 2014-03-07 | 2015-09-15 | Fofitec Ag | Roll material for one or a Submikrometerschicht on a flexible support and use thereof. |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018028955A1 (en) | 2018-02-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102008020816B4 (en) | Organic light-emitting diode, planar, optically active element with a contact arrangement and method for producing an organic light-emitting diode | |
EP2321863B1 (en) | Method for producing an organic radiation-emitting component and organic radiation-emitting component | |
DE10324880B4 (en) | Process for the preparation of OLEDs | |
EP1916723B1 (en) | Organic light-emitting diode and method for manufacturing an organic light-emitting diode | |
DE10222958B4 (en) | Process for producing an organic electro-optical element and organic electro-optical element | |
EP2301092B1 (en) | Encapsulated optoelectronic component and method for the production thereof | |
EP3317906B1 (en) | Organic light-emitting component and method for producing an organic light-emitting component | |
DE102012220724B4 (en) | optoelectronic component | |
DE102016214739A1 (en) | Optoelectronic device | |
DE102016214743A1 (en) | Optoelectronic device | |
WO2017021372A1 (en) | Organic optoelectronic component and method for producing an organic optoelectronic component | |
EP1831759B1 (en) | Electronic component comprising an electrode protection layer | |
DE102017107707A1 (en) | Method for producing an electronic component and electronic component | |
EP3794653B1 (en) | Light extraction substrate of organic light-emitting device and method of manufacturing the same | |
WO2016124537A1 (en) | Organic light-emitting diode device and method for producing an organic light-emitting diode device | |
DE102015106630A1 (en) | Organic light-emitting device and method for producing an organic light-emitting device | |
WO2005104625A1 (en) | Illuminating layer system and method for production thereof | |
EP1638155A1 (en) | Improvement of the conductivity of a polymer electrode by using an underlying grid of metal lines | |
DE102017117051A1 (en) | Organic light emitting device and light emitting device | |
WO2017029367A1 (en) | Method for producing an optoelectronic component and optoelectronic component | |
WO2017178234A1 (en) | Method for producing an organic light-emitting component, and organic light-emitting component | |
WO2016156026A1 (en) | Organic light-emitting diode and method for producing an organic light-emitting diode | |
DE102017102689A1 (en) | Organic light emitting device and method of making an organic light emitting device | |
WO2008083671A1 (en) | Optoelectronic device, and method for the production thereof | |
WO2016110485A1 (en) | Method for producing an organic light-emitting component |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE Representative=s name: ENGELHARDT, MARTIN, DE |
|
R163 | Identified publications notified | ||
R082 | Change of representative |
Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: PICTIVA DISPLAYS INTERNATIONAL LIMITED, IE Free format text: FORMER OWNER: OSRAM OLED GMBH, 93049 REGENSBURG, DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHA, DE |
|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0051520000 Ipc: H10K0050800000 |