DE102016212602A1 - CLEANING DEVICE WITH A CO2 BEAM LIQUID - Google Patents

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Alireza Akbarinia
Denitsa Nikolova
Oliver Arp
Eugen Foca
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss SMT GmbH
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Transport von CO2-Partikel nsowie eine Reinigungsvorrichtung zum Trockeneisstrahlen von Komponenten optischer Anlagen, insbesondere von Projektionsbelichtungsanlagen, welche mindestens eine Strahlmittelleitung (1) umfasst, in der ein Partikelstrom aus CO2-Partikeln und einem Transportfluid zu einer Abgabedüse (2) geführt wird, wobei die Strahlmittelleitung mindestens ein Richtungsänderungssegment (4,5) aufweist, welches ein Eingangsrohrstück (6) und Ausgangsrohrstück (7) aufweist, wobei durch das Eingangsrohrstück der Partikelstrom in das Richtungsänderungssegment eingeführt wird und durch das Ausgangsrohrstück der Partikelstrom aus dem Richtungsänderungssegment abgegeben wird und Ausgangsrohrstück und Eingangsrohrstück mit ihren Rohrlängsachsen (12) in einem Winkel größer 0° und kleiner 180° zueinander angeordnet sind und durch einen Rohrbogen (8) verbunden sind, wobei im Bereich des Rohrbogens eine Transportfluidzuführeinrichtung (10) zur Zufuhr von Transportfluid und Beschleunigung des Partikelstroms angeordnet ist, und wobei im Ausgangsrohrstück eine Transportfluidentnahmeeinrichtung (11) zur Abgabe von Transportfluid und Abbremsung des Partikelstroms angeordnet ist.The present invention relates to a method for transporting CO2 particles and a cleaning device for dry ice blasting of components of optical systems, in particular of projection exposure systems, which comprises at least one blasting medium line (1) in which a particle flow of CO2 particles and a transport fluid to a dispensing nozzle ( 2), wherein the blasting medium line has at least one direction change segment (4, 5), which has an inlet tube piece (6) and outlet tube piece (7), wherein the particle flow is introduced through the inlet tube piece into the direction change segment and through the output tube piece the particle flow from the Direction change segment is output and output pipe section and inlet pipe piece with their pipe longitudinal axes (12) at an angle greater than 0 ° and less than 180 ° to each other and are connected by a pipe bend (8), wherein in the region of the pipe bend a Transportfluidzu guiding device (10) for supplying transport fluid and acceleration of the particle flow is arranged, and wherein in the output pipe piece a transport fluid removal means (11) for discharging transport fluid and deceleration of the particle flow is arranged.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

GEBIET DER ERFINDUNGFIELD OF THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Reinigungsvorrichtung mit einer Strahlmittelleitung, in der ein Partikelstrom aus CO2-Partikeln und einem Transportfluid geführt werden kann, sowie eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einer derartigen Strahlmittelleitung bzw. Reinigungsvorrichtung sowie ein Verfahren zum Betrieb einer CO2-Reinigungsvorrichtung bzw. zur Durchführung einer CO2-Reinigung.The present invention relates to a cleaning device with a blasting medium line, in which a particle stream of CO 2 particles and a transport fluid can be performed, and a projection exposure system for microlithography with such a blasting agent or cleaning device and a method for operating a CO 2 cleaning device or to carry out a CO 2 purification.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

Trockeneisreinigungsverfahren bzw. CO2-Reinigungsverfahren, bei der zu reinigende Komponenten mit CO2-Partikeln mit einer Seitenlänge oder einem Durchmesser von 1 µm bis 10 cm bestrahlt werden, sind unter anderem auch für die Reinigung von Komponenten von optischen Anlagen, wie Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie, bekannt. Die WO 2015/043833 A1 beschreibt eine entsprechende Projektionsbelichtungsanlage bzw. Reinigungsvorrichtung. Da die vorliegende Erfindung bei einer entsprechenden Projektionsbelichtungsanlage oder Reinigungsvorrichtung eingesetzt werden kann, wird die Offenbarung der WO 2015/043833 A1 voll umfänglich in die vorliegende Offenbarung durch Verweis mit aufgenommen. Dry ice cleaning processes or CO 2 purification processes in which components to be cleaned are irradiated with CO 2 particles having a side length or a diameter of 1 μm to 10 cm are, inter alia, also for the cleaning of components of optical systems, such as projection exposure systems for the Microlithography, known. The WO 2015/043833 A1 describes a corresponding projection exposure system or cleaning device. Since the present invention can be applied to a corresponding projection exposure apparatus or cleaning apparatus, the disclosure of the WO 2015/043833 A1 fully incorporated by reference into the present disclosure by reference.

Problematisch bei entsprechenden Trockeneisverfahren bzw. Einrichtungen für Trockeneisreinigungsverfahren ist jedoch, dass das Trockeneis bzw. die hierzu verwendeten CO2-Partikeln auch auf dem Weg zur zu reinigenden Komponente, wie bei der Reinigung selbst, bei einem Kontakt mit beispielsweise einer Wand einer entsprechenden Zuführleitung sublimieren und damit nicht mehr für die eigentliche Reinigung zur Verfügung stehen können. However, a problem with corresponding dry ice processes or devices for dry ice cleaning processes is that the dry ice or the CO 2 particles used for this sublimate on the way to the component to be cleaned, as in the case of cleaning itself, in contact with, for example, a wall of a corresponding feed line and thus can no longer be available for the actual cleaning.

Entsprechend werden Trockeneisreinigungsvorrichtungen bzw. Transportstrecken für CO2-Partikeln vorzugsweise so eingerichtet, dass möglichst gerade Zuführleitungen für die Zufuhr von Trockeneis mit einem Transportfluid zu dem gewünschten Einsatzort gegeben sind, z.B. einer Düse der Reinigungsvorrichtung, bei der die Trockeneispartikel mit dem Transportfluid in Form von Druckluft ausgegeben werden. Sofern Krümmungen in Transportleitungen vorgesehen werden, werden die Transportleitungen mit einem großem Krümmungsradius ausgeführt, um einen möglichen Kontakt der in der Leitung in einem Transportfluid transportierten CO2-Partikeln mit einer Leitungswand zu verhindern. Allerdings werden dadurch die Einsatzmöglichkeiten der Trockeneisreinigung stark limitiert und der Zugang zu zu reinigenden Komponenten wird erschwert. Accordingly, dry ice cleaning devices or transport routes for CO 2 particles are preferably set up so that as straight as possible supply lines for the supply of dry ice with a transport fluid to the desired location, eg a nozzle of the cleaning device in which the dry ice particles with the transport fluid in the form of Compressed air can be output. If bends are provided in transport conduits, the transport conduits are designed with a large radius of curvature to prevent potential contact of the CO 2 particles transported in the conduit with a conduit wall in a transport fluid. However, this greatly limits the possible uses of dry ice cleaning and makes access to components to be cleaned more difficult.

Zwar ist es auch bereits bekannt, einen Partikelstrom aus CO2-Partikeln und Druckluft kurz vor der Düse, aus der der Partikelstrom abgegeben werden soll, mit Hilfe einer Druckluftzufuhreinrichtung durch einen eng gekrümmten Bogen zu führen, aber damit ist noch keine flexible Einsatzmöglichkeit zur CO2-Reinigung von Komponenten an schwierig zugänglichen Stellen gegeben.Although it is already known to lead a particle flow of CO 2 particles and compressed air just before the nozzle from which the particle stream is to be discharged by means of a compressed air supply device through a tightly curved arc, but that is still no flexible use for CO 2 -Cleaning of components in difficult to access places given.

OFFENBARUNG DER ERFINDUNGDISCLOSURE OF THE INVENTION

AUFGABE DER ERFINDUNGOBJECT OF THE INVENTION

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Reinigungsvorrichtung für die Reinigung mit CO2-Partikeln bzw. ein Verfahren zum Transport von CO2-Partikeln insbesondere für die Anwendung in Projektionsbelichtungsanlagen zur Verfügung zu stellen, bei denen schwer zugängliche Komponenten und vorzugsweise auch Komponenten mit Hohlräumen, Hinterschneidungen und dergleichen mittels Trockeneisreinigung gereinigt werden können. Gleichzeitig soll eine effiziente Verwendung der CO2-Partikeln auf möglichst einfache Weise gewährleistet werden. It is therefore an object of the present invention to provide a cleaning device for cleaning with CO 2 particles and a method for transporting CO 2 particles, in particular for use in projection exposure systems available in which difficult to access components and preferably also with components Cavities, undercuts and the like can be cleaned by dry ice cleaning. At the same time, efficient use of the CO 2 particles should be ensured in the simplest possible way.

TECHNISCHE LÖSUNGTECHNICAL SOLUTION

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Reinigungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, einer Projektionsbelichtungsanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 10 sowie einem Verfahren mit dem Merkmalen des Anspruchs 11. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.This object is achieved by a cleaning apparatus having the features of claim 1, a projection exposure apparatus having the features of claim 10 and a method having the features of claim 11. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.

Die vorliegende Erfindung schlägt für den Transport von CO2-Partikeln mit einem Transportfluid in einer Strahlmittelleitung, die den Partikelstrom aus CO2-Partikeln und Transportfluid in einer Reinigungsvorrichtung zu einer Abgabedrüse leitet, vor, mindestens ein, vorzugsweise zwei oder mehr Richtungsänderungssegmente vorzusehen, wobei in dem Richtungsänderungssegment ein Eingangsrohrstück und ein Ausgangsrohrstück enthalten sind, die in einem Winkel zueinander angeordnet sind und über einen Rohrbogen miteinander verbunden sind, und wobei im Bereich des Rohrbogens eine Transportfluidzufuhreinrichtung zur Erhöhung der Strömungsgeschwindigkeit und Umlenkung des Partikelstroms angeordnet ist, während am Ausgangsrohrstück eine Transportfluidentnahmeeinrichtung angeordnet ist, um den Partikelstrom wieder entsprechend zu bremsen, so dass mehrere Richtungsänderungen auf diese Weise für den Partikelstrom möglich sind, ohne die Strömungsgeschwindigkeit des Partikelstroms übermäßig zu erhöhen.The present invention proposes for the transport of CO 2 particles with a transport fluid in a blasting medium, which directs the particle flow of CO 2 particles and transport fluid in a cleaning device to a dispensing nozzle, to provide at least one, preferably two or more direction change segments in the direction change segment, an inlet pipe piece and an output pipe piece are arranged, which are arranged at an angle to each other and connected by a pipe bend, and wherein in the region of the pipe bend a Transportfluidzufuhreinrichtung is arranged to increase the flow velocity and deflection of the particle flow, while at the output pipe piece a transport fluid removal device is arranged to brake the particle flow again accordingly, so that several changes in direction in this way for the particle flow are possible without the flow velocity of the particle flow over to increase moderately.

Vor und/oder nach einem Richtungsänderungssegment und insbesondere zwischen mehreren Richtungsänderungssegmenten können jeweils gerade oder nur geringfügig gekrümmte Schlauch- oder Rohrsegmente vorgesehen sein, während in den Richtungsänderungssegmenten ein Richtungsänderung um einen Winkel zwischen 0° und 180° mit einer entsprechend winkeligen Anordnung von Eingangsrohstück und Ausgangsrohrstück möglich ist, wobei ein kleiner Krümmungsradius kleiner oder gleich 1 Meter, vorzugsweise kleiner oder gleich 50 cm, insbesondere kleiner oder gleich 30 cm gegeben sein kann. Before and / or after a direction change segment and in particular between several direction change segments each straight or only slightly curved hose or pipe segments may be provided, while in the direction change segments a change in direction by an angle between 0 ° and 180 ° with a corresponding angular arrangement of Eingangsrohstück and output pipe section is possible, wherein a small radius of curvature may be less than or equal to 1 meter, preferably less than or equal to 50 cm, in particular less than or equal to 30 cm.

Bei einem Richtungsänderungssegment, welches das letzte Richtungsänderungssegment vor der Abgabedüse einer CO2-Reinigungsvorrichtung ist, kann auf die Transportfluidentnahmeeinrichtung zur Abbremsung des Partikelstroms jedoch verzichtet werden.In a direction change segment, which is the last direction change segment in front of the discharge nozzle of a CO 2 cleaning device, however, the transport fluid removal device for slowing down the particle flow can be dispensed with.

Um eine möglichst variable Richtungsänderung durch das Richtungsänderungssegment bzw. eine möglichst flexible Anordnung der Strahlmittelleitung zu ermöglichen, können das Eingangsrohrstück und/oder das Ausgangsrohrstück eines Richtungsänderungssegments um die Rohrlängsachse des Eingangsrohrstücks und/oder des Ausgangsrohrstücks drehbar in der Strahlmittelleitung angeordnet sein. In order to enable a change in direction as variable as possible through the direction change segment or as flexible as possible arrangement of the blasting medium line, the inlet pipe piece and / or the output pipe piece of a direction change segment can be arranged rotatably in the blasting medium pipe around the pipe longitudinal axis of the inlet pipe piece and / or the output pipe piece.

Die Transportfluidzuführleitung kann eine Düsenanordnung zur Zufuhr des Transportfluids in die Strahlmittelleitung aufweisen, wobei die Düsenanordnung eine oder mehrere Düsen oder eine Duschkopfdüse mit einer Vielzahl von Abgabeöffnungen aufweisen kann.The transport fluid supply line may include a nozzle assembly for supplying the transport fluid into the abrasive conduit, which nozzle assembly may include one or more nozzles or a showerhead nozzle having a plurality of dispensing ports.

Die Transportfluidzufuhrleitung ist vorzugsweise am äußeren Randbogen des Rohrbogens angeordnet, um eine für die CO2-Partikeln möglichst kontaktfreie Richtungsänderung des Partikelstroms im Rohrbogen zu ermöglichen.The transport fluid supply line is preferably arranged on the outer edge bend of the pipe bend in order to allow a change in the direction of particle flow in the pipe bend that is as non-contact as possible for the CO 2 particles.

Die Transportfluidentnahmeeinrichtung kann koaxial um das Ausgangsrohrstück angeordnet sein, so dass eine Vielzahl von Transportfluidentnahmeöffnungen um das Ausgangsrohrstück herum angeordnet sein kann, durch die Transportfluid aus der Strahlmittelleitung entweichen kann. Darüber hinaus kann die Transportfluidentnahmeeinrichtung ein Transportfluidabführkanal aufweisen, der ebenfalls koaxial um die Strahlmittelleitung angeordnet sein kann. The transport fluid removal means may be coaxially disposed about the exit tube, such that a plurality of transport fluid removal ports may be disposed about the exit tube, through which transport fluid may escape from the abrasive conduit. In addition, the transport fluid removal device may have a Transportfluidabführkanal, which may also be arranged coaxially around the blasting medium line.

KURZBESCHREIBUNG DER FIGURENBRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES

Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise inThe accompanying drawings show in a purely schematic manner in FIG

1 die Darstellung einer Strahlmittelleitung gemäß der vorliegenden Erfindung und in 1 the representation of a blasting line according to the present invention and in

2 eine Darstellung einer Projektionsbelichtungsanlage. 2 a representation of a projection exposure system.

AUSFÜHRUNGSBEISPIELEEMBODIMENTS

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden Darstellung der Ausführungsbeispiele deutlich, wobei die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist. Further advantages, characteristics and features of the present invention will become apparent in the following description of the embodiments, wherein the invention is not limited to these embodiments.

Die 1 zeigt eine Strahlmittelleitung 1 mit einer Düse 2, wobei am Zuführende 3 der Strahlmittelleitung 1 ein Partikelstrom aus CO2-Partikeln und Druckluft als Transportfluid zugeführt wird und wobei dieser Partikelstrom aus der Düse 2 abgegeben wird, um auf eine zu reinigende Komponente gestrahlt zu werden. Die gezeigte Strahlmittelleitung 1 weist zwei Richtungsänderungssegmente 4 und 5 auf, die jeweils ein Eingangsrohrstück 6 und Ausgangsrohrstück 7 umfassen. Zwischen dem Eingangsrohrstück 6 und Ausgangsrohrstück 7 befindet sich jeweils ein Rohrbogen 8, mit dem eine Richtungsänderung der Strahlmittelleitung 1 verbunden ist. Darüber hinaus ist unmittelbar vor der Düse 2 ein weiterer Rohrbogen 9 vorgesehen, mit dem eine zusätzliche Richtungsänderung der Strahlmittelleitung 1 realisiert ist.The 1 shows a blasting medium line 1 with a nozzle 2 , where at the feed end 3 the blasting medium line 1 a particle stream of CO 2 particles and compressed air is supplied as transport fluid and wherein this particle flow from the nozzle 2 is discharged to be blasted on a component to be cleaned. The shown blasting medium line 1 has two direction change segments 4 and 5 on, each one an inlet pipe piece 6 and outlet pipe piece 7 include. Between the inlet pipe piece 6 and outlet pipe piece 7 there is a pipe bend in each case 8th , with which a change in direction of the blasting medium line 1 connected is. In addition, it is right in front of the nozzle 2 another pipe bend 9 provided with the one additional change in direction of the blasting medium line 1 is realized.

Die Richtungsänderungssegmente 4, 5 umfassen weiterhin jeweils eine Transportfluidzuführeinrichtung in Form einer Druckluftzuführeinrichtung 10 und eine Transportfluidentnahmeeinrichtung in Form einer Druckluftentnahmeeinrichtung 11. Die Druckluftzuführeinrichtung 10 ist jeweils am Rohrbogen 8 vorgesehen, während die Druckluftentnahmeeinrichtung am Ausgangsrohrstück 7 angeordnet ist. Der Rohrbogen 9 weist ebenfalls eine Druckluftzuführeinrichtung 10 auf, wobei jedoch anschließend keine Druckluftentnahmeeinrichtung 11 vorgesehen ist.The direction change segments 4 . 5 each further comprise a Transportfluidzuführeinrichtung in the form of a compressed air supply 10 and a transport fluid removal device in the form of a compressed air extraction device 11 , The compressed air supply 10 is on the pipe bend 8th provided while the compressed air extraction device on the output pipe section 7 is arranged. The pipe bend 9 also has a Druckluftzuführeinrichtung 10 on, but then no compressed air extraction device 11 is provided.

Zwischen den Richtungsänderungssegmenten 4 und 5 bzw. zwischen dem Richtungsänderungssegment 5 und dem Rohrbogen 9 sind gerade Strahlmittelleitungstücke in Form von Schläuchen oder Rohren angeordnet. Between the direction change segments 4 and 5 or between the direction change segment 5 and the pipe bend 9 straight blasting line pieces are arranged in the form of hoses or pipes.

Die Druckluftzuführeinrichtungen 10 weisen eine Vielzahl von Öffnungen auf, durch die über eine nicht näher dargestellte Zuführleitung Druckluft in die Strahlmittelleitung 1 eingeführt werden kann, um dadurch die Strömungsgeschwindigkeit des Partikelstrom in der Strahlmittelleitung 1 zu erhöhen. Dadurch kann bewirkt werden, dass die im Partikelstrom enthaltenen CO2-Partikeln durch den Rohrbogen 8 bzw. 9 geführt werden können, ohne dass die CO2-Partikeln gegen die Begrenzungswand des Rohrbogens schlagen und durch den Kontakt sublimieren. The compressed air supply devices 10 have a plurality of openings through which via a feed line not shown compressed air in the blasting medium line 1 can be introduced to thereby the flow velocity of the particle flow in the blasting medium line 1 to increase. This can cause the CO 2 particles contained in the particle flow through the pipe bend 8th respectively. 9 can be guided without the CO 2 particles hit against the boundary wall of the pipe bend and sublimate by the contact.

Um bei mehrmaligen Richtungswechseln die Strömungsgeschwindigkeit des Partikelstroms durch die Zufuhr von Druckluft über die Druckluftzuführeinrichtungen 10 nicht übermäßig zu erhöhen, wird die Strömungsgeschwindigkeit des Partikelstroms durch Druckluftentnahmeeinrichtungen 11 wieder reduziert und abgebremst. Dadurch ist es möglich mehrere Richtungswechsel des Partikelstroms mit der Strahlmittelleitung 1 zu realisieren, ohne dass es zu übermäßigen Verlusten an CO2-Partikeln kommt. In case of repeated changes of direction, the flow velocity of the particle flow is due to the supply of compressed air via the compressed air supply devices 10 does not increase excessively, the flow rate of the particle flow through compressed air sampling devices 11 again reduced and braked. This makes it possible to change the direction of the particle flow with the blasting medium line several times 1 to realize without causing excessive losses of CO 2 particles.

Wie sich aus der 1 ergibt können die Richtungsänderungssegmente 4, 5 so ausgebildet sein, dass das jeweilige Eingangsrohrstück 6 und das jeweilige Ausgangsrohrstück 7 in unterschiedlichen Richtungen zueinander ausgerichtet sind. Wie sich ebenfalls aus der 1 ergibt, können die Längsachsen 12 des Eingangsrohrstücks 6 und des Ausgangsrohrstücks 7 in beliebigen Winkeln α zwischen 0° und 180° zueinander angeordnet sein. As is clear from the 1 can yield the direction change segments 4 . 5 be formed so that the respective inlet pipe piece 6 and the respective output pipe piece 7 are aligned in different directions to each other. As also from the 1 results, the longitudinal axes can 12 of the input pipe section 6 and the output pipe section 7 be arranged at any angle α between 0 ° and 180 ° to each other.

Die 2 zeigt in einer rein thematischen Darstellung eine Projektionsbelichtungsanlage in der eine entsprechende Reinigungsvorrichtung mit einer Strahlmittelleitung 1, wie sie in der 1 dargestellt ist, angeordnet sein kann. Die Projektionsbelichtungsanlage umfasst eine Lichtquelle 20, ein Beleuchtungssystem 21, mit dem das Licht der Lichtquelle 20 in geeigneter Weise aufbereitet wird, um ein Retikel 22 zu beleuchten, dessen Strukturen über das Projektionsobjektiv 23 in verkleinerter Weise auf einem Wafer 24 abgebildet werden. Die Reinigungsvorrichtung kann ähnlich der Reinigungsvorrichtung ausgebildet sein, wie sie in der PCT-Anmeldung WO 2015/043833 A1 beschrieben ist The 2 shows in a purely thematic representation of a projection exposure system in a corresponding cleaning device with a blasting medium line 1 as they are in the 1 is shown, can be arranged. The projection exposure apparatus comprises a light source 20 , a lighting system 21 with which the light of the light source 20 prepared in a suitable manner to a reticle 22 to illuminate its structures via the projection lens 23 in a smaller scale on a wafer 24 be imaged. The cleaning device may be similar to the cleaning device, as in the PCT application WO 2015/043833 A1 is described

Obwohl die gezeigte Projektionsbelichtungsanlage eine Projektionsbelichtungsanlage ist, bei der das Retikel das Arbeitslicht der Projektionsbelichtungsanlage reflektiert, beispielsweise einer Projektionsberichtigungsanlage die mit extrem ultraviolettem Licht arbeitet kann die Erfindung auch bei einer Projektionsbelichtungsanlage eingesetzt werden, bei der das Retikel durchstrahlt wird. Although the projection exposure apparatus shown is a projection exposure apparatus in which the reticle reflects the working light of the projection exposure apparatus, such as a projection correction apparatus using extreme ultraviolet light, the invention can also be applied to a projection exposure apparatus in which the reticle is irradiated.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben worden ist, ist es für einen Fachmann selbstverständlich, dass die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern dass Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale wegelassen oder andersartige Kombinationen von Merkmalen verwirklicht werden können, solange der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche nicht verlassen wird. Die vorliegende Offenbarung schließt sämtliche Kombinationen der vorgestellten Einzelmerkmale mit ein. Although the present invention has been described in detail with reference to the embodiments, it will be understood by those skilled in the art that the invention is not limited to these embodiments, but that modifications may be made such that certain features may be omitted or other combinations of features may be practiced as long as the scope of protection of the appended claims is not abandoned. The present disclosure includes all combinations of the features presented.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Strahlmittelleitung Blasting agent line
22
Düse jet
33
Zuführende afferent
44
Richtungsänderungssegment Change of direction segment
55
Richtungsänderungssegment Change of direction segment
66
Eingangsrohrstück Input pipe section
77
Ausgangsrohrstück Pipe stock
88th
Rohrbogen Elbows
99
Rohrbogen Elbows
1010
Druckluftzuführeinrichtung bzw. Transportfluidzuführeinrichtung Compressed air supply or Transportfluidzuführeinrichtung
1111
Druckluftentnahmeeinrichtung bzw. Transportfluidentnahmeeinrichtung Compressed air extraction device or transport fluid removal device
1212
Rohrlängsachse tube longitudinal axis
2020
Lichtquelle light source
2121
Beleuchtungssystem lighting system
2222
Retikel reticle
2323
Projektionsobjektiv projection lens
2424
Wafer wafer

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • WO 2015/043833 A1 [0002, 0002, 0025] WO 2015/043833 A1 [0002, 0002, 0025]

Claims (12)

Reinigungsvorrichtung zum Trockeneisstrahlen von Komponenten optischer Anlagen, insbesondere von Projektionsbelichtungsanlagen, welche mindestens eine Strahlmittelleitung (1) umfasst, in der ein Partikelstrom aus CO2-Partikeln und einem Transportfluid zu einer Abgabedüse (2) geführt wird, wobei die Strahlmittelleitung mindestens ein Richtungsänderungssegment (4, 5) aufweist, welches ein Eingangsrohrstück (6) und Ausgangsrohrstück (7) aufweist, wobei durch das Eingangsrohrstück der Partikelstrom in das Richtungsänderungssegment eingeführt wird und durch das Ausgangsrohrstück der Partikelstrom aus dem Richtungsänderungssegment abgegeben wird und Ausgangsrohrstück und Eingangsrohrstück mit ihren Rohrlängsachsen (12) in einem Winkel größer 0° und kleiner 180° zueinander angeordnet sind und durch einen Rohrbogen (8) verbunden sind, wobei im Bereich des Rohrbogens eine Transportfluidzuführeinrichtung (10) zur Zufuhr von Transportfluid und Beschleunigung des Partikelstroms angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass im Ausgangsrohrstück eine Transportfluidentnahmeeinrichtung (11) zur Abgabe von Transportfluid und Abbremsung des Partikelstroms angeordnet ist. Cleaning device for dry ice blasting of components of optical systems, in particular of projection exposure systems, which comprise at least one blasting medium line ( 1 ) in which a particle flow of CO 2 particles and a transport fluid to a dispensing nozzle ( 2 ), wherein the blasting medium line at least one direction change segment ( 4 . 5 ) having an inlet pipe section ( 6 ) and outlet pipe piece ( 7 ), wherein the particulate stream is introduced through the inlet pipe section in the direction change segment and is discharged through the output pipe section of the particle flow from the direction change segment and output pipe section and inlet pipe section with their pipe longitudinal axes ( 12 ) are arranged at an angle greater than 0 ° and smaller than 180 ° to each other and by a pipe bend ( 8th ), wherein in the region of the pipe bend a transport fluid supply device ( 10 ) is arranged for the supply of transport fluid and acceleration of the particle flow, characterized in that in the output tube piece a transport fluid removal device ( 11 ) is arranged for the delivery of transport fluid and deceleration of the particle flow. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Richtungsänderungssegmente (4, 5) hintereinander in der Strahlmittelleitung (1) angeordnet sind. Cleaning device according to claim 1, characterized in that a plurality of direction change segments ( 4 . 5 ) in a row in the blasting medium line ( 1 ) are arranged. Reinigungsvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei mehreren Richtungsänderungssegmenten (4, 5) das in der Strömungsrichtung letzte Richtungsänderungssegment ohne Transportfluidentnahmeeinrichtung ausgebildet ist. Cleaning device according to claim 1 or 2, characterized in that with several direction change segments ( 4 . 5 ) Which is formed in the flow direction last direction change segment without transport fluid removal device. Reinigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei mehreren Richtungsänderungssegmenten zwischen zwei Richtungsänderungssegmenten ein gerades Leitungsstück in der Strahlmittelleitung (1) angeordnet ist. Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that in the case of a plurality of direction-changing segments between two direction-changing segments, a straight line section in the blasting medium line ( 1 ) is arranged. Reinigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Eingangsrohrstück (6) und/oder das Ausgangsrohrstück (7) um ihre Rohrlängsachse (12) drehbar in der Strahlmittelleitung angeordnet sind. Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the inlet pipe piece ( 6 ) and / or the output pipe piece ( 7 ) around its tube longitudinal axis ( 12 ) are rotatably arranged in the blasting medium line. Reinigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportfluidzuführleitung (10) eine Düsenanordnung zur Zufuhr des Transportfluids in die Strahlmittelleitung aufweist, wobei die Düsenanordnung mindestens eine oder mehrere Düsen oder eine Duschkopfdüse mit einer Vielzahl von Abgabeöffnungen aufweist. Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the transport fluid supply line ( 10 ) has a nozzle arrangement for supplying the transport fluid into the blasting medium line, wherein the nozzle arrangement has at least one or more nozzles or a showerhead nozzle with a plurality of dispensing openings. Reinigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportfluidzuführleitung (10) am äußeren Randbogen des Rohrbogens angeordnet ist. Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the transport fluid supply line ( 10 ) is arranged on the outer edge bend of the pipe bend. Reinigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportfluidentnahmeeinrichtung (11) koaxial um das Ausgangsrohrstück angeordnet ist. Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the transport fluid removal device ( 11 ) is arranged coaxially around the output pipe piece. Reinigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportfluidentnahmeeinrichtung (11) eine Vielzahl von nebeneinander im Ausgangsrohrstück angeordneten und insbesondere umlaufend um das Ausgangsrohrstück angeordnete Öffnungen aufweist. Cleaning device according to one of the preceding claims, characterized in that the transport fluid removal device ( 11 ) has a plurality of juxtaposed in the starting pipe piece and in particular circumferentially arranged around the output pipe piece openings. Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einer Reinigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche. Microlithographic projection exposure apparatus with a cleaning device according to one of the preceding claims. Verfahren zum Transport von CO2-Partikeln in einer Strahlmittelleitung, insbesondere in einer Strahlmittelleitung einer Reinigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, in der ein Partikelstrom aus CO2-Partikeln und einem Transportfluid geführt wird, wobei die Strahlmittelleitung (1) mindestens ein Richtungsänderungssegment (4, 5) aufweist, welches ein Eingangsrohrstück (6) und Ausgangsrohrstück (7) aufweist, wobei durch das Eingangsrohrstück der Partikelstrom in das Richtungsänderungssegment eingeführt wird und durch das Ausgangsrohrstück der Partikelstrom aus dem Richtungsänderungssegment abgegeben wird und Ausgangsrohrstück und Eingangsrohrstück mit ihren Rohrlängsachsen (12) in einem Winkel größer 0° und kleiner 180° zueinander angeordnet sind und durch einen Rohrbogen verbunden sind, wobei im Bereich des Rohrbogens Transportfluid zur Beschleunigung des Partikelstroms zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass im Ausgangsrohrstück Transportfluid zur Abbremsung des Partikelstroms entnommen wir. Process for transporting CO 2 particles in a blasting medium line, in particular in a blasting medium line of a cleaning device according to one of claims 1 to 9, in which a particle flow is conducted from CO 2 particles and a transport fluid, wherein the blasting medium line ( 1 ) at least one direction change segment ( 4 . 5 ) having an inlet pipe section ( 6 ) and outlet pipe piece ( 7 ), wherein the particulate stream is introduced through the inlet pipe section in the direction change segment and is discharged through the output pipe section of the particle flow from the direction change segment and output pipe section and inlet pipe section with their pipe longitudinal axes ( 12 ) are arranged at an angle greater than 0 ° and less than 180 ° to each other and are connected by a pipe bend, wherein in the region of the pipe bend transport fluid is supplied to accelerate the particle flow, characterized in that taken in the output pipe piece transport fluid to decelerate the particle flow we. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass als Transportfluid Druckluft verwendet wird. A method according to claim 11, characterized in that compressed air is used as transport fluid.
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